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JP3163580B2 - Waveguide optical components - Google Patents

Waveguide optical components

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Publication number
JP3163580B2
JP3163580B2 JP06181991A JP6181991A JP3163580B2 JP 3163580 B2 JP3163580 B2 JP 3163580B2 JP 06181991 A JP06181991 A JP 06181991A JP 6181991 A JP6181991 A JP 6181991A JP 3163580 B2 JP3163580 B2 JP 3163580B2
Authority
JP
Japan
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optical
optical fiber
waveguide
adhesive
light
Prior art date
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Application number
JP06181991A
Other languages
Japanese (ja)
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JPH04212113A (en
Inventor
隆男 木村
文明 塙
哲雄 宮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Filing date
Publication date
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First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=26402901&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3163580(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication of JPH04212113A publication Critical patent/JPH04212113A/en
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  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光通信分野などで用い
られる光導波路と入出力用光ファイバとから構成される
導波型光部品に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a waveguide type optical component comprising an optical waveguide and an input / output optical fiber used in the field of optical communication and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信技術の進展に伴ない、従来の光
源、光ファイバ、受光器に加えて、光分岐素子や光スイ
ッチ、光合分波器などの多様な光部品が要求されてい
る。
2. Description of the Related Art With the development of optical communication technology, various optical components such as an optical branching element, an optical switch, and an optical multiplexer / demultiplexer have been required in addition to the conventional light source, optical fiber, and optical receiver.

【0003】これらの光部品を実現する形態としては、
バルク型、ファイバ型、導波型の三つが提案されている
が、小型、安定性、量産性、規模拡張性などの観点か
ら、将来は導波型が重要な役割を果たすものと期待され
ている。現在、導波型の光部品を実用化する上での最大
の問題点は、導波型の光部品を構成する光導波路と入出
力用の光ファイバとを、いかに効率よく、しかも安定に
接続するかという点にある。
[0003] As a form to realize these optical components,
Bulk type, fiber type, and waveguide type have been proposed, but from the viewpoint of miniaturization, stability, mass productivity, scale expansion, etc., it is expected that waveguide type will play an important role in the future. I have. At present, the biggest problem in commercializing waveguide optical components is how to efficiently and stably connect the optical waveguides constituting the waveguide optical components and the input / output optical fibers. To do that.

【0004】これまでにも、光導波路と光ファイバとの
接続方法として、融着法や接着剤法などの種々の方法が
試みられているが、なかでも接着剤法は、低コスト化の
点で有望視されている。この種の接着剤としては、迅速
に硬化させるため、通常は紫外線によって硬化する接着
剤、いわゆるUV接着剤が用いられている。
Various methods such as a fusion bonding method and an adhesive method have been tried as a method of connecting an optical waveguide and an optical fiber. Among these methods, the adhesive method has a disadvantage in terms of cost reduction. Promising. As this kind of adhesive, an adhesive which is usually cured by ultraviolet rays, that is, a so-called UV adhesive is used in order to quickly cure the adhesive.

【0005】図2は、従来の接着剤接続方法によって作
製された導波型光部品の構成図で、同図の(A) は外観
図、同図の(B) は(A) のX−X線矢視方向の拡大断面
図、同図の(C) は(A) のY−Y線またはZ−Z線矢視方
向の拡大断面図である。
FIG. 2 is a structural view of a waveguide type optical component manufactured by a conventional adhesive connection method. FIG. 2 (A) is an external view, and FIG. 2 (B) is an X-ray of FIG. FIG. 3C is an enlarged sectional view taken in the direction of the arrow X-ray, and FIG. 3C is an enlarged sectional view taken in the direction of the line YY or ZZ in FIG.

【0006】図2において、1は光導波路モジュ−ル、
2および3は光ファイバモジュ−ル、10は光導波路保
持用筐体、11は光導波路保持用筐体10に保持された
導波路付き基板、11a,11bは基板11上に形成さ
れ両端が光導波路保持用筐体10の端面に対し成端され
た光導波路、20および30は光ファイバ保持用筐体、
21a,21bは光ファイバ保持用筐体20に一端面が
成端され、かつ、光導波路11a,11bの一端側と光
軸が一致するように接続された入出力用の光ファイバ、
31a,31bは光ファイバ保持用筐体30に一端面が
成端され、かつ、光導波路11a,11bの他端側と光
軸が一致するように接続された入出力用の光ファイバ、
41は光導波路11a,11bと光ファイバ21a,2
1bとの、また、42は光導波路11a,11bと光フ
ァイバ31a,31bとの接合面に介在させた筐体同士
を接続するUV接着剤(紫外線硬化性接着剤)からなる
接着剤層である。また、光導波路保持用筐体10および
光ファイバ保持用匡体20,30は、加工性、線膨張係
数、機械強度などの点から、一般には金属が用いられて
いる。
In FIG. 2, 1 is an optical waveguide module,
Reference numerals 2 and 3 denote optical fiber modules, 10 denotes an optical waveguide holding housing, 11 denotes a substrate with a waveguide held by the optical waveguide holding housing 10, 11a and 11b are formed on the substrate 11, and both ends are optically guided. An optical waveguide terminated to an end face of the waveguide holding casing 10, 20 and 30 are optical fiber holding casings,
Reference numerals 21a and 21b denote input / output optical fibers having one ends terminated to the optical fiber holding casing 20 and connected so that the optical axes coincide with one ends of the optical waveguides 11a and 11b.
Reference numerals 31a and 31b denote input / output optical fibers having one ends terminated to the optical fiber holding casing 30 and connected so that the optical axes coincide with the other ends of the optical waveguides 11a and 11b.
41 is an optical waveguide 11a, 11b and an optical fiber 21a, 2
Reference numeral 1b and reference numeral 42 denote an adhesive layer made of a UV adhesive (ultraviolet curable adhesive) for connecting the housings interposed between the joint surfaces of the optical waveguides 11a and 11b and the optical fibers 31a and 31b. . The optical waveguide holding housing 10 and the optical fiber holding housings 20 and 30 are generally made of metal from the viewpoint of workability, linear expansion coefficient, mechanical strength, and the like.

【0007】図3は、このような従来の導波型光部品を
作製するための部品組み立て工程の説明図である。図
中、51は光導波路モジュ−ル1を固定する基台、52
は光ファイバモジュ−ル2を保持し、光導波路11a,
11bの一端に対し光ファイバ21a,21bを光軸合
わせするための微動装置ア−ム、53は光ファイバモジ
ュ−ル3を保持し、光導波路11a,11bの他端に対
し光ファイバ31a,31bを光軸合わせするための微
動装置ア−ム、61a,61bは例えば光ファイバ21
a,21bの他端と接続されるモニタ用光源、71a,
71bは光ファイバ31a,31bの他端と接続される
モニタ用受光器、80は紫外線照射用プロ−ブである。
FIG. 3 is an explanatory view of a component assembling process for manufacturing such a conventional waveguide type optical component. In the figure, reference numeral 51 denotes a base for fixing the optical waveguide module 1;
Holds the optical fiber module 2 and the optical waveguides 11a,
A fine adjustment arm 53 for aligning the optical axes of the optical fibers 21a and 21b with one end of the optical fiber 11b holds the optical fiber module 3, and the optical fibers 31a and 31b are connected to the other ends of the optical waveguides 11a and 11b. Arm 61a, 61b for adjusting the optical axis of the optical fiber 21
a, a light source for monitoring connected to the other ends of 21a and 21b;
Reference numeral 71b denotes a monitoring light receiver connected to the other ends of the optical fibers 31a and 31b, and reference numeral 80 denotes an ultraviolet irradiation probe.

【0008】導波型光部品を組み立てるには、まず、基
台51に設置した基板11上の光導波路11a,11b
を含む光導波路モジュ−ル10の両端に、微動装置ア−
ム52、53を駆動して、これらに保持した光ファイバ
21a,21bと光ファイバ31a,31bとを互いに
近づける。
In order to assemble the waveguide type optical component, first, the optical waveguides 11a and 11b on the substrate 11 set on the base 51 are set.
A fine movement device is provided at both ends of the optical waveguide module 10 including
The optical fibers 21a and 21b and the optical fibers 31a and 31b held by these are driven to move closer to each other.

【0009】この際、光ファイバ21a,21bの一端
からはモニタ用光源61a,61bからのモニタ光を導
入し、このモニタ光が光導波路11a,11b、続いて
光ファイバ31a,31bを経由して出射される光強度
をモニタ用受光器71a,71bにより検出する。
At this time, monitor light from monitor light sources 61a and 61b is introduced from one ends of the optical fibers 21a and 21b, and the monitor light passes through the optical waveguides 11a and 11b, and subsequently through the optical fibers 31a and 31b. The emitted light intensity is detected by the monitoring light receivers 71a and 71b.

【0010】モニタ用受光器71a,71bによる検出
光の強度情報は、図示しないフィ−ドバック制御装置に
て処理する。この処理結果に基づき、微動装置ア−ム5
2,53を駆動し、光ファイバ21a,21b並びに3
1a,31bが、光導波路11a,11bに対し最適位
置で光軸が一致するように光軸合わせを行う。
The intensity information of the light detected by the monitoring light receivers 71a and 71b is processed by a feedback control device (not shown). Based on this processing result, the fine movement arm 5
2 and 53, and the optical fibers 21a, 21b and 3
The optical axes 1a and 31b adjust the optical axes so that the optical axes coincide with the optical waveguides 11a and 11b at the optimum positions.

【0011】また、光ファイバ21a,21b並びに3
1a,31bの端部と光導波路11a,11bの端部と
の間には、屈折率整合剤を兼ねてUV接着剤が塗付され
ており、光軸合わせが完了した時点で、紫外線照射用プ
ロ−ブ80から光軸合わせ部に紫外線を照射して接着剤
を固化させ、接着剤層41,42を順次形成することに
より、部品の組み立てが完了する。
Also, the optical fibers 21a, 21b and 3
Between the ends of the optical waveguides 1a and 31b and the ends of the optical waveguides 11a and 11b, a UV adhesive is applied also as a refractive index matching agent. The assembly of the parts is completed by irradiating the optical axis alignment portion with ultraviolet rays from the probe 80 to solidify the adhesive and sequentially forming the adhesive layers 41 and 42.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の導波型光部品は、光導波路保持用筐体10および光
ファイバ保持用筐体20,30は金属性であるため紫外
線透過性に劣り、紫外線照射用プロ−ブ80から照射さ
れた紫外線は、屈折率整合剤を兼ねる接着剤層41,4
2のみを透過する。
However, in the above-mentioned conventional waveguide type optical component, the optical waveguide holding casing 10 and the optical fiber holding casings 20, 30 are inferior in ultraviolet transmittance since they are metallic. The ultraviolet rays radiated from the ultraviolet irradiating probe 80 are applied to the adhesive layers 41 and 4 also serving as a refractive index matching agent.
Transmit only 2

【0013】このため、紫外線照射用プロ−ブ80を、
主に光軸に対し直交する方向(接合面に対し平行な方
向)に配置することを余儀無くされ、紫外線照射時に紫
外線照射用プロ−ブ80に近い側の接着剤が先に硬化を
開始し、遠い側の接着剤の硬化が遅れるため、組み立て
工程において精密に行われた折角の光軸合わせが硬化時
に狂ってしまうという問題点があった。
For this reason, the ultraviolet irradiation probe 80 is
It is indispensable to arrange it mainly in a direction perpendicular to the optical axis (a direction parallel to the bonding surface), and the adhesive on the side close to the ultraviolet irradiation probe 80 starts to cure first when the ultraviolet irradiation is performed. In addition, since the curing of the adhesive on the far side is delayed, there has been a problem that the optical axis alignment of the bent angle precisely performed in the assembling process is out of order at the time of curing.

【0014】このことは、コア寸法の小さい単一モ−ド
光導波路と単一モ−ド光ファイバを接続する場合に特に
深刻な問題であり、接続損失が最小になるように光軸合
わせした段階から、接続損失が1〜5dB程度も増加する
という問題点があった。
This is a particularly serious problem when a single-mode optical waveguide having a small core size is connected to a single-mode optical fiber, and the optical axes are aligned so as to minimize the connection loss. From the stage, there is a problem that the connection loss increases by about 1 to 5 dB.

【0015】また、この問題の解決法として、接着剤層
を厚くし紫外線の透過量を多くする方法も提案されてい
る。
As a solution to this problem, a method has been proposed in which the thickness of the adhesive layer is increased to increase the amount of transmitted ultraviolet light.

【0016】しかし、この方法で作製された導波型光部
品は、接着剤層41,42の光損失が高いため接続損失
が大きくなるという問題点があった。加えて、接着剤層
41,42の線膨張係数と光ファイバや光導波路などを
構成する石英ガラスや筐体を構成する金属の線膨張係数
が1桁以上異なるため、温度変化による光損失の変動が
多い問題や、長期信頼性などの点に問題があった。
However, the waveguide type optical component manufactured by this method has a problem that the connection loss is increased due to the high optical loss of the adhesive layers 41 and 42. In addition, since the linear expansion coefficient of the adhesive layers 41 and 42 and the linear expansion coefficient of the quartz glass constituting the optical fiber and the optical waveguide and the metal constituting the housing differ by one digit or more, the fluctuation of the optical loss due to the temperature change Problems and problems with long-term reliability.

【0017】また、別の方法としては、光ファイバと光
導波路の接続を、両者の接合面ではなく、光ファイバモ
ジュ−ル2,3の外周と光導波路モジュ−ル1の外周に
よって行う方法があるが、この方法は逆に厚い接着剤層
のため、光ファイバ/光導波路界面には光が届かず、接
着されない。このため、上に述べたと同様な問題、すな
わち、接着剤層の線膨張係数と光ファイバや光導波路な
どを構成する石英ガラスや筐体を構成する金属のそれら
が1桁以上異なるため、温度変化による光損失の変動が
多い問題や、長期信頼性などの点に問題が依然として残
されていた。さらに、この方法は接続強度が弱いという
欠点を併せ持つ。
As another method, there is a method in which the optical fiber and the optical waveguide are connected by the outer circumference of the optical fiber modules 2 and 3 and the outer circumference of the optical waveguide module 1 instead of the joint surface between them. However, this method, on the contrary, does not reach the optical fiber / optical waveguide interface and is not bonded due to the thick adhesive layer. For this reason, the same problem as described above, that is, the coefficient of linear expansion of the adhesive layer differs from that of the quartz glass constituting the optical fiber or the optical waveguide or the metal constituting the housing by one digit or more, so that the temperature change However, there still remains a problem in that the optical loss fluctuates greatly and a problem such as long-term reliability. Further, this method has a disadvantage that the connection strength is weak.

【0018】また、UV接着剤は、一般に樹脂成分と感
光剤を主な構成要素としており、感光剤が光を吸収する
ことにより、樹脂成分の反応を引き起こし接着するメカ
ニズムである。この感光剤は光源の波長に合致するよう
に、一般には360nm付近に最大吸収を持つように設計
されている。
The UV adhesive generally has a resin component and a photosensitive agent as main components, and is a mechanism of causing a reaction of the resin component and causing adhesion by absorbing light. This photosensitive agent is designed to have a maximum absorption around 360 nm, generally to match the wavelength of the light source.

【0019】しかるに、感光剤は光が照射されるとごく
短時間で分解し、吸収スペクトルの形状が変化する。接
着剤層が厚い場合はその表面の吸収スペクトルが変わる
ため、内部まで紫外線が到達しなくなる。このため、長
時間紫外線を照射しても、厚膜の場合には極めて反応が
生じにくくなるのがごく一般的なUV接着剤である。
However, the photosensitive agent is decomposed in a very short time when irradiated with light, and the shape of the absorption spectrum changes. When the adhesive layer is thick, the absorption spectrum of the surface changes, so that the ultraviolet ray does not reach the inside. For this reason, even in the case of a thick film, it is extremely difficult for a UV adhesive to react when exposed to ultraviolet light for a long time.

【0020】このUV接着剤を用いた従来の接続法はい
ずれも、上記したように光ファイバと光導波路の接合面
に対してほぼ平行に紫外線が照射されるため、実質的に
厚膜の接着剤を用いるのと同じことになり、深部までは
硬化しにくい問題がある。
In any of the conventional connection methods using this UV adhesive, since the ultraviolet rays are radiated substantially parallel to the joint surface between the optical fiber and the optical waveguide as described above, a substantially thick film is bonded. It is the same as using an agent, and there is a problem that it is difficult to cure to a deep part.

【0021】従って、上記したような接合面を有する従
来の導波型光部品は、再三述べているように、接続損失
が大きいだけでなく、温度変化に伴う損失変動や長期信
頼性、さらには機械強度に大きな問題を抱えていた。
Therefore, the conventional waveguide type optical component having the above-mentioned bonding surface not only has a large connection loss, but also has a loss variation due to a temperature change, a long-term reliability, and a long time. There was a major problem with mechanical strength.

【0022】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、光損失が小さく、機械強度特性
に優れ、また、長期信頼性に優れた導波型光部品を提供
することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a waveguide type optical component having small optical loss, excellent mechanical strength characteristics, and excellent long-term reliability. It is in.

【0023】[0023]

【課題を解決するための手段】上記目的を解決するた
め、請求項1では、各々が筐体に保持され、かつ、光に
よって硬化する接着剤層を介して互いに光軸が一致する
ように接続された光導波路と入出力用石英系光ファイバ
とを有する導波型光部品において、前記筐体のうち前記
入出力用石英系光ファイバを保持する光ファイバ用筐体
パイレックスガラスで構成し、前記光ファイバ用筐体
中に前記入出力用石英系光ファイバが挿通され一端面が
成端され保持されている構成とした。
In order to solve the above-mentioned object, according to the first aspect, each of them is held by a housing , and each light is
Therefore, the optical axes coincide with each other via the adhesive layer that cures.
Waveguide and silica optical fiber for input and output
In waveguide type optical component having bets, said one of said housing
Optical fiber housing for holding quartz optical fiber for input and output
Was composed of Pyrex glass, the input-output silica-based optical fiber is inserted through one end surface in the optical fiber housing has a configuration that is held is terminated.

【0024】[0024]

【0025】[0025]

【作用】請求項1によれば、例えば、照射用プロ−ブか
ら照射された光は、光透過性の材料からなる筐体中を透
過し、接合面の接着剤層に到達する。
According to the first aspect, for example, the light irradiated from the irradiation probe passes through the housing made of a light transmitting material and reaches the adhesive layer on the joint surface.

【0026】このとき、接着剤層の光導波路と光ファイ
バとの接合面に対し、直角に近い角度で光を照射するこ
とが可能である。
At this time, it is possible to irradiate light at an angle close to a right angle to the bonding surface between the optical waveguide and the optical fiber of the adhesive layer.

【0027】このため、接着剤層に均一に照射される光
量が、接合面に対し平行に照射する場合に比べて多く、
かつ、接着剤層に均一に照射され、接合面の接着が均一
に行われる。
For this reason, the amount of light uniformly radiated to the adhesive layer is larger than that in the case of irradiating the adhesive layer in parallel,
In addition, the adhesive layer is uniformly irradiated, so that the bonding surfaces are uniformly bonded.

【0028】[0028]

【0029】[0029]

【0030】[0030]

【実施例1】図1は、本発明に係る導波型光部品の一実
施例の全体構成を示す外観図、図4は図1の導波型光部
品を作製するための部品組み立て工程の説明図であっ
て、従来例を示す第2図および第3図と同一構成部分は
同一符号をもって表す。
Embodiment 1 FIG. 1 is an external view showing an entire configuration of an embodiment of a waveguide type optical component according to the present invention, and FIG. 4 is a view showing a component assembling process for manufacturing the waveguide type optical component of FIG. It is an explanatory view, and the same components as in FIGS. 2 and 3 showing the conventional example are denoted by the same reference numerals.

【0031】すなわち、1は光導波路モジュ−ル、2お
よび3は光ファイバモジュ−ル、10aはパイレックス
ガラス製の光導波路保持用筐体、11は筐体10aに保
持された厚さ0.7 mmのシリコン製基板、11a,11b
は基板11上に形成されたコア寸法50μm×50μm
の石英系多モ−ド光導波路で、両端が筐体10aの端面
に対し成端されて基板11とともに光導波路保持用筐体
10aに保持されている。
That is, 1 is an optical waveguide module, 2 and 3 are optical fiber modules, 10a is an optical waveguide holding casing made of Pyrex glass, and 11 is a 0.7 mm thick sheet held by the casing 10a. Silicon substrate, 11a, 11b
Denotes a core dimension formed on the substrate 11 of 50 μm × 50 μm
The both ends of the quartz multimode optical waveguide are terminated with respect to the end face of the housing 10a, and are held together with the substrate 11 in the optical waveguide holding housing 10a.

【0032】20aはパイレックスガラス製の光ファイ
バ保持用筐体、21a,21bはコア直径50μmの入
出力用の石英系多モ−ド光ファイバで、光ファイバ保持
用筐体20aに一端面が成端され保持されている。ま
た、光ファイバ21a,21bは、その一端側が光導波
路11a、11bの一端側と光軸が一致するように接着
剤層41を介して接続されている。
Reference numeral 20a denotes an optical fiber holding case made of Pyrex glass, and reference numerals 21a and 21b denote input / output quartz multi-mode optical fibers having a core diameter of 50 μm. One end surface of the optical fiber holding case 20a is formed. Ended and held. The optical fibers 21a and 21b are connected via the adhesive layer 41 such that one ends of the optical fibers 21a and 21b coincide with the optical axes of the optical waveguides 11a and 11b.

【0033】30aはパイレックスガラス製の光ファイ
バ保持用筐体、31a,31bはコア直径50μmの入
出力用の石英系多モ−ド光ファイバで、光ファイバ保持
用筐体30aに一端面が成端され保持されている。ま
た、光ファイバ31a,31bは、その一端側が光導波
路11a、11bの他端側と光軸が一致するように接着
剤層42を介して接続されている。
Numeral 30a denotes an optical fiber holding case made of Pyrex glass, 31a and 31b denote input / output quartz multi-mode optical fibers having a core diameter of 50 μm, and one end face is formed on the optical fiber holding case 30a. Ended and held. The optical fibers 31a and 31b are connected via the adhesive layer 42 such that one end of the optical fibers 31a and 31b coincides with the other end of the optical waveguides 11a and 11b.

【0034】接着剤層41,42は、UV接着剤、具体
的にはフッ素化エポキシアクリラ−ト系の材料からな
り、光導波路11a,11bと光ファイバ21a,21
bとの接合面並びに光導波路11a,11bと光ファイ
バ31a,31bとの接合面に介在され、光導波路保持
用筐体10aの一端面と光ファイバ保持用筐体20aの
一端面同士並びに光導波路保持用筐体10aの他端面と
光ファイバ保持用筐体30aの一端面同士をそれぞれ接
続している。
The adhesive layers 41 and 42 are made of a UV adhesive, specifically, a fluorinated epoxy acrylate-based material, and have optical waveguides 11a and 11b and optical fibers 21a and 21a.
b, the optical waveguides 11a, 11b and the optical fibers 31a, 31b are interposed at one end surface of the optical waveguide holding housing 10a, one end surface of the optical fiber holding housing 20a, and the optical waveguide. The other end face of the holding casing 10a and the one end face of the optical fiber holding casing 30a are connected to each other.

【0035】51は光導波路モジュ−ル1を固定する基
台、52は微動装置ア−ムで、光導波路11a,11b
の一端に対し光ファイバ21a,21bを光軸合わせす
るために、図示しないフィ−ドバック制御装置により駆
動され、載置された光ファイバモジュ−ル2を微動させ
る。53は微動装置ア−ムで、光導波路11a,11b
の他端に対し光ファイバ31a,31bを光軸合わせす
るために、図示しないフィ−ドバック制御装置により駆
動され、載置された光ファイバモジュ−ル3を微動させ
る。
Reference numeral 51 denotes a base for fixing the optical waveguide module 1, and reference numeral 52 denotes a fine movement arm, which is an optical waveguide 11a, 11b.
In order to align the optical axes of the optical fibers 21a and 21b with one end of the optical fiber module 2, the optical fiber module 2 is driven by a feedback control device (not shown) to slightly move the mounted optical fiber module 2. Reference numeral 53 denotes a fine movement arm, which is an optical waveguide 11a, 11b.
In order to align the optical axes of the optical fibers 31a and 31b with the other end of the optical fiber module, the optical fiber module 3 is driven by a feedback control device (not shown) to slightly move the mounted optical fiber module 3.

【0036】61a,61bは例えば波長1.3 μmの半
導体レ−ザからなるモニタ用光源で、例えば光ファイバ
21a,21bの他端と接続される。71a,71bは
光ファイバ31a,31bの他端と接続されるモニタ用
受光器、80は光源として、例えばメタルハライドラン
プや水銀キセノンランプなどが用いられる紫外線照射用
プロ−ブで、光導波路11a,11bと光ファイバ21
a,21bとの接合面並びに光導波路11a,11bと
光ファイバ31a,31bとの接合面に対し直角に近い
角度、例えば約60度の角度をもって配置され、光軸合
わせ部に介在されるUV接着剤に対し紫外線を照射す
る。
Reference numerals 61a and 61b denote monitoring light sources composed of, for example, a semiconductor laser having a wavelength of 1.3 μm, and are connected to, for example, the other ends of the optical fibers 21a and 21b. Reference numerals 71a and 71b denote monitoring light receivers connected to the other ends of the optical fibers 31a and 31b, and reference numeral 80 denotes an ultraviolet irradiation probe using a metal halide lamp or a mercury xenon lamp as a light source, and optical waveguides 11a and 11b. And optical fiber 21
UV bonding which is disposed at an angle close to a right angle, for example, about 60 degrees, with respect to the bonding surface between the optical waveguides 11a and 11b and the bonding surface between the optical waveguides 11a and 11b and the optical fibers 31a and 31b. The agent is irradiated with ultraviolet light.

【0037】次に、上記構成による導波型光部品の組み
立て工程について、図4を参照しながら説明する。
Next, a process of assembling the waveguide type optical component having the above configuration will be described with reference to FIG.

【0038】まず、基台51に設置した基板11上の光
導波路11a,11bを含む光導波路モジュ−ル1の両
端に、微動装置ア−ム52、53を駆動して、これらに
保持した光ファイバ21a,21bと光ファイバ31
a,31bとを互いに近づける。
First, at both ends of the optical waveguide module 1 including the optical waveguides 11a and 11b on the substrate 11 placed on the base 51, the fine movement arms 52 and 53 are driven to emit light held by these. Fibers 21a and 21b and optical fiber 31
a and 31b are brought closer to each other.

【0039】この際、光ファイバ21a,21bの一端
からはモニタ用光源61a,61bからのモニタ光を導
入し、このモニタ光が光導波路11a,11b、続いて
光ファイバ31a,31bを経由して出射される光強度
をモニタ用受光器71a,71bにより検出する。
At this time, monitor light from the monitor light sources 61a and 61b is introduced from one end of the optical fibers 21a and 21b, and the monitor light passes through the optical waveguides 11a and 11b and subsequently through the optical fibers 31a and 31b. The emitted light intensity is detected by the monitoring light receivers 71a and 71b.

【0040】モニタ用受光器71a,71bによる検出
光の強度情報は、図示しないフィ−ドバック制御装置に
て処理する。この処理結果に基づき、微動装置ア−ム5
2,53を駆動し、光ファイバ21a,21b並びに3
1a,31bが、光導波路11a,11bに対し最適位
置で光軸が一致するように光軸合わせを行う。
The intensity information of the light detected by the monitoring light receivers 71a and 71b is processed by a feedback control device (not shown). Based on this processing result, the fine movement arm 5
2 and 53, and the optical fibers 21a, 21b and 3
The optical axes 1a and 31b adjust the optical axes so that the optical axes coincide with the optical waveguides 11a and 11b at the optimum positions.

【0041】また、光ファイバ21a,21b並びに3
1a,31bの端部周辺と光導波路11a,11bの端
部周辺との間には、屈折率整合剤を兼ねてUV接着剤4
1,42が塗付されており、光軸合わせが完了した時点
で、紫外線照射用プロ−ブ80を光導波路11a,11
bと光ファイバ21a,21bとの接合面並びに光導波
路11a,11bと光ファイバ31a,31bとの接合
面に対し直角に近い角度、例えば約60度の角度をもっ
て配置し、各光軸合わせ部に紫外線を照射して接着剤を
固化させ、接着剤層41,42を順次形成する。
The optical fibers 21a, 21b and 3
Between the periphery of the ends of the optical waveguides 1a and 31b and the periphery of the ends of the optical waveguides 11a and 11b, a UV adhesive
When the alignment of the optical axes is completed, the ultraviolet irradiation probe 80 is connected to the optical waveguides 11a and 11a.
b and the optical fibers 21a and 21b and the optical waveguides 11a and 11b and the optical fibers 31a and 31b are arranged at an angle close to a right angle, for example, an angle of about 60 degrees. The adhesive is solidified by irradiating ultraviolet rays, and the adhesive layers 41 and 42 are sequentially formed.

【0042】以上の接続操作の終了後、光ファイバ保持
用筐体20aからモニタ用光源61a,61bを、ま
た、光ファイバ保持用筐体30aからモニタ用受光器7
1a,71bを外し、必要に応じて適当な処理を施し
て、導波路型光部品の組み立てが完了する。
After the above connection operation is completed, the monitor light sources 61a and 61b are output from the optical fiber holding housing 20a, and the monitoring light receiver 7 is output from the optical fiber holding housing 30a.
After removing 1a and 71b and performing appropriate processing as needed, the assembly of the waveguide type optical component is completed.

【0043】実際に上記工程を経て作製した導波型光部
品は、光ファイバ/光導波路の接合面に対して約60°
に設置された紫外線照射用プロ−ブ80から照射された
紫外線により、接合面の接着剤を完全に接着することが
できた。同様に他端の接合面も完全に接続することがで
きた。この際、従来の組み立て時にみられた接着剤硬化
時の軸ずれは皆無であり、また、接着剤の硬化に伴う接
続時の損失変化は認められなかった。
The waveguide-type optical component actually manufactured through the above-described process is about 60 ° with respect to the joint surface of the optical fiber / optical waveguide.
The adhesive on the joint surface could be completely adhered by the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet irradiation probe 80 installed in the apparatus. Similarly, the joining surface at the other end could be completely connected. At this time, there was no axis shift at the time of curing the adhesive, which was observed at the time of the conventional assembly, and no change in connection loss due to the curing of the adhesive was observed.

【0044】また、図5は光導波路モジュ−ル1と光フ
ァイバモジュ−ル2,3とをUV接着剤で接着させたと
きの紫外線照射時間と出来上がった部品の曲げ強度との
関係を示す図である。なお、この曲げ強度は、接着力を
反映するパラメ−タである。
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the ultraviolet irradiation time and the bending strength of the completed component when the optical waveguide module 1 and the optical fiber modules 2 and 3 are bonded with a UV adhesive. It is. The bending strength is a parameter reflecting the adhesive strength.

【0045】図中、実線Aで示す曲線が、本実施例のよ
うに光導波路保持用筐体10aおよび光ファイバ保持用
筐体20a,30a共にパイレックスガラスを用いて構
成した場合の特性を示している。なお、この実験におい
ては、光源として水銀キセノンランプを用いている。
In the drawing, the curve indicated by the solid line A shows the characteristics when the optical waveguide holding casing 10a and the optical fiber holding casings 20a, 30a are made of Pyrex glass as in this embodiment. I have. In this experiment, a mercury xenon lamp was used as a light source.

【0046】図5から、本構成の場合、30秒の紫外線
照射時間で曲げ強度は飽和し、充分に硬化していること
が分かる。
From FIG. 5, it can be seen that in the case of this configuration, the bending strength is saturated by the ultraviolet irradiation time of 30 seconds, and that it is sufficiently cured.

【0047】さらに、接続した光部品のヒ−トサイクル
試験を行ったところ、−20〜70℃の温度範囲におけ
る損失変動は0.1 dB以下であった。また、引っ張り試験
の結果、接続部の破断強度は200kgf/cm2 であった。
Further, when a heat cycle test was performed on the connected optical components, the loss fluctuation in the temperature range of -20 to 70 ° C. was 0.1 dB or less. As a result of a tensile test, the breaking strength of the connection portion was 200 kgf / cm 2 .

【0048】以上説明したように、本実施例によれば、
光導波路保持用筐体10および光ファイバ保持用筐体2
0,30を紫外線透過性の材料(本実施例の場合、パイ
レックスガラス)から構成し、かつ、光導波路と光ファ
イバとの接合面に光によって硬化させた接着剤層41,
42を設けたので、光導波路モジュ−ル1と光ファイバ
モジュ−ル2および3の接合面の接着剤層を均一に、か
つ、短時間で硬化させることができる。
As described above, according to the present embodiment,
Optical waveguide holding casing 10 and optical fiber holding casing 2
Reference numerals 0 and 30 are made of an ultraviolet-transmissive material (Pyrex glass in this embodiment), and an adhesive layer 41, which is cured by light on the joint surface between the optical waveguide and the optical fiber.
With the provision of 42, the adhesive layer on the joint surface between the optical waveguide module 1 and the optical fiber modules 2 and 3 can be cured uniformly and in a short time.

【0049】このため、光部品を作製するにあたって作
業性が極めて良く、また、作製された光部品は光損失が
低く、かつ、温度変化による損失変動が小さく、長期信
頼性に優れていると共に、接続部の機械的強度が大きい
という利点がある。
For this reason, the workability in manufacturing the optical component is extremely good, and the manufactured optical component has a low light loss, a small loss fluctuation due to a temperature change, and has excellent long-term reliability. There is an advantage that the mechanical strength of the connection portion is large.

【0050】なお、本実施例においては、接合面を順次
接続したが、複数の紫外線照射用プロ−ブを用い2カ所
の接合面を同時に接続したり、あるいは一つの接合面に
対し、複数の紫外線照射用プロ−ブを用い、異なった方
向から紫外線を照射することによっても接着剤の硬化を
確実にすることができ、効果的である。
In this embodiment, the bonding surfaces are sequentially connected. However, a plurality of ultraviolet irradiation probes may be used to simultaneously connect two bonding surfaces, or a plurality of ultraviolet irradiation probes may be connected to one bonding surface. By irradiating ultraviolet rays from different directions using a probe for irradiating ultraviolet rays, curing of the adhesive can be ensured, which is effective.

【0051】[0051]

【実施例2】本実施例が前記実施例1と異なる点は、単
一モ−ド光導波路11a,11bとして、シリコン基板
11上の厚さ50μmの石英系ガラスクラッド層に埋設
された断面寸法8μm×8μmの石英系ガラスコア部か
らなる石英系ガラス単一モ−ド光導波路を用いるととも
に、入出力用の光ファイバ21a,21b、31a,3
1bとしてコア直径10μmの石英系単一モ−ド光ファ
イバを用い、これら光導波路11a,11bと光ファイ
バ21a,21b並びに31a,31bを接続した点、
光導波路保持用筐体10aおよび光ファイバ保持用筐体
20a,30aを共にシリカガラスとエポキシ樹脂から
なる複合材料を用いて構成した点、並びにUV接着剤と
してフッ素化ウレタンアクリレ−ト系の材料を用いた点
にある。
Embodiment 2 This embodiment is different from Embodiment 1 in that the single-mode optical waveguides 11a and 11b are embedded in a 50 μm-thick quartz glass clad layer on a silicon substrate 11 in cross section. A single-mode silica glass optical waveguide composed of a 8 μm × 8 μm silica glass core is used, and input / output optical fibers 21 a, 21 b, 31 a, 3.
1b, a single-mode silica-based optical fiber having a core diameter of 10 μm was used, and these optical waveguides 11a, 11b were connected to optical fibers 21a, 21b and 31a, 31b;
Both the optical waveguide holding casing 10a and the optical fiber holding casings 20a and 30a are made of a composite material composed of silica glass and epoxy resin, and a fluorinated urethane acrylate-based material as a UV adhesive. The point is to use.

【0052】本実施例においても前記実施例1と同様な
装置構成および手順にて、光ファイバと光導波路との接
続を実施した。その結果、従来の組み立て時にみられた
接着剤硬化時の軸ずれは皆無であり、また接着剤の硬化
に伴う接続時の損失変化も認められなかった。また、接
続した部品のヒ−トサイクル試験を行ったところ、実施
例1の場合と同様に、−20〜70℃の温度範囲におけ
る損失変動は0.1 dB以下であった。また、引っ張り試験
の結果、接続部の破断強度は200kgf /cm2 以上であ
った。
Also in this embodiment, the connection between the optical fiber and the optical waveguide was performed by the same device configuration and procedure as in the first embodiment. As a result, there was no axis deviation at the time of curing the adhesive, which was observed at the time of the conventional assembly, and no change in loss at the time of connection due to the curing of the adhesive was observed. When a heat cycle test was performed on the connected components, the loss fluctuation in the temperature range of −20 to 70 ° C. was 0.1 dB or less, as in the case of the first embodiment. As a result of the tensile test, the breaking strength of the connection portion was 200 kgf / cm 2 or more.

【0053】以上のように、本実施例においても、実施
例1と同様の効果を得ることができる。
As described above, also in this embodiment, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

【0054】[0054]

【実施例3】本実施例が前記実施例2と異なる点は、光
導波路保持用筐体10aをSUSを用いて構成すると共
に、光ファイバ保持用筐体20a,30aをシリカガラ
スとエポキシ樹脂からなる複合材料を用いて構成した
点、並びにUV接着剤としてフッ素化エポキシアクリラ
−ト系の材料を用いた点にある。
Embodiment 3 This embodiment is different from Embodiment 2 in that the optical waveguide holding casing 10a is made of SUS and the optical fiber holding casings 20a and 30a are made of silica glass and epoxy resin. And the use of a fluorinated epoxy acrylate-based material as the UV adhesive.

【0055】本実施例においても前記実施例1と同様な
装置構成および手順にて、光ファイバと光導波路との接
続を実施した。その結果、従来の組み立て時にみられた
接着剤硬化時の軸ずれは皆無であり、また接着剤の硬化
に伴う接続時の損失変化も認められなかった。また、接
続した部品のヒ−トサイクル試験を行ったところ、実施
例1、2の場合と同様に、−20〜70℃の温度範囲に
おける損失変動は0.1 dB以下であった。また、引っ張り
試験の結果、接続部の破断強度は200kgf /cm2 以上
であった。
In this embodiment, the connection between the optical fiber and the optical waveguide was carried out in the same device configuration and procedure as in the first embodiment. As a result, there was no axis deviation at the time of curing the adhesive, which was observed at the time of the conventional assembly, and no change in loss at the time of connection due to the curing of the adhesive was observed. When a heat cycle test was performed on the connected components, the loss fluctuation in the temperature range of -20 to 70 ° C. was 0.1 dB or less, as in the case of the first and second embodiments. As a result of the tensile test, the breaking strength of the connection portion was 200 kgf / cm 2 or more.

【0056】以上のように、本実施例においても、実施
例1と同様の効果を得ることができる。
As described above, also in this embodiment, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

【0057】[0057]

【実施例4】本実施例が前記実施例1と異なる点は、光
ファイバ保持用筐体20a,30aをパイレックスガラ
スで構成する代わりに、光非透過性のプラスチック材料
であるガラス繊維入り液晶ポリエステルを用いて構成し
たことにある。
Embodiment 4 This embodiment is different from Embodiment 1 in that the optical fiber holding housings 20a and 30a are made of Pyrex glass instead of liquid crystal polyester containing glass fiber which is a light-impermeable plastic material. In that it is configured using

【0058】この構成において、光導波路保持用筐体1
0aと各光ファイバ保持用筐体20a,30aとをそれ
ぞれ接続するため、実施例1と同様、UV接着剤として
フッ素化エポキシアクリラ−ト系の材料を用い、紫外線
をそれぞれの接続部に30秒間照射した。この場合の紫
外線照射時間と出来上がった部品の曲げ強度との関係
を、図5中において曲線Bで示している。
In this configuration, the optical waveguide holding casing 1 is provided.
In order to connect the optical fiber holding housings 20a and 30a to each other, a fluorinated epoxy acrylate-based material is used as a UV adhesive and ultraviolet light is applied to each connection part for 30 seconds as in the first embodiment. Irradiated. The relationship between the ultraviolet irradiation time and the bending strength of the completed component in this case is shown by a curve B in FIG.

【0059】図5から分かるように、本実施例のように
光ファイバ保持用筐体20a,30aの材料として光非
透過性のプラスチック材料を用いても、実施例1のよう
に光ファイバ保持用筐体20a,30aの両者に光透過
性のガラス材料を用いた場合と比べて、光部品の組立時
間および接合面の接着強度は同等となっている。
As can be seen from FIG. 5, even if an optically non-transparent plastic material is used as the material of the optical fiber holding casings 20a and 30a as in the present embodiment, the optical fiber holding housing 20a and 30a can be used as in the first embodiment. The assembly time of the optical component and the bonding strength of the joint surface are equal to those in the case where a light transmitting glass material is used for both the housings 20a and 30a.

【0060】また、接着剤の硬化に伴う接続時の損失変
化は認められなかった。さらに、接続した部品のヒ−ト
サイクル試験を行ったところ、−20〜70℃の温度範
囲における損失変動は0.1 dB以下であった。また、引
っ張り試験の結果、接続部の破断強度は200kgf /cm
2 以上であった。
Further, no change in loss at the time of connection due to curing of the adhesive was observed. Further, when a heat cycle test was performed on the connected components, the loss fluctuation in a temperature range of -20 to 70 ° C. was 0.1 dB or less. As a result of the tensile test, the breaking strength of the connection portion was 200 kgf / cm.
2 or more.

【0061】本実施例によれば、ガラス製の光ファイバ
保持用筐体に代えてプラスチック製の光ファイバ保持用
筐体を用いるので、実施例1と同様の効果を得られると
共に、光部品の入出力端面において他の固形物と接触し
た際にガラス製のものでは発生するおそれのある割れや
クラックを防止でき、光部品の取扱が容易となるばかり
でなく、機械的強度、長期的信頼性のより一層の向上を
図ることができる。
According to the present embodiment, a plastic optical fiber holding case is used in place of the glass optical fiber holding case, so that the same effects as those of the first embodiment can be obtained and the optical components can be reduced. Prevents cracks and cracks that may occur with glass materials when coming into contact with other solid matter on the input / output end face, not only facilitates the handling of optical components, but also mechanical strength and long-term reliability Can be further improved.

【0062】[0062]

【実施例5】本実施例が前記実施例2と異なる点は、光
ファイバ保持用筐体20a,30aをパイレックスガラ
スで構成する代わりに、光非透過性のプラスチック材料
であるガラス/エポキシを用いて構成したことにある。
Embodiment 5 This embodiment is different from Embodiment 2 in that the optical fiber holding housings 20a and 30a are made of glass / epoxy, which is a light-impermeable plastic material, instead of Pyrex glass. It has been constituted by.

【0063】本実施例においても前記実施例4と同様な
装置構成および手順にて、光ファイバと光導波路との接
続を実施した。その結果、従来の組み立て時にみられた
接着剤硬化時の軸ずれは皆無であり、また接着剤の硬化
に伴う接続時の損失変化も認められなかった。また、接
続した部品のヒ−トサイクル試験を行ったところ、実施
例4の場合と同様に、−20〜70℃の温度範囲におけ
る損失変動は0.1 dB以下であった。また、引っ張り試験
の結果、接続部の破断強度は200kgf /cm2 以上であ
った。
In this embodiment, the connection between the optical fiber and the optical waveguide was carried out in the same device configuration and procedure as in the fourth embodiment. As a result, there was no axis deviation at the time of curing the adhesive, which was observed at the time of the conventional assembly, and no change in loss at the time of connection due to the curing of the adhesive was observed. When a heat cycle test was performed on the connected components, the loss fluctuation in the temperature range of -20 to 70 ° C. was 0.1 dB or less, as in the case of the fourth embodiment. As a result of the tensile test, the breaking strength of the connection portion was 200 kgf / cm 2 or more.

【0064】以上のように、本実施例においても、実施
例4と同様の効果を得ることができる。
As described above, also in this embodiment, the same effects as in the fourth embodiment can be obtained.

【0065】[0065]

【実施例6】本実施例が前記実施例3と異なる点は、光
導波路保持用筐体10aおよび光ファイバ保持用筐体2
0a,30aをシリカガラスとエポキシ樹脂からなる複
合材料で構成する代わりに、光導波路保持用筐体10a
を石英ガラスにより構成すると共に、光ファイバ保持用
筐体20a,30aを光非透過性のプラスチック材料で
あるガラス/ポリイミドを用いて構成し、さらにUV接
着剤としてフッ素化ウレタンアクリラ−ト系の材料の代
わりにフッ素化エポキシアクリラ−ト系の材料用いたこ
とにある。
Embodiment 6 This embodiment is different from Embodiment 3 in that an optical waveguide holding casing 10a and an optical fiber holding casing 2 are provided.
Instead of using the composite material made of silica glass and epoxy resin for the optical waveguides 0a and 30a, the optical waveguide holding casing 10a
Is made of quartz glass, the optical fiber holding housings 20a and 30a are made of glass / polyimide which is a light-impermeable plastic material, and a fluorinated urethane acrylate-based material is used as a UV adhesive. Instead of using a fluorinated epoxy acrylate-based material.

【0066】本実施例においても前記実施例4と同様な
装置構成および手順にて、光ファイバと光導波路との接
続を実施した。その結果、従来の組み立て時にみられた
接着剤硬化時の軸ずれは皆無であり、また接着剤の硬化
に伴う接続時の損失変化も認められなかった。また、接
続した部品のヒ−トサイクル試験を行ったところ、実施
例4の場合と同様に、−20〜70℃の温度範囲におけ
る損失変動は0.1 dB以下であった。また、引っ張り試験
の結果、接続部の破断強度は200kgf /cm2 以上であ
った。
In this embodiment, the connection between the optical fiber and the optical waveguide was performed by the same device configuration and procedure as in the fourth embodiment. As a result, there was no axis deviation at the time of curing the adhesive, which was observed at the time of the conventional assembly, and no change in loss at the time of connection due to the curing of the adhesive was observed. When a heat cycle test was performed on the connected components, the loss fluctuation in the temperature range of -20 to 70 ° C. was 0.1 dB or less, as in the case of the fourth embodiment. As a result of the tensile test, the breaking strength of the connection portion was 200 kgf / cm 2 or more.

【0067】以上のように、本実施例においても、実施
例4と同様の効果を得ることができる。
As described above, also in this embodiment, the same effects as in the fourth embodiment can be obtained.

【0068】なお、上記実施例1乃至6においては、光
導波路11a,11bの両端に2本ずつ光ファイバ21
a,21b並びに31a,31bを接続する例について
説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、
例えば、8心の光ファイバモジュ−ルを8列の光導波路
モジュ−ルに一括して接続する場合にも適用できること
は言うまでもない。
In the first to sixth embodiments, two optical fibers 21 are provided at both ends of the optical waveguides 11a and 11b.
Although the example of connecting the a, 21b and 31a, 31b has been described, the present invention is not limited to this.
For example, it is needless to say that the present invention can be applied to a case where eight optical fiber modules are collectively connected to eight rows of optical waveguide modules.

【0069】また、光導波路11a,11bとしてシリ
コン基板上に形成した石英系光導波路を使用した例につ
いて説明したが、これは石英系光導波路が、石英系光フ
ァイバとの屈折率整合性に優れ、実用的な導波型光部品
を実現できるためであり、本発明が、このような石英光
導波路のみに限定されるものでないことは言うまでもな
い。
Also, an example has been described in which quartz optical waveguides formed on a silicon substrate are used as the optical waveguides 11a and 11b. This is because the quartz optical waveguide has excellent refractive index matching with the silica optical fiber. This is because a practical waveguide type optical component can be realized, and it goes without saying that the present invention is not limited to only such a quartz optical waveguide.

【0070】さらに、光導波路保持用筐体10aおよび
光ファイバ保持用筐体20a,30aを光透過性材料に
より構成する場合、紫外線透過性の材料であれば特に限
定するものではないが、例えば、石英ガラス、パイレッ
クスガラスなどのガラス、エポキシ樹脂、ポリカ−ボネ
−ト、アクリル樹脂、シリコ−ン樹脂、ポリスチレンな
どのプラスチック、あるいはガラス粉末とプラスチック
などの複合材料やガラスとセラミックの複合材料が適用
可能である。
When the optical waveguide holding casing 10a and the optical fiber holding casings 20a, 30a are made of a light-transmitting material, the material is not particularly limited as long as it is an ultraviolet-transmitting material. Glass such as quartz glass, Pyrex glass, epoxy resin, polycarbonate, acrylic resin, silicone resin, plastic such as polystyrene, or composite material such as glass powder and plastic, or composite material of glass and ceramic It is.

【0071】また、実施例4乃至6のように、光ファイ
バ保持用筐体20a,30aをプラスチック材料により
構成する場合、そのプラスチック材料は特に限定するも
のではないが、成形可能な熱可塑性樹脂および熱硬化性
樹脂が適している。具体的には、エポキシ樹脂、フェノ
−ル樹脂、ポリイミドなどの熱硬化性樹脂、ポリフェニ
レンサルファイド、ポリシクロヘキサンジメチレンテレ
フタレ−ト、ポリエ−テルイミド、ポリブチレンテレフ
タレ−ト、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエ−テル
スルホン、ポリアリレ−ト、ポリカ−ボネ−ト、アクリ
ル樹脂,シリコ−ン樹脂、ポリスチレン等の熱可塑性樹
脂、ポリエステルなどの液晶高分子、あるいは、これら
のプラスチックにガラスやセラミックなどの充填剤を充
填した複合材料などが適用可能である。
When the optical fiber holding housings 20a and 30a are made of a plastic material as in the fourth to sixth embodiments, the plastic material is not particularly limited. Thermosetting resins are suitable. Specifically, epoxy resins, phenol resins, thermosetting resins such as polyimides, polyphenylene sulfide, polycyclohexane dimethylene terephthalate, polyetherimide, polybutylene terephthalate, polyethylene terephthalate, Polyethersulfone, polyarylate, polycarbonate, thermoplastic resin such as acrylic resin, silicone resin, polystyrene, etc., liquid crystal polymer such as polyester, or filler such as glass or ceramic in these plastics. A filled composite material or the like is applicable.

【0072】また、接着剤としては、光によって硬化す
る接着剤であれば特に限定するものではないが、エポキ
シ系、ウレタン系、エポキシアクリラ−ト系、ウレタン
アクリラ−ト系などの接着剤が適用可能である。
The adhesive is not particularly limited as long as it is an adhesive which is cured by light, but an adhesive of epoxy type, urethane type, epoxy acrylate type, urethane acrylate type or the like is applicable. It is possible.

【0073】[0073]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1によれ
ば、光導波路保持用筐体及び光ファイバ保持用筐体のう
ち少なくとも一の筐体を光透過性の材料から構成したの
で、光導波路と光ファイバとの接合面の接着剤層を均一
に、かつ、短時間で硬化させることができる。
As described above, according to the first aspect, at least one of the housing for holding the optical waveguide and the housing for holding the optical fiber is made of a light transmitting material. The adhesive layer on the joint surface between the waveguide and the optical fiber can be cured uniformly and in a short time.

【0074】このため、光部品の作製時の作業性が極め
て良く、また光損失が低く、かつ、温度変化による損失
変動が小さく、長期信頼性に優れているとともに、接続
部の機械的強度が大きい導波型光部品を提供できる利点
がある。
For this reason, the workability at the time of manufacturing an optical component is extremely good, the optical loss is low, the loss fluctuation due to a temperature change is small, the long-term reliability is excellent, and the mechanical strength of the connecting portion is low. There is an advantage that a large waveguide type optical component can be provided.

【0075】請求項2によれば、光部品の入出力端面に
おいて他の固形物と接触した際にガラス製のものでは発
生するおそれのある割れやクラックを防止でき、光部品
の取扱いが容易となるばかりでなく、機械的強度、長期
的信頼性のより一層の向上を図ることができる。
According to the second aspect, when the input / output end face of the optical component comes into contact with another solid matter, cracks and cracks which may occur in the glass component can be prevented, and the handling of the optical component becomes easy. Not only that, the mechanical strength and long-term reliability can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る導波型光部品の一実施例の全体構
成を示す外観図である。
FIG. 1 is an external view showing an entire configuration of an embodiment of a waveguide type optical component according to the present invention.

【図2】従来の接着剤接続方法によって作製された導波
型光部品の構成図で、同図の(A) は外観図、同図の(B)
は(A) のX−X線矢視方向の拡大断面図、同図の(c) は
(A) のY−Y線またはY−Y線矢視方向の拡大断面図で
ある。
FIGS. 2A and 2B are configuration diagrams of a waveguide type optical component manufactured by a conventional adhesive connection method, wherein FIG. 2A is an external view and FIG.
Is an enlarged cross-sectional view of (A) in the direction of arrow XX, and (c) of FIG.
FIG. 3A is an enlarged cross-sectional view taken along line YY or YY of FIG.

【図3】図2の導波型光部品を作製するための部品組み
立て工程の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a component assembling process for producing the waveguide optical component of FIG. 2;

【図4】図1の導波型光部品を作製するための部品組み
立て工程の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view of a component assembling process for producing the waveguide optical component of FIG.

【図5】光導波路モジュ−ルと光ファイバモジュ−ルと
をUV接着剤で接着させたときの紫外線照射時間と出来
上がった部品の曲げ強度との関係を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between an ultraviolet irradiation time and a bending strength of a completed component when an optical waveguide module and an optical fiber module are bonded with a UV adhesive.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…光導波路モジュ−ル 2,3…光ファイバモジュ−ル 10a…光導波路保持用筐体 11…シリコン製基板 11a,11b…光導波路 20a、30a…光ファイバ保持用筐体 21a,21b,31a,31b…光ファイバ 41,42…接着剤層 51…基台 52,53…微動装置ア−ム 61a,61b…モニタ用光源 71a,71b…モニタ用受光器 80…紫外線照射用プロ−ブ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical waveguide module 2, 3 ... Optical fiber module 10a ... Optical waveguide holding case 11 ... Silicon substrate 11a, 11b ... Optical waveguide 20a, 30a ... Optical fiber holding case 21a, 21b, 31a 31b Optical fibers 41, 42 Adhesive layer 51 Base 52, 53 Fine movement arm 61a, 61b Monitor light source 71a, 71b Monitor light receiver 80 Ultraviolet irradiation probe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮 哲雄 東京都千代田区内幸町一丁目1番6号 日本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−23209(JP,A) 特開 平1−302211(JP,A) 特公 昭59−9214(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/00 G02B 6/36 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (72) Inventor Tetsuo Miya 1-6, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo Nippon Telegraph and Telephone Corporation (56) References JP-A-64-23209 (JP, A) 1-302211 (JP, A) JP-B-59-9214 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 6/00 G02B 6/36

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】各々が筐体に保持され、かつ、光によって
硬化する接着剤層を介して互いに光軸が一致するように
接続された光導波路と入出力用石英系光ファイバとを有
する導波型光部品において、 前記筐体のうち前記入出力用石英系光ファイバを保持す
る光ファイバ用筐体をパイレックスガラスで構成し、前
光ファイバ用筐体中に前記入出力用石英系光ファイバ
挿通され一端面が成端され保持されていることを特
徴とする導波型光部品。
1. Each of them is held in a housing and is illuminated by light.
The optical axes are aligned with each other via the adhesive layer that cures
Contains connected optical waveguide and input / output quartz optical fiber
In the waveguide type optical component, the input / output quartz optical fiber of the housing is held.
Waveguide to that of the optical fiber housing constituted by Pyrex glass, one end face the input-output silica-based optical fiber is inserted into the optical fiber housing is characterized in that it is held by being terminated Mold light parts.
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