JP3046261B2 - Whetstone dresser and pellets used for it - Google Patents
Whetstone dresser and pellets used for itInfo
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 title claims description 62
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 10
- 239000004575 stone Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、平面研磨機の砥石
の目立てを行うドレッサ及びそのドレッサに使用される
ペレットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dresser for sharpening a grindstone of a plane polishing machine and a pellet used for the dresser.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コンピュータ用の磁気ディスク等は、記
憶容量の増加等の観点から、精度の高い平坦度が要求さ
れるため、基板の表面を研磨して、基板材製造時に生じ
た表面の凹凸等を消去している。2. Description of the Related Art A magnetic disk for a computer or the like is required to have a high degree of flatness from the viewpoint of an increase in storage capacity and the like. Etc. are erased.
【０００３】この磁気ディスクの表面研磨には、平面研
磨機が使用され、ＰＶＡ等の樹脂に砥粒を混ぜた複数個
の扇状の砥石片を円盤上に配置して構成された砥石によ
り、対象ワークを研磨している。A surface grinder is used for polishing the surface of the magnetic disk, and a plurality of fan-shaped grindstone pieces in which abrasive grains are mixed with a resin such as PVA are arranged on a disk. The work is being polished.
【０００４】そして、砥石面の平坦度が劣化した場合及
び砥粒の脱落が多くなった場合は、対象ワークの平坦度
等に悪影響を与えるため、砥石のドレッシング（目立
て）を行う。この砥石のドレッシングは、従来、図５に
示すように、外周にギヤ８を有する円盤状修正キャリヤ
９の周縁部に多数の円柱状ペレット６を配置し、この修
正キャリア９を研磨機のインナギヤとアウタギヤとの間
に、ギヤ８と、インナギヤ及びアウタギヤとを噛み合わ
せて配置する。そして、インナーギヤを回転駆動するこ
とにより、砥石にペレット６を押圧した状態で、ペレッ
トをインナーギヤ及びアウタギヤの中心を回転中心とし
て公転させながら、自転させて、砥石の表面を研磨し、
砥石の平坦度を出し、砥石表面に新しい面を出して目立
てを行う。[0004] When the flatness of the grinding wheel surface is deteriorated and when the abrasive grains are dropped off, the flatness of the target work is adversely affected. Therefore, dressing of the grinding wheel is performed. Conventionally, as shown in FIG. 5 , a large number of cylindrical pellets 6 are arranged on the periphery of a disk-shaped correction carrier 9 having a gear 8 on the outer periphery, and this correction carrier 9 is used for dressing of the grinding wheel with an inner gear of a polishing machine. The gear 8, the inner gear and the outer gear are meshed and arranged between the outer gear. Then, by rotating the inner gear, the pellet 6 revolves around the center of the inner gear and the outer gear while the pellet 6 is pressed against the grindstone.
The flatness of the whetstone is set, and a new surface is set on the whetstone surface for sharpening.
【０００５】この砥石のドレッシングにおいて平坦度を
高めるためには、ペレットが重要なファクターである。
そこで、従来、ペレットの配置及び数を適正化すること
により、砥石の平坦度をあげる技術が開示されている
（特開平３−１９７６９）。[0005] Pellet is an important factor in improving the flatness in the dressing of the grinding stone.
In view of the above, there has been disclosed a technique for improving the flatness of a grindstone by optimizing the arrangement and number of pellets (Japanese Patent Laid-Open No. 3-19769).
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術のように円柱状のペレットを多数配置して砥石を研磨
する場合は、ペレットの配置をどのように工夫しても、
各ペレット間の公転の軌跡が相違するため、砥石表面に
は多少の凹凸がどうしても残ってしまう。However, when a large number of cylindrical pellets are arranged and a grindstone is polished as in the prior art, no matter how the arrangement of the pellets is devised,
Since the orbits of the pellets are different from each other, some irregularities remain on the grindstone surface.
【０００７】この凹凸は、砥石の表面を観察しても認め
られないが、ドレッシング後の砥石を使用してワークを
研磨すると、その凹凸がワークに転写されて如実に出現
する。[0007] These irregularities are not observed even when the surface of the grindstone is observed, but when the work is polished using the grindstone after dressing, the irregularities are transferred to the work and appear as if they were.
【０００８】例えば、ワークが磁気ディスク基板のよう
な厳しい平坦度が要求されるものの場合には、このよう
な凹凸が砥石表面に残ると、後工程において磁気ディス
ク表面にメッキをしても凹凸が残り、磁気ディスクの使
用の過程でヘッドクラッシュが生じるなど、致命的な欠
陥となる可能性がある。For example, in the case where a work requires a strict flatness such as a magnetic disk substrate, if such unevenness remains on the surface of the grindstone, the unevenness will be produced even if the magnetic disk surface is plated in a later process. There is a possibility that a fatal defect such as a head crash during the use of the magnetic disk may occur.
【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、砥石の表面を高平坦度でドレッシングする
ことができ、磁気ディスク基板の表面に凹凸を残すこと
がないように砥石を再生することができる砥石のドレッ
サ及びそれに使用するペレットを提供することを目的と
する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to dress a grinding wheel with a high degree of flatness and to regenerate the grinding wheel without leaving irregularities on the surface of a magnetic disk substrate. It is an object of the present invention to provide a dresser for a grindstone and a pellet used for the dresser.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明に係る砥石のドレ
ッサは、砥石の目立て用ペレットを備えた修正キャリア
を、目立てすべき砥石の表面上に押圧しつつ、この砥石
に対して相対的に公転移動させると共に自転運動させて
前記砥石の目立てをする磁気ディスク研磨用砥石のドレ
ッサにおいて、前記ペレットは前記修正キャリアの自転
中心と中心が一致する１個のリング状をなし、前記ペレ
ットの外径Ｄは前記修正キャリアの公転移動域における
砥石の幅Ｌよりも大きく、前記ペレットの幅ｗは外径Ｄ
の３乃至５％であることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION A dresser for a grindstone according to the present invention is configured such that a correction carrier provided with pellets for sharpening the grindstone is pressed against the surface of the grindstone to be sharpened, and is fixed relative to the grindstone. in the dresser of the magnetic disk polishing grindstone for dressing the grinding wheel by rotation motion with revolving movement, the pellet to name a single ring shape rotation center and the center of the modified carrier match, the Perret
The outer diameter D of the cut is in the revolving range of the correction carrier.
The width w of the pellet is larger than the width L of the grinding stone and the outer diameter D
3 to 5% of the above.
【００１１】[0011]
【００１２】[0012]
【００１３】本発明に係る砥石ドレッサ用ペレットは、
砥石の表面上に押圧され、砥石に対して相対的に公転移
動すると共に、自転移動して砥石の目立てをする磁気デ
ィスク研磨用砥石ドレッサ用ペレットにおいて、修正キ
ャリアに１個取り付けられてリング状をなし、外径Ｄは
その公転移動域における前記砥石の幅Ｌよりも大きく、
その幅ｗは外径Ｄの３乃至５％であることを特徴とす
る。The pellet for a grinding wheel dresser according to the present invention comprises:
A magnetic device that is pressed against the surface of the grindstone and revolves relatively to the grindstone, and rotates to sharpen the grindstone.
In Pellet disk polishing wheel dresser, one attached to to name a ring corrected carrier, the outer diameter D is
Greater than the width L of the whetstone in its orbital movement area,
The width w is 3 to 5% of the outer diameter D.
【００１４】[0014]
【００１５】本発明においては、ペレットが１個のリン
グ状をなしており、好ましくはその外径Ｄがその公転移
動域における前記砥石の幅Ｌよりも大きいため、ペレッ
ト全体が砥石を研磨する。このため、ペレットにより、
砥石を均一に研磨することができ、その平坦度が極めて
高い。In the present invention, since the pellet has a single ring shape and its outer diameter D is preferably larger than the width L of the grinding wheel in its orbital movement range, the entire pellet polishes the grinding wheel. For this reason, the pellet
The grindstone can be polished uniformly and its flatness is extremely high.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】次に、添付の図面を参照して本発
明の実施例について説明する。図１は本発明の実施例に
係るドレッサの修正キャリア及びリング状ペレットを示
す図、図２は同じく本発明の実施例に係る平面研磨用ド
レッサの概略を示す斜視図である。また、図３は同じく
その砥石の配置を示す斜視図、図４はドレッサの平面図
である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a diagram showing a modified carrier and a ring-shaped pellet of a dresser according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view schematically showing a dresser for planar polishing according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective view showing the arrangement of the grindstone, and FIG. 4 is a plan view of the dresser.
【００１７】ドレッサの下定盤７ｂには、図３に示すよ
うに、複数個の砥石片３が円周に沿って配置されてい
る。各砥石片３は扇形をなし、円周方向に配置されて中
心部に孔を有する円板状をなす砥石が構成される。な
お、この各砥石片３の半径方向の幅をＬとする。As shown in FIG. 3, a plurality of grindstone pieces 3 are arranged along the circumference of the lower platen 7b of the dresser. Each grindstone piece 3 has a fan shape, and is arranged in the circumferential direction to constitute a disc-shaped grindstone having a hole at the center. In addition, let the width | variety of the radial direction of each said grindstone piece 3 be L.
【００１８】下定盤７ｂの内周面にはアウタギヤ５が形
成されており、このアウタギヤ５の中心と同軸的にイン
ナギヤ４が配置されている。このインナギヤ４は砥石の
中心孔を挿通する軸の上端部に固定されており、この軸
を適宜の駆動手段により駆動することにより、インナギ
ヤ４が回転駆動される。An outer gear 5 is formed on the inner peripheral surface of the lower platen 7b, and the inner gear 4 is disposed coaxially with the center of the outer gear 5. The inner gear 4 is fixed to the upper end of a shaft that passes through the center hole of the grindstone, and the inner gear 4 is rotationally driven by driving the shaft by an appropriate driving unit.
【００１９】砥石の表面上には、インナギヤ４とアウタ
ギヤ５との間に、図１に示す修正キャリア２が配置され
る。この修正キャリア２はその外周縁部にギヤ１ａが形
成されており、このギヤ１ａをインナギヤ４及びアウタ
ギヤ５に噛合させて配置されている。The correction carrier 2 shown in FIG. 1 is arranged between the inner gear 4 and the outer gear 5 on the surface of the grindstone. The correction carrier 2 has a gear 1a formed on an outer peripheral edge thereof, and the gear 1a is arranged so as to mesh with the inner gear 4 and the outer gear 5.
【００２０】この修正キャリア２には、その外径よりも
若干小さい外径Ｄを有する１個のリング状ペレット１が
修正キャリア２とその中心同士を一致させて設けられて
いる。このリング状ペレット１の外径Ｄは図３に示す砥
石の半径方向の幅Ｌよりも大きい。また、リング状ペレ
ット１の幅ｗは、好ましくは外径Ｄの２乃至１０％、更
に好ましくは外径Ｄの３乃至５％である。The correction carrier 2 is provided with one ring-shaped pellet 1 having an outer diameter D slightly smaller than the outer diameter of the correction carrier 2 so that the center of the ring-shaped pellet 1 coincides with that of the correction carrier 2. The outer diameter D of the ring-shaped pellet 1 is larger than the radial width L of the grindstone shown in FIG. The width w of the ring-shaped pellet 1 is preferably 2 to 10% of the outer diameter D, more preferably 3 to 5% of the outer diameter D.
【００２１】このべレット１が配置された修正キャリア
２を砥石３上に配置した後、上定盤７ａを下定盤７ｂ上
に載置する。これにより、ペレット１が上定盤７ａの重
力により砥石３に押圧される。After the correction carrier 2 on which the beret 1 is placed is placed on the grindstone 3, the upper platen 7a is placed on the lower platen 7b. Thereby, the pellet 1 is pressed against the grindstone 3 by the gravity of the upper platen 7a.
【００２２】次に、上述のように構成された砥石のドレ
ッサの動作について説明する。修正キャリア２及び上定
盤７ａをセットした後、インナギヤ４を回転駆動する
と、このインナギヤ４及びアウタギヤ５に外縁部のギヤ
が噛合された修正キャリア２が自転運動すると共に、イ
ンナギヤ４の回転中心の周りに公転移動する。この場合
に、修正キャリア２のリング状ペレット１は上定盤７ａ
により砥石３に対して押圧されているので、ペレット１
の公転移動及び自転運動により、ペレット１が砥石３の
表面を削り取る。Next, the operation of the dresser of the grinding wheel configured as described above will be described. When the inner gear 4 is rotationally driven after setting the correction carrier 2 and the upper stool 7a, the correction carrier 2 in which the outer edge gear is meshed with the inner gear 4 and the outer gear 5 rotates, and the rotation center of the inner gear 4 rotates. Revolve around . In the case of this, a ring-shaped pellet 1 of the modified carrier 2 the upper surface plate 7a
Is pressed against the grindstone 3 by the pellet 1
The pellet 1 scrapes off the surface of the grindstone 3 due to the revolving movement and the rotation movement of.
【００２３】図５に示す従来の円柱型ペレットでは、ペ
レット１個毎に均一に力をかけることができず、またペ
レットの削り跡の軌跡を他の円柱状ペレットでなぞって
も、ペレットの径が小さいため、完全に凹凸を消し去る
ことができなかった。しかし、本発明のように、リング
型のペレット１により、砥石表面を研削することによ
り、リングが砥石全体を連続的にかつ均一になぞってい
くため、凹凸がなく平坦度が優れたドレッシング表面を
得ることができる。In the conventional columnar pellet shown in FIG. 5, a force cannot be applied uniformly to each pellet, and even if the trace of the cutting trace of the pellet is traced by another columnar pellet, the diameter of the pellet cannot be reduced. Was small, so that the irregularities could not be completely eliminated. However, as in the present invention, by grinding the grindstone surface with the ring-shaped pellet 1, the ring traces the entire grindstone continuously and uniformly, so that the dressing surface has no unevenness and excellent flatness. Obtainable.
【００２４】この場合に、リング状ペレット１の外径Ｄ
を砥石３の半径方向の幅Ｌよりも大きくしているので、
砥石３はその表面の全ての領域でペレット１に対してほ
ぼ同一の位置関係で研削されるので、凹凸の生成が確実
に防止される。In this case, the outer diameter D of the ring-shaped pellet 1
Is larger than the radial width L of the grindstone 3,
Since the grindstone 3 is ground in substantially the same positional relationship with respect to the pellet 1 in all regions of the surface, the generation of unevenness is reliably prevented.
【００２５】ペレット１の幅ｗはその外径Ｄの２〜１０
％とすることが望ましい。２％より小さくなると面圧が
あがりすぎて、ドレッシング終了時にドレッサが停止し
たときに研磨跡かできやすくなる。−方、幅ｗが外径Ｄ
の１０％を超えると、均一な圧下力のコントロールが難
しくなるため、砥石の平坦度が低下してくる。このた
め、ペレット１の幅ｗを砥石の外径Ｄの２乃至１０％に
するが、これを３乃至５％にすることにより、面圧及び
圧下力をより一層適切なものにすることができる。The width w of the pellet 1 is 2 to 10 of its outer diameter D.
% Is desirable. If it is less than 2%, the surface pressure becomes too high, so that when the dresser stops at the end of dressing, it is easy to form polishing marks. −, Width w is outer diameter D
If it exceeds 10%, uniform control of the rolling force becomes difficult, and the flatness of the grindstone decreases. For this reason, the width w of the pellet 1 is set to 2 to 10% of the outer diameter D of the grindstone. By setting this to 3 to 5%, the surface pressure and the rolling force can be made more appropriate. .
【００２６】ペレット１の材質はメタルボンド又はＣＢ
Ｎ等のある程度固いものであればよく、面の平行度は１
０μｍ以内であれば問題がない。The material of the pellet 1 is metal bond or CB
N or any other hard material may be used.
There is no problem if it is within 0 μm.
【００２７】なお、本発明に係るリング状ペレットでド
レッシングする前に、従来の円柱状ペレットでドレッシ
ングしても砥石の凹凸を消すことができるため、両者を
組み合わせて使用することも可能である。Before the dressing with the ring-shaped pellet according to the present invention, the unevenness of the grindstone can be eliminated by dressing with a conventional columnar pellet, so that both can be used in combination.
【００２８】[0028]
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。ド
レッサとしてＳＰＥＥＤ ＦＡＭ社製１８Ｂ両面研削盤
を用い、ＰＶＡ系スポンジ砥石（砥粒＃３０００Ｓｉ
Ｃ）のドレッシングを行った。研削条件は回転数３０ｒ
ｐｍ，加工圧力５０ｇ／ｃｍ2である。ペレットはリン
グ状ペレット及び従来の円柱状ペレット（外径１１ｍ
ｍ）を使用した。Embodiments of the present invention will be described below. Using a 18B double-sided grinder made by SPEED FAM as a dresser, a PVA-based sponge grindstone (abrasive # 3000Si)
The dressing of C) was performed. Grinding condition is rotation speed 30r
pm, working pressure 50 g / cm 2 . The pellets are ring-shaped pellets and conventional cylindrical pellets (outer diameter 11m
m) was used.
【００２９】ドレッシング後の砥石でアルミニウムディ
スク材（５０８６系合金、仕上寸法外径９５ｍｍ、厚さ
０．７８ｍｍ）を研磨し、表面の光沢を目視で観察し、
良好なものを◎、許容できる範囲を○、光沢ムラがある
ものを×として判断した。下記表１に評価結果を示す。
但し、従来の比較例ペレットの場合に、多数の円柱状ペ
レットの配置の包絡線の外径が本発明の１個のリング状
ペレットの外径に相当し、従来の比較例ペレットの外径
が本発明の１個のリング状ペレットの幅に相当する。An aluminum disc material (5086 series alloy, finish dimension outer diameter 95 mm, thickness 0.78 mm) is polished with a grindstone after dressing, and the surface gloss is visually observed.
も の: good, 許 容: acceptable range, x: uneven gloss Table 1 below shows the evaluation results.
However, in the case of the conventional comparative example pellets, the outer diameter of the envelope of the arrangement of many columnar pellets corresponds to the outer diameter of one ring-shaped pellet of the present invention, and the outer diameter of the conventional comparative example pellets is This corresponds to the width of one ring-shaped pellet of the present invention.
【００３０】[0030]
【表１】 [Table 1]
【００３１】この表１に示すように、本発明の実施例１
及び２のリング状ペレットを使用して砥石をドレッシン
グした場合は、平坦度が極めて優れた砥石に再生するこ
とができ、このドレッシング後の砥石を使用してアルミ
ニウム磁気ディスク材を研磨することにより、表面精度
が優れ、光沢ムラがない（◎）磁気ディスク材を得るこ
とができた。これに対し、参考例３及び４の場合は、ｗ
／Ｄ比が３乃至５％から外れるので、光沢ムラが実施例
１及び２よりも低いもの（○）であった。従来方法の比
較例１，２による場合は、いずれも平坦度が不足し、光
沢ムラが生じていた（×）。As shown in Table 1, Example 1 of the present invention
In the case of dressing a grindstone using the ring-shaped pellets of and 2 , the flatness can be regenerated into a very excellent grindstone, and by polishing the aluminum magnetic disk material using the grindstone after the dressing, A magnetic disk material having excellent surface precision and no gloss unevenness (◎) could be obtained. In contrast, in Reference Examples 3 and 4, w
/ D ratio deviated from 3 to 5%, resulting in uneven gloss.
It was lower than (1) and 2 (２). In the case of Comparative Examples 1 and 2 of the conventional method, the flatness was insufficient and gloss unevenness occurred (×) .
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
１個のリング状ペレット、好ましくは、外径Ｄが砥石幅
Ｌより大きなリング状ペレットにより砥石をドレッシン
グするので、極めて優れた平坦度の砥石を得ることがで
きる。このため、本発明によりドレッシングした砥石を
使用することにより、アルミニウム磁気ディスク用材料
を極めて優れた平坦度で研磨することができる。As described above, according to the present invention,
Since the grindstone is dressed with one ring-shaped pellet, preferably, a ring-shaped pellet having an outer diameter D larger than the grindstone width L, a grindstone having extremely excellent flatness can be obtained. For this reason, by using the grindstone dressed according to the present invention, the aluminum magnetic disk material can be polished with extremely excellent flatness.
【図１】本発明の実施例に係るドレッサに使用する修正
キャリアとリング状ペレットを示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a modified carrier and a ring-shaped pellet used for a dresser according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例に係るドレッサの概略構成を示
す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of a dresser according to an embodiment of the present invention.
【図３】ドレッシング対象の砥石の横式図である。FIG. 3 is a horizontal view of a grindstone to be dressed.
【図４】ドレッサの平面図を示す図であるFIG. 4 is a diagram showing a plan view of a dresser.
【図５】従来のドレッサに使用する修正キャリアと円柱
状ペレットを示す図である。FIG. 5 is a view showing a modified carrier and a cylindrical pellet used for a conventional dresser.
１：目立て用ペレット ２：修正キャリア ３：砥石 ４：インナギヤ ５：アウタギヤ ６：円柱状ペレット ７ａ、７ｂ：定盤 ８：ギヤ ９：修正キャリア 1: Pellet for dressing 2: Correction carrier 3: Grinding stone 4: Inner gear 6: Outer gear 6: Columnar pellet 7a, 7b: Surface plate 8: Gear 9: Correction carrier
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 次生 栃木県真岡市鬼怒ケ丘15番地 株式会社 神戸製鋼所真岡製造所内 (72)発明者 岡田 圭司 栃木県真岡市鬼怒ケ丘15番地 株式会社 神戸製鋼所真岡製造所内 (72)発明者 田村 一夫 栃木県真岡市鬼怒ケ丘15番地 株式会社 神戸製鋼所真岡製造所内 (56)参考文献 特開 平３−49867（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−193002（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−365552（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−65967（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−65966（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−16363（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−72047（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−33052（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭52−3149（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 37/00 B24B 53/00 B24B 53/02 B24B 53/12 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Tsugio Sasaki 15 Kinuigaoka, Moka City, Tochigi Prefecture Inside the Kobe Steel Moka Works (72) Keiji Okada 15 Kinuigaoka, Moka City, Tochigi Prefecture, Inc. Kobe Steel Moka Works (72) Kazuo Tamura 15 Kinuigaoka, Moka City, Tochigi Prefecture Kobe Steel Moka Works Co., Ltd. (56) References JP-A-3-49867 (JP, A) JP-A-9 JP-A-193002 (JP, A) JP-A-4-365552 (JP, A) JP-A-2-65967 (JP, A) JP-A-2-65966 (JP, A) JP-A-60-16363 (JP, A) ) Japanese Utility Model Application Sho 62-72047 (JP, U) Japanese Utility Model Application Hei 3-33052 (JP, U) Japanese Patent Publication No. 52-3149 (JP, B1) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B24B 37/00 B24B 53/00 B24B 53/02 B24B 53/12
Claims (2)
ャリアを、目立てすべき砥石の表面上に押圧しつつ、こ
の砥石に対して相対的に公転移動させると共に自転運動
させて前記砥石の目立てをする磁気ディスク研磨用砥石
のドレッサにおいて、前記ペレットは前記修正キャリア
の自転中心と中心が一致する１個のリング状をなし、前
記ペレットの外径Ｄは前記修正キャリアの公転移動域に
おける砥石の幅Ｌよりも大きく、前記ペレットの幅ｗは
外径Ｄの３乃至５％であることを特徴とする砥石のドレ
ッサ。1. A dressing carrier having pellets for sharpening a grindstone is revolved relative to the grindstone while being pressed against the surface of the grindstone to be sharpened, and is caused to rotate so as to sharpen the sharpening of the grindstone. to the dresser of the magnetic disk polishing stone, said pellet to name a single ring shape rotation center and the center of the modified carrier matches, before
The outer diameter D of the pellet corresponds to the revolving range of the correction carrier.
The width w of the pellet is larger than the width L of the whetstone in
A dresser for a grindstone characterized by having an outer diameter D of 3 to 5% .
相対的に公転移動すると共に、自転移動して砥石の目立
てをする磁気ディスク研磨用砥石ドレッサ用ペレットに
おいて、修正キャリアに１個取り付けられてリング状を
なし、外径Ｄはその公転移動域における前記砥石の幅Ｌ
よりも大きく、その幅ｗは外径Ｄの３乃至５％であるこ
とを特徴とする砥石ドレッサ用ペレット。2. A grinding wheel dresser pellet for magnetic disk polishing , which is pressed onto the surface of a grindstone, revolves relatively to the grindstone, and rotates to sharpen the grindstone, one of which is attached to a correction carrier. is it to a <br/> a ring-shaped, outer diameter D and the width L of the grinding wheel in its revolution transfer zone
Greater than, pellets for wheel dresser its width w, wherein this <br/> and a 3 to 5% of the outer diameter D.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9140639A JP3046261B2 (en) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | Whetstone dresser and pellets used for it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9140639A JP3046261B2 (en) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | Whetstone dresser and pellets used for it |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10329004A JPH10329004A (en) | 1998-12-15 |
| JP3046261B2 true JP3046261B2 (en) | 2000-05-29 |
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ID=15273363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9140639A Expired - Fee Related JP3046261B2 (en) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | Whetstone dresser and pellets used for it |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3046261B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4649460B2 (en) * | 2007-10-15 | 2011-03-09 | 株式会社住友金属ファインテック | Dresser storage mechanism for double-side polishing machine |
| KR101285923B1 (en) * | 2011-12-27 | 2013-07-12 | 주식회사 엘지실트론 | Grinding apparatus and dressing gear for the same |
| CN115229666B (en) * | 2022-07-12 | 2023-12-29 | 浙江工业大学 | Ultra-precise grinding and on-line dressing method and device for micro-spheres |
-
1997
- 1997-05-29 JP JP9140639A patent/JP3046261B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10329004A (en) | 1998-12-15 |
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