[go: up one dir, main page]

JP3172283B2 - 質量分析用試料のイオン化装置 - Google Patents

質量分析用試料のイオン化装置

Info

Publication number
JP3172283B2
JP3172283B2 JP28037192A JP28037192A JP3172283B2 JP 3172283 B2 JP3172283 B2 JP 3172283B2 JP 28037192 A JP28037192 A JP 28037192A JP 28037192 A JP28037192 A JP 28037192A JP 3172283 B2 JP3172283 B2 JP 3172283B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
container
mass spectrometer
auxiliary gas
nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP28037192A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06130037A (ja
Inventor
義昭 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP28037192A priority Critical patent/JP3172283B2/ja
Priority to US08/127,927 priority patent/US5406079A/en
Publication of JPH06130037A publication Critical patent/JPH06130037A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3172283B2 publication Critical patent/JP3172283B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • H01J49/16Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
    • H01J49/165Electrospray ionisation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、質量分析装置に関わ
り、とくに試料を霧化、イオン化する装置と、このイオ
ン化装置を用いた質量分析装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】液体クロマトグラフ(Liquid Chromatog
raph、LCと略す)と質量分析装置(Mass Spectromete
r、MSと略す)とを直結したLC/MSにおいては、
LCとMS間にインターフェイスとしてイオン化装置が
設けられる。上記イオン化装置には種々の方式がある
が、その中で大気圧下でイオン化する大気圧イオン化
(Atmospheric Pressure Ionization、APIと略す)
が広く利用されるようになっている。
【0003】APIは (1)イオン分子反応を利用した大気圧化学イオン化
(Atmospheric Pressure Chemical Ionization、APC
Iと略す) (2)高電界中での液体噴霧によりイオン化を行うエレ
クトロスプレイイオン化(Electrospray Ionization、
ESIと略す) (3)流体の助けを貸りたESI(Pheumatically Assi
sted Electrospray Ionization)の3種類に分類され、
Analytical Chemistry誌の第62巻、713A〜725
A頁に詳述されている。
【0004】LCからの試料成分と溶媒を含んだ液体が
インターフェイスによりイオン化され、MSにて質量分
散を受けてマススペクトルを与える。ESIには蛋白や
ペプチド及びイオン性化合物を効率良くイオン化できる
という特徴がある。図8は上記液体補助形のESI方式
のLC/MS装置の構成図である。ポンプ2により送り
出された溶離液槽1の移動相(溶離液)に試料溶液が試
料注入口3からマイクロシリンジで注入され、カラム4
で成分毎に分離される。カラム4を溶出した溶出液は噴
霧器コネクタ5から金属キャピラリの内管6内に送り込
まれる。
【0005】噴霧器は同軸に配置された2つのキャピラ
リー内管6,外管7で構成され、内管6と外管7の間か
ら噴霧用ガスが送り込まれ、噴霧ノズル8の先端から噴
霧用ガスにより溶出液が大気中に噴霧される。噴霧ノズ
ル8と対向電極10間には高電圧HVが印加され、これ
により大気中に噴霧された上記霧の液滴はイオン化さ
れ、対向電極11の円錐頂部に設けたイオンサンプリン
グ孔10から真空の質量分析装置内に取り込まれる。
【0006】質量分析装置内に入った上記イオンはイオ
ン加速電極12により加速され、MSフィルタ13で質
量分散されて検出器14により検出され、直流増幅器
を介して記録計またはデ−タ処理装置27上にマスス
ペクトルを与える。なお、質量分析装置には上記MSフ
ィルタ以外のもの使用することもできる。 乾燥窒素
等の上記噴霧用ガスは、ガスシリンダ21により減圧弁
20、流量調整用のバルブ19、ティ(Tee)50等を
経て噴霧器コネクタ5に導入される。また、ティ50に
は流量調整用のバルブ51を介して補助ガスが送られ、
噴霧用ガスに混合される。
【0007】上記噴霧ノズル8より噴霧された液滴は大
気分子と衝突して溶媒が気化され、次第に小さくなる。
また、液滴表面に局在する同極性電荷の反撥力が液滴の
表面張力を上回ると液滴は一気に開裂して細分化され
る。質量分析装置はこのようにして微細化されたイオン
を取り込んで質量分散しマススペクトルを検出する。上
記ノズル先端部の高電界は噴霧ノズルと対向電極間の3
〜8kVの高電圧により形成され、ノズルに対して対向
電極電位が負のときには正のイオンが生成され、対向電
極電位がノズルに対しのときには負イオン生成され
る。
【0008】また、上記電圧はイオン化対象化合物や、
溶媒、イオン源(インターフェイス)の構造などに応
て最適に設定される。上記電圧を徐々に増加させていく
と、ESIイオン化が始り、イオン電流も徐々に増大す
る。この電圧とイオン電流値との間には明確な比例関係
はみられないが、電圧の増加によりイオン電流は増加す
る。上記ガス流体補助形のESIにおいては、噴霧ノズ
ルより試料溶離液ガスと噴霧用ガスと同軸方向に流すこ
とにより、噴霧量を増大させ、かつ安定なイオン化を得
ることができる。
【0009】しかし、一般に上記電圧を3kV以上にす
ると噴霧ノズル8からコロナ放電が発生して高電界が消
滅するため、上記電圧をコロナ放電が発生しないぎりぎ
りの値に設定するようにしている。このコロナ放電の問
題は、正イオン測定モードの場合に比べて負イオン測定
モードの方が深刻である。負イオン測定モードでは、イ
オン化の際に同時に生成される電子も高電界により加速
され、中性分子と衝突してこれをイオン化する。このイ
オン化に伴ってさらに多くの電子が生成され、この反応
が連鎖反応的に増大して有害なコロナ放電が開始する。
【0010】上記噴霧用ガスに混入される補助ガスはハ
ロゲン元素や酸素等の電気陰性度の高い元素/分子を含
み、上記コロナ放電を防止する。すなわち、上記電気
性度の高い元素を含む分子は電子と衝突して負イオンと
なるが、その質量は電子に比べてして格段に大きいため
移動速度が電子に比べて極めて遅く、このため上記イオ
ン化の連鎖反応を起りにくくしコロナ放電開始電圧を上
昇させる。
【0011】しかし、上記噴霧ガスそのものを酸素や空
気等にすると、LC分析に多用されるメタノール、アセ
トニトリルなどの低引火点溶媒を爆発、発火させる恐れ
があるため、噴霧ガスに酸素や空気等の補助ガスを所定
量混入するようにしていた。また、乾燥窒素の噴霧ガス
に上記酸素の代わりにSF6を数%混ぜることが提案さ
れたり、溶離液に四塩化炭素(CCl4)などを0.1%程
度の濃度で混入することがおこなわれている。また、
ロンは安全であるものの、地球環境破壊防止のため使用
できず、六弗化硫黄SF6は安定でコロナ放電防止に有
効であるが、必要な噴霧流量が数l/minと大きいた
め、環境への影響やコスト面から大量に使用することが
できなかった。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のLC/MS
装置においては、LCの試料溶離液の組成、流量に応じ
て噴霧用ガスの流量を調整し、さらに、これに混合する
上記ハロゲン元素や酸素等の電気陰性度の高い元素を含
む補助ガスの混合比も調整する必要があるため、調整が
微妙で煩わく、測定の効率化への障害となっていた。
本発明の目的は、噴霧用ガスに対する上記補助ガスの混
合比を自動的に一定化して、試料噴霧の安定性とコロナ
放電防止とを両立させることができる質量分析装置を提
供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る質量分析装置の構成は、大気圧下で液
体試料と当該液体試料の噴霧量を増大させる噴霧ガスと
を噴霧するノズルと、当該ノズルに電圧を印加する電源
を有し、上記電圧が印加されることにより上記ノズルか
ら噴霧された液体試料のイオン化を行うエレクトロスプ
レイイオン化(ESI)イオン源を備えた質量分析装置
において、上記ノズルに対して上記噴霧用ガスを導入す
る流路の一部に、コロナ放電の発生を抑える補助ガスを
混合する吸入混合器を設け、当該吸入混合器は、内部に
噴霧用ガスの導入口側から吐出口側に向かって次第に狭
まるテ−パ部と、上記補助ガスの導入口とを有し、上記
噴霧用ガスが流れることによて発生する負圧により噴
霧用ガスと補助ガスの混合を行うように構成したことを
特徴とする質量分析装置である。前項において、上記吸
入混合器は、補助ガスの導入口の位置を変化させる手段
を設けたことを特徴とする質量分析装置である。前項に
おいて、上記補助ガスとして、大気を用いるようにした
ことを特徴とする質量分析装置である。前項において、
上記補助ガスを発生する溶媒を貯えた容器と、当該容器
内に大気を導入して上記溶媒をバブリングする手段と、
上記容器と上記吸入混合器を連通する連通路を備えたこ
とを特徴とする質量分析装置である。前項において、上
記補助ガスを発生する溶媒を貯えた容器と、当該容器内
に上記噴霧用ガスを導入する第一の連通路と、上記容器
と上記吸入混合器を連通する第二の連通路を備えたこと
を特徴とする質量分析装置である。
【0014】
【作用】上記吸入混合器の上記テ−パ部は噴霧用ガスの
流速を次第に加速して内部に負圧を発生する。上記補助
ガスは上記負圧により吸入混合器内に自動的に吸い込ま
れる。また、噴霧用ガス流量に対する補助ガスの吸込比
率は吸入混合器の上記テ−パ部形状と補助ガス供給口の
大きさ、位置等により定まる。したがって、上記補助ガ
スの導入口の位置を変えることにより補助ガスの吸込比
率が変化する。上記吸入混合器は質量分析装置用の試
料イオン化装置における試料の霧化を安定化し、上記補
助ガスに用いる大気や電気陰性度の高い気体は、イオン
化のために、噴霧ノズルと対向電極間に印加する電圧に
より発生するコロナ放電を防止する。
【0015】
【実施例】図1は本発明によるLC/MS装置の構成図
である。図1においては、図8に示した従来装置のティ
−50が吸入混合器17に変えられている。LCのカラ
ム4からの溶出液は噴霧器コネクター5から金属キャピ
ラリー内管6内に送り込まれ、内管6と外管7の間を通
る補助ガスが混合された噴霧用ガスによって噴霧ノズル
8より大気中9へ噴霧される。上記噴霧用ガスはガスシ
リンダ21から減圧弁20、流量調整バルブ19を経て
パイプ29を経てガス吐き出し口18からガス吸入混合
器17内に高速で噴出する。
【0016】図2に示すように、吸入混合器17の内部
はパイプ29から同30に向かって先細りのテ−パ構造
となっている。このため、このパイプ29より噴出した
噴霧用ガスは上記先細り構造により加速されてパイプ3
0から出射される。ベルヌーイの法則が示すように、噴
霧用ガスの加速により吸入混合器17内には負圧が生じ
るので、開口パイプより供給される補助ガスを自動的に
吸引する。すなわち、噴霧用ガス流体と周囲の気体間の
摩擦や渦により補助ガスがまき込まれて吸引される。
【0017】補助ガスの吸引量は噴霧用ガスの流速に比
例するので、噴霧用ガスの流量を一定に保つとき噴霧用
ガスに対する補助ガスの混合比は常に一定に保たれる。
また、上記吸入混合器17内の負圧の大きさは開口パイ
プ26の補助ガス吐出端の位置により変化するので、図
3に示すように、開口パイプ26の補助ガス吐出端の位
置を変えられるようにすると、噴霧用ガスに対する補助
ガスの混合比を任意に調整することができる。以上よ
り、本発明では、バルブ19の調整のみにより所定の混
合比で補助ガスを含む噴霧用ガスを噴霧用コネクタに送
り込むことができ、図8のバルブ51を省略することが
できる。
【0018】図1においては、噴霧用ガスには、例えば
乾燥窒素を用い、補助ガスには電気陰性度の高い元素
含んだ大気を用いる。すなわち、上記吸入混合器17内
の負圧はパイプ25を通じて試薬ビン22内に伝えら
れ、上記大気が試薬ビン22内の電気陰性度の高い溶媒
23をバブリングして気化し、これを吸入混合器17に
供給する。噴霧用ガスに対するこの大気の混合比は前述
のように自動的に一定に抑えられるので、試料溶出液中
の揮発性成分と混合して爆発する危険性も自動的に抑止
される。
【0019】また、補助ガスとしては大気のような電気
陰性度の高いガスを用いてもよい。なお図4に示すよう
に、開口パイプ26を大気中に開放しても、図1の場合
と噴霧用ガスに対する大気の混合比を所定値に保つこと
ができる。ニードルバルブ19は開閉用のものであり吸
入量を調整するものではない。
【0020】図5は補助ガスとして塩化メチレン(CH2C
l2),クロロホルム(CHCl3),四塩化炭素(CCl4)等
を用いた場合である。入混合器17の吸入口へ、パイ
プ25を接続する。このパイプは液体23が半分までみ
たされた試薬ビン22内には塩化メチレン(CH2Cl2),
クロロホルム(CHCl3),四塩化炭素(CCl4)などの液
体が入れられ、これらは常温で充分な蒸気圧を持つので
試薬ビン上部の空間にはこれらが気化したガスが充満す
る。吸入混合器17はパイプ25を介して上記気化ガス
を吸引し噴霧用ガスに混合する。この吸引により試薬ビ
ン内が減圧されると試薬液体が気化しこれを補う。
【0021】図6は開口パイプ26にSF6などのガス
シリンダ27を接続した本発明の実施例である。吸入混
合器17の負圧によりSF6などのガスは自動的に流量
を調整されて噴霧用ガスに混合される。なお、ニードル
バルブ19は開閉用のものであり吸入量を調整するもの
ではない。
【0022】図7は図1における大気の代わりに噴霧用
ガスを用いた本発明の実施例を示す図である。噴霧用ガ
スはパイプ28により分岐されて試薬ビン22へ送ら
れ、試薬ビン内の電気的陰性の液体をバブリングして蒸
発させる。このガスは補助ガスとしてガス吸入混合器1
7へ送られる。なお、ニードルバルブ19は開閉用のも
のであり吸入量を調整するものではない。
【0023】
【発明の効果】本発明により、電気陰性度の高い補助ガ
を噴霧用ガスに所定の比率で安定、且つ自動的に混入
することができるので、ESIにおける試料の霧化を安
定化したうえ、コロナ放を防止することができる。さ
らに、噴霧用ガスの流量調節のみにより、噴霧用ガスと
補助ガスの混合ガスの流量を制御できるので、操作が簡
便化され作業を効率化することができる。さらに、構造
が簡単化されるので、質量分析用試料のイオン化装置を
低価格化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による質量分析用試料のイオン化装置の
ブロック図である。
【図2】本発明による噴霧用ガスと補助ガスの吸入混合
器の断面図である。
【図3】本発明による他の吸入混合器の断面図である。
【図4】本発明による吸入混合器に補助ガスとして大気
を導入する状態を示す図である。
【図5】本発明による吸入混合器に補助ガス用溶媒を収
容する試薬ビンを接続した状態を示す図である。
【図6】本発明による吸入混合器に補助ガス用ガスシリ
ンダを接続した状態を示す図である。
【図7】図4の試薬ビンにバブリング用の噴霧用ガスを
導入した状態を示す図である。
【図8】従来の質量分析用試料のイオン化装置のブロッ
ク図である。
【符号の説明】
4…カラム,5…噴霧器コネクタ,6…キャピラリ内
管,7…キャピラリ外管,8…噴霧ノズル,16…ガス
吐出口,17吸入混合器、21…ガスシリンダ,22…
試料ビン,23…高電気陰性度の溶媒,26…開口パイ
プ,29、39…パイプ。

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 大気圧下で液体試料と当該液体試料の噴
    霧量を増大させる噴霧ガスとを噴霧するノズルと、当該
    ノズルに電圧を印加する電源を有し、上記電が印加さ
    れることにより上記ノズルから噴霧された液体試料のイ
    オン化を行うエレクトロスプレイイオン化(ESI)イ
    オン源を備えた質量分析装置において、 上記ノズルに対して上記噴霧用ガスを導入する流路の一
    部に、コロナ放電の発生を抑える補助ガスを混合する吸
    入混合器を設け、当該吸入混合器は、内部に噴霧用ガス
    の導入口側から吐出口側に向かって次第に狭まるテ−パ
    部と、上記補助ガスの導入口とを有し、上記噴霧用ガス
    が流れることによて発生する負圧により噴霧用ガスと
    補助ガスの混合を行うように構成したことを特徴とする
    質量分析装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 上記吸入混合器は、補助ガスの導入口の位置を変化させ
    る手段を設けたことを特徴とする質量分析装置。
  3. 【請求項3】 請求項1において、 上記補助ガスとして、大気を用いるようにしたことを特
    徴とする質量分析装置。
  4. 【請求項4】 請求項1において、 上記補助ガスを発生する溶媒を貯えた容器と、当該容器
    内に大気を導入して上記溶媒をバブリングする手段と、
    上記容器と上記吸入混合器を連通する連通路を備えたこ
    とを特徴とする質量分析装置。
  5. 【請求項5】 請求項2において、 上記補助ガスを発生する溶媒を貯えた容器と、当該容器
    内に上記噴霧用ガスを導入する第一の連通路と、上記容
    器と上記吸入混合器を連通する第二の連通路を備えたこ
    とを特徴とする質量分析装置。
JP28037192A 1992-10-20 1992-10-20 質量分析用試料のイオン化装置 Expired - Fee Related JP3172283B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28037192A JP3172283B2 (ja) 1992-10-20 1992-10-20 質量分析用試料のイオン化装置
US08/127,927 US5406079A (en) 1992-10-20 1993-09-28 Ionization device for ionizing liquid sample

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28037192A JP3172283B2 (ja) 1992-10-20 1992-10-20 質量分析用試料のイオン化装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06130037A JPH06130037A (ja) 1994-05-13
JP3172283B2 true JP3172283B2 (ja) 2001-06-04

Family

ID=17624090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28037192A Expired - Fee Related JP3172283B2 (ja) 1992-10-20 1992-10-20 質量分析用試料のイオン化装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5406079A (ja)
JP (1) JP3172283B2 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5750988A (en) * 1994-07-11 1998-05-12 Hewlett-Packard Company Orthogonal ion sampling for APCI mass spectrometry
US5495108A (en) * 1994-07-11 1996-02-27 Hewlett-Packard Company Orthogonal ion sampling for electrospray LC/MS
US5868322A (en) * 1996-01-31 1999-02-09 Hewlett-Packard Company Apparatus for forming liquid droplets having a mechanically fixed inner microtube
JP2002107344A (ja) * 2000-10-04 2002-04-10 Shimadzu Corp 液体クロマトグラフ質量分析装置
JP4590091B2 (ja) * 2000-11-24 2010-12-01 大陽日酸株式会社 ガス分析装置
FR2896585B1 (fr) * 2006-01-20 2008-12-05 Commissariat Energie Atomique Introduction d'additifs pour une interface d'ionisation a pression atmospherique en entree d'un spectrometre
GB0703578D0 (en) * 2007-02-23 2007-04-04 Micromass Ltd Mass spectrometer
WO2015022573A1 (en) * 2013-08-14 2015-02-19 Dh Technologies Development Pte. Ltd. Ion mobility method and apparatus
WO2017056173A1 (ja) * 2015-09-29 2017-04-06 株式会社島津製作所 イオン源用液体試料導入システム及び分析システム

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4209696A (en) * 1977-09-21 1980-06-24 Fite Wade L Methods and apparatus for mass spectrometric analysis of constituents in liquids
JPS60129668A (ja) * 1983-12-19 1985-07-10 Jeol Ltd 液体クロマトグラフ質量分析装置
US5285064A (en) * 1987-03-06 1994-02-08 Extrel Corporation Method and apparatus for introduction of liquid effluent into mass spectrometer and other gas-phase or particle detectors
US4977785A (en) * 1988-02-19 1990-12-18 Extrel Corporation Method and apparatus for introduction of fluid streams into mass spectrometers and other gas phase detectors
US5096615A (en) * 1988-07-19 1992-03-17 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Solid aerosol generator
CA1307859C (en) * 1988-12-12 1992-09-22 Donald James Douglas Mass spectrometer and method with improved ion transmission
JP2633974B2 (ja) * 1990-04-18 1997-07-23 株式会社日立製作所 試料のイオン化および質量分析のための装置
EP0588952B1 (en) * 1991-05-21 1999-09-01 Analytica Of Branford, Inc. Method and apparatus for improving electrospray ionization of solute species

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06130037A (ja) 1994-05-13
US5406079A (en) 1995-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8502140B2 (en) Single and multiple operating mode ion sources with atmospheric pressure chemical ionization
CA2714287C (en) Ion source vessel and methods
US8637812B2 (en) Sample excitation apparatus and method for spectroscopic analysis
JPS583592B2 (ja) 質量分析計への試料導入方法及び装置
JP5589750B2 (ja) 質量分析装置用イオン化装置及び該イオン化装置を備える質量分析装置
JP3172283B2 (ja) 質量分析用試料のイオン化装置
JP2000513873A (ja) 質量分析計のためのイオン源および分析のためにイオン源を供する方法
CN111052302B (zh) 具有不对称喷雾的apci离子源
US6646255B2 (en) Liquid chromatograph/mass spectrometer and its ionization interface
JP3581604B2 (ja) 大気圧イオン化質量分析装置
JPH11326302A (ja) 液体クロマトグラフ質量分析装置
JP2001043826A (ja) 質量分析装置における大気圧化学イオン化方法
WO2018167933A1 (ja) 荷電粒子の供給制御方法及び装置
JPH06310088A (ja) 質量分析装置イオン源
WO2022131061A1 (ja) イオン源およびこれを備えた質量分析計
JP2005183250A (ja) 大気圧イオン源およびそれを用いた質量分析方法
JP2009133661A (ja) 液体クロマトグラフ質量分析装置
JP2012058122A (ja) 液体クロマトグラフ質量分析装置
JP4389515B2 (ja) 質量分析装置
JPH11108895A (ja) 液体クロマトグラフ質量分析装置
JPH10197484A (ja) 液体クロマトグラフ質量分析装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees