JP3080844B2 - 相変化型光ディスク - Google Patents
相変化型光ディスクInfo
- Publication number
- JP3080844B2 JP3080844B2 JP06203544A JP20354494A JP3080844B2 JP 3080844 B2 JP3080844 B2 JP 3080844B2 JP 06203544 A JP06203544 A JP 06203544A JP 20354494 A JP20354494 A JP 20354494A JP 3080844 B2 JP3080844 B2 JP 3080844B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- phase change
- recording
- protective film
- amorphous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を用いて高密
度に情報を記録・再生・消去する相変化型光ディスクに
関し、特に、非晶質部分と結晶部分と反射率および吸収
率の違いにより記録する相変化型光ディスクに関する。
度に情報を記録・再生・消去する相変化型光ディスクに
関し、特に、非晶質部分と結晶部分と反射率および吸収
率の違いにより記録する相変化型光ディスクに関する。
【0002】
【従来の技術】レ−ザ光を用いた光ディスク記録方式は
大容量記録が可能であり、非接触で高速アクセスできる
ことから、大容量メモリとして実用化が進んでいる。光
ディスクはコンパクトディスクやレ−ザディスクとして
知られている再生専用型、ユ−ザ自身で記録できる追記
型、およびユ−ザ側で繰り返し記録消去ができる書き替
え型に分類される。追記型・書き替え型の光ディスクは
コンピュ−タの外部メモリ、あるいは文書・画像ファイ
ルとして使用されている。
大容量記録が可能であり、非接触で高速アクセスできる
ことから、大容量メモリとして実用化が進んでいる。光
ディスクはコンパクトディスクやレ−ザディスクとして
知られている再生専用型、ユ−ザ自身で記録できる追記
型、およびユ−ザ側で繰り返し記録消去ができる書き替
え型に分類される。追記型・書き替え型の光ディスクは
コンピュ−タの外部メモリ、あるいは文書・画像ファイ
ルとして使用されている。
【0003】書き替え型光ディスクには、記録膜の相変
化を利用した相変化型光ディスクと垂直磁化膜の磁化方
向の変化を利用した光磁気ディスクがある。このうち、
相変化型光ディスクは、外部磁場が不要で、かつ、オ−
バライトが容易にできることから、今後、書き替え型光
ディスクの主流になることが期待されている。
化を利用した相変化型光ディスクと垂直磁化膜の磁化方
向の変化を利用した光磁気ディスクがある。このうち、
相変化型光ディスクは、外部磁場が不要で、かつ、オ−
バライトが容易にできることから、今後、書き替え型光
ディスクの主流になることが期待されている。
【0004】従来よりレ−ザ光照射により結晶−非晶質
間の相変化を起こす記録膜を用いた書き替え可能な、い
わゆる相変化型光ディスクが知られている。相変化型光
ディスクでは記録膜に記録すべき情報に応じた高パワの
レ−ザ光スポットを照射し、記録膜温度を局部的に上昇
させることにより、結晶−非晶質間の相変化を起こさせ
て記録し、これに伴う光学定数の変化を低パワのレ−ザ
光によって反射光強度差あるいは位相変化として読み取
ることにより再生を行っている。例えば、結晶化時間が
比較的遅い記録膜を用いた相変化型光ディスクでは、デ
ィスクを回転させ、そのディスクに形成された記録膜に
レ−ザ光を照射し、その記録膜の温度を融点以上に上昇
させ、レ−ザ光が通過した後、急冷することによりその
部分を非晶質状態とし、記録する。消去時には、記録膜
温度を結晶化温度以上、融点以下の結晶化可能温度範囲
で結晶化を進行させるために十分な時間保持し、記録膜
を結晶化させる。このための方法としては、レ−ザ光進
行方向に長い長円レ−ザ光を照射する方法が知られてい
る。既に記録したデ−タを消去しながら新しい情報を記
録する2ビ−ムによる疑似的なオ−バライトを行う場合
には、消去用の長円レ−ザ光を記録用円形レ−ザ光に先
行させて照射するように配置する。
間の相変化を起こす記録膜を用いた書き替え可能な、い
わゆる相変化型光ディスクが知られている。相変化型光
ディスクでは記録膜に記録すべき情報に応じた高パワの
レ−ザ光スポットを照射し、記録膜温度を局部的に上昇
させることにより、結晶−非晶質間の相変化を起こさせ
て記録し、これに伴う光学定数の変化を低パワのレ−ザ
光によって反射光強度差あるいは位相変化として読み取
ることにより再生を行っている。例えば、結晶化時間が
比較的遅い記録膜を用いた相変化型光ディスクでは、デ
ィスクを回転させ、そのディスクに形成された記録膜に
レ−ザ光を照射し、その記録膜の温度を融点以上に上昇
させ、レ−ザ光が通過した後、急冷することによりその
部分を非晶質状態とし、記録する。消去時には、記録膜
温度を結晶化温度以上、融点以下の結晶化可能温度範囲
で結晶化を進行させるために十分な時間保持し、記録膜
を結晶化させる。このための方法としては、レ−ザ光進
行方向に長い長円レ−ザ光を照射する方法が知られてい
る。既に記録したデ−タを消去しながら新しい情報を記
録する2ビ−ムによる疑似的なオ−バライトを行う場合
には、消去用の長円レ−ザ光を記録用円形レ−ザ光に先
行させて照射するように配置する。
【0005】一方、高速結晶化が可能な情報記録膜を用
いたディスクでは、円形に集光した1本のレ−ザ光を使
う。従来より知られている方法は、レ−ザ光のパワを2
つのレベル間で変化させることにより、結晶化あるいは
非晶質化を行う。すなわち、記録膜の温度を融点以上に
上昇させることが可能なパワのレ−ザ光を記録膜に照射
することにより、そのほとんどの部分は冷却時に非晶質
状態となり、一方、記録膜温度が結晶化温度以上、融点
以下の温度に達するようなパワのレ−ザ光が照射された
部分は結晶状態になる。相変化型光ディスクの記録膜に
は、カルコゲナイド系材料であるGeSbTe系,In
SbTe系,InSe系,InTe系,AsTeGe
系,TeOx−GeSn系,TeSeSn系,SbSe
Bi系,BiSeGe系などが用いられるが、いずれも
抵抗加熱真空蒸着法、電子ビ−ム真空蒸着法、スパッタ
リング法などの成膜法で成膜される。成膜直後の記録膜
の状態は一種の非晶質状態であり、この記録膜に記録を
行って非晶質の記録部を形成するために、記録膜全体を
結晶質にしておく初期化処理が行われる。記録はこの結
晶化された状態の中に非晶質部分を形成することにより
達成される。
いたディスクでは、円形に集光した1本のレ−ザ光を使
う。従来より知られている方法は、レ−ザ光のパワを2
つのレベル間で変化させることにより、結晶化あるいは
非晶質化を行う。すなわち、記録膜の温度を融点以上に
上昇させることが可能なパワのレ−ザ光を記録膜に照射
することにより、そのほとんどの部分は冷却時に非晶質
状態となり、一方、記録膜温度が結晶化温度以上、融点
以下の温度に達するようなパワのレ−ザ光が照射された
部分は結晶状態になる。相変化型光ディスクの記録膜に
は、カルコゲナイド系材料であるGeSbTe系,In
SbTe系,InSe系,InTe系,AsTeGe
系,TeOx−GeSn系,TeSeSn系,SbSe
Bi系,BiSeGe系などが用いられるが、いずれも
抵抗加熱真空蒸着法、電子ビ−ム真空蒸着法、スパッタ
リング法などの成膜法で成膜される。成膜直後の記録膜
の状態は一種の非晶質状態であり、この記録膜に記録を
行って非晶質の記録部を形成するために、記録膜全体を
結晶質にしておく初期化処理が行われる。記録はこの結
晶化された状態の中に非晶質部分を形成することにより
達成される。
【0006】上述した従来のディスクでは、反射光量差
を利用して再生する場合、非晶質の反射率を結晶状態の
反射率に比べて小さくした相変化型光ディスクが用いら
れており、そのために非晶質に比べて結晶部分の吸収率
が小さくなっていた。こうした特性を持つディスクにオ
ーバライトによりマークエッジ記録を行った場合、前述
した吸収率の差に起因したマークエッジの歪が発生し、
これが高密度記録の妨げになっていた。
を利用して再生する場合、非晶質の反射率を結晶状態の
反射率に比べて小さくした相変化型光ディスクが用いら
れており、そのために非晶質に比べて結晶部分の吸収率
が小さくなっていた。こうした特性を持つディスクにオ
ーバライトによりマークエッジ記録を行った場合、前述
した吸収率の差に起因したマークエッジの歪が発生し、
これが高密度記録の妨げになっていた。
【0007】例えば、特開平2−128330号公報の
ものでは、記録膜の吸収率の規定が示されているが、マ
ークエッジ記録に対応した媒体の吸収率に関する記述は
なく、消し残りを小さくするために、結晶と非晶質間の
吸収率の差を小さく抑えることを規定しているにすぎな
い。
ものでは、記録膜の吸収率の規定が示されているが、マ
ークエッジ記録に対応した媒体の吸収率に関する記述は
なく、消し残りを小さくするために、結晶と非晶質間の
吸収率の差を小さく抑えることを規定しているにすぎな
い。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ここで、相変化型光デ
ィスクの吸収率制御について図面を参照して詳細に説明
する。
ィスクの吸収率制御について図面を参照して詳細に説明
する。
【0009】図3は、相変化型光ディスクの吸収率制御
について説明するための相変化型光ディスクの断面図で
ある。
について説明するための相変化型光ディスクの断面図で
ある。
【0010】相変化型光ディスクの構成は、透明基板3
1上に第一保護膜32、記録膜33、第二保護膜34、
反射膜35を順次積層し、さらに保護用として紫外線硬
化樹脂36などが塗布された、いわゆる4層反射膜構成
である。ここで、従来から記録膜33の非晶質の反射率
を結晶状態の反射率に比べて小さくした構成が採用され
ていた。つまり、非晶質部分の反射率をRa、結晶部分
の反射率をRcとしたとき、Ra<Rcとなる構成であ
る。この場合、記録膜33の相変化に伴う光学定数の変
化を反射率変化に効率良く変換でき、良好な再生信号が
確保できるという長所を持つ反面、反射膜35において
ほとんどの光が反射されてしまうため、記録膜33の光
学定数変化に伴う反射率差を大きく確保しようとする
と、記録膜33の吸収率は、必然的に、非晶質に比べて
結晶部分の吸収率が小さくなってしまうという欠点があ
った。非晶質部分の吸収率をAa、結晶部分の吸収率を
Acとしたとき、Ac<Aaとなる。このように、結晶
部分の吸収率が小さくなった場合、通常、結晶質のほう
が非晶質に比べて熱伝導率が大きく、また溶融に必要な
潜熱も大きいので、オーバライト時に記録膜33が結晶
か、非晶質かによって記録膜昇温状態に差が生じる。
1上に第一保護膜32、記録膜33、第二保護膜34、
反射膜35を順次積層し、さらに保護用として紫外線硬
化樹脂36などが塗布された、いわゆる4層反射膜構成
である。ここで、従来から記録膜33の非晶質の反射率
を結晶状態の反射率に比べて小さくした構成が採用され
ていた。つまり、非晶質部分の反射率をRa、結晶部分
の反射率をRcとしたとき、Ra<Rcとなる構成であ
る。この場合、記録膜33の相変化に伴う光学定数の変
化を反射率変化に効率良く変換でき、良好な再生信号が
確保できるという長所を持つ反面、反射膜35において
ほとんどの光が反射されてしまうため、記録膜33の光
学定数変化に伴う反射率差を大きく確保しようとする
と、記録膜33の吸収率は、必然的に、非晶質に比べて
結晶部分の吸収率が小さくなってしまうという欠点があ
った。非晶質部分の吸収率をAa、結晶部分の吸収率を
Acとしたとき、Ac<Aaとなる。このように、結晶
部分の吸収率が小さくなった場合、通常、結晶質のほう
が非晶質に比べて熱伝導率が大きく、また溶融に必要な
潜熱も大きいので、オーバライト時に記録膜33が結晶
か、非晶質かによって記録膜昇温状態に差が生じる。
【0011】図4は、相変化型光ディスクの吸収率制御
について説明するための相変化記録メカニズムを示した
図である。
について説明するための相変化記録メカニズムを示した
図である。
【0012】マークエッジに情報を持たせるためには、
エッジ形状を精度良く形成することが不可欠である。図
4に示すように吸収率制御が不十分な場合、オーバライ
ト信号がオーバライト前の信号成分によって変調され、
特にマークエッジ近傍でのエッジ形状歪が発生する。我
々は、研究の結果、これがオーバライトジッタ低減を制
限する一因になっていることを突き止めた。
エッジ形状を精度良く形成することが不可欠である。図
4に示すように吸収率制御が不十分な場合、オーバライ
ト信号がオーバライト前の信号成分によって変調され、
特にマークエッジ近傍でのエッジ形状歪が発生する。我
々は、研究の結果、これがオーバライトジッタ低減を制
限する一因になっていることを突き止めた。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、非晶質
記録マークの反射率を結晶部分に比べて大きくし、結晶
部分の吸収率を非晶質に比べて大きい状態にすることに
より、上記の欠点を解決し、相変化型光ディスクのオー
バライト特性を改善し、高密度記録を可能にする新規な
相変化型光ディスクを提供することにある。
記録マークの反射率を結晶部分に比べて大きくし、結晶
部分の吸収率を非晶質に比べて大きい状態にすることに
より、上記の欠点を解決し、相変化型光ディスクのオー
バライト特性を改善し、高密度記録を可能にする新規な
相変化型光ディスクを提供することにある。
【0014】そのため、本発明の相変化型光ディスク
は、情報記録膜の結晶と非晶質間の可逆的な相変化を用
い、レ−ザ光照射による情報記録膜の相状態変化によっ
て情報の記録再生消去を行う相変化型光ディスクであっ
て、透明基板と、透明基板上に形成された第一の保護膜
と、第一保護膜上に形成された相変化型情報記録膜と、
記録膜上に形成された第二の保護膜と、第二の保護膜上
に形成された反射膜とを有し、情報記録膜の非晶質記録
マークの反射率をRa、結晶部分の反射率をRc、非晶
質記録マークの吸収率をAa、結晶部分の吸収率をAc
としたとき、Ra>RcならびにAc>Aaであること
を特徴としている。
は、情報記録膜の結晶と非晶質間の可逆的な相変化を用
い、レ−ザ光照射による情報記録膜の相状態変化によっ
て情報の記録再生消去を行う相変化型光ディスクであっ
て、透明基板と、透明基板上に形成された第一の保護膜
と、第一保護膜上に形成された相変化型情報記録膜と、
記録膜上に形成された第二の保護膜と、第二の保護膜上
に形成された反射膜とを有し、情報記録膜の非晶質記録
マークの反射率をRa、結晶部分の反射率をRc、非晶
質記録マークの吸収率をAa、結晶部分の吸収率をAc
としたとき、Ra>RcならびにAc>Aaであること
を特徴としている。
【0015】本発明の相変化型光ディスクは、第一保護
膜としてZnS−SiO2 を、相変化型情報記録膜とし
てGeSbTeを、第二保護膜としてZnS−SiO2
を、反射膜としてAlをそれぞれ使用し、GeSbTe
記録膜の膜厚を10nmから20nm、ZnS−SiO
2 第二保護膜の膜厚を15nmから30nm、Al反射
膜の膜厚を50nmから150nmとし、第一保護膜Z
nS−SiO2 の膜厚を80nmから120nmの範囲
に設定している。
膜としてZnS−SiO2 を、相変化型情報記録膜とし
てGeSbTeを、第二保護膜としてZnS−SiO2
を、反射膜としてAlをそれぞれ使用し、GeSbTe
記録膜の膜厚を10nmから20nm、ZnS−SiO
2 第二保護膜の膜厚を15nmから30nm、Al反射
膜の膜厚を50nmから150nmとし、第一保護膜Z
nS−SiO2 の膜厚を80nmから120nmの範囲
に設定している。
【0016】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0017】図1は本発明による相変化型光ディスクの
一実施例の反射率、吸収率特性を示す図である。
一実施例の反射率、吸収率特性を示す図である。
【0018】本実施例の相変化型光ディスクでは、反射
率特性、ならびに吸収率特性において、非晶質記録マー
クの反射率を結晶部分に比べて大きくし、それにより、
結晶部分の吸収率を非晶質に比べて大きくした点に特徴
がある。
率特性、ならびに吸収率特性において、非晶質記録マー
クの反射率を結晶部分に比べて大きくし、それにより、
結晶部分の吸収率を非晶質に比べて大きくした点に特徴
がある。
【0019】図2は、本実施例の相変化型光ディスクの
断面図である。
断面図である。
【0020】本実施例の相変化型光ディスクは、透明基
板1上に、第一保護膜2、記録膜3、第二保護膜4、反
射膜5を積層した構成になっている。反射膜5上には保
護用として紫外線硬化樹脂6を塗布している。透明基板
1には、円盤状のガラスもしくはプラスチックが用いら
れる。第一保護膜2と 第二保護膜4には、SiO2、
Si3 N4 、AlN、TiO2 、ZnS、ZnS−Si
O2 などの誘電体材料が用いられる。記録膜3として
は、カルコゲナイド系材料であるGeSbTe系,In
SbTe系,InSe系,InTe系,AsTeGe
系,TeOx−GeSn系,TeSeSn系,SbSe
Bi系,BiSeGe系などが用いられる。反射膜6に
は、反射率が高くかつ熱伝導率が大きい材料、特に、A
l,Au,Cu,Agなどの金属が用いられる。なお、
最上層には保護用に紫外線硬化型樹脂6が塗布される。
板1上に、第一保護膜2、記録膜3、第二保護膜4、反
射膜5を積層した構成になっている。反射膜5上には保
護用として紫外線硬化樹脂6を塗布している。透明基板
1には、円盤状のガラスもしくはプラスチックが用いら
れる。第一保護膜2と 第二保護膜4には、SiO2、
Si3 N4 、AlN、TiO2 、ZnS、ZnS−Si
O2 などの誘電体材料が用いられる。記録膜3として
は、カルコゲナイド系材料であるGeSbTe系,In
SbTe系,InSe系,InTe系,AsTeGe
系,TeOx−GeSn系,TeSeSn系,SbSe
Bi系,BiSeGe系などが用いられる。反射膜6に
は、反射率が高くかつ熱伝導率が大きい材料、特に、A
l,Au,Cu,Agなどの金属が用いられる。なお、
最上層には保護用に紫外線硬化型樹脂6が塗布される。
【0021】本実施例の特徴は、吸収率差を制御した光
ディスクの構成にある。非晶質記録マークの反射率を結
晶部分に比べて大きくし、それにより、結晶部分の吸収
率が非晶質に比べて大きい状態を実現する。
ディスクの構成にある。非晶質記録マークの反射率を結
晶部分に比べて大きくし、それにより、結晶部分の吸収
率が非晶質に比べて大きい状態を実現する。
【0022】図1は、ZnS−SiO2 第一保護膜の膜
厚を変えたときの、光ディスク反射率と吸収率の変化を
示したグラフである。例えば、GeSbTe記録膜の膜
厚15nm、ZnS−SiO2 第二保護膜の膜厚20n
m、Al反射膜の膜厚60nmとしたとき、第一保護膜
の膜厚80nmから120nmの範囲で、所望の条件が
実現できる。
厚を変えたときの、光ディスク反射率と吸収率の変化を
示したグラフである。例えば、GeSbTe記録膜の膜
厚15nm、ZnS−SiO2 第二保護膜の膜厚20n
m、Al反射膜の膜厚60nmとしたとき、第一保護膜
の膜厚80nmから120nmの範囲で、所望の条件が
実現できる。
【0023】さらに、GeSbTe記録膜の膜厚を10
nmから20nm、ZnS−SiO2 第二保護膜の膜厚
を15nmから30nm、Al反射膜の膜厚を50nm
から150nmとし、第一保護膜の膜厚を80nmから
120nmの範囲に設定した範囲では、現在使用できる
レーザ波長領域で、非晶質記録マークの反射率を結晶部
分に比べて大きくし、それにより、結晶部分の吸収率が
非晶質に比べて大きい状態が実現できる。
nmから20nm、ZnS−SiO2 第二保護膜の膜厚
を15nmから30nm、Al反射膜の膜厚を50nm
から150nmとし、第一保護膜の膜厚を80nmから
120nmの範囲に設定した範囲では、現在使用できる
レーザ波長領域で、非晶質記録マークの反射率を結晶部
分に比べて大きくし、それにより、結晶部分の吸収率が
非晶質に比べて大きい状態が実現できる。
【0024】次に、使用するレーザ波長を830nmに
設定し、非晶質記録マークの反射率を結晶部分に比べて
大きくし、それにより、結晶部分の吸収率が非晶質に比
べて大きい状態を実現できるように光ディスクの構成を
決定し、光ディスクを作成した。基板1には直径130
mm、厚さ1.2mmのプリグルーブ付きポリカーボネ
ート基板を用いた。第一保護膜2および第二保護膜4に
はZnS−SiO2 混合膜を、記録膜3にはGeSbT
eを、反射膜5にはAlを用い、マグネトロンスパッタ
法により連続成膜した。
設定し、非晶質記録マークの反射率を結晶部分に比べて
大きくし、それにより、結晶部分の吸収率が非晶質に比
べて大きい状態を実現できるように光ディスクの構成を
決定し、光ディスクを作成した。基板1には直径130
mm、厚さ1.2mmのプリグルーブ付きポリカーボネ
ート基板を用いた。第一保護膜2および第二保護膜4に
はZnS−SiO2 混合膜を、記録膜3にはGeSbT
eを、反射膜5にはAlを用い、マグネトロンスパッタ
法により連続成膜した。
【0025】各層の膜厚は第一保護膜100nm、記録
膜15nm、第二保護膜20nm、反射膜60nmとし
た。このディスクでは、波長830nmにおける吸収率
は結晶に対して80%、非晶質に対して55%であり、
反射率は結晶に対して11%、非晶質に対して21%で
あった。
膜15nm、第二保護膜20nm、反射膜60nmとし
た。このディスクでは、波長830nmにおける吸収率
は結晶に対して80%、非晶質に対して55%であり、
反射率は結晶に対して11%、非晶質に対して21%で
あった。
【0026】次に、前記光ディスクにオーバライトを行
い、特性を評価した。測定には、波長830nmの半導
体レーザを搭載した光ヘッドを用いた。初期化処理後の
光ディスクを回転数3600rpmにて回転させ、半径
30mmのトラックに8.4MHz(Duty50%)
信号と2.2MHz(Duty50%)信号を交互にオ
ーバライトした。再生信号の二次高調波歪が最小となる
ように、記録パワと消去パワをそれぞれ10mW、5m
Wに設定した。
い、特性を評価した。測定には、波長830nmの半導
体レーザを搭載した光ヘッドを用いた。初期化処理後の
光ディスクを回転数3600rpmにて回転させ、半径
30mmのトラックに8.4MHz(Duty50%)
信号と2.2MHz(Duty50%)信号を交互にオ
ーバライトした。再生信号の二次高調波歪が最小となる
ように、記録パワと消去パワをそれぞれ10mW、5m
Wに設定した。
【0027】オーバライト時の再生信号ジッタは、2回
微分によるパルス化後の値として、3.0nsであっ
た。初期化直後の初記録時のジッタと大差なく、良好な
オーバライトジッタ特性を示すことが確認された。
微分によるパルス化後の値として、3.0nsであっ
た。初期化直後の初記録時のジッタと大差なく、良好な
オーバライトジッタ特性を示すことが確認された。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の相変化型
光ディスクでは、使用するレーザ波長に対して、非晶質
記録マークの反射率を結晶部分に比べて大きくし、それ
により、結晶部分の吸収率を非晶質に比べて大きい状態
にすることにより、オーバライト時のビット形状歪を抑
え、オーバライト時の再生信号のジッタ増加を小さく抑
えることができるという効果を奏する。
光ディスクでは、使用するレーザ波長に対して、非晶質
記録マークの反射率を結晶部分に比べて大きくし、それ
により、結晶部分の吸収率を非晶質に比べて大きい状態
にすることにより、オーバライト時のビット形状歪を抑
え、オーバライト時の再生信号のジッタ増加を小さく抑
えることができるという効果を奏する。
【図1】本発明による相変化型光ディスクの一実施例の
反射率、吸収率特性を示す図である。
反射率、吸収率特性を示す図である。
【図2】本実施例の相変化型光ディスクの断面図であ
る。
る。
【図3】相変化型光ディスクの吸収率制御について説明
するための相変化型光ディスクの断面図である。
するための相変化型光ディスクの断面図である。
【図4】相変化型光ディスクの吸収率制御について説明
するための相変化記録メカニズムを示した図である。
するための相変化記録メカニズムを示した図である。
1 基板 2 第一保護膜 3 記録膜 4 第二保護膜 5 反射膜 6 紫外線硬化樹脂 31 基板 32 第一保護膜 33 記録膜 34 第二保護膜 35 反射膜 36 紫外線硬化樹脂
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−149238(JP,A) 特開 平5−298748(JP,A) 特開 平4−134644(JP,A) 特開 平4−14485(JP,A) 特開 平6−203380(JP,A) 特開 平2−128330(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/24
Claims (1)
- 【請求項1】透明基板と、前記透明基板上に形成された
第一の保護膜と、前記第一保護膜上に形成された相変化
型情報記録膜と、前記相変化型情報記録膜上に形成され
た第二の保護膜と、前記第二の保護膜上に形成された反
射膜とを有し、前記相変化型情報記録膜の結晶と非晶質
間の可逆的な相変化を用い、単一波長のレ−ザ光照射に
よる前記相変化型情報記録膜の相状態変化によって情報
の記録・再生・消去を行う相変化型光ディスクにおい
て、 前記相変化型情報記録膜に記録される非晶質記録マーク
の反射率をRa、前記相変化型情報記録膜の結晶部分の
反射率をRc、前記非晶質記録マークの吸収率をAa、
前記結晶部分の吸収率をAcとしたとき、Ra>Rcな
らびにAc>Aaであり、 前記第一保護膜としてZnS−SiO2 を、前記相変化
型情報記録膜としてGeSbTeを、前記第二保護膜と
してZnS−SiO2 を、前記反射膜としてAlをそれ
ぞれ使用し、 前記GeSbTe記録膜の膜厚を10nmから20n
m、前記ZnS−SiO2 第二保護膜の膜厚を15nm
から30nm、前記Al反射膜の膜厚を50nmから1
50nmとし、前記第一保護膜ZnS−SiO2 の膜厚
を80nmから120nmの範囲としたことを 特徴とす
る相変化型光ディスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06203544A JP3080844B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 相変化型光ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06203544A JP3080844B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 相変化型光ディスク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0863781A JPH0863781A (ja) | 1996-03-08 |
JP3080844B2 true JP3080844B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=16475905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06203544A Expired - Lifetime JP3080844B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 相変化型光ディスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3080844B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU723890B2 (en) | 1997-02-28 | 2000-09-07 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Phase change optical recording medium, method of manufacturing the same, and method of recording information on the same |
DE69837168T2 (de) * | 1997-03-27 | 2007-10-31 | Mitsubishi Kagaku Media Co. Ltd. | Optisches Informationsaufzeichnungsmedium |
EP0957477A3 (en) | 1998-05-15 | 2003-11-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, recording and reproducing method therefor and optical information recording and reproduction apparatus |
WO2001097218A1 (fr) * | 2000-06-16 | 2001-12-20 | Mitsubishi Chemical Corporation | Support d'enregistrement d'informations optiques |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH081707B2 (ja) * | 1987-12-04 | 1996-01-10 | 松下電器産業株式会社 | 光学的情報記録媒体 |
JPH0414485A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録再生消去部材 |
JPH04134644A (ja) * | 1990-09-25 | 1992-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録部材 |
JP3012734B2 (ja) * | 1992-04-17 | 2000-02-28 | 松下電器産業株式会社 | 光学的情報記録媒体及びその構造設計方法 |
-
1994
- 1994-08-29 JP JP06203544A patent/JP3080844B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0863781A (ja) | 1996-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2850754B2 (ja) | 相変化型光ディスク | |
JP2737666B2 (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
JP2003532248A (ja) | 光記録媒体及びその使用 | |
JPH06195747A (ja) | 光ディスク | |
JP2830557B2 (ja) | 相変化型光ディスク | |
JP3080844B2 (ja) | 相変化型光ディスク | |
US6159571A (en) | Phase-change optical disc | |
JPH11513166A (ja) | 可逆性光情報媒体 | |
JP3138661B2 (ja) | 相変化型光ディスク | |
JP2004519365A (ja) | 再書き込み可能な光データ記録媒体及び該媒体の使用 | |
JPH06155921A (ja) | 光記録媒体 | |
JP3159374B2 (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
JP2001101707A (ja) | 光記録媒体、光記録再生装置および光記録再生方法 | |
JP3130847B2 (ja) | 光学情報記録媒体 | |
JP2674837B2 (ja) | 相変化型光ディスク | |
JPH08329521A (ja) | 光記録媒体 | |
JPH0312824A (ja) | 相変化型光記録媒体の記録・消去・再生方法及び構成方法 | |
JP3523799B2 (ja) | 相変化記録媒体 | |
JPH05109113A (ja) | 相変化型光デイスク | |
JPH04223191A (ja) | 相変化型光記録媒体 | |
JPH06111369A (ja) | 情報の記録用部材および記録再生方法 | |
JP2655093B2 (ja) | 光ヘッドおよび光ディスク装置 | |
JP3138514B2 (ja) | 情報光記録媒体とその記録再生方法 | |
JP2000222776A (ja) | 光記録媒体 | |
JPH08315416A (ja) | 光記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971202 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080623 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090623 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100623 Year of fee payment: 10 |