JP3259153B2 - Gas laser oscillation device - Google Patents
Gas laser oscillation deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は放電管の軸方向と光軸方
向が一致したガスレーザ発振装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas laser oscillating device in which the axial direction of a discharge tube coincides with the optical axis.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のガスレーザ発振装置について、図
２を参照して説明する。図において、１はガラスなどの
誘電体よりなる放電管であり、２，３は前記放電管１の
内部に設けられた金属電極である。４は前記電極２，３
に接続された高圧電源である。５は両電極２，３間には
さまれた放電管１内の放電空間である。６は全反射鏡、
７は部分反射鏡であり、この全反射鏡６、部分反射鏡７
は前記放電空間５の両端に固定配置され、光共振器を形
成している。８は前記部分反射鏡７より出力されるレー
ザビームである。矢印９はレーザガスの流れる方向を示
しており、軸流形レーザ装置の中を循環している。１０
は送気管であり、１１，１２は前記放電空間５にて放電
及び送風機により温度上昇したレーザガスの温度を下げ
るための熱交換器、１３はレーザガスを循環させるため
の送風機、１４，１５は放電管１を支えるためのメイン
フランジ、１６はメインフランジ１４，１５を支えるた
めのメインパイプである。2. Description of the Related Art FIG.
This will be described with reference to FIG. In the figure, reference numeral 1 denotes a discharge tube made of a dielectric such as glass, and reference numerals 2 and 3 denote metal electrodes provided inside the discharge tube 1. 4 is the electrode 2, 3
High-voltage power supply connected to Reference numeral 5 denotes a discharge space in the discharge tube 1 sandwiched between the electrodes 2 and 3. 6 is a total reflection mirror,
Reference numeral 7 denotes a partial reflecting mirror, and the total reflecting mirror 6 and the partial reflecting mirror 7
Are fixedly arranged at both ends of the discharge space 5 to form an optical resonator. Reference numeral 8 denotes a laser beam output from the partial reflecting mirror 7. The arrow 9 indicates the direction in which the laser gas flows and circulates in the axial flow laser device. 10
Reference numerals 11 and 12 denote heat exchangers for lowering the temperature of the laser gas which has been heated by the discharge and the blower in the discharge space 5, 13 are blowers for circulating the laser gas, and 14 and 15 are discharge tubes. Reference numeral 16 denotes a main pipe for supporting the main flanges 14 and 15.
【０００３】以上が従来例の軸流形レーザ装置の構成で
あり、次にその動作について説明する。The above is the configuration of the conventional axial-flow laser device, and its operation will now be described.
【０００４】まず一対の金属電極２，３に高電圧電源４
から高電圧を印加し、放電空間５にグロー状の放電を発
生させる。放電空間５を通過するレーザガスは、この放
電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガ
スは全反射鏡６および部分反射鏡７により形成された光
共振器で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザビー
ム８が出力される。このレーザビーム８がレーザ加工等
の用途に用いられる。First, a high voltage power supply 4 is applied to a pair of metal electrodes 2 and 3.
, A glow-like discharge is generated in the discharge space 5. The laser gas passing through the discharge space 5 is excited by obtaining this discharge energy, and the excited laser gas is brought into a resonance state by an optical resonator formed by the total reflection mirror 6 and the partial reflection mirror 7, and the laser gas is excited from the partial reflection mirror 7. A laser beam 8 is output. This laser beam 8 is used for applications such as laser processing.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例の
構成では、メインパイプとメインフランジの材質が異な
る場合、メインパイプとメインフランジの熱伝達率が異
なる。従ってメインパイプとメインフランジとの間に温
度差ができ、その接合面における熱伝導により、メイン
フランジに温度差ができ、光共振器が歪み、この歪が安
定するまで設定したレーザ出力を得ることができないと
いう問題点を有していた。However, in the structure of the above-mentioned conventional example, when the material of the main pipe and the main flange are different, the heat transfer coefficient of the main pipe and the main flange is different. Therefore, there is a temperature difference between the main pipe and the main flange. Due to the heat conduction at the joint surface, a temperature difference is generated in the main flange, and the optical resonator is distorted. There was a problem that it was not possible.
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、光共振器の熱歪を低下させることを目的とする。An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to reduce the thermal distortion of an optical resonator.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するためにメインパイプとメインフランジの間の熱
伝導を防止し熱伝導の影響を低減させる構成を有するガ
スレーザ発振装置である。The present invention SUMMARY OF] is a gas laser oscillator having a configuration which prevents heat conduction to reduce the effect of heat conduction between the main pipe and the main flange in order to solve the aforementioned problems .
【０００８】[0008]
【作用】本発明は上記した構成により、メインフランジ
間に温度差ができないので、光共振器の熱歪を防止する
ことができ、安定したレーザ出力を得ることが可能とな
る。According to the present invention, since there is no temperature difference between the main flanges due to the above-mentioned structure, thermal distortion of the optical resonator can be prevented and a stable laser output can be obtained.
【０００９】[0009]
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１０】図１において、図２に示す従来例と同じ構
成部分については同一符号を付している。すなわち１は
ガラスなどの誘電体よりなる放電管であり、２，３は前
記放電管１の内部に設けられた金属電極である。４は前
記電極２，３に接続された高圧電源である。５は両電極
２，３間にはさまれた放電管１内の放電空間である。６
は全反射鏡、７は部分反射鏡であり、この全反射鏡６、
部分反射鏡７は前記放電空間５の両端に固定配置され、
光共振器を形成している。８は前記部分反射鏡７より出
力されるレーザビームである。矢印９はレーザガスの流
れる方向を示しており、軸流形レーザ装置の中を循環し
ている。１０は送気管であり、１１，１２は前記放電空
間５にて放電及び送風機により温度上昇したレーザガス
の温度を下げるための熱交換器、１３はレーザガスを循
環させるための送風機、１４，１５は放電管１を支える
ためのメインフランジ、１６はメインフランジ１４，１
５を支えるためのメインパイプである。そして１７，１
８はメインパイプ１６とメインフランジ１４，１５の接
合部を冷却するための冷却路でありメインパイプ１６と
メインフランジ１４，１５間の熱伝導の影響を防止する
ものである。 In FIG. 1, the same components as those of the conventional example shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. That is, 1 is a discharge tube made of a dielectric material such as glass, and 2 and 3 are metal electrodes provided inside the discharge tube 1. Reference numeral 4 denotes a high-voltage power supply connected to the electrodes 2 and 3. Reference numeral 5 denotes a discharge space in the discharge tube 1 sandwiched between the electrodes 2 and 3. 6
Is a total reflection mirror, and 7 is a partial reflection mirror.
The partial reflecting mirrors 7 are fixedly arranged at both ends of the discharge space 5,
An optical resonator is formed. Reference numeral 8 denotes a laser beam output from the partial reflecting mirror 7. The arrow 9 indicates the direction in which the laser gas flows and circulates in the axial flow laser device. Reference numeral 10 denotes an air supply pipe, reference numerals 11 and 12 denote heat exchangers for lowering the temperature of the laser gas which has been heated by the discharge and the blower in the discharge space 5, reference numeral 13 denotes a blower for circulating the laser gas, and reference numerals 14 and 15 denote discharge. The main flange for supporting the pipe 1 and 16 are the main flanges 14 and 1
5 is the main pipe for supporting. And 17,1
8 is a connection between the main pipe 16 and the main flanges 14 and 15.
It is a cooling passage for cooling the joint,
Prevents the effect of heat conduction between main flanges 14 and 15
Things.
【００１１】[0011]
【発明の効果】以上のように、本発明によればメインパ
イプとメインフランジの間の熱伝導の影響によるメイン
フランジの温度不均一をなくし、光共振器の熱歪を低下
させ、安定したレーザ出力を得ることができる。As described above, according to the present invention, the temperature unevenness of the main flange due to the effect of heat conduction between the main pipe and the main flange is eliminated, the thermal distortion of the optical resonator is reduced, and a stable laser is obtained. You can get the output.
【図１】本発明の実施例におけるガスレーザ発振装置の
構成図FIG. 1 is a configuration diagram of a gas laser oscillation device according to an embodiment of the present invention.
【図２】従来例のガスレーザ発振装置の構成図 FIG. 2 is a configuration diagram of a conventional gas laser oscillation device.
１ 放電管 ２，３ 電極 ４ 高圧電源 ５ 放電空間 ６ 全反射鏡 ７ 部分反射鏡 ８ レーザビーム ９ ガス循環経路 １０ 送気管 １１，１２ レーザガス冷却用熱交換器 １３ レーザガス循環用送風機 １４，１５ メインフランジ １６ メインパイプ １７，１８ 冷却路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Discharge tube 2, 3 electrode 4 High voltage power supply 5 Discharge space 6 Total reflection mirror 7 Partial reflection mirror 8 Laser beam 9 Gas circulation path 10 Air supply pipe 11, 12 Laser gas cooling heat exchanger 13 Laser gas circulation blower 14, 15 Main flange 16 Main pipe 17, 18 Cooling path
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江口 聡 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭56−81988（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−151079（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−147184（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−31183（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/00 - 3/30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Satoshi Eguchi 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma-shi, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-56-81988 (JP, A) JP-A-58- 151079 (JP, A) JP-A-60-147184 (JP, A) JP-A-62-31183 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01S 3 / 00-3 / 30
Claims (1)
電を発生させる電源と、この放電管を支えるメインフラ
ンジと、このメインフランジを支えるメインパイプとを
備え、メインパイプとメインフランジとの接合部に冷却
路を設けたガスレーザ発振装置。1. A power supply for generating a discharge in a discharge tube having a laser gas therein, a main flange supporting the discharge tube, and a main pipe supporting the main flange. cooling
Gas laser oscillation device with a path .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224094A JP3259153B2 (en) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | Gas laser oscillation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224094A JP3259153B2 (en) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | Gas laser oscillation device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07231129A JPH07231129A (en) | 1995-08-29 |
| JP3259153B2 true JP3259153B2 (en) | 2002-02-25 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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|---|---|---|---|---|
| JP6378221B2 (en) * | 2016-02-08 | 2018-08-22 | ファナック株式会社 | Laser oscillation apparatus having a laser medium circulation tube |
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1994
- 1994-02-21 JP JP2224094A patent/JP3259153B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH07231129A (en) | 1995-08-29 |
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