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JP3137081B2 - Surface acoustic wave filter - Google Patents

Surface acoustic wave filter

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JP3137081B2
JP3137081B2 JP10185298A JP18529898A JP3137081B2 JP 3137081 B2 JP3137081 B2 JP 3137081B2 JP 10185298 A JP10185298 A JP 10185298A JP 18529898 A JP18529898 A JP 18529898A JP 3137081 B2 JP3137081 B2 JP 3137081B2
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Japan
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reflector
surface acoustic
acoustic wave
saw
resonator
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英一 大塚
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NEC Corp
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】通常、1ポート型弾性表面波共振子は図
7に示されるように、交叉指状電極IDTとその両側に
配置された反射器GRで構成される。
2. Description of the Related Art Generally, as shown in FIG. 7, a one-port type surface acoustic wave resonator is composed of an interdigital electrode IDT and reflectors GR disposed on both sides thereof.

【0003】入力信号端子11と出力信号端子12は1
ポート型弾性表面波(SAW)共振子の交叉指状電極I
DTのla、lbにそれぞれ接続され、この場合の伝送
特性は図8に示したように損失が最小となる共振点fr
と損失が最大となる反共振点faを各1個持ち共振点f
rと反共振点faの周波数差Δf1(=fa−fr)は
使用する圧電基板によりほとんど一義的に決まる。
The input signal terminal 11 and the output signal terminal 12 are 1
Interdigital electrode I of port type surface acoustic wave (SAW) resonator
The transmission characteristic is connected to la and lb of the DT, and the transmission characteristic in this case is the resonance point fr at which the loss is minimized as shown in FIG.
And one anti-resonance point fa at which the loss is maximized.
The frequency difference Δf1 (= fa−fr) between r and the anti-resonance point fa is almost uniquely determined by the piezoelectric substrate used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】図8に示された伝送特
性の減衰帯域Δf2の幅は、交叉指状電極IDTの対数
と交叉幅に依存し、減衰帯域Δf2を広げるためには対
数を減らすかまたは交叉幅を狭くする必要がある。
The width of the attenuation band .DELTA.f2 of the transmission characteristic shown in FIG. 8 depends on the logarithm and the cross width of the interdigital electrode IDT, and the logarithm is reduced in order to widen the attenuation band .DELTA.f2. Or the crossover width must be reduced.

【0005】しかしながら、対数を減らすかもしくは交
叉幅を狭くすると、損失が最小となる共振点fr付近の
損失の小さい周波数領域(通過帯域)Δf3が狭くな
る。更に伝送特性の共振点fr付近にスプリアスが発生
する問題がある。
[0005] However, when the logarithm is reduced or the crossover width is reduced, the frequency region (pass band) Δf3 where the loss is small near the resonance point fr where the loss is minimized becomes narrow. Further, there is a problem that spurious noise occurs near the resonance point fr of the transmission characteristics.

【0006】1ポート弾性表面波(SAW)共振子を並
列と直列に多段接続したラダー型フィルタ(図10に構
成例を示す)においては周波数領域Δf3がフィルタの
通過帯域、周波数領域Δf2が減衰帯域として利用され
る。このラダー型フィルタでは、通過帯域Δf3が広帯
域でありながら、減衰帯域Δf2もまた広帯域であるこ
とが必要である。
In a ladder-type filter (a configuration example is shown in FIG. 10) in which one-port surface acoustic wave (SAW) resonators are connected in series in parallel and in series, the frequency domain Δf3 is a pass band of the filter, and the frequency domain Δf2 is an attenuation band. Used as In this ladder-type filter, it is necessary that the pass band Δf3 is wide and the attenuation band Δf2 is also wide.

【0007】また1ポート弾性表面波(SAW)共振子
は、ある特定の周波数の信号を取り除くノッチ用フィル
タとしても利用される。この場合には、減衰帯域Δf2
がノッチの幅となるので、減衰帯域Δf2は当然幅が広
いことが望まれる。
The one-port surface acoustic wave (SAW) resonator is also used as a notch filter for removing a signal of a specific frequency. In this case, the attenuation band Δf2
Is the width of the notch, so that the attenuation band Δf2 is naturally desired to be wide.

【0008】本発明は従来の上記実情に鑑みてなされた
ものであり、従って本発明の目的は、従来の技術に内在
する上記要望を達成することを可能とした新規な弾性表
面波フィルタを提供することにある。
[0008] The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and an object of the present invention is to provide a novel surface acoustic wave filter capable of achieving the above-mentioned demands inherent in the prior art. Is to do.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る弾性表面波フィルタは、交叉指状電極
と、該交叉指状電極の両側にそれぞれ配設された第1の
反射器と、該各第1の反射器の前記交叉指状電極とは反
対側にそれぞれ配設された第2の反射器とを具備するこ
とを特徴としている。
In order to achieve the above object, a surface acoustic wave filter according to the present invention comprises a cross finger-like electrode and a first reflection electrode provided on both sides of the cross finger-like electrode. And a second reflector disposed on the opposite side of each of the first reflectors from the interdigital electrode.

【0010】前記第1の反射器と前記第2の反射器の各
反射器電極間の間隔は等しいことを特徴としている。
[0010] The distance between the reflector electrodes of the first reflector and the second reflector is equal.

【0011】前記第1の反射器の反射器電極間隔と前記
第2の反射器の反射器電極間隔は異なることを特徴とし
ている。
The distance between the reflector electrodes of the first reflector and the distance between the reflector electrodes of the second reflector are different from each other.

【0012】前記交叉指状電極と前記第1の反射器との
間隔を0.4〜0.5λの範囲内に設定している。
The distance between the interdigital electrode and the first reflector is set within a range of 0.4 to 0.5λ.

【0013】前記第1の反射器と前記第2の反射器との
間隔を0.3〜0.4λの範囲内に設定している。
[0013] The distance between the first reflector and the second reflector is set within a range of 0.3 to 0.4λ.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】次に、本発明をその好ましい一実
施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
Next, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0015】[実施の形態の構成]図1は本発明による
一実施の形態を示す概略構成図(正面図)である。
[Structure of Embodiment] FIG. 1 is a schematic diagram (front view) showing an embodiment of the present invention.

【0016】従来技術による1ポート型弾性表面波(S
AW)共振子の構造は、従来技術の欄で図7に示したよ
うに、圧電基板上にAl薄膜などにより形成された交叉
指状電極IDTとその両側に反射器GRを配置する構造
となっている。
The conventional one-port type surface acoustic wave (S)
AW) As shown in FIG. 7 in the section of the prior art, the structure of the resonator has a structure in which interdigital electrodes IDT formed of an Al thin film or the like on a piezoelectric substrate and reflectors GR on both sides thereof. ing.

【0017】本発明では、図1に示すように、交叉指状
電極IDTの両側に反射器GR1が配置されている。そ
してさらに、反射器GR1の外側に反射器GR2が配置
されている。
In the present invention, as shown in FIG. 1, reflectors GR1 are arranged on both sides of the interdigital electrode IDT. Further, a reflector GR2 is arranged outside the reflector GR1.

【0018】反射器GR1は、その構成要素である反射
器電極がお互いに間隔Pの等間隔で並べられて配設され
ている。反射器GR2も、反射器GR1と同様に、その
構成要素である反射器電極がお互いに間隔Pの等間隔で
並べられて配設されている。反射器GR1の等間隔Pは
反射器GR2の等間隔Pと異なっていてもよい。例え
ば、反射器GR1の等間隔PはP1で、反射器GR2の
等間隔PはP2であってもよいし、またその逆でも成立
する。
The reflector GR1 is provided with reflector electrodes, which are constituent elements thereof, arranged at equal intervals P. Similarly to the reflector GR1, the reflector GR2 is also provided with reflector electrodes, which are constituent elements thereof, arranged at equal intervals P. The equal interval P of the reflector GR1 may be different from the equal interval P of the reflector GR2. For example, the equal interval P of the reflector GR1 may be P1, and the equal interval P of the reflector GR2 may be P2, or vice versa.

【0019】更に本発明においては、交叉指状電極ID
Tと反射器GR1との間隔が0.4λ〜0.5λ、反射
器GR1と反射器GR2との間隔が0.3λ〜0.4λ
にするように調整されたことを特徴としている。
Further, in the present invention, the interdigital electrode ID
The interval between T and the reflector GR1 is 0.4λ to 0.5λ, and the interval between the reflector GR1 and the reflector GR2 is 0.3λ to 0.4λ.
It is characterized by being adjusted to be.

【0020】ここで、λは弾性表面波(SAW)の1周
期の波長を表す。
Here, λ represents the wavelength of one period of the surface acoustic wave (SAW).

【0021】[実施の形態の動作]次に、本発明による
一実施の形態の動作について説明する。
[Operation of Embodiment] Next, the operation of the embodiment according to the present invention will be described.

【0022】一般に、1ポート型弾性表面波(SAW)
共振子に入力された信号は、交叉指状電極(IDT)で
弾性表面波(SAW)に変換され交叉指状電極(ID
T)の両側に設けられた反射器(GR)に入射する。1
本辺りの反射率が高々数%程度の電極群で構成されてい
る反射器(GR)では、弾性表面波(SAW)をほぼ完
全に反射するように電極を数多く配置する。この結果、
反射器内に等価反射面が形成され、そのキャビティ内に
定在波が発生する。そして交叉指状電極(IDT)で定
在波を電気信号に変換して取り出す。
Generally, one-port surface acoustic wave (SAW)
A signal input to the resonator is converted into a surface acoustic wave (SAW) by an interdigital electrode (IDT) and converted to an interdigital electrode (ID).
T) is incident on reflectors (GR) provided on both sides. 1
In a reflector (GR) composed of an electrode group having a reflectance of at most about several percent, a large number of electrodes are arranged so that surface acoustic waves (SAW) are almost completely reflected. As a result,
An equivalent reflecting surface is formed in the reflector, and a standing wave is generated in the cavity. The standing wave is converted into an electric signal by the interdigital electrode (IDT) and extracted.

【0023】この従来構成の場合の伝送特性は図8に示
したように共振周波数(fr)と反共振周波数(fa)
を各1個持ち、共振周波数差Δf1(=fa−fr)は
ほぼ使用する圧電基板により決まる。
As shown in FIG. 8, the transmission characteristics of this conventional configuration are represented by the resonance frequency (fr) and the anti-resonance frequency (fa).
, And the resonance frequency difference Δf1 (= fa−fr) is substantially determined by the piezoelectric substrate used.

【0024】また図9の伝送特性上にあるもう1つの共
振fsは、交叉指状電極IDTと反射器GRの間隔を適
当な値にすると発生する縦モードの高次共振スプリアス
であり、一般に副共振と呼ばれる。
Another resonance fs on the transmission characteristic of FIG. 9 is a longitudinal mode higher-order resonance spurious generated when the distance between the interdigital electrode IDT and the reflector GR is set to an appropriate value. Called resonance.

【0025】通常、1ポート弾性表面波(SAW)共振
子を直列と並列に多段接続したラダー型フィルタでは、
1ポート弾性表面波共振子の共振点fr付近を通過帯域
として反共振点fa付近を減衰域として使用される。フ
ィルタの条件としては、当然通過帯域と減衰帯域が広い
ことが必要不可欠である。
In general, in a ladder type filter in which one-port surface acoustic wave (SAW) resonators are connected in multiple stages in series and parallel,
The vicinity of the resonance point fr of the one-port surface acoustic wave resonator is used as a pass band, and the vicinity of the anti-resonance point fa is used as an attenuation band. As a condition of the filter, it is indispensable that the pass band and the attenuation band are wide.

【0026】従来の1ポート弾性表面波共振子の構成に
よる伝送特性(図8参照)では減衰帯域は狭く、副共振
を利用した図9でも減衰帯域中央に不要波が存在するの
で、十分な伝送特性が得られなかった。
In the transmission characteristics of the conventional one-port surface acoustic wave resonator (see FIG. 8), the attenuation band is narrow, and in FIG. 9 utilizing the sub-resonance, an unnecessary wave exists at the center of the attenuation band. No properties were obtained.

【0027】図1に示す本発明の構成によると、交叉指
状電極IDTで発生した弾性表面波SAWは反射器GR
1で弾性表面波の30〜70%が反射するように反射器
GR1の本数を調整したものであり、残りの弾性表面波
SAWは反射器GR2でほぼ完全に反射するように反射
器GR2の本数を調整したものである。
According to the structure of the present invention shown in FIG. 1, the surface acoustic wave SAW generated by the interdigital electrode IDT is reflected by the reflector GR.
1, the number of the reflectors GR1 is adjusted so that 30 to 70% of the surface acoustic wave is reflected, and the number of the reflectors GR2 is set so that the remaining surface acoustic wave SAW is almost completely reflected by the reflector GR2. Is adjusted.

【0028】次に交叉指状電極IDTと反射器GRとの
間隔による副共振の発生について図面を参照して説明す
る。
Next, the occurrence of sub-resonance due to the distance between the interdigital electrode IDT and the reflector GR will be described with reference to the drawings.

【0029】図3は図1に示された構成で反射器GR2
を除去した場合の構成を示す正面図である。
FIG. 3 shows the configuration of the reflector GR2 shown in FIG.
FIG. 7 is a front view showing a configuration in which is removed.

【0030】図3を参照するに、図3の1ポート弾性表
面波共振子の構成で示すように、交叉指状電極IDTと
反射器GR1間の間隔を0.4λ〜0.5λにすること
によって、共振モードを調整し、図4の伝送特性のよう
に反共振点faよりも若干高域側にfsを配置すること
が可能となる。この交叉指状電極IDTと反射器GR1
間の間隔を0.5λ以上にした場合にはfsは共振点f
r付近、または共振点frよりも低域側に移動し、逆に
0.4λ以下の場合にはfsは反共振点faよりも大き
く離れて高域側に移動する。
Referring to FIG. 3, as shown in the configuration of the one-port surface acoustic wave resonator in FIG. 3, the interval between the interdigital electrode IDT and the reflector GR1 is set to 0.4λ to 0.5λ. Thereby, the resonance mode can be adjusted, and fs can be arranged slightly higher than the anti-resonance point fa as shown in the transmission characteristics of FIG. This interdigital electrode IDT and the reflector GR1
When the interval between them is 0.5λ or more, fs is the resonance point f
In the vicinity of r, or lower than the resonance point fr, the frequency fs moves to a higher frequency side farther than the anti-resonance point fa when the frequency is 0.4λ or less.

【0031】また、図5の1ポート弾性表面波(SA
W)共振子は、反射器GR1と反射器GR2間の間隔を
0.3λ〜0.4λに設定し、反射器GR1を無くした
場合の構成である。
The one-port surface acoustic wave (SA) shown in FIG.
W) The resonator has a configuration in which the interval between the reflector GR1 and the reflector GR2 is set to 0.3λ to 0.4λ and the reflector GR1 is eliminated.

【0032】この図5による構成の場合の伝送特性は図
6で示したようにfsを反共振点faよりも若干低域側
に配置することが可能となる。この反射器GR1と反射
器GR2の間隔についても、0.4λ以上の場合にはf
sは反共振点faよりも大きく離れて低域側に移動し、
0.3λ以下になるとfsは反共振点faよりも高域側
に移動してしまい、faとfsの間のスプリアスのレベ
ルが問題となる。
As shown in FIG. 6, the transmission characteristic in the case of the structure shown in FIG. 5 can be arranged such that fs is slightly lower than the anti-resonance point fa. When the distance between the reflector GR1 and the reflector GR2 is 0.4λ or more, f
s moves farther away from the anti-resonance point fa to the lower frequency side,
If it becomes 0.3λ or less, fs moves to a higher frequency side than the anti-resonance point fa, and the level of spurious between fa and fs becomes a problem.

【0033】図4と図6の伝送特性を合成すれば、図2
に示すような減衰帯域Δf2の広い1ポート弾性表面波
共振子の伝送特性が得られる。
If the transmission characteristics of FIGS. 4 and 6 are combined, FIG.
The transmission characteristics of a one-port surface acoustic wave resonator having a wide attenuation band Δf2 as shown in FIG.

【0034】従って、本発明による1ポート弾性表面波
共振子を使用したラダー型フィルタではフィルタとして
減衰帯域の広い特性を実現することができる(図11を
参照)。
Therefore, the ladder-type filter using the one-port surface acoustic wave resonator according to the present invention can realize a characteristic with a wide attenuation band as a filter (see FIG. 11).

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の構成によ
ると、上記実施の形態で述べた理由により1ポート型弾
性表面波共振子の減衰帯域が広がるので、これをフィル
タとして使用した場合には、減衰帯域の広い良好な伝送
特性が得られる。
As described above, according to the structure of the present invention, the attenuation band of the one-port type surface acoustic wave resonator is widened for the reason described in the above embodiment. Can obtain good transmission characteristics with a wide attenuation band.

【0036】即ち、本発明によれば、図1に示すよう
に、交叉指状電極の両隣に等間隔Pで並設された反射器
GR1を設置し、そして反射器GR1の外側に等間隔P
で並んでいる反射器GR2を設け、更に交叉指状電極I
DTと反射器GR1との間隔を0.4λ〜0.5λと
し、反射器GR1と反射器GR2間の間隔を0.3λ〜
0.4λにすることによって、図2に示された伝送特性
例に見られる如く、反共振点fa付近に2つの副共振点
(fs1、fs2)が発生させられる。
That is, according to the present invention, as shown in FIG. 1, reflectors GR1 arranged at equal intervals P are provided on both sides of the interdigital electrode, and the equal pitches P are provided outside the reflector GR1.
Are provided, and the intersecting finger electrodes I
The interval between DT and the reflector GR1 is set to 0.4λ to 0.5λ, and the interval between the reflector GR1 and the reflector GR2 is set to 0.3λ to 0.5λ.
By setting the value to 0.4λ, two sub-resonance points (fs1, fs2) are generated near the anti-resonance point fa as seen in the transmission characteristic example shown in FIG.

【0037】この結果、1ポート弾性表面波(SAW)
共振子の伝送特性は図2に示すように、通過帯域Δf3
を狭くすることなしに、減衰帯域Δf2を広帯域化する
ことができる。
As a result, one-port surface acoustic wave (SAW)
As shown in FIG. 2, the transmission characteristic of the resonator has a pass band Δf3
Can be widened without narrowing the attenuation band Δf2.

【0038】従って、この1ポート弾性表面波(SA
W)共振子を利用したラダー型フィルタでは通過帯域が
広帯域でありながら、減衰帯域の広いフィルタを実現す
ることができる。
Therefore, the one-port surface acoustic wave (SA)
W) A ladder-type filter using a resonator can realize a filter having a wide attenuation band while having a wide pass band.

【0039】また、この1ポート弾性表面波(SAW)
共振子を利用したノッチフィルタの場合にも広い範囲の
周波数信号を取り除くことができるノッチフィルタを実
現することができる。
The one-port surface acoustic wave (SAW)
Even in the case of a notch filter using a resonator, a notch filter capable of removing a wide range of frequency signals can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による一実施の形態を示す概略構成図
(正面図)である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram (front view) showing an embodiment according to the present invention.

【図2】本発明による1ポート型SAW共振子の伝送特
性例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing an example of transmission characteristics of a one-port SAW resonator according to the present invention.

【図3】図1に示された構成で反射器GR2を除去した
場合の構成を示す正面図である。
FIG. 3 is a front view showing a configuration in a case where a reflector GR2 is removed from the configuration shown in FIG. 1;

【図4】図1の構成で反射器GR2を除去した場合の特
性例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a characteristic example when the reflector GR2 is removed in the configuration of FIG. 1;

【図5】図1に示された構成で反射器GR1を除去した
場合の構成を示す正面図である。
FIG. 5 is a front view showing a configuration in a case where a reflector GR1 is removed from the configuration shown in FIG. 1;

【図6】図1の構成で反射器GR1を除去した場合の特
性例を示す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a characteristic example when the reflector GR1 is removed in the configuration of FIG. 1;

【図7】従来の1ポート型SAW共振子の概略図であ
る。
FIG. 7 is a schematic view of a conventional one-port SAW resonator.

【図8】従来技術による1ポート型SAW共振子の特性
例1を示す図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a first characteristic example of the one-port SAW resonator according to the related art.

【図9】従来技術による1ポート型SAW共振子の特性
例2を示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a characteristic example 2 of the one-port SAW resonator according to the related art.

【図10】ラダー型フィルタの構成例を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration example of a ladder-type filter.

【図11】本発明による1ポート型SAW共振子を利用
したラダー型フィルタの特性例を示す図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a characteristic example of a ladder-type filter using a one-port SAW resonator according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

IDT…交叉指状電極 GR1、GR2…反射器 SAW…弾性表面波 IDT: interdigital electrode GR1, GR2: reflector SAW: surface acoustic wave

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/25 H03H 9/145 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H03H 9/25 H03H 9/145

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 交叉指状電極と、該交叉指状電極の両側
にそれぞれ配設された第1の反射器と、該各第1の反射
器の前記交叉指状電極とは反対側にそれぞれ配設された
第2の反射器とを具備し、前記第1の反射器と前記第2
の反射器との間隔を0.3λ〜0.4λの範囲内に設定
したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
1. A cross-finger electrode, first reflectors disposed on both sides of the cross-finger electrode, respectively, and a first reflector on each side of the first reflector opposite to the cross-finger electrode. A second reflector disposed therein, wherein the first reflector and the second reflector are provided.
Set the distance between the reflectors within the range of 0.3λ to 0.4λ
A surface acoustic wave filter characterized by the following.
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