JP3114723B2 - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
タ(TFT)をマトリクス状に配置し、これをスイッチ
ング素子として用いたアクティブマトリクス形の液晶表
示装置およびその製造方法に関する。
Film Transistor:以下”TFT”と略す)をマトリク
ス状に形成し、これをスイッチング素子として用いるア
クティブマトリクス型液晶表示装置は、高画質の平面デ
ィスプレイとして開発されている。従来広く使用されて
いるねじれネマティック(twisted nematic;以下"T
N"と略記する)型のアクティブマトリクス型液晶表示
装置においては、液晶層を駆動する電極は、2枚のガラ
ス基板上に形成して対向させた透明な電極を用いるよう
にし、電圧非印加時の液晶分子が基板表面に平行になっ
ている「白」表示状態から、印加電圧に応じて液晶分子
が電界方向に配向ベクトルの向きを変化させていくこと
により、「白」表示状態から次第に「黒」表示としてい
る。
挙動により、TN型液晶表示装置の視野角が狭いという
問題がある。この視野角が狭いという問題は、中間調表
示における液晶分子の立ち上がり方向において特に著し
い。その、液晶表示装置の視角特性を改善する方法とし
て、特開平4−261522号公報または、特開平6−
43461号公報に開示されているような技術が提案さ
れている。これらの技術では、ホメオトロピック配向さ
せた液晶セルを作成し、偏光軸が直交するように設置し
た2枚の偏光板の間に挟み、その公報の図に示されてい
るように、開口部を有する共通電極を使用することによ
り、各画素内に斜め電界を発生させ、これにより各画素
を2個以上の液晶ドメインとし、視角特性を改善してい
る。特開平4-261522号公報では特に、電圧を印加したと
きに液晶が傾く方向を制御することによって、高コント
ラストを実現している。
されているように、必要に応じて光学補償板を使用し、
黒の視角特性を改善している。さらに、特開平6−43
461号公報においては、ホメオトロピック配向させた
液晶セルのみならず、TN配向させたセルにおいても、
斜め電界により各画素を2個以上のドメインに分割し、
視角特性を改善している。また、公表特許平5−505
247号公報に、液晶分子を基板と水平方向に保ったま
ま回転させるため、2つの電極を共に片方の基板上に設
けるようにし、この2つの電極間に電圧をかけて、基板
と水平方向の電界を生じさせるようにしたIPS(In-P
lane-Switching)方式の液晶表示装置が提案されてい
る。この方式では、電圧を印加したときに液晶分子の長
軸が基板に対して立ち上がることはない。このため視角
方向を変えたときの液晶の複屈折の変化が小さく、視野
角が広いという特徴がある。
板上に設けるようにしたIPS方式のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置に関して、以下に説明する。このI
PS方式のTFT液晶表示装置は、図12に示すように
構成されている。なお、図12において、図12(a)
は、図12(b)の平面図のAA’線の断面を示してい
る。まず、ガラス基板1201上にCrよりなるゲート
電極1202および共通電極1203が形成され、これ
らの電極を覆うように窒化シリコンからなるゲート絶縁
膜1204が形成されている。また、ゲート電極120
2上には、ゲート絶縁膜1204を介して非晶質シリコ
ンからなる半導体膜1205が形成され、トランジスタ
の能動層として機能するようになされている。また、半
導体膜1205のパターンの一部に重畳するようにモリ
ブデンよりなるドレイン電極1206,ソース電極12
07が形成され、これら全てを被覆するように窒化シリ
コンよりなる保護膜1208が形成されている。
電極1207と引き出されている共通電極1203との
間に1画素の領域が配置されることになる。そして、以
上のように構成した単位画素をマトリクス状に配置した
アクティブマトリクス基板の表面には、配向膜ORI1
が形成されている。この配向膜ORI1表面はラビング
処理されている。一方、ガラスよりなる対向基板123
1には、カラーフィルター層1232が遮光部1233
で区切られて形成され、これらの上に保護膜1234が
形成されている。そして、この保護膜1234表面に
も、配向膜ORI2が形成され、この配向膜ORI2表
面もラビング処理されている。
231が、配向膜ORI1および配向膜ORI2形成面
で対向配置され、これらの間に液晶組成物1240が配
置されている。また、ガラス基板1201および対向基
板1231の外側の面には、偏光板1251が形成され
ている。なお、カラーフィルター層1232を区切って
いる遮光部1233は、その一部の領域が半導体膜12
05よりなる薄膜トランジスタ上に配置するように形成
されている。
クス型液晶表示装置では、液晶組成物1240に電界が
かかっていないときは、液晶分子1241aはそれら電
極の延在方向におおよそ平行な状態となっており、ホモ
ジニアス配向している。すなわち、液晶分子1241a
の長軸(光学軸)の方向と、ソース電極1207と引き
出されている共通電極1203との間に形成される電界
方向方とのなす角度が、45°以上90°未満となるよ
うに、液晶分子1241aは配向されている。なお、対
向配置されているガラス基板1201と対向基板123
1と、液晶分子1241aとの配向は、互いに平行とな
っている。また、液晶分子1241aの誘電異方性は正
とした。
して薄膜トランジスタ(TFT)をオンにすると、ソー
ス電極1207に電圧が印加されてソース電極1207
とこれに対向配置している共通電極1203の間に電界
が誘起される。そして、この電界により、液晶分子12
41aは液晶分子1241bへと向きを変える。この液
晶分子1241bは、ソース電極1207とこれに対向
配置している共通電極1203の間に形成される電界の
方向に、ほぼ平行な状態となる。そして、偏光板125
1の変更透過軸を所定角度に配置しておくことで、上述
した液晶分子の動きによって光の透過率を変化させるこ
とができる。
マトリクス型液晶表示装置では、透明電極がなくてもコ
ントラストを与えることができる。そして、上述したI
PS方式のアクティブマトリクス型液晶表示装置では、
液晶分子の長軸は基板平面とほぼ平行であり、電圧を印
加することで立ち上がることがない。このため、視角方
向を変えたときの明るさの変化が小さく、視覚特性が大
幅に改善されるという効果を有している。
Vol.45,No.12(1974)5466)または、特開平10−186
351号公報には、上記のIPSモ−ドの他に誘電率異
方性が正の液晶を基板に対して垂直にホメオトロピック
配向させておき、基板に水平方向の電界で液晶分子を基
板と水平方向に倒す方式が述べられている。このとき、
電界の方向のためホメオトロピック配向させた液晶分子
は傾く方向が異なる2つ以上の領域に分かれる。
方式においては、従来では、液晶が配置される層と対向
基板との間にカラーフィルターの層が配置されていたた
め、ソース電極と引き出されている共通電極との間に電
位を印加することで形成される電界が、カラーフィルタ
ーの層に影響を及ぼし、アクティブマトリクス型液晶表
示装置の表示の特性を悪化させるという問題があった。
すなわち、カラーフィルター層を構成する色素には、不
純物としてナトリウムイオンなどが含まれているため、
カラーフィルターの層に電界がかかると、そこに電荷が
たまってチャージアップすることになる。そして、カラ
ーフィルターの層がチャージアップすると、その箇所の
下部の液晶に不要な電界がいつでもかかっている状態と
なるため、表示特性に影響を及ぼしてしまう。
いて、色ムラの発生を抑制することを目的としている。
本発明の別の目的は、そのような、液晶表示装置を容易
に作成する製造方法を提供することである。
置は、透明な第1の基板と透明な第2の基板とこれらに
挟まれた液晶層とカラ−フィルタ−層とを有し、そのカ
ラ−フィルタ−層は第1の基板上に配置され、液晶層は
カラ−フィルタ−層と第2の基板との間に配置され、カ
ラ−フィルタ−層下の第1の基板上には、複数の走査信
号電極と、それらにマトリクス状に交差する複数の映像
信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点に対応して
形成された複数の薄膜トランジスタとを有し、複数の走
査信号電極および映像信号電極で囲まれるそれぞれの領
域で少なくとも1つの画素が構成され、それぞれの画素
には共通電極配線により複数の画素に渡って接続されて
基準電位を与える共通電極と、対応する薄膜トランジス
タに接続されて画素領域において共通電極に対向して配
置された画素電極とを有し、共通電極および画素電極は
透明な絶縁物からなる層間分離膜を介して互いに異なっ
た層に配置され、共通電極と画素電極との間に印加され
る電圧により、液晶層には第1の基板に対して支配的に
平行な成分を持った電界が発生するようにし、かつ電圧
が印加される前の液晶が第1の基板に対してほぼ平行に
配向しているようにした。
透明な第1の基板と透明な第2の基板とこれらに挟まれ
た液晶層とカラ−フィルタ−層とを有し、そのカラ−フ
ィルタ−層は第1の基板上に配置され、液晶層はカラ−
フィルタ−層と第2の基板との間に配置され、カラ−フ
ィルタ−層下の第1の基板上には、複数の走査信号電極
と、それらにマトリクス状に交差する複数の映像信号電
極と、これらの電極のそれぞれの交点に対応して形成さ
れた複数の薄膜トランジスタとを有し、複数の走査信号
電極および映像信号電極で囲まれるそれぞれの領域で少
なくとも1つの画素が構成され、それぞれの画素には共
通電極配線により複数の画素に渡って接続されて基準電
位を与える共通電極と、対応する薄膜トランジスタに接
続されて画素領域において共通電極に対向して配置され
た画素電極とを有し、共通電極および画素電極は透明な
絶縁物からなる層間分離膜を介して互いに異なった層に
配置され、共通電極と画素電極との間に印加される電圧
により、液晶層には第1の基板に対して支配的に平行な
成分を持った電界が発生するようにし、かつ電圧が印加
される前の液晶が第1の基板に対してほぼ垂直に配向し
ているようにした。したがって、共通電極と画素電極と
の間に印加される電圧により発生した電界で、液晶層に
おける液晶は自動的に2つ以上の領域に分かれ、基板に
対して平行な方向に倒れていき、その液晶層に発生する
電界は、カラ−フィルタ−層に影響しない。
開口率の低下を抑制するために、共通電極または画素電
極の少なくとも一方を透明性導電膜で形成してもよい。
さらに、画素電極を透明性導電膜で形成し、共通電極を
Crなどの金属で形成し、この共通電極と同じ層でTF
Tを遮光する遮光層を形成してもよい。また、本発明に
おける液晶表示装置は、視角特性を改善するために、偏
光板と液晶セルの間に少なくとも1枚の光学補償板を有
している。この補償板は電圧無印加時に液晶がホメオト
ロピック配向をとっているため、光学的に負の補償板を
使用することが、斜め方向から見たときのリタデ−ショ
ンの変化を打ち消す観点から好ましい。このような補償
板は2軸延伸のような方法で作成した1枚のフィルムで
あってもよいし、1軸延伸したフィルムを2枚以上重ね
て、実質的に光学的に負の1軸の補償板として用いても
同様の効果が得られる。さらに、初期配向は原理的に垂
直配向であるが、素子の特性により、ある方向に偏りが
出た場合などは、さらにこれを補償するために、光学異
方性が正のフィルムを貼り付けてもよい。
電気などによる表示への悪影響を避けるために第2の基
板の液晶層と反対側に透明性の導電膜を設けてもよい。
また本発明における液晶表示装置の製造方法は、共通電
極と画素電極の間に電圧を印加することによって、初期
配向を制御した後、液晶中に少量混合した重合性のモノ
マ−またはオリゴマ−を高分子化することによって、初
期の液晶配向をさらに確実なものにすることができる。
初期配向を制御する際には、加熱により液晶層を等方相
にした後、共通電極と画素電極の間に電圧を加えるなが
ら、温度を降下させても、室温で共通電極と画素電極の
間に電圧を印加するだけでもよい。また、モノマ−の反
応も等方相に加熱する前に起こさせても、加熱中に起こ
させてもよいし、冷却後に起こさせてもよい。室温で共
通電極と画素電極の間に電圧を印加し、初期配向を制御
する場合も、電圧印加の前に反応を起こさせておいても
よいし、電圧印加後に、反応を起こさせてもよい。
方法は、基板にあらかじめラビング、または光配向など
の方法を使用して、分割形状に従ったプレチルト角の制
御を行い、初期配向の制御を極めて確実にし、駆動電圧
により、このような配向が乱れることを防止するため
に、さらに液晶中に少量混合した重合性のモノマ−また
はオリゴマ−を高分子化するとより優れた効果が得られ
る。また、光配向の場合は、液晶中に少量混合した重合
性のモノマ−またはオリゴマ−を高分子化することによ
り、駆動時においてもより確実に分割を維持することが
できる。
参照して説明する。 実施の形態1 始めに、この発明の第1の実施の形態における液晶表示
装置に関して、図1を用いて説明する。なお、図1にお
いて、図1(a)は、図1(b)の平面図のAA’線の
断面を示している。この実施の形態1の液晶表示装置で
は、ガラス基板101上には、Crよりなるゲート電極
(走査信号電極)102が配置され、このゲート電極1
02を覆うように窒化シリコンからなるゲート絶縁膜1
04が形成されている。
縁膜104を介して非晶質シリコンからなる半導体膜1
05が配置され、薄膜トランジスタ(TFT)の能動層
として機能するようにされている。また、半導体膜10
5のパターンの一部に重畳するようにモリブデンよりな
るドレイン電極106,ソース電極107が配置され、
これら全てを被覆するように窒化シリコンよりなる保護
膜108が形成されている。なお、ドレイン電極10
6,ソース電極107それぞれは、図示していないが、
n形不純物が導入された非晶質シリコン膜を介し、半導
体膜105のパターンの一部に重畳している。なお、図
1(b)に示すように、ドレイン電極106は、データ
線(映像信号電極)106aに接続している。言い換え
ると、ドレイン電極106は、データ線106aの一部
として形成されている。
膜108上に、カラーフィルター層110が遮光部11
1で区切られて配置されているようにした。また、カラ
ーフィルター層110および遮光部111上は、オーバ
ーコート層(層間分離膜)112で覆われている。こ
の、オーバーコート層112は、チャージアップしにく
い透明な絶縁材料から構成する。
よび,オーバーコート層112を貫通して形成されたス
ルーホールを介してソース電極107に接続する画素電
極114が、オーバーコート層112上に配置されてい
る。また、平面的には、1画素の領域においてその画素
電極114に対向するように、共通電極配線103aよ
り引き出されている共通電極103が形成されている。
ここで、この共通電極103は、遮光部111上にオー
バーコート層112で覆われて配置されている。
通電極103は、カラーフィルター層110上に配置さ
れ、そして、その共通電極103とカラーフィルター層
110とを覆うように形成されているオーバーコート層
112上に、画素電極114が配置された構成となって
いる。そして、その画素電極114と共通電極103と
に挟まれた領域で、1画素が構成された構成となってい
る。また、以上のように構成した単位画素をマトリクス
状に配置したアクティブマトリクス基板の表面、すなわ
ち、画素電極114が形成されたオーバーコート層11
2上には、配向膜115が形成されている。この配向膜
115表面はラビング処理されている。
配向膜132が形成され、この配向膜132表面もラビ
ング処理されている。そして、ガラス基板101と対向
基板131が、配向膜115および配向膜132形成面
で対向配置され、これらの間に液晶組成物層140が配
置されている用に構成されている。また、ガラス基板1
01および対向基板131の外側の面には、偏光板15
1が形成されている。なお、カラーフィルター層110
を区切っている遮光部111は、その一部の領域が半導
体膜105よりなる薄膜トランジスタ上に配置するよう
に形成されている。
置では、液晶組成物層140に電界がかかっていないと
きは、液晶組成物層140における液晶分子はそれら電
極の延在方向にほぼ平行な状態となりホモジニアス配向
している。すなわち、液晶分子の長軸(光学軸)の方向
と、画素電極114と共通電極103との間に形成され
る電界方向方とのなす角度が、例えば、45°以上90
°未満となるように、液晶分子は配向されている。
1と対向基板131と、液晶分子との配向は、互いに平
行となっている。また、液晶分子の誘電異方性は正とし
た。ここで、ゲート電極102に電圧を印加して薄膜ト
ランジスタ(TFT)をオンにすると、ソース電極10
7に電圧が印加されて、画素電極114とこれに対向配
置している共通電極103の間に電界が誘起される。そ
して、この電界により、液晶分子141は、画素電極1
14とこれに対向配置している共通電極103の間に形
成される電界の方向に、ほぼ平行な状態となる。
角度に配置しておくことで、上述した液晶分子の動きに
よって光の透過率を変化させることができる。次に、上
述したこの実施の形態1における液晶表示装置の製造方
法について簡単に説明する。まず、Cr膜を成膜してこ
れを公知のフォトリソグラフィおよびエッチング技術に
よりパターニングすることで、図2(a)に示すよう
に、ガラス基板101上にゲート電極102を形成す
る。
極102上を含むガラス基板101上に窒化シリコンか
らなるゲート絶縁膜104を形成し、これを介してゲー
ト電極102上にアモルファスシリコンからなる半導体
膜105を形成する。この半導体膜105は、ゲート絶
縁膜104上にアモルファスシリコンを堆積した後、公
知のフォトリソグラフィおよびエッチング技術により、
そのアモルファスシリコンの膜をパターニングすること
で形成すればよい。次に、図2(c)に示すように、半
導体膜105のパターンの一部に重畳するようにモリブ
デンよりなるドレイン電極106,ソース電極107を
形成する。
電極106,ソース電極107,および,半導体膜10
5を覆うように、ゲート絶縁膜104上に保護膜108
を形成する。次に、図2(e)に示すように、この保護
膜108上にカラーフィルター層110および遮光部1
11を形成する。また、同時に、共通電極103を形成
する。なお、カラーフィルター層110は、例えば、赤
色や緑色もしくは青色の染料,顔料を含んだ樹脂膜から
構成する。また、遮光部111は、黒色の染料,顔料を
含んだ樹脂膜から構成すればよい。また、金属を用いて
遮光部を形成するようにしても良い。
ば、赤色などの所望の光学特性が得られる顔料が、アク
リルをベースとしたネガ形の感光性樹脂中に分散され
た、顔料分散レジストを用いて形成すればよい。まず、
その顔料分散レジストを保護膜108上に塗布すること
で、そのレジスト膜を形成する。次いで、そのレジスト
膜の所定量域、すなわちマトリクス状に配置された画素
領域に選択的に光が当たるように、フォトマスクを用い
て露光する。この露光の後、所定の現像液を用いて現像
し、所定のパターンを形成する。これらの工程を、色
数、例えば赤・青・緑の3色分3回繰り返すことで、カ
ラーフィルター層110が形成できる。
103を含めてカラーフィルター層110および遮光部
111上に透明な絶縁材料からなるオーバーコート層1
12を形成する。このオーバーコート層112は、例え
ばアクリル樹脂などの熱硬化性樹脂を用いればよい。ま
た、そのオーバーコート層112に、光硬化性の透明な
樹脂を用いるようにしても良い。次に、図3(g)に示
すように、スルーホールを形成してこれを介してソース
電極107に接続する画素電極114を、オーバーコー
ト層112上に形成する。この後、配向膜115を形成
した後、液晶組成物層140を形成するなどにより、図
1に示したような、液晶表示装置が完成する。
は、カラーフィルター層110上に配置された画素電極
114とこれに対向配置している共通電極103の間に
電界を形成することで、それらの上に配置された液晶分
子141を駆動するようにした。従って、この実施の形
態によれば、カラーフィルター層110と液晶組成物層
140とが、画素電極114と共通電極103とを挾ん
で配置されているようにした。従って、画素電極114
と共通電極103とにより液晶分子141を動かすため
の電界は、カラーフィルター層110に何ら影響を与え
ない。また、共通電極103上において、オーバーコー
ト層112上に液晶組成物層140が形成されている
が、オーバーコート層112は殆どチャージアップしな
い。
れば、液晶組成物層140は、上下に不要な電界がいつ
でもかかっている状態が抑制されるので、従来とは異な
り、表示特性の劣化を起こしにくい構造となっている。
また、画素電極114と共通電極103および共通電極
配線103aとが、オーバーコート層112を介して形
成されているので、画素電極114と共通電極配線10
3aとが、接触してしまうことが起こらない。
装置に関して、図4を用いて説明する。なお、図4にお
いて、図4(a)は、図4(b)の平面図のBB’線の
断面を示している。この実施の形態2の液晶表示装置で
は、ガラス基板401上には、Crよりなるゲート電極
402が配置され、このゲート電極402を覆うように
窒化シリコンからなるゲート絶縁膜404が形成されて
いる。また、ゲート電極402上には、ゲート絶縁膜4
04を介して非晶質シリコンからなる半導体膜405が
配置され、薄膜トランジスタの能動層として機能するよ
うにされている。
重畳するようにモリブデンよりなるドレイン電極40
6,ソース電極407が配置され、これら全てを被覆す
るように窒化シリコンよりなる保護膜408が形成され
ている。なお、ドレイン電極406,ソース電極407
それぞれは、図示していないが、n形不純物が導入され
た非晶質シリコン膜を介し、半導体膜405のパターン
の一部に重畳している。なお、図4(b)に示すよう
に、ドレイン電極406は、データ線406aに接続し
ている。以上のことは、前述した実施の形態1と同様で
ある。
膜408上に、カラーフィルター層410が配置されて
いるようにした。また、カラーフィルター層410は、
オーバーコート層412で覆われている。この、オーバ
ーコート層412は、例えばアクリル樹脂など、チャー
ジアップしにくい透明な材料から構成する。そして、ソ
ース電極407より引き出された引き出し電極407a
に接続し、画素電極414がオーバーコート層412上
に配置されている。この画素電極414は、保護膜40
8,遮光部411,および,オーバーコート層412を
貫通するスルーホールを介し、引き出し電極407aに
接続している。また、この画素電極414はITO(I
n2O3:Sn)などの透明電極から構成され、平面的に
は1画素の領域をほぼ半分に分けるように中央部に配置
されている。
通電極配線403が形成されている。また、この共通電
極配線403は、カラーフィルター層410上にオーバ
ーコート層412で覆われて配置されている。そして、
この共通電極配線403は、上部から見たとき、下層に
配置しているドレイン電極406,データ線406a,
ソース電極407,ゲート電極402およびそれらで構
成されるTFTを隠すように配置され、遮光層をかねて
いる。
トリクス状に配置したアクティブマトリクス基板の表
面、すなわち、画素電極414が形成されたオーバーコ
ート層412上には、配向膜415が形成されている。
この配向膜415表面はラビング処理されている。一
方、ガラスよりなる対向基板431にも配向膜432が
形成され、この配向膜432表面もラビング処理されて
いる。そして、ガラス基板401と対向基板431が、
配向膜415および配向膜432形成面で対向配置さ
れ、これらの間に液晶組成物層440が配置されている
用に構成されている。また、ガラス基板401および対
向基板431の外側の面には、偏光板451が形成され
ている。
も、上述した実施の形態1と同様に、共通電極配線40
3は、カラーフィルター層410上に配置され、そし
て、その共通電極配線403とカラーフィルター層41
0とを覆うように形成されているオーバーコート層41
2上に、画素電極414が配置された構成となってい
る。この場合、共通電極配線403が、上述した実施の
形態1における共通電極もかねている。そして、この実
施の形態2では、格子状に形成された共通電極配線40
3に囲われた領域で1画素が構成され、その中央部を通
り1画素を半分に分けるように画素電極414が配置さ
れているようにした。
置では、液晶組成物層440に電界が印加されていない
ときは、液晶組成物層440における液晶分子はそれら
電極の延在方向にほぼ平行な状態となっている。すなわ
ち、液晶分子の長軸(光学軸)の方向と、画素電極41
4と共通電極配線403との間に形成される電界方向方
とのなす角度が、例えば、45°以上90°未満となる
ように、液晶分子は配向されている。なお、対向配置さ
れているガラス基板401と対向基板431と、液晶分
子との配向は、互いに平行となっている。また、液晶分
子の誘電異方性は正とした。
て薄膜トランジスタ(TFT)をオンにすると、ソース
電極407に電圧が印加されて、画素電極414とこれ
に対向配置している共通電極配線403の間に電界が誘
起される。そして、この電界により、液晶分子441
は、画素電極414とこれに対向配置している共通電極
配線403の間に形成される電界の方向に、ほぼ平行な
状態となる。そして、偏光板451の変更透過軸を所定
角度に配置しておくことで、上述した液晶分子の動きに
よって光の透過率を変化させることができる。
も、カラーフィルター層410上に配置された画素電極
414とこれに対向配置している共通電極配線403の
間に電界を形成することで、それらの上に配置された液
晶分子441を駆動するようにした。すなわち、この実
施の形態2においても、カラーフィルター層410と液
晶組成物層440とが、画素電極414と共通電極配線
403とを挾んで配置されているようにした。従って、
画素電極414と共通電極配線403とにより液晶分子
441を動かすための電界は、カラーフィルター層41
0に何ら影響を与えない。
ーバーコート層412上に液晶組成物層440が形成さ
れているが、オーバーコート層412は殆どチャージア
ップしない。以上のことにより、この実施の形態2によ
れば、液晶組成物層440は、上下に不要な電界がいつ
でもかかっている状態が抑制されるので、従来とは異な
り、表示特性の劣化を起こしにくい構造となっている。
また、画素電極414と共通電極配線403が、オーバ
ーコート層412を介して形成されているので、画素電
極414と共通電極配線403とが、接触してしまうこ
とが起こらない。そして、この実施の形態2によれは、
前述したように、共通電極配線403が遮光層もかねて
いるので、カラーフィルター層の製造工程を簡略化する
ことができる。
1つの画素において、共通電極と画素電極とを1組だけ
設けるようにしたが、これに限るものはない。共通電極
とが粗電極とを、1つの画素領域において複数組設ける
ようにしても良い。例えば、櫛形にそれら電極を形成
し、対向して配置するようにしても良い。このようにす
ることで、1つの画素が大きい場合でも、画素電極と共
通電極との間の距離を短くできるので、液晶を駆動させ
るために印加する電圧を小さくできる。
置に関して、図5を用いて説明する。なお、図5におい
て(a)は液晶表示装置の一部の画素の平面図であり、
(b)、(c)はそれぞれA−A’,B−B’線の断面
を表している。この第3の実施形態の液晶表示装置で
は、ガラス基板501上にゲート電極505が形成さ
れ、ゲート絶縁膜504を介してドレイン電極506、
ソース電極507からなる薄膜トランジスタが形成さ
れ、その上にパッシベーション膜512が形成されてい
る点は実施の形態1と同様である。そして、その上にカ
ラーフィルター層517が形成され、それを覆うように
第1のオーバーコート層513で覆われている。このオ
ーバーコート層513はチャージアップしにくい透明な
絶縁材料により構成する。
第1のオーバーコート層513を貫通して形成されたス
ルーホールを介して、ソース電極507に接続する画素
電極508が、第1のオーバーコート層513上に配置
されている。さらにこれらをすべて覆うように第2のオ
ーバーコート層514が形成され、その上に共通電極配
線により引き出されている共通電極509が形成されて
いる。ここで第2のオーバーコート層513は共通電極
509と画素電極508の間の電界が液晶層515にか
かるようにするため、0.1〜1μm程度に薄膜化し、
さらに誘電率の高い材料を用いることが望ましい。
ラーフィルター517上の第1のオーバーコート513
上に画素電極508が配置され、これらを覆うように形
成されている第2のオーバーコート層上に共通電極50
9が配置された構成となっている。そして、その画素電
極508と共通電極509とに挟まれた領域で、1画素
が構成された構成となっている。また共通電極509が
配線上およびTFT上に配置されており、第2の実施形
態と同様に遮光を兼ねている。
リクス上に配置したアクティブマトリクス基板の表面お
よび対向基板の表面に配向膜を形成し、所定の方向にラ
ビング処理を行い、アクティブマトリクス基板上に配置
された画素電極と共通電極間に発生する横方向電界を用
いて液晶を駆動することにより光の透過率を変化させる
ことは第1の実施形態と同様である。なお、液晶層51
5は、対向基板516と第2のオーバーコート層514
の間に挟まれている。
る液晶表示装置の製造方法について簡単に説明する。図
6(a)に示すように、ガラス基板501上に薄膜トラ
ンジスタを形成し、それらを保護するパッシベーション
膜512を堆積した後、顔料分散型の感光性アクリル樹
脂などを用いてカラーフィルターを形成することは実施
形態1と同様である。次に図6(b)のように、透明の
感光性アクリル樹脂などを用いて第1のオーバーコート
層を形成し、スルーホール518を開口し、同時にパッ
シベーション膜512上のスルーホールも開口する。
ール518を介してソース電極508に接続する画素電
極508を、ITOなどにより第1のオーバーコート層
上に形成する。次に図6(d)に示すように、第2のオ
ーバーコート膜を形成する。第2のオーバーコート膜を
感光性の有機膜などを塗布法により形成する場合、スル
ーホール508が平坦化され、画素電極と共通電極間の
ショートなどもなくなり、好ましい。
モリブデンなどにより共通電極509を形成している。
以上のことによりこの実施形態3によれば、液晶層51
5は上下に不要な電界がいつでもかかっている状態が抑
制されるので、従来とは異なり、表示の劣化を起こしに
くい構造になっている。また、第1のオーバーコート層
上のスルーホールは第2のオーバーコートにより平坦化
されるため、画素電極と共通電極間のショートが少なく
なる構造となっている。
置に関して、図7を用いて説明する。なお、図7におい
て(a)は液晶表示装置の一部の画素の平面図であり、
(b)、(c)はそれぞれA−A‘、B−B’線の断面
を表している。この実施の形態4の液晶表示装置では、
TFTガラス基板上にゲート電極705が形成され、ゲ
ート絶縁膜704を介して、ドレイン電極706、ソー
ス電極707からなる薄膜トランジスタが形成され、そ
の上にパッシベーション膜712が形成されている点は
第1の実施形態と同様である。
が形成され、それを覆うように第1のオーバーコート層
713が覆われている。このオーバーコート層713は
チャージアップしにくい透明な絶縁材料により構成す
る。そして、パッシベーション膜712および第1のオ
ーバーコート層713上に共通電極配線により引き出さ
れている共通電極709が形成されている。さらにこれ
らを全て覆うように第2のオーバーコート層714が形
成され、第2のオーバーコート層を貫通して形成された
スルーホールを介して、ソース電極707に接続する画
素電極708が配置されている。
と画素電極の間の電界が液晶層715にかかるようにす
るため、0.1〜1μm程度に薄膜化し、さらに誘電率
の高い材料を用いることが好ましい。従って、この第4
の実施形態においては、カラーフィルター717上の第
1のオーバーコート713上に共通電極709が配置さ
れ、これらを覆うように形成されている第2のオーバー
コート層上に画素電極708が配置された構成となって
いる。そして、その画素電極708と共通電極709と
に挟まれた領域で、1画素が構成された構成となってい
る。また共通電極709が配線上およびTFT上に配置
されており、第2の実施形態と同様に遮光を兼ねてい
る。
トリクス上に配置したアクティブマトリクス基板の表面
および対向基板の表面に配向膜を形成し、所定の方高に
ラビング処理を行い、アクティブマトリクス基板上に配
置された画素電極と共通電極間に発生する横方向電界を
用いて液晶を駆動することにより光の透過率を変化させ
ることは第1の実施形態と同様である。なお、液晶層7
15は、対向基板716と第2のオーバーコート層71
4の間に挟まれている。
る液晶表示装置の製造方法について簡単に説明する。図
8(a)に示すように、ガラス基板710上に薄膜トラ
ンジスタを形成し、それらを保護するパッシベーション
膜712を堆積した後、顔料分散型の感光性アクリル樹
脂などを用いてカラーフィルターを形成することは第1
の実施形態と同様である。次に図8(b)のように、第
1のオーバーコート層を塗布した後、共通電極709を
クロム・モリブデンなどの金属によりパターン形成す
る。
バーコート膜を塗布した後、第1,2のオーバーコート
膜およびパッシベーション膜を貫通するスルーホール7
18を形成する。最後に、図8(d)に示すように、ス
ルーホール718を介してソース電極707に接続する
画素電極708を、ITOなどにより第2のオーバーコ
ート層上に形成する。
ば、液晶層715は、上下に不要な電界がいつでもかか
っている状態が抑制されるので、従来とは異なり、表示
特性の劣化をおこしにくい構造となっている。また、第
1,2のオーバーコート層のパターニングを一括して行
ってスルーホールを形成するので、第3の実施形態に比
べて製造工程が短縮される。
を、図9を用いて説明する。なお、図9において、図9
(a)は、図9(b)の平面図のAA’線の断面を示し
ている。実施の形態1と同様に構成した単位画素をマト
リクス状に配置したアクティブマトリクス基板の表面、
すなわち、画素電極914が形成されたオ−バ−コ−ト
層912上には、垂直配向膜915が形成されている。
この配向膜915表面は、必要に応じラビング、また
は、光配向処理が施される。
にも垂直配向膜932が形成され、この配向膜932の
表面も必要に応じ、ラビング、または、光配向処理が施
される。また、静電気による画質の低下を防ぐ目的で、
対向基板の配向膜と反対側の表面に、ITOなどの透明
性導電膜を設けてもよい。基板901と対向基板931
は配向膜915および配向膜932形成面で対向配置さ
れ、これらの間に液晶層940が配置される。また、透
過型で使用する場合は基板901および対向基板931
の外側の面には、偏光板951が形成されている。な
お、カラ−フィルタ−層910を区切っている遮光部9
11は、その一部の領域が半導体膜905よりなる薄膜
トランジスタ上に配置するように形成されている。
クス型液晶表示装置では、液晶層940に電界がかかっ
ていないときには、液晶層940における液晶分子は、
基板にほぼ垂直に配向している。液晶の誘電率異方性は
正とする。ここで、ゲ−ト電極902に電圧を印加して
薄膜トランジスタ(TFT)をオンにすると、ソ−ス電
極907に電圧が印加され、画素電極914とこれに対
向配置している共通電極903の間に電界が誘起され
る。そして、この電界により、液晶分子941は画素電
極914とこれに対向配置している共通電極903の間
に形成される電界の方向に、ほぼ平行な状態、すなわ
ち、基板方向に倒れていくことになる。また、このとき
電界の方向が完全に基板と平行でないため、電極間の液
晶分子は2方向に分かれて倒れる。
膜に処理を加えることをしなくても、自動的に液晶の倒
れる方向を分割することができ、広視野角化が達成でき
る。しかし、液晶の方向の異なる方向に倒れるそれぞれ
の領域は、電界の方向のみで制御され、明確に分かれて
いない。このため、液晶の配向状態が悪い場合は、その
境界が表示画面によって画素内を移動する場合があり、
表示不良を発生させる原因となる。そこで、その液晶の
倒れる方向が変わる境界をより完全に制御するために、
その境界を次に示すようにして固定するようにしても良
い。
うに、領域毎に異なるラビング処理を行うようにすれば
よい。まず、図10(a)に示すように、画素内の境界
を境に一方の領域の垂直配向膜915上に、レジストパ
タン1001を形成し、この状態でラビングロール10
10を所定の方向に移動させる。このことにより、垂直
配向膜915のレジストパタン1001に覆われていな
い領域が、所定の方向にラビング処理されたことにな
る。しかしここでは、レジストパタン1001で覆われ
た領域は、ラビング処理されない。
後、図10(b)に示すように、画素内の境界を境に他
方の領域の垂直配向膜915上に、レジストパタン10
02を形成する。すなわち、すでにラビング処理された
領域を覆うように、レジストパタン1002を形成す
る。そして、この状態で、ラビングロール1010を上
述とは反対の方向に移動させる。このことにより、垂直
配向膜915のレジストパタン1002に覆われていな
い領域が、すでにラビング処理された領域とは異なる方
向にラビング処理されたことになる。そして、この処理
では、すでにラビング処理された領域は、レジストパタ
ン1002で覆われているので、再度ラビング処理され
ることがない。
た後、対向基板931側の垂直配向膜932も同様に処
理し、図10(c)に示すように、それらの間に液晶層
940を配置するればよい。これらの結果、液晶層94
0では、境界を境に、液晶分子941が異なる方向に倒
れるようになる。すなわち、上述したことにより、分割
領域を固定することができる。
をより完全に制御するために、その境界を次に示すよう
にして固定するようにしても良い。この2つ目の方法
は、偏光した光を照射することで配向方向が定まる光配
向膜を用いるようにしたものである。以下、より詳細に
説明すると、まず、図11(a)に示すように、光配向
膜からなる垂直配向膜915を形成したら、所定の境界
を境に一方の領域を遮光するマスク1101を配置し、
この状態で斜め方向から偏光した光1110を上部より
照射する。このことにより、垂直配向膜915のマスク
1101に覆われていない領域が、配向状態を規定され
たことになる。しかしここでは、マスク1101が上部
にある領域は、配向状態が規定されていない。
の境界を境に他方の領域の垂直配向膜915上に、マス
ク1102を配置する。すなわち、すでに配向状態が規
定された領域を覆うように、マスク1102を配置す
る。そして、この状態で、今度は、上述とは反対側の斜
め方向から偏光した光を上部より照射する。このことに
より、垂直配向膜915のマスク1102に覆われてい
ない領域が、所定の配向状態を規定されたことになる。
このことにより、垂直配向膜915のマスク1102に
覆われていない領域が、すでに配向状態が規定された領
域とは異なる方向に、配向状態が規定されたことにな
る。そして、この処理では、すでに配向状態が規定され
た領域は、マスク1102が上部にあって光が照射され
ないので、再度配向状態が規定されることがない。
基板931側の垂直配向膜932も同様に処理し、それ
らの間に液晶層940を配置するればよい。これらの結
果、液晶層940では、境界を境に、液晶分子941が
異なる方向に倒れるようになる。すなわち、上述したこ
とにより、分割領域を固定することができる。なお、そ
の光配向膜としては、ケイ皮酸基のような偏光により液
晶の配向を制御できる官能基を有する物質、または、エ
−エムエルシ−ディ−'96/アイディ−ダブリュ'96
のダイジェストオブテクニカルペイパ−ズ(AM-LCD'9
6/IDW'96DigestofTechnicalPapers)P.337に記載さ
れているような偏光照射により感光基が重合するような
高分子を用いればよい。
向の乱れを抑制できない場合には、有機高分子材料を用
いて液晶の配向状態を記憶させておくようにしても良
い。これは、はじめに、その材料のモノマーやオリゴマ
ーを液晶に導入しておき、次いで、液晶を所定の配向方
向状態にしておき、その状態で、紫外線を照射すること
などによりモノマーを重合させポリマーとさせればよ
い。この結果、液晶の配向状態が記憶された状態とな
る。
マー,オリゴマとしては、光硬化性モノマー,熱硬化性
モノマー,あるいはこれらのオリゴマ等のいずれを使用
することもでき、また、これらを含むものであれば他の
成分を含んでいてもよい。本発明に使用する「光硬化性
モノマー又はオリゴマ」とは、可視光線により反応する
ものだけでなく、紫外線により反応する紫外線硬化モノ
マー等を含み、操作の容易性からは特に後者が望まし
い。
すモノマー、オリゴマーを含む液晶分子と類似の構造を
有するものでもよいが、必ずしも液晶を配向させる目的
で使用されるものではないため、アルキレン鎖を有する
ような柔軟性のあるものであってもよい。また、単官能
性のものであってもよいし、2官能性のもの,3官能以
上の多官能性を有するモノマー等でもよい。本発明で使
用する光または紫外線硬化モノマーとしては、例えば、
次にあげるものを用いればよい。
ブチルエチルアクリレート,ブトキシエチルアクリレー
ト,2−シアノエチルアクリレート,ベンジルアクリレ
ート,シクロヘキシルアクリレート,2−ヒドロキシプ
ロピルアクリレート,2−エトキシエチルアクリレー
ト,N、N−エチルアミノエチルアクリレート,N、N
−ジメチルアミノエチルアクリレート,ジシクロペンタ
ニルアクリレート,ジシクロペンテニルアクリレート,
グリシジルアクリレート,テトラヒドロフルフリルアク
リレート,イソボニルアクリレート,イソデシルアクリ
レート,ラウリルアクリレート,モルホリンアクリレー
ト,フェノキシエチルアクリレート,フェノキシジエチ
レングリコールアクリレート。2,2,2−トリフルオ
ロエチルアクリレート,2,2,3,3,3−ペンタフ
ルオロプロピルアクレート,2,2,3,3−テトラフ
ルオロプロピルアクリレート,2,2,3,4,4,4
−ヘキサフルオロブチルアクリレート等の単官能アクリ
レート化合物を使用することができる。
ト,ブチルエチルメタクリレート,ブトキシエチルメタ
クリレート,2−シアノエチルメタクリレート,ベンジ
ルメタクリレート,シクロヘキシルメタクリレート,2
−ヒドロキシプロピルメタクリレート,2−エトキシエ
チルアクリレート,N、N−ジエチルアミノエチルメタ
クリレート,N、N−ジメチルアミノエチルメタクリレ
ート,ジシクロペンタニルメタクリレート,ジシクロペ
ンテニルメタクリレート,グリシジルメタクリレート,
テトラヒドロフルフリルメタクリレート,イソボニルメ
タクリレート,イソデシルメタクリレート,ラウリルメ
タクリレート,モルホリンメタクリレート,フェノキシ
エチルメタクリレート,フェノキシジエチレングリコー
ルメタクリレート,2,2,2−トリフルオロエチルメ
タクリレート,2,2,3,3−テトラフルオロプロピ
ルメタクリレート,2,2,3,4,4,4−ヘキサフ
ルオロブチルメタクリレート等の単官能メタクリレート
化合物を使用することができる。
ート,ジエチルスチルベストロールジアクリレート,
1,4−ビスアクリロイルオキシベンゼン,4,4'−
ビスアクリロイルオキシジフェニルエーテル,4,4'
−ビスアクリロイルオキシジフェニルメタン,3,9−
ビス[1,1−ジメチル−2−アクリロイルオキシエチ
ル]−2,4,8,10−テトラスピロ[5,5]ウン
デカン,α,α′−ビス[4−アクリロイルオキシフェ
ニル]−1,4−ジイソプロピルベンゼン,1,4−ビ
スアクリロイルオキシテトラフルオロベンゼン,4,
4'−ビスアクリロイルオキシオクタフルオロビフェニ
ル,ジエチレングリコールジアクリレート,1,4−ブ
タンジオールジアクリレート,1,3−ブチレングリコ
ールジアクリレート,ジシクロペンタニルジアクリレー
ト,グリセロールジアクリレート,1,6−ヘキサンジ
オールジアクリレート,ネオペンチルグリコールジアク
リレート,テトラエチレングリコールジアクリレート,
トリメチロールプロパントリアクリレート,ペンタエリ
スリトールテトラアクリレート,ペンタエリスリトール
トリアクリレート,ジトリメチロールプロパンテトラア
クリレート,ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト,ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアク
リレート,4,4'−ジアクリロイルオキシスチルベ
ン,4,4'−ジアクリロイルオキシジメチルスチルベ
ン,4,4'−ジアクリロイルオキシジエチルスチルベ
ン,4,4'−ジアクリロイルオキシジプロピルスチル
ベン,4,4'−ジアクリロイルオキシジブチルスチル
ベン,4,4'−ジアクリロイルオキシジペンチルスチ
ルベン,4,4'−ジアクリロイルオキシジヘキシルス
チルベン,4,4'−ジアクリロイルオキシジフルオロ
スチルベン,2,2,3,3,4,4−ヘキサフルオロ
ペンタンジオール−1,5−ジアクリレート,1,1,
2,2,3,3−ヘキサフルオロプロピル−1,3−ジ
アクリレート,ウレタンアクリレートオリゴマ等の多官
能アクリレート化合物を用いることができる。
クリレート,1,4−ブタンジオールジメタクリレー
ト,1,3−ブチレングリコールジメタクリレート,ジ
シクロペンタニルジメタクリレート,グリセロールジメ
タクリレート,1,6−へキサンジオールジメタクリレ
ート,ネオペンチルグリコールジメタクリレート,テト
ラエチレングリコールジメタクリレート,トリメチロー
ルプロパントリメタクリレート,ペンタエリスリトール
テトラメタクリレート,ペンタエリスリトールトリメタ
クリレート,ジトリメチロールプロパンテトラメタクリ
レート,ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレー
ト,ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタメタ
クリレート,2,2,3,3,4,4−ヘキサフルオロ
ペンタンジオール−1,5−ジメタクリレート,ウレタ
ンメタクリレートオリゴマ等の多官能メタクリレート化
合物,その他スチレン,アミノスチレン,酢酸ビニル等
があるが、これに限定されるものではない。
の駆動電圧は、高分子材料と液晶材料の界面相互作用に
も影響されるため、フッ素元素を含む高分子化合物であ
ってもよい。このような高分子化合物として、2,2,
3,3,4,4−へキサフルオロペンタンジオール−
1,5−ジアクリレート,1,1,2,2,3,3−へ
キサフルオロプロピル−1,3−ジアクリレート,2,
2,2−トリフルオロエチルアクリレート,2,2,
3,3,3−ペンタフルオロプロピルアクリレート,
2,2,3,3−テトラフルオロプロピルアクリレー
ト,2,2,3,4,4,4−へキサフルオロブチルア
クリレート,2,2,2−トリフルオロエチルメタクリ
レート,2,2,3,3−テトラフルオロプロピルメタ
クリレート,2,2,3,4,4,4−ヘキサフルオロ
ブチルメタクリレート,ウレタンアクリレートオリゴマ
等を含む化合物から合成された高分子化合物が挙げられ
るが、これに限定されるものではない。本発明に使用す
る高分子化合物として光または紫外線硬化モノマーを使
用する場合には、光または紫外線用の開始剤を使用する
こともできる。
能であり、たとえば、2,2−ジエトキシアセトフェノ
ン,2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−1−
オン,1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロ
キシ−2−メチルプロパン−1−オン,1−(4−ドデ
シルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン
−1−オン等のアセトフェノン系、ベンゾインメチルエ
ーテル,ベンゾインエチルエーテル,ベンジルジメチル
ケタール等のベンゾイン系、ベンゾフェノン,ベンゾイ
ル安息香酸,4−フェニルベンゾフェノン,3,3−ジ
メチル−4−メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノ
ン系、チオキサンソン,2−クロルチオキサンソン,2
−メチルチオキサンソン等のチオキサンソン系、ジアゾ
ニウム塩系、スルホニウム塩系、ヨードニウム塩系、セ
レニウム塩系等が使用できる。
角度に配置しておくことで、上述した液晶分子の動きに
よって光の透過率を変化させることができる。また、偏
光透過軸を直交させた場合は、ノ−マリブラックモ−ド
となるが、初期の液晶配向のリタデ−ションの観察角度
依存をなくすため負の一軸の補償フィルムおよび正の一
軸の補償フィルムを組み合わせて用いることができる。
これにより、黒状態の観察角度依存性がなくなり、画質
が向上するとともに、広視野角化が図れる。
れば、液晶層940は上下に不要な電界がいつでもかか
っている状態が抑制されるので、従来とは異なり、表示
特性の劣化を起こしにくい構造となっている。また、液
晶分子が基板に対しほぼ垂直に配向した状態から、電界
により倒れる構成のため、従来のような液晶分子が単に
基板に平行な面内で回転する構成に比べ、斜め方向から
観察したときの色付きもなく、広い視野角特性を与え
る。
説明する。 (実施例1)アモルファスシリコン薄膜トランジスタア
レイ(TFT)を有する基板を、成膜過程とリソグラフ
ィー過程を繰り返して、ガラス基板上に作製した。この
TFTは、基板側よりゲート−クロム層,窒化珪素−ゲ
−ト絶縁層,アモルファスシリコン−半導体層,ドレイ
ン・ソース−モリブデン層から構成されている(図2
(c)参照)。これらを覆うように窒化珪素からなる保
護膜を成膜した。次に、例えば緑のカラ−フィルタ−層
を保護膜上に塗布、加熱乾燥後、フォトリソグラフィ−
により形成した。赤、青のカラ−フィルタ−層について
同様の操作を繰り返しカラ−フィルタ−層を作成し、同
様にして、黒い顔料を含んだ樹脂を用いて、遮光部を形
成した。
クリル樹脂からなるオ−バ−コ−ト層を塗布し、200
℃で1時間、加熱した。次にフォトリソグラフィ−、エ
ッチングを用いて、ソ−ス電極までスル−ホ−ルを形成
した。クロムを用いて画素電極を形成し、垂直配向膜と
して日産化学社製SE1211を塗布し、200℃で1
時間加熱した。裏面にITOを成膜したガラス基板に、
垂直配向膜として日産化学社製SE1211を塗布し、
200℃、1時間の加熱を行い対向基板とした。
を塗布した面が向いあうようにスペ−サ−材を介して重
ねあわせ、160℃、3時間加熱することによってシ−
ル材を硬化させた。このとき対向基板はまったくのベタ
基板であるので、精度の高い目合わせは不要であった。
誘電率異方性が正のネマチック液晶を注入し、注入孔を
光硬化樹脂で封止した。液晶層のΔndと大きさが等し
く、符号が逆となる光学的に負の補償フィルムを貼り付
けた後、偏光板を上下基板にその透過軸が直交するよう
に貼り付けた。このようにして得られたパネルの視角特
性を測定したところ、階調反転は全くなく、高コントラ
ストの領域が非常に広い優れた視角特性が得られた。特
に、通常の横方向電界で駆動するパネルでみられるよう
な斜め方向から見たときの色付きがなく、また、色ムラ
なども全く見られず、優れた視角特性を示した。
ス基板上に、成膜過程とリソグラフィー過程を繰り返し
て、アモルファスシリコン薄膜トランジスタアレイ(T
FT)を作成した。このTFTは、実施例1と同様に、
基板側よりゲート−クロム層,窒化珪素−ゲ−ト絶縁
層,アモルファスシリコン−半導体層,ドレイン・ソー
ス−モリブデン層から構成されている。これらを覆うよ
うに窒化珪素からなる保護膜を成膜し、実施例1と同様
にして、赤、青、緑のカラ−フィルタ−層を形成した。
クロムを用いて共通電極を作成した後、アクリル樹脂か
らなるオ−バ−コ−ト層を塗布し、200℃で1時間、
加熱した。次に、ソ−ス電極までスル−ホ−ルを形成
し、ITOを用いて画素電極を形成した。実施例1と全
く同様にして、垂直配向膜として日産化学社製SE12
11を塗布し、200℃で1時間加熱した。裏面にIT
Oを成膜したガラス基板に、垂直配向膜として日産化学
社製SE1211を塗布し、200℃、1時間の加熱を
行い対向基板とした。
を塗布した面が向いあうようにスペ−サ−材を介して重
ねあわせ、160℃、3時間加熱することによってシ−
ル材を硬化させた。このとき対向基板はまったくのベタ
基板であるので、精度の高い目合わせは不要であった。
誘電率異方性が正のネマチック液晶を注入し、注入孔を
光硬化樹脂で封止した。液晶層のΔndと大きさが等し
く、符号が逆となる光学的に負の補償フィルムを貼り付
けた後、偏光板を上下基板にその透過軸が直交するよう
に貼り付けた。
を測定したところ、階調反転は全くなく、高コントラス
トの領域が非常に広い優れた視角特性が得られた。特
に、通常の横方向電界で駆動するパネルでみられるよう
な斜め方向から見たときの色付きがなく、また、色ムラ
なども全く見られず、優れた視角特性を示した。なお、
画素電極をITOで作成したため、開口率が高く、明る
い表示が得られた。
明な第1の基板と透明な第2の基板とこれらに挾まれた
液晶層とカラーフィルター層とを有する液晶表示装置に
おいて、そのカラーフィルター層は第1の基板上に配置
され、液晶層はカラーフィルター層と第2の基板との間
に配置され、カラーフィルター層下の第1の基板上に
は、複数の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交
差する複数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれ
の交点に対応して形成された複数の薄膜トランジスタと
を有し、複数の走査信号電極および映像信号電極で囲ま
れるそれぞれの領域で少なくとも1つの画素が構成さ
れ、それぞれの画素には共通電極配線により複数の画素
に渡って接続されて基準電位を与える共通電極と、対応
する薄膜トランジスタに接続されて画素領域において共
通電極に対向して配置された画素電極とを有し、共通電
極および画素電極は、カラーフィルター層と液晶層との
間に配置され、かつ、共通電極と画素電極は透明な絶縁
物からなる層間分離膜を介して互いに異なった層に配置
され、共通電極と画素電極との間に印加される電圧によ
り、液晶層には第1の基板に対して支配的に平行な成分
を持った電界が発生するようにした。
される電圧により発生した電界で、液晶層における液晶
は基板に対してほぼ平行な面で回転し、その液晶層に発
生する電界は、カラーフィルター層に影響しない。この
結果、この発明によれば、カラーフィルター層に部分的
に発生するチャージアップを抑制できるので、多色表示
の液晶表示装置の色ムラの発生を抑制できるようにな
る。
示装置の構成を示す断面図および平面図である。
明するための説明図である。
製造方法を説明するための説明図である。
示装置の構成を示す断面図および平面図である。
示装置の構成を示す平面図および断面図である。
明するための説明図である。
示装置の構成を示す平面図および断面図である。
明するための説明図である。
示装置の構成を示す平面図および断面図である。
ング処理の方法を示す工程図である。
ング処理の他の方法を示す工程図である。
装置の構成を示す構成図である。
極)、103…共通電極、103a…共通電極配線、1
04…ゲート絶縁膜、105…半導体膜、106…ドレ
イン電極、106a…データ線(映像信号電極)、10
7…ソース電極、108…保護膜、110…カラーフィ
ルター層、111…遮光部、112…オーバーコート層
(層間分離膜)、114…画素電極、115…配向膜、
131…対向基板、132…配向膜、140…液晶組成
物層、141…液晶分子、151…偏光板。
Claims (23)
- 【請求項1】 透明な第1の基板と透明な第2の基板と
これらに挾まれた液晶層とカラーフィルター層とを有す
る液晶表示装置において、 前記カラーフィルター層は前記第1の基板上に配置さ
れ、 前記液晶層は前記カラーフィルター層と前記第2の基板
との間に配置され、 前記カラーフィルター層下の前記第1の基板上には、複
数の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交差する
複数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点
に対応して形成された複数の薄膜トランジスタとを有
し、 前記複数の走査信号電極および映像信号電極で囲まれる
それぞれの領域で少なくとも1つの画素が構成され、 それぞれの画素には共通電極配線により複数の画素に渡
って接続されて基準電位を与える共通電極と、対応する
薄膜トランジスタに接続されて前記画素領域において前
記共通電極に対向して配置された画素電極とを有し、 前記共通電極および前記画素電極は、前記カラーフィル
ター層と前記液晶層との間に配置され、かつ、前記共通
電極と前記画素電極は透明な絶縁物からなる層間分離膜
を介して互いに異なった層に配置され、 前記共通電極と前記画素電極との間に印加される電圧に
より、前記液晶層には前記第1の基板に対して支配的に
平行な成分を持った電界が発生し、かつ電圧が印加する
前の液晶が第1の基板に対してほぼ平行に配向している
ことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】 第1の基板と透明な第2の基板とこれら
に挟まれた液晶層とカラ−フィルタ−層とを有する液晶
表示装置において、 前記カラ−フィルタ−層は前記第1の基板上に配置さ
れ、 前記液晶層は前記カラ−フィルタ−層と前記第2の基板
との間に配置され、 前記カラ−フィルタ−層下の前記第1の基板上には、複
数の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交差する
複数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点
に対応して形成された複数の薄膜トランジスタとを有
し、 前記複数の走査信号電極および映像信号電極で囲まれる
それぞれの領域で少なくとも1つの画素が構成され、 それぞれの画素には共通電極配線により複数の画素に渡
って接続されて基準電位を与える共通電極と、対応する
薄膜トランジスタに接続されて前記画素領域において前
記共通電極に対向して配置された画素電極とを有し、 前記共通電極および前記画素電極は、前記カラ−フィル
タ−層と前記液晶層との間に配置され、かつ、前記共通
電極と前記画素電極は透明な絶縁物からなる層間分離膜
を介して互いに異なった層に配置され、 前記共通電極と前記画素電極との間に印加される電圧に
より、前記液晶層には前記第1の基板に対して支配的に
平行な成分を持った電界が発生し、かつ電圧が印加され
る前の液晶が第1の基板に対してほぼ垂直に配向してい
ることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の液晶表示装置に
おいて、 前記共通電極および前記画素電極のうち少なくとも一方
は透明性導電膜よりなることを特徴とする液晶表示装
置。 - 【請求項4】 請求項1または2記載の液晶表示装置に
おいて、 前記カラーフィルター層上に共通電極が形成され、 この共通電極上に前記層間分離膜が形成され、 前記層間分離膜上に画素電極が形成されたことを特徴と
する液晶表示装置。 - 【請求項5】 請求項1または2記載の液晶表示装置に
おいて、 前記カラーフィルター層上に前記カラーフィルター層を
保護するオーバーコート層が形成され、 このオーバーコート層上に共通電極が形成され、 この共通電極上に前記層間分離膜が形成され、 前記層間分離膜上に画素電極が形成されたことを特徴と
する液晶表示装置。 - 【請求項6】 請求項1または2記載の液晶表示装置に
おいて、 前記カラーフィルター層上に前記カラーフィルター層を
保護するオーバーコート層が形成され、 このオーバーコート層上に画素電極が形成され、 この画素電極上に前記層間分離膜が形成され、 前記層間分離膜上に共通電極が形成されたことを特徴と
する液晶表示装置。 - 【請求項7】 請求項1〜6いずれか1項記載の液晶表
示装置において、 前記共通電極は前記画素を囲うように格子状に形成さ
れ、 前記画素電極は前記画素の中を横切るように配置され、 前記共通電極が前記共通電極配線の一部を供用して形成
され たことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項8】 請求項1〜7いずれか1項記載の液晶表
示装置において、 前記共通電極および画素電極が、前記画素内に複数組配
置されたことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項9】 請求項7記載の液晶表示装置において、 前記共通電極は、前記第2の基板側から見て、前記薄膜
トランジスタが隠れるように形成されたことを特徴とす
る液晶表示装置。 - 【請求項10】 請求項7記載の液晶表示装置におい
て、 前記共通電極は、前記第2の基板側から見て、前記走査
信号電極および映像信号電極が隠れるように形成された
ことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項11】 請求項2に記載の液晶表示装置におい
て、 光学的に負の補償フィルムと光学的に正の補償フィルム
を第1または第2の基板と偏光板との間に設置すること
により、液晶層と補償フィルムの屈折率異方性を等方的
にしたことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項12】 請求項11に記載の液晶表示装置にお
いて、 電圧を印加した際に液晶が倒れる2方向に沿ってあらか
じめプレチルト角が形成されていることを特徴とする液
晶表示装置。 - 【請求項13】 請求項11に記載の液晶表示装置にお
いて、 電圧を印加した際に液晶が倒れるどちらか一方の方向に
あらかじめプレチルト角が形成されていることを特徴と
する液晶表示装置。 - 【請求項14】 請求項2に記載の液晶表示装置におい
て、 液晶が高分子高分子有機化合物を含むことを特徴とする
液晶表示装置。 - 【請求項15】 第1の基板と透明な第2の基板とこれ
らに挟まれた液晶層とカラ−フィルタ−層とを有する液
晶表示装置の製造方法において、 前記カラ−フィルタ−層を前記第1の基板上に形成し、 前記液晶層を前記カラ−フィルタ−層と前記第2の基板
との間に形成し、 前記カラ−フィルタ−層下の前記第1の基板上に、複数
の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交差する複
数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点に
対応して形成された複数の薄膜トランジスタと形成し、 前記複数の走査信号電極および映像信号電極で囲まれる
それぞれの領域で少なくとも1つの画素を構成し、 それぞれの画素には共通電極配線により複数の画素に渡
って接続されて基準電位を与える共通電極と、対応する
薄膜トランジスタに接続されて前記画素領域において前
記共通電極に対向配置する画素電極とを形成し、 前記共通電極および前記画素電極を、前記カラ−フィル
タ−層と前記液晶層との間に配置し、かつ、前記共通電
極と前記画素電極は透明な絶縁物からなる層間分離膜を
介して互いに異なった層に配置し、 前記液晶は、前記共通電極と前記画素電極との間に印加
される電圧が印加されていないときは、第1の基板に対
してほぼ垂直に配向している状態に形成し、 前記液晶にモノマーまたはオリゴマからなる有機材料を
添加し、その液晶を前記第1の基板と前記第2の基板の
間に注入した後に、前記有機材料を液晶中で高分子化す
ることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項16】 第1の基板と透明な第2の基板とこれ
らに挟まれた液晶層とカラ−フィルタ−層とを有する液
晶表示装置の製造方法において、 前記カラ−フィルタ−層を前記第1の基板上に形成し、 前記液晶層を前記カラ−フィルタ−層と前記第2の基板
との間に形成し、 前記カラ−フィルタ−層下の前記第1の基板上に、複数
の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交差する複
数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点に
対応して形成された複数の薄膜トランジスタと形成し、 前記複数の走査信号電極および映像信号電極で囲まれる
それぞれの領域で少なくとも1つの画素を構成し、それ
ぞれの画素には共通電極配線により複数の画素に渡って
接続されて基準電 位を与える共通電極と、対応する薄膜トランジスタに接
続されて前記画素領域において前記共通電極に対向配置
する画素電極とを形成し、 前記共通電極および前記画素電極を、前記カラ−フィル
タ−層と前記液晶層との間に配置し、かつ、前記共通電
極と前記画素電極は透明な絶縁物からなる層間分離膜を
介して互いに異なった層に配置し、 前記液晶は、前記共通電極と前記画素電極との間に印加
される電圧が印加されていないときは、第1の基板に対
してほぼ垂直に配向している状態に形成し、 光学的に負の補償フィルムと光学的に正の補償フィルム
を第1または第2の基板と偏光板との間に形成し、前記
補償フィルムに電圧を印加した際に液晶が倒れる2方向
に沿ってラビング方法でプレチルト角を形成することを
特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項17】 第1の基板と透明な第2の基板とこれ
らに挟まれた液晶層とカラ−フィルタ−層とを有する液
晶表示装置の製造方法において、 前記カラ−フィルタ−層を前記第1の基板上に形成し、 前記液晶層を前記カラ−フィルタ−層と前記第2の基板
との間に形成し、 前記カラ−フィルタ−層下の前記第1の基板上に、複数
の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交差する複
数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点に
対応して形成された複数の薄膜トランジスタと形成し、 前記複数の走査信号電極および映像信号電極で囲まれる
それぞれの領域で少なくとも1つの画素を構成し、 それぞれの画素には共通電極配線により複数の画素に渡
って接続されて基準電位を与える共通電極と、対応する
薄膜トランジスタに接続されて前記画素領域において前
記共通電極に対向配置する画素電極とを形成し、 前記共通電極および前記画素電極を、前記カラ−フィル
タ−層と前記液晶層との間に配置し、かつ、前記共通電
極と前記画素電極は透明な絶縁物からなる層間分離膜を
介して互いに異なった層に配置し、 前記液晶は、前記共通電極と前記画素電極との間に印加
される電圧が印加されていないときは、第1の基板に対
してほぼ垂直に配向している状態に形成し、 光学的に負の補償フィルムと光学的に正の補償フィルム
を第1または第2の基板と偏光板との間に形成し、前記
補償フィルムに電圧を印加した際に液晶が倒れるどちら
か一方の方向にラビング方法でプレチルト角を形成する
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項18】 第1の基板と透明な第2の基板とこれ
らに挟まれた液晶層とカラ−フィルタ−層とを有する液
晶表示装置の製造方法において、 前記カラ−フィルタ−層を前記第1の基板上に形成し、 前記液晶層を前記カラ−フィルタ−層と前記第2の基板
との間に形成し、 前記カラ−フィルタ−層下の前記第1の基板上に、複数
の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交差する複
数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点に
対応して形成された複数の薄膜トランジスタと形成し、 前記複数の走査信号電極および映像信号電極で囲まれる
それぞれの領域で少なくとも1つの画素を構成し、 それぞれの画素には共通電極配線により複数の画素に渡
って接続されて基準電位を与える共通電極と、対応する
薄膜トランジスタに接続されて前記画素領域において前
記共通電極に対向配置する画素電極とを形成し、 前記共通電極および前記画素電極を、前記カラ−フィル
タ−層と前記液晶層との間に配置し、かつ、前記共通電
極と前記画素電極は透明な絶縁物からなる層間分離膜を
介して互いに異なった層に配置し、 前記液晶は、前記共通電極と前記画素電極との間に印加
される電圧が印加されていないときは、第1の基板に対
してほぼ垂直に配向している状態に形成し、 光学的に負の補償フィルムと光学的に正の補償フィルム
を第1または第2の基板と偏光板との間に形成し、前記
補償フィルムに電圧を印加した際に液晶が倒れる2方向
に沿って光照射によりプレチルト角を形成することを特
徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項19】 第1の基板と透明な第2の基板とこれ
らに挟まれた液晶層とカラ−フィルタ−層とを有する液
晶表示装置の製造方法において、 前記カラ−フィルタ−層を前記第1の基板上に形成し、 前記液晶層を前記カラ−フィルタ−層と前記第2の基板
との間に形成し、 前記カラ−フィルタ−層下の前記第1の基板上に、複数
の走査信号電極と、それらにマトリクス状に交差する複
数の映像信号電極と、これらの電極のそれぞれの交点に
対応して形成された複数の薄膜トランジスタと形成し、 前記複数の走査信号電極および映像信号電極で囲まれる
それぞれの領域で少なくとも1つの画素を構成し、 それぞれの画素には共通電極配線により複数の画素に渡
って接続されて基準電位を与える共通電極と、対応する
薄膜トランジスタに接続されて前記画素領域において前
記共通電極に対向配置する画素電極とを形成し、 前記共通電極および前記画素電極を、前記カラ−フィル
タ−層と前記液晶層との間に配置し、かつ、前記共通電
極と前記画素電極は透明な絶縁物からなる層間分離膜を
介して互いに異なった層に配置し、 前記液晶は、前記共通電極と前記画素電極との間に印加
される電圧が印加されていないときは、第1の基板に対
してほぼ垂直に配向している状態に形成し、 光学的に負の補償フィルムと光学的に正の補償フィルム
を第1または第2の基板と偏光板との間に形成し、前記
補償フィルムに電圧を印加した際に液晶が倒れるどちら
か一方の方向に光照射によりプレチルト角を形成するこ
とを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項20】 請求項18または19記載の液晶表示
装置の製造方法において、前記プレチルト角の形成にお
ける光照射は、前記補償フィルム面に対して斜め から行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項21】 請求項20記載の液晶表示装置の製造
方法において、 前記プレチルト角の形成における光照射は、偏光を前記
補償フィルム面に対して斜めから照射することを特徴と
する液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項22】 透明基板上に薄膜トランジスタを形成
する工程と、 その薄膜トランジスタを保護するパッシベーション膜を
形成する工程と、 複数の感光性カラーレジストを順次に塗布、露光、現
像、焼成してカラーフィルターを形成する工程と、 共通電極を形成する工程と、 透明性の絶縁膜からなる層間分離膜を形成する工程と、 画素電極を形成する工程とを含むことを特徴とする液晶
表示装置の製造方法。 - 【請求項23】 透明基板上に薄膜トランジスタを形成
する工程と、 その薄膜トランジスタを保護するパッシベーション膜を
形成する工程と、 複数の感光性カラーレジストを順次に塗布、露光、現
像、焼成してカラーフィルターを形成する工程と、 そのカラーフィルターを保護するオーバーコート膜を形
成する工程と、 共通電極を形成する工程と、 透明性の絶縁膜からなる層間分離膜を形成する工程と、 画素電極を形成する工程とを含むことを特徴とする液晶
表示装置の製造方法。
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