JP3082450B2 - Jet spectrometer - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は試料を含む気体を超音速
ジェットとして真空中に断続的に噴射し、それに測定光
を透過させて吸収を測定する超音速分子ジェット分光装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a supersonic molecular jet spectrometer for intermittently jetting a gas containing a sample as a supersonic jet into a vacuum and transmitting the measurement light to measure the absorption.
【0002】[0002]
【従来の技術】有機化合物の分析には、紫外・可視領域
の吸光・蛍光分析法が広く用いられている。従来は常温
でスペクトルを測定しているので、たとえ溶媒分子との
相互作用のない気体状態で測定したとしても、分子の振
動や回転の影響が電子遷移に加味されるため、ピークの
幅が広くなる。このため、従来は吸収スペクトルはその
微細構造に基づいた定性分析を行なうことができず、主
に定量分析に利用されているにすぎない。2. Description of the Related Art Absorption / fluorescence analysis in the ultraviolet and visible regions is widely used for analyzing organic compounds. Conventionally, spectra are measured at room temperature, so even if measurements are made in a gaseous state that has no interaction with solvent molecules, the effects of molecular vibration and rotation are added to the electron transition, so the peak width is wide. Become. For this reason, conventionally, the absorption spectrum cannot be qualitatively analyzed based on its fine structure, and is mainly used only for quantitative analysis.
【0003】これに対して、試料分子を細孔から真空中
に噴出して絶対0度付近に冷却して分析する超音速分子
ジェット分光法が検討されている。超音速分子ジェット
分光法では鋭いスペクトルが得られるため、微細構造に
基づく試料分子の定性分析を行なうことができる。図4
は従来のレーザー超音速ジェット分光法を概略的に表わ
したものである。試料室4ではノズル6から試料を含む
気体が超音速ジェットとして断続的に噴出する。レーザ
装置2からのレーザ光がハーフミラー8によって一部が
参照光としてフォトセル10で検出され、ハーフミラー
8を透過したレーザ光が試料室4に入って超音速ジェッ
トを横切り、その透過光が測定光としてフォトセル12
で検出される。参照光と測定光の検出強度から比率演算
器14で比率が算出され、その結果からランバート・ベ
ール則により吸光度が算出される。[0003] On the other hand, supersonic molecular jet spectroscopy in which sample molecules are ejected from pores into a vacuum and cooled to near zero degrees for analysis is under study. Since supersonic molecular jet spectroscopy provides a sharp spectrum, qualitative analysis of sample molecules based on microstructure can be performed. FIG.
Is a schematic representation of conventional laser supersonic jet spectroscopy. In the sample chamber 4, a gas containing the sample is intermittently ejected from the nozzle 6 as a supersonic jet. A part of the laser light from the laser device 2 is detected by the half mirror 8 as reference light in the photocell 10, and the laser light transmitted through the half mirror 8 enters the sample chamber 4 and crosses the supersonic jet, and the transmitted light is Photocell 12 as measurement light
Is detected by The ratio is calculated by the ratio calculator 14 from the detection intensities of the reference light and the measurement light, and the absorbance is calculated from the result according to Lambert-Beer's law.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】レーザ超音速ジェット
分光法ではレーザ装置を利用することから装置が大型化
し、高価になる。本発明は簡便で安価な装置による低温
状態での分光吸光スペクトルを得ることのできるジェッ
ト分光装置を提供することを目的とするものである。In the laser supersonic jet spectroscopy, since a laser device is used, the device becomes large and expensive. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a jet spectrometer capable of obtaining a spectral absorption spectrum in a low temperature state by a simple and inexpensive device.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明のジェット分光装
置は、試料を含む気体を超音速ジェットとして真空中に
断続的に噴射する試料室と、白色光又は多色光を前記試
料室の超音速ジェットに照射する光源と、試料室を通過
した光を分光し多波長を同時に検出する受光光学系と、
試料室でジェットが発生しているときの前記受光光学系
からの検出信号を測定信号とし、試料室でジェットが発
生していないときの前記受光光学系からの検出信号を参
照信号として同一試料についてそれぞれ繰返し取り込ん
で積算平均化し、両検出値から吸光度を算出する信号処
理部とを備えている。光源としては白色光を出すもので
はキセノンランプがある。キセノンランプを試料室の超
音速ジェットの噴出と同期させて発光させたり、連続的
に発光するキセノンランプを機械的なチョッパでジェッ
トの噴出と同期して断続させて試料室に導くようにして
もよい。多波長を同時に検出する受光光学系の一例は、
ポリクロメータと検出部に配置したダイオードアレイ検
出器とを組み合わせたものである。SUMMARY OF THE INVENTION A jet spectrometer according to the present invention comprises a sample chamber for intermittently jetting a gas containing a sample as a supersonic jet into a vacuum; A light source for irradiating the jet, a light receiving optical system for dispersing light passing through the sample chamber and simultaneously detecting multiple wavelengths,
A detection signal from the light receiving optical system when a jet is generated in the sample chamber is used as a measurement signal, and a detection signal from the light receiving optical system when a jet is not generated in the sample chamber is used as a reference signal for the same sample. And a signal processing unit for calculating the absorbance from both detection values by repeatedly taking and averaging them. As a light source, there is a xenon lamp that emits white light. A xenon lamp may emit light in synchronism with the jet of the supersonic jet in the sample chamber, or a xenon lamp that emits light continuously may be intermittently synchronized with the jet jet by a mechanical chopper and guided to the sample chamber. Good. An example of a light receiving optical system that detects multiple wavelengths simultaneously is
This is a combination of a polychromator and a diode array detector arranged in a detection section.
【0006】[0006]
【作用】測定信号も参照信号もともに試料室を通過した
光であり、測定信号はジェットが発生している時のも
の、参照信号はジェットが発生していない時のものであ
る。光吸収はランバート・ベール則で与えられる光吸収
度合い(吸光度)を波長に対して測定するものである
が、光源の光強度の減少を見るものであるので、光源の
安定性維持又は微小な変動の監視と厳密な補正とが、微
小な吸収、すなわち感度よく吸収を測定する上での重要
な点となる。本発明では同一試料について多数の測定を
繰返し行ない、測定信号と参照信号とでそれぞれ積算平
均化することにより統計的なノイズを減少させる。Both the measurement signal and the reference signal are light that has passed through the sample chamber. The measurement signal is for when a jet is being generated, and the reference signal is for when no jet is being generated. Light absorption measures the degree of light absorption (absorbance) given by the Lambert-Beer law with respect to wavelength. However, since it is a measure of the decrease in light intensity of the light source, the stability of the light source is maintained or slight fluctuations are observed. Monitoring and strict correction are important points in measuring minute absorption, that is, absorption with high sensitivity. In the present invention, a number of measurements are repeatedly performed on the same sample, and statistical noise is reduced by integrating and averaging the measurement signal and the reference signal.
【0007】[0007]
【実施例】図1は一実施例を表わす。試料室20は真空
排気され、ノズル22から試料が超音速ジェットとして
試料室20中に噴出される。試料は試料リザーバ24に
入れられてアルゴンなどのキャリアガス26によって試
料室20に押し出される。ノズル22は開閉弁を備え、
パーソナルコンピュータ28からインターフェイス30
を介して与えられるノズルトリガパルスcによって開閉
動作が制御される。試料室20の壁面にはジェット23
に対して光源のキセノンランプ32からの光をレンズ3
4を通して導く窓が設けられている。キセノンランプ3
2はランプ電源36によって断続的にオンとなるように
制御される。ランプ電源36にはパーソナルコンピュー
タ28からインターフェイス30を介して与えられるラ
ンプトリガパルスdが供給される。FIG. 1 shows an embodiment. The sample chamber 20 is evacuated, and a sample is ejected from the nozzle 22 into the sample chamber 20 as a supersonic jet. The sample is put into a sample reservoir 24 and pushed out into a sample chamber 20 by a carrier gas 26 such as argon. The nozzle 22 has an on-off valve,
Interface 30 from personal computer 28
The opening / closing operation is controlled by a nozzle trigger pulse c provided through the control unit. Jet 23 is provided on the wall of sample chamber 20.
Light from the xenon lamp 32 as a light source
A window leading through 4 is provided. Xenon lamp 3
2 is controlled by the lamp power supply 36 to be turned on intermittently. The lamp power supply 36 is supplied with a lamp trigger pulse d given from the personal computer 28 via the interface 30.
【0008】試料室20を通過した光を外部に取り出す
ために試料室20には入射側の窓に対向して出射側に窓
38が設けられている。窓38からの光を分光するため
に分光器40が試料室20に接近して設けられている。
分光器40内には回折格子42と入射側凹面鏡43及び
出射側凹面鏡44が設けられ、分光された光を多波長に
渡って同時に受光する512チャンネルのフォトダイオ
ードアレーセンサ46が設けられている。アレーセンサ
46の検出信号は増幅器47を経てインターフェース3
0に取り込まれ、デジタル信号に変換されてパーソナル
コンピュータ28へ取り込まれて信号処理がなされる。The sample chamber 20 is provided with a window 38 on the emission side opposite to the window on the entrance side in order to take out the light passing through the sample chamber 20 to the outside. A spectroscope 40 is provided close to the sample chamber 20 to split the light from the window 38.
In the spectroscope 40, a diffraction grating 42, an incident-side concave mirror 43, and an outgoing-side concave mirror 44 are provided, and a 512-channel photodiode array sensor 46 for simultaneously receiving the dispersed light over multiple wavelengths is provided. The detection signal of the array sensor 46 passes through the amplifier 47 to the interface 3.
0, is converted into a digital signal, and is taken into the personal computer 28 for signal processing.
【0009】次に、本実施例の動作を図2のタイミング
チャートを参照して説明する。パーソナルコンピュータ
28からは露光タイミング信号aが出力され、20ミリ
秒以上でアレーセンサ46からの検出信号を取得する間
隔が設定される。一例として露光タイミングを40ミリ
秒に設定した場合を例として説明する。パーソナルコン
ピュータ28からは更に測定光Mと参照光Rを120ミ
リ秒ごとに取り込むために、パーソナルコンピュータ2
8からインターフェイス30を経てアレーセンサ46へ
測定タイミング信号bが出力される。測光タイミングの
120ミリ秒のうち40ミリ秒の期間だけはアレーセン
サ46に受光状態ができ、他の期間はアレーセンサ46
に光が入射してもその信号は棄却される。このことによ
り暗電流の低減を図っている。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to the timing chart of FIG. The personal computer 28 outputs an exposure timing signal a, and sets an interval for acquiring a detection signal from the array sensor 46 in 20 milliseconds or more. As an example, a case where the exposure timing is set to 40 milliseconds will be described as an example. In order to further capture the measuring light M and the reference light R from the personal computer 28 every 120 milliseconds, the personal computer 2
8 outputs a measurement timing signal b to the array sensor 46 via the interface 30. During the period of 40 milliseconds out of 120 milliseconds of the photometric timing, the array sensor 46 can receive light only during the period, and the array sensor 46
Signal is rejected even if light is incident on. As a result, the dark current is reduced.
【0010】測光タイミング信号bの立上がりのタイミ
ングに対応してノズルトリガパルスcが発生し、ノズル
22は約1ミリ秒間開放される。ノズルトリガパルスc
が発生した後、約1ミリ秒遅れてランプトリガ信号dが
発生し、キセノンランプ32がオンとなる。この時、ジ
ェット23が光路上に来ており、光吸収が起こり、測定
信号Mが得られる。ノズル22がオンでない場合でも、
測光タイミング信号bの立上りを基準としてランプトリ
ガパルスdが発生して参照信号Rが取り込まれる。測定
信号Mと参照信号Rが多チャンネル(多波長)に渡って
アレーセンサ46で検出され、インターフェース30を
経てパーソナルコンピュータ28に取り込まれ、積算及
び平均処理がなされ、透過率又は吸光度が算出されて表
示される。A nozzle trigger pulse c is generated corresponding to the rising timing of the photometric timing signal b, and the nozzle 22 is opened for about 1 millisecond. Nozzle trigger pulse c
Occurs, a lamp trigger signal d is generated with a delay of about 1 millisecond, and the xenon lamp 32 is turned on. At this time, the jet 23 is on the optical path, light absorption occurs, and a measurement signal M is obtained. Even if the nozzle 22 is not on,
A ramp trigger pulse d is generated based on the rise of the photometric timing signal b, and the reference signal R is captured. The measurement signal M and the reference signal R are detected by the array sensor 46 over multiple channels (multiple wavelengths), taken into the personal computer 28 via the interface 30, and subjected to integration and averaging processing to calculate transmittance or absorbance. Is displayed.
【0011】この実施例において、多波長に渡って測定
信号と参照信号を繰返し取り込んで積算平均した結果を
図3に示す。繰返し回数が5回、50回、500回と増
すに従ってノイズレベルが減少している。光源は10回
の測定では1%程度の変動があり、平方に比例して減少
するので、1000回では0.1%、100000回で
は0.01%(0.04ミリ吸光度(mAbs))相当のノ
イズレベルとなる。超音速ジェットの吸収は1ミリ吸光
度以下と見積もられているので、本発明で初めて測定可
能になる。本発明は実施例の構成に限らず、光源を連続
発光のものとしてチョッパで照射するタイミングを制御
したりするなど、特許請求の範囲内で適宜変更すること
ができる。In this embodiment, FIG. 3 shows the result of repeatedly taking in the measurement signal and the reference signal over a plurality of wavelengths and averaging them. The noise level decreases as the number of repetitions increases to 5, 50, and 500 times. The light source fluctuates by about 1% in 10 measurements and decreases in proportion to the square. Therefore, it is equivalent to 0.1% for 1000 times and 0.01% (0.04 mm absorbance (mAbs)) for 100000 times. Noise level. Since the absorption of the supersonic jet is estimated to be less than 1 mm absorbance, it can be measured for the first time by the present invention. The present invention is not limited to the configuration of the embodiment, but can be appropriately changed within the scope of the claims, for example, by controlling the timing of irradiating the chopper with the light source as a continuous light source.
【0012】[0012]
【発明の効果】本発明では同一試料について繰返し検出
し積算するので、高感度化することができる。検出を波
長走査を行なって行なうものでは状態の時間的移動が避
けられないため、長時間測定によってもS/N比の向上
には限界があるが、本発明では多波長を同時に検出する
ので、繰返し回数を増加することによりS/N比を向上
して高感度測定が達成される。このように、本発明で
は、希薄な超音速ジェット気体の光吸収スペクトルを測
定することが可能になる。参照信号を得るために測定信
号と同じ光路を用い、試料の超音速ジェットを発生しな
い期間に検出を行なうようにしているので、構成が簡単
になる。According to the present invention, since the same sample is repeatedly detected and integrated, the sensitivity can be increased. In the case where the detection is performed by performing wavelength scanning, temporal movement of the state is unavoidable. Therefore, the improvement of the S / N ratio is limited even by long-time measurement. However, in the present invention, since multiple wavelengths are simultaneously detected, By increasing the number of repetitions, the S / N ratio is improved and high sensitivity measurement is achieved. As described above, according to the present invention, it is possible to measure the light absorption spectrum of a dilute supersonic jet gas. Since the same optical path as that of the measurement signal is used to obtain the reference signal, and the detection is performed during a period in which the supersonic jet of the sample is not generated, the configuration is simplified.
【図1】一実施例を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing one embodiment.
【図2】同実施例の動作を示すタイミングチャート図で
ある。FIG. 2 is a timing chart showing the operation of the embodiment.
【図3】一実施例で得られる積算平均結果を示す波形図
である。FIG. 3 is a waveform chart showing an integrated average result obtained in one embodiment.
【図4】従来のレーザ超音速ジェット分光装置を概略的
に示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram schematically showing a conventional laser supersonic jet spectrometer.
20 試料室 22 ノズル 23 超音速ジェット 28 パーソナルコンピュータ 30 インターフェース 32 キセノンランプ 36 ランプ電源 40 分光器 44 回折格子 46 ダイオードアレーセンサ Reference Signs List 20 sample chamber 22 nozzle 23 supersonic jet 28 personal computer 30 interface 32 xenon lamp 36 lamp power supply 40 spectrometer 44 diffraction grating 46 diode array sensor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−178339(JP,A) 実開 平4−59456(JP,U) 今坂藤太郎、「低温分光法」、ぶんせ き、社団法人日本分析化学会発行、1986 年第3号、第147−154頁 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/74 G01N 1/28 JICSTファイル(JOIS)────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-59-178339 (JP, A) JP-A-4-59456 (JP, U) Totaro Imasaka, "Low-Temperature Spectroscopy", Bunseki, Japan Published by The Society of Analytical Chemistry, 1986, Issue 3, pp. 147-154 (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 21/00-21/01 G01N 21/17-21/74 G01N 1 / 28 JICST file (JOIS)
Claims (1)
真空中に断続的に噴射する試料室と、白色光又は多色光
を前記試料室の超音速ジェットに照射する光源と、試料
室を通過した光を分光し多波長を同時に検出する受光光
学系と、試料室でジェットが発生しているときの前記受
光光学系からの検出信号を測定信号とし、試料室でジェ
ットが発生していないときの前記受光光学系からの検出
信号を参照信号として同一試料についてそれぞれ繰返し
取り込んで積算平均化し、両検出値から吸光度を算出す
る信号処理部とを備えたことを特徴とするジェット分光
装置。1. A sample chamber for intermittently ejecting a gas containing a sample as a supersonic jet into a vacuum, a light source for irradiating white light or polychromatic light to the supersonic jet of the sample chamber, and passing through the sample chamber. A light receiving optical system that splits light and detects multiple wavelengths simultaneously, and a detection signal from the light receiving optical system when a jet is generated in the sample chamber is used as a measurement signal, and when a jet is not generated in the sample chamber. A jet spectrometer comprising: a signal processing unit that repeatedly takes in the same sample as a reference signal using the detection signal from the light receiving optical system as a reference signal, performs integration averaging, and calculates absorbance from both detection values.
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Publication Number | Publication Date |
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JPH0618409A JPH0618409A (en) | 1994-01-25 |
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JP04197889A Expired - Fee Related JP3082450B2 (en) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | Jet spectrometer |
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JP (1) | JP3082450B2 (en) |
-
1992
- 1992-06-30 JP JP04197889A patent/JP3082450B2/en not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
Title |
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今坂藤太郎、「低温分光法」、ぶんせき、社団法人日本分析化学会発行、1986年第3号、第147−154頁 |
Also Published As
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JPH0618409A (en) | 1994-01-25 |
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