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JP3266136B2 - Automatic wiring method of semiconductor integrated circuit and semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Automatic wiring method of semiconductor integrated circuit and semiconductor integrated circuit device

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JP3266136B2
JP3266136B2 JP07693099A JP7693099A JP3266136B2 JP 3266136 B2 JP3266136 B2 JP 3266136B2 JP 07693099 A JP07693099 A JP 07693099A JP 7693099 A JP7693099 A JP 7693099A JP 3266136 B2 JP3266136 B2 JP 3266136B2
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Japan
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layer
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semiconductor integrated
distance
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勝治 池田
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NEC Corp
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  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層配線構造を有
するASIC(Aplication Specifi
c Integrated Circuit)等で構成
される半導体集積回路の自動配線方法、及びこの自動配
線方法で実現される半導体集積回路装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ASIC (Application Specification) having a multilayer wiring structure.
The present invention relates to an automatic wiring method for a semiconductor integrated circuit constituted by c Integrated Circuit and the like, and a semiconductor integrated circuit device realized by the automatic wiring method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、ASIC等のLSIのレイア
ウト設計においては、自動配置配線機能を備えたレイア
ウト装置を使用して、回路セルや配線の自動レイアウト
が行われており、配線の信号伝搬遅延時間(配線遅延時
間)を小さくするために、以下に示す如く種々の配線方
法が提案されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in the layout design of an LSI such as an ASIC, automatic layout of circuit cells and wiring has been performed using a layout apparatus having an automatic placement and routing function, and signal propagation delay of wiring has been performed. In order to reduce the time (wiring delay time), various wiring methods have been proposed as described below.

【0003】図4は、特開平6−283602号公報に
開示されたLSIの自動配線方法の一例を示すフローチ
ャートである。この自動配線方法では、多層配線構造を
有するLSIにおいて、各配線層は固有の電気抵抗及び
容量などの電気特性を持ち配線遅延時間が異なっている
点に着目し、配線遅延時間の小さい配線層から配置を割
り当てていくことによって、全体的な配線遅延時間を小
さくしている。具体的には、まず、複数の配線層につい
て遅延時間の大きい方を暫定的な配線層として選択し遅
延計算でワーストケースの見積りを行うと共に、遅延量
の大きいものから順に配線対象ネットを取り出す(ステ
ップS101)。そして、見積り配線遅延量が指定値よ
りも大きい場合は(ステップS102)、指定値よりも
大きい見積り配線遅延量を持つ信号を優先して配線す
る。その際、着目したネットの配線経路の探索を行うと
きに、可能な限り少ない配線遅延を実現するため、配線
線分の配線層を決定するときに複数存在する配線経路の
中でまず配線遅延最小の配線層を選択する(ステップS
103)。一方、見積り配線遅延量が指定値より小さい
場合は、配線遅延を考慮せず、未結線またはショート最
小化を目的とする配線を行う(ステップS104)。そ
の後、上記ステップS101〜ステップS104の処理
を終了条件を満足するまで繰り返し実行する。
FIG. 4 is a flowchart showing an example of an LSI automatic wiring method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-283602. In this automatic wiring method, in an LSI having a multilayer wiring structure, attention is paid to the fact that each wiring layer has unique electric characteristics such as electric resistance and capacitance and has different wiring delay times. By allocating the arrangement, the overall wiring delay time is reduced. Specifically, first, one of the plurality of wiring layers having a larger delay time is selected as a provisional wiring layer, the worst case is estimated by delay calculation, and nets to be routed are taken out in descending order of the delay amount ( Step S101). If the estimated wiring delay amount is larger than the specified value (step S102), a signal having the estimated wiring delay amount larger than the specified value is preferentially wired. At that time, when searching for the wiring route of the net of interest, in order to realize the least possible wiring delay, first, when deciding the wiring layer for the wiring line, the wiring delay is the minimum among the plurality of existing wiring routes. (Step S)
103). On the other hand, if the estimated wiring delay amount is smaller than the specified value, wiring is performed for the purpose of minimizing the unconnected state or the short circuit without considering the wiring delay (step S104). After that, the processes in steps S101 to S104 are repeatedly executed until the end condition is satisfied.

【0004】また、特開平5−368830号公報に開
示されたLSIの自動配線方法では、配線領域における
配線の各ネットの接続状態と配線層情報を考慮して配線
長を可能な限り最小化し、さらに特定の配線層の配線長
を最小化することで、配線領域における配線の各ネット
の抵抗値を可能な限り最小化し、配線遅延時間を小さく
している。
In the LSI automatic wiring method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-368830, the wiring length is minimized as much as possible in consideration of the connection state of each net of wiring in the wiring area and wiring layer information. Furthermore, by minimizing the wiring length of a specific wiring layer, the resistance value of each net of the wiring in the wiring area is minimized as much as possible, and the wiring delay time is reduced.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報を含む従来の自動配線方法では、回路セルの配置間距
離を考慮せずに配線レイアウトを行っているため、近年
のLSI微細化の進展に伴う配線遅延時間の増大を十分
に抑制することができないという問題があった。この点
を、図5を参照して具体的に説明する。
However, in the conventional automatic wiring method including the above-mentioned publication, the wiring layout is performed without considering the distance between circuit cell arrangements. There is a problem that the increase in the wiring delay time cannot be sufficiently suppressed. This point will be specifically described with reference to FIG.

【0006】図5は、従来のLSI多層配線構造の一例
を示す断面図である。同図に示すように、シリコン基板
200上に、順次、第1配線層201、第2配線層20
2、第3配線層203、第4配線層204、第5配線層
205、及び第6配線層206が形成されており、第1
配線層201はシリコン基板200に平行に配置され、
その上層の各配線層202〜206はそれぞれ互いに直
交するように配置されている。
FIG. 5 is a sectional view showing an example of a conventional LSI multilayer wiring structure. As shown in the figure, a first wiring layer 201 and a second wiring layer 20 are sequentially formed on a silicon substrate 200.
2, a third wiring layer 203, a fourth wiring layer 204, a fifth wiring layer 205, and a sixth wiring layer 206 are formed.
The wiring layer 201 is arranged in parallel with the silicon substrate 200,
The upper wiring layers 202 to 206 are disposed so as to be orthogonal to each other.

【0007】近年、LSI、特にASICでは急速に微
細化が進展し、これに伴って配線間隔が小さくなり、ま
た配線層が増大している。その結果、互いの配線間容量
の影響が大きくなって単位配線容量C1〜C6(図5参
照)が増大する。一般に配線遅延時間は配線容量が大き
いと増大することから、単位配線容量C1〜C6が大き
くなると、配線長が長い場合には配線容量が増大して配
線遅延時間が大きくなるという問題があった。
In recent years, miniaturization of LSIs, especially ASICs, has rapidly progressed, and accordingly, the spacing between wirings has been reduced and the number of wiring layers has been increased. As a result, the influence of the mutual wiring capacitance increases, and the unit wiring capacitances C1 to C6 (see FIG. 5) increase. In general, the wiring delay time increases when the wiring capacitance is large. Therefore, when the unit wiring capacitances C1 to C6 increase, there is a problem that the wiring capacitance increases when the wiring length is long and the wiring delay time increases.

【0008】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、配線長の長い
配線があっても配線容量の増加を抑えることができ、配
線遅延時間の増大を抑制することが可能な半導体集積回
路の自動配線方法、及びこの自動配線方法で実現される
半導体集積回路装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described conventional problems. An object of the present invention is to suppress an increase in the wiring capacitance even if there is a long wiring, and to reduce the wiring delay time. It is an object of the present invention to provide a method of automatically wiring a semiconductor integrated circuit capable of suppressing an increase in the number of semiconductor integrated circuits, and a semiconductor integrated circuit device realized by the automatic wiring method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明である半導体集積回路の自動配
線方法では、半導体集積回路の論理機能を満たすネット
リストを用いて複数の回路セルを自動配置する自動配置
処理と、前記自動配置処理で配置された各回路セルの配
置間の距離を求める配置間距離算出処理と、前記配置間
距離算出処理で求めた配置間距離と予め設定された基準
値とを比較する比較処理と、前記配置間距離が前記基準
値を超える配線経路を、グランド層または電源層で遮蔽
された上層に配線すると共に、前記配置間距離が前記基
準値内にある配線経路を、前記グランド層または電源層
の下層に配線する配線処理とを実行することを特徴とす
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an automatic wiring method for a semiconductor integrated circuit, comprising the steps of: using a netlist satisfying a logical function of the semiconductor integrated circuit; Automatic placement processing for automatically placing cells, placement distance calculation processing for finding a distance between placements of the respective circuit cells placed in the automatic placement processing, and placement distance calculated in the placement distance calculation processing and presetting A comparison process of comparing the set reference value with the reference value, wiring a wiring path in which the distance between the arrangements exceeds the reference value to an upper layer shielded by a ground layer or a power supply layer, and setting the distance between the arrangements within the reference value. And a wiring process of wiring the wiring path under the ground layer or the power supply layer.

【0010】請求項2記載の発明である半導体集積回路
装置では、半導体基板上に複数の配線層が形成された多
層配線構造の半導体集積回路装置において、前記半導体
基板上にグランド層または電源層を設け、所定の基準値
より配線長が長い配線層を前記グランド層または電源層
で遮蔽された上層に形成し、前記所定の基準値より配線
長が短い配線層を前記グランド層または電源層の下層に
形成したことを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor integrated circuit device having a multilayer wiring structure in which a plurality of wiring layers are formed on a semiconductor substrate, a ground layer or a power supply layer is formed on the semiconductor substrate. A wiring layer having a wiring length longer than a predetermined reference value is formed in an upper layer shielded by the ground layer or the power supply layer, and a wiring layer having a wiring length shorter than the predetermined reference value is formed below the ground layer or the power supply layer. It is characterized by being formed in.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。図1は、本発明の実施の一形
態に係る半導体集積回路の自動配線方法を示すフローチ
ャートであり、図2は、本実施形態に係るASICのレ
イアウト図である。 本実施形態は、例えばASICを
対象とした自動配線方法を説明するものであり、この自
動配線方法は、コンピュータ等のCADシステムから成
るレイアウト装置に、図1に示すフローチャートに従っ
た自動レイアウトプログラムを格納して、これを実行す
ることにより実現される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a flowchart showing a method for automatically wiring a semiconductor integrated circuit according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a layout diagram of an ASIC according to this embodiment. The present embodiment describes, for example, an automatic wiring method for an ASIC. This automatic wiring method includes an automatic layout program according to a flowchart shown in FIG. It is realized by storing and executing this.

【0012】本実施形態の自動配線処理は、まず、論理
機能を満たすネットリストを入力して処理を開始し、ス
テップS1で回路セルの自動配置を行う。この時の状態
を図2を用いて説明する。予め決められていたLSIチ
ップ11の中に、所定の機能を実現する各マクロ21,
22が配置されている。マクロ21内には回路セル21
a,21bが配置され、またマクロ22内に回路セル2
2aが配置されている。
In the automatic wiring process according to the present embodiment, first, a netlist satisfying a logical function is input to start the process, and automatic placement of circuit cells is performed in step S1. The state at this time will be described with reference to FIG. In a predetermined LSI chip 11, each macro 21 for realizing a predetermined function is provided.
22 are arranged. The macro cell 21 contains the circuit cell 21
a, 21b are arranged, and the circuit cell 2 is
2a is arranged.

【0013】次のステップS2では、配置間距離の計算
を実行する。ここでは、マクロ21内の回路セル21a
と回路セル21b間の配線経路31の距離と、マクロ2
1,22間に亘る回路セル21bと回路セル22a間の
配線経路32の距離とが計算される。なお、この回路セ
ル間の距離は例えばマンハッタン長で計算される。
In the next step S2, the calculation of the distance between arrangements is executed. Here, the circuit cell 21a in the macro 21
Of the wiring path 31 between the circuit cell 21b and the macro 2
The distance between the circuit cell 21b and the wiring path 32 between the circuit cell 22a and the circuit cell 22a is calculated. The distance between the circuit cells is calculated, for example, in Manhattan length.

【0014】続くステップS3では、上記ステップS2
で求めた配置間距離と予め設定された配置間基準距離と
を比較する。そして、その結果、前記配置間基準距離を
超える配線経路があれば、ステップS4へ進んで当該配
線経路をグランド(GND)層で遮蔽された上層で配線
する。一方、配置間距離が配置間基準距離内の配線経路
であれば、ステップS5へ進んでグランド層の下層で配
線する。
In the following step S3, step S2
Is compared with a preset reference distance between arrangements. Then, as a result, if there is a wiring route exceeding the reference distance between arrangements, the process proceeds to step S4, and the wiring route is wired in an upper layer shielded by a ground (GND) layer. On the other hand, if the inter-arrangement distance is a wiring route within the inter-arrangement reference distance, the process proceeds to step S5, and wiring is performed below the ground layer.

【0015】ここで、本実施形態の自動配線方法で実現
されたASICの断面構造を表す図3を用いて、前記ス
テップS4及びステップS5の配線処理についてより具
体的に説明する。図3に示すように、シリコン基板40
上に、第1配線層41、第2配線層42、及び第3配線
層43が順次配置されており、その上層にはグランド層
44が配置されている。さらに、前記グランド層44に
遮蔽された上層には、第5配線層45と第6配線層46
が順次配置されている。シリコン基板40上と第1配線
層41は平行に配置され、第1配線層41、第2配線層
42、及び第3配線層43は互いに直交して配置されて
いる。また、グランド層44と第5配線層45は平行に
配置され、第5配線層45と第6配線層46は直交して
配置されている。
Here, the wiring processing in steps S4 and S5 will be described more specifically with reference to FIG. 3 showing a sectional structure of an ASIC realized by the automatic wiring method of the present embodiment. As shown in FIG.
A first wiring layer 41, a second wiring layer 42, and a third wiring layer 43 are sequentially disposed thereon, and a ground layer 44 is disposed thereon. Further, a fifth wiring layer 45 and a sixth wiring layer 46 are provided on the upper layer shielded by the ground layer 44.
Are sequentially arranged. The silicon substrate 40 and the first wiring layer 41 are arranged in parallel, and the first wiring layer 41, the second wiring layer 42, and the third wiring layer 43 are arranged orthogonal to each other. The ground layer 44 and the fifth wiring layer 45 are arranged in parallel, and the fifth wiring layer 45 and the sixth wiring layer 46 are arranged orthogonally.

【0016】ここで、例えば配線経路31の距離が前記
配線間基準距離内にあり、配線経路32の距離が配線間
基準距離を越えていた場合を想定すると、配線経路31
は配線間基準距離内であるので、グランド層44の下層
の第1配線層41、第2配線層42及び第3配線層43
のいずれかで配線され、配線間基準距離を越えた配線経
路32は、グランド層44で遮蔽された上層の第5配線
層45及び第6配線層46で配線される。そして、これ
らの処理が全ての配線経路について行われた後、図1の
フローに示した本実施形態の自動配線処理は終了する。
Here, for example, assuming that the distance of the wiring path 31 is within the reference distance between wirings and the distance of the wiring path 32 exceeds the reference distance between wirings,
Is within the reference distance between the wirings, the first wiring layer 41, the second wiring layer 42, and the third wiring layer 43 below the ground layer 44.
And the wiring path 32 exceeding the reference distance between wirings is wired by the upper fifth wiring layer 45 and the sixth wiring layer 46 shielded by the ground layer 44. Then, after these processes are performed for all the wiring routes, the automatic wiring process of the present embodiment shown in the flow of FIG. 1 ends.

【0017】このように本実施形態の自動配線方法で
は、論理機能を満たすネットリストを入力として自動配
置する処理と、配置間の距離を計算する処理と、予め設
定された配置間基準距離と上記処理で求めた配置間距離
とを比較する処理と、前記配置間基準距離を超える配線
経路(配線長が長い)があればグランド層で遮蔽された
上層で配線する処理と、前記配置間距離が基準値内であ
ればグランド層の下層で配線する処理とを実行するよう
にしたので、次のような利点を有する。
As described above, in the automatic wiring method according to the present embodiment, the processing of automatically arranging the netlist satisfying the logical function as an input, the processing of calculating the distance between the arrangements, A process of comparing the inter-arrangement distance obtained in the process, a process of wiring in an upper layer shielded by a ground layer if there is a wiring route (wiring length is longer) exceeding the inter-arrangement reference distance, and If the value is within the reference value, the process of wiring in the lower layer of the ground layer is executed, so that the following advantages are provided.

【0018】すなわち、図3に示すように、シリコン基
板40とグランド層44との間に配置されている各配線
層間の容量をそれぞれC1,C2,C3,C4とし、グ
ランド層44と第6配線層46との間の各配線層間の容
量をC5,C6とした場合に、一般に配線間容量は大き
いため、グランド層44で遮蔽された上層の単位配線長
容量C5,C6は前記グランド層44より下層の単位配
線長容量C2〜C4より小さくなる。
That is, as shown in FIG. 3, the capacitance between the wiring layers disposed between the silicon substrate 40 and the ground layer 44 is C1, C2, C3, and C4, respectively. When the capacitance between the respective wiring layers between the layer 46 and the layer 46 is C5 and C6, the capacitance between the wirings is generally large. It becomes smaller than the unit wiring length capacitances C2 to C4 in the lower layer.

【0019】一般的に配線容量が増大すると配線遅延が
増大するが、本実施形態では、配線長が長い配線でも、
その長い配線のみグランド層44で遮蔽された別の層に
配線するようにしたので、配線長の長い配線の単位配線
容量を小さくすることがことができる。これにより、配
線長の長い配線があっても配線容量の増加を抑制するこ
とができ、配線遅延時間の増大を低減することが可能に
なる。
Generally, when the wiring capacitance increases, the wiring delay increases. In the present embodiment, even if the wiring has a long wiring length,
Since only the long wiring is connected to another layer shielded by the ground layer 44, the unit wiring capacitance of the long wiring can be reduced. As a result, even if there is a long wiring, the increase in the wiring capacitance can be suppressed, and the increase in the wiring delay time can be reduced.

【0020】なお、本発明は図示の実施形態に限定され
ず種々の変形が可能である。その変形例としては、例え
ば上記グランド層44に置き換えて電源層を設け、上層
と下層を遮蔽するようにしてもよい。
The present invention is not limited to the illustrated embodiment, but can be variously modified. As a modified example, for example, a power supply layer may be provided in place of the ground layer 44 to shield the upper layer and the lower layer.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1記
載の発明である半導体集積回路の自動配線方法によれ
ば、配線長が長い配線でも、その長い配線のみグランド
層または電源層で遮蔽された上層に配線するので、配線
長の長い配線の単位配線容量を小さくすることがことが
できる。これにより、配線長の長い配線があっても配線
容量の増加を抑えることができ、配線遅延時間の増大を
抑制することが可能になる。特に本発明を、急速に微細
化が進展するASICに適用すれば、上記効果を顕著に
享受することができる。請求項2記載の発明である半導
体集積回路装置によれば、上記請求項1記載の発明と同
様の効果を享受することができる。
As described above in detail, according to the method for automatically wiring a semiconductor integrated circuit according to the first aspect of the present invention, even if the wiring is long, only the long wiring is shielded by the ground layer or the power supply layer. Since the wiring is formed in the upper layer, the unit wiring capacitance of the wiring having a long wiring length can be reduced. This makes it possible to suppress an increase in wiring capacitance even if there is a long wiring length, and to suppress an increase in wiring delay time. In particular, when the present invention is applied to an ASIC in which miniaturization progresses rapidly, the above effects can be remarkably enjoyed. According to the semiconductor integrated circuit device of the second aspect, the same effect as that of the first aspect can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の一形態に係る半導体集積回路
の自動配線方法を示すフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart showing a method for automatically wiring a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention.

【図2】 実施形態に係るLSIのレイアウト図であ
る。
FIG. 2 is a layout diagram of an LSI according to the embodiment.

【図3】 実施形態の自動配線方法で実現されたASI
Cの断面構造図である。
FIG. 3 is an ASI realized by the automatic wiring method according to the embodiment;
It is sectional drawing of C.

【図4】 従来のLSI自動配線方法の一例を示すフロ
ーチャートである。
FIG. 4 is a flowchart showing an example of a conventional LSI automatic wiring method.

【図5】 従来のLSI多層配線構造の一例を示す断面
図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a conventional LSI multilayer wiring structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 LSIチップ 21,22 マクロ 21a,21b 回路セル 31 配線経路 32 配線経路 40 シリコン基板 41 第1配線層 42 第2配線層 43 第3配線層 44 グランド層 45 第5配線層 46 第6配線層 11 LSI chip 21, 22 Macro 21a, 21b Circuit cell 31 Wiring path 32 Wiring path 40 Silicon substrate 41 First wiring layer 42 Second wiring layer 43 Third wiring layer 44 Ground layer 45 Fifth wiring layer 46 Sixth wiring layer

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 半導体集積回路の論理機能を満たすネッ
トリストを用いて複数の回路セルを自動配置する自動配
置処理と、 前記自動配置処理で配置された各回路セルの配置間の距
離を求める配置間距離算出処理と、 前記配置間距離算出処理で求めた配置間距離と予め設定
された基準値とを比較する比較処理と、 前記配置間距離が前記基準値を超える配線経路を、グラ
ンド層または電源層で遮蔽された上層に配線すると共
に、前記配置間距離が前記基準値内にある配線経路を、
前記グランド層または電源層の下層に配線する配線処理
とを実行することを特徴とする半導体集積回路の自動配
線方法。
1. An automatic placement process for automatically placing a plurality of circuit cells using a netlist satisfying a logic function of a semiconductor integrated circuit, and a placement for determining a distance between the placement of each circuit cell placed in the automatic placement process. A distance calculation process, a comparison process of comparing the distance between arrangements obtained in the distance calculation between arrangements and a preset reference value, and a wiring path in which the distance between arrangements exceeds the reference value, a ground layer or While wiring in the upper layer shielded by the power supply layer, a wiring route in which the distance between the arrangement is within the reference value,
Performing a wiring process for wiring below the ground layer or the power supply layer.
【請求項2】 半導体基板上に複数の配線層が形成され
た多層配線構造の半導体集積回路装置において、 前記半導体基板上にグランド層または電源層を設け、所
定の基準値より配線長が長い配線層を前記グランド層ま
たは電源層で遮蔽された上層に形成し、前記所定の基準
値より配線長が短い配線層を前記グランド層または電源
層の下層に形成したことを特徴とする半導体集積回路装
置。
2. A semiconductor integrated circuit device having a multilayer wiring structure in which a plurality of wiring layers are formed on a semiconductor substrate, wherein a ground layer or a power supply layer is provided on the semiconductor substrate, and the wiring length is longer than a predetermined reference value. A semiconductor integrated circuit device, wherein a layer is formed on an upper layer shielded by the ground layer or the power supply layer, and a wiring layer having a wiring length shorter than the predetermined reference value is formed below the ground layer or the power supply layer. .
JP07693099A 1999-03-19 1999-03-19 Automatic wiring method of semiconductor integrated circuit and semiconductor integrated circuit device Expired - Fee Related JP3266136B2 (en)

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