JP3047025B2 - Ultrasonic motor - Google Patents
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電素子の圧電作用を用いて駆動力を発生す
る超音波モータに関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ultrasonic motor that generates a driving force by using a piezoelectric action of a piezoelectric element.
本発明は圧電素子の圧電作用を用いて駆動力を発生す
る超音波モータにおいて、圧電素子の少なくとも電極パ
ターンを有する実効部分をを円環形状とし、円環形状部
分の振動体の剛性よりも円環形状より内側の振動体の剛
性を小さくすることにより、超音波モータの小型化、性
能の安定化、高効率化の実現を可能にしたものである。The present invention relates to an ultrasonic motor that generates a driving force by using the piezoelectric action of a piezoelectric element. In the ultrasonic motor, at least an effective portion having an electrode pattern of the piezoelectric element is formed in a circular shape, and the rigidity of the vibrating body in the circular shape is more circular. By reducing the rigidity of the vibrating body inside the ring shape, it is possible to reduce the size of the ultrasonic motor, stabilize the performance, and realize high efficiency.
従来は、第12図に示すような構造の超音波モータが知
られていた。従来の超音波モータでは、支持板３の上に
設置された中心軸４に振動体１の中心部を固定支持し
た。そして、中心軸４を回転中心のガイドとして振動体
１の外周部に加圧接触する移動体５を設けた。また、移
動体５の加圧機構として加圧ばね６を中心軸上に座金８
及びストッパ９で固定されている。振動体１及び振動体
１に接着された圧電素子２は中心部に案内穴のみを有す
る円板形状をしている。この圧電素子２に高周波電圧を
印加することにより、振動体１にたわみ振動波を励振
し、振動体１との摩擦力を介して移動体５が回転する。
例えば特開昭63−305770号公報にこのような従来の構造
が開示されている。Conventionally, an ultrasonic motor having a structure as shown in FIG. 12 has been known. In the conventional ultrasonic motor, the central portion of the vibrating body 1 is fixedly supported on a central axis 4 provided on the support plate 3. Then, a moving body 5 that comes into pressure contact with the outer peripheral portion of the vibrating body 1 is provided using the center shaft 4 as a guide of the center of rotation. Further, a pressing spring 6 as a pressing mechanism of the moving body 5 is provided on a central axis with a washer 8.
And a stopper 9. The vibrating body 1 and the piezoelectric element 2 adhered to the vibrating body 1 have a disc shape having only a guide hole at the center. By applying a high-frequency voltage to the piezoelectric element 2, a flexural vibration wave is excited in the vibrating body 1, and the moving body 5 rotates through a frictional force with the vibrating body 1.
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 63-305770 discloses such a conventional structure.
第12図に示すような超音波モータにおいて、振動体の
径方向の振動モードが一次の場合と二次の場合を比較す
る。振動モードが一次の場合には共振周波数は二次の場
合のほぼ1/4となり、大きさで比較すると1/2程度の小型
化が図れる。すなわち、径方向一次のモードの使用は小
型化、低周波化にとって有利である。一次のモードでは
振動体の外周で振幅が最大となるとともに、駆動される
移動体側からは外周で回転力を得る方が高トルクとなる
ため、モータの効率を高めるためには振動体と移動体の
圧接部を外周に設けることが好ましいことになる。しか
し、第12図に示すごとく、振動体の外周で移動体を圧接
することにより、振動体の変形が押さ込まれて振動体の
内部ひずみの開放が行われなくなるため、振動子として
の十分な励振が得られず、結果としてモータの性能が低
下するという課題を有していた。In the ultrasonic motor as shown in FIG. 12, a comparison is made between the case where the radial vibration mode of the vibrating body is primary and the case where the vibration mode is secondary. When the vibration mode is primary, the resonance frequency is almost 1/4 that of the secondary mode, and the size can be reduced to about 1/2 in size. That is, the use of the primary mode in the radial direction is advantageous for miniaturization and low frequency. In the primary mode, the amplitude becomes maximum on the outer periphery of the vibrating body, and it is higher torque to obtain the rotational force from the driven moving body on the outer periphery. Is preferably provided on the outer periphery. However, as shown in FIG. 12, when the moving body is pressed against the outer periphery of the vibrating body, the deformation of the vibrating body is pushed and the internal strain of the vibrating body is not released. There was a problem that excitation could not be obtained, and as a result, the performance of the motor deteriorated.
そこで本発明の目的は上記のような課題を解決するた
め、モータの基本構造を変えないで小型かつ高効率の超
音波モータを得ることにある。Accordingly, an object of the present invention is to provide a small and highly efficient ultrasonic motor without changing the basic structure of the motor in order to solve the above-described problems.
上記課題を解決するために、本発明では圧電素子の少
なくとも電極パターンを有する実効部分を外周より一定
の巾を有する円環形状とし、円環形状部分の振動体の剛
性よりも円環形状より内側の振動体の剛性を小さくし、
この領域で振動体のひずみの開放を容易にして、振動子
としての十分な励振を得ることにより、超音波モータの
小型化、高効率化を可能にした。In order to solve the above problems, in the present invention, at least the effective portion having the electrode pattern of the piezoelectric element is formed in an annular shape having a certain width from the outer periphery, and the inner side of the annular shape is more rigid than the vibrator of the annular portion. The rigidity of the vibrating body
In this region, the strain of the vibrator can be easily released, and sufficient excitation as a vibrator can be obtained, thereby making it possible to reduce the size and efficiency of the ultrasonic motor.
上記のように構成された超音波モータでは、一次のモ
ードで振動する振動体が外周部で移動体の圧接を受けて
も、円環形状の内側の剛性の小さい部分でひずみが開放
されるため、振動子として十分な励振が得られる。また
前記のごとく一次モードの場合小型化、低周波化が可能
でさらに外周圧接のため高トルクが得られることにな
る。これにより小型で性能安定性が高く効率の高い超音
波モータが実現可能となる。In the ultrasonic motor configured as described above, even if the vibrating body that vibrates in the primary mode receives the pressure contact of the moving body at the outer peripheral portion, the strain is released in the small rigid portion inside the annular shape. As a result, sufficient excitation can be obtained as a vibrator. As described above, in the case of the primary mode, the size and the frequency can be reduced, and a high torque can be obtained due to the outer peripheral pressure welding. This makes it possible to realize an ultrasonic motor that is small, has high performance stability, and is highly efficient.
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明に係る超音波モータの第一実施例の図
である。振動体１は円板形状であり、外周の円環形状部
分の板厚T1は内側部分の板厚T2よりも厚くなってもり、
この円環形状部分に複数の突起1aを形成してある。圧電
素子２は振動体１の円環形状板厚部とほぼ同一形状であ
り、突起1aの反対側の面に接着等により接合されてい
る。振動体１は中心部分で支持板３に植立された中心軸
４に押し込み等により一体化されている。移動体５は中
心軸４を回転中心として軸支され、加圧ばね６により振
動体１の突起1aの上面に圧接している。圧電素子２の電
極パターンにはリード線７がはんだ付け等により接合さ
れている。FIG. 1 is a diagram of a first embodiment of an ultrasonic motor according to the present invention. The vibrating body 1 has a disk shape, and the plate thickness T 1 of the outer annular portion may be larger than the plate thickness T 2 of the inner portion.
A plurality of projections 1a are formed on this annular portion. The piezoelectric element 2 has substantially the same shape as the annular plate thickness portion of the vibrating body 1 and is bonded to the surface on the opposite side of the projection 1a by bonding or the like. The vibrating body 1 is integrated with a center shaft 4 planted on a support plate 3 at the center portion by pushing or the like. The moving body 5 is pivotally supported about the center axis 4 as a center of rotation, and is pressed against the upper surface of the projection 1 a of the vibrating body 1 by a pressure spring 6. Lead wires 7 are joined to the electrode patterns of the piezoelectric element 2 by soldering or the like.
リード線７を介して高周波電圧を圧電素子２に加える
ことにより、振動体１がたわみ振動波を発生し、振動体
１に圧接された移動体５が摩擦駆動により回転する。た
わみ振動波の振動モードには種々あるが、径方向二次の
モードに比べて一次のモードは共振周波数がほぼ1/4と
なり、周波数基準で比較すれば径は1/2程度となるた
め、小型化には一次のモードが有利である。第１図に示
す超音波モータも径方向一次のモードであるが、外周の
板厚T1の部分に比べて内側の板厚T2は薄いため、外周の
振幅最大部分を移動体１に圧接されても、内側の薄板部
の剛性が低いために、ひずみが開放され、十分な励振が
得られる。これにより小型で高効率で安定した性能の超
音波モータが実現可能となる。またたわみ振動波の方式
として進行波型と定在波型があるが、前記のような構成
であればどちらの場合でも効果は同じように得られる。By applying a high-frequency voltage to the piezoelectric element 2 through the lead wire 7, the vibrating body 1 generates a flexural vibration wave, and the moving body 5 pressed against the vibrating body 1 rotates by friction driving. Although there are various vibration modes of the flexural vibration wave, the resonance frequency of the primary mode is almost 1/4 compared to the radial secondary mode, and the diameter is about 1/2 when compared on a frequency basis, The primary mode is advantageous for miniaturization. Although the ultrasonic motor shown in FIG. 1 is also in the primary mode in the radial direction, the inner plate thickness T 2 is smaller than the outer plate thickness T 1 , so that the maximum amplitude portion of the outer periphery is pressed against the moving body 1. However, since the rigidity of the inner thin plate portion is low, the strain is released and sufficient excitation can be obtained. This makes it possible to realize a small, highly efficient, and stable performance ultrasonic motor. In addition, there are a traveling wave type and a standing wave type as a method of the flexural vibration wave, and the same effect can be obtained in either case with the above configuration.
第２図は本発明による第二実施例を示すもので振動体
１は円環形状で全面にわたり板厚みは一定であるが、外
周部に円環状の圧電素子２を接着等により接合されてお
り、円環部分に重なるところに複数の突起1aが形成され
ている。その他の構造については第一実施例と同様であ
る。この場合振動体１単体での剛性は均一であるが、圧
電素子２を合わせた振動子としての剛性は、圧電素子２
を接合した円環部分に比べて内側の部分の方が小さくな
り、より簡単な振動体の形状で第一実施例の場合と同様
の効果が得られる。FIG. 2 shows a second embodiment according to the present invention. The vibrating body 1 has an annular shape and the plate thickness is constant over the entire surface, but an annular piezoelectric element 2 is joined to the outer peripheral portion by bonding or the like. , A plurality of protrusions 1a are formed so as to overlap with the annular portion. Other structures are the same as in the first embodiment. In this case, the rigidity of the vibrator 1 alone is uniform, but the rigidity of the vibrator combined with the piezoelectric element 2 is
The inner portion is smaller than the annular portion where is joined, and the same effect as in the first embodiment can be obtained with a simpler vibrator shape.
第３図は本発明による第三実施例を示すもので振動体
１は円板形状である、外周の円環形状部分の板厚T1は内
側部分の板厚T2より厚くなっており、この円環形状部分
に複数の突起1aを形成してある。圧電素子２は円板形状
であり、振動体１の中心部に設けた突部1bで案内された
状態で接合されている。その他の構造については第一実
施例と同様である。この場合は圧電素子２が全面に接合
されている分だけ円環部と内側の剛性の差が小さくなる
が、振動体１の厚みが異なるので内側の剛性は小さく、
第一実施例と同様の効果を有する。また圧電素子２が円
板状であるため圧電素子自体の剛性が高く取扱いが容易
であり、振動体１の中心に設けた突部1bで案内ができる
ため接着等の作業性が向上するなどの効果を有する。FIG. 3 shows a third embodiment according to the present invention, in which the vibrating body 1 has a disk shape, and the thickness T 1 of the outer annular portion is larger than the thickness T 2 of the inner portion. A plurality of projections 1a are formed on this annular portion. The piezoelectric element 2 has a disc shape, and is joined while being guided by a protrusion 1b provided at the center of the vibrating body 1. Other structures are the same as in the first embodiment. In this case, the difference in rigidity between the annular portion and the inside is reduced by the amount of the piezoelectric element 2 joined to the entire surface, but the rigidity inside is small because the thickness of the vibrating body 1 is different.
It has the same effect as the first embodiment. Further, since the piezoelectric element 2 has a disc shape, the rigidity of the piezoelectric element itself is high and handling is easy, and workability such as bonding can be improved since the piezoelectric element 2 can be guided by the protrusion 1b provided at the center of the vibrating body 1. Has an effect.
第４図は本発明による第四実施例を示すもので、振動
体１は円板形状であり、外周の円環形状部分の板厚T1は
内側部分の板厚T2よりも厚くなっており、この円環形状
部分に複数の突起1aを形成してある。圧電素子２は円板
形状であり、振動体１の中心部に設けた突部1bで案内さ
れた状態で接合されている。圧電素子２の電極パターン
2aは振動体１の円環状厚板部に対応した部分にのみ形成
され、円環の内側の部分は電極パターンが設けられてい
ない。その他の構造については第一実施例と同様であ
る。この場合振動体１の剛性が内側で小さくなるため第
四実施例と同様の効果を有するが、剛性が小さくひずみ
が容易に開放される内側部分には電極パターンを設けて
いないため、出力／入力の比率が向上し、より効率の高
い超音波モータが実現できる。また第三実施例及び第四
実施例における振動体１の突部1bは必ずしも必要なもの
ではなく、単なる平面でも何ら問題はない。FIG. 4 shows a fourth embodiment according to the present invention, in which the vibrating body 1 has a disk shape, and the thickness T 1 of the outer annular portion is larger than the thickness T 2 of the inner portion. In addition, a plurality of protrusions 1a are formed on the annular portion. The piezoelectric element 2 has a disc shape, and is joined while being guided by a protrusion 1b provided at the center of the vibrating body 1. Electrode pattern of piezoelectric element 2
2a is formed only in a portion corresponding to the annular thick plate portion of the vibrating body 1, and no electrode pattern is provided in a portion inside the annular shape. Other structures are the same as in the first embodiment. In this case, the rigidity of the vibrating body 1 is reduced on the inner side, so that the same effect as in the fourth embodiment is obtained. However, since no electrode pattern is provided on the inner side where the rigidity is small and the strain is easily released, the output / input is reduced. Is improved, and a more efficient ultrasonic motor can be realized. Further, the protrusion 1b of the vibrating body 1 in the third and fourth embodiments is not always necessary, and there is no problem even if it is a simple plane.
第５図は本発明による第五実施例を示すもので、振動
体１は円板形状であり、外周の円環形状部分の板厚T1は
中心部分の板厚T2よりも厚く、その中間部分は内側から
外側に向かって除々に厚くなっており、外周部分に複数
の突起1aが形成されている。圧電素子２は振動体１の外
周に沿う円環形状で、突起1aの反対側の面に接合されて
いる。その他の構造については第一実施例と同様であ
る。振動体１の内側の板厚を薄くすることにより、剛性
が小さくなりひずみの開放が容易となるが、全体構造と
しての剛性も低下してしまう。これに対し、一次の振動
モードの場合には中心部でひずみが最大になるという特
性を生かして、中心部ほど薄くし外周部ほど厚くするこ
とで、全体の剛性を保ちつつ内部ひずみの開放を効率的
に行うことができるという効果を有する。FIG. 5 shows a fifth embodiment according to the present invention, in which the vibrating body 1 has a disk shape, and the thickness T 1 of the outer annular portion is larger than the thickness T 2 of the central portion. The middle portion is gradually thicker from the inside to the outside, and a plurality of protrusions 1a are formed on the outer peripheral portion. The piezoelectric element 2 has an annular shape along the outer periphery of the vibrating body 1 and is joined to the surface on the opposite side of the projection 1a. Other structures are the same as in the first embodiment. By reducing the thickness of the plate inside the vibrating body 1, rigidity is reduced and strain is easily released, but rigidity of the entire structure is also reduced. On the other hand, in the case of the primary vibration mode, taking advantage of the characteristic that the strain is maximized at the center, the thickness is made thinner at the center and thicker at the outer periphery to release the internal strain while maintaining the overall rigidity. This has the effect that it can be performed efficiently.
第６図は本発明による第六実施例を示すもので、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。振動体１は円
板形状で、外周部には円環状に等間隔に複数の突起1aを
配置し、円環の内側部分は中心から放射状に伸びる複数
のスリット1cが周方向に対し等間隔に設けられている。
圧電素子２は振動体１の突起1aの配置部とほぼ同一の円
環形状であり、突起1aの反対側の面に接合されている。
圧電素子２の電極パターン2a及び2bはあらかじめ12分割
された電極パターンを形成後、図示のごとく（＋）又は
（−）方向に分極処理を施し、その後ひとつおきに電極
パターンで結線するように形成したものであり、それぞ
れ二本のリード線7a、7bがはんだ付け等により接合され
ている。その他の構造については第一実施例と同様であ
る。ここでリード線7a,7bを介して90°位相の異なる高
周波電圧を電極パターン2a,2bに印加することにより、
周方向に３つの山を有するたわみ進行波が発生し、振動
体１の突起1aに圧接された移動体５が回転する。この場
合は進行波方式であり、たわみが円周方向に進行してい
くため、円周方向に均一性を保つことが望ましいため、
剛性を小さくするためのスリット1cは等間隔で且つでき
る限り多く設けることが効果的である。このようなスリ
ット方式は例えば振動体１の板厚が薄く、内側の部分を
さらに薄くすることが困難な場合などに、剛性を小さく
する手段として有効である。これにより第一実施例と同
様の効果が得られる。FIG. 6 shows a sixth embodiment according to the present invention.
(A) is a plan view and (B) is a sectional view. The vibrating body 1 has a disk shape, and a plurality of protrusions 1a are arranged at regular intervals in an annular shape on an outer peripheral portion. Is provided.
The piezoelectric element 2 has substantially the same annular shape as the portion on which the protrusion 1a of the vibrating body 1 is arranged, and is joined to the surface on the opposite side of the protrusion 1a.
The electrode patterns 2a and 2b of the piezoelectric element 2 are formed by forming electrode patterns divided into 12 in advance, performing a polarization process in the (+) or (-) direction as shown in the drawing, and thereafter connecting every other electrode pattern. The two lead wires 7a and 7b are respectively joined by soldering or the like. Other structures are the same as in the first embodiment. Here, by applying high-frequency voltages having a phase difference of 90 ° to the electrode patterns 2a and 2b through the lead wires 7a and 7b,
A bending traveling wave having three peaks in the circumferential direction is generated, and the moving body 5 pressed against the protrusion 1a of the vibrating body 1 rotates. In this case, the traveling wave method is used, and since the deflection proceeds in the circumferential direction, it is desirable to maintain uniformity in the circumferential direction.
It is effective that slits 1c for reducing rigidity are provided at equal intervals and as much as possible. Such a slit method is effective as a means for reducing rigidity, for example, when the thickness of the vibrating body 1 is small and it is difficult to further reduce the inner portion. Thereby, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
第７図は本発明による第七実施例を示すもので、振動
体１は円板形状で、外周部には円環形状の圧電素子２が
接合されている。圧電素子の電極パターン2aは４分割さ
れ、それぞれ図示のごとく分極処理されている。振動体
１の圧電素子接合と反対側の面には、圧電素子２の円環
形状と重なる部分に電極パターンとは図示するような角
度で等間隔に４本の突起1aが設けられ、さらに円環の内
側部分には圧電素子の電極パターンの境界線と一致する
角度に、中心から放射状に伸びる４本のスリットが形成
されている。その他の構造については第一実施例と同様
である。ここで電極パターン2aに高周波電圧を印加する
と、周方向に２つの山を有するたわみ定在波が発生し、
振動体１の突起1aに圧接された移動体５が回転する。こ
の場合は定在波方式であり、電極パターン2aの境界線の
部分が節の部分となり、この付近で応力が集中するた
め、この境界線の近傍でしかも内側部分にスリットを設
けることによりひずみの開放が行われ、第一実施例と同
様の効果が得られることになる。FIG. 7 shows a seventh embodiment according to the present invention, in which a vibrating body 1 has a disk shape and an annular piezoelectric element 2 is joined to an outer peripheral portion. The electrode pattern 2a of the piezoelectric element is divided into four parts, each of which is polarized as shown. On the surface of the vibrating body 1 on the side opposite to the piezoelectric element junction, four projections 1a are provided at equal intervals with the electrode pattern at a portion overlapping with the annular shape of the piezoelectric element 2, and furthermore, a circle is formed. Four slits extending radially from the center are formed in the inner part of the ring at an angle coincident with the boundary of the electrode pattern of the piezoelectric element. Other structures are the same as in the first embodiment. When a high-frequency voltage is applied to the electrode pattern 2a, a bending standing wave having two peaks in the circumferential direction is generated,
The moving body 5 pressed against the projection 1a of the vibrating body 1 rotates. In this case, the standing wave method is used, and the boundary portion of the electrode pattern 2a becomes a node portion, and stress concentrates in the vicinity thereof. Opening is performed, and the same effect as in the first embodiment can be obtained.
第８図は本発明による第八実施例を示すもので、円周
方向三次のモードの２つの波を1/4波長ずらして重ねた
もので、それぞれのモードを発生させる電極パターンの
境界線上で外周に沿う円環部分に突起1aを設け、円環の
内側部分にはスリット1cを設けたものである。この場合
についても圧電素子電極パターンの境界線上で応力が集
中するため、ここにスリット1cを設けることにより、ひ
ずみが開放されるため一実施例と同様の効果が得られ
る。FIG. 8 shows an eighth embodiment according to the present invention, in which two waves of a tertiary mode in the circumferential direction are superimposed with a shift of / 4 wavelength, and are overlapped on the boundary of an electrode pattern for generating each mode. A projection 1a is provided on an annular portion along the outer circumference, and a slit 1c is provided on an inner portion of the annular shape. Also in this case, since stress concentrates on the boundary line of the piezoelectric element electrode pattern, by providing the slit 1c here, the strain is released, and the same effect as in the embodiment can be obtained.
第５図乃至第８図の場合には圧電素子２は円環形状の
ものを用いているが、第３図及び第４図の場合のように
円板形状のものを用いた場合でも同様の効果が得られる
ものであり、さらに円板形状としての効果が得られるこ
とは言うまでもない。5 to 8, the piezoelectric element 2 has a ring shape. However, the same applies to the case where a disk shape is used as in the case of FIGS. 3 and 4. It is needless to say that the effect can be obtained, and further the effect as a disk shape can be obtained.
第９図、第10図、第11図は本発明による第九実施例、
第十実施例、第十一実施例を示すもので、それぞれ第６
図、第７図、第８図の場合とほぼ同様であるが、振動体
１のスリット1cの代わりに扇形の窓1bを設けて剛性を低
下させたものである。FIGS. 9, 10, and 11 show a ninth embodiment according to the present invention.
This shows the tenth embodiment and the eleventh embodiment.
7 and FIG. 8, except that a fan-shaped window 1b is provided in place of the slit 1c of the vibrating body 1 to reduce rigidity.
本発明は以上説明したように、円板型の振動体に対し
て圧電素子の少なくとも電極パターンを有する実効部分
は振動体の外周に沿う円環形状とし、円環形状部分の振
動体の剛性よりも円環形状より内側の振動体の剛性を小
さくすることにより、振動体の外周部で移動体を圧接し
ても振動体中心部のひずみの開放が容易なために十分な
励振が得られる。この結果として小型で性能が安定し、
効率の高い超音波モータが実現できるという効果を有す
る。As described above, in the present invention, the effective portion having at least the electrode pattern of the piezoelectric element with respect to the disk-shaped vibrator is formed in an annular shape along the outer periphery of the vibrator, and the rigidity of the vibrator in the annular shape portion Also, by reducing the rigidity of the vibrating body on the inner side of the ring shape, even when the moving body is pressed against the outer peripheral portion of the vibrating body, sufficient excitation can be obtained because the strain at the center of the vibrating body is easily released. As a result, performance is stable with small size,
This has the effect that an ultrasonic motor with high efficiency can be realized.
第１図は本発明による第一実施例、第２図は第二実施
例、第３図は第三実施例、第４図は第四実施例、第５図
は第五実施例、第６図は第六実施例、第７図は第七実施
例、第８図は第八実施例、第９図は第九実施例、第10図
は第十実施例 第11図は第十一実施例を示す図で、第12
図は従来の超音波モータを示す図である。 １…振動体 ２…圧電素子 ３…支持板 ４…中心軸 ５…移動体 ６…加圧ばね ７…リード線 ８…座金 ９…ストッパ1 is a first embodiment, FIG. 2 is a second embodiment, FIG. 3 is a third embodiment, FIG. 4 is a fourth embodiment, FIG. 5 is a fifth embodiment, FIG. Fig. 6 shows the sixth embodiment, Fig. 7 shows the seventh embodiment, Fig. 8 shows the eighth embodiment, Fig. 9 shows the ninth embodiment, Fig. 10 shows the tenth embodiment, and Fig. 11 shows the eleventh embodiment. FIG. 12 shows an example.
FIG. 1 shows a conventional ultrasonic motor. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vibration body 2 ... Piezoelectric element 3 ... Support plate 4 ... Center axis 5 ... Moving body 6 ... Pressure spring 7 ... Lead wire 8 ... Washer 9 ... Stopper
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−41677（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−206883（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−123491（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−33595（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-41677 (JP, A) JP-A-1-206883 (JP, A) JP-A-1-1233491 (JP, U) JP-A-2-204 33595 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H02N 2/00
Claims (3)
記圧電素子の圧電作用により振動波を発生する振動体
と、前記振動体に設けられた複数の突起と、前記突起に
摩擦接触する移動体とを有し、前記振動体の剛性は外径
部分に対して内径部分が小さい超音波モータにおいて、 前記圧電素子を接合する前記振動体の面は、平面であ
り、 前記圧電素子は円板形状で、振動体全面にわたって配置
されていることを特徴とする超音波モータ。A vibrating body that is constituted by at least a piezoelectric element and generates a vibration wave by a piezoelectric action of the piezoelectric element; a plurality of protrusions provided on the vibrating body; and a moving body that frictionally contacts the protrusion. In the ultrasonic motor, the rigidity of the vibrating body is such that the inner diameter portion is smaller than the outer diameter portion, wherein the surface of the vibrating body joining the piezoelectric element is a flat surface, and the piezoelectric element has a disc shape, An ultrasonic motor, wherein the ultrasonic motor is disposed over the entire surface of the vibrating body.
記圧電素子の圧電作用により振動波を発生する振動体
と、前記振動体に摩擦接触する移動体とを有し、前記振
動体の剛性は外径部分に対して内径部分が小さい超音波
モータにおいて、 前記振動体の内径部分には放射状に複数のスリットが形
成されていることを特徴とする超音波モータ。2. A vibrating body constituted by at least a piezoelectric element and generating a vibration wave by a piezoelectric action of the piezoelectric element, and a moving body that comes into frictional contact with the vibrating body, and the rigidity of the vibrating body is an outer diameter. An ultrasonic motor having an inner diameter portion smaller than a portion, wherein a plurality of slits are radially formed in the inner diameter portion of the vibrator.
記圧電素子の圧電作用により振動波を発生する振動体
と、前記振動体に摩擦接触する移動体とを有し、前記振
動体の剛性は外径部分に対して内径部分が小さい超音波
モータにおいて、 前記圧電素子は円板形状で、振動体全面にわたって配置
されており、前記振動体の剛性が大きな外径部分に配置
されている圧電素子の部分にのみ、駆動信号を印加する
電極が設けられていることを特徴とする超音波モータ。3. A vibrating body constituted by at least a piezoelectric element and generating a vibration wave by a piezoelectric action of the piezoelectric element, and a moving body in frictional contact with the vibrating body, and the rigidity of the vibrating body is an outer diameter. In an ultrasonic motor having an inner diameter portion smaller than that of the portion, the piezoelectric element has a disk shape and is disposed over the entire surface of the vibrating body, and a portion of the piezoelectric element disposed at an outer diameter portion where the rigidity of the vibrating body is large. And an electrode for applying a drive signal is provided only to the ultrasonic motor.
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