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JP3241471B2 - Lead frame - Google Patents

Lead frame

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Publication number
JP3241471B2
JP3241471B2 JP35456992A JP35456992A JP3241471B2 JP 3241471 B2 JP3241471 B2 JP 3241471B2 JP 35456992 A JP35456992 A JP 35456992A JP 35456992 A JP35456992 A JP 35456992A JP 3241471 B2 JP3241471 B2 JP 3241471B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
resin film
lead frame
plane
dam bar
Prior art date
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Application number
JP35456992A
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Japanese (ja)
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JPH06188351A (en
Inventor
清貴 島田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Industries Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Industries Co Ltd filed Critical Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority to JP35456992A priority Critical patent/JP3241471B2/en
Publication of JPH06188351A publication Critical patent/JPH06188351A/en
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Publication of JP3241471B2 publication Critical patent/JP3241471B2/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はリードフレームに関し、
更に詳細にはアウターリードとモールド樹脂によって覆
われるインナーリードとの境界部にダムバーが設けら
れ、前記インナーリードと半導体チップが搭載される金
属製プレーンとが樹脂フィルムを介して一体に接合され
たリードフレームに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame,
More specifically, it is covered with outer leads and mold resin.
Dam bar in the boundary portion between the inner lead and dividing are provided, and the metal planes inner lead and the semiconductor chip is mounted about the lead frames which are joined together via the resin film.

【0002】[0002]

【従来の技術】通常、図に示す様に、リードフレーム
100には、搭載される半導体チップと接続される複数
本のインナーリード102が形成され、インナーリード
102の各々はダムバー106を介してアウターリード
104と連結されている。かかるリードフレーム100
に半導体チップを搭載し、半導体装置を製造する際に
は、図に示す如く、インナーリード102と樹脂フィ
ルム110を介して接合された金属製プレーン120
に、半導体チップ112を搭載した後、半導体チップ1
12をインナーリード102の先端とワイヤ114で接
続する。次いで、半導体チップ112、ワイヤ114、
及びインナーリード102の部分、即ちダムバー106
で囲まれた部分を樹脂モールドする。この際に、モール
ド金型116、118によって形成されたキャビティ内
に充填される樹脂が、リード間の間隙からアウターリー
ド104側に洩出しないように、ダムバー106が設け
られているのである。従来、かかるダムバー106は、
インナーリード102及びアウターリード104と同様
に金属製であるため、リード間の絶縁を確保すべく、樹
脂モールド後に、ダムバー106のリード間部分を切断
するタイバーカットが施される。
2. Description of the Related Art Generally, as shown in FIG. 7 , a plurality of inner leads 102 are formed on a lead frame 100 to be connected to a semiconductor chip to be mounted. It is connected to the outer lead 104. Such a lead frame 100
When a semiconductor device is mounted on a semiconductor chip and a semiconductor device is manufactured, as shown in FIG. 8 , a metal plane 120 bonded to the inner lead 102 via the resin film 110 is used.
After mounting the semiconductor chip 112, the semiconductor chip 1
12 is connected to the tip of the inner lead 102 by a wire 114. Next, the semiconductor chip 112, the wire 114,
And the inner lead 102, that is, the dam bar 106
The area enclosed by is molded with resin. At this time, the dam bar 106 is provided so that the resin filled in the cavity formed by the molds 116 and 118 does not leak from the gap between the leads to the outer lead 104 side. Conventionally, such a dam bar 106 is
Since the inner leads 102 and the outer leads 104 are made of metal, a tie bar cut for cutting the portion between the leads of the dam bar 106 is performed after resin molding to secure insulation between the leads.

【0003】しかし、最近の様に、半導体チップの高集
積化等に伴うリードフレームの多ピン化要請に応えるべ
く、リードピッチがファイン化しつつある。このため、
樹脂モールド後のタイバーカット作業が困難になりつつ
ある。一方、この様なタイバーカット作業の必要のない
タイバーとして、予め所定の形状に形成されたプラスチ
ックタイバーの使用が試みられている。
However, recently, the lead pitch is becoming finer in order to respond to the demand for more pins in a lead frame accompanying higher integration of semiconductor chips. For this reason,
Tie bar cutting work after resin molding is becoming difficult. On the other hand, as a tie bar that does not require such a tie bar cutting operation, use of a plastic tie bar formed in a predetermined shape in advance has been attempted.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】かかるプラスチックタ
イバーを使用することによって、タイバーカット作業を
不要とすることができる。しかしながら、リードフレー
ム毎に形成するリードの形状等が異なるため、使用する
リードフレームに合った形状のプラスチックタイバーを
予め形成しておくことが必要であり、プラスチックタイ
バーの管理が煩雑となる。しかも、リードピッチがファ
イン化されたリードフレームに、プラスチックタイバー
を挿入することは、極めて煩雑な準備作業となる。そこ
で、本発明の目的は、タイバーカット作業を不要とする
ことができ、且つ煩雑な管理や準備作業を不要にできる
リードフレームを提供することにある。
By using such a plastic tie bar, a tie bar cutting operation can be omitted. However, since the shape of the lead formed differs for each lead frame, it is necessary to previously form a plastic tie bar having a shape suitable for the lead frame to be used, and the management of the plastic tie bar becomes complicated. Moreover, inserting a plastic tie bar into a lead frame having a fine lead pitch is an extremely complicated preparation operation. Therefore, an object of the present invention is to provide a lead frame which can eliminate the need for a tie bar cutting operation and can eliminate complicated management and preparation operations.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者は、前記目的を
達成すべく、検討を重ねた結果、インナーリードと接合
されている樹脂フィルム及び金属製プレーンをタイバー
近傍のアウターリード部分にまで延在させ、前記樹脂フ
ィルム上にソルダーレジストをスクリーン印刷で塗布し
てタイバーを形成することによって、容易にタイバーを
形成することができ、予め所定形状に形成したプラスチ
ックタイバーの如く、煩雑な管理や準備作業を不要にで
きることを見出し、本発明に到達した。すなわち、本発
明は、アウターリードとモールド樹脂によって覆われる
インナーリードとの境界部にダムバーが設けられ、前記
インナーリードと半導体チップが搭載される金属製プレ
ーンとが樹脂フィルムを介して一体に接合されたリード
フレームにおいて、該樹脂フィルムが前記アウターリー
ド部分にまで延在されて形成されていると共に、前記ダ
ムバーが、前記インナーリードとアウターリードとの境
界部の前記樹脂フィルム上に位置するリード間隙に形成
されたソルダーレジストや接着剤等の電気的絶縁性物質
から成り、モールド樹脂によって覆われる金属製プレー
ンの部分及び前記金属製プレーンの部分に対応する樹脂
フィルムの部分に、前記金属製プレーンと樹脂フィルム
とを貫通するスリット部が形成され、且つ前記金属製プ
レーンに形成されたスリット部の端縁にインナーリード
と接続される接続片が形成されていることを特徴とする
リードフレームにある。
Means for Solving the Problems As a result of repeated studies to achieve the above object, the present inventors have extended the resin film and metal plane bonded to the inner leads to the outer lead portions near the tie bars. By applying a solder resist on the resin film by screen printing to form a tie bar, the tie bar can be easily formed, and complicated management and preparation like a plastic tie bar formed in a predetermined shape in advance can be performed. The inventors have found that work can be made unnecessary, and arrived at the present invention. That is, in the present invention, a dam bar is provided at the boundary between the outer lead and the inner lead covered by the mold resin, and the inner lead and the metal plane on which the semiconductor chip is mounted are integrally joined via a resin film. In the lead frame, the resin film is formed so as to extend to the outer lead portion, and the dam bar is formed in a lead gap located on the resin film at a boundary between the inner lead and the outer lead. Ri from an electrically insulating material such as the formed solder resist or adhesive formed, metallic play covered by the mold resin
Resin corresponding to the metal part and the metal plane part
In the film part, the metal plain and resin film
Is formed, and a slit is formed through the metal plate.
Inner lead at the edge of the slit formed in the lane
In the lead frame, characterized in Rukoto have connection pieces which are connected is formed with.

【0006】かかる本発明において、樹脂フィルムと金
属製プレーンとの一方又は双方をダムバー近傍のアウタ
ーリード部分にまで延在することによって、最終的に得
られる半導体装置の放熱性を向上できる。更に、本発明
のリードフレームでは、アウターリード部分にまで樹脂
フィルムを延在しているため、樹脂フィルム上に位置す
るアウターリード部分に、テスト用パッドを形成するこ
とができる。かかるテスト用パッドの形成によって、ア
センブリが完了した後に、回路検査等で使用するプロー
ブをテスト用パッドに容易に押し当てることができ、回
路検査作業を容易化できる。
In the present invention, a resin film and gold
One or both of the metal planes
-By extending to the lead portion, the heat dissipation of the finally obtained semiconductor device can be improved. Further , in the lead frame of the present invention, since the resin film extends to the outer lead portion, a test pad can be formed on the outer lead portion located on the resin film. By forming such a test pad, a probe used for circuit inspection or the like can be easily pressed against the test pad after assembly is completed, and the circuit inspection operation can be facilitated.

【0007】[0007]

【作用】本発明によれば、インナーリードに接合されて
いる樹脂フィルムをアウターリード部分にまで延して
あるため、樹脂フィルム上に位置し且つ所定位置に在る
リード間の間隙に、ソルダーレジストや接着剤等の電気
絶縁性物質から成るダムバーを形成できる。このた
め、予め所定形状に成形しておく従来のプラスチックダ
ムバーの如く、煩雑な管理や準備作業を必要とせず、容
易に電気絶縁性を有するダムバーを形成できる。
According to the present invention, since you have extended the resin film is bonded to the inner lead to the outer lead portion, the gap between the lead located in a position to and place on a resin film, a solder Electricity such as resist and adhesive
A dam bar made of an electrically insulating material can be formed. Therefore, as previously conventional in advance by molding into a predetermined shape of the plastic dam bar, without requiring complicated control and preparation, it can be formed easily dam bar having an electrical insulating property.

【0008】[0008]

【実施例】本発明のリードフレームを図面を使用して更
に詳細に説明する。図1は、本発明の一実施例を示す部
分断面図であり、リードフレームを構成するリード10
は、金属製プレーン18(以下、プレーン18と称する
ことがある)に搭載される半導体チップ22とワイヤ2
4によって接続されるインナーリード12と、外部回路
等に先端が接続されるアウターリード14とから成る。
本実施例のリードフレームにおいては、インナーリード
12とプレーン18とは、ポリイミド樹脂から成る樹脂
フィルム20(以下、フィルム20と称することがあ
る)を介して接合されている。このプレーン18とフィ
ルム20とは、ダムバー16近傍のアウターリード14
の部分にまで延されている。かかる延部分、つまり
ダムバー16からフィルム20及びプレーン18の端面
までの部分は、樹脂モールドの際に、モールド金型3
0、32によってクランプされる部分である。また、イ
ンナーリード12及び搭載された半導体チップ22は、
モールド金型30、32によって形成されるキャビティ
内に挿入され、モールド樹脂26内に封入される。尚、
インナーリード12とアウターリード14との境界部に
形成されたダムバー16は、モールド金型30、32に
よってクランプされる部分とキャビティとの境界部分と
なる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The lead frame of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of the present invention.
Is a semiconductor chip 22 and a wire 2 mounted on a metal plane 18 (hereinafter, sometimes referred to as a plane 18).
4 and an outer lead 14 whose tip is connected to an external circuit or the like.
In the lead frame of the present embodiment, the inner leads 12 and the plane 18 are joined via a resin film 20 (hereinafter, sometimes referred to as a film 20) made of a polyimide resin. The plane 18 and the film 20 are connected to the outer lead 14 near the dam bar 16.
It is extended to a part. Such extending portion, i.e. the portion from the dam bar 16 to the end surface of the film 20 and the plane 18, at the time of resin molding, mold 3
It is the part clamped by 0,32. The inner leads 12 and the mounted semiconductor chip 22 are:
It is inserted into a cavity formed by the molds 30 and 32 and is sealed in the mold resin 26. still,
The dam bar 16 formed at the boundary between the inner lead 12 and the outer lead 14 serves as a boundary between the portion clamped by the molds 30 and 32 and the cavity.

【0009】本実施例におけるダムバー16は、図2に
示す様に、プレーン18に接着剤層34によって接合さ
れたフィルム20上に、接着剤層36によってリード1
0、10・・・が接合され、これらリード10の間隙に
ソルダーレジスト28が充填されて形成されている。か
かるダムバー16は、両面に接着剤層34、36が形成
されているフィルム20によってリード10とプレーン
18とを接合した後、ペースト状のソルダーレジストを
スクリーン印刷で所定位置に塗布することによって容易
に形成することができる。この様にダムバー16は、プ
レーン18とフィルム20とが重ねられた上に形成され
ているため、ソルダーレジストから成るダムバー16の
平面性及び剛性を向上することができる。また、本実施
例では、プレーン18がモールト樹脂で覆われることの
ないアウターリード14の部分まで延され、プレーン
18がモールド樹脂で覆われる図10に示す半導体装置
に比較して、半導体装置の放熱特性を向上できる。
As shown in FIG. 2, the dam bar 16 in the present embodiment has the leads 1 on the film 20 joined to the plane 18 by an adhesive layer 34 by an adhesive layer 36.
0,10 ... are joined, the solder resist 28 in the gap of the lead 10 is formed by filling. The dam bar 16 can be easily formed by bonding the lead 10 and the plane 18 by the film 20 having the adhesive layers 34 and 36 formed on both surfaces thereof, and then applying paste solder resist to a predetermined position by screen printing. Can be formed. As described above, since the dam bar 16 is formed on the plane 18 and the film 20 stacked on each other, the flatness and rigidity of the dam bar 16 made of a solder resist can be improved. Further, in this embodiment, it is extending plane 18 to the portion of the outer lead 14 that are never covered by Moruto resin, as compared with the semiconductor device shown in FIG. 10 the plane 18 is covered with the molding resin, the semiconductor device Heat dissipation characteristics can be improved.

【0010】図1に示すプレーン18は、電源プレート
又はグランドプレートとして使用するため、図3に示す
様に、モールド樹脂によって覆われるプレーン18の部
分及びこのプレーン18の部分に対応するフィルム20
の部分に、プレーン18とフィルム20とを貫通するス
リット38を形成し、且つプレーン18に形成したスリ
ット38の端縁にインナーリード12と接続する接続片
40を形成する。かかる図4に示すプレーン18を使用
することによって、図1及び図3に示す様に、電源リー
ド又はグランドリードとプレーン18とを接続片40を
介して接続し、プレーン18を電源プレート又はグラン
ドプレートとして使用でき、多層リードフレームを容易
に形成できる。また、図1及び図3に示すリードフレー
ムにおいては、モールド樹脂26によって覆われること
のないアウターリード14の一部分がフィルム20及び
プレーン18上に設けられており、図5に示す様に、フ
ィルム20及びプレーン18上のアウターリード14部
分にテスト用パッド42を形成することによって、アセ
ンブリ完了後の回路検査作業を容易化できる。
[0010] plane 18 shown in FIG. 1, for use as a power plate or ground plate, as shown in FIG. 3, the film 20 corresponding to the portion and the portion of the plane 18 of the plane 18 which is covered by the mold resin
A slit 38 penetrating through the plane 18 and the film 20 is formed in a portion of the above, and a connection piece 40 connected to the inner lead 12 is formed at an edge of the slit 38 formed in the plane 18. By using the plane 18 shown in FIG. 4, the power lead or the ground lead and the plane 18 are connected via the connecting piece 40 as shown in FIGS . 1 and 3, and the plane 18 is connected to the power plate or the ground plate. And a multilayer lead frame can be easily formed. In the lead frame shown in FIGS. 1 and 3, a part of the outer lead 14 which is not covered by the mold resin 26 is provided on the film 20 and the plane 18, and as shown in FIG. By forming the test pads 42 on the outer leads 14 on the plane 18, the circuit inspection work after the completion of the assembly can be facilitated.

【0011】つまり、従来のリードフレームを使用した
半導体装置では、タイバーカットを施した後に回路検査
等がなされるため、アウターリードがばらついて回路検
査用プローブとの接触不良が発生し、検査ができなくな
ることがある。この点、図5に示すリードフレームで
は、アウターリード14の幅よりも広く且つ平坦性が良
好なテスト用パッド40がフィルム20に接合されてお
り、テスト用パッド40を固定できる。このため、回路
検査用プローブを確実にテスト用パッド40に接触で
き、検査を容易に行うことができるのである。また、プ
レーン18をアースすることによって、検査時のノイズ
を減少させることができ、更にプレーン18とリードと
の間のフィルム20の厚さ等を調整することによって、
特性インピーダンスを最適値に調整できるため、検査精
度を向上できる。
That is, in a semiconductor device using a conventional lead frame, a circuit inspection or the like is performed after a tie bar cut is performed, so that the outer leads vary and a contact failure with a circuit inspection probe occurs, and the inspection can be performed. May disappear. In this regard, in the lead frame shown in FIG. 5, the test pad 40 wider than the width of the outer lead 14 and having good flatness is bonded to the film 20, and the test pad 40 can be fixed. Therefore, the circuit inspection probe can be reliably brought into contact with the test pad 40, and the inspection can be performed easily. In addition, by grounding the plane 18, noise during inspection can be reduced. Further, by adjusting the thickness of the film 20 between the plane 18 and the leads,
Since the characteristic impedance can be adjusted to an optimum value, the inspection accuracy can be improved.

【0012】[0012]

【0013】図1に示すリードフレームのダムバー16
は、図2に示す様に、フィルム20上に接着剤層36に
よって接合されたリード10の間隙にソルダーレジスト
28が充填されて形成されているが、図(a)に示す
様に、ペースト状の接着剤を厚塗りして接着剤層36を
厚くしたフィルム20をリード10に押圧し、リード間
隙に接着剤を充填してもよい。また、図(b)に示す
様に、ペースト状の接着剤から成る接着剤層36が形成
されたフィルム20とフィルム44との間に、リード1
0を挟み込むことによって、リード間隙に接着剤を充填
してもよい。更に、図(c)に示す様に、フィルム2
0上に直接ソルダーレジスト28を塗布してリード間隙
にソルダーレジスト28を充填してもよい。この場合、
フィルム20上に薄くソルダーレジストを塗布してリー
ド10を固定した後、再度、ソルダーレジストを塗布す
ることによってリード間隙にソルダーレジストを充填で
きる。或いは、フィルム20に載置されたリード10上
から直接ソルダーレジストをスクリーン印刷等によって
塗布しても、図(c)の様に、リード間隙にソルダー
レジストを充填できる。
The dam bar 16 of the lead frame shown in FIG.
Is, as shown in FIG. 2, although the solder resist 28 in the gap of the lead 10 bonded by an adhesive layer 36 on the film 20 is formed by filling, as shown in FIG. 6 (a), the paste The film 20 in which the adhesive layer 36 is thickened by thickly applying an adhesive in the shape of a letter may be pressed against the leads 10 to fill the gap between the leads with the adhesive. Further, as shown in FIG. 6 (b), between the pasty film 20 adhesive layer 36 was formed consisting of the adhesive and the film 44, the lead 1
The adhesive may be filled in the lead gap by inserting 0. Furthermore, as shown in FIG. 6 (c), the film 2
Alternatively, the solder resist 28 may be applied directly on the lead 0 to fill the lead gap with the solder resist 28. in this case,
After a thin layer of solder resist is applied on the film 20 to fix the leads 10, the solder resist can be applied to the gaps between the leads by applying the solder resist again. Alternatively, a direct solder resist over lead 10 placed on the film 20 may be applied by screen printing or the like, as in FIG. 6 (c), can be filled with a solder resist to the lead clearance.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明によれば、ファインピッチ化され
たリードフレームにおいても、ダムバーカットを省略で
きるプラスチックダムバーを容易に形成できるため、リ
ードフレームのファインピッチ化等の要請に応えること
ができる。
According to the present invention, even in a lead frame having a fine pitch, it is possible to easily form a plastic dam bar in which dam bar cut can be omitted, and therefore, it is possible to meet the demand for a fine pitch lead frame. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す部分断面図である。FIG. 1 is a partial sectional view showing one embodiment of the present invention.

【図2】図1に示すダムバーの内部構造を示す断面図で
ある。
FIG. 2 is a sectional view showing an internal structure of the dam bar shown in FIG.

【図3】図1に示すリードフレームを構成する電源プレ
ート又はグランドプレートとしてのプレーンとインナー
リードとの接続状態を示す。
FIG. 3 is a view showing a power supply constituting the lead frame shown in FIG. 1;
Plane and inner as plate or ground plate
This shows the connection state with the lead .

【図4】図3に示すリードフレームを構成するプレーン
の部分正面図を示す。
4 shows a partial front view of the plane constituting the rie de frame shown in FIG.

【図5】アウターリードにテスト用パッドを設けた状態
を示す部分正面図である。
FIG. 5 is a partial front view showing a state in which test pads are provided on outer leads.

【図6】ダムバーの他の実施例を示す断面図である。 FIG. 6 is a sectional view showing another embodiment of the dam bar.

【図7】従来のリードフレームを説明するための正面図
である。
FIG. 7 is a front view for explaining a conventional lead frame.
It is.

【図8】従来のリードフレームをモールド金型にクラン
プされた状態を示す部分断面である。
FIG. 8 shows a conventional lead frame clamped to a mold.
It is a partial cross section showing the state where it was locked.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/50 H01L 21/56 H01L 23/28 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 23/50 H01L 21/56 H01L 23/28

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 アウターリードとモールド樹脂によって
覆われるインナーリードとの境界部にダムバーが設けら
れ、前記インナーリードと半導体チップが搭載される金
属製プレーンとが樹脂フィルムを介して一体に接合され
たリードフレームにおいて、 該樹脂フィルムが前記アウターリード部分にまで延在さ
れて形成されていると共に、 前記ダムバーが、前記インナーリードとアウターリード
との境界部の前記樹脂フィルム上に位置するリード間隙
に形成されたソルダーレジストや接着剤等の電気的絶縁
性物質から成り、 モールド樹脂によって覆われる金属製プレーンの部分及
び前記金属製プレーンの部分に対応する樹脂フィルムの
部分に、前記金属製プレーンと樹脂フィルムとを貫通す
るスリット部が形成され、且つ前記金属製プレーンに形
成されたスリット部の端縁にインナーリードと接続され
る接続片が形成されてい ることを特徴とするリードフレ
ーム。
1. A dam bar is provided at a boundary between an outer lead and an inner lead covered by a mold resin, and the inner lead and a metal plane on which a semiconductor chip is mounted are integrally joined via a resin film. In the lead frame, the resin film is formed to extend to the outer lead portion, and the dam bar is formed in a lead gap located on the resin film at a boundary between the inner lead and the outer lead. Ri consists electrically insulating material such as solder resist or adhesive that is, the portion of the metal plane covered by the mold resin及
And the resin film corresponding to the metal plane part
Through the metal plane and resin film
Slits are formed and are formed in the metal plane.
Connected to the inner lead at the edge of the formed slit
The lead frame characterized by Rukoto connection piece is formed that.
【請求項2】 樹脂フィルムと金属製プレーンとの一方
又は双方が、ダムバー近傍のアウターリード部分にまで
延在されている請求項1記載のリードフレーム。
2. The lead frame according to claim 1, wherein one or both of the resin film and the metal plane extend to the outer lead portion near the dam bar.
【請求項3】 樹脂フィルム上のアウターリード部分
に、テスト用パッドが形成されている請求項1又は請求
項2記載のリードフレーム。
3. An outer lead portion on a resin film.
3. The lead frame according to claim 1 , further comprising a test pad formed thereon.
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