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JP3194213B2 - Manufacturing method of optical amplification fiber - Google Patents

Manufacturing method of optical amplification fiber

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Publication number
JP3194213B2
JP3194213B2 JP26185994A JP26185994A JP3194213B2 JP 3194213 B2 JP3194213 B2 JP 3194213B2 JP 26185994 A JP26185994 A JP 26185994A JP 26185994 A JP26185994 A JP 26185994A JP 3194213 B2 JP3194213 B2 JP 3194213B2
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JP
Japan
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fiber
glass
optical amplification
loss
optical
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JP26185994A
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Japanese (ja)
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JPH08104533A (en
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和夫 藤浦
照寿 金森
幸雄 照沼
泰丈 大石
好毅 西田
健二 小林
昭一 須藤
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
NTT Inc
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
NTT Inc
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Publication date
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01228Removal of preform material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/80Non-oxide glasses or glass-type compositions
    • C03B2201/82Fluoride glasses, e.g. ZBLAN glass

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  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光増幅用ファイバの
製造方法、さらに詳細には低損失で効率の高い光増幅用
フッ化物光ファイバの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a fiber for optical amplification, and more particularly to a method for manufacturing a fluoride optical fiber for optical amplification with low loss and high efficiency.

【0002】[0002]

【従来の技術及び問題点】フッ化物光ファイバはフッ化
物ガラスが低いフォノンエネルギーを持つことからレー
ザや光ファイバ増幅器用の良好なホスト媒体として注目
されている。特に希土類イオンをコアに添加した希土類
添加フッ化物光ファイバは、光通信に用いられる波長領
域で高い光増幅利得が得られる媒体である。これら希土
類イオンのうちPrは通信に用いられている主要な波長
帯である1.3μmの光を増幅できるイオンであり、P
rを添加したフッ化物光ファイバを用いた光増幅器の作
製が行なわれている。高効率光ファイバ増幅器に用いる
光ファイバには、コア内光強度を十分に高くする必要が
あるため、比屈折率差が大きく、コア径が小さいことが
要求される。さらにファイバの損失ができるだけ小さい
ことが必要である。
2. Description of the Related Art Fluoride optical fibers are attracting attention as a good host medium for lasers and optical fiber amplifiers because fluoride glass has a low phonon energy. In particular, a rare-earth-doped fluoride optical fiber in which rare-earth ions are added to a core is a medium that can obtain a high optical amplification gain in a wavelength region used for optical communication. Among these rare earth ions, Pr is an ion capable of amplifying light of 1.3 μm, which is a main wavelength band used for communication, and P
An optical amplifier using a fluoride optical fiber doped with r has been manufactured. An optical fiber used for a high-efficiency optical fiber amplifier needs to have a sufficiently high light intensity in the core, and therefore needs to have a large relative refractive index difference and a small core diameter. Further, it is necessary that the loss of the fiber is as small as possible.

【0003】コアの細径化には、ファイバの作製工程で
ガラスの熱加工を数回繰り返すことになる。ガラス母材
あるいはジャケット管は熱加工に先立ちその表面を研磨
するが、表面に研磨によって生じるキズの中にOH基あ
るいは水分子が浸透するため、熱加工を繰り返すことに
より脱水縮合反応が生じ、結晶が発生する。この結晶が
ファイバの構造不整散乱損失の原因になったり、ファイ
バの強度を著しく低下させる原因となっていた。
In order to reduce the diameter of the core, thermal processing of the glass is repeated several times in the fiber manufacturing process. The surface of the glass base material or jacket tube is polished prior to thermal processing, but OH groups or water molecules penetrate into the flaws created by polishing on the surface. Occurs. This crystal causes a structural irregular scattering loss of the fiber or a significant decrease in the strength of the fiber.

【0004】この問題の解決法として、母材あるいはジ
ャケット管の表面を研磨した後、ガラス表面をZrOC
2の塩酸溶液でエッチングし研磨による傷を取り除く
方法が用いられてきた。しかし、この方法では、溶液の
濃度を選択しないと表面の加水分解が進行したり、表面
に荒れが生じるという欠点があった。また、エッチング
によって表面を平滑にしても吸着しているOH基あるい
は水分子を除去しないと線引き過程で結晶化が起きる。
これを防ぐ方法としてフッ素を含有するガス中で加熱処
理する方法あるいは線引き雰囲気にフッ素を含有するガ
スを導入する方法が用いられてきた。この場合、フッ素
化を十分に進行させるためには高温に加熱する必要があ
り、ガラスの結晶化温度以下では顕著な効果が得られな
いという欠点があった。この解決手段として、低温から
フッ素化に対し高い活性を有するHFをフッ素化剤とし
て用いる方法がある。しかし、HFは水素結合により水
分子と会合しやすい性質を有しているため、市販のHF
中には30ppm以上の水が不純物として含まれてい
る。水によるフッ化物ガラス表面の加水分解反応の自由
エネルギーは大きく、ごく僅かな水が存在しても表面の
加水分解反応が生じ結晶化が進行するため、HF中の水
分を取り除かなければフッ素化剤として有効に機能しな
い。前述のように、HF中の水の混入はその高い化学的
親和性に起因しているため、有効に水を除去できる手段
がなかった。
[0004] As a solution to this problem, after polishing the surface of the base material or jacket tube, the surface of the glass is made of ZrOC.
How to remove scratches caused by the etching was polished in hydrochloric acid solution of l 2 it has been used. However, this method has the drawback that if the concentration of the solution is not selected, the hydrolysis of the surface proceeds or the surface becomes rough. Even if the surface is smoothed by etching, crystallization occurs during the drawing process unless the adsorbed OH groups or water molecules are removed.
As a method for preventing this, a method of performing a heat treatment in a gas containing fluorine or a method of introducing a gas containing fluorine into a drawing atmosphere has been used. In this case, it is necessary to heat to a high temperature in order to sufficiently advance the fluorination, and there is a drawback that a remarkable effect cannot be obtained below the crystallization temperature of the glass. As a solution to this, there is a method of using HF having a high activity against fluorination from a low temperature as a fluorinating agent. However, since HF has a property of easily associating with water molecules by hydrogen bonding, commercially available HF is used.
It contains 30 ppm or more of water as an impurity. The free energy of the hydrolysis reaction of the fluoride glass surface by water is large, and even if a very small amount of water is present, the surface hydrolysis reaction occurs and crystallization proceeds, so that the fluorinating agent must be removed unless the water in the HF is removed. Does not work effectively. As described above, since the contamination of water in HF is caused by its high chemical affinity, there is no means capable of effectively removing water.

【0005】[0005]

【発明の目的】本発明の目的は、上記の問題と欠点を解
決した、低損失でかつ高い強度を有する光増幅用光ファ
イバの製造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical fiber for optical amplification having a low loss and a high strength, which solves the above problems and disadvantages.

【0006】[0006]

【発明の特徴と従来技術との差異】上記欠点を解決する
ために、本発明による光増幅用ファイバの製造方法は、
フッ化物ガラスよりなる光ファイバ用母材を延伸する工
程および/あるいは線引きする工程を含む光増幅用ファ
イバの製造方法において、線引きあるいは延伸に先立
ち、母材および/あるいはジャケット管として用いるガ
ラス管の表面を0.005〜0.1mol/lのZrO
Cl2を含む0.005〜0.2mol/lのHCl水
溶液でエッチングし、前記エッチングされた光ファイバ
用母材および/あるいはジャケット管を、F 2 をHF中
の水分の含有量に対しモル比で1以上含有するHFとF
2 を含有するガス中で加熱処理することを特徴としてい
る。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned drawbacks, a method for manufacturing an optical amplifying fiber according to the present invention comprises:
Work to stretch the optical fiber preform made of fluoride glass
For optical amplification including a step of drawing and / or drawing.
In the method for producing iba , prior to drawing or drawing, the surface of a glass tube used as a base material and / or a jacket tube is made of 0.005 to 0.1 mol / l of ZrO.
Etching with a 0.005 to 0.2 mol / l HCl aqueous solution containing Cl 2 ,
Base material and / or jacket tube, F 2 in HF
HF and F containing at least one molar ratio based on the water content of
It is characterized in that heat treatment is performed in a gas containing 2 .

【0007】さらに、本発明では上記方法でエッチング
した後の光ファイバ用母材およびあるいはジャケット管
を、HFとF2を含有するガス中で加熱処理する場合、
加熱温度が50℃以上300℃以下であることを特徴と
している。
Further, in the present invention, when the optical fiber preform and / or the jacket tube after the etching by the above method are heat-treated in a gas containing HF and F 2 ,
The heating temperature is 50 ° C. or more and 300 ° C. or less.

【0008】また、本発明においては、表面の加水分解
あるいは荒れの生じないエッチング液の濃度を用いるこ
とにより、平滑な表面を有する母材あるいはジャケット
管を作製することが可能になり、さらに表面に吸着して
いるOH基および水分子をフッ素化剤によって除去する
ことによって、結晶化のない高品質な光増幅用ファイバ
の作製が可能となる。特に、HFに適量のF2を添加す
ることによりHF中の水をHFとO2に変化させ、表面
のフッ素化反応を有効に進行させることができる。
In the present invention, a base material or a jacket tube having a smooth surface can be manufactured by using a concentration of an etching solution which does not cause hydrolysis or roughening of the surface. By removing the adsorbed OH groups and water molecules with a fluorinating agent, it becomes possible to produce a high-quality optical amplification fiber without crystallization. In particular, by adding an appropriate amount of F 2 to HF, the water in HF can be changed to HF and O 2 , and the fluorination reaction on the surface can effectively proceed.

【0009】したがって、本発明により、損失が低く強
度の高い光増幅用ファイバを安定に作製できるようにな
る。
Therefore, according to the present invention, it is possible to stably produce an optical amplification fiber having low loss and high strength.

【0010】次に本発明を実施例によって詳細に説明す
る。
Next, the present invention will be described in detail with reference to examples.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明を実施例によって説明するが、
本発明はこれにより何ら限定されるものではない。
The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited thereby.

【0012】[0012]

【実施例1】ZrF4系フッ化物ガラスの代表として4
8ZrF4−23BaF2−2.5LaF3−2YF3
4.5AlF3−20NaF(モル%)の組成のガラス
ロッドを用いた。耐水研磨紙を用い220−400−6
00−800−1000−1500−4000番の順に
表面を研磨した。4000番の研磨では表面は研磨傷の
ため、僅かに白濁して見える。このようにして研磨した
ガラスロッドをZrOCl2の塩酸溶液中に浸し、スタ
ーラーで溶液を撹拌しながら10分間エッチングした。
ロッドはエッチング後、水洗しエタノールで乾燥し、表
面状態を走査電子顕微鏡で観察した。結果を表1に示
す。
Example 1 As a representative of ZrF 4 -based fluoride glass, 4
8ZrF 4 -23BaF 2 -2.5LaF 3 -2YF 3-
4.5AlF 3 using a glass rod of the composition of -20NaF (mol%). 220-400-6 using water-resistant abrasive paper
The surface was polished in the order of 00-800-1000-1500-4000. In polishing No. 4000, the surface appears slightly cloudy due to polishing scratches. The polished glass rod was immersed in a hydrochloric acid solution of ZrOCl 2 and etched for 10 minutes while stirring the solution with a stirrer.
After etching, the rod was washed with water and dried with ethanol, and the surface state was observed with a scanning electron microscope. Table 1 shows the results.

【0013】表1から明らかなように、ZrOCl2
塩酸溶液の濃度が高い領域では、表面のエッチングは進
行するが表面に5〜50μm程度の荒れが生じており、
特定成分の選択的なエッチングが進行することを示して
いる。一方、低濃度側では、研磨傷が十分に除去できて
おらず、さらに10分間のエッチングを行なった結果、
表面に細かい析出物が附着し白濁した。この附着物は分
析の結果、ZrとOより構成されたものであり、エッチ
ング液の濃度が薄いため、エッチングに比較して加水分
解が早く進行した結果である。電子顕微鏡観察で表面の
荒れが0.1μm以下となる領域はZrOCl2の塩酸
溶液の濃度として、0.005〜0.1mol/lのZ
rOCl2、0.005〜0.2mol/lのHClの
範囲である。
As is evident from Table 1, in a region where the concentration of the hydrochloric acid solution of ZrOCl 2 is high, the etching of the surface proceeds, but the surface is roughened by about 5 to 50 μm.
This indicates that selective etching of a specific component proceeds. On the other hand, on the low concentration side, the polishing scratches were not sufficiently removed, and as a result of etching for further 10 minutes,
Fine precipitates adhered to the surface and became cloudy. As a result of the analysis, this attached substance was composed of Zr and O, and because the concentration of the etching solution was low, the hydrolysis proceeded faster than the etching. The region where the surface roughness is 0.1 μm or less by electron microscope observation is defined as a concentration of 0.005 to 0.1 mol / l of ZrOCl 2 in a hydrochloric acid solution.
rOCl 2 , ranging from 0.005 to 0.2 mol / l HCl.

【0014】この結果に基づき、コアガラスとして56
ZrF4−20BaF2−8PbF2−2.5LaF3−2
YF3−4.5AlF3−7LiF、クラッドガラスとし
て50HfF4−15.7BaF2−3.3CaF2
2.5LaF3−2.0YF3−4.5AlF3−5.5
NaF−16.5KFを用いてファイバを作製した。こ
の際、ファイバの作製はサクション法で作製した母材を
ジャケット管に挿入し延伸した後、再度ジャケット管に
挿入し線引きすることによって単一モードファイバを作
製した。ファイバの被覆材としてはUV硬化アルキレー
ト樹脂を用いた。この際、母材表面、ジャケット管表
面、延伸後の母材表面を全て表1のエッチング液で10
分間エッチングした。
Based on these results, 56
ZrF 4 -20BaF 2 -8PbF 2 -2.5LaF 3 -2
YF 3 -4.5AlF 3 -7LiF, 50HfF 4 -15.7BaF 2 -3.3CaF 2- as cladding glass
2.5LaF 3 -2.0YF 3 -4.5AlF 3 -5.5
Fibers were made using NaF-16.5KF. At this time, the fiber was prepared by inserting a preform prepared by a suction method into a jacket tube, stretching it, and then inserting it again into the jacket tube and drawing to produce a single mode fiber. UV-cured alkylate resin was used as the fiber coating material. At this time, the surface of the base material, the surface of the jacket tube, and the surface of the drawn base material were all treated with the etching solution shown in Table 1 for 10 minutes.
Etched for minutes.

【0015】作製したファイバの1.2μmにおける損
失およびファイバの引っ張り強度の測定結果を表1に並
記した。伝送損失および強度は。電子顕微鏡で観察した
表面の荒れが0.1μm以下となる領域で、0.1dB
/m以下、700MPa以上結果が得られた。これらの
値は、実用的な利得係数0.2dB/mWを実現するた
めに必要な損失、実用上の取り扱いおよび信頼性の観点
から要求される強度であり、表1の結果からこれらを実
現できるエッチング液の濃度は0.005〜0.1mo
l/lのZrOCl2、0.005〜0.2mol/l
のHClの範囲であることが明らかである。
Table 1 shows the measured results of the loss of the prepared fiber at 1.2 μm and the tensile strength of the fiber. What is the transmission loss and strength? 0.1 dB in a region where the surface roughness observed by an electron microscope is 0.1 μm or less.
/ M or less and 700 MPa or more. These values are the loss required to realize a practical gain factor of 0.2 dB / mW, the strength required from the viewpoint of practical handling and reliability, and these can be realized from the results in Table 1. The concentration of the etchant is 0.005 to 0.1mo
1 / l ZrOCl 2 , 0.005 to 0.2 mol / l
Is clearly in the range of HCl.

【0016】また、本実施例ではガラスとしてZrF4
を主成分とするフッ化物ガラスの1種類のガラス組成を
用いたが、ZrF4を主成分とするガラスであればいか
なる組成のガラスであっても本発明のエッチング溶液で
高強度のファイバが作製できた。さらに、HfF4ある
いはInF3、CdF2を主成分とするガラスに対しても
本実施例と同様の効果が得られた。
In this embodiment, ZrF 4 is used as the glass.
Although one kind of glass composition of a fluoride glass having ZrF 4 as a main component was used, a glass having a high strength can be produced by using the etching solution of the present invention with any glass as long as the glass has ZrF 4 as a main component. did it. Furthermore, the same effect as in the present embodiment was obtained for glass containing HfF 4, InF 3 , or CdF 2 as a main component.

【0017】以上本発明のエッチング液の濃度範囲を用
いることによって、低損失かつ高信頼性の光ファイバが
作製できた。
By using the concentration range of the etching solution of the present invention, an optical fiber with low loss and high reliability was manufactured.

【0018】 [0018]

【0019】上述のように表面をエッチングしたフッ化
物ガラス母材およびジャケット管の表面をHFガス気流
中で加熱処理した。処理条件および作製したファイバの
引っ張り強度および1.2μmにおける損失を表2に示
す。この加熱処理に使用したHF中には20ppmの水
分が不純物として混入している。このため、水分の除去
剤、そしてガラス表面の酸化物とHFの反応で発生する
水分の除去剤として、さらにガラス表面のフッ素化剤と
してF2を微量添加した。表2から明らかなように、H
F中の水分濃度に対して当量以上のF2を添加すること
によりファイバの強度および損失が急激に向上した。
The surfaces of the fluoride glass base material and the jacket tube whose surfaces were etched as described above were heat-treated in an HF gas stream. Table 2 shows the processing conditions, the tensile strength of the produced fiber, and the loss at 1.2 μm. In the HF used for this heat treatment, 20 ppm of water is mixed in as impurities. For this reason, a trace amount of F 2 was added as a water removing agent, as a removing agent for water generated by the reaction between the oxide on the glass surface and HF, and as a fluorinating agent for the glass surface. As is clear from Table 2, H
Strength and loss of the fiber sharply improved by the addition of an equivalent amount or more of F 2 with respect to water content in F.

【0020】図1に100℃におけるガス成分の測定結
果を示す。水分に対しF2の添加量を増加していくとガ
ス中の水分が急激に低下していることがわかる。このた
め母材表面の酸化物をHFでフッ素化したときに発生す
る水分をF2によってHFに変化させることが可能であ
り、雰囲気中の水の分圧を低く保つことができる。その
結果、フッ素化反応によって生成する水分を平衡分圧以
下に保つことが可能であり、有効にガラスの表面の酸素
不純物除去ができる。また、表2から明らかなように加
熱処理する温度が50℃〜300℃の範囲では700M
Pa以上の引っ張り強度、1.2μmにおける伝送損失
が0.05dB/mW以下のファイバが作製できた。こ
の温度範囲で50℃以下ではフッ素化剤として使用した
HFおよびF2が十分に活性にならず、フッ素化速度が
十分ではなく、300℃以上ではフッ化物ガラス自体の
結晶化が生じ強度および損失特性が劣化する。このた
め、実用的な特性を効率良く引き出すためには、母材あ
るいはジャケット管の熱処理温度は50℃〜300℃の
範囲である必要がある。
FIG. 1 shows the measurement results of gas components at 100 ° C. Water to it can be seen that the water the gas increases the amount of F 2 is rapidly decreased. For this reason, the water generated when the oxide on the base material surface is fluorinated with HF can be changed to HF by F 2 , and the partial pressure of water in the atmosphere can be kept low. As a result, the water generated by the fluorination reaction can be kept below the equilibrium partial pressure, and oxygen impurities on the surface of the glass can be effectively removed. Further, as is clear from Table 2, when the temperature of the heat treatment is in the range of 50 ° C to 300 ° C, 700M
A fiber having a tensile strength of Pa or more and a transmission loss at 1.2 μm of 0.05 dB / mW or less was produced. At temperatures below 50 ° C in this temperature range, HF and F 2 used as fluorinating agents are not sufficiently activated, and the fluorination rate is not sufficient. At temperatures above 300 ° C, crystallization of the fluoride glass itself occurs, resulting in strength and loss. The characteristics deteriorate. Therefore, in order to effectively bring out practical characteristics, the heat treatment temperature of the base material or the jacket tube needs to be in the range of 50 ° C to 300 ° C.

【0021】以上の結果、HFとF2の混合ガス気流中
で熱処理することによって、高強度、低損失光増幅用フ
ァイバが作製できることが明らかになった。
As a result, it has been clarified that a high-strength, low-loss fiber for optical amplification can be produced by heat treatment in a mixed gas stream of HF and F 2 .

【0022】 [0022]

【0023】 [0023]

【0024】[0024]

【実施例2】 ファイバ作製に使用するガラスがInF3
を主成分とする以外は実施例1と同様のエッチング液を
使用し、実施例2と同様の方法で表面の処理を行なっ
た。結果を表3に示す。表から明らかなように、ZrF
4を主成分とするガラスと同様にInF3を主成分とする
ガラスにおいてもファイバの強度および損失が改善され
た。したがって、このエッチング液の濃度およびHFと
2の混合ガス中での処理は、高強度かつ低損失な光増
幅用ファイバの作製に有効な方法であることが明らかに
なった。
Example 2 The glass used for fabricating the fiber was InF 3
The surface treatment was performed in the same manner as in Example 2 except that the same etching liquid as in Example 1 was used except that the main component was. Table 3 shows the results. As is clear from the table, ZrF
Fiber strength and loss were also improved in glass containing InF 3 as a main component as in glass containing 4 as a main component. Therefore, it has been clarified that the concentration of the etching solution and the treatment in a mixed gas of HF and F 2 are effective methods for producing a high-strength and low-loss optical amplification fiber.

【0025】 [0025]

【0026】[0026]

【実施例3】 ファイバ作製に使用するガラスがHfF4
を主成分とする以外は実施例1と同様のエッチング液を
使用し、実施例2と同様の方法で表面の処理を行なっ
た。結果を表4に示す。表から明らかなように、ZrF
4主成分とするガラスと同様にHfF4を主成分とするガ
ラスにおいてもファイバの強度および損失が改善され
た。したがって、このエッチング液の濃度およびHFと
2の混合ガス中での処理は、HfF4系を主成分とする
ガラスを用いても高強度かつ低損失な光増幅用ファイバ
の作製に有効な方法であることが明らかになった。
Example 3 The glass used for producing the fiber was HfF 4
The surface treatment was performed in the same manner as in Example 2 except that the same etching liquid as in Example 1 was used except that the main component was. Table 4 shows the results. As is clear from the table, ZrF
As with the glass containing four main components, the strength and loss of the fiber were improved in the glass containing HfF 4 as the main component. Therefore, the concentration of the etching solution and the treatment in a mixed gas of HF and F 2 are effective methods for producing a high-strength and low-loss optical amplification fiber even when a glass mainly containing HfF 4 is used. It became clear that it was.

【0027】 [0027]

【0028】 [0028]

【0029】[0029]

【実施例4】 ファイバ作製に使用するガラスがCdF2
を主成分とする以外は実施例1と同様のエッチング液を
使用し、実施例2と同様の方法で表面の処理を行なっ
た。結果を表5に示す。表から明らかなように、ZrF
4を主成分とするガラスと同様にCdF2を主成分とする
ガラスにおいてもファイバの強度および損失が改善され
た。したがって、このエッチング液の濃度およびHFと
2の混合ガス中での処理は、CdF2系を主成分とする
ガラスを用いても高強度かつ低損失な光増幅用ファイバ
の作製に有効な方法であることが明らかになった。
Embodiment 4 The glass used for producing the fiber is CdF 2
The surface treatment was performed in the same manner as in Example 2 except that the same etching liquid as in Example 1 was used except that the main component was. Table 5 shows the results. As is clear from the table, ZrF
4 strength and loss of fiber also in glass mainly composed of glass as well as CdF 2 mainly composed of is improved. Therefore, the concentration of the etching solution and the treatment in the mixed gas of HF and F 2 are effective methods for producing a high-strength and low-loss fiber for optical amplification even using a glass containing CdF 2 as a main component. It became clear that it was.

【0030】 [0030]

【0031】 [0031]

【0032】[0032]

【発明の効果】以上実施例に示したように、本発明によ
れば光ファイバの低損失ならびに高強度化が実現でき、
結果として実用的な使用にとって必須である高信頼性、
高特性の光増幅器を容易に構成することができる。した
がって、Pr、Nd、Er等の発光イオンをドープする
ことにより種々波長において光増幅の高効率化、高信頼
化が可能になることから光通信システムの低コスト化お
よび高性能化が図れるという利点がある。
As described above, according to the present invention, a low loss and high strength of an optical fiber can be realized.
As a result, high reliability, which is essential for practical use,
An optical amplifier with high characteristics can be easily configured. Therefore, by doping light-emitting ions such as Pr, Nd, and Er, it is possible to increase the efficiency and reliability of optical amplification at various wavelengths, so that the cost and performance of the optical communication system can be reduced. There is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例2において、測定したHFとF
2を含む雰囲気中の水分濃度のF2依存性を示した図。
FIG. 1 shows measured HF and F in Example 2 of the present invention.
Shows the F 2 dependent moisture concentration in the atmosphere including 2.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大石 泰丈 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 西田 好毅 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 小林 健二 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 須藤 昭一 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 平4−16524(JP,A) 特開 平3−103338(JP,A) 特開 平6−1634(JP,A) H.W.SCHNEIDER et al.’Fluoride glass ethching method f or preparation of infra−red fibers w ith improved tensi le strength,’ Elec tronics Letters,Vo l.22,No.18,p.949−950, (1986) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 37/012 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Yasutake Oishi 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Yoshiki Nishida 1-16-1 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation (72) Inventor Kenji Kobayashi 1-1-6 Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation (72) Shoichi Sudo 1-6-1, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation (56) References JP-A-4-16524 (JP, A) JP-A-3-103338 (JP, A) JP-A-6-1634 (JP, A) W. SCHNEIDER et al. 'Fluoride glass etching method of preparation of infra-red fiber with with tensile strength,' Electronics Letters, Vol. 22, No. 18, p. 949-950, (1986) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C03B 37/012

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】フッ化物ガラスよりなる光ファイバ用母材
を延伸する工程および/あるいは線引きする工程を含む
光増幅用ファイバの製造方法において、線引きあるいは
延伸に先立ち、母材および/あるいはジャケット管とし
て用いるガラス管の表面を0.005〜0.1mol/
lのZrOCl2を含む0.005〜0.2mol/l
のHCl水溶液でエッチングし、前記エッチングされた
光ファイバ用母材および/あるいはジャケット管を、F
2 をHF中の水分の含有量に対しモル比で1以上含有す
るHFとF 2 を含有するガス中で加熱処理することを特
徴とする光増幅用ファイバの製造方法。
1. A method of manufacturing a fiber for optical amplification, comprising a step of drawing and / or a step of drawing a base material for an optical fiber made of a fluoride glass, as a base material and / or a jacket tube prior to drawing or drawing. The surface of the glass tube to be used is 0.005 to 0.1 mol /
0.005 to 0.2 mol / l containing 1 ZrOCl 2
Etch with an aqueous solution of HCl .
The optical fiber preform and / or jacket tube is
2 in a molar ratio of 1 or more to the water content in HF
A method for producing a fiber for optical amplification, comprising performing heat treatment in a gas containing HF and F 2 .
【請求項2】 HFおよびF2を含有するガス中での母材
およびジャケット管の加熱温度が50℃以上300℃以
下であることを特徴とする請求項1記載の光増幅用ファ
イバの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the heating temperature of the base material and the jacket tube in the gas containing HF and F 2 is 50 ° C. or more and 300 ° C. or less. .
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H.W.SCHNEIDER et al.’Fluoride glass ethching method for preparation of infra−red fibers with improved tensile strength,’ Electronics Letters,Vol.22,No.18,p.949−950,(1986)

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