JP3272095B2 - Optical fiber sensor head - Google Patents
Optical fiber sensor headInfo
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- optical fiber
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- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、保持スリーブ内でそ
の軸方向と傾斜して配置され、窓を通して外部空間を臨
むとともに光ファイバの端面に対向する反射面とを具備
したサイドビュー型光ファイバセンサヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a side-view type optical fiber which is disposed in a holding sleeve at an angle to an axial direction thereof, and has a reflecting surface facing an external space through a window and facing an end surface of the optical fiber. It relates to a sensor head.
【0002】[0002]
【従来の技術】サイドビュー型光ファイバセンサヘッド
は、保持スリーブ内でその軸方向と傾斜して配置され、
窓孔を通して外部空間を臨むとともに光学ファイバの検
出端面に対向する反射面とを具備し、検出対象が狭い空
間内で光学ファイバの挿通方向と90°の角度をなす位
置にあつても、保持スリーブを挿入する微小なスペース
さえあれば検出ができる。この反射面は、保持スリーブ
の貫通孔の先端側から挿入される円筒状反射体の内側面
に配設される。このサイドビュー型光ファイバセンサヘ
ッドは、検出対象を挟んだ双方に配置され、片方が、光
照射用であり、他方が受光用である透過型のサイドビュ
ー型光ファイバセンサヘッドと、1個のサイドビューセ
ンサで照射すると共に、検出対象からの反射光を受光す
る反射型のサイドビューセンサヘッドとがある。2. Description of the Related Art A side-view type optical fiber sensor head is disposed in a holding sleeve so as to be inclined with respect to its axial direction.
A reflection surface facing the external space through the window hole and facing the detection end face of the optical fiber, so that the holding sleeve is provided even when the object to be detected is at a 90 ° angle to the insertion direction of the optical fiber in a narrow space. Can be detected as long as there is only a small space for inserting. This reflecting surface is provided on the inner side surface of the cylindrical reflector inserted from the front end side of the through hole of the holding sleeve. This side-view type optical fiber sensor head is disposed on both sides of the detection object, and one side is for light irradiation, and the other side is a transmissive type side-view type optical fiber sensor head for receiving light. There is a reflection type side view sensor head that irradiates with a side view sensor and receives light reflected from a detection target.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
センサヘッドでは、必ずしも、保持スリーブのシール性
が良好ではなく、また、耐薬品性に優れていなかった。
そのために、液内で検出する場合に本体内部に液が浸入
して、光学設計が変動して検出特性が不安定になり、ま
た、腐食性液ではセンサヘッドが腐食する恐れがある。However, in the conventional sensor head, the holding sleeve does not always have good sealing properties and is not excellent in chemical resistance.
Therefore, when the detection is performed in the liquid, the liquid enters the inside of the main body, the optical design fluctuates, the detection characteristics become unstable, and the corrosive liquid may cause the sensor head to corrode.
【0004】この発明は、上述の背景に基づきなされた
ものであり、その目的とするところは、水、硫酸、燐
酸、有機溶媒、腐食性液などの液体中で検出が可能であ
ると共に、検出特性の信頼性が高く、しかも耐薬品性を
向上させたサイドビュー型光ファイバセンサヘッドを提
供することである。The present invention has been made on the basis of the above-mentioned background, and an object of the present invention is to enable detection in a liquid such as water, sulfuric acid, phosphoric acid, an organic solvent, a corrosive liquid, and the like. An object of the present invention is to provide a side-view type optical fiber sensor head having high reliability of characteristics and improved chemical resistance.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題は、この発明に
より解決される。すなわち、サイドビュー型光ファイバ
センサヘッドは、貫通孔の一端部から光ファイバが挿入
保持され、側壁に窓を有する保持スリーブと、光ファイ
バからの光を窓へ、および/または窓からの光を光ファ
イバへ反射する反射面を有し、保持スリーブの貫通孔の
他端部に配設された反射体と、少なくとも保持スリーブ
を外周から被覆する耐液性保護チューブと、光ファイバ
端面に対向して配置されたピンホールとを備えたことを
特徴とするものである。The above object is achieved by the present invention. That is, in the side-view type optical fiber sensor head, the optical fiber is inserted and held from one end of the through hole, the holding sleeve having the window on the side wall, the light from the optical fiber to the window, and / or the light from the window. has a reflective surface for reflecting the optical fiber, and a reflector disposed on the other end portion of the through hole of the retaining sleeve, a liquid-resistant protective tube for covering the outer periphery of at least holding sleeve, an optical fiber
And a pinhole arranged opposite to the end face .
【0006】[0006]
【作用】上記構成を有するこの発明のサイドビュー型光
ファイバセンサヘッドは、以下のように動作・作用す
る。サイドビュー型光ファイバセンサヘッドでは、光フ
ァイバの端部から出た光は、レンズを通過して反射面で
約90゜曲げられ、検出対象物に到達する。反射型で
は、この対象物で反射してその反射した光の全部若しく
は一部が、再び、光ファイバセンサヘッドに戻り、窓を
介して反射面に到達する。反射面で進行方向を約90゜
曲げて受光用光ファイバ端から入射して検出される。他
方、透過型では、反対側の光ファイバセンサヘッドで受
光されて、窓を介して反射面に到達する。反射面で進行
方向を約90゜曲げて光ファイバ端から入射して検出さ
れる。The side-view type optical fiber sensor head of the present invention having the above structure operates and operates as follows. In the side-view type optical fiber sensor head, light emitted from the end of the optical fiber passes through the lens, is bent by about 90 ° on the reflection surface, and reaches the detection target. In the reflection type, all or a part of the light reflected by the object returns to the optical fiber sensor head again and reaches the reflection surface via the window. The light is detected from the end of the optical fiber for receiving light after the traveling direction is bent by about 90 ° on the reflecting surface. On the other hand, in the transmission type, the light is received by the optical fiber sensor head on the opposite side and reaches the reflection surface through the window. The light is detected by being incident from the end of the optical fiber with the traveling direction being bent by about 90 ° on the reflecting surface.
【0007】[0007]
【実施例】この発明を、以下の実施例により、具体的に
説明する。この発明による光ファイバセンサヘッドの一
実施例の側面断面図を図1に示す。この態様のサイドビ
ュー光ファイバセンサヘッドは、貫通孔の一端部から光
ファイバ1が挿入保持され、側壁に窓2を有する保持ス
リーブ3と、光ファイバ1端面からの光を窓2へ、また
は・および窓2からの光を光ファイバ1端面へ反射する
反射面4を有する反射体5と、光ファイバ端面に当接さ
れたピンポール8と、ピンホール8と反射面4との間に
配設された棒状レンズ7とを備え、保持スリーブ3全体
と、保持スリーブ3から露出した光ファイバケーブル1
とを覆う耐液性保護チューブ6を有する。EXAMPLES The present invention will be specifically described by the following examples. FIG. 1 is a side sectional view of one embodiment of the optical fiber sensor head according to the present invention. In the side-view optical fiber sensor head of this embodiment, the optical fiber 1 is inserted and held from one end of the through hole, and the holding sleeve 3 having the window 2 on the side wall, and the light from the end face of the optical fiber 1 is transmitted to the window 2. A reflector 5 having a reflection surface 4 for reflecting light from the window 2 to the end face of the optical fiber 1; a pin pole 8 abutting on the end face of the optical fiber; The holding sleeve 3 and the optical fiber cable 1 exposed from the holding sleeve 3.
And a liquid-resistant protective tube 6 covering the above.
【0008】保持スリーブ3は、機械的強度がある金
属、プラスチックから得られ、透明材料、例えば、アク
リル樹脂やポリカーボネート樹脂などの透明樹脂、透明
ガラスなどから得ることができもできる。保持スリーブ
に形成される窓2は、スリーブに開口を設けて形成する
ことができると共に、その開口に、透明材料を填め込ん
でも、またスリーブ自体を透明にして窓と一体的に形成
することもできる。The holding sleeve 3 is made of a metal or a plastic having mechanical strength, and may be made of a transparent material, for example, a transparent resin such as an acrylic resin or a polycarbonate resin, or a transparent glass. The window 2 formed in the holding sleeve can be formed by providing an opening in the sleeve, and can be formed integrally with the window by filling the opening with a transparent material or making the sleeve itself transparent. it can.
【0009】保護チューブ6は、センサヘッド全体を覆
い、その材質は、どのような液体に接触するかによって
適宜選択される。その具体的なものとして、ポリエチレ
ン樹脂、ポリプロピレン樹脂、PET樹脂等がある。光
を透過させる必要があるので、少なくとも窓近傍では、
光透過性である。浸漬する場合などでは、液が浸入する
ことを防止するために、適当な手段(例えば、シール、
保護チューブと光ファイバケーブルとの接着、長い保護
チューブの使用など)を採る。この実施例では、保護チ
ューブ6と光ファイバケーブル1との間にシール9を設
けている。The protective tube 6 covers the entire sensor head, and its material is appropriately selected depending on what kind of liquid it comes into contact with. Specific examples thereof include a polyethylene resin, a polypropylene resin, and a PET resin. Since it is necessary to transmit light, at least near the window,
Light transmissive. In the case of immersion, appropriate means (for example, a seal,
Adhesive between the protective tube and the optical fiber cable, use of a long protective tube, etc.). In this embodiment, a seal 9 is provided between the protective tube 6 and the optical fiber cable 1.
【0010】この発明は上記実施例に限定されず、種々
の変形例が可能である。例えば、レンズ8やピンホール
8などを設けずに構成することができる。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, it can be configured without providing the lens 8 and the pinhole 8.
【0011】上記構成を有するこの実施例のサイドビュ
ー型光ファイバセンサヘッドでは、光ファイバの端部か
ら出た光は、レンズを通過して反射面で約90゜曲げら
れ、検出対象物に到達する。反射型では、この対象物で
反射してその反射した光の全部若しくは一部が、再び、
光ファイバセンサヘッドに戻り、窓を介して反射面に到
達する。反射面で進行方向を約90゜曲げて受光用光フ
ァイバ端から入射して検出される。他方、透過型では、
反対側の光ファイバセンサヘッドで受光されて、窓を介
して反射面に到達する。反射面で進行方向を約90゜曲
げて光ファイバ端から入射して検出される。In the side-view type optical fiber sensor head of this embodiment having the above structure, the light emitted from the end of the optical fiber passes through the lens, is bent by about 90 ° on the reflection surface, and reaches the object to be detected. I do. In the reflection type, all or a part of the light reflected by this object and reflected is again
Returning to the optical fiber sensor head, it reaches the reflective surface via the window. The light is detected from the end of the optical fiber for receiving light after the traveling direction is bent by about 90 ° on the reflecting surface. On the other hand, in the transmission type,
The light is received by the optical fiber sensor head on the opposite side, and reaches the reflection surface via the window. The light is detected by being incident from the end of the optical fiber with the traveling direction being bent by about 90 ° on the reflecting surface.
【0012】[0012]
【発明の効果】上記実施例で実証されるように、この発
明により、例えば、水、硫酸、燐酸、有機溶媒、腐食性
液などの液体中で検出が可能であると共に、検出特性の
信頼性が高く、しかも耐薬品性を向上させることができ
るという効果を奏する。As demonstrated in the above embodiments, according to the present invention, detection is possible in liquids such as water, sulfuric acid, phosphoric acid, organic solvents, corrosive liquids, and the reliability of detection characteristics. And the chemical resistance can be improved.
【図1】図1は、この発明による光ファイバセンサヘッ
ドの一実施例の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of one embodiment of an optical fiber sensor head according to the present invention.
1・・・ 光ファイバ 2・・・ 窓 3・・・ 保持スリーブ 4・・・ 反射面 5・・・ 反射体 6・・・ 保護チューブ 7・・・ レンズ 8・・・ ピンホール 9・・・ シール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical fiber 2 ... Window 3 ... Holding sleeve 4 ... Reflective surface 5 ... Reflector 6 ... Protective tube 7 ... Lens 8 ... Pinhole 9 ... sticker
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−51928(JP,A) 特開 平4−28332(JP,A) 実開 昭58−77317(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/84 - 21/958 A61B 1/00 - 1/32 G02B 23/24 - 23/26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-4-51928 (JP, A) JP-A-4-28332 (JP, A) Japanese Utility Model 58-77317 (JP, U) (58) Survey Field (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 21/84-21/958 A61B 1/00-1/32 G02B 23/24-23/26
Claims (1)
持され、側壁に窓を有する保持スリーブと、 光ファイバからの光を該窓へ、および/または該窓から
の光を光ファイバへ反射する反射面を有し、該保持スリ
ーブの貫通孔の他端部に配設された反射体と、少なくと
も保持スリーブを外周から被覆する耐液性保護チューブ
と、光ファイバ端面に対向して配置されたピンホールと を備
えたサイドビュー型光ファイバセンサヘッド。An optical fiber is inserted and held from one end of a through hole, and a holding sleeve having a window on a side wall, and reflects light from the optical fiber to the window and / or light from the window to the optical fiber. A reflector disposed at the other end of the through-hole of the holding sleeve, a liquid-resistant protective tube for covering at least the holding sleeve from the outer periphery, and disposed facing the optical fiber end face. Side-view type optical fiber sensor head with a pinhole .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08443693A JP3272095B2 (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Optical fiber sensor head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP08443693A JP3272095B2 (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Optical fiber sensor head |
Publications (2)
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JPH06294742A JPH06294742A (en) | 1994-10-21 |
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Family
ID=13830546
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP08443693A Expired - Lifetime JP3272095B2 (en) | 1993-04-12 | 1993-04-12 | Optical fiber sensor head |
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Families Citing this family (4)
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JP2007194332A (en) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Tokyo Electron Ltd | Sensor and method for detecting substrate |
JP2009174985A (en) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | Optical fiber bio-endoscopic device and system |
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KR102433642B1 (en) * | 2020-10-26 | 2022-08-18 | 주식회사 카이스 | Optical fiber sensor and this manufacturing method |
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1993
- 1993-04-12 JP JP08443693A patent/JP3272095B2/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPH06294742A (en) | 1994-10-21 |
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