JP3191459B2 - 振動式圧力計 - Google Patents
振動式圧力計Info
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円筒形振動子の固有振
動数から気体圧力を測定する振動式圧力計に関し、更に
詳しくは、円筒形振動子の空間容量を小さくし、応答特
性を改善した振動式圧力計に関するものである。
動数から気体圧力を測定する振動式圧力計に関し、更に
詳しくは、円筒形振動子の空間容量を小さくし、応答特
性を改善した振動式圧力計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の振動式圧力計の構成図で
ある。図中、１はＮｉ−SPAN−Ｃ等で薄く作られ、恒弾
性を有した円筒形振動子で、薄肉円筒部１1と十分な剛
性と質量を持った固定部１2とで構成されている。円筒
形振動子１は、外周がケース２で覆われていて、ケース
２との間は、１０ -5torr以上の真空室になっている。３
は圧電素子で、励振用と歪み検出用とが対抗して設けら
れていて、円筒形振動子１に振動を与える共に、円筒形
振動子１の固有振動数を測定する。円筒形振動子１は、
固定部１2側から内側に圧力が加わると、即ち被測定流
体が流入すると、円筒面内の張力が増大し、固有振動数
が上昇する。被測定流体の圧力は、この固有振動数を圧
電素子で測定することによって求められる。
ある。図中、１はＮｉ−SPAN−Ｃ等で薄く作られ、恒弾
性を有した円筒形振動子で、薄肉円筒部１1と十分な剛
性と質量を持った固定部１2とで構成されている。円筒
形振動子１は、外周がケース２で覆われていて、ケース
２との間は、１０ -5torr以上の真空室になっている。３
は圧電素子で、励振用と歪み検出用とが対抗して設けら
れていて、円筒形振動子１に振動を与える共に、円筒形
振動子１の固有振動数を測定する。円筒形振動子１は、
固定部１2側から内側に圧力が加わると、即ち被測定流
体が流入すると、円筒面内の張力が増大し、固有振動数
が上昇する。被測定流体の圧力は、この固有振動数を圧
電素子で測定することによって求められる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の振動
式圧力計は、円筒形振動子の空間容量が大きいために、
円筒形振動子に被測定流体が導入されてから圧力が安定
するまでに一定の時間が必要で、空間容積が大きい分だ
け安定時間（時定数）が長くなり、応答特性が悪くなる
という欠点を有していた。
式圧力計は、円筒形振動子の空間容量が大きいために、
円筒形振動子に被測定流体が導入されてから圧力が安定
するまでに一定の時間が必要で、空間容積が大きい分だ
け安定時間（時定数）が長くなり、応答特性が悪くなる
という欠点を有していた。
【０００４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、円筒形振動子内に円筒形振動子と一定の隙間を
もって棒状挿入体を設けて円筒形振動子の空間容量を小
さくしたもので、短い時定数で応答特性が良い振動式圧
力計を提供することを目的としている。
もので、円筒形振動子内に円筒形振動子と一定の隙間を
もって棒状挿入体を設けて円筒形振動子の空間容量を小
さくしたもので、短い時定数で応答特性が良い振動式圧
力計を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、円筒形振動子に導入された被測定
気体の圧力を円筒形振動子の固有振動数を測定して得る
振動式圧力計において、一端が前記被測定気体を導入す
る導入ブロックに接続されていて、前記円筒形振動子と
一定の隙間をもって内設し、前記被測定気体を導入する
流路を有した棒状挿入体、を設け、前記円筒形振動子の
空間容量を小さくし、応答特性を改善したことを特徴と
している。
るために、本発明は、円筒形振動子に導入された被測定
気体の圧力を円筒形振動子の固有振動数を測定して得る
振動式圧力計において、一端が前記被測定気体を導入す
る導入ブロックに接続されていて、前記円筒形振動子と
一定の隙間をもって内設し、前記被測定気体を導入する
流路を有した棒状挿入体、を設け、前記円筒形振動子の
空間容量を小さくし、応答特性を改善したことを特徴と
している。
【０００６】
【作用】被測定気体は、流路より円筒形振動子に導入さ
れる。円筒形振動子に導入された被測定気体は、棒状挿
入体によって被測定気体の流入容積が小さくなっている
ため、円筒形振動子内に被測定流体が導入されてから短
い時間で圧力が安定する。
れる。円筒形振動子に導入された被測定気体は、棒状挿
入体によって被測定気体の流入容積が小さくなっている
ため、円筒形振動子内に被測定流体が導入されてから短
い時間で圧力が安定する。
【０００７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳細
に説明する。図１は、本発明の振動式圧力計の一実施例
を示した構成図である。図中、図３と同一作用をするも
のは同一符号を付けて説明する。４は導入ブロックで、
被測定気体を圧力ポート４1より導入する。５は導入ブ
ロック４と円筒形振動子１との間をシールするＯリン
グ、６は導入ブロックに固定された円筒形振動子１をケ
ース２と共に固定する固定ブロックである。
に説明する。図１は、本発明の振動式圧力計の一実施例
を示した構成図である。図中、図３と同一作用をするも
のは同一符号を付けて説明する。４は導入ブロックで、
被測定気体を圧力ポート４1より導入する。５は導入ブ
ロック４と円筒形振動子１との間をシールするＯリン
グ、６は導入ブロックに固定された円筒形振動子１をケ
ース２と共に固定する固定ブロックである。
【０００８】７はステンレスやプラスチック等の耐蝕材
料で構成された棒状挿入体で、一端が被測定気体を導入
する導入ブロック４に接続されていて、円筒形振動子１
と一定の隙間を持つように設けられている。７1は被測
定気体を円筒形振動子１に導入する流路で、被測定気体
を導入する圧力ポート４1に接続されている。
料で構成された棒状挿入体で、一端が被測定気体を導入
する導入ブロック４に接続されていて、円筒形振動子１
と一定の隙間を持つように設けられている。７1は被測
定気体を円筒形振動子１に導入する流路で、被測定気体
を導入する圧力ポート４1に接続されている。
【０００９】流路７1から導入された被測定気体は、圧
電素子３で円筒形振動子１の固有振動数が測定され、圧
力が求められる。尚、本装置は、円筒形振動子１とケー
ス２との間が真空室になっているため被測定気体の絶対
圧力が求められる。円筒形振動子１は、棒状挿入体７に
よって空間容量が小さくなっているため、被測定気体の
流入容積が小さくて良いため、応答特性が向上する。
尚、棒状挿入体７は、軽量化のために内部が中空なもの
であっても良い。また、流路７1は、図中では一本で示
されているが、複数に分岐されたものであってもよい。
電素子３で円筒形振動子１の固有振動数が測定され、圧
力が求められる。尚、本装置は、円筒形振動子１とケー
ス２との間が真空室になっているため被測定気体の絶対
圧力が求められる。円筒形振動子１は、棒状挿入体７に
よって空間容量が小さくなっているため、被測定気体の
流入容積が小さくて良いため、応答特性が向上する。
尚、棒状挿入体７は、軽量化のために内部が中空なもの
であっても良い。また、流路７1は、図中では一本で示
されているが、複数に分岐されたものであってもよい。
【００１０】図２は、円筒形振動子で測定した圧力と時
間の関係を示した図である。図中、実線Ａは圧力ポート
側での圧力変化を示し、破線Ｂは従来の振動式圧力計で
測定した圧力変化を示し、一点鎖線Ｃは本発明の振動式
圧力計で測定した圧力変化を示している。被測定気体が
導入されると、圧力ポートの圧力は、瞬時に被測定気体
の圧力に到達する。従来の振動式圧力計は、円筒形振動
子の内容量が大きいため、円筒形振動子の圧力が一定に
なるのは、圧力ポートより被測定気体が導入されてから
時間Ｔ1を有する。これに対し、本発明の振動式圧力計
は、棒状挿入体によって円筒形振動子の内容量が小さく
なっているため、円筒形振動子の圧力は被測定気体の導
入より短い時間Ｔ2で一定になる。
間の関係を示した図である。図中、実線Ａは圧力ポート
側での圧力変化を示し、破線Ｂは従来の振動式圧力計で
測定した圧力変化を示し、一点鎖線Ｃは本発明の振動式
圧力計で測定した圧力変化を示している。被測定気体が
導入されると、圧力ポートの圧力は、瞬時に被測定気体
の圧力に到達する。従来の振動式圧力計は、円筒形振動
子の内容量が大きいため、円筒形振動子の圧力が一定に
なるのは、圧力ポートより被測定気体が導入されてから
時間Ｔ1を有する。これに対し、本発明の振動式圧力計
は、棒状挿入体によって円筒形振動子の内容量が小さく
なっているため、円筒形振動子の圧力は被測定気体の導
入より短い時間Ｔ2で一定になる。
【００１１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の振
動式圧力計は、円筒形振動子内に円筒形振動子と一定の
隙間をもって棒状挿入体を設け、被測定気体の流入容積
を小さくしたものである。このため、円筒形振動子内に
被測定流体が導入されてから圧力が安定する迄の時間が
短く、圧力の応答特性が良い。
動式圧力計は、円筒形振動子内に円筒形振動子と一定の
隙間をもって棒状挿入体を設け、被測定気体の流入容積
を小さくしたものである。このため、円筒形振動子内に
被測定流体が導入されてから圧力が安定する迄の時間が
短く、圧力の応答特性が良い。
【図１】本発明の振動式圧力計の一実施例を示した構成
図である。
図である。
【図２】本発明の円筒形振動子で測定した圧力変化と時
間との関係を示した図である。
間との関係を示した図である。
【図３】従来の振動式圧力計の構成図である。
１ 円筒形振動子 ７ 棒状挿入体 ７1 流路
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒形振動子に導入された被測定気体の
圧力を円筒形振動子の固有振動数を測定して得る振動式
圧力計において、 一端が前記被測定気体を導入する導入ブロックに接続さ
れていて、前記円筒形振動子と一定の隙間をもって内設
し、前記被測定気体を導入する流路を有した棒状挿入
体、 を設け、前記円筒形振動子の空間容量を小さくし、応答
特性を改善したことを特徴とした振動式圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31704792A JP3191459B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 振動式圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31704792A JP3191459B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 振動式圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160214A JPH06160214A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3191459B2 true JP3191459B2 (ja) | 2001-07-23 |
Family
ID=18083828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31704792A Expired - Fee Related JP3191459B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 振動式圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3191459B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7555947B2 (en) | 2006-09-19 | 2009-07-07 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Air pressure sensor |
| JP2016061448A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-25 | 三菱電機株式会社 | トッププレート保護具、及び、それを備えた加熱調理器 |
-
1992
- 1992-11-26 JP JP31704792A patent/JP3191459B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7555947B2 (en) | 2006-09-19 | 2009-07-07 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Air pressure sensor |
| JP2016061448A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-25 | 三菱電機株式会社 | トッププレート保護具、及び、それを備えた加熱調理器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06160214A (ja) | 1994-06-07 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |