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JP3175451B2 - Manufacturing method of ceramic green sheet - Google Patents

Manufacturing method of ceramic green sheet

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JP3175451B2
JP3175451B2 JP31526993A JP31526993A JP3175451B2 JP 3175451 B2 JP3175451 B2 JP 3175451B2 JP 31526993 A JP31526993 A JP 31526993A JP 31526993 A JP31526993 A JP 31526993A JP 3175451 B2 JP3175451 B2 JP 3175451B2
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JP
Japan
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ceramic green
green sheet
reel
ceramic
support film
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敏晴 柴田
孝明 河合
正士 森本
康信 米田
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば積層セラミック
電子部品の製造に用いられるセラミックグリーンシート
の製造方法に関し、特に、セラミックグリーンシートを
リールに巻回するまでの工程が改良されたセラミックグ
リーンシートの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a ceramic green sheet used for producing, for example, a multilayer ceramic electronic component, and more particularly, to a ceramic green sheet having an improved process for winding a ceramic green sheet on a reel. And a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば積層コンデンサの製造に際して
は、先ず、ポリエチレンテレフタレートなどの合成樹脂
よりなる支持フィルム上において、セラミック粉末、バ
インダ樹脂及び溶媒等を含むセラミックスラリーを所望
の厚みに塗布し、乾燥させることにより、セラミックグ
リーンシートを成形する。次に、支持フィルム上にて成
形されたセラミックグリーンシートを、該支持フィルム
から剥離してリールに巻回する。
2. Description of the Related Art For example, in manufacturing a multilayer capacitor, first, a ceramic slurry containing a ceramic powder, a binder resin, a solvent and the like is applied to a desired thickness on a support film made of a synthetic resin such as polyethylene terephthalate and dried. Thereby, a ceramic green sheet is formed. Next, the ceramic green sheet formed on the support film is peeled off from the support film and wound around a reel.

【0003】上記のようにリールに巻回された状態で用
意されたセラミックグリーンシートを該リールから引き
出し、所定の寸法の矩形形状のマザーのセラミックグリ
ーンシートを打ち抜き、複数枚のマザーのセラミックグ
リーンシートを得る。しかる後、マザーのセラミックグ
リーンシートの一方主面に導電ペーストを印刷し、加熱
・乾燥させる。次に、電極パターンの形成されたマザー
のセラミックグリーンシートを複数枚積層し、上下に電
極パターンの成形されていないマザーのセラミックグリ
ーンシートを適宜の枚数積層し、厚み方向に加圧して積
層体を得る。得られた積層体を、個々の積層コンデンサ
単位に切り出し、しかる後焼成し、焼結体を得る。この
ようにして得られた焼結体の両端面に外部電極を付与す
ることにより、積層コンデンサが得られる。
A ceramic green sheet prepared in a state of being wound on a reel as described above is pulled out from the reel, a rectangular mother ceramic green sheet having a predetermined size is punched out, and a plurality of mother ceramic green sheets are cut out. Get. Thereafter, a conductive paste is printed on one main surface of the mother ceramic green sheet, and then heated and dried. Next, a plurality of mother ceramic green sheets on which an electrode pattern is formed are laminated, and an appropriate number of mother ceramic green sheets on which an electrode pattern is not formed are laminated one above the other, and the laminate is pressed in the thickness direction to form a laminate. obtain. The obtained multilayer body is cut into individual multilayer capacitor units and then fired to obtain a sintered body. By applying external electrodes to both end faces of the thus obtained sintered body, a multilayer capacitor can be obtained.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の製造方
法のようにリールに巻回されたセラミックグリーンシー
トを用意する場合、支持フィルムからセラミックグリー
ンシートを剥離するに際し、セラミックグリーンシート
には張力が加わる。その結果、セラミックグリーンシー
トが該張力により伸び、伸ばされた状態のままリールに
巻回されることになる。従って、巻回された状態におい
ては、伸ばされた際の応力が開放されず、伸ばされた状
態のまま安定することになる。
When a ceramic green sheet wound on a reel is prepared as in the conventional manufacturing method described above, tension is applied to the ceramic green sheet when the ceramic green sheet is peeled from the support film. Join. As a result, the ceramic green sheet is stretched by the tension, and is wound around a reel in the stretched state. Therefore, in the wound state, the stress at the time of stretching is not released, and the state is stabilized in the stretched state.

【0005】他方、上記のようにして巻回されたセラミ
ックグリーンシートをリールから繰り出し、適当な寸法
に打ち抜き、電極パターンを印刷した後加熱・乾燥する
と、該加熱により上記応力が開放され、セラミックグリ
ーンシートが収縮する。このセラミックグリーンシート
の収縮量は上記応力の大きさ、加熱・乾燥条件等により
一定ではない。従って、セラミックグリーンシートの寸
法がばらつきがちとなり、かつ電極パターンを高精度に
印刷したとしても、最終的に得られたマザーのセラミッ
クグリーンシートにおける電極位置精度がばらつくとい
う問題があった。
On the other hand, the ceramic green sheet wound as described above is unwound from a reel, punched out to an appropriate size, printed with an electrode pattern, and then heated and dried. The sheet shrinks. The amount of shrinkage of the ceramic green sheet is not constant due to the magnitude of the stress, heating and drying conditions, and the like. Therefore, there is a problem that the dimensions of the ceramic green sheet tend to vary, and even if the electrode pattern is printed with high accuracy, the electrode position accuracy in the finally obtained mother ceramic green sheet varies.

【0006】本発明の目的は、加熱・乾燥に際しての収
縮が少なく、寸法ばらつきの少ないセラミックグリーン
シートを安定に供給することを可能とするセラミックグ
リーンシートの製造方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a method for producing a ceramic green sheet which is capable of stably supplying a ceramic green sheet having a small shrinkage upon heating and drying and a small dimensional variation.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、支持フィルム
上にてセラミックグリーンシートを成形する工程と、前
記セラミックグリーンシートを、含有されているバイン
ダ樹脂のガラス転移点±5℃の温度に冷却しつつ、前記
支持フィルムから剥離する工程と、前記セラミックグリ
ーンシートをリールに巻回する工程とを備える、セラミ
ックグリーンシートの製造方法である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises a step of forming a ceramic green sheet on a supporting film, and cooling the ceramic green sheet to a temperature of the glass transition temperature of the contained binder resin ± 5 ° C. And a step of winding the ceramic green sheet around a reel while removing the ceramic green sheet from the support film.

【0008】[0008]

【作用】セラミックグリーンシートの伸びは含まれてい
るバインダ樹脂の作用による。そこで、本発明では、セ
ラミックグリーンシートを支持フィルムから剥離する際
に、上記バインダ樹脂のガラス転移点tg±5℃の温度
までセラミックグリーンシートを冷却することにより、
セラミックグリーンシートが伸び難くされている。よっ
て、巻回されたセラミックグリーンシートをリールから
繰り出し、後の工程において加熱・乾燥したとしても、
巻回に際して伸ばされていないため、収縮が生じ難い。
The elongation of the ceramic green sheet depends on the action of the contained binder resin. Therefore, in the present invention, when the ceramic green sheet is peeled from the support film, the ceramic green sheet is cooled to a temperature of the glass transition point tg ± 5 ° C. of the binder resin,
Ceramic green sheets are hard to stretch. Therefore, even if the wound ceramic green sheet is unwound from the reel and heated and dried in a later step,
Since it is not stretched during winding, shrinkage hardly occurs.

【0009】[0009]

【発明の効果】本発明のセラミックグリーンシートの製
造方法では、支持フィルムからセラミックグリーンシー
トを剥離するに際し、セラミックグリーンシートが冷却
されるので、伸びが抑制された状態でセラミックグリー
ンシートがリールに巻回される。よって、セラミックグ
リーンシートをリールから繰り出し、後工程において加
熱・乾燥等を行ったとしても、セラミックグリーンシー
トの収縮が生じ難い。
According to the method for producing a ceramic green sheet of the present invention, the ceramic green sheet is cooled when the ceramic green sheet is peeled off from the support film. Turned. Therefore, even if the ceramic green sheet is unreeled from the reel and heated and dried in a later step, the ceramic green sheet hardly shrinks.

【0010】よって、寸法安定性に優れたセラミックグ
リーンシートを提供することができ、例えば積層コンデ
ンサなどのセラミック積層電子部品の製造方法に用いた
場合には、セラミックグリーンシートの寸法ばらつきや
電極位置精度のばらつきの少ないセラミック積層電子部
品を安定に供給することができ、静電容量などの特性の
安定なセラミック電子部品を提供することが可能とな
る。
Therefore, it is possible to provide a ceramic green sheet having excellent dimensional stability. For example, when the ceramic green sheet is used in a method of manufacturing a ceramic multilayer electronic component such as a multilayer capacitor, the dimensional variation of the ceramic green sheet and the electrode position accuracy are reduced. It is possible to stably supply a ceramic laminated electronic component having little variation in the above, and to provide a ceramic electronic component having stable characteristics such as capacitance.

【0011】[0011]

【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ、実施例を説
明することにより、本発明を明らかにする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be clarified by describing embodiments with reference to the drawings.

【0012】図1は、本発明の一実施例を説明するため
の模式的側面図である。本実施例では、まず、ポリエチ
レンテレフタレート等の合成樹脂フィルムよりなる支持
フィルム1を図示の矢印方向に搬送させる。次に、シー
ト成形部2において、上記支持フィルム1上にセラミッ
クスラリーを所定の厚みに塗布し、乾燥させることによ
り、セラミックグリーンシート3を成形する。
FIG. 1 is a schematic side view for explaining one embodiment of the present invention. In this embodiment, first, the support film 1 made of a synthetic resin film such as polyethylene terephthalate is transported in the direction of the arrow shown in the figure. Next, in the sheet forming section 2, a ceramic green sheet 3 is formed by applying a ceramic slurry on the support film 1 to a predetermined thickness and drying the slurry.

【0013】セラミックグリーンシート3の成形方法に
ついては、ドクターブレード法、ロールコーターを用い
た方法など適宜の方法を採用することができる。また、
使用するセラミックスラリーについても、種々のセラミ
ック粉末、有機バインダ及び充填剤に溶剤を混合してな
る適宜の組成のものを用いることができ、特に限定され
るものではない。
As a method for forming the ceramic green sheet 3, an appropriate method such as a doctor blade method or a method using a roll coater can be adopted. Also,
As for the ceramic slurry to be used, those having an appropriate composition obtained by mixing a solvent with various ceramic powders, organic binders and fillers can be used, and are not particularly limited.

【0014】次に、セラミックグリーンシート3を支持
フィルム1から剥離するに際し、剥離される部分A近傍
に冷却装置4を配置し、冷風を吹き付ける。冷風の温度
は、セラミックグリーンシート3の表面温度が、含有さ
れているバインダ樹脂のガラス転移点tg±5℃の温度
になるように選ばれる。なお、冷却装置4による冷却は
冷風に限ることはなく、冷却パイプの当接等任意に選ば
れる。該冷風の吹き付けにより、セラミックグリーンシ
ート3を冷却し、リール(ローラ)5に巻回する。リー
ル5は、図示の矢印で示すように時計方向に回転されて
おり、該リール5によりセラミックグリーンシート3を
巻回するに際し、セラミックグリーンシート3にはその
長さ方向に張力が加えられる。しかしながら、本実施例
では、上記冷風の吹き付けにより、セラミックグリーン
シート3が冷却されているため、該セラミックグリーン
シート3は巻回に際しての張力によりさほど伸びない。
Next, when the ceramic green sheet 3 is peeled off from the support film 1, a cooling device 4 is arranged near the part A to be peeled, and cool air is blown. The temperature of the cold air is selected so that the surface temperature of the ceramic green sheet 3 becomes a temperature of the glass transition point tg ± 5 ° C. of the contained binder resin. The cooling by the cooling device 4 is not limited to the cold air, but may be arbitrarily selected such as contact of a cooling pipe. By blowing the cold air, the ceramic green sheet 3 is cooled and wound around a reel (roller) 5. The reel 5 is rotated clockwise as indicated by an arrow in the drawing, and when the ceramic green sheet 3 is wound by the reel 5, tension is applied to the ceramic green sheet 3 in its length direction. However, in this embodiment, since the ceramic green sheet 3 is cooled by the blowing of the cold air, the ceramic green sheet 3 does not extend much due to the tension at the time of winding.

【0015】従って、リール5に巻回されたセラミック
グリーンシートから、マザーのセラミックグリーンシー
トを打ち抜き、電極ペーストの塗布後に加熱・乾燥した
としても、セラミックグリーンシートの収縮が生じ難
い。
Therefore, even if the mother ceramic green sheet is punched out of the ceramic green sheet wound on the reel 5 and heated and dried after the application of the electrode paste, the shrinkage of the ceramic green sheet hardly occurs.

【0016】次に、具体的な実験例につき説明する。セ
ラミック粉末に、バインダ樹脂としてポリ酢酸ビニル、
溶剤として純水を混合してなるセラミックスラリーを用
いて約20μmの厚みに成形し、セラミックグリーンシ
ート3を得た。次に、上記セラミックグリーンシート3
を剥離するに際し、図1に示した冷却装置4から吹き付
ける冷風の温度を種々変更することにより、種々のセラ
ミックグリーンシート3をリール5に巻回した。なお、
比較のために、冷却装置4を動作させないで、すなわち
従来法と同様にして、リール5にセラミックグリーンシ
ート3を巻回した。
Next, specific experimental examples will be described. In ceramic powder, polyvinyl acetate as binder resin,
A ceramic slurry formed by mixing pure water as a solvent was formed into a thickness of about 20 μm to obtain a ceramic green sheet 3. Next, the above ceramic green sheet 3
At the time of peeling, various ceramic green sheets 3 were wound around a reel 5 by changing the temperature of the cold air blown from the cooling device 4 shown in FIG. In addition,
For comparison, the ceramic green sheet 3 was wound around the reel 5 without operating the cooling device 4, that is, in the same manner as in the conventional method.

【0017】次に、上記のようにして用意したリール5
に巻回された複数種のセラミックグリーンシートを、リ
ール5から繰り出し、それぞれ80×60mmの矩形形
状に打ち抜き、80℃の温度に加熱した後の収縮量を測
定した。結果を表1に示す。なお、表1に示すシート収
縮量は、セラミックグリーンシートの長さ方向1mmに
対する収縮量を示す。
Next, the reel 5 prepared as described above is used.
The ceramic green sheets wound around were wound out from the reel 5 and punched into a rectangular shape of 80 × 60 mm, and the amount of shrinkage after heating to a temperature of 80 ° C. was measured. Table 1 shows the results. The sheet shrinkage shown in Table 1 indicates the amount of shrinkage of the ceramic green sheet in the length direction of 1 mm.

【0018】[0018]

【表1】 [Table 1]

【0019】表1から明らかなように、セラミックグリ
ーンシートを(バインダ樹脂のガラス転移点)+5℃以
下に冷却することにより、シート収縮量を著しく小さく
し得ることがわかる。他方、セラミックグリーンシート
の表面温度を、粘弾性が急激に小さくなる温度(バイン
ダ樹脂のガラス転移点)−5℃よりも低くした場合に
は、収縮量こそ小さくなるものの、キャリアフィルム2
からの剥離が困難となった。従って、上記実験例で使用
したセラミックグリーンシート及び支持フィルムでは、
冷却装置4による冷却温度範囲は、(バインダ樹脂のガ
ラス転移点)±5℃であることがわかる。
As is evident from Table 1, by cooling the ceramic green sheet to (the glass transition point of the binder resin) + 5 ° C. or less, the sheet shrinkage can be significantly reduced. On the other hand, when the surface temperature of the ceramic green sheet is lower than the temperature at which the viscoelasticity sharply decreases (the glass transition point of the binder resin) -5 ° C., the amount of shrinkage decreases, but the carrier film 2 decreases.
It became difficult to peel from the surface. Therefore, in the ceramic green sheet and the support film used in the above experimental example,
It can be seen that the cooling temperature range of the cooling device 4 is (glass transition point of the binder resin) ± 5 ° C.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例のセラミックグリーンシートの製造方法
を説明するための模式的側面図。
FIG. 1 is a schematic side view for explaining a method for manufacturing a ceramic green sheet of an example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…支持フィルム 2…シート成形部 3…セラミックグリーンシート 4…冷却装置 5…リール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Support film 2 ... Sheet forming part 3 ... Ceramic green sheet 4 ... Cooling device 5 ... Reel

フロントページの続き (72)発明者 米田 康信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 昭63−242601(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B28B 1/30 101 B28B 1/40 Continuation of front page (72) Inventor Yasunobu Yoneda 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) References JP-A-63-242601 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B28B 1/30 101 B28B 1/40

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 支持フィルム上にてセラミックグリーン
シートを成形する工程と、 前記セラミックグリーンシートを、含有されているバイ
ンダ樹脂のガラス転移点±5℃の温度に冷却しつつ、前
記支持フィルムから剥離する工程と、 前記セラミックグリーンシートをリールに巻回する工程
とを備える、セラミックグリーンシートの製造方法。
1. A step of forming a ceramic green sheet on a support film, and peeling the ceramic green sheet from the support film while cooling the ceramic green sheet to a temperature of ± 5 ° C. of a glass transition point of a binder resin contained therein. And a step of winding the ceramic green sheet around a reel.
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