JP3277445B2 - プラズマアドレス表示装置の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶セルとプラズマセ
ルとを誘電体シートを介して積層したプラズマアドレス
表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶セルとプラズマセルとが誘電
体シートを介して積層されてなるプラズマアドレス表示
装置が提案されている。図２は、このプラズマアドレス
表示装置の構造の一例を示すものである。

【０００３】図２のプラズマアドレス表示装置は、液晶
セル２とプラズマセル３とを薄板硝子（誘電体シート）
４を介して積層したフラットパネル構造を有する。液晶
セル２は、カラーフィルター基板２１が液晶シール材２
２を介して所定の間隙を有した状態で薄板硝子４に接合
されている。カラーフィルタ基板２１内面側の面には、
図示しないが行方向に延びる透明導電材料からなるスト
ライプ状のデータ電極が列方向（図面垂直方向）に並列
的に形成されている。カラーフィルタ基板２１と薄板硝
子４との間隙には液晶が充填されて液晶層２３が形成さ
れている。なお、図２では示していないが液晶層２３に
は間隙の寸法を均一にするためにスペーサーが配設され
ている。

【０００４】プラズマセル３においては、プラズマ基板
ガラス３１が薄板硝子４と所定の間隙をもって対向して
いる。薄板硝子４側のプラズマ基板ガラス３１上には、
列方向に延び、行方向に所定の間隙を持って並列的に形
成されたニッケル製などのストライプ状の表示電極３２
が形成され、この表示電極３２上に、絶縁性のセラミッ
クなどからなり、表示電極３２より幅が狭いバリヤリブ
３３が、表示電極３２と等ピッチで重ね合わされて形成
されている。これらの表示電極３２とバリヤリブ３３を
介してプラズマ基板ガラス３１が薄板硝子４と所定の間
隙を持って対向している。これら表示電極３２とバリヤ
リブ３３とが隔壁５を構成し、この隔壁５で区画された
密閉空間がプラズマ室３４として構成されている。この
プラズマ室３４は、列方向に延び、行方向に所定の間隔
で形成されている。プラズマ室３４にはイオン化可能な
ガスが封入されている。このガスとしては、例えばヘリ
ウム、ネオン、アルゴンあるいはこれらの混合ガスなど
が使用される。このように、表示電極３２とバリヤリブ
３３は、各プラズマ室を区分けする隔壁５としての役割
を果たすと共に、各プラズマ室のギャップスペーサーと
しての役割も果たす。なお、表示電極３２は、交互にア
ノード表示電極３２Ａとカソード表示電極３２Ｋとなる
ようにそれぞれドライバに接続されている。プラズマ基
板ガラス３１の周辺部は低融点ガラスなどを使用したフ
リットシール３５が配設され、このフリットシール３５
でプラズマ基板ガラス３１と薄板硝子４とが気密的に接
合されている。

【０００５】上記プラズマアドレス表示装置は、データ
電極とプラズマ室３４は直交し、データ電極が列駆動単
位となり、プラズマ室３４は行駆動単位となり、これら
の交差部に画素が規定されるものである。このようなプ
ラズマアドレス表示装置において、アノード表示電極３
２Ａとカソード表示電極３２Ｋとの間に所定電圧が印加
されると、そのプラズマ室の部分のガスが選択的にイオ
ン化されてプラズマ放電が発生し、その内部は略アノー
ド電位に維持される。この状態で、データ電極にデータ
電圧が印加されると、そのプラズマ室３４に対応して列
方向に並ぶ画素の液晶層２３に薄板硝子４を介してデー
タ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が終了すると、プ
ラズマ室３４は浮遊電位となり、対応する画素の液晶層
２３に書き込まれた電圧は、次の書き込み期間（例えば
１フレーム後）まで保持される。このとき、プラズマ室
３４はサンプリングスイッチとして機能し、各画素の液
晶層２３はサンプリングキャパシタとして機能してい
る。

【０００６】各画素の液晶層２３に対してデータ電極１
５から書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作する
ことから画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ
放電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層２３
にデータ電圧を書き込むプラズマ室３４を行方向に順次
走査していくことで、二次元画像の表示を行うことがで
きる。

【０００７】このようなプラズマアドレス表示装置の製
造方法について、図３で簡単に説明すると、まず、図３
（Ａ）に示すように、プラズマ基板ガラス３１上に表示
電極パターンを例えばスクリーン印刷法でストライプ状
に印刷した後、乾燥して表示電極３２を形成する。

【０００８】次に、ストライプ状に形成した表示電極３
２の上にスクリーン印刷でバリヤリブ３３を、図３
（Ｂ）に示すように、重ねて積層する。この場合、バリ
ヤリブ３３は約２００μｍ程度の高さとするために、ス
クリーン印刷を繰り返して重ね塗りを行うことでこの高
さを出すようにしている。所定の高さのバリヤリブを印
刷した後、焼成を行い、バリヤリブの上部を研磨し、バ
リヤリブの高さを所定の高さにそろえる。

【０００９】そして、図３（Ｃ）に示すように、プラズ
マ基板ガラス３１の周辺にフリットシール３５をディス
ペンサーなどで形成し、このフリットシール３５を介し
て薄板硝子４をバリヤリブに乗せた状態でプラズマ基板
ガラスに接合し、形成されたプラズマ室３４を真空に引
いた後、ガスを注入する。

【００１０】次に、図示しない配向処理を行い、図３
（Ｄ）に示すように、液晶層を均一の厚さにするための
スペーサー２４を散布し、図３（Ｅ）に示すように、液
晶シール材２２を介してカラーフィルタ２１を薄板硝子
４に接合して、液晶室を形成し、その後液晶を注入して
図２に示したプラズマアドレス表示装置を得ることがで
きる。

【００１１】ところで、上記薄板硝子４をバリヤリブ３
３上に乗せてプラズマ基板ガラス３１に接合する際に、
図４に示すように、５〜１０数μｍ程度のごみＤが、バ
リヤリブ３３上端面と薄板硝子４との間に挟まることが
ある。薄板硝子４は約５０μｍ程度の厚さであり、薄板
硝子４上に形成される液晶層２３は約７μｍ程度の厚さ
であるので、このような大きさのごみＤがバリヤリブ３
３と薄板硝子４との間に挟まると、液晶層２３のギャッ
プむらになり、その結果液晶表示のむらになる。

【００１２】また、それだけでなく、図５に示すよう
に、スペーサー２４を介してカラーフィルター基板２１
を薄板硝子に接合する際に、ごみの大きさが液晶層２３
のギャップより大きいと、ごみＤの上の薄板硝子４に応
力が集中し、薄板硝子４が割れてしまうという問題があ
る。このため、このようなごみＤが入ったパネルは不良
品となり、製造のコストを上昇させる原因となってい
る。特に、パネルが大型化すると、ごみが上記のように
挟まる率が高くなり、歩留まりが低下する。

【００１３】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、ごみの混入による液晶層のギャップむらや薄板硝子
の割れを防止することができるプラズマアドレス表示装
置の製造方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法は、
液晶セルとプラズマセルとが薄板硝子を介して積層され
たプラズマアドレス表示装置の製造方法であって、前記
プラズマセルを構成するプラズマ基板ガラス上に多数並
列的に設けられた隔壁上端面に該薄板硝子を密着させて
プラズマセルを構成する際に、前記隔壁上端面と前記薄
板硝子間に挟まったごみに該薄板硝子側からレーザー光
線を照射して、ごみの該隔壁上端面からの突出を防止す
るようにしたものである。

【００１５】この場合、前記レーザー光線の照射によ
り、前記隔壁上端面にごみを埋め込める穴を形成するこ
とができる。

【００１６】

【作用】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
は、プラズマアドレス表示装置においては、液晶セル部
とプラズマセル部との隔壁としての薄板硝子が光を透過
するガラスであることに着目し、隔壁上端面と薄板硝子
間に挟まったごみに該薄板硝子側から約５０μｍ程度の
厚さの薄板硝子を通してレーザー光線を照射することに
より、ごみを除くようにしたものである。このようにレ
ーザー光線を隔壁上端面に存するごみに照射すると、有
機系のごみは蒸発し、またセラミックなどのごみは溶融
し、あるいは溶融し難い材料やガラスなどの光を透過す
る材料のごみは、隔壁上端面にレーザーで穴を形成する
ことで、ごみを隔壁上端面に埋め込むことができ、いず
れにしても隔壁上端面からごみが突出することを防止す
ることができる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例について具体的に図面
を参照しながら説明する。図１は、本発明のプラズマア
ドレス表示装置の製造方法の工程の一例を説明する概略
断面図である。

【００１８】図１（Ａ）に示す工程は、図３（Ｃ）に相
当するもので、プラズマ基板ガラス３１に表示電極３２
を形成した後、この表示電極３２の上にバリヤリブを等
ピッチで設け、更に薄板硝子４をフリットシール３５を
介してプラズマ基板ガラス３１に接合した後、プラズマ
室３４を真空にすることにより薄板硝子４をバリヤリブ
３３の上端面に密着させたときに、バリヤリブ３３上端
面と薄板硝子４の間にごみＤが挟まった状態を示すもの
である。

【００１９】このように挟まるごみＤは、例えば薄板硝
子４に付着していたもの、あるいはバリヤリブ３３の上
端面に付着していたものがある。いずれにしても、薄板
硝子４を張って初めてわかる場合が多い。ごみＤがバリ
ヤリブ３３上端面と薄板硝子４の間に挟まると、図１
（Ａ）に示すように、プラズマ室３４内は約６０〜８０
Ｔｏｒｒ程度の圧力であるので、薄板硝子４は大気圧で
押圧されて、ごみＤの部分で膨らむ。これは、目視で、
例えば横方向に近い斜めから見ると容易に識別でき、ご
みＤが挟まった箇所を容易に検知することができる。

【００２０】そして、ごみＤが挟まった箇所に薄板硝子
４の上から薄板硝子４を通してレーザー光線を照射す
る。この場合、カメラで確認しながらレーザーの出力を
調整することができる。レーザーの照射範囲は、ごみＤ
の大きさ程度とすることがよいが、ごみＤの大きさの数
倍程度広くても差し支えない。バリヤリブの幅は約１０
０μｍ程度であるので、この程度の幅で照射しても良
い。レーザーの照射により、ごみＤが有機物であれば、
蒸発又は溶融し、図１（Ｃ）に示すように、薄板硝子４
の膨らみをなくすることができる。また、ごみＤが、ガ
ラス片であれば、レーザー光線は、ごみを通過してその
下のバリヤリブ３３上面に穴を形成し、図１（Ｂ）に示
すように、この穴にごみＤが埋め込まれ、これによって
薄板硝子４の膨らみをなくすことができる。更に、ごみ
Ｄがセラミックなどの無機物であれば、レーザー光線の
照射によって、溶融し、又はバリヤリブ上面にレーザー
光線で穴が形成されてごみＤが埋め込まれ、同様に、薄
板硝子４の膨らみをなくすことができる。なお、バリヤ
リブＤの上端面の端にあるごみはバリヤリブ３３から落
下する場合もある。

【００２１】ごみＤが有機物かセラミックかの判定は困
難であるので、レーザー光線の種類、出力は、バリヤリ
ブ３３を溶かす程度のものを用いることが好ましい。バ
リヤリブ３３は、例えば鉛ガラスペーストにセラミック
粉末を混入したものであり、その融点は、約５３０℃で
ある。レーザーの種類としては、例えば、ルビー、ＹＡ
Ｇ、ＣＯ₂ レーザーなどの高出力レーザーを用いるこ
とができる。勿論、薄板硝子を透過するものでなければ
ならない。また、レーザー光線の出力の調整は、例えば
スリットの調整で行うことができる。 ［実施例］バリヤリブ上端面と薄板硝子との間に挟まっ
たごみに対し、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー（波長１０６４ｎ
ｍ）を、出力エネルギー２５ｍＪの６０〜８０％、パル
ス幅７ｎｓで照射したところ、ごみが消失し、薄板硝子
の膨らみがなくなったことが確認された。

【００２２】このようにごみをレーザーで除去して、薄
板硝子の膨らみをなくした後、形成されたプラズマ室３
４にガスを注入する。次に、図示しない配向処理を行
い、図３（Ｄ）に示したように、液晶層を均一の厚さに
するためのスペーサー２４を散布し、図３（Ｅ）に示す
ように、液晶シール材２２を介してカラーフィルタ２１
を誘電体シート４に接合して、液晶室を形成し、その後
液晶を注入して図２に示したプラズマアドレス表示装置
を得ることができる。

【００２３】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はない。例えば、プラズマアドレス表示装置の構造は上
記例に限定されるものではなく、その他本発明の要旨を
逸脱しない範囲で種々変更することができる。

【００２４】

【発明の効果】本発明のプラズマアドレス表示装置の製
造方法によれば、液晶表示むらや薄板硝子の割れの原因
となる薄板硝子とバリヤリブ上端面間に挟まったごみを
確実かつ容易に除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
の一実施例を示す断面図である。

【図２】プラズマアドレス表示装置の一例を示す断面図
である。

【図３】図２のプラズマアドレス表示装置の製造工程を
示すフローチャートである。

【図４】バリヤリブと薄板硝子間にごみが挟まった状態
を示す断面図である。

【図５】バリヤリブと薄板硝子間にごみが挟まったまま
カラーフィルタ基板を乗せた状態を示す断面図である。

【符号の説明】

２ 液晶セル ３ プラズマセル ４ 誘電体シート ５ 隔壁 ２１ カラーフィルタ基板 ２２ 液晶シール材 ２３ 液晶層 ３１ プラズマ基板ガラス ３２ 表示電極 ３３ バリヤリブ ３４ プラズマ室 ３５ フリットシール Ｄ ごみ

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶セルとプラズマセルとが薄板硝子を介
   して積層されたプラズマアドレス表示装置の製造方法で
   あって、 前記プラズマセルを構成するプラズマ基板ガラス上に多
   数並列的に設けられた隔壁上端面に該薄板硝子を密着さ
   せてプラズマセルを構成する際に、 前記隔壁上端面と前記薄板硝子間に挟まったごみに該薄
   板硝子側からレーザー光線を照射して、ごみの該隔壁上
   端面からの突出を防止することを特徴とするプラズマア
   ドレス表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】前記レーザー光線の照射により、前記隔壁
   上端面にごみを埋め込める穴を形成する請求項１記載の
   プラズマアドレス表示装置の製造方法。