JP3250213B2 - Lead frame, method of manufacturing the same, resin-encapsulated semiconductor device and method of manufacturing the same - Google Patents
Lead frame, method of manufacturing the same, resin-encapsulated semiconductor device and method of manufacturing the sameInfo
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置、詳細
には半導体素子を固着するための広い面積の主面を確保
できる複数の支持板を有する半導体装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly to a semiconductor device having a plurality of support plates capable of securing a large-area main surface for fixing a semiconductor element.
【０００２】[0002]
【従来の技術】互いに電気的に分離された複数の半導体
素子を有する従来の電力型半導体装置では、比較的肉厚
且つ大面積の支持板上にセラミック基板等を配置し、一
方の電力用半導体素子をこのセラミック基板に固着する
と共に、他方の電力用半導体素子を支持板上に固着する
か又は電気的に分離した状態でセラミック基板に固着す
ることにより、一方と他方の電力用半導体素子を電気的
に絶縁していた。しかしながら、この構造は、比較的大
面積のセラミック基板等を必要とするため、半導体装置
のコストアップとなる欠点があった。2. Description of the Related Art In a conventional power semiconductor device having a plurality of semiconductor elements electrically separated from each other, a ceramic substrate or the like is arranged on a support plate having a relatively large thickness and a large area. By fixing the element to the ceramic substrate and fixing the other power semiconductor element on the support plate or by fixing the other power semiconductor element to the ceramic substrate in an electrically separated state, one and the other power semiconductor element are electrically connected to each other. Was electrically insulated. However, this structure requires a relatively large-area ceramic substrate or the like, and thus has a disadvantage of increasing the cost of the semiconductor device.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】他面、互いに分離した
支持板上に電力用半導体素子を固着する構造も提案され
たが、プレス型を使用したプレス成形により比較的厚い
支持板を打ち抜き加工すると、切断部の面積ロスが大き
く支持板の有効利用面積が減少する欠点があった。そこ
で、本発明は、半導体素子を固着するための広い有効利
用面積の主面を確保できる複数の支持板を有するリード
フレーム及びその製造方法並びに樹脂封止型半導体装置
及びその製造方法を提供することを目的とする。On the other hand, there has also been proposed a structure in which power semiconductor elements are fixed on support plates separated from each other. However, there is a disadvantage that the area loss of the cut portion is large and the effective use area of the support plate is reduced. Therefore, the present invention provides a lead frame having a plurality of support plates capable of securing a main surface of a wide effective use area for fixing a semiconductor element, a method of manufacturing the same, and a resin-encapsulated semiconductor device and a method of manufacturing the same. With the goal.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明による半導体装置
用リードフレームは、間隙（９）を介して配置された複
数の支持板（２、３）と、複数の支持板（２、３）に隣
接して配置された複数の外部リード（７）と、複数の外
部リード（７）に対し直角に配置され且つ外部リード
（７）を連結する連結条（１７、１８）とを備えてい
る。この半導体装置用リードフレームでは、複数の支持
板（２、３）は、間隙（９）を介して互いに離間し且つ
半導体装置（４、５）を設置すべき一方の主面（２ａ、
３ａ）と、複数の支持板（２、３）の対向する内側面
（２ｃ、３ｃ）に形成され且つ互いに対向する突起（１
１、１２）とをそれぞれ有し、突起（１１、１２）は、
複数の支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）と
同一平面にある一方の主面（１１ａ、１２ａ）を有し、
突起（１１、１２）の他方の主面（１１ｂ、１２ｂ）と
支持板（２、３）の他方の主面（２ｂ、３ｂ）との間の
間隙（９）に幅が拡大される拡大間隙部（１３）を設け
る。A lead frame for a semiconductor device according to the present invention comprises a plurality of support plates (2, 3) arranged via a gap (9) and a plurality of support plates (2, 3). A plurality of external leads (7) arranged adjacent to each other, and connecting strips (17, 18) arranged at right angles to the plurality of external leads (7) and connecting the external leads (7) are provided. In this semiconductor device lead frame, the plurality of support plates (2, 3) are separated from each other via the gap (9), and one of the main surfaces (2a,
3a) and the projections (1) formed on the opposed inner side surfaces (2c, 3c) of the plurality of support plates (2, 3) and facing each other.
1, 12), and the projections (11, 12)
One main surface (11a, 12a) coplanar with one main surface (2a, 3a) of the plurality of support plates (2, 3);
An enlarged gap whose width is enlarged to a gap (9) between the other main surface (11b, 12b) of the projection (11, 12) and the other main surface (2b, 3b) of the support plate (2, 3). A part (13) is provided.
【０００５】外部リード（７）及び連結条（１７、１
８）で互いに連結された複数の厚い予備支持板（２０）
をプレス型で打ち抜いて厚い複数の支持板（２、３）に
形成するとき、厚い予備支持板（２０）に対応して機械
的強度の大きい幅の広いプレス型を使用しなければなら
ない。幅の広いプレス型を使用すると、間隙（９）の幅
が大きくなり、支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、
３ａ）上に半導体素子（４、５）又は回路基板（６）を
固着するための有効面積が減少する。本発明では、互い
に対向して形成した突起（１１、１２）の主面（１１
ａ、１２ａ）を、互いに同一平面にある複数の支持板
（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）と同一平面とす
るため、支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）
上に半導体素子（４、５）又は回路基板（６）を固着す
るための広い有効面積を確保することができる。また、
支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）側より他
方の主面（２ｂ、３ｂ）側に幅が拡大される拡大間隙部
（１３）を間隙（９）に形成するため、樹脂封止体
（８）を支持板（２、３）の他方の主面（２ｂ、３ｂ）
側にも形成するときに、支持板（２、３）の他方の主面
（２ｂ、３ｂ）側から間隙（９）内に樹脂が流れ易いた
め、未充填部の発生を防止して樹脂封止体（８）を形成
することができる。更に、複数の支持板（２、３）が分
割されているため、支持板（２、３）と樹脂封止体
（８）との熱膨張量差を減少して特性劣化を防止するこ
とができる。更に、厚い支持板（２、３）を熱容量の大
きい放熱板として使用できる。The external leads (7) and the connecting strips (17, 1)
A plurality of thick pre-support plates (20) connected together in 8)
When forming a plurality of thick support plates (2, 3) by stamping with a press die, a wide press die having high mechanical strength corresponding to the thick preliminary support plate (20) must be used. When a wide press die is used, the width of the gap (9) increases, and one of the main surfaces (2a,
The effective area for fixing the semiconductor element (4, 5) or the circuit board (6) on 3a) is reduced. In the present invention, the main surfaces (11, 12) of the projections (11, 12) formed facing each other are provided.
a, 12a) are flush with one main surface (2a, 3a) of the plurality of support plates (2, 3) coplanar with each other, so that one main surface (2, 3) of the support plate (2, 3) is used. 2a, 3a)
A wide effective area for fixing the semiconductor element (4, 5) or the circuit board (6) thereon can be secured. Also,
In order to form an enlarged gap portion (13) in which the width is increased from one main surface (2a, 3a) side of the support plate (2, 3) to the other main surface (2b, 3b) side in the gap (9). And the resin sealing body (8) with the other main surface (2b, 3b) of the support plate (2, 3).
When the resin is formed on the side, the resin easily flows into the gap (9) from the other main surface (2b, 3b) side of the support plate (2, 3). A stop (8) can be formed. Further, since the plurality of support plates (2, 3) are divided, it is possible to reduce the difference in the amount of thermal expansion between the support plates (2, 3) and the resin sealing body (8), thereby preventing the characteristic deterioration. it can. Further, the thick support plate (2, 3) can be used as a heat radiating plate having a large heat capacity.
【０００６】本発明による半導体装置用リードフレーム
の実施の形態では、間隙（９）は、外部リード（７）に
対し並行に形成された第１の間隙部（９ａ）と、第１の
間隙部（９ａ）に接続して第１の間隙部（９ａ）に対し
直角に且つ複数の外部リード（７）が整列する方向と並
行に形成された第２の間隙部（９ｂ）と、第２の間隙部
（９ｂ）に接続して第２の間隙部（９ｂ）に対して直角
で且つ第１の間隙部（９ａ）に対して並行に形成された
第３の間隙部（９ｃ）とを備えている。第１の間隙部
（９ａ）、第２の間隙部（９ｂ）及び第３の間隙部（９
ｃ）はそれぞれ拡大間隙部（１３）を有する。このた
め、樹脂封止体（８）を支持板（２、３）の他方の主面
（２ｂ、３ｂ）側にも形成する場合、ゲートからキャビ
ティ内に圧入される溶融樹脂は第１の間隙部（９ａ）、
第２の間隙部（９ｂ）及び第３の間隙部（９ｃ）並びに
各拡大間隙部（１３）を通り、キャビティ内での溶融樹
脂の円滑な流れを確保することができる。溶融樹脂の流
れを円滑にする拡大間隙部（１３）は段差（３０）又は
テーパ（３１）により形成される。複数の外部リード
（７）の少なくとも１つの外部リード（７ｇ）は支持板
（２、３）の一方に直接接続され、複数の外部リード
（７）の少なくとも１つの外部リード（７ｉ）は支持板
（２、３）の他方に直接接続され、第３の間隙部（９
ｃ）は支持板（２、３）に直接接続された外部リード
（７ｇ、７ｉ）の間に接続される。In the embodiment of the lead frame for a semiconductor device according to the present invention, the gap (9) includes a first gap (9a) formed in parallel with the external lead (7) and a first gap. A second gap (9b) connected to the first gap (9a) and formed perpendicular to the first gap (9a) and parallel to the direction in which the plurality of external leads (7) are aligned; A third gap (9c) connected to the gap (9b) and formed at right angles to the second gap (9b) and parallel to the first gap (9a). ing. The first gap (9a), the second gap (9b) and the third gap (9
c) each have an enlarged gap (13). For this reason, when the resin sealing body (8) is also formed on the other main surface (2b, 3b) side of the support plate (2, 3), the molten resin that is press-fitted into the cavity from the gate is the first gap. Part (9a),
Through the second gap (9b), the third gap (9c), and the respective enlarged gaps (13), a smooth flow of the molten resin in the cavity can be secured. The enlarged gap (13) for smoothing the flow of the molten resin is formed by a step (30) or a taper (31). At least one of the plurality of external leads (7) is directly connected to one of the support plates (2, 3), and at least one of the plurality of external leads (7) is connected to the support plate (7i). (2, 3) is directly connected to the third gap (9).
c) is connected between the external leads (7g, 7i) directly connected to the support plates (2, 3).
【０００７】本発明による半導体装置用リードフレーム
の製造方法は、金属板を所定の形状にプレス成形して、
所定の間隔で配置された複数の予備支持板（２０）と、
予備支持板（２０）の各々の一方の側縁に隣接して並置
された複数の外部リード（７）と、予備支持板（２０）
の側縁に並行に配置され且つ複数の外部リード（７）を
連結する連結条（１７、１８）とを有する予備成形体
（１６）を準備する工程と、第１のプレス型（２１）に
より予備成形体（１６）の予備支持板（２０）の一部を
打ち抜いて予備支持板（２０）を複数の分割予備支持板
（２０ａ、２０ｂ）に分割するギャップ（２４）を形成
する工程と、第１のプレス型（２１）の幅より広い幅を
有する第２のプレス型（２２）により複数の分割予備支
持板（２０ａ、２０ｂ）のギャップ（２４）側を押圧
し、ギャップ（２４）を形成する複数の分割予備支持板
（２０ａ、２０ｂ）の対向する内側面（２５ａ、２５
ｂ）に突起（２８、２９）を形成することにより、支持
板（２、３）の他方の主面（２ｂ、３ｂ）と突起（１
１、１２）により支持板（２、３）の一方の主面（２
ａ、３ａ）側より他方の主面（２ｂ、３ｂ）側に幅が拡
大される拡大間隙部（１３）をギャップ（２４）に形成
する工程とを含む。更に複数の分割予備支持板（２０
ａ、２０ｂ）の内側面（２５ａ、２５ｂ）の対向する突
起（２８、２９）の先端部を第１のプレス型（２１）の
幅より狭い幅を有する第３のプレス型（２３）により同
時に切断する工程又は拡大間隙部（１３）を段差（３
０）又はテーパ（３１）に形成する工程を含んでもよ
い。In a method of manufacturing a lead frame for a semiconductor device according to the present invention, a metal plate is press-molded into a predetermined shape.
A plurality of preliminary support plates (20) arranged at predetermined intervals;
A plurality of external leads (7) juxtaposed adjacent one side edge of each of the preliminary support plates (20); and a preliminary support plate (20).
Preparing a preform (16) having connecting strips (17, 18) arranged in parallel to the side edges of the outer lead and connecting a plurality of external leads (7); and using a first press mold (21). Forming a gap (24) for punching a part of the preliminary support plate (20) of the preform (16) to divide the preliminary support plate (20) into a plurality of divided preliminary support plates (20a, 20b); The gap (24) of the plurality of divided preliminary support plates (20a, 20b) is pressed by a second press die (22) having a width larger than the width of the first press die (21), and the gap (24) is pressed. Opposing inner surfaces (25a, 25) of a plurality of divided preliminary support plates (20a, 20b) to be formed.
b), the other main surfaces (2b, 3b) of the support plates (2, 3) and the protrusions (1) are formed.
1, 12), one main surface (2) of the support plate (2, 3).
a step of forming, in the gap (24), an enlarged gap portion (13) whose width is increased from the a (3a) side to the other main surface (2b, 3b) side. Further, a plurality of divided preliminary support plates (20
a, 20b) at the same time, the tip of the opposing projection (28, 29) on the inner side surface (25a, 25b) by the third press die (23) having a width smaller than the width of the first press die (21). The cutting step or the enlarged gap portion (13) is
0) or a step of forming a taper (31).
【０００８】本発明による樹脂封止型半導体装置は、間
隙（９）を介して配置された複数の支持板（２、３）
と、複数の支持板（２、３）の少なくとも一方の主面
（２ａ、３ａ）に固着された複数の半導体素子（４、
５）と、半導体素子（４、５）の電極に接続されたリー
ド細線（１０ａ〜１０ｊ）と、支持板（２、３）に隣接
して配置された複数の外部リード（７）と、支持板
（２、３）、半導体素子（４、５）、リード細線（１０
ａ〜１０ｊ）及び外部リード（７）の一部を封止する樹
脂封止体（８）とを備えている。外部リード（７）の端
部は樹脂封止体（８）から導出される。複数の支持板
（２、３）は、間隙（９）を介して互いに離間し、複数
の支持板（２、３）の対向する内側面（２ｃ、３ｃ）に
形成され且つ互いに対向する突起（１１、１２）とをそ
れぞれ有し、突起（１１、１２）は、複数の支持板
（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）と同一平面にあ
る一方の主面（１１ａ、１２ａ）を有し、突起（１１、
１２）の他方の主面（１１ｂ、１２ｂ）と支持板（２、
３）の他方の主面（２ｂ、３ｂ）との間の間隙（９）に
幅が拡大される拡大間隙部（１３）を設ける。支持板
（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）の延長上の突起
（１１、１２）に複数の半導体素子（４、５）の少なく
とも１つを固着する。支持板（２、３）の一方の主面
（２ａ、３ａ）と同一平面となる突起（１１、１２）を
形成するので、支持板（２、３）の間で確実に電気的に
絶縁すると共に、半導体素子（４、５）を固着する一方
の主面（２ａ、３ａ）の有効利用面積を増大することが
できる。本発明の実施の形態では、リード細線（１０ａ
〜１０ｊ）の少なくとも一部は、間隙（９）を横断して
一方の半導体素子（４）の電極と他方の半導体素子
（５）の電極との間を電気的に接続する。複数の支持板
（２、３）の少なくとも一方に回路基板（６）を固着
し、複数のリード細線（１０ａ〜１０ｊ）の少なくとも
一部は半導体素子（４、５）の電極と回路基板（６）の
電極とを接続する。The resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention comprises a plurality of support plates (2, 3) arranged with a gap (9) therebetween.
A plurality of semiconductor elements (4, 3) fixed to at least one main surface (2a, 3a) of the plurality of support plates (2, 3);
5), lead wires (10a to 10j) connected to the electrodes of the semiconductor elements (4, 5), a plurality of external leads (7) arranged adjacent to the support plates (2, 3), Board (2, 3), semiconductor element (4, 5), lead thin wire (10
a to 10j) and a resin sealing body (8) for sealing a part of the external lead (7). The end of the external lead (7) is led out of the resin sealing body (8). The plurality of support plates (2, 3) are separated from each other via a gap (9), and are formed on opposed inner surfaces (2c, 3c) of the plurality of support plates (2, 3) and oppose each other. 11 and 12), and the projections (11 and 12) are provided on one main surface (11a, 12a) on the same plane as one main surface (2a, 3a) of the plurality of support plates (2, 3). ), And a projection (11,
12) and the other main surface (11b, 12b) and the support plate (2,
An enlarged gap portion (13) whose width is increased is provided in a gap (9) between the other main surface (2b, 3b) of 3). At least one of the plurality of semiconductor elements (4, 5) is fixed to projections (11, 12) on the extension of one main surface (2a, 3a) of the support plate (2, 3). Since the projections (11, 12) are formed so as to be flush with one of the main surfaces (2a, 3a) of the support plates (2, 3), they are reliably electrically insulated between the support plates (2, 3). At the same time, the effective use area of one main surface (2a, 3a) for fixing the semiconductor element (4, 5) can be increased. In the embodiment of the present invention, the lead thin wire (10a
At least a part of each of the semiconductor elements (4) to (10j) electrically connects the electrode of one semiconductor element (4) and the electrode of the other semiconductor element (5) across the gap (9). A circuit board (6) is fixed to at least one of the plurality of support plates (2, 3), and at least a part of the plurality of fine lead wires (10a to 10j) is connected to the electrodes of the semiconductor elements (4, 5) and the circuit board (6). ) Is connected to the electrode.
【０００９】本発明による樹脂封止型半導体装置の製造
方法は、本発明の製造方法により製造した半導体装置用
リードフレームの支持板（２、３）の一方の主面（２
ａ、３ａ）の延長上の突起（１１、１２）に複数の半導
体素子（４、５）の少なくとも１つを固着する工程と、
半導体素子（４、５）の電極にリード細線（１０ａ〜１
０ｊ）を接続する工程と、支持板（２、３）、半導体素
子（４、５）、リード細線（１０ａ〜１０ｊ）及び外部
リード（７）の一部を封止する樹脂封止体（８）を形成
する工程と、連結条（１７、１８）を切断して除去し、
複数の樹脂封止型半導体装置（１）を得る工程とを含
む。複数の支持板（２、３）の少なくとも一方に回路基
板（６）を固着する工程と、複数のリード細線（１０ａ
〜１０ｊ）の少なくとも一部によって半導体素子（４、
５）の電極と回路基板（６）の電極とを接続する工程と
を含んでもよい。The method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention is directed to a method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention.
a) fixing at least one of the plurality of semiconductor elements (4, 5) to the projection (11, 12) on the extension of the extension of (a, 3a);
Lead wires (10a-1) are connected to the electrodes of the semiconductor elements (4, 5).
0j) and a resin sealing body (8) for sealing a part of the supporting plates (2, 3), the semiconductor elements (4, 5), the fine wires (10a to 10j) and the external leads (7). ) And cutting and removing the connecting strips (17, 18);
Obtaining a plurality of resin-encapsulated semiconductor devices (1). Fixing the circuit board (6) to at least one of the plurality of support plates (2, 3);
To 10 j) by at least a part of the semiconductor element (4,
5) connecting the electrode of the circuit board (6) to the electrode of the circuit board (6).
【００１０】第１、第２及び第３のプレス型（２１〜２
３）を使用して、一対の分割予備支持板（２０ａ、２０
ｂ）の内側面（２５ａ、２５ｂ）を同時にプレス加工で
きるので、効率的に製造することができる。The first, second and third press dies (21 to 2)
3) using a pair of divided preliminary support plates (20a, 20a).
Since the inner surfaces (25a, 25b) of b) can be pressed at the same time, it can be manufactured efficiently.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明によるリードフレー
ム及びその製造方法並びに樹脂封止型半導体装置及びそ
の製造方法の実施の形態を図１〜図５について説明す
る。図１及び図２に示す本発明による樹脂封止型半導体
装置（１）は、間隙（９）を介して配置された複数の支
持板（２、３）と、支持板（２）の一方の主面（２ａ）
に固着された半導体素子（４）と、支持板（３）の一方
の主面（３ａ）に固着された半導体素子（５）及び回路
基板（６）と、半導体素子（４）及び半導体素子（５）
の電極等に接続されたリード細線（１０ａ〜１０ｊ）
と、支持板（２、３）に隣接して配置された複数の外部
リード（７）と、支持板（２、３）、半導体素子（４、
５）、回路基板（６）、リード細線（１０ａ〜１０ｊ）
及び外部リード（７）の一部を封止する樹脂封止体
（８）とを備えている。外部リード（７）の端部は樹脂
封止体（８）から導出される。また、樹脂封止体（８）
は支持板（２、３）の両主面を被覆する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a lead frame, a method of manufacturing the same, a resin-sealed semiconductor device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described below with reference to FIGS. The resin-encapsulated semiconductor device (1) according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 includes a plurality of support plates (2, 3) arranged via a gap (9) and one of the support plates (2). Main surface (2a)
A semiconductor element (4) fixed to the substrate, a semiconductor element (5) and a circuit board (6) fixed to one main surface (3a) of the support plate (3), a semiconductor element (4) and a semiconductor element ( 5)
Lead wires (10a to 10j) connected to the electrodes etc.
A plurality of external leads (7) arranged adjacent to the support plates (2, 3); the support plates (2, 3);
5), circuit board (6), fine lead wires (10a to 10j)
And a resin sealing body (8) for sealing a part of the external lead (7). The end of the external lead (7) is led out of the resin sealing body (8). In addition, a resin sealing body (8)
Covers both main surfaces of the support plates (2, 3).
【００１２】図２に示すように、樹脂封止型半導体装置
（１）では、間隙（９）を形成する複数の支持板（２、
３）の対向する内側面（２ｃ、３ｃ）に互いに対向して
肉薄の突起（１１、１２）が形成される。突起（１１、
１２）の主面（１１ａ、１２ａ）は、互いに同一平面に
ある複数の支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、３
ａ）と同一平面に形成される。突起（１１、１２）の他
方の主面（１１ｂ、１２ｂ）と支持板（２、３）の他方
の主面（２ｂ、３ｂ）との間の間隙（９）に幅が拡大さ
れる拡大間隙部（１３）が段差（３０）によって形成さ
れる。支持板（２）の一方の主面（２ａ）の延長上の突
起（１１）に第１の半導体素子（４）が固着される。ま
た、支持板（３）の一方の主面（３ａ）の延長上の突起
（１２）に第２の半導体素子（５）を固着する。間隙
（９）を横断して一方の半導体素子（４）の電極と回路
基板（６）の電極とをリード細線（１０ａ及び１０ｂ）
により接続し、他方の半導体素子（５）の電極と回路基
板（６）の電極とをリード細線（１０ｃ及び１０ｄ）に
より電気的に接続する。間隙（９）は、外部リード
（７）に対し並行に形成された第１の間隙部（９ａ）
と、第１の間隙部（９ａ）に接続して第１の間隙部（９
ａ）に対し直角に且つ複数の外部リード（７）が整列す
る方向と並行に形成された第２の間隙部（９ｂ）と、第
２の間隙部（９ｂ）に接続して第２の間隙部（９ｂ）に
対して直角で且つ第１の間隙部（９ａ）に対して並行に
形成された第３の間隙部（９ｃ）とを備えている。第１
の間隙部（９ａ）、第２の間隙部（９ｂ）及び第３の間
隙部（９ｃ）はそれぞれ段差（３０）による拡大間隙部
（１３）を有する。このため、樹脂封止体（８）を形成
する際に、ゲートからキャビティ内に圧入される溶融樹
脂は第１の間隙部（９ａ）、第２の間隙部（９ｂ）及び
第３の間隙部（９ｃ）並びに各拡大間隙部（１３）を通
り、キャビティ内での円滑な溶融樹脂の流れを確保する
ことができる。第３の間隙部（９ｃ）の延長部は外部リ
ード（７ｈ）と（７ｉ）との間に延びる。本実施の形態
では、整列する外部リード（７）とは反対側の支持板
（２、３）の外側面（２ｄ、３ｄ）にも段差（３０）が
形成される。As shown in FIG. 2, in the resin-encapsulated semiconductor device (1), a plurality of support plates (2,
Thin projections (11, 12) are formed facing each other on the inner side surfaces (2c, 3c) of 3). Protrusions (11,
The principal surfaces (11a, 12a) of one of the plurality of support plates (2, 3) coplanar with each other.
It is formed on the same plane as a). An enlarged gap whose width is enlarged to a gap (9) between the other main surface (11b, 12b) of the projection (11, 12) and the other main surface (2b, 3b) of the support plate (2, 3). The part (13) is formed by the step (30). A first semiconductor element (4) is fixed to a projection (11) on an extension of one main surface (2a) of the support plate (2). Further, the second semiconductor element (5) is fixed to the protrusion (12) on the extension of the one main surface (3a) of the support plate (3). The electrode of one semiconductor element (4) and the electrode of the circuit board (6) are connected to the thin wires (10a and 10b) across the gap (9).
And the electrode of the other semiconductor element (5) and the electrode of the circuit board (6) are electrically connected by thin lead wires (10c and 10d). The gap (9) is a first gap (9a) formed in parallel with the external lead (7).
And the first gap (9a) connected to the first gap (9a).
a) a second gap (9b) formed at right angles to and parallel to the direction in which the plurality of external leads (7) are aligned; and a second gap connected to the second gap (9b). A third gap (9c) formed at right angles to the section (9b) and parallel to the first gap (9a). First
The gap (9a), the second gap (9b) and the third gap (9c) each have an enlarged gap (13) due to a step (30). For this reason, when forming the resin sealing body (8), the molten resin pressed into the cavity from the gate is filled with the first gap (9a), the second gap (9b), and the third gap. (9c) and a smooth flow of the molten resin in the cavity through each enlarged gap (13) can be ensured. The extension of the third gap (9c) extends between the external leads (7h) and (7i). In the present embodiment, a step (30) is also formed on the outer surfaces (2d, 3d) of the support plates (2, 3) on the side opposite to the aligned external leads (7).
【００１３】複数の外部リード（７）のうち外部リード
（７ｇ）は支持板（２、３）の一方に直接接続され、外
部リード（７ｉ）は支持板（２、３）の他方に直接接続
され、第３の間隙部（９ｃ）は支持板（２、３）に直接
接続された外部リード（７ｇ、７ｉ）の間に接続され
る。リード細線（１０ｅ〜１０ｊ）は回路基板（６）の
電極と外部リード（７ａ〜７ｆ）とを電気的に接続す
る。The external lead (7g) of the plurality of external leads (7) is directly connected to one of the support plates (2, 3), and the external lead (7i) is directly connected to the other of the support plates (2, 3). The third gap (9c) is connected between external leads (7g, 7i) directly connected to the support plates (2, 3). The thin lead wires (10e to 10j) electrically connect the electrodes of the circuit board (6) and the external leads (7a to 7f).
【００１４】支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、３
ａ）と同一平面となる突起（１１、１２）を形成するの
で、支持板（２、３）の間で確実に電気的に絶縁すると
共に、半導体素子（４、５）を固着する一方の主面（２
ａ、３ａ）の有効利用面積を増大することができる。One main surface (2a, 3a) of the support plate (2, 3)
Since the projections (11, 12) are formed on the same plane as in (a), it is ensured that the support plates (2, 3) are electrically insulated from each other, and one of the main members for fixing the semiconductor element (4, 5). Face (2
a, 3a) The effective use area can be increased.
【００１５】樹脂封止型半導体装置（１）の製造に使用
する半導体装置用リードフレームは、間隙（９）を介し
て配置された複数の支持板（２、３）と、複数の支持板
（２、３）に隣接して配置された複数の外部リード
（７）と、複数の外部リード（７）に対し直角に配置さ
れ且つ外部リード（７）を連結する連結条（１７、１
８）とを備えている。この半導体装置用リードフレーム
では、間隙（９）を形成する複数の支持板（２、３）の
対向する内側面（２ｃ、３ｃ）に互いに対向して突起
（１１、１２）が形成される。突起（１１、１２）の主
面（１１ａ、１２ａ）は、互いに同一平面にある複数の
支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）と同一平
面となる。また、突起（１１、１２）の他方の主面（１
１ｂ、１２ｂ）と支持板（２、３）の他方の主面（２
ｂ、３ｂ）との間の間隙（９）に幅が拡大される拡大間
隙部（１３）が段差（３０）によって形成される。A lead frame for a semiconductor device used for manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device (1) has a plurality of support plates (2, 3) arranged via a gap (9) and a plurality of support plates (2, 3). A plurality of external leads (7) arranged adjacent to (2, 3) and connecting strips (17, 1) arranged at right angles to the plurality of external leads (7) and connecting the external leads (7);
8). In this semiconductor device lead frame, projections (11, 12) are formed facing each other on inner surfaces (2c, 3c) of a plurality of support plates (2, 3) forming a gap (9). The main surfaces (11a, 12a) of the projections (11, 12) are coplanar with one main surface (2a, 3a) of the plurality of support plates (2, 3) coplanar with each other. Also, the other main surface (1) of the projection (11, 12)
1b, 12b) and the other main surface (2) of the support plate (2, 3).
An enlarged gap portion (13) whose width is enlarged is formed by the step (30) in the gap (9) between the gap (3) and (3b).
【００１６】この半導体装置用リードフレームの製造の
際に、図３ａ及び図４に示す予備成形体（１６）を準備
する。予備成形体（１６）は、金属板を所定の形状にプ
レス成形して、所定の間隔で配置された複数の予備支持
板（２０）と、予備支持板（２０）の各々の一方の側縁
に隣接して並置された複数の外部リード（７）と、予備
支持板（２０）の側縁に並行に配置され且つ複数の外部
リード（７）を連結する連結条（１７、１８）とを有す
る。図４には単一の予備支持板（２０）を示すが、実際
のリードフレームでは、外部リード（７）及び連結条
（１７、１８）によって一列に配置された複数の予備支
持板（２０）が互いに接続されている。In manufacturing the lead frame for a semiconductor device, a preform (16) shown in FIGS. 3A and 4 is prepared. The preform (16) is formed by press-forming a metal plate into a predetermined shape, a plurality of preliminary support plates (20) arranged at predetermined intervals, and one side edge of each of the preliminary support plates (20). A plurality of external leads (7) juxtaposed adjacent to each other, and connecting strips (17, 18) arranged parallel to the side edges of the preliminary support plate (20) and connecting the plurality of external leads (7). Have. FIG. 4 shows a single auxiliary support plate (20), but in an actual lead frame, a plurality of auxiliary support plates (20) arranged in a row by external leads (7) and connecting strips (17, 18). Are connected to each other.
【００１７】次に、図３に示すように、第１のプレス型
（２１）により予備成形体（１６）の予備支持板（２
０）の一部を打ち抜いて、図３（ｂ）に示すように、予
備支持板（２０）を複数の分割予備支持板（２０ａ、２
０ｂ）に分割するギャップ（２４）を形成する。Next, as shown in FIG. 3, a first press die (21) is used to hold a preliminary support plate (2) of a preform (16).
0), a preliminary supporting plate (20) is divided into a plurality of divided preliminary supporting plates (20a, 2a) as shown in FIG.
A gap (24) is formed which is divided into 0b).
【００１８】その後、第１のプレス型（２１）の幅より
広い幅を有する第２のプレス型（２２）により複数の分
割予備支持板（２０ａ、２０ｂ）のギャップ（２４）側
を押圧し、ギャップ（２４）を形成する複数の分割予備
支持板（２０ａ、２０ｂ）の対向する内側面（２５ａ、
２５ｂ）に突起（２８、２９）及び段差（２６、２７）
を同時に形成する。続いて、図３（ｃ）に示すように、
複数の分割予備支持板（２０ａ、２０ｂ）の内側面（２
５ａ、２５ｂ）の対向する突起（２８、２９）の丸い先
端部を第１のプレス型（２１）の幅より狭い幅を有する
第３のプレス型（２３）により同時に切断して除去し、
図３（ｄ）に示す突起（１１、１２）を有する支持板
（２、３）を作成する。これにより、突起（１１、１
２）の他方の主面（１１ｂ、１２ｂ）と支持板（２、
３）の他方の主面（２ｂ、３ｂ）との間の間隙（９）に
幅が拡大される拡大間隙部（１３）が段差（３０）によ
って形成される。突起（２８、２９）の間に形成される
間隙（９）の幅は約０.５ｍｍである。Thereafter, the gap (24) side of the plurality of divided preliminary support plates (20a, 20b) is pressed by a second press die (22) having a width wider than the width of the first press die (21). Opposing inner surfaces (25a, 25a, 20a, 20b) of the plurality of divided preliminary support plates (20a, 20b) forming the gap (24).
Projections (28, 29) and steps (26, 27) on 25b)
Are simultaneously formed. Subsequently, as shown in FIG.
The inner surface (2) of the plurality of divided preliminary support plates (20a, 20b)
5a, 25b) the rounded tips of the opposing protrusions (28, 29) are simultaneously cut and removed by a third press die (23) having a width smaller than the width of the first press die (21);
A support plate (2, 3) having protrusions (11, 12) shown in FIG. Thereby, the protrusions (11, 1)
2) The other main surface (11b, 12b) and the support plate (2,
An enlarged gap portion (13) whose width is enlarged is formed by a step (30) in a gap (9) between the other main surface (2b, 3b) of 3). The width of the gap (9) formed between the projections (28, 29) is about 0.5 mm.
【００１９】この半導体装置用リードフレームから本発
明による樹脂封止型半導体装置を製造するときは、上記
のように、得られた半導体装置用リードフレームの支持
板（２）の一方の主面（２ａ）の延長上の突起（１１）
に半導体素子（４）をろう材（半田）（１５）等により
固着すると共に、回路基板（６）を支持板（２）の一方
の主面（２ａ）にろう材（半田）（１５）等により固着
する。また、他方の支持板（３）の一方の主面（３ａ）
の延長上の突起（１２）に半導体素子（５）をろう材
（半田）（１５）等により固着する。次に、半導体素子
（４、５）の電極、回路基板（６）の電極及び外部リー
ド（７）との間にリード細線（１０ａ〜１０ｊ）を接続
する。その後、支持板（２、３）、半導体素子（４、
５）、回路基板（６）、リード細線（１０ａ〜１０ｊ）
及び外部リード（７）の一部を封止する樹脂封止体
（８）を形成する。最後に、連結条（１７、１８）を切
断して除去し、複数の樹脂封止型半導体装置を完成す
る。When the resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention is manufactured from the semiconductor device lead frame, as described above, one of the main surfaces (1) of the support plate (2) of the obtained semiconductor device lead frame is used. Projection (11) on extension of 2a)
The semiconductor element (4) is fixed to the substrate with a brazing material (solder) (15) or the like, and the circuit board (6) is mounted on one main surface (2a) of the support plate (2) with a brazing material (solder) (15) or the like To stick. Also, one main surface (3a) of the other support plate (3)
The semiconductor element (5) is fixed to the protrusion (12) on the extension of the above by a brazing material (solder) (15) or the like. Next, lead wires (10a to 10j) are connected between the electrodes of the semiconductor elements (4, 5), the electrodes of the circuit board (6), and the external leads (7). Then, the support plates (2, 3), the semiconductor elements (4,
5), circuit board (6), fine lead wires (10a to 10j)
Then, a resin sealing body (8) for sealing a part of the external lead (7) is formed. Finally, the connecting strips (17, 18) are cut and removed to complete a plurality of resin-sealed semiconductor devices.
【００２０】第１、第２及び第３のプレス型（２１〜２
３）を使用して、一対の分割予備支持板（２０ａ、２０
ｂ）の内側面（２５ａ、２５ｂ）を同時にプレス加工で
きるので、効率的に製造することができる。First, second and third press dies (21 to 2)
3) using a pair of divided preliminary support plates (20a, 20a).
Since the inner surfaces (25a, 25b) of b) can be pressed at the same time, it can be manufactured efficiently.
【００２１】本発明の実施の形態での作用効果を列挙す
れば次の通りである。 ［１］ 支持板（２、３）の一方の主面（２ａ、３ａ）
と同一平面となる突起（１１、１２）を形成するので、
支持板（２、３）の間で確実に電気的に絶縁すると共
に、半導体素子（４、５）を固着する一方の主面（２
ａ、３ａ）の有効利用面積を増大することができる。 ［２］ 突起（１１、１２）の他方の主面（１１ｂ、１
２ｂ）と支持板（２、３）の他方の主面（２ｂ、３ｂ）
との間の間隙（９）に幅が拡大される拡大間隙部（１
３）を設けるため、支持板（２、３）の両主面（２ａ、
３ａ）（２ｂ、３ｂ）を被覆する樹脂封止体（８）を形
成するときに、支持板（２、３）の他方の主面（２ｂ、
３ｂ）側から間隙（９）内に樹脂が流れ易いため、未充
填部の発生を防止して樹脂封止体（８）を形成すること
ができる。 ［３］ 複数の支持板（２、３）が分割されているた
め、支持板（２、３）と樹脂封止体（８）との熱膨張量
差を減少して特性劣化を防止することができる。更に、
厚さ大きい支持板（２、３）を熱容量の大きい放熱板と
して使用できる。 ［４］ 比較的厚い支持板（２、３）でも所望形状及び
幅の間隙（９）を容易に形成することができる。 ［５］ 間隙（９）の第１の間隙部（９ａ）〜第３の間
隙部（９ｃ）に沿って溶融樹脂が円滑に流れる。 ［６］ 突起（１１、１２）による段差（３０）を形成
するため、支持板（２、３）の他方の主面（２ｂ、３
ｂ）から一方の主面（２ａ、３ａ）に至る沿面距離が増
加するため、他方の主面（２ｂ、３ｂ）からの異物侵入
の防止が図られる。 ［７］ 支持板（２、３）の間に形成された間隙（９）
に封止用樹脂が充填されるため、樹脂封止体（８）が支
持板（２、３）の主面（２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ）から
剥離せずに強固に密着する。 ［８］ 一方の主面（２ａ、３ａ）の有効利用面積を増
大しても、コストアップを抑制することができる。The functions and effects of the embodiment of the present invention are as follows. [1] One main surface (2a, 3a) of the support plate (2, 3)
Since projections (11, 12) are formed on the same plane as
One of the main surfaces (2) on which the semiconductor elements (4, 5) are firmly fixed, while ensuring electrical insulation between the support plates (2, 3).
a, 3a) The effective use area can be increased. [2] The other main surface (11b, 1) of the projection (11, 12)
2b) and the other main surface (2b, 3b) of the support plate (2, 3)
The enlarged gap (1) whose width is enlarged to the gap (9) between
3), the two main surfaces (2a, 2a) of the support plates (2, 3) are provided.
3a) When forming the resin sealing body (8) covering (2b, 3b), the other main surface (2b, 2b) of the support plate (2, 3) is formed.
Since the resin easily flows into the gap (9) from the 3b) side, the generation of the unfilled portion can be prevented, and the resin sealing body (8) can be formed. [3] Since the plurality of support plates (2, 3) are divided, the difference in the amount of thermal expansion between the support plates (2, 3) and the resin sealing body (8) is reduced to prevent characteristic deterioration. Can be. Furthermore,
The supporting plate (2, 3) having a large thickness can be used as a heat radiating plate having a large heat capacity. [4] A gap (9) having a desired shape and width can be easily formed even with a relatively thick support plate (2, 3). [5] The molten resin flows smoothly along the first gap portion (9a) to the third gap portion (9c) of the gap (9). [6] The other main surface (2b, 3) of the support plate (2, 3) is formed in order to form the step (30) by the projections (11, 12).
Since the creeping distance from b) to one of the main surfaces (2a, 3a) is increased, it is possible to prevent foreign matter from entering from the other main surface (2b, 3b). [7] A gap (9) formed between the support plates (2, 3)
Is filled with the sealing resin, the resin sealing body (8) firmly adheres without peeling from the main surfaces (2a, 2b, 3a, 3b) of the support plates (2, 3). [8] Even if the effective use area of the one main surface (2a, 3a) is increased, it is possible to suppress an increase in cost.
【００２２】本発明の前記実施の形態は種々の変更が可
能である。例えば、第１の半導体素子（４）の上面電極
と第２の半導体素子（５）の上面電極との間にリード細
線を接続してもよい。この場合、第１の半導体素子
（４）と第２の半導体素子（５）とを接近して配置でき
るため、短いリード細線で上面電極を接続することがで
きる。また、例えば、拡大間隙部（１３）は１段でなく
複数の段を形成してもよい。また、図５に示すように、
テーパ部（２２ａ）を形成した第２のプレス型（２２）
を使用することによって分割予備支持板（２０ａ、２０
ｂ）の対向する内側面（２５ａ、２５ｂ）に形成したテ
ーパ（３１）により拡大間隙部（１３）を形成してもよ
い。Various modifications can be made to the above embodiment of the present invention. For example, a thin lead wire may be connected between the upper surface electrode of the first semiconductor element (4) and the upper surface electrode of the second semiconductor element (5). In this case, since the first semiconductor element (4) and the second semiconductor element (5) can be arranged close to each other, the top electrode can be connected by a short lead wire. Also, for example, the enlarged gap portion (13) may be formed in a plurality of steps instead of one step. Also, as shown in FIG.
Second press die (22) having tapered portion (22a)
By using the divided preliminary supporting plates (20a, 20a).
The enlarged gap (13) may be formed by the taper (31) formed on the opposed inner surfaces (25a, 25b) of (b).
【００２３】[0023]
【発明の効果】前記のように、本発明では、支持板の一
方の主面と同一平面となる突起を形成するので、支持板
の間で確実に電気的に絶縁すると共に、半導体素子を固
着する一方の主面の有効利用面積を増大することができ
るので、信頼性が高く且つ低コストの樹脂封止型半導体
装置が得られる。As described above, according to the present invention, since the projection is formed so as to be flush with one of the main surfaces of the support plate, it is ensured that the support plate is electrically insulated and the semiconductor element is fixed. Since the effective use area of the main surface can be increased, a highly reliable and low-cost resin-encapsulated semiconductor device can be obtained.
【図１】 本発明によるリードフレーム及び樹脂封止型
半導体装置の平面図FIG. 1 is a plan view of a lead frame and a resin-sealed semiconductor device according to the present invention.
【図２】 図１のII−II線に沿う断面図FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG.
【図３】 本発明による樹脂封止型半導体装置の製造工
程を示すブロック図FIG. 3 is a block diagram showing a manufacturing process of the resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention.
【図４】 リードフレームを製造する予備成形体の平面
図FIG. 4 is a plan view of a preform for manufacturing a lead frame.
【図５】 本発明による樹脂封止型半導体装置の製造工
程の他の実施の形態を示すブロック図FIG. 5 is a block diagram showing another embodiment of the manufacturing process of the resin-sealed semiconductor device according to the present invention.
（２、３）・・支持板、 （２ａ、３ａ）・・一方の主
面、 （２ｂ、３ｂ）・・他方の主面、 （２ｃ、３
ｃ）・・内側面、 （２ｄ、３ｄ）・・外側面、（４、
５）・・半導体素子、 （６）・・回路基板、 （７）
・・外部リード、 （８）・・樹脂封止体、 （９）・
・間隙、 （９ａ）・・第１の間隙部、（９ｂ）・・第
２の間隙部、 （９ｃ）・・第３の間隙部、 （１０ａ
〜１０ｊ）・・リード細線、 （１１、１２）・・突
起、 （１３）・・拡大間隙部、（１５）・・ろう材、
（２０）・・予備支持板、 （２０ａ、２０ｂ）・・
分割予備支持板、 （２１）・・第１のプレス型、
（２２）・・第２のプレス型、 （２３）・・第３のプ
レス型、 （２４）・・ギャップ、 （２５ａ、２５
ｂ）・・内側面、 （２６、２７）・・段差、 （２
８、２９）・・突起、（３０）・・段差、 （３１）・
・テーパ、(2, 3) support plate, (2a, 3a) one main surface, (2b, 3b) other main surface, (2c, 3c)
c) Inner surface, (2d, 3d) Outer surface, (4,
5) .. Semiconductor element, (6) .. Circuit board, (7)
..External leads, (8) .Resin-sealed bodies, (9).
· Gap, (9a) ··· First gap, (9b) · · · Second gap, (9c) · · · Third gap, (10a)
-10j) Lead wire, (11, 12) Projection, (13) Enlarged gap, (15) Brazing material,
(20) Preliminary support plate, (20a, 20b)
Split pre-support plate, (21) first press die,
(22) ··· Second press die, (23) ··· Third press die, (24) · Gap, (25a, 25)
b) Inner surface, (26, 27) Step, (2
8, 29) Projection, (30) Step, (31)
・ Taper,
Claims (13)
と、複数の該支持板に隣接して配置された複数の外部リ
ードと、複数の該外部リードに対し直角に配置され且つ
該外部リードを連結する連結条とを備えた半導体装置用
リードフレームにおいて、 複数の前記支持板は、前記間隙を介して互いに離間し且
つ半導体装置を設置すべき一方の主面と、複数の前記支
持板の対向する内側面に形成され且つ互いに対向する突
起とをそれぞれ有し、 該突起は、複数の前記支持板の一方の主面と同一平面に
ある一方の主面を有し、 前記突起の他方の主面と前記支持板の他方の主面との間
の前記間隙に幅が拡大される拡大間隙部を設けたことを
特徴とする半導体装置用リードフレーム。1. A plurality of support plates arranged via a gap, a plurality of external leads arranged adjacent to the plurality of support plates, and a plurality of external leads arranged at right angles to the plurality of external leads and A lead frame for connecting a lead, the plurality of support plates being separated from each other via the gap, and one main surface on which a semiconductor device is to be installed; and a plurality of the support plates. And projections formed on opposed inner surfaces of the support plate, and the projections have one main surface flush with one main surface of the plurality of support plates, and the other of the protrusions A lead frame for a semiconductor device, wherein an enlarged gap portion having an increased width is provided in the gap between the main surface of the support plate and the other main surface of the support plate.
に形成された第１の間隙部と、該第１の間隙部に接続し
て該第１の間隙部に対し直角に且つ複数の前記外部リー
ドが整列する方向と並行に形成された第２の間隙部と、
該第２の間隙部に接続して該第２の間隙部に対して直角
で且つ第１の間隙部に対して並行に形成された第３の間
隙部とを備え、前記第１の間隙部、第２の間隙部及び第
３の間隙部はそれぞれ拡大間隙部を有する請求項１に記
載の半導体装置用リードフレーム。A second gap formed in parallel with the external lead; and a plurality of the gaps connected to the first gap and perpendicular to the first gap. A second gap formed parallel to the direction in which the external leads are aligned;
A third gap connected to the second gap and perpendicular to the second gap and parallel to the first gap; 2. The lead frame for a semiconductor device according to claim 1, wherein the second gap and the third gap each have an enlarged gap.
形成される請求項１に記載の半導体装置用リードフレー
ム。3. The lead frame for a semiconductor device according to claim 1, wherein the enlarged gap portion is formed by a step or a taper.
の外部リードは前記支持板の一方に直接接続され、複数
の前記外部リードの少なくとも１つの外部リードは前記
支持板の他方に直接接続され、前記第３の間隙部は前記
支持板に直接接続された外部リードの間に接続される請
求項２に記載の半導体装置用リードフレーム。4. At least one of the plurality of external leads is directly connected to one of the support plates, and at least one of the plurality of external leads is directly connected to the other of the support plates. 3. The lead frame for a semiconductor device according to claim 2, wherein the third gap is connected between external leads directly connected to the support plate.
所定の間隔で配置された複数の予備支持板と、該予備支
持板の各々の一方の側縁に隣接して並置された複数の外
部リードと、前記予備支持板の前記側縁に並行に配置さ
れ且つ複数の該外部リードを連結する連結条とを有する
予備成形体を準備する工程と、 第１のプレス型により前記予備成形体の前記予備支持板
の一部を打ち抜いて前記予備支持板を複数の分割予備支
持板に分割するギャップを形成する工程と、 前記第１のプレス型の幅より広い幅を有する第２のプレ
ス型により前記複数の分割予備支持板の前記ギャップ側
を押圧し、前記ギャップを形成する前記複数の分割予備
支持板の対向する内側面に突起を形成することにより、
前記支持板の他方の主面と前記突起により前記支持板の
一方の主面側より他方の主面側に幅が拡大される拡大間
隙部を前記ギャップに形成する工程とを含むことを特徴
とする半導体装置用リードフレームの製造方法。5. Press forming a metal plate into a predetermined shape,
A plurality of pre-support plates arranged at predetermined intervals; a plurality of external leads juxtaposed adjacent to one side edge of each of the pre-support plates; and a plurality of external leads arranged in parallel to the side edges of the pre-support plate Preparing a preformed body having a connecting strip for connecting the plurality of external leads; and punching out a part of the preliminary supporting plate of the preformed body by a first press die to remove the preliminary supporting plate. Forming a gap to be divided into a plurality of divided preliminary support plates, and pressing the gap side of the plurality of divided preliminary support plates by a second press die having a width wider than the width of the first press die; By forming protrusions on the inner surface of the plurality of divided preliminary support plates that form the gap,
Forming, in the gap, an enlarged gap portion whose width is increased from the one main surface side of the support plate to the other main surface side by the other main surface and the projections of the support plate. Of manufacturing a semiconductor device lead frame.
側面の対向する突起の先端部を前記第１のプレス型の幅
より狭い幅を有する第３のプレス型により同時に切断す
る工程を含む請求項５に記載の半導体装置用リードフレ
ームの製造方法。6. The method according to claim 6, further comprising the step of simultaneously cutting the tips of the opposing projections on the inner surface of the plurality of divided preliminary support plates by a third press die having a width smaller than the width of the first press die. A method for manufacturing a lead frame for a semiconductor device according to claim 5.
する工程を含む請求項５に記載の半導体装置用リードフ
レームの製造方法。7. The method for manufacturing a lead frame for a semiconductor device according to claim 5, further comprising the step of forming the enlarged gap portion into a step or a taper.
と、複数の該支持板の少なくとも一方の主面に固着され
た複数の半導体素子と、前記半導体素子の電極に接続さ
れたリード細線と、前記支持板に隣接して配置された複
数の外部リードと、前記支持板、半導体素子、リード細
線及び外部リードの一部を封止する樹脂封止体とを備
え、前記外部リードの端部を前記樹脂封止体から導出さ
せた樹脂封止型半導体装置において、 複数の前記支持板は、前記間隙を介して互いに離間し、
複数の前記支持板の対向する内側面に形成され且つ互い
に対向する突起とをそれぞれ有し、 該突起は、複数の前記支持板の一方の主面と同一平面に
ある一方の主面を有し、 前記突起の他方の主面と前記支持板の他方の主面との間
の前記間隙に幅が拡大される拡大間隙部を設け、 前記支持板の一方の主面の延長上の前記突起に複数の前
記半導体素子の少なくとも１つを固着したことを特徴と
する樹脂封止型半導体装置。8. A plurality of support plates arranged via a gap, a plurality of semiconductor elements fixed to at least one main surface of the plurality of support plates, and a thin lead wire connected to an electrode of the semiconductor element. And a plurality of external leads arranged adjacent to the support plate, and a resin sealing body for sealing the support plate, the semiconductor element, the fine lead wires, and a part of the external leads, and an end of the external lead. In the resin-encapsulated semiconductor device in which the portion is led out of the resin-encapsulated body, the plurality of support plates are separated from each other via the gap,
A plurality of protrusions formed on opposed inner surfaces of the plurality of support plates and opposed to each other, the protrusions having one main surface flush with one main surface of the plurality of support plates; The gap between the other main surface of the protrusion and the other main surface of the support plate is provided with an enlarged gap portion whose width is increased, and the protrusion on the extension of the one main surface of the support plate is provided. A resin-encapsulated semiconductor device, wherein at least one of the plurality of semiconductor elements is fixed.
記間隙を横断して一方の前記半導体素子の電極と他方の
前記半導体素子の電極との間を電気的に接続する請求項
８に記載の樹脂封止型半導体装置。9. The semiconductor device according to claim 8, wherein at least a part of the thin lead wire electrically connects the electrode of one of the semiconductor elements and the electrode of the other semiconductor element across the gap. Resin-sealed semiconductor device.
回路基板を固着し、複数の前記リード細線の少なくとも
一部は前記半導体素子の電極と前記回路基板の電極とを
接続する請求項８に記載の樹脂封止型半導体装置。10. The circuit board according to claim 8, wherein a circuit board is fixed to at least one of the plurality of support plates, and at least a part of the plurality of fine lead wires connects an electrode of the semiconductor element and an electrode of the circuit board. Resin-sealed semiconductor device.
した半導体装置用リードフレームの前記支持板の一方の
主面の延長上の前記突起に複数の前記半導体素子の少な
くとも１つを固着する工程と、 前記半導体素子の電極にリード細線を接続する工程と、 前記支持板、半導体素子、リード細線及び外部リードの
一部を封止する樹脂封止体を形成する工程と、 前記連結条を切断して除去し、複数の前記樹脂封止型半
導体装置を得る工程とを含むことを特徴とする樹脂封止
型半導体装置の製造方法。11. A step of fixing at least one of the plurality of semiconductor elements to the protrusion on an extension of one main surface of the support plate of the semiconductor device lead frame manufactured by the manufacturing method according to claim 5. Connecting a thin lead wire to an electrode of the semiconductor element; forming a resin sealing body for sealing a part of the support plate, the semiconductor element, the thin lead wire and a part of the external lead; and cutting the connecting strip. And obtaining a plurality of the resin-encapsulated semiconductor devices.
した半導体装置用リードフレームの前記支持板の一方の
主面の延長上の前記突起に複数の前記半導体素子の少な
くとも１つを固着する工程と、 前記半導体素子の電極にリード細線を接続する工程と、 前記支持板、半導体素子、リード細線及び外部リードの
一部を封止する樹脂封止体を形成する工程と、 前記連結条を切断して除去し、複数の樹脂封止型半導体
装置を得る工程とを含むことを特徴とする樹脂封止型半
導体装置の製造方法。12. A step of fixing at least one of the plurality of semiconductor elements to the projection on an extension of one main surface of the support plate of the semiconductor device lead frame manufactured by the manufacturing method according to claim 6. Connecting a thin lead wire to an electrode of the semiconductor element; forming a resin sealing body for sealing a part of the support plate, the semiconductor element, the thin lead wire and a part of the external lead; and cutting the connecting strip. Removing and removing to obtain a plurality of resin-sealed semiconductor devices.
回路基板を固着する工程と、複数の前記リード細線の少
なくとも一部によって前記半導体素子の電極と前記回路
基板の電極とを接続する工程とを含む請求項１１又は１
２に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。13. A step of fixing a circuit board to at least one of the plurality of support plates, and a step of connecting an electrode of the semiconductor element and an electrode of the circuit board by at least a part of the plurality of fine lead wires. Claim 11 or 1 which includes
3. The method for manufacturing a resin-sealed semiconductor device according to item 2.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP06676097A JP3250213B2 (en) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | Lead frame, method of manufacturing the same, resin-encapsulated semiconductor device and method of manufacturing the same |
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| JP06676097A JP3250213B2 (en) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | Lead frame, method of manufacturing the same, resin-encapsulated semiconductor device and method of manufacturing the same |
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|---|---|
| JPH10261755A JPH10261755A (en) | 1998-09-29 |
| JP3250213B2 true JP3250213B2 (en) | 2002-01-28 |
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