JP3095732B2 - 画像分配処理装置 - Google Patents
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- JP3095732B2 JP3095732B2 JP10373347A JP37334798A JP3095732B2 JP 3095732 B2 JP3095732 B2 JP 3095732B2 JP 10373347 A JP10373347 A JP 10373347A JP 37334798 A JP37334798 A JP 37334798A JP 3095732 B2 JP3095732 B2 JP 3095732B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、フ
ォトマスク、液晶表示装置等といった半導体集積装置の
表面の画像処理で使用されるパラメータに応じて異なる
画像処理装置により画像処理をするようにした画像分配
処理装置に関する。一般に、半導体集積装置の表面の明
るさや、パターンの密度や、材料は、同一半導体集積装
置であっても表面の場所によって異なる場合がある。こ
のように、異なる表面の画像を処理する場合は、処理表
面の状態に応じたパラメータを設定して行うことが望ま
れる。
ォトマスク、液晶表示装置等といった半導体集積装置の
表面の画像処理で使用されるパラメータに応じて異なる
画像処理装置により画像処理をするようにした画像分配
処理装置に関する。一般に、半導体集積装置の表面の明
るさや、パターンの密度や、材料は、同一半導体集積装
置であっても表面の場所によって異なる場合がある。こ
のように、異なる表面の画像を処理する場合は、処理表
面の状態に応じたパラメータを設定して行うことが望ま
れる。
【０００２】
【従来の技術】従来の画像処理装置においては、１つの
半導体集積装置の画像を画像処理装置が取り込むと、表
面のコントラストや、パターン密度や、材料等といった
属性がどのようなものであっても各属性について一定の
パラメータを使用して画像処理をしていた。このため、
例えば、画像について明るさの補正をしようとした時で
も、明るさという属性についてのパラメータはその画像
の全表面について一定であったので、表面の各部の明暗
に応じた補正はできなかった。パターン密度や、材料等
についての画像処理を行おうとする場合も同様であっ
た。
半導体集積装置の画像を画像処理装置が取り込むと、表
面のコントラストや、パターン密度や、材料等といった
属性がどのようなものであっても各属性について一定の
パラメータを使用して画像処理をしていた。このため、
例えば、画像について明るさの補正をしようとした時で
も、明るさという属性についてのパラメータはその画像
の全表面について一定であったので、表面の各部の明暗
に応じた補正はできなかった。パターン密度や、材料等
についての画像処理を行おうとする場合も同様であっ
た。
【０００３】このため、半導体集積装置の表面の１部分
では１つのパラメータにより画像処理された画像が必要
であり、他の部分で異なるパラメータにより画像処理さ
れた画像が必要である場合は、従来は、半導体集積装置
の表面の画像を撮像して１つのパラメータを使用して画
像処理を行い、次いで再び半導体集積装置の表面の画像
を撮像して別のパラメータを使用して画像処理を行う、
といった処理を行う必要があった。
では１つのパラメータにより画像処理された画像が必要
であり、他の部分で異なるパラメータにより画像処理さ
れた画像が必要である場合は、従来は、半導体集積装置
の表面の画像を撮像して１つのパラメータを使用して画
像処理を行い、次いで再び半導体集積装置の表面の画像
を撮像して別のパラメータを使用して画像処理を行う、
といった処理を行う必要があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】したがって、従来は半
導体集積装置の表面の各部を異なるパラメータを用いて
画像処理するためには、パラメータの数に等しい数の画
像を取得し、それぞれの画像毎にパラメータを適用し
て、各パラメータに対応する画像を最終的に合成して補
正された画像を得るという工程を踏まざるを得なかった
ので、画像処理の作業が極めて煩雑且つ長時間を要する
という課題があった。
導体集積装置の表面の各部を異なるパラメータを用いて
画像処理するためには、パラメータの数に等しい数の画
像を取得し、それぞれの画像毎にパラメータを適用し
て、各パラメータに対応する画像を最終的に合成して補
正された画像を得るという工程を踏まざるを得なかった
ので、画像処理の作業が極めて煩雑且つ長時間を要する
という課題があった。
【０００５】本発明の目的は、上記課題に鑑み、半導体
集積装置の表面の属性に応じて異なるパラメータを用い
る場合の画像処理の効率を高めることが可能な画像分配
処理装置を提供することにある。本発明の他の目的は、
上記目的に加えて、画像処理の結果から所望の画像のみ
を取り出すことが可能な画像分配処理装置を提供するこ
とにある。
集積装置の表面の属性に応じて異なるパラメータを用い
る場合の画像処理の効率を高めることが可能な画像分配
処理装置を提供することにある。本発明の他の目的は、
上記目的に加えて、画像処理の結果から所望の画像のみ
を取り出すことが可能な画像分配処理装置を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明により提供されるものは、入力データ記憶
装置から出力される画像データを、入力データ記憶装置
のアドレスと複数の画像処理・記憶装置から出力される
出力データのアドレスとの対応関係を半導体集積装置の
表面のコントラスト処理、パターン密度処理、材料に応
じた処理、及び明るさの補正処理の少なくとも１つを含
む３つ以上の画像処理で使用されるパラメータに応じて
予め格納する分配テーブルの内容に応じて複数の画像処
理・記憶装置に分配する分配器を備え、複数の画像処理
・記憶装置により処理されて記憶された出力画像データ
を、分配テーブルを参照して元の順序に再構成して出力
データ記憶装置に格納するようにした半導体集積装置の
表面の画像分配処理装置である。
めに、本発明により提供されるものは、入力データ記憶
装置から出力される画像データを、入力データ記憶装置
のアドレスと複数の画像処理・記憶装置から出力される
出力データのアドレスとの対応関係を半導体集積装置の
表面のコントラスト処理、パターン密度処理、材料に応
じた処理、及び明るさの補正処理の少なくとも１つを含
む３つ以上の画像処理で使用されるパラメータに応じて
予め格納する分配テーブルの内容に応じて複数の画像処
理・記憶装置に分配する分配器を備え、複数の画像処理
・記憶装置により処理されて記憶された出力画像データ
を、分配テーブルを参照して元の順序に再構成して出力
データ記憶装置に格納するようにした半導体集積装置の
表面の画像分配処理装置である。
【０００７】分配テーブルを用意したことにより、異な
るパラメータに対応して入力データは異なる画像処理・
記憶装置に分配されて処理されるので、パラメータを変
更する毎に画像を取得して処理をするという煩雑さが解
消されて短時間で画像処理ができ、その結果画像処理の
効率が向上する。出力データ記憶装置には、分配テーブ
ルに代えて、パラメータの各々に対応して複数の画像処
理・記憶装置から出力される出力データ領域の一部の領
域のアドレスと出力データ記憶装置のアドレスとの対応
関係を予め格納している再構成テーブルを参照して画像
データを再構成して格納するようにしてもよい。
るパラメータに対応して入力データは異なる画像処理・
記憶装置に分配されて処理されるので、パラメータを変
更する毎に画像を取得して処理をするという煩雑さが解
消されて短時間で画像処理ができ、その結果画像処理の
効率が向上する。出力データ記憶装置には、分配テーブ
ルに代えて、パラメータの各々に対応して複数の画像処
理・記憶装置から出力される出力データ領域の一部の領
域のアドレスと出力データ記憶装置のアドレスとの対応
関係を予め格納している再構成テーブルを参照して画像
データを再構成して格納するようにしてもよい。
【０００８】画像処理・記憶装置から出力される出力デ
ータ領域の一部の領域のみが出力データ記憶装置に格納
されるので、有効なデータのみが出力データ記憶装置に
格納され、したがって出力画像の評価が簡単になる。
ータ領域の一部の領域のみが出力データ記憶装置に格納
されるので、有効なデータのみが出力データ記憶装置に
格納され、したがって出力画像の評価が簡単になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】実施の形態１ 図１は本発明の実施の形態１による画像分配処理装置の
構成を示すブロック図である。図において、画像分配処
理装置は、入力画像データを所定の順序で格納する入力
データ記憶装置２と、複数の画像処理・記憶装置８−
１，８−２，…８−ｎと、入力データ記憶装置のアドレ
スと複数の画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎから出力
される出力データのアドレスとの対応関係を画像処理で
使用されるパラメータに応じて予め格納する分配テーブ
ル４と、分配テーブルの内容に応じて入力データ記憶装
置から出力される画像データを複数の画像処理・記憶装
置に分配する分配器６と、複数の画像処理・記憶装置８
−１〜８−ｎにより処理されて記憶された出力画像デー
タを分配テーブルを参照して所定の順序に再構成する再
構成器１０と、再構成器からの出力画像データを格納す
る出力データ記憶装置１２とを備えている。
構成を示すブロック図である。図において、画像分配処
理装置は、入力画像データを所定の順序で格納する入力
データ記憶装置２と、複数の画像処理・記憶装置８−
１，８−２，…８−ｎと、入力データ記憶装置のアドレ
スと複数の画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎから出力
される出力データのアドレスとの対応関係を画像処理で
使用されるパラメータに応じて予め格納する分配テーブ
ル４と、分配テーブルの内容に応じて入力データ記憶装
置から出力される画像データを複数の画像処理・記憶装
置に分配する分配器６と、複数の画像処理・記憶装置８
−１〜８−ｎにより処理されて記憶された出力画像デー
タを分配テーブルを参照して所定の順序に再構成する再
構成器１０と、再構成器からの出力画像データを格納す
る出力データ記憶装置１２とを備えている。
【００１０】動作において、被検査物の表面を光学式顕
微鏡とＴＤＩ(Time Delay Integration)等の撮像素子を
組み合わせた撮像装置（図示せず）により撮像して得ら
れた入力画像データをシリアルに又はパラレルに順次入
力データ記憶装置２に格納する。分配器６は、入力デー
タ記憶装置２から出力される画像データを、分配テーブ
ル４を参照して、入力データ記憶装置２のアドレスに対
応する画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎに分配する。
各画像処理・記憶装置は、入力された画像データの画像
処理をして、その結果を分配テーブル４で指定される記
憶エリアに格納する。再構成器１０は、分配テーブル４
を参照しながら、画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎか
らの出力画像データを入力データ記憶装置２に格納され
ていたのと同じ順序に再構成して、出力データ記憶装置
１２に格納させる。
微鏡とＴＤＩ(Time Delay Integration)等の撮像素子を
組み合わせた撮像装置（図示せず）により撮像して得ら
れた入力画像データをシリアルに又はパラレルに順次入
力データ記憶装置２に格納する。分配器６は、入力デー
タ記憶装置２から出力される画像データを、分配テーブ
ル４を参照して、入力データ記憶装置２のアドレスに対
応する画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎに分配する。
各画像処理・記憶装置は、入力された画像データの画像
処理をして、その結果を分配テーブル４で指定される記
憶エリアに格納する。再構成器１０は、分配テーブル４
を参照しながら、画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎか
らの出力画像データを入力データ記憶装置２に格納され
ていたのと同じ順序に再構成して、出力データ記憶装置
１２に格納させる。
【００１１】図２は図１に示した分配テーブルの内容の
一例を示す図である。図において、Ｘ０〜Ｘ１１は入力
データ記憶装置２のアドレスであり、ａ０〜ａ５は画像
処理・記憶装置８−１のアドレスを示しており、ｂ０〜
ｂ３は画像処理・記憶装置８−２のアドレスを示してお
り、ｃ０〜ｃ２は画像処理・記憶装置８−ｎのアドレス
を示している。この分配テーブル４によれば、入力デー
タ記憶装置のアドレス（Ｘ０，Ｘ１）は画像処理・記憶
装置８−１のアドレス（ａ０，ａ１）に対応しており、
入力データ記憶装置のアドレス（Ｘ２，Ｘ３）は画像処
理・記憶装置８−２のアドレス（ｂ０，ｂ１）に対応し
ており、等々である。
一例を示す図である。図において、Ｘ０〜Ｘ１１は入力
データ記憶装置２のアドレスであり、ａ０〜ａ５は画像
処理・記憶装置８−１のアドレスを示しており、ｂ０〜
ｂ３は画像処理・記憶装置８−２のアドレスを示してお
り、ｃ０〜ｃ２は画像処理・記憶装置８−ｎのアドレス
を示している。この分配テーブル４によれば、入力デー
タ記憶装置のアドレス（Ｘ０，Ｘ１）は画像処理・記憶
装置８−１のアドレス（ａ０，ａ１）に対応しており、
入力データ記憶装置のアドレス（Ｘ２，Ｘ３）は画像処
理・記憶装置８−２のアドレス（ｂ０，ｂ１）に対応し
ており、等々である。
【００１２】これらの対応関係は、被検査物の画像を撮
像した段階でその画像に基づいて、その画像のどの部分
はどのパラメータを使用すべきか、という判断を行って
予め作成されている。図３は、図１に示した入力データ
記憶装置２のアドレスと画像処理・記憶装置８−１〜８
−ｎのアドレスとの対応関係の一例を示す図である。図
示例では、入力データ記憶装置２内のデータとしては、
アドレスＸ０からＸ１までのデータ２０と、アドレスＸ
２からＸ３までのデータ２２と、アドレスＸ４からＸ５
までのデータ２４と、アドレスＸ６からＸ７までのデー
タ２６と、アドレスＸ８からＸ９までのデータ２８と、
アドレスＸ１０からＸ１１までのデータ３０とがある。
像した段階でその画像に基づいて、その画像のどの部分
はどのパラメータを使用すべきか、という判断を行って
予め作成されている。図３は、図１に示した入力データ
記憶装置２のアドレスと画像処理・記憶装置８−１〜８
−ｎのアドレスとの対応関係の一例を示す図である。図
示例では、入力データ記憶装置２内のデータとしては、
アドレスＸ０からＸ１までのデータ２０と、アドレスＸ
２からＸ３までのデータ２２と、アドレスＸ４からＸ５
までのデータ２４と、アドレスＸ６からＸ７までのデー
タ２６と、アドレスＸ８からＸ９までのデータ２８と、
アドレスＸ１０からＸ１１までのデータ３０とがある。
【００１３】データ２０、２２、２４、２６、２８、３
０はそれぞれ、例えば異なるコントラスト等といった異
なるパラメータを用いて画像処理されるべきデータであ
る。各アドレスは、図示例においては、各データ領域の
端部のアドレスを示している。したがって、データ領域
２０内の最終アドレスＸ１の次のアドレスはデータ領域
２２の先頭アドレスＸ２となっている。他のアドレスに
ついても同様である。図においてはデータ領域は連続し
ているが、データ領域の間はブランクになっていてもよ
い。
０はそれぞれ、例えば異なるコントラスト等といった異
なるパラメータを用いて画像処理されるべきデータであ
る。各アドレスは、図示例においては、各データ領域の
端部のアドレスを示している。したがって、データ領域
２０内の最終アドレスＸ１の次のアドレスはデータ領域
２２の先頭アドレスＸ２となっている。他のアドレスに
ついても同様である。図においてはデータ領域は連続し
ているが、データ領域の間はブランクになっていてもよ
い。
【００１４】図示のように、図２に示した分配テーブル
の内容にしたがって、入力データ記憶装置２のアドレス
（Ｘ０，Ｘ１）は画像処理・記憶装置８−１のアドレス
（ａ０，ａ１）に対応しており、入力データ記憶装置の
アドレス（Ｘ２，Ｘ３）は画像処理・記憶装置８−２の
アドレス（ｂ０，ｂ１）に対応しており、入力データ記
憶装置のアドレス（Ｘ４，Ｘ５）は画像処理・記憶装置
８−１のアドレス（ａ２，ａ３）に対応しており、入力
データ記憶装置のアドレス（Ｘ６，Ｘ７）は画像処理・
記憶装置８−ｎのアドレス（ｃ０，ｃ１）に対応してお
り、入力データ記憶装置のアドレス（Ｘ８，Ｘ９）は画
像処理・記憶装置８−２のアドレス（ｂ２，ｂ３）に対
応しており、入力データ記憶装置のアドレス（Ｘ１０，
Ｘ１１）は画像処理・記憶装置８−１のアドレス（ａ
４，ａ５）に対応している。
の内容にしたがって、入力データ記憶装置２のアドレス
（Ｘ０，Ｘ１）は画像処理・記憶装置８−１のアドレス
（ａ０，ａ１）に対応しており、入力データ記憶装置の
アドレス（Ｘ２，Ｘ３）は画像処理・記憶装置８−２の
アドレス（ｂ０，ｂ１）に対応しており、入力データ記
憶装置のアドレス（Ｘ４，Ｘ５）は画像処理・記憶装置
８−１のアドレス（ａ２，ａ３）に対応しており、入力
データ記憶装置のアドレス（Ｘ６，Ｘ７）は画像処理・
記憶装置８−ｎのアドレス（ｃ０，ｃ１）に対応してお
り、入力データ記憶装置のアドレス（Ｘ８，Ｘ９）は画
像処理・記憶装置８−２のアドレス（ｂ２，ｂ３）に対
応しており、入力データ記憶装置のアドレス（Ｘ１０，
Ｘ１１）は画像処理・記憶装置８−１のアドレス（ａ
４，ａ５）に対応している。
【００１５】このような対応関係にしたがって、例え
ば、入力データ２０は対応する画像処理・記憶装置８−
１に分配されてその装置に特有のパラメータを用いて画
像処理され、処理結果はこの装置のアドレスａ０〜ａ１
に格納される。再構成器１０は、画像処理・記憶装置８
−１〜８−ｎに格納された処理済の画像データを分配テ
ーブル４を参照して元の順序に配列し直して出力データ
記憶装置１２に格納する。
ば、入力データ２０は対応する画像処理・記憶装置８−
１に分配されてその装置に特有のパラメータを用いて画
像処理され、処理結果はこの装置のアドレスａ０〜ａ１
に格納される。再構成器１０は、画像処理・記憶装置８
−１〜８−ｎに格納された処理済の画像データを分配テ
ーブル４を参照して元の順序に配列し直して出力データ
記憶装置１２に格納する。
【００１６】このように、１回の撮像で得られた入力画
像データを用いて、入力画像データの領域毎に異なるパ
ラメータにより並列に画像処理をすることができるの
で、画像処理の効率を高めることができる。 実施の形態２ 図４は本発明の実施の形態２による画像分配処理装置の
構成を示すブロック図である。図において、図１と同一
部分には同一番号を付して説明を省略する。図１との相
違点は、再構成器１０は、分配テーブル４を参照するこ
とに代えて再構成テーブルを参照するようにしたことで
ある。
像データを用いて、入力画像データの領域毎に異なるパ
ラメータにより並列に画像処理をすることができるの
で、画像処理の効率を高めることができる。 実施の形態２ 図４は本発明の実施の形態２による画像分配処理装置の
構成を示すブロック図である。図において、図１と同一
部分には同一番号を付して説明を省略する。図１との相
違点は、再構成器１０は、分配テーブル４を参照するこ
とに代えて再構成テーブルを参照するようにしたことで
ある。
【００１７】一般に、画像処理をした結果の画像データ
の全てを出力データで使用するとは限らない。例えば、
ある画素を中心とする３×３画素のグレイレベルの平均
値やグレイレベルの最大値と最小値との差であるレンジ
値をその中心画素のグレイレベルとするような場合は、
画像の端部の画素の平均値やレンジ値は得られないの
で、画像の端部の画素は出力データから除去する必要が
ある。これ以外にも、画像処理をした画像データの中か
ら必要なデータのみを出力したい場合もあり得る。
の全てを出力データで使用するとは限らない。例えば、
ある画素を中心とする３×３画素のグレイレベルの平均
値やグレイレベルの最大値と最小値との差であるレンジ
値をその中心画素のグレイレベルとするような場合は、
画像の端部の画素の平均値やレンジ値は得られないの
で、画像の端部の画素は出力データから除去する必要が
ある。これ以外にも、画像処理をした画像データの中か
ら必要なデータのみを出力したい場合もあり得る。
【００１８】そこで、本実施の形態においては、再構成
テーブル１４において、パラメータの各々に対応して複
数の画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎから出力される
出力データ領域の各々の両端の耳部分を除く領域と出力
データ記憶装置１２の記憶領域のアドレスとの対応関係
を予め格納した。図５は、本実施の形態における入力デ
ータ記憶装置２の記憶領域と、画像処理・記憶装置８−
１の記憶領域と、出力データ記憶装置１２の記憶領域と
の対応関係を示す図、図６は、本実施の形態における分
配テーブル４の内容の一部を示す図、図７は本実施の形
態における再構成テーブル１４の内容の一部を示す図で
ある。図５に示す例では、入力データ記憶装置２のアド
レスＸ０からＸ３の間のデータの両端部には耳部５１お
よび５２がある。耳部５１のアドレス領域はＸ０からＸ
１である。耳部５２のアドレス領域はＸ２からＸ３であ
る。図５〜図７からわかるように、入力データ記憶装置
２のアドレスＸ０からＸ３のデータは画像処理・記憶装
置８−１で実施の形態１におけるのと同様に画像処理さ
れて、分配テーブル４にしたがってアドレスａ０〜ａ３
に格納される。格納された画像データのうち耳部５１ａ
のアドレスはａ０〜ａ１であり、耳部５２ａのアドレス
はａ２〜ａ３である。再構成器１０は、再構成テーブル
１４の内容にしたがって、画像処理・記憶装置８−１内
のアドレスａ１〜ａ２のデータのみを出力データ記憶装
置１２に格納し、耳部５１ａおよび５２ａのデータは出
力データ記憶装置１２には転送しない。
テーブル１４において、パラメータの各々に対応して複
数の画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎから出力される
出力データ領域の各々の両端の耳部分を除く領域と出力
データ記憶装置１２の記憶領域のアドレスとの対応関係
を予め格納した。図５は、本実施の形態における入力デ
ータ記憶装置２の記憶領域と、画像処理・記憶装置８−
１の記憶領域と、出力データ記憶装置１２の記憶領域と
の対応関係を示す図、図６は、本実施の形態における分
配テーブル４の内容の一部を示す図、図７は本実施の形
態における再構成テーブル１４の内容の一部を示す図で
ある。図５に示す例では、入力データ記憶装置２のアド
レスＸ０からＸ３の間のデータの両端部には耳部５１お
よび５２がある。耳部５１のアドレス領域はＸ０からＸ
１である。耳部５２のアドレス領域はＸ２からＸ３であ
る。図５〜図７からわかるように、入力データ記憶装置
２のアドレスＸ０からＸ３のデータは画像処理・記憶装
置８−１で実施の形態１におけるのと同様に画像処理さ
れて、分配テーブル４にしたがってアドレスａ０〜ａ３
に格納される。格納された画像データのうち耳部５１ａ
のアドレスはａ０〜ａ１であり、耳部５２ａのアドレス
はａ２〜ａ３である。再構成器１０は、再構成テーブル
１４の内容にしたがって、画像処理・記憶装置８−１内
のアドレスａ１〜ａ２のデータのみを出力データ記憶装
置１２に格納し、耳部５１ａおよび５２ａのデータは出
力データ記憶装置１２には転送しない。
【００１９】残りの画像処理・記憶装置は図５には図示
を省略したが、再構成テーブルにはそれらの画像処理・
記憶装置のアドレスと出力データ記憶装置１２のアドレ
スとの対応関係も規定されており、それぞれの画像処理
・記憶装置からのデータが図５に示したのと同様にして
所定の順序で出力データ記憶装置１２に記憶される。こ
うして、出力データ記憶装置１２には、必要なデータの
みが格納される。
を省略したが、再構成テーブルにはそれらの画像処理・
記憶装置のアドレスと出力データ記憶装置１２のアドレ
スとの対応関係も規定されており、それぞれの画像処理
・記憶装置からのデータが図５に示したのと同様にして
所定の順序で出力データ記憶装置１２に記憶される。こ
うして、出力データ記憶装置１２には、必要なデータの
みが格納される。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば１回の撮像で得られた入力画像データを用い
て、入力画像データの領域毎に異なるパラメータにより
並列に画像処理をすることができるので、画像処理の効
率を高めることができる。また、画像処理されたデータ
のうち不要な部分を削除して必要な部分のみを出力する
ことができる。
によれば１回の撮像で得られた入力画像データを用い
て、入力画像データの領域毎に異なるパラメータにより
並列に画像処理をすることができるので、画像処理の効
率を高めることができる。また、画像処理されたデータ
のうち不要な部分を削除して必要な部分のみを出力する
ことができる。
【図１】本発明の実施の形態１による画像分配処理装置
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示した分配テーブルの内容の一例を示す
図である。
図である。
【図３】図１に示した入力データ記憶装置２のアドレス
と画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎのアドレスとの対
応関係の一例を示す図である。
と画像処理・記憶装置８−１〜８−ｎのアドレスとの対
応関係の一例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２による画像分配処理装置
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図５】図４における入力データ記憶装置２の記憶領域
と、画像処理・記憶装置８−１の記憶領域と、出力デー
タ記憶装置１２の記憶領域との対応関係の一例を示す図
である。
と、画像処理・記憶装置８−１の記憶領域と、出力デー
タ記憶装置１２の記憶領域との対応関係の一例を示す図
である。
【図６】図４における分配テーブル４の内容の一部を示
す図である。
す図である。
【図７】図４における再構成テーブル１４の内容の一部
を示す図である。
を示す図である。
２…入力データ記憶装置 ４…分配テーブル ６…分配器 ８−１〜８−ｎ…画像処理・記憶装置 １０…再構成器 １２…出力データ記憶装置 １４…再構成テーブル
Claims (2)
- 【請求項１】 入力画像データを所定の順序で格納する
入力データ記憶装置と、 複数の画像処理・記憶装置と、 前記入力データ記憶装置のアドレスと前記複数の画像処
理・記憶装置から出力される出力データのアドレスとの
対応関係を半導体集積装置の表面のコントラスト処理、
パターン密度処理、材料に応じた処理、及び明るさの補
正処理の少なくとも１つを含む３つ以上の画像処理で使
用されるパラメータに応じて予め格納する分配テーブル
と、 前記分配テーブルの内容に応じて前記入力データ記憶装
置から出力される画像データを前記複数の画像処理・記
憶装置に分配する分配器と、 前記複数の画像処理・記憶装置により処理されて記憶さ
れた出力画像データを前記分配テーブルを参照して前記
所定の順序に再構成する再構成器と、 前記再構成器からの出力画像データを格納する出力デー
タ記憶装置と、 を備えたことを特徴とする半導体集積装置の表面の画像
分配処理装置。 - 【請求項２】 入力画像データを所定の順序で格納する
入力データ記憶装置と、 複数の画像処理・記憶装置と、 前記入力データ記憶装置のアドレスと前記複数の画像処
理・記憶装置から出力される出力データのアドレスとの
対応関係を画像処理で使用されるパラメータに応じて予
め格納する分配テーブルと、 前記分配テーブルの内容に応じて前記入力データ記憶装
置から出力される画像データを前記複数の画像処理・記
憶装置に分配する分配器と、 前記複数の画像処理・記憶装置により処理された画像デ
ータを再構成する再構成器と、 前記再構成器からの出力画像データを格納する出力デー
タ記憶装置と、 前記パラメータの各々に対応して前記複数の画像処理・
記憶装置から出力される出力データ領域の一部の領域の
アドレスと前記出力データ記憶装置のアドレスとの対応
関係を予め格納している再構成テーブルと、 を備え、 前記再構成器は、前記再構成テーブルを参照して前記複
数の画像処理・記憶装置により処理された画像データを
再構成するようにしたことを特徴とする画像分配処理装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10373347A JP3095732B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 画像分配処理装置 |
| US09/391,272 US6900816B1 (en) | 1998-12-28 | 1999-09-07 | Image distributing and processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10373347A JP3095732B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 画像分配処理装置 |
Publications (2)
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|---|---|
| JP2000194834A JP2000194834A (ja) | 2000-07-14 |
| JP3095732B2 true JP3095732B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=18502010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10373347A Expired - Fee Related JP3095732B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 画像分配処理装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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Family Cites Families (4)
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1999
- 1999-09-07 US US09/391,272 patent/US6900816B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| JP2000194834A (ja) | 2000-07-14 |
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