JP3078133B2 - 光導波路の整列状態検査方法および光導波路 - Google Patents
光導波路の整列状態検査方法および光導波路Info
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B7/14—Cements containing slag
- C04B7/147—Metallurgical slag
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- C04B7/17—Mixtures thereof with other inorganic cementitious materials or other activators with calcium oxide containing activators
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B28/00—Compositions of mortars, concrete or artificial stone, containing inorganic binders or the reaction product of an inorganic and an organic binder, e.g. polycarboxylate cements
- C04B28/02—Compositions of mortars, concrete or artificial stone, containing inorganic binders or the reaction product of an inorganic and an organic binder, e.g. polycarboxylate cements containing hydraulic cements other than calcium sulfates
- C04B28/08—Slag cements
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多心光コネクタにおける
光導波路の整列状態検査方法およびこの方法で検査した
光導波路に関する。
光導波路の整列状態検査方法およびこの方法で検査した
光導波路に関する。
【０００２】
【従来の技術】１本の光ファイバ（マスタ側光ファイ
バ）とｎ本の光ファイバ（ｎ側光ファイバ）を端面同志
で対向させ、マスタ側光ファイバを移動させることによ
り光結合対象のｎ側光ファイバを切り換えるものとし
て、１：ｎ光スイッチ装置がある。上記のｎ側光ファイ
バは多心光コネクタに固定配置されており、単心光コネ
クタに保持されたマスタ側光ファイバと選択的に光結合
することにより、光通信信号の伝達経路が切り換えられ
る。
バ）とｎ本の光ファイバ（ｎ側光ファイバ）を端面同志
で対向させ、マスタ側光ファイバを移動させることによ
り光結合対象のｎ側光ファイバを切り換えるものとし
て、１：ｎ光スイッチ装置がある。上記のｎ側光ファイ
バは多心光コネクタに固定配置されており、単心光コネ
クタに保持されたマスタ側光ファイバと選択的に光結合
することにより、光通信信号の伝達経路が切り換えられ
る。
【０００３】従来、多心光コネクタの偏心を測定するに
は、例えば、昭和６３年電子情報通信学会秋期全国大
会、Ｂ−３４３の「多心コネクタの高精度寸法測定技
術」が知られている。図１３はこれを模式的に示す斜視
図である。光コネクタ１０１は図示しないステージ（Ｘ
方向，Ｙ方向の可動ステージ）にセットされ、後端面か
ら照明光源１０２により照明される。光コネクタ１０１
の前端面側には対物レンズ１０３を挾んでＣＣＤなどの
撮像デバイス１０４が配置され、光コネクタ１０１の前
端面の像が撮像デバイス１０４に結像される。
は、例えば、昭和６３年電子情報通信学会秋期全国大
会、Ｂ−３４３の「多心コネクタの高精度寸法測定技
術」が知られている。図１３はこれを模式的に示す斜視
図である。光コネクタ１０１は図示しないステージ（Ｘ
方向，Ｙ方向の可動ステージ）にセットされ、後端面か
ら照明光源１０２により照明される。光コネクタ１０１
の前端面側には対物レンズ１０３を挾んでＣＣＤなどの
撮像デバイス１０４が配置され、光コネクタ１０１の前
端面の像が撮像デバイス１０４に結像される。
【０００４】ここで、光コネクタ１０１には両側に２本
のガイドピン穴１０５が設けられると共に、その間には
多数本のファイバ穴１０６が形成されている。このた
め、照明光源１０２からの照明光はガイドピン穴１０５
およびファイバ穴１０６を通り、透過照明光となって撮
像デバイス１０４に入射する。画像処理装置１０７には
光コネクタ１０１の前端面からの透過照明光の撮像デー
タが与えられる。
のガイドピン穴１０５が設けられると共に、その間には
多数本のファイバ穴１０６が形成されている。このた
め、照明光源１０２からの照明光はガイドピン穴１０５
およびファイバ穴１０６を通り、透過照明光となって撮
像デバイス１０４に入射する。画像処理装置１０７には
光コネクタ１０１の前端面からの透過照明光の撮像デー
タが与えられる。
【０００５】このため、画像処理装置１０７ではガイド
ピン穴１０５とファイバ穴１０６の前端面におけるエッ
ジの輪郭を求めることができるので、その結果からガイ
ドピン穴１０５とファイバ穴１０６の中心位置が求ま
る。そこで、この測定された中心位置を設計上の中心位
置と対比すれば、いわゆる偏心量や偏心方向が求まり、
製品の評価が可能になる。なお、ＣＲＴ１０８は撮像デ
ータや測定結果を目視可能に表示するものである。
ピン穴１０５とファイバ穴１０６の前端面におけるエッ
ジの輪郭を求めることができるので、その結果からガイ
ドピン穴１０５とファイバ穴１０６の中心位置が求ま
る。そこで、この測定された中心位置を設計上の中心位
置と対比すれば、いわゆる偏心量や偏心方向が求まり、
製品の評価が可能になる。なお、ＣＲＴ１０８は撮像デ
ータや測定結果を目視可能に表示するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、ガイドピン穴１０５を基準として定まる
ファイバ穴１０６の実測位置と、ガイドピン穴１０５を
基準として定めた設計上の中心位置とを対比し、ファイ
バ穴１０６の偏心量や偏心方向が求められている。従っ
て、ファイバ穴１０６を挟む２つのガイドピン穴１０５
を使用せず、また、１列ではなく多列にファイバ穴１０
６が並んだ多心光コネクタに対しては、上記従来の高精
度寸法測定技術はそのまま適用することは出来ない。上
述した１：ｎ光スイッチ装置におけるｎ側光ファイバを
整列配置する多心光コネクタにおいては、ガイドピン穴
１０５は用いられておらず、また、光ファイバが行方向
および列方向に多列に配置されている。このため、この
ように配置されたｎ側光コネクタにおける各光ファイバ
の偏心状態、すなわち整列状態を把握することは困難で
あり、光ファイバの整列状態は上記従来の測定技術によ
っては検査することができなかった。
従来技術では、ガイドピン穴１０５を基準として定まる
ファイバ穴１０６の実測位置と、ガイドピン穴１０５を
基準として定めた設計上の中心位置とを対比し、ファイ
バ穴１０６の偏心量や偏心方向が求められている。従っ
て、ファイバ穴１０６を挟む２つのガイドピン穴１０５
を使用せず、また、１列ではなく多列にファイバ穴１０
６が並んだ多心光コネクタに対しては、上記従来の高精
度寸法測定技術はそのまま適用することは出来ない。上
述した１：ｎ光スイッチ装置におけるｎ側光ファイバを
整列配置する多心光コネクタにおいては、ガイドピン穴
１０５は用いられておらず、また、光ファイバが行方向
および列方向に多列に配置されている。このため、この
ように配置されたｎ側光コネクタにおける各光ファイバ
の偏心状態、すなわち整列状態を把握することは困難で
あり、光ファイバの整列状態は上記従来の測定技術によ
っては検査することができなかった。
【０００７】本発明は、このようなｎ側光コネクタであ
っても、各光導波路の整列状態を正確に検査することの
可能な光導波路の整列状態検査方法およびこの方法で検
査した光導波路を提供することを目的とする。
っても、各光導波路の整列状態を正確に検査することの
可能な光導波路の整列状態検査方法およびこの方法で検
査した光導波路を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光導波路の
整列状態検査方法は、一方の各端面が略同一平面におい
て行および列に整列して固定配置された複数のｎ側光導
波路または光ファイバを有し、上記各端面に選択的に光
結合するマスタ側光導波路または光ファイバに組み合わ
されて光スイッチを構成する光コネクタを用意する第１
ステップと、ｎ側光導波路または光ファイバの他方の端
面側から照明光を入射し、略同一平面に整列配置された
一方の端面側で出射光を撮像することにより、整列配置
されたｎ側光導波路または光ファイバ各端面の中心位置
を求める第２ステップと、この第２ステップで求めた中
心位置のうち、行方向に配置されたｎ側光導波路または
光ファイバ各端面の中心位置の平均位置および列方向に
配置されたｎ側光導波路または光ファイバ各端面の中心
位置の平均位置を各行および各列毎に求める第３ステッ
プと、この第３ステップで求めた端面の中心位置の各平
均位置から所定の範囲を越える位置に端面の中心が位置
するｎ側光導波路または光ファイバを不良と判定する第
４ステップとを備え、光導波路の整列状態を検査する。
整列状態検査方法は、一方の各端面が略同一平面におい
て行および列に整列して固定配置された複数のｎ側光導
波路または光ファイバを有し、上記各端面に選択的に光
結合するマスタ側光導波路または光ファイバに組み合わ
されて光スイッチを構成する光コネクタを用意する第１
ステップと、ｎ側光導波路または光ファイバの他方の端
面側から照明光を入射し、略同一平面に整列配置された
一方の端面側で出射光を撮像することにより、整列配置
されたｎ側光導波路または光ファイバ各端面の中心位置
を求める第２ステップと、この第２ステップで求めた中
心位置のうち、行方向に配置されたｎ側光導波路または
光ファイバ各端面の中心位置の平均位置および列方向に
配置されたｎ側光導波路または光ファイバ各端面の中心
位置の平均位置を各行および各列毎に求める第３ステッ
プと、この第３ステップで求めた端面の中心位置の各平
均位置から所定の範囲を越える位置に端面の中心が位置
するｎ側光導波路または光ファイバを不良と判定する第
４ステップとを備え、光導波路の整列状態を検査する。
【０００９】
【作用】本発明によれば、従来のように、ガイドピン穴
の絶対位置を基準にすることなく、光導波路または光フ
ァイバ相互間の相対位置に基づき、光導波路または光フ
ァイバ中心位置の偏心状態を評価することが可能にな
る。また、これら中心位置の偏心状態が把握された光導
波路が得られる。
の絶対位置を基準にすることなく、光導波路または光フ
ァイバ相互間の相対位置に基づき、光導波路または光フ
ァイバ中心位置の偏心状態を評価することが可能にな
る。また、これら中心位置の偏心状態が把握された光導
波路が得られる。
【００１０】
【実施例】次に、本発明を１：ｎ光スイッチ装置に用い
られるｎ側光コネクタにおける光ファイバ整列状態検査
方法に適用した場合について説明する。
られるｎ側光コネクタにおける光ファイバ整列状態検査
方法に適用した場合について説明する。
【００１１】まず、本実施例の説明の前に、このｎ側光
コネクタを使用する１：ｎ光スイッチ装置について説明
する。
コネクタを使用する１：ｎ光スイッチ装置について説明
する。
【００１２】この種の従来装置では、機械的接触を伴う
光切換がされていた。例えば、マスタ側光ファイバがフ
ェルールに挿入され、これが割りスリーブに挿入されて
いた。ここで、割りスリーブにはｎ側光ファイバが各ス
リーブごとにセットされており、挿入対象を変えること
で光切換が可能になっていた。
光切換がされていた。例えば、マスタ側光ファイバがフ
ェルールに挿入され、これが割りスリーブに挿入されて
いた。ここで、割りスリーブにはｎ側光ファイバが各ス
リーブごとにセットされており、挿入対象を変えること
で光切換が可能になっていた。
【００１３】しかし、このような物理的接触を伴うもの
では、磨耗によるフェルールの外形変化が生じ、位置合
せ精度が使用と共に低下する。特に、シングルモード光
ファイバ同志の光結合では、コア径は１０μｍ程度であ
るため、例えば１μｍ程度の軸ずれがあると、一般に
０．３〜０．５ｄＢ程度の光結合損失が生じることにな
る。従って、非接触方式の光スイッチ装置およびその調
芯方法が望まれることになるが、非接触では光軸合せが
極めて困難である。
では、磨耗によるフェルールの外形変化が生じ、位置合
せ精度が使用と共に低下する。特に、シングルモード光
ファイバ同志の光結合では、コア径は１０μｍ程度であ
るため、例えば１μｍ程度の軸ずれがあると、一般に
０．３〜０．５ｄＢ程度の光結合損失が生じることにな
る。従って、非接触方式の光スイッチ装置およびその調
芯方法が望まれることになるが、非接触では光軸合せが
極めて困難である。
【００１４】このため、本願出願人は別途の特許出願に
おいて、以下の非接触方式の１：ｎ光スイッチ装置およ
びその調芯方法を提案している。
おいて、以下の非接触方式の１：ｎ光スイッチ装置およ
びその調芯方法を提案している。
【００１５】すなわち、この光スイッチ装置は、光通信
信号が伝送されるマスタ側光ファイバを有するマスタ側
光コネクタと、各々の結合端面がアレイ状に配置された
複数のｎ側光コネクタとを有している。平行駆動手段は
マスタ側光ファイバを結合端面に沿って平行移動させ、
回転駆動手段はこの平行移動と共にマスタ側光ファイバ
をその光軸を中心として回転させる。マスタ側光ファイ
バは結合手段によってセンシング用光ファイバに結合さ
れ、このセンシング用光ファイバにはセンシング光源か
らセンシング光が入射される。マスタ側光ファイバから
ｎ側光ファイバに入射された後に反射され、当該マスタ
側光ファイバを経由して戻ってくるモニタ光はモニタ光
検出手段によて検出される。演算手段は、回転駆動手段
による回転運動の位相と、モニタ光検出手段による検出
光量の変動の位相に基づき、マスタ側光ファイバの回転
中心位置とこれに光結合すべきｎ側光ファイバの中心位
置との間の偏位方向を算出する。制御手段はこの偏位方
向と反対方向にマスタ側光ファイバが移動するよう平行
駆動手段を制御する。
信号が伝送されるマスタ側光ファイバを有するマスタ側
光コネクタと、各々の結合端面がアレイ状に配置された
複数のｎ側光コネクタとを有している。平行駆動手段は
マスタ側光ファイバを結合端面に沿って平行移動させ、
回転駆動手段はこの平行移動と共にマスタ側光ファイバ
をその光軸を中心として回転させる。マスタ側光ファイ
バは結合手段によってセンシング用光ファイバに結合さ
れ、このセンシング用光ファイバにはセンシング光源か
らセンシング光が入射される。マスタ側光ファイバから
ｎ側光ファイバに入射された後に反射され、当該マスタ
側光ファイバを経由して戻ってくるモニタ光はモニタ光
検出手段によて検出される。演算手段は、回転駆動手段
による回転運動の位相と、モニタ光検出手段による検出
光量の変動の位相に基づき、マスタ側光ファイバの回転
中心位置とこれに光結合すべきｎ側光ファイバの中心位
置との間の偏位方向を算出する。制御手段はこの偏位方
向と反対方向にマスタ側光ファイバが移動するよう平行
駆動手段を制御する。
【００１６】図１０および図１１はこの１：ｎ光スイッ
チ装置の光切換部近傍を示しており、図１０はその断面
図であり、図１１は一部を破断した斜視図である。
チ装置の光切換部近傍を示しており、図１０はその断面
図であり、図１１は一部を破断した斜視図である。
【００１７】図１０に示す通り、上部ベース板４２には
Ｙ軸粗動ステージ２２が取り付けられ、下部ベース板４
３にはｎ側光コネクタ４が取り付けられている。そし
て、図１０および図１１に示すように、微動チューブ１
の上端部はチューブ支持アーム２３によって固定ステー
ジ２０に固定され、その上方においてマスタ側光ファイ
バ３１はファイバ支持アーム２４によって固定ステージ
２０に固定されている。
Ｙ軸粗動ステージ２２が取り付けられ、下部ベース板４
３にはｎ側光コネクタ４が取り付けられている。そし
て、図１０および図１１に示すように、微動チューブ１
の上端部はチューブ支持アーム２３によって固定ステー
ジ２０に固定され、その上方においてマスタ側光ファイ
バ３１はファイバ支持アーム２４によって固定ステージ
２０に固定されている。
【００１８】Ｘ軸粗動ステージ２１は図示しないＸ軸粗
駆動回路からパルス信号が与えられることによりＸ軸方
向に粗動し、Ｙ軸粗動ステージ２２は同じく図示しない
Ｙ軸粗駆動回路からパルス信号が与えられることにより
Ｙ軸方向に粗動する。これによって、ＣＰＵからの光結
合切換指令に従って、マスタ側光ファイバ３１に光結合
されるｎ側光コネクタ４のｎ側光ファイバ４１が切り換
えられる。なお、Ｘ軸粗動ステージ２１とＹ軸粗動ステ
ージ２２はステッピングモータにより構成され、与えら
れたパルス信号のパルス数に応じた量だけステップ移動
する。
駆動回路からパルス信号が与えられることによりＸ軸方
向に粗動し、Ｙ軸粗動ステージ２２は同じく図示しない
Ｙ軸粗駆動回路からパルス信号が与えられることにより
Ｙ軸方向に粗動する。これによって、ＣＰＵからの光結
合切換指令に従って、マスタ側光ファイバ３１に光結合
されるｎ側光コネクタ４のｎ側光ファイバ４１が切り換
えられる。なお、Ｘ軸粗動ステージ２１とＹ軸粗動ステ
ージ２２はステッピングモータにより構成され、与えら
れたパルス信号のパルス数に応じた量だけステップ移動
する。
【００１９】微動チューブ１はチューブ型圧電素子から
なり、この素子に電圧が印加されると圧電材料層に引っ
張りあるいは圧縮歪みが生じる。このため、微動チュー
ブ１の先端部は、圧電素子への電圧印加が制御されるこ
とによって水平に微動あるいは回転運動し、マスタ側光
ファイバ３１の先端もこの運動に従った動きをする。
なり、この素子に電圧が印加されると圧電材料層に引っ
張りあるいは圧縮歪みが生じる。このため、微動チュー
ブ１の先端部は、圧電素子への電圧印加が制御されるこ
とによって水平に微動あるいは回転運動し、マスタ側光
ファイバ３１の先端もこの運動に従った動きをする。
【００２０】次に、マスタ側光ファイバ３１の回転中心
とこれに対向するｎ側光ファイバ４１の中心との間の偏
位方向と、その偏位量の算出原理を説明する。図１２
（ａ）において、実線の円はマスタ側光ファイバ３１の
コアを示し、点線の円はｎ側光ファイバ４１のコアを示
している。いま、マスタ側光ファイバ３１の回転中心
（図中の白丸印）はｎ側光ファイバ４１の中心（図中の
クロス印）から、マイナスｘ方向に一定量だけ偏位して
いると仮定する。すると、回転中のマスタ側光ファイバ
３１のコアの位置は、図中の丸印１から丸印５のように
変化し、このため、マスタ側光ファイバ３１とｎ側光フ
ァイバ４１の光結合率は回転位相に応じて変化する。
とこれに対向するｎ側光ファイバ４１の中心との間の偏
位方向と、その偏位量の算出原理を説明する。図１２
（ａ）において、実線の円はマスタ側光ファイバ３１の
コアを示し、点線の円はｎ側光ファイバ４１のコアを示
している。いま、マスタ側光ファイバ３１の回転中心
（図中の白丸印）はｎ側光ファイバ４１の中心（図中の
クロス印）から、マイナスｘ方向に一定量だけ偏位して
いると仮定する。すると、回転中のマスタ側光ファイバ
３１のコアの位置は、図中の丸印１から丸印５のように
変化し、このため、マスタ側光ファイバ３１とｎ側光フ
ァイバ４１の光結合率は回転位相に応じて変化する。
【００２１】ここで、マスタ側光ファイバ３１からはセ
ンシング光が出射されており、このセンシング光は上記
の光結合率に応じた割合でｎ側光ファイバ４１に入射
し、内部で反射されて戻ってくる。戻ってきたモニタ光
は、マスタ側光ファイバ３１に再び入射されて光検出器
によって検出されるが、この検出光量の変動は、上記の
マスタ側光ファイバ３１とｎ側光ファイバ４１の光結合
率の変動に対応している。従って、マスタ側光ファイバ
３１の回転運動の位相と、光検出器による検出光量の変
動の位相とから、マスタ側光ファイバ３１の回転中心の
偏位方向が求まる。一方、マスタ側光ファイバ３１の回
転中心位置とｎ側光ファイバ４１の中心位置の間の偏位
量は、光検出器による検出光量の変動の大小（振幅）に
より判断できる。ＣＰＵは偏位方向の修正方向に微動チ
ューブ１の先端を求めた偏位量だけ微動し、マスタ側光
ファイバ３１とｎ側光ファイバ４１との調芯を行う。
ンシング光が出射されており、このセンシング光は上記
の光結合率に応じた割合でｎ側光ファイバ４１に入射
し、内部で反射されて戻ってくる。戻ってきたモニタ光
は、マスタ側光ファイバ３１に再び入射されて光検出器
によって検出されるが、この検出光量の変動は、上記の
マスタ側光ファイバ３１とｎ側光ファイバ４１の光結合
率の変動に対応している。従って、マスタ側光ファイバ
３１の回転運動の位相と、光検出器による検出光量の変
動の位相とから、マスタ側光ファイバ３１の回転中心の
偏位方向が求まる。一方、マスタ側光ファイバ３１の回
転中心位置とｎ側光ファイバ４１の中心位置の間の偏位
量は、光検出器による検出光量の変動の大小（振幅）に
より判断できる。ＣＰＵは偏位方向の修正方向に微動チ
ューブ１の先端を求めた偏位量だけ微動し、マスタ側光
ファイバ３１とｎ側光ファイバ４１との調芯を行う。
【００２２】このようなｎ側光コネクタ４における各ｎ
側光ファイバ４１の整列状態は、次の本実施例によって
検査される。
側光ファイバ４１の整列状態は、次の本実施例によって
検査される。
【００２３】図１は本実施例の方法が適用される光ファ
イバ整列状態検査装置の全体構成を示す斜視図であり、
図２はその機能構成を示すブロック図である。
イバ整列状態検査装置の全体構成を示す斜視図であり、
図２はその機能構成を示すブロック図である。
【００２４】図１に示すように、光コネクタ４は水平面
上で回転可能な回転ステージ５１上にセットされ、この
回転ステージ５１はＹ方向にリニア駆動されるＹ軸ステ
ージ５２上に取り付けられ、Ｙ軸ステージ５２はＹ方向
と直交するＸ方向にリニア駆動されるＸ軸ステージ５３
上に取り付けられている。光コネクタ４の上方には対物
レンズ６１を取り付けた顕微鏡６２がセットされ、この
顕微鏡６２にはＣＣＤカメラ６３がマウントされてい
る。さらに、顕微鏡６２の側方には反射型ＡＦ（オート
フォーカス）装置６４が取り付けられ、これらは垂直方
向（Ｚ方向）に可動なＺ軸ステージ５４に取り付けられ
ている。
上で回転可能な回転ステージ５１上にセットされ、この
回転ステージ５１はＹ方向にリニア駆動されるＹ軸ステ
ージ５２上に取り付けられ、Ｙ軸ステージ５２はＹ方向
と直交するＸ方向にリニア駆動されるＸ軸ステージ５３
上に取り付けられている。光コネクタ４の上方には対物
レンズ６１を取り付けた顕微鏡６２がセットされ、この
顕微鏡６２にはＣＣＤカメラ６３がマウントされてい
る。さらに、顕微鏡６２の側方には反射型ＡＦ（オート
フォーカス）装置６４が取り付けられ、これらは垂直方
向（Ｚ方向）に可動なＺ軸ステージ５４に取り付けられ
ている。
【００２５】一方、回転ステージ５１、Ｙ軸ステージ５
２、Ｘ軸ステージ５３およびＺ軸ステージ５４の平行移
動する側面にはリニアスケールに代表される測長器が備
えられ、この動きをセンサ７１〜７４で検出して、移動
量に応じたパルスを出力するようになっている。また、
光源４０が別途に設けられ、ここからの照明光が光ファ
イバ４１を介して光コネクタ４に送られるようになって
いる。
２、Ｘ軸ステージ５３およびＺ軸ステージ５４の平行移
動する側面にはリニアスケールに代表される測長器が備
えられ、この動きをセンサ７１〜７４で検出して、移動
量に応じたパルスを出力するようになっている。また、
光源４０が別途に設けられ、ここからの照明光が光ファ
イバ４１を介して光コネクタ４に送られるようになって
いる。
【００２６】図２に示すように、回転ステージ５１は回
転駆動機構８１により、Ｙ軸ステージ５２はＹ軸駆動機
構８２により、Ｘ軸ステージ５３はＸ軸駆動機構８３に
より、Ｚ軸ステージ５４はＺ軸駆動機構８４により可動
となっており、これら駆動機構８１〜８４はステッピン
グモータなどで構成され、それぞれステージドライバ８
５によりコントロールされる。また、センサ７１〜７４
の出力パルスはカウンタ７５により計数され、移動量が
モニタされる。なお、回転ステージ５１は本実施例にお
いては通常は固定状態で使用される。しかしながら、光
コネクタ４がＸおよびＹ軸に対し大きく傾いている場合
等、必要があれば駆動して使用することもできる。
転駆動機構８１により、Ｙ軸ステージ５２はＹ軸駆動機
構８２により、Ｘ軸ステージ５３はＸ軸駆動機構８３に
より、Ｚ軸ステージ５４はＺ軸駆動機構８４により可動
となっており、これら駆動機構８１〜８４はステッピン
グモータなどで構成され、それぞれステージドライバ８
５によりコントロールされる。また、センサ７１〜７４
の出力パルスはカウンタ７５により計数され、移動量が
モニタされる。なお、回転ステージ５１は本実施例にお
いては通常は固定状態で使用される。しかしながら、光
コネクタ４がＸおよびＹ軸に対し大きく傾いている場合
等、必要があれば駆動して使用することもできる。
【００２７】ＣＣＤカメラ６３の出力（画像データ）は
画像処理装置９１に送られ、輪郭検出や中心位置演算が
なされると共に、画像ＡＦ装置９２にも送られて焦点合
わせに供される。この画像処理装置９１および画像ＡＦ
装置９２の出力はＣＰＵ９３に送られ、ＣＲＴ９４で適
宜表示される。なお、ＣＰＵ９３は反射型ＡＦ装置６４
およびステージドライバ８５をコントロールすると共
に、光源ドライバ４４を介して光ファイバ４１照明用の
光源４０をコントロールしている。
画像処理装置９１に送られ、輪郭検出や中心位置演算が
なされると共に、画像ＡＦ装置９２にも送られて焦点合
わせに供される。この画像処理装置９１および画像ＡＦ
装置９２の出力はＣＰＵ９３に送られ、ＣＲＴ９４で適
宜表示される。なお、ＣＰＵ９３は反射型ＡＦ装置６４
およびステージドライバ８５をコントロールすると共
に、光源ドライバ４４を介して光ファイバ４１照明用の
光源４０をコントロールしている。
【００２８】図３は本実施例における光コネクタ４の状
態を示している。多数のファイバ穴５がアレイ状に形成
され、各ファイバ穴５には光ファイバ４１が挿入されて
おり、各光ファイバ４１はＸ方向、Ｙ方向に整列した状
態で固定配置されている。これら各光ファイバ４１の一
方の端面は、光コネクタ４の前端部の同一平面において
ファイバ穴５の開口から露出している。光源４０からの
照明光はこの光ファイバ４１の他方の端面からレンズ
（図示せず）を介して入射される。
態を示している。多数のファイバ穴５がアレイ状に形成
され、各ファイバ穴５には光ファイバ４１が挿入されて
おり、各光ファイバ４１はＸ方向、Ｙ方向に整列した状
態で固定配置されている。これら各光ファイバ４１の一
方の端面は、光コネクタ４の前端部の同一平面において
ファイバ穴５の開口から露出している。光源４０からの
照明光はこの光ファイバ４１の他方の端面からレンズ
（図示せず）を介して入射される。
【００２９】図４は反射型ＡＦ装置６４の詳細な構成を
示している。これは、臨界角法による合焦検出装置であ
り、被測定面（光コネクタ４の前端面）に垂直方向（光
ファイバ４１に対し同軸方向）から光が入射される。光
源６４１からの測定光はコリメートレンズ６４２によっ
て平行光とされ、偏光ビームスプリッタ６４３に入射さ
れ、直角方向に反射される。反射光は１／４波長板６４
４を通ることによって偏波面が４５°回転され、集光
（または対物）レンズ６４５により集束される。
示している。これは、臨界角法による合焦検出装置であ
り、被測定面（光コネクタ４の前端面）に垂直方向（光
ファイバ４１に対し同軸方向）から光が入射される。光
源６４１からの測定光はコリメートレンズ６４２によっ
て平行光とされ、偏光ビームスプリッタ６４３に入射さ
れ、直角方向に反射される。反射光は１／４波長板６４
４を通ることによって偏波面が４５°回転され、集光
（または対物）レンズ６４５により集束される。
【００３０】ここで、被測定面が集光レンズ６４５の焦
点位置にあるとき（実線の状態）は、反射光は同一の光
路を通って集光レンズ６４５で再び平行光とされ、１／
４波長板６４４を通って偏波面がさらに４５°回転され
る。これにより、反射光は偏光ビームスプリッタ６４３
に対して偏波面が直交することになるので、偏光ビーム
スプリッタ６４３をそのまま通過して臨界角プリズム６
４６に入射する。ここで、臨界角プリズム６４６は図中
の角度θが臨界角となっているので、入射光は全反射す
ることになり、反射光は２分割センサ６４７に入射され
る。したがって、２分割センサ６４７の双方の受光面に
等しく光が入射され、被測定面が合焦位置にあることが
わかる。
点位置にあるとき（実線の状態）は、反射光は同一の光
路を通って集光レンズ６４５で再び平行光とされ、１／
４波長板６４４を通って偏波面がさらに４５°回転され
る。これにより、反射光は偏光ビームスプリッタ６４３
に対して偏波面が直交することになるので、偏光ビーム
スプリッタ６４３をそのまま通過して臨界角プリズム６
４６に入射する。ここで、臨界角プリズム６４６は図中
の角度θが臨界角となっているので、入射光は全反射す
ることになり、反射光は２分割センサ６４７に入射され
る。したがって、２分割センサ６４７の双方の受光面に
等しく光が入射され、被測定面が合焦位置にあることが
わかる。
【００３１】これに対し、被測定面が図中の点線のよう
に反射型ＡＦ装置６４から離れたときには、集光レンズ
６４５を通った後の反射光は集束光となり、この状態で
臨界角プリズム６４６に入射される。すると、臨界角プ
リズム６４６の反射面への入射光の入射角度は、片側で
は臨界角θ以上となり、反対側ではθ以下となるので、
臨界角θ以下の光のみが反射されて２分割センサ６４７
に検出される。このため、２分割センサ６４７の双方の
受光面での検出レベルを比較すれば、被測定面が離れた
ことが判明する。逆に、被測定面が焦点位置よりも接近
したときは、２分割センサ６４７の出力比は逆になるの
で、接近したことがわかる。これにより合焦検出が可能
となる。
に反射型ＡＦ装置６４から離れたときには、集光レンズ
６４５を通った後の反射光は集束光となり、この状態で
臨界角プリズム６４６に入射される。すると、臨界角プ
リズム６４６の反射面への入射光の入射角度は、片側で
は臨界角θ以上となり、反対側ではθ以下となるので、
臨界角θ以下の光のみが反射されて２分割センサ６４７
に検出される。このため、２分割センサ６４７の双方の
受光面での検出レベルを比較すれば、被測定面が離れた
ことが判明する。逆に、被測定面が焦点位置よりも接近
したときは、２分割センサ６４７の出力比は逆になるの
で、接近したことがわかる。これにより合焦検出が可能
となる。
【００３２】この臨界角法は、図５に実線で示すよう
に、光ファイバ４１への光源４０からの光の入射と同軸
方向から、合焦操作用の測定光を光コネクタ４の前端面
にある光ファイバ４１の端面に照射するものであるが、
この構成を採用するために、光路上には波長選択性のビ
ームスプリッタ６４０が設けられている。すなわち、ビ
ームスプリッタ６４０については、光源４０からの白色
光（実線）を透過し、反射型ＡＦ装置６４の光源６４１
からの赤外光（例えば波長８３０ｎｍ）は反射するよう
に構成する。これにより、ＣＣＤカメラ６３による撮像
と反射型ＡＦ装置６４による合焦操作が同時に実行でき
る。
に、光ファイバ４１への光源４０からの光の入射と同軸
方向から、合焦操作用の測定光を光コネクタ４の前端面
にある光ファイバ４１の端面に照射するものであるが、
この構成を採用するために、光路上には波長選択性のビ
ームスプリッタ６４０が設けられている。すなわち、ビ
ームスプリッタ６４０については、光源４０からの白色
光（実線）を透過し、反射型ＡＦ装置６４の光源６４１
からの赤外光（例えば波長８３０ｎｍ）は反射するよう
に構成する。これにより、ＣＣＤカメラ６３による撮像
と反射型ＡＦ装置６４による合焦操作が同時に実行でき
る。
【００３３】また、図５に一点鎖線で示すように、光源
６４８から光を斜軸方向に入射し、反射光をカメラ６４
９で撮像して合焦検出してもよい。すなわち、本発明で
は図４のような臨界角法のみならず、他の方式による合
焦検出、たとえばナイフエッジ法や非点収差法を用いる
ことも可能である。
６４８から光を斜軸方向に入射し、反射光をカメラ６４
９で撮像して合焦検出してもよい。すなわち、本発明で
は図４のような臨界角法のみならず、他の方式による合
焦検出、たとえばナイフエッジ法や非点収差法を用いる
ことも可能である。
【００３４】光ファイバ４１への入射光の波長すなわち
光源４０の発光波長については、特に制限はないが、光
ファイバ４１のカットオフ波長より長い波長の光である
ことが望ましい。すなわち、図６に示すように、カット
オフ波長より長いとシングルモードとなり、光ファイバ
４１からの出射光の強度分布はガウス分布（同図
（ａ））となるので、光ファイバ４１のコア中心位置が
正確に求まる。これに対し、カットオフ波長より短いと
同図（ｂ）のマルチモード型の光強度分布となる。しか
し、この場合であっても、反射型ＡＦ装置６４を用いて
正確に合焦させることにより、正確なコア中心の測定が
可能になる。
光源４０の発光波長については、特に制限はないが、光
ファイバ４１のカットオフ波長より長い波長の光である
ことが望ましい。すなわち、図６に示すように、カット
オフ波長より長いとシングルモードとなり、光ファイバ
４１からの出射光の強度分布はガウス分布（同図
（ａ））となるので、光ファイバ４１のコア中心位置が
正確に求まる。これに対し、カットオフ波長より短いと
同図（ｂ）のマルチモード型の光強度分布となる。しか
し、この場合であっても、反射型ＡＦ装置６４を用いて
正確に合焦させることにより、正確なコア中心の測定が
可能になる。
【００３５】光ファイバ４１のコア中心を求めるための
端面画像のエッジ検出は、図７（ａ）のように、端面の
パターンの輝度変化をＸ，Ｙ方向で調べて変化点すなわ
ちエッジを求め、このエッジの組み合わせから円のパタ
ーンを検出してもよいが、図７（ｂ），（ｃ）に示すよ
うにメモリ一括方式によって行なってもよい。すなわ
ち、光ファイバ４１からの出射光を複数の撮像範囲に別
けてＣＣＤカメラ６３で撮像し、画像処理装置９１に内
蔵されたフレームメモリに格納する。そして、図７
（ｃ）のようにエッジに対応するアドレスから、最小二
乗法により円の方程式を計算する。これにより、円の中
心すなわち光ファイバ４１のコア中心位置の座標が求ま
る。
端面画像のエッジ検出は、図７（ａ）のように、端面の
パターンの輝度変化をＸ，Ｙ方向で調べて変化点すなわ
ちエッジを求め、このエッジの組み合わせから円のパタ
ーンを検出してもよいが、図７（ｂ），（ｃ）に示すよ
うにメモリ一括方式によって行なってもよい。すなわ
ち、光ファイバ４１からの出射光を複数の撮像範囲に別
けてＣＣＤカメラ６３で撮像し、画像処理装置９１に内
蔵されたフレームメモリに格納する。そして、図７
（ｃ）のようにエッジに対応するアドレスから、最小二
乗法により円の方程式を計算する。これにより、円の中
心すなわち光ファイバ４１のコア中心位置の座標が求ま
る。
【００３６】次に、上記の装置を用いて実行される光フ
ァイバ整列状態の検査方法を説明する。図８はそのフロ
ーチャートである。まず、図１のように光コネクタ４を
回転ステージ５１の上面にセットし（ステップ１００
１）、Ｙ軸ステージ５２およびＸ軸ステージ５３を駆動
して光ファイバ４１に顕微鏡６２を位置合わせし、反射
型ＡＦ装置６４とＺ軸ステージ５４により合焦操作を行
なう（ステップ１００２）。次に、光源４０を点灯して
照明光を光ファイバ４１に投光し、ＣＣＤカメラ６３に
より出射光の撮像を行なう（ステップ１００３）。撮像
データが得られたら、これを画像処理装置９１のフレー
ムメモリに格納する。上記の操作は全ての光ファイバ４
１に対して行ない（ステップ１００４）、終了したら各
々の光ファイバ４１のコア中心位置の計算を行なう（ス
テップ１００５）。この場合の輪郭のパターン検出は、
図７（ｂ），（ｃ）に示した手法により行なう。
ァイバ整列状態の検査方法を説明する。図８はそのフロ
ーチャートである。まず、図１のように光コネクタ４を
回転ステージ５１の上面にセットし（ステップ１００
１）、Ｙ軸ステージ５２およびＸ軸ステージ５３を駆動
して光ファイバ４１に顕微鏡６２を位置合わせし、反射
型ＡＦ装置６４とＺ軸ステージ５４により合焦操作を行
なう（ステップ１００２）。次に、光源４０を点灯して
照明光を光ファイバ４１に投光し、ＣＣＤカメラ６３に
より出射光の撮像を行なう（ステップ１００３）。撮像
データが得られたら、これを画像処理装置９１のフレー
ムメモリに格納する。上記の操作は全ての光ファイバ４
１に対して行ない（ステップ１００４）、終了したら各
々の光ファイバ４１のコア中心位置の計算を行なう（ス
テップ１００５）。この場合の輪郭のパターン検出は、
図７（ｂ），（ｃ）に示した手法により行なう。
【００３７】以上のように、ステップ１００５までの操
作で光ファイバ４１のコア中心の実測位置が求まった
ら、求めた中心位置のうち、Ｘ方向（行方向）に配置さ
れた各光ファイバ４１の中心位置の平均位置、およびＹ
方向（列方向）に配置された各光ファイバ４１の中心位
置の平均位置を、各行および各列毎に求める（ステップ
１００６）。次に、各行および各列毎に各中心位置の平
均位置に対する各光ファイバ４１中心位置のバラツキを
標準偏差として求める（ステップ１００７）。すなわ
ち、以下のように求める。
作で光ファイバ４１のコア中心の実測位置が求まった
ら、求めた中心位置のうち、Ｘ方向（行方向）に配置さ
れた各光ファイバ４１の中心位置の平均位置、およびＹ
方向（列方向）に配置された各光ファイバ４１の中心位
置の平均位置を、各行および各列毎に求める（ステップ
１００６）。次に、各行および各列毎に各中心位置の平
均位置に対する各光ファイバ４１中心位置のバラツキを
標準偏差として求める（ステップ１００７）。すなわ
ち、以下のように求める。
【００３８】図９（ａ）は光コネクタ４を前端面から見
た正面図であり、同図（ｂ）はこの正面図において各光
ファイバ４１の中心位置の実測位置を一部拡大して示し
たものである。Ｘ方向およびＹ方向における中心位置の
各平均位置は、各方向ごとの実測値の和を位置数で割る
ことにより求まり、一点鎖線で示される。次に、これら
各平均位置と実測位置との差△ｘ，△ｙを求め、この差
から各行および各列毎に中心位置の標準偏差σを求め
る。
た正面図であり、同図（ｂ）はこの正面図において各光
ファイバ４１の中心位置の実測位置を一部拡大して示し
たものである。Ｘ方向およびＹ方向における中心位置の
各平均位置は、各方向ごとの実測値の和を位置数で割る
ことにより求まり、一点鎖線で示される。次に、これら
各平均位置と実測位置との差△ｘ，△ｙを求め、この差
から各行および各列毎に中心位置の標準偏差σを求め
る。
【００３９】次に、各光ファイバ４１の中心位置の実測
値とこの標準偏差σとを各行、各列毎に比較する（ステ
ップ１００８）。この比較の結果、実測値が平均位置を
中心とする標準偏差以内に入っていれば、その光ファイ
バ４１の整列状態は良好であると判定される（ステップ
１００９）。一方、実測値が平均位置を中心とする標準
偏差から外れている場合は、その光ファイバの整列状態
は良くないものと判定される（ステップ１０１０）。
値とこの標準偏差σとを各行、各列毎に比較する（ステ
ップ１００８）。この比較の結果、実測値が平均位置を
中心とする標準偏差以内に入っていれば、その光ファイ
バ４１の整列状態は良好であると判定される（ステップ
１００９）。一方、実測値が平均位置を中心とする標準
偏差から外れている場合は、その光ファイバの整列状態
は良くないものと判定される（ステップ１０１０）。
【００４０】光コネクタ４に固定配置された各光ファイ
バ４１の整列状態が以上のように検査されることによ
り、１：ｎ光スイッチにおける光切換時の調芯操作は誤
ることなく正確に行われる。
バ４１の整列状態が以上のように検査されることによ
り、１：ｎ光スイッチにおける光切換時の調芯操作は誤
ることなく正確に行われる。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、従来のように、ガイド
ピン穴の絶対位置を基準にすることなく、光導波路また
は光ファイバ相互の相対位置に基づき、光導波路または
光ファイバ中心位置の偏心状態を評価することが可能に
なる。従って、本発明によれば、従来の技術によっては
検査することができない多心光コネクタであっても、光
導波路整列状態を検査することが可能になる。また、本
発明により検査された光導波路は中心位置の偏心状態が
把握されているため、常に低損失で安定した製品が市場
に供給される。
ピン穴の絶対位置を基準にすることなく、光導波路また
は光ファイバ相互の相対位置に基づき、光導波路または
光ファイバ中心位置の偏心状態を評価することが可能に
なる。従って、本発明によれば、従来の技術によっては
検査することができない多心光コネクタであっても、光
導波路整列状態を検査することが可能になる。また、本
発明により検査された光導波路は中心位置の偏心状態が
把握されているため、常に低損失で安定した製品が市場
に供給される。
【図１】実施例の光ファイバ整列状態検査方法が適用さ
れる装置の斜視図である。
れる装置の斜視図である。
【図２】実施例の光ファイバ整列状態検査方法が適用さ
れる装置のブロック図である。
れる装置のブロック図である。
【図３】実施例に係るコネクタの斜視図である。
【図４】臨界角法による合焦検出の説明図である。
【図５】合焦検出の説明図である。
【図６】光ファイバからの出射光の強度分布図である。
【図７】中心位置検出の説明図である。
【図８】実施例に係る光ファイバ整列状態検査方法を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図９】実施例に係る光ファイバ整列状態検査方法を示
す光コネクタの図である。
す光コネクタの図である。
【図１０】実施例が適用される１：ｎ光スイッチ装置の
要部構成を示す断面図である。
要部構成を示す断面図である。
【図１１】実施例が適用される１：ｎ光スイッチ装置の
要部構成を示す斜視図である。
要部構成を示す斜視図である。
【図１２】マスタ側光ファイバの回転運動の説明図であ
る。
る。
【図１３】従来例を示す斜視図である。
４…光コネクタ、４０…光源、４１…光ファイバ、５１
…回転ステージ、５２…Ｙ軸ステージ、５３…Ｘ軸ステ
ージ、５４…Ｚ軸ステージ、６１…対物レンズ、６２…
顕微鏡、６３…ＣＣＤカメラ、６４…反射型ＡＦ装置、
８１…回転駆動機構、８２…Ｙ軸駆動機構、８３…Ｘ軸
駆動機構、８４…Ｚ軸駆動機構、８５…ステージドライ
バ、９１…画像処理装置、９２…画像ＡＦ装置、９３…
ＣＰＵ、９４…ＣＲＴ、６４１…光源、６４２…集光レ
ンズ、６４３…偏光ビームスプリッタ、６４４…１／４
波長板、６４５…集光レンズ、６４６…臨界角プリズ
ム、６４７…２分割センサ、６４０…ビームスプリッ
タ。
…回転ステージ、５２…Ｙ軸ステージ、５３…Ｘ軸ステ
ージ、５４…Ｚ軸ステージ、６１…対物レンズ、６２…
顕微鏡、６３…ＣＣＤカメラ、６４…反射型ＡＦ装置、
８１…回転駆動機構、８２…Ｙ軸駆動機構、８３…Ｘ軸
駆動機構、８４…Ｚ軸駆動機構、８５…ステージドライ
バ、９１…画像処理装置、９２…画像ＡＦ装置、９３…
ＣＰＵ、９４…ＣＲＴ、６４１…光源、６４２…集光レ
ンズ、６４３…偏光ビームスプリッタ、６４４…１／４
波長板、６４５…集光レンズ、６４６…臨界角プリズ
ム、６４７…２分割センサ、６４０…ビームスプリッ
タ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長沢 真二 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日本電信電話株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/24 G02B 6/26 G02B 26/08
Claims (6)
- 【請求項１】 一方の各端面が略同一平面において行お
よび列に整列して固定配置された複数のｎ側光導波路ま
たは光ファイバを有し、前記各端面に選択的に光結合す
るマスタ側光導波路または光ファイバに組み合わされて
光スイッチを構成する光コネクタを用意する第１ステッ
プと、 前記ｎ側光導波路または光ファイバの他方の端面側から
照明光を入射し、略同一平面に整列配置された前記一方
の端面側で出射光を撮像することにより、整列配置され
た前記ｎ側光導波路または光ファイバ各端面の中心位置
を求める第２ステップと、 この第２ステップで求めた中心位置のうち、行方向に配
置された前記ｎ側光導波路または光ファイバ各端面の中
心位置の平均位置および列方向に配置された前記ｎ側光
導波路または光ファイバ各端面の中心位置の平均位置を
各行および各列毎に求める第３ステップと、 この第３ステップで求めた端面の中心位置の各平均位置
から所定の範囲を越える位置に端面の中心が位置するｎ
側光導波路または光ファイバを不良と判定する第４ステ
ップとを備えた光導波路の整列状態検査方法。 - 【請求項２】 第４ステップにおいて、端面の中心位置
の平均位置から標準偏差の範囲を越える位置に端面の中
心が位置するｎ側光導波路または光ファイバを不良と判
定することを特徴とする請求項１記載の光導波路の整列
状態検査方法。 - 【請求項３】 第２ステップにおいて、ｎ側光導波路ま
たは光ファイバに入射する照明光の波長を、当該ｎ側光
導波路または光ファイバのカットオフ波長よりも長い波
長とすることを特徴とする請求項１または請求項２記載
の光導波路の整列状態検査方法。 - 【請求項４】 第２ステップにおいて、ｎ側光導波路ま
たは光ファイバからの出射光を撮像するための焦点合わ
せは、前記ｎ側光導波路または光ファイバの端面に同軸
または斜軸方向から投光して反射光を検出することによ
り行なうことを特徴とする請求項１または２記載の光導
波路の整列状態検査方法。 - 【請求項５】 第２ステップにおいて、ｎ側光導波路ま
たは光ファイバ各端面の中心位置は、当該ｎ側光導波路
または光ファイバからの出射光の撮像データを一括して
メモリに保存し、保存の後に撮像画面の明暗の境界を検
出することにより求めることを特徴とする請求項１また
は２記載の光導波路の整列状態検査方法。 - 【請求項６】 請求項１から請求項５のいずれか１項に
記載した光導波路の整列状態検査方法で検査した光導波
路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04294456A JP3078133B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 光導波路の整列状態検査方法および光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04294456A JP3078133B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 光導波路の整列状態検査方法および光導波路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148448A JPH06148448A (ja) | 1994-05-27 |
| JP3078133B2 true JP3078133B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=17808020
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04294456A Expired - Fee Related JP3078133B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 光導波路の整列状態検査方法および光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078133B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102192333B1 (ko) * | 2018-01-10 | 2020-12-18 | 앱티브 테크놀러지스 리미티드 | 가변적인 축방향 보조를 갖는 커넥터 어셈블리 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0572076B1 (en) * | 1992-05-25 | 1999-03-31 | De Hoop Terneuzen B.V. | Cement composition and method for the preparation thereof |
| US6831738B2 (en) * | 2001-06-26 | 2004-12-14 | Adc Telecommunications, Inc. | Method and apparatus for inspecting end surfaces on optical connectors |
| KR100480262B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-04-07 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 블럭 정렬 장치 |
| US7885311B2 (en) * | 2007-03-27 | 2011-02-08 | Imra America, Inc. | Beam stabilized fiber laser |
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| JP6185539B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2017-08-23 | アンリツ株式会社 | 光コネクタのフェルール端面検査装置および検査用のプログラム |
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1992
- 1992-11-02 JP JP04294456A patent/JP3078133B2/ja not_active Expired - Fee Related
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