JP3264161B2 - How to detect sensor abnormalities - Google Patents
How to detect sensor abnormalitiesInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、セメント製造に
おける、粉体および流体が流れ、雰囲気より負圧となっ
ている炉内の状態を検出するセンサの測定異常を検出す
る、センサ異常の検出方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting a sensor abnormality by detecting a measurement abnormality of a sensor for detecting a state in a furnace in which a powder and a fluid are flowing and the pressure is lower than the atmosphere in cement production. About.
【０００２】[0002]
【従来の技術】セメントの製造においては、焼成工程に
おいて、粉体にした石灰石などの原料を焼成炉（キル
ン）で焼成している。この焼成工程では、原料を加熱す
ることで炭酸ガスを除去するようにしている。原料の粉
体は、キルン内を通過していく中で、熱したガスにより
加熱されていく。ここで、このプロセスでは、キルン内
の温度や圧力を測定して、原料を加熱するためのガスの
状態を制御するようにしている。例えば、キルン内の温
度測定は、保護管に覆われた熱電対をキルン内の所定位
置に配置して、行うようにしている。2. Description of the Related Art In the production of cement, in a firing step, raw materials such as powdered limestone are fired in a firing furnace (kiln). In this firing step, carbon dioxide gas is removed by heating the raw material. The raw material powder is heated by the heated gas while passing through the kiln. Here, in this process, the temperature and pressure in the kiln are measured to control the state of the gas for heating the raw material. For example, the temperature inside the kiln is measured by arranging a thermocouple covered with a protection tube at a predetermined position in the kiln.
【０００３】図２，３は、キルン内における温度測定、
および、圧力測定の状態を示す構成図であり、１は白金
−白金ロジウムからなる熱電対の素線、２は素線１を覆
うように保護する保護管、３は素線１が接続されている
端子箱、４はキルンである。端子箱３側は、一部が大気
に開放されており、また、キルン４内は、大気圧より低
い圧力となっている。なお、クロメル−アルメルからな
る熱電対を用いる場合もある。また、図３において、５
はキルン４の所定位置に取り付けられたガス取り込み
管、６はガス取り込み管５の側壁に接続し、圧力測定対
象のガスを圧力センサ７に導く圧力配管である。なお、
符号８に関しては、後述する。FIGS. 2 and 3 show a temperature measurement in a kiln,
FIG. 2 is a configuration diagram showing a state of pressure measurement, wherein 1 is a thermocouple wire made of platinum-platinum rhodium, 2 is a protective tube for protecting the wire 1 so as to cover it, and 3 is a wire to which the wire 1 is connected. Terminal box 4 is a kiln. A part of the terminal box 3 is open to the atmosphere, and the pressure inside the kiln 4 is lower than the atmospheric pressure. In some cases, a thermocouple made of chromel-alumel is used. In FIG. 3, 5
Reference numeral denotes a gas intake pipe attached to a predetermined position of the kiln 4, and reference numeral 6 denotes a pressure pipe connected to a side wall of the gas intake pipe 5 and guiding a gas to be measured for pressure to a pressure sensor 7. In addition,
Reference numeral 8 will be described later.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来は以上のように構
成されていたので、以下に示すような問題点があった。
キルン４内では、セメントの原料となる粉体が流れてい
るので、温度測定を行う熱電対の保護管２先端は、その
粉体が常に衝突する環境下にある。このため、保護管２
先端は、それらの衝突による磨耗のため、あるいは熱ガ
スによる腐食のため、いずれは穴が開く。このように、
保護管２に穴が開くと、中の熱電対の素線１が露出する
ことになり、今度は熱電対自身が磨耗していくことにな
る。Conventionally, the above-mentioned configuration has the following problems.
In the kiln 4, the powder as the raw material of the cement flows, and therefore, the tip of the protective tube 2 of the thermocouple for measuring the temperature is in an environment where the powder always collides. Therefore, the protection tube 2
The tips will eventually puncture due to wear due to their collision or corrosion by hot gas. in this way,
When a hole is formed in the protective tube 2, the element wire 1 of the inside thermocouple is exposed, and the thermocouple itself is worn this time.
【０００５】ここで、保護管２の端子箱３側は、キルン
４外部の大気に開放してある。キルン４内部は外気より
低い圧力となっているので、保護管４の先端に穴が開く
と、この保護管２内を通りキルン４内に外気が流入する
ことになる。このことにより、保護管２先端に穴が開い
ても、粉体が保護管２内に流入しにくくなる。このた
め、熱電対自身は、キルン４内での粉体の衝突をある程
度防ぐことができる。しかし、このように、外気が流入
している状態では、キルン４内の温度を熱電対が正確に
検出できない。Here, the terminal box 3 side of the protective tube 2 is open to the atmosphere outside the kiln 4. Since the pressure inside the kiln 4 is lower than the outside air, if a hole is opened at the tip of the protection tube 4, the outside air flows into the kiln 4 through the inside of the protection tube 2. This makes it difficult for powder to flow into the protection tube 2 even if a hole is formed at the tip of the protection tube 2. Therefore, the thermocouple itself can prevent the collision of the powder in the kiln 4 to some extent. However, in the state where the outside air is flowing, the temperature inside the kiln 4 cannot be accurately detected by the thermocouple.
【０００６】保護管２先端の穴は、一度に大きなものが
形成されるわけではない。このため、外気の流入量も、
初めは非常に微量であり、その増加量も非常に遅い速度
で変化していく。したがって、測定温度の誤差量は、徐
々に進行していくことになる。このように、徐々に変化
しているため、通常では、保護管２の穴の発生は、非常
に検知され難く、ある程度大きくなるまで発見し難いと
いう問題があった。The hole at the tip of the protection tube 2 is not always formed large at a time. For this reason, the inflow of outside air also
Initially, the amount is very small, and the increase also changes at a very slow rate. Therefore, the error amount of the measured temperature gradually progresses. As described above, since it gradually changes, the occurrence of a hole in the protection tube 2 is usually very difficult to detect, and there is a problem that it is difficult to detect the hole until it becomes large to some extent.
【０００７】ここで、保護管２内の外気の流入が起こら
ないようにしておけば、保護管２に穴が開いても検出す
る温度に誤差が発生することはない。しかし、この場
合、熱電対自身もキルン４内での粉体の衝突を受けるこ
とになり、この衝突による磨耗劣化のため、非常に早い
段階で、温度検出が全くできない状態となる。このよう
に、急に温度測定ができなくなると、この温度測定の結
果を用いた制御が誤動作し、プロセス異常という事態を
招いてしまう。Here, if the outside air is prevented from flowing into the protection tube 2, even if a hole is formed in the protection tube 2, no error occurs in the detected temperature. However, in this case, the thermocouple itself also receives the collision of the powder in the kiln 4, and the temperature cannot be detected at an extremely early stage due to the wear and deterioration caused by the collision. As described above, if the temperature measurement cannot be performed suddenly, the control using the result of the temperature measurement malfunctions, causing a process abnormality.
【０００８】一方、圧力検出においては、ガス取り込み
管５や圧力配管６の入り口が、粉体が詰まることで塞が
れてしまい、圧力検出が正常にできないという問題があ
った。上述したように、粉粒体を扱うプロセスの圧力検
出においては、時間が経つにつれて、ガス取り込み管５
や圧力配管６の先端部に、徐々に粉粒体が堆積してい
き、それらの入り口が狭くなっていく。そのため、圧力
センサは、実際の圧力変動を正確に検出できなくなる。
そして、この場合においても、この異常状態が徐々に起
こるので、ある程度詰まって、検出している圧力に全く
変化がなくなるなどの状態となるまで、気がつきにくい
という問題があった。On the other hand, in the pressure detection, there is a problem that the inlets of the gas intake pipe 5 and the pressure pipe 6 are blocked by the clogging of the powder, and the pressure detection cannot be performed normally. As described above, in the pressure detection of the process for handling the granular material, as time passes, the gas intake pipe 5
The granular material gradually accumulates at the tip of the pressure pipe 6 and the entrance thereof becomes narrower. Therefore, the pressure sensor cannot accurately detect the actual pressure fluctuation.
Also in this case, since this abnormal state gradually occurs, there is a problem that it is difficult to notice until the state becomes clogged to some extent and the detected pressure does not change at all.
【０００９】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、粉体や粒体を扱うプロセ
スの、温度の検出において、この検出異常を迅速に把握
できるようにすることを目的とする。[0009] The present invention has been made to solve the above problems, a process dealing with powder or granules, in the detection of temperature, so that it can quickly know the detection abnormality of this The purpose is to.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】この発明のセンサ異常の
検出方法は、温度センサが所定の時間間隔で測定した所
定数の温度測定データを高速フーリエ変換し、その高速
フーリエ変換の結果の中で、所定の値より低い変動周波
数成分の変化量が規定値以上となったとき、温度センサ
を構成する保護管に破損が生じたものと判断するように
した。保護管の破損は、その初期段階では、温度測定の
結果に現れないが、高速フーリエ変換の低い変動周波数
成分に変化を生じる。 また、複数のセンサから得られる
変化量のなかで、他と所定値以上異なっている変化量の
センサに、異常が生じたものと判断するようにした。こ
のことにより、プロセスの変化やプロセス自身の異常に
よる測定結果の異常が、センサ自身の異常と区別され
る。SUMMARY OF THE INVENTION A method for detecting a sensor abnormality according to the present invention is characterized in that a predetermined number of temperature measurement data measured at predetermined time intervals by a temperature sensor is subjected to a fast Fourier transform, and the result of the fast Fourier transform is obtained. When the variation of the variable frequency component lower than the predetermined value is equal to or greater than a specified value, it is determined that the protection tube constituting the temperature sensor has been damaged. The failure of the protective tube does not appear in the result of the temperature measurement in its initial stage, but causes a change in a low fluctuating frequency component of the fast Fourier transform . Also, among the change amount obtained from a plurality of sensors, the variation of the sensor is different other and higher than a predetermined value, and to determine that an abnormality has occurred. Thus, an abnormality in the measurement result due to a change in the process or an abnormality in the process itself is distinguished from an abnormality in the sensor itself.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。 実施の形態１．以下、温度測定における異常の検出に関
して説明する。まず、第１に、プロセス温度の変化を測
定した一定期間のデータを収集する。たとえば、１５秒
おきに測定している温度データの、現時点より１０００
０個分前までを収集する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Embodiment 1 FIG. Hereinafter, detection of an abnormality in temperature measurement will be described. First, data of a certain period in which a change in the process temperature is measured is collected. For example, of the temperature data measured every 15 seconds,
Collect up to 0 previous times.
【００１２】第２に、その収集したデータに対して、フ
ィルタをかけるなどの信号処理を行う。これは、特徴量
を的確に算出できるようにするために行うためであり、
ここでは、高速フーリエ変換の後で低周波成分のみに着
目し易いようにデータの変換を行う。第３に、特徴抽出
のための高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を行う。このＦＦ
Ｔにより、図１に示すような、スペクトルが得られる。
そして第４に、ＦＦＴの結果の中で、所定の周波数以下
の領域に着目し、この領域の強度が規定値より強くなっ
ている場合、センサに異常（保護管２の破損）が発生し
ていると判断する。Second, signal processing such as filtering is performed on the collected data. This is to make it possible to accurately calculate the feature amount,
Here, data conversion is performed after the fast Fourier transform so that only the low-frequency components can be easily noticed. Third, a fast Fourier transform (FFT) for feature extraction is performed. This FF
With T, a spectrum as shown in FIG. 1 is obtained.
Fourth, in the result of the FFT, attention is paid to a region below a predetermined frequency, and if the intensity of this region is higher than a specified value, an abnormality (damage of the protection tube 2) occurs in the sensor. Judge that there is.
【００１３】ＦＦＴにより得られるスペクトルは、セン
サに異常がないときは、図１（ａ）に示す状態となって
いる。ところが、図２に示す保護管２の先端に穴があい
た状態で計測した温度変化のデータをＦＦＴすると、図
１（ｂ）に示すように、ある周波数Ｆより低周波の領域
で、スペクトルが高い値を示すようになる。したがっ
て、この低周波領域のスペクトルの値の積分値の変化に
着目し、これが所定の値以上に大きくなったとき、セン
サに異常が発生しているものと判断する。The spectrum obtained by the FFT is in the state shown in FIG. 1A when there is no abnormality in the sensor. However, when the data of the temperature change measured in a state where a hole is formed at the tip of the protective tube 2 shown in FIG. 2 is subjected to FFT, the spectrum is higher in a frequency region lower than a certain frequency F as shown in FIG. Will show the value. Therefore, attention is paid to the change in the integral value of the spectrum value in the low frequency region, and when this value becomes larger than a predetermined value, it is determined that an abnormality has occurred in the sensor.
【００１４】ここで、この温度測定においては、ＦＦＴ
の５時間以上の変動周期範囲のスペクトルの値を積分す
る。保護管がステンレススチールなどの金属部材から形
成されている場合、小さな穴が開き始めてから、温度測
定上ではっきりとした温度差が表れる程度の大きさの穴
となるまでには、５時間以上かかるからである。そし
て、その値の大きさが通常時の２倍以上になったとき、
異常と判断する。すなわち、温度測定のための熱電対を
保護している保護管先端に、穴があいたと判断する。こ
の段階で、保護管を交換するようにすれば、熱電対自信
の劣化は発生していなく、保護管の交換だけで正常な状
態に戻すことができる。Here, in this temperature measurement, FFT
Of the spectrum in the range of the fluctuation period of 5 hours or more is integrated. When the protective tube is formed from a metal member such as stainless steel, it takes 5 hours or more from when a small hole starts to be formed until the hole is large enough to show a clear temperature difference in temperature measurement. Because. Then, when the magnitude of the value becomes twice or more than normal,
Judge as abnormal. That is, it is determined that there is a hole at the tip of the protection tube protecting the thermocouple for temperature measurement. At this stage, if the protection tube is replaced, the thermocouple itself does not deteriorate, and the normal state can be restored only by replacement of the protection tube.
【００１５】次に、圧力測定における異常検出に関して
説明する。この圧力測定の異常検出においては、まず、
ガス取り込み管５（図３）のキルン４と対抗する側に、
微少な穴（ピンホール）８を形成し、この部分より大気
側に接続させておく。このことにより、ガス取込み管５
が詰まったとき、圧力配管６を介して圧力センサ７に検
出される圧力は、ピンホール８から漏れてくる大気の圧
力を検出することになる。すなわち、正常時よりより高
い圧力を検出することになり、異常を見知することがで
きる。[0015] to the next, it is described in terms of abnormality detection in pressure measurement. In this abnormality detection of pressure measurement, first,
On the side of the gas intake pipe 5 (FIG. 3) opposite to the kiln 4,
A minute hole (pinhole) 8 is formed and connected to the atmosphere side from this portion. As a result, the gas intake pipe 5
When the pressure is clogged, the pressure detected by the pressure sensor 7 through the pressure pipe 6 detects the pressure of the atmosphere leaking from the pinhole 8. That is, a higher pressure is detected than in the normal state, and an abnormality can be detected.
【００１６】ただし、ここで、ガス取込み管５の詰まり
は、急激に発生するものではなく、徐々に起こるもので
ある。このため、初期の状態では、ピンホール８からの
洩れによる異なる圧力値の検出は、わずかな値となる。
このため、ピンホール８を用いたガス配管５の詰まり検
出は、ほぼ閉息されたときに初めて見知されることにな
る。すなわち、ピンホール８を設けていても、詰まり方
が少ないときは、圧力センサ７が検出する圧力値から
は、それを見知することが非常に難しく、このような状
態のときは、プロセスの状態を正確に検出していないこ
とになる。However, the clogging of the gas intake pipe 5 does not occur suddenly but occurs gradually. For this reason, in the initial state, detection of a different pressure value due to leakage from the pinhole 8 is a small value.
For this reason, the detection of clogging of the gas pipe 5 using the pinhole 8 is not detected until the gas is almost closed. That is, even if the pinhole 8 is provided, it is very difficult to detect it from the pressure value detected by the pressure sensor 7 when the way of clogging is small. This means that the state has not been accurately detected.
【００１７】ここで、プロセスの圧力の変化を測定した
結果を収集し、その収集したデータに対して、フィルタ
をかけるなどの信号処理を行い、この後、特徴抽出のた
めの高速フーリエ変換を行うようにした。そして、この
ＦＦＴの結果の中で、３０分間以上の変動周期範囲のス
ペクトルの値を積分する。詰まりによって圧力測定に異
常をきたし始める限界のところより、圧力測定上はっき
りと異常となるまでには、３０分以上かかるからであ
る。そして、その値の大きさが通常時の２倍以上になっ
たとき、ガス取込み管６もしくは圧力配管６に詰まりが
発生していると判断する。このことにより、ガス取込み
管６の詰まりなど、初期状態では検出がほぼ不可能であ
った異常を、正確に検出できるようになる。[0017] Here, collects the measurement results of the change in pressure of the process, with respect to the collected data, performs signal processing such as filtering, thereafter, a Fast Fourier transform for feature extraction I did it. Then, in the result of the FFT, the value of the spectrum in the fluctuation cycle range of 30 minutes or more is integrated. This is because it takes 30 minutes or more for the pressure measurement to become clearly abnormal from the limit where the pressure measurement starts to become abnormal due to clogging. Then, when the magnitude of the value becomes twice or more of the normal time, it is determined that the gas intake pipe 6 or the pressure pipe 6 is clogged. This makes it possible to accurately detect an abnormality that was almost impossible to detect in the initial state, such as clogging of the gas intake pipe 6.
【００１８】実施の形態２． ところで、上述したＦＦＴによる異常検出で、異常と検
出された場合でも、たとえば、保護管２の先端に穴があ
いているのではなく、他のプロセス変動の場合もある。
この場合、複数のセンサから得られるデータを比較する
ことで、センサの異常か他の原因かを区別すようにすれ
ばよい。以下、センサの異常であることの判定に関して
説明する。Embodiment 2 FIG. By the way, even when an abnormality is detected in the above-described abnormality detection by the FFT, for example, a hole may not be formed at the tip of the protection tube 2 but another process variation may occur.
In this case, by comparing data obtained from a plurality of sensors, it may be determined whether the sensor is abnormal or another cause. Hereinafter, the determination of the sensor abnormality will be described.
【００１９】まず、隣接する箇所に配置された３つ以上
のセンサから得られるデータを用いる。各センサから得
られるデータを、前述したのと同様に、フィルタをかけ
るなどの信号処理を行い、ＦＦＴを行う。ついで、得ら
れたＦＦＴの結果の中で、所定の周波数以下の低周波数
の範囲のスペクトルの値を積分して、低周波数成分のパ
ワーを求める。この値に関して、それぞれあらかじめ用
意されている規定値と比較する。この中で、他と異なり
規定値との乖離（求めた低周波数成分のパワーと規定値
に対する倍率）が大きいセンサがあれば、それを異常と
判断する。First, data obtained from three or more sensors arranged at adjacent locations is used. As described above, data obtained from each sensor is subjected to signal processing such as filtering, and FFT is performed. Next, the power of the low frequency component is obtained by integrating the spectrum values in the low frequency range below a predetermined frequency in the obtained FFT results. This value is compared with a prescribed value prepared in advance. Among them, if there is a sensor having a large difference from the specified value (the power of the obtained low-frequency component and the magnification with respect to the specified value), it is determined that the sensor is abnormal.
【００２０】ここで、その乖離の状態が大きいほど、そ
のセンサに異常が発生しているという確信度が高くな
る。ここで、このセンサ異常の判断は、たとえば以下に
示すようにすればよい。全てのセンサの乖離の平均値と
の差の絶対値が一番小さい乖離となっているセンサの乖
離の値をａf とするとき、あるセンサの乖離ａn が、
０．５＜ａn／ａf＜２ならば、乖離ａn を与えるこのセ
ンサは異常なしと判断する。一方、乖離ａn が、ａn/ａ
f≦０．５もしくは２≦ａn/ａfのとき、乖離ａn を与え
るセンサは異常と判断する。Here, the greater the state of the deviation, the higher the certainty that the sensor has an abnormality. Here, the determination of the sensor abnormality may be made as follows, for example. When the value of the offset of the sensor absolute value is in the smallest deviation of the difference between the average value of the deviation of all of the sensors and a f, the deviation a n of a sensor,
0.5 <If a n / a f <2, this sensor providing a divergence a n determines that no abnormality. On the other hand, the divergence a n is, a n / a
When f ≦ 0.5 or 2 ≦ a n / a f, a sensor providing a divergence a n is determined to be abnormal.
【００２１】また、この判断を、ファジィ推論を用いて
行うようにしてもよい。上述したセンサの測定結果のＦ
ＦＴにおける乖離の状態とセンサ異常の程度との関係
を、ファジィルールにより構成する。そして、このファ
ジィルールの後件部における適合度の判断を、所定のメ
ンバシップ関数関数用いて行えばよい。このことによ
り、センサ異常の判断を、より人間の感覚に近い状態で
行うことができる。This determination may be made using fuzzy inference. F of the measurement result of the sensor described above
The relationship between the state of the deviation in the FT and the degree of the sensor abnormality is configured by a fuzzy rule. Then, the degree of conformity in the consequent part of the fuzzy rule may be determined using a predetermined membership function function. Accordingly, the determination of the sensor abnormality can be performed in a state closer to human sense.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、この発明では、温
度センサが所定の時間間隔で測定した所定数の温度測定
データを高速フーリエ変換し、その高速フーリエ変換の
結果の中で、所定の値より低い変動周波数成分の変化量
が規定値以上となったとき、保護管に破損が生じたもの
と判断するようにした。このため、この発明によれば、
粉体や粒体を扱うプロセスの、温度の検出において、こ
の検出異常を迅速に把握できるという効果がある。As described above, according to the present invention, a predetermined number of temperature measurement data measured at predetermined time intervals by a temperature sensor is subjected to a fast Fourier transform, and a predetermined value is included in a result of the fast Fourier transform. When the change amount of the lower fluctuating frequency component exceeds a specified value, it is determined that the protection tube has been damaged. For this reason, according to the present invention,
Process for handling a powder or granules, in the detection of temperature, there is an effect that the this <br/> of detection abnormality can be quickly grasped.
【図１】 温度測定の時系列データを高速フーリエ変換
した結果を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a result of performing a fast Fourier transform on time series data of temperature measurement.
【図２】 キルン内における温度測定の状態を示す構成
図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing a state of temperature measurement in a kiln.
【図３】 キルン内における圧力測定の状態を示す構成
図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing a state of pressure measurement in a kiln.
１…素線、２…保護管、３…端子箱、４…キルン、５…
ガス取り込み管、６…圧力配管、７…圧力センサ、８…
穴（ピンホール）。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... strand, 2 ... protection tube, 3 ... terminal box, 4 ... kiln, 5 ...
Gas intake pipe, 6 ... pressure pipe, 7 ... pressure sensor, 8 ...
Hole (pinhole).
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−202083（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−254000（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−174642（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−154903（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−106131（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01K 1/08 G01K 7/00 - 7/02 G01K 13/00 - 13/08 G01D 21/00 G01R 23/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-61-202083 (JP, A) JP-A-3-254000 (JP, A) JP-A-7-174642 (JP, A) JP-A-2- 154903 (JP, A) Fully open 1987-106131 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01K 1/08 G01K 7 /00-7/02 G01K 13/00- 13/08 G01D 21/00 G01R 23/16
Claims (3)
雰囲気に導通している保護管とから構成された温度セン
サと、前記外部の雰囲気より負圧となっており、前記温
度センサが測定した結果により温度が制御され、流れて
いる粉体および粒体を加熱処理する炉とを備え、前記炉
内の温度を前記温度センサにより測定した結果により、
前記保護管の破損による温度測定異常を検出するセンサ
異常の検出方法において、 前記温度センサが所定の時間間隔で測定した所定数の温
度測定データを高速フーリエ変換し、 前記高速フーリエ変換の結果の中で、所定の値より低い
変動周波数成分の変化量が規定値以上となったとき、前
記保護管に破損が生じたものと判断することを特徴とす
るセンサ異常の検出方法。1. A temperature sensor comprising a temperature detecting section, a protective tube covering the temperature detecting section, and a part of which is electrically connected to an external atmosphere, and the temperature sensor having a lower pressure than the external atmosphere. The temperature is controlled by the result of the measurement, comprising a furnace that heat-treats the flowing powder and granules, the result of measuring the temperature in the furnace by the temperature sensor,
In the method for detecting a sensor abnormality that detects a temperature measurement abnormality due to breakage of the protective tube, a fast Fourier transform is performed on a predetermined number of temperature measurement data measured by the temperature sensor at a predetermined time interval. And detecting a failure in the protection tube when a variation amount of the variable frequency component lower than a predetermined value is equal to or greater than a specified value.
おいて、 前記保護管が金属部材から形成されているときは、前記
高速フーリエ変換の中で、５時間以上の変動周波数成分
の変化量が規定値以上となったとき、前記保護管に破損
が生じたものと判断することを特徴とするセンサ異常の
検出方法。2. The sensor abnormality detection method according to claim 1, wherein when the protective tube is formed of a metal member, a change amount of a fluctuating frequency component of 5 hours or more in the fast Fourier transform is changed. A method for detecting a sensor abnormality, comprising determining that the protection tube has been damaged when the value exceeds a specified value.
出方法において、 前記温度センサを複数備え、その複数の温度センサから
得られる前記変化量のなかで、他と所定値以上異なって
いる変化量の温度センサの保護管に、破損が生じたもの
と判断することを特徴とするセンサ異常の検出方法。 3. A sensor for detecting a sensor abnormality according to claim 1 or 2.
In the output method, a plurality of the temperature sensors are provided, and from the plurality of the temperature sensors,
In the obtained change amount, it differs from the others by a predetermined value or more.
The temperature sensor's protective tube with a certain amount of change is damaged
A method for detecting a sensor abnormality.
Priority Applications (1)
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