JP3107037B2 - リードフレームのディゲート装置及びリードフレームのディゲート方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームに
付着している不要樹脂をディゲート（分離・除去）する
ためのリードフレームのディゲート装置及びリードフレ
ームのディゲート方法に関し、特に、リードフレームと
不要樹脂との密着性が高い場合であっても、不要樹脂が
リードフレームに残ることなくディゲートすることがで
きるようにしたリードフレームのディゲート装置及びリ
ードフレームのディゲート方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に示すように、樹脂モールドされた
直後のリードフレーム２０ａ，２０ｂは、半導体素子
（図示せず）を封止する樹脂３１だけでなく、金型のカ
ル部分やランナー部分で凝固した不要樹脂２１ａ，２１
ｂも繋がった状態となっている。金型のカル部分で凝固
した不要樹脂２１ａは、平行に配置された２枚のリード
フレーム２０ａ，２０ｂの間でその上面よりも突出し、
ランナー部分で凝固した不要樹脂２１ｂによって、前記
不要樹脂２１ａの下面とリードフレーム２０ａ，２０ｂ
の下面とが繋げられている。

【０００３】これらの不要樹脂２１ａ，２１ｂをディゲ
ートするための従来のリードフレームのディゲート装置
を図６から図８を参照しながら説明する。このリードフ
レームのディゲート装置には、不要樹脂２１ａ，２１ｂ
によって繋がった状態の２枚の平行なリードフレーム２
０ａ，２０ｂをそれぞれ載せる２台の平行な揺動台１１
ａ，１１ｂがベース２３上に配置されている。揺動台１
１ａ，１１ｂの対向内側は、ランナー部分で凝固した不
要樹脂２１ｂが入る切欠き部を形成した櫛歯形状に形成
される。

【０００４】各揺動台１１ａ，１１ｂの表面にはリード
フレーム２０ａ，２０ｂの両端を挟む位置に位置決めピ
ン１９，１９，１９，１９が突設されている。各揺動台
１１ａ，１１ｂの両端対向側には、図６に示すようにヒ
ンジピン１２，１２，１２，１２が設けられ、このヒン
ジピン１２，１２，１２，１２がベース２３の両端に設
置されたブロック１３，１３に取付けられることによ
り、各揺動台１１ａ，１１ｂは対向側底部を支点に揺動
することができるようにされている。各揺動台１１ａ，
１１ｂの対向側底部は、図７及び図８に示すように円弧
状に形成され、支点となって揺動台１１ａ，１１ｂが揺
動しやすいようにされている。

【０００５】各揺動台１１ａ，１１ｂは、その底面とベ
ース２３との間に突上げユニットのローラ１４ａ，１４
ｂが幅方向に入ったり出たりすることによって揺動す
る。すなわち突上げユニットのローラ１４ａ，１４ｂ
は、揺動台１１ａ，１１ｂの幅方向に往復動するもの
で、揺動台１１ａ，１１ｂの底面とベース２３との間に
入り込んでいなければ、揺動台１１ａ，１１ｂの上面は
水平状態であり、揺動台１１ａ，１１ｂの底部に入り込
むことにより、ヒンジピン１２，１２，１２，１２を回
転軸にして、揺動台１１ａ，１１ｂの上面は外側が持上
げられた状態に傾斜する。各揺動台１１ａ，１１ｂの外
側底部は、円柱状の突上げユニットのローラ１４ａ，１
４ｂが揺動台１１ａ，１１ｂの底面に入り込みやすいよ
うにするための面取り部が形成されている。

【０００６】揺動台１１ａ，１１ｂの上面側には、ハン
ドを構成するリードフレーム押え１７ａ，１７ｂが配備
されている。リードフレーム押え１７ａ，１７ｂはヒン
ジ（図示せず）を介してハンドに固定されており、リー
ドフレーム２０ａ，２０ｂが揺動台１１ａ，１１ｂに載
せられるまでの間は、揺動台１１ａ，１１ｂの上方から
外れた位置に待避し、リードフレーム２０ａ，２０ｂが
揺動台１１ａ，１１ｂに載せられると、リードフレーム
２０ａ，２０ｂを揺動台１１ａ，１１ｂに押えるもので
ある。リードフレーム押え１７ａ，１７ｂの下面にはリ
ードフレーム２０ａ，２０ｂの上面の半導体素子を封止
した樹脂３１（図５参照）が入る凹部が等間隔に形成さ
れている。

【０００７】さらにリードフレーム２０ａ，２０ｂを揺
動台１１ａ，１１ｂに固定した状態のリードフレーム押
え１７ａ，１７ｂの間には、ハンドを構成する不要樹脂
押え２５が配置される。不要樹脂押え２５もリードフレ
ーム２０ａ，２０ｂが揺動台１１ａ，１１ｂに載せられ
るまでの間は待避し、リードフレーム２０ａ，２０ｂが
揺動台１１ａ，１１ｂに載せられると、不要樹脂２１の
上面に当接する。

【０００８】また、揺動台１１ａ，１１ｂの間には、揺
動台１１ａ，１１ｂに載せられたリードフレーム２０
ａ，２０ｂ間のカル部分で凝固した不要樹脂２１ａの下
面に当接する不要樹脂冷却手段２４が配置される。

【０００９】従来のリードフレームのディゲート装置は
以上のように構成され、次にディゲート方法について説
明する。

【００１０】半導体素子を樹脂３１によって封止した２
枚のリードフレーム２０ａ，２０ｂは、金型のカル部分
やランナー部分で凝固した不要樹脂２１ａ，２１ｂを繋
げた状態で、それぞれ揺動台１１ａ，１１ｂ上に位置決
めピン１９，１９，１９，１９で位置決めされて載せら
れる。すると図７に示すように、不要樹脂２１ａの下面
に不要樹脂冷却手段２４が当接し、不要樹脂２１ａ，２
１ｂ及びリードフレーム２０ａ，２０ｂが冷却される。
この冷却によって、不要樹脂２１ａ，２１ｂ及びリード
フレーム２０ａ，２０ｂが長手方向に反るような力が生
じる。

【００１１】しかし、同時にリードフレーム押え１７
ａ，１７ｂがリードフレーム２０ａ，２０ｂを揺動台１
１ａ，１１ｂに押えるとともに、不要樹脂押え２５が不
要樹脂２１ａ，２１ｂの上面に当接する。したがって、
不要樹脂２１ａ，２１ｂ及びリードフレーム２０ａ，２
０ｂは、冷却されても反ることがない。

【００１２】次に図８に示すように、揺動台１１ａ，１
１ｂの底面とベース２３との間に突上げユニットのロー
ラ１４ａ，１４ｂが入り込み、揺動台１１ａ，１１ｂは
内側底部が支点となって、傾斜した姿勢となる。する
と、揺動台１１ａ，１１ｂの上面に載せられているリー
ドフレーム２０ａ，２０ｂは、リードフレーム押え１７
ａ，１７ｂに押えられていることから傾斜した姿勢とな
る。しかし、カル部で凝固した不要樹脂２１ａは、不要
樹脂押え２５によって押えられ、またランナー部で凝固
した不要樹脂２１ｂが揺動台１１ａ，１１ｂの切欠き部
内に入っていることから、不要樹脂２１ａ，２１ｂは水
平姿勢を維持する。

【００１３】したがって、図８に示すように、揺動台１
１ａ，１１ｂの外側が持上げられた状態に傾斜すると、
リードフレーム２０ａ，２０ｂが傾斜した姿勢となり、
不要樹脂押え２５によって不要樹脂２１ａ，２１ｂが水
平姿勢を維持することにより、リードフレーム２０ａ，
２０ｂの内側下面に付着しているランナー部分で凝固し
た不要樹脂２１ｂがリードフレーム２０ａ，２０ｂの下
面から一斉にディゲートされる。ランナー部分で凝固し
た不要樹脂２１ｂとカル部分で凝固した不要樹脂２１ａ
とは繋がっているため、揺動台１１ａ，１１ｂが傾斜姿
勢となることにより、同時にリードフレーム２０ａ，２
０ｂから不要樹脂２１ａ，２１ｂが完全にディゲートさ
れる。

【００１４】その後、突き上げユニットのローラ１４
ａ，１４ｂが揺動台１１ａ，１１ｂの下面から排出さ
れ、揺動台１１ａ，１１ｂは水平姿勢に戻される。同時
にリードフレーム押え１７ａ、１７ｂがリードフレーム
２０ａ，２０ｂの上から待避し、不要樹脂押え２５が不
要樹脂２１ａの上から待避する。そして、不要樹脂２１
ａ，２１ｂをディゲートしたリードフレーム２０ａ，２
０ｂは後工程に送られ、不要樹脂２１ａ，２１ｂは廃棄
される。

【００１５】なお、半導体素子を封止した樹脂を、転動
するローラによって下側から押上げることにより、不要
樹脂をリードフレームからディゲートするようにしたリ
ードフレームのディゲート方法及びリードフレームのデ
ィゲート装置が特開平２−１６５９２５号に開示されて
いる。また、長手方向に移動するリードフレームに衝撃
が加わることなく不要樹脂を確実に除去するようにした
リードフレームの不要樹脂成形部除去方法および不要樹
脂成形部除去装置が特開平７−２９７２１６号に開示さ
れている。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】従来のリードフレーム
のディゲート装置及びディゲート方法では、不要樹脂２
１ａ，２１ｂが水平姿勢を維持し、リードフレーム２０
ａ，２０ｂが傾斜姿勢となることにより、不要樹脂２１
ａ，２１ｂを全長にわたって一斉にディゲートするよう
にされている。したがって、ランナー部分で凝固した不
要樹脂２１ｂとリードフレーム２０ａ，２０ｂとの接着
力が、ランナー部分で凝固した不要樹脂１１ｂとカル部
で凝固した不要樹脂２１ａとの境界部での結合力よりも
小さいときは、その両不要樹脂２１ｂ，２１ａの境界部
が切断されることなく、不要樹脂２１ｂはリードフレー
ム２０ａ，２０ｂから確実にディゲートされる。

【００１７】しかし、半導体素子を封止する樹脂３１と
リードフレーム２０ａ，２０ｂとの密着力を高めるた
め、リードフレーム２０ａ，２０ｂがパラジウムなどで
メッキされることがあり、このような場合はリードフレ
ーム２０ａ，２０ｂと不要樹脂２１ｂとの密着力も高く
なる。すると、不要樹脂２１を全長にわたって一斉にデ
ィゲートしようとしても、カル部分で凝固した不要樹脂
２１ａとランナー部分で凝固した不要樹脂２１ｂとの境
界部分が切断され、不要樹脂２１ｂがリードフレーム２
０ａ，２０ｂに付着したままとなることがあった。

【００１８】そこで、本発明はリードフレームと不要樹
脂の密着性が高い場合であっても、不要樹脂などがリー
ドフレームに残ることなくディゲートすることができる
ようにしたリードフレームのディゲート装置及びリード
フレームのディゲート方法を提供することを目的とす
る。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明のリードフレーム
のディゲート装置は、平行に配置された２枚のリードフ
レームの対向内側の下面に接着した不要樹脂と、前記不
要樹脂に連続し、リードフレーム間でその上面よりも突
出する不要樹脂との両不要樹脂をディゲートするリード
フレームのディゲート装置であって、２枚のリードフレ
ームをそれぞれ載せる２台の平行な揺動台と、リードフ
レームの長さ方向に移動するセンターローラ及びその両
側のサイドローラとを有し、前記２本の揺動台は、その
対向側底部を支点にして揺動し、傾斜した姿勢でリード
フレームの両外端縁を支承して、前記不要樹脂を浮いた
状態にするものであり、前記センターローラは、２枚の
リードフレーム間でその上面よりも突出している不要樹
脂を長手方向の一端部側から他端部側へ順次、押し下げ
るものであり、前記サイドローラは、両外端縁が揺動台
に支承されている２枚のリードフレームの対向内側の上
面を押圧し、前記センターローラと同期して、リードフ
レームを傾斜した揺動台の上面に長手方向の一端部側か
ら他端部側へ順次、接合させるものであることを特徴と
するものである。

【００２０】本発明によれば、不要樹脂を一斉にディゲ
ートするものではなく、センターローラとサイドローラ
とがそれぞれリードフレーム間でその上面よりも突出し
ている不要樹脂とリードフレームの対向内側とを長手方
向の一端側から他端側へ順次、押し下げるようにしたこ
とにより、センターローラは、サイドローラによって揺
動台の上面に接合した状態のリードフレーム間でその上
面よりも突出している不要樹脂を押し下げ、リードフレ
ームの裏面に付着している不要樹脂を順次、ディゲート
することができる。

【００２１】前記２台の揺動台の間には、２枚のリード
フレーム間の不要樹脂の底面と当接し、不要樹脂を冷却
させる冷却手段が配置されていることが好ましい。

【００２２】前記冷却手段は、不要樹脂にエアーブロー
を吹付けるものであることが好ましい。

【００２３】前記センターローラとその両側のサイドロ
ーラとは、中心に同軸のシャフトが貫通し、シャフトの
両端に直動ガイドに案内されて移動するブロックが固定
され、一方のブロックにピストンが取付けられているこ
とが好ましい。

【００２４】本発明のリードフレームのディゲート方法
は、平行に配置された２枚のリードフレームの対向内側
の下面に付着した不要樹脂と、前記不要樹脂に連続し、
リードフレーム間でその上面よりも突出する不要樹脂と
の両不要樹脂をディゲートするリードフレームのディゲ
ート方法であって、（１）対向側底部を支点にして揺動
する２台の揺動台のそれぞれに２枚の平行なリードフレ
ームを載せる工程と、（２）揺動台を傾斜した姿勢と
し、リードフレームの両端縁を支承して、不要樹脂を浮
いた状態にする工程と、（３）センターローラの両側の
サイドローラがリードフレームの内端部を押圧して傾斜
した姿勢の揺動台の上面に接合させながら、センターロ
ーラがリードフレーム間の不要樹脂の上面を押し下げる
工程と、（４）センターローラ及びサイドローラが不要
樹脂及びリードフレームの長手方向の一端部側から他端
部側へ移動する工程と、を有し、（１）から（４）の順
序で行うことを特徴とするものである。

【００２５】本発明によれば、サイドローラがリードフ
レームの内端部を押圧して傾斜した姿勢の揺動台の上面
に接合しながら一端部から他端部へ移動し、同時にセン
ターローラがリードフレーム間でその上面よりも突出し
ている不要樹脂を一端部から他端部側へ押し下げること
により、不要樹脂は順次ディゲートされる。

【００２６】前記２枚の平行なリードフレームを、対向
側底部を支点にして揺動する２台の揺動台にそれぞれ載
せる工程と、揺動台を傾斜した姿勢とし、リードフレー
ムの両端縁を支承して、不要樹脂を浮いた状態にする工
程と、の間に、揺動台に載せられたリードフレームに付
着している不要樹脂を冷却する工程を有することが好ま
しい。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１から図
４を参照しながら説明する。ただし、従来と同一部分は
同一符号を附して、その説明を省略する。

【００２８】本発明のリードフレームのディゲート装置
は、リードフレーム２０ａ，２０ｂの長手方向に移動す
るセンターローラ１ａとその両側のサイドローラ１ｂ，
１ｂとを有することを特徴とするものである。センター
ローラ１ａは、２枚のリードフレーム２０ａ，２０ｂの
間でその上面よりも突出している不要樹脂２１ａを押し
下げるものである。サイドローラ１ｂ，１ｂは、２枚の
リードフレーム２０ａ，２０ｂの対向内側の上面を押圧
し、リードフレームを傾斜した揺動台１１ａ，１１ｂの
上面に接合させるものである。

【００２９】前記センターローラ１ａとその両側のサイ
ドローラ１ｂ，１ｂとの中心には、ベアリング２を介し
て同軸のシャフト３が貫通する。シャフト３の両端には
直動（ＬＭ）ガイド９，９に案内されて往復動するブロ
ック４，５が固定される。一方のブロック５にはピスト
ン７のピストンロッド７ｂがフローティング構造になっ
ている継手６を介して接続される。ピストン７は揺動台
１１ａ，１１ｂと平行に配置され、ピストン７のシリン
ダ７ａが固定ブラケット８によってベース１５に固定さ
れる。

【００３０】ピストンロッド７ｂの伸長・縮退によって
ブロック４，５がＬＭガイド９，９に案内され、両ブロ
ック４，５を取付けたシャフト３が貫通しているセンタ
ーローラ１ａ及びサイドローラ１ｂ，１ｂが往復動す
る。ピストンロッド７ｂが伸長する延長線上のベース１
５には、ストッパ１０が設けられている。

【００３１】さらに、センターローラ１ａ及びサイドロ
ーラ１ｂ，１ｂがリードフレーム２０ａ，２０ｂの長手
方向の一端部側に位置している間、カル部分で凝固した
不要樹脂２１ａの上面に、不要樹脂押え１８が当接する
ようにされている。不要樹脂押え１８はシリンダ（図示
せず）によって昇降動する。また、不要樹脂押え１８が
不要樹脂２１ａの上面に当接している間、不要樹脂２１
ａ，２１ｂを例えばエアーブローによって冷却するとと
もに、センターローラ１ａを支承するための冷却手段１
６が２台の揺動台１１ａ，１１ｂの間に配置される。冷
却手段１６はシリンダ（図示せず）によって昇降動す
る。

【００３２】本発明に係るリードフレームのディゲート
装置は以上のように構成され、次にリードフレームのデ
ィゲート方法について説明する。

【００３３】半導体素子を樹脂３１（図５参照）によっ
て封止した２枚のリードフレーム２０ａ，２０ｂは、カ
ル部分やランナー部分で凝固した不要樹脂２１ａ，２１
ｂを繋げた状態で、それぞれ揺動台１１ａ，１１ｂ上に
位置決めピン１９，１９，１９，１９で位置決めされて
載せられる。この時、センターローラ１ａ及びサイドロ
ーラ１ｂ，１ｂは図１に示すように、リードフレーム２
０ａ，２０ｂの長手方向の一端部から外れた位置に待避
している。

【００３４】そして図２に示すように、リードフレーム
２０ａ，２０ｂがリードフレーム押え１７ａ，１７ｂに
よって揺動台１１ａ，１１ｂに押えられるとともに、不
要樹脂２１ａの上面に不要樹脂押え１８が当接する。そ
して、不要樹脂２１ａ，２１ｂの下面が不要樹脂冷却手
段１６によってエアーブローされ、冷却される。この
時、リードフレーム２０ａ，２０ｂ及び不要樹脂２１
ａ，２１ｂはそれぞれリードフレーム押え１７ａ，１７
ｂ及び不要樹脂押え１８によって押えられているため、
長手方向に反ることがない。

【００３５】次に図３に示すように、揺動台１１ａ，１
１ｂの底面とベース２３との間に、突き上げユニットの
ローラ１４ａ，１４ｂが入り込み、揺動台１１ａ，１１
ｂは内側底部が支点となって、傾斜した姿勢となる。す
ると、揺動台１１ａ，１１ｂの上面に載せられているリ
ードフレーム２０ａ，２０ｂは、両外端縁を支承して、
不要樹脂２１ａ，２１ｂが浮いた状態となる。

【００３６】次に図４に示すように、サイドローラ１
ｂ，１ｂがリードフレーム２０ａ，２０ｂの内端部を押
圧して、傾斜した揺動台１１ａ，１１ｂの上面に接合し
ながら、センターローラ１ａが不要樹脂２１ａの上面を
押し下げる。サイドローラ１ｂ，１ｂ及びセンターロー
ラ１ａはピストン７のピストンロッド７ｂが伸長するこ
とによって、リードフレーム２０ａ，２０ｂ及び不要樹
脂２１ａの長手方向の一端部側から他端部側へ順次、押
し下げる。したがって、リードフレーム２０ａ，２０ｂ
と不要樹脂２１ｂとの密着力が高くても、その接合部分
に集中荷重が加えられた状態となり、不要樹脂２１ａ，
２１ｂは確実にディゲートされる。

【００３７】ピストンロッド７ｂの先端部がストッパ１
０に当接するまで伸長すると、ピストンロッド７ｂは縮
退し、サイドローラ１ｂ，１ｂ及びセンターローラ１ａ
は元の位置に戻る。そして、突き上げユニットのローラ
１４ａ，１４ｂが揺動台１１ａ，１１ｂの下面から排出
されて揺動台１１ａ，１１ｂは水平姿勢に戻される。そ
してその不要樹脂２１ａ，２１ｂをディゲートしたリー
ドフレーム２０ａ，２０ｂは後工程に送られ、不要樹脂
２１ａ，２１ｂは廃棄される。

【００３８】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事
項の範囲内において、種々の変更が可能である。例え
ば、センターローラとサイドローラの往復動は、ピスト
ンに変えてモータによって回転するピニオンとラックと
を組合わせたものなどでも実施することができる。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、サイドローラがリード
フレームを傾斜した揺動台に、長手方向の一端部側から
他端部側へ順次、押し下げ、センターローラがサイドロ
ーラと同期してリードフレーム間でその上面よりも突出
している不要樹脂を順次、押し下げることにより、リー
ドフレームと不要樹脂との密着力が高くても、確実に不
要樹脂をディゲートすることができる。したがって、デ
ィゲートした後に、リードフレームに付着している不要
樹脂を除去する手間が解消され、生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るリードフレームのディゲート装置
の平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図であって、本発明に係る
リードフレームのディゲート装置によってディゲートす
る前段階の断面図である。

【図３】図１のＡ−Ａ線断面図であって、本発明に係る
リードフレームのディゲート装置によってディゲートす
る途中の段階の断面図である。

【図４】図１のＡ−Ａ線断面図であって、本発明に係る
リードフレームのディゲート装置によってディゲートし
ている最中の段階の断面図である。

【図５】樹脂をモールドしたリードフレームの側面図で
ある。

【図６】従来のリードフレームのディゲート装置の平面
図である。

【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図であって、従来のリード
フレームのディゲート装置によってディゲートする前段
階の断面図である。

【図８】図６のＢ−Ｂ線断面図であって、従来のリード
フレームのディゲート装置によってディゲートしている
最中の断面図である。

【符号の説明】

１ａ：センターローラ １ｂ：サイドローラ ３：シャフト ４：ブロック ５：ブロック ７：ピストン ９：ＬＭガイド １１ａ：揺動台 １１ｂ：揺動台 １６：冷却手段 １７ａ：リードフレーム押え １７ｂ：リードフレーム押え １８：不要樹脂押え ２０ａ：リードフレーム ２０ｂ：リードフレーム ２１ａ：不要樹脂 ２１ｂ：不要樹脂

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】平行に配置された２枚のリードフレームの
   対向内側の下面に接着した不要樹脂と、前記不要樹脂に
   連続し、リードフレーム間でその上面よりも突出する不
   要樹脂との両不要樹脂をディゲートするリードフレーム
   のディゲート装置であって、 ２枚のリードフレームをそれぞれ載せる２台の平行な揺
   動台と、リードフレームの長さ方向に移動するセンター
   ローラ及びその両側のサイドローラとを有し、 前記２本の揺動台は、その対向側底部を支点にして揺動
   し、傾斜した姿勢でリードフレームの両外端縁を支承し
   て、前記不要樹脂を浮いた状態にするものであり、 前記センターローラは、２枚のリードフレーム間でその
   上面よりも突出している不要樹脂を長手方向の一端部側
   から他端部側へ順次、押し下げるものであり、 前記サイドローラは、両外端縁が揺動台に支承されてい
   る２枚のリードフレームの対向内側の上面を押圧し、前
   記センターローラと同期して、リードフレームを傾斜し
   た揺動台の上面に長手方向の一端部側から他端部側へ順
   次、接合させるものであることを特徴とするリードフレ
   ームのディゲート装置。
2. 【請求項２】前記２台の揺動台の間には、２枚のリード
   フレーム間の押し下げられた不要樹脂の底面を支承し、
   不要樹脂を冷却させる冷却手段が配置されていることを
   特徴とする請求項１に記載のリードフレームのディゲー
   ト装置。
3. 【請求項３】前記冷却手段は、不要樹脂にエアーブロー
   を吹付けるものであることを特徴とする請求項２に記載
   のリードフレームのディゲート装置。
4. 【請求項４】前記センターローラとその両側のサイドロ
   ーラとは、中心に同軸のシャフトが貫通し、シャフトの
   両端に直動ガイドに案内されて移動するブロックが固定
   され、一方のブロックにピストンが取付けられているこ
   とを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のリー
   ドフレームのディゲート装置。
5. 【請求項５】平行に配置された２枚のリードフレームの
   対向内側の下面に付着した不要樹脂と、前記不要樹脂に
   連続し、リードフレーム間でその上面よりも突出する不
   要樹脂との両不要樹脂をディゲートするリードフレーム
   のディゲート方法であって、 （１）対向側底部を支点にして揺動する２台の揺動台の
   それぞれに２枚の平行なリードフレームを載せる工程
   と、 （２）揺動台を傾斜した姿勢とし、リードフレームの両
   端縁を支承して、不要樹脂を浮いた状態にする工程と、 （３）センターローラの両側のサイドローラがリードフ
   レームの内端部を押圧して傾斜した姿勢の揺動台の上面
   に接合させながら、センターローラがリードフレーム間
   の不要樹脂の上面を押し下げる工程と、 （４）センターローラ及びサイドローラが不要樹脂及び
   リードフレームの長手方向の一端部側から他端部側の方
   へ移動する工程と、 を有し、（１）から（４）の順序で行うことを特徴とす
   るリードフレームのディゲート方法。
6. 【請求項６】前記２枚の平行なリードフレームを、対向
   側底部を支点にして揺動する２台の揺動台にそれぞれ載
   せる工程と、揺動台を傾斜した姿勢とし、リードフレー
   ムの両端縁を支承して、不要樹脂を浮いた状態にする工
   程と、の間に、揺動台に載せられたリードフレームに付
   着している不要樹脂を冷却する工程を有することを特徴
   とする請求項５に記載のリードフレームのディゲート方
   法。