JP3041953B2 - リークデテクタ - Google Patents
リークデテクタInfo
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- JP3041953B2 JP3041953B2 JP2338920A JP33892090A JP3041953B2 JP 3041953 B2 JP3041953 B2 JP 3041953B2 JP 2338920 A JP2338920 A JP 2338920A JP 33892090 A JP33892090 A JP 33892090A JP 3041953 B2 JP3041953 B2 JP 3041953B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、封止検査や密閉検査などを行う際に利用さ
れるリ−クデテクタに関するものである。
れるリ−クデテクタに関するものである。
［従来の技術］ 封止検査や密閉検査を行うための有力な手段の一つに
ヘリウム（He）リ−クデテクタがある。この装置は、被
試験体を粗引ポンプに接続する排気系と、この排気系の
途中にテストバルブを介して選択的に接続される分析管
とを備えている。そして、被試験体を所定真空度にまで
排気した後テストバルブを開にして分析管に被試験体よ
り漏出したHeを含むガスを流入させ、このうちHeのみを
セレクトしてその量を測定することにより、被試験体か
らのリ−ク量を間接測定できるようになっている。
ヘリウム（He）リ−クデテクタがある。この装置は、被
試験体を粗引ポンプに接続する排気系と、この排気系の
途中にテストバルブを介して選択的に接続される分析管
とを備えている。そして、被試験体を所定真空度にまで
排気した後テストバルブを開にして分析管に被試験体よ
り漏出したHeを含むガスを流入させ、このうちHeのみを
セレクトしてその量を測定することにより、被試験体か
らのリ−ク量を間接測定できるようになっている。
［発明が解決しようとする課題］ ところが、分析管は真空でなければ動作させることが
できない。このため、排気系の真空度が所定の値に達し
ない場合、すなわち被試験体のリ−ク量が大きい場合
は、テストバルブを開けることができず、測定不能とな
る不都合を生じる。
できない。このため、排気系の真空度が所定の値に達し
ない場合、すなわち被試験体のリ−ク量が大きい場合
は、テストバルブを開けることができず、測定不能とな
る不都合を生じる。
そこで、従来はこのようなグロスリ−クに対処するた
めに、テストバルブから分析管に向かう流路の一部に絞
り弁を介設し、この絞り弁において分析管に流入するHe
量を規制することで測定を可能にしているケ−スもあ
る。しかし、このようなものでは、最大リ−ク時（すな
わち大気圧相当）を想定して絞り弁の開口部を非常に小
さくしておかなければならず、製作が極めて困難となる
等の不具合を生じる。
めに、テストバルブから分析管に向かう流路の一部に絞
り弁を介設し、この絞り弁において分析管に流入するHe
量を規制することで測定を可能にしているケ−スもあ
る。しかし、このようなものでは、最大リ−ク時（すな
わち大気圧相当）を想定して絞り弁の開口部を非常に小
さくしておかなければならず、製作が極めて困難となる
等の不具合を生じる。
本発明は、このような課題に着目してなされたもので
あって、上述したHeリ−クディテクタ等に併用した場合
にグロスリ−ク時のリ−ク量を簡便に測定することので
きるリ−クデテクタを提供することを目的としている。
あって、上述したHeリ−クディテクタ等に併用した場合
にグロスリ−ク時のリ−ク量を簡便に測定することので
きるリ−クデテクタを提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、ポンプの特性に応じ、排気系の圧力を排気
速度をパラメ−タとして排気流量に一意的に関連づけ得
ることに着目して、次のように構成したものである。
速度をパラメ−タとして排気流量に一意的に関連づけ得
ることに着目して、次のように構成したものである。
すなわち、本発明は、被試験体を粗引ポンプに接続す
る排気系と、この排気系の途中に接続される分析管とを
備え、前記分析管により被試験体からのリーク量を測定
するリークデテクタにおいて、前記排気系の途中に設け
られる圧力検出手段と、この圧力検出手段により検出さ
れる圧力から前記粗引ポンプの特性に基づいて排気流量
を割り出す流量判定手段と、この流量判定手段により割
り出される排気流量を出力する表示手段とを具備してな
ることを特徴とする。
る排気系と、この排気系の途中に接続される分析管とを
備え、前記分析管により被試験体からのリーク量を測定
するリークデテクタにおいて、前記排気系の途中に設け
られる圧力検出手段と、この圧力検出手段により検出さ
れる圧力から前記粗引ポンプの特性に基づいて排気流量
を割り出す流量判定手段と、この流量判定手段により割
り出される排気流量を出力する表示手段とを具備してな
ることを特徴とする。
［作用］ このような構成のものであると、表示手段上の表示が
ある程度定常状態に落ち着いた時の排気流量をもって被
試験体からのリ−ク量と見なすことができる。また、表
示手段上の表示が変動している間にも、経過観察を通じ
て被試験体からのリ−ク量を早期に予測することも可能
となる。
ある程度定常状態に落ち着いた時の排気流量をもって被
試験体からのリ−ク量と見なすことができる。また、表
示手段上の表示が変動している間にも、経過観察を通じ
て被試験体からのリ−ク量を早期に予測することも可能
となる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は、従来のHeリ−クデテクタに、本実施例に係
るリ−クデテクタを一体に組み込んだものを示してい
る。従来のHeリ−クデテクタは、被試験体１を粗引ポン
プ２に接続する排気系Ｌと、この排気系Ｌの途中（テス
トポ−ト）にテストバルブ3aを介して選択的に接続され
る分析管３とを備えている。そして、被試験体１を所定
真空度にまで排気した後テストバルブ3aを開にして分析
管３に被試験体１より漏出したHeを含むガスを流入さ
せ、この分析管３においてHeのみをセレクトし、その量
を測定することで、被試験体１からのリ−ク量を間接測
定できるようになっている。４は排気／排気終了のタイ
ミング検出に用いられる真空計（ピラニ−真空計、水晶
真空計など）であり、９は粗引バルブである。また、５
はHeリ−クデテクタすべての動作とデ−タ処理を司どる
マイクロコンピュ−タであって、プロセッサ5a、メモリ
5b及びインタ−フェ−ス5cから構成されている（信号系
は省略してある）。
るリ−クデテクタを一体に組み込んだものを示してい
る。従来のHeリ−クデテクタは、被試験体１を粗引ポン
プ２に接続する排気系Ｌと、この排気系Ｌの途中（テス
トポ−ト）にテストバルブ3aを介して選択的に接続され
る分析管３とを備えている。そして、被試験体１を所定
真空度にまで排気した後テストバルブ3aを開にして分析
管３に被試験体１より漏出したHeを含むガスを流入さ
せ、この分析管３においてHeのみをセレクトし、その量
を測定することで、被試験体１からのリ−ク量を間接測
定できるようになっている。４は排気／排気終了のタイ
ミング検出に用いられる真空計（ピラニ−真空計、水晶
真空計など）であり、９は粗引バルブである。また、５
はHeリ−クデテクタすべての動作とデ−タ処理を司どる
マイクロコンピュ−タであって、プロセッサ5a、メモリ
5b及びインタ−フェ−ス5cから構成されている（信号系
は省略してある）。
このような構成において、本実施例は前記マイクロコ
ンピュ−タ５にA/Dコンバ−タ６を介して前記真空計４
を接続することで圧力検出手段７を構成するとともに、
該マイクロコンピュ−タ５自体に検出した圧力Ｐから前
記粗引ポンプ２の特性に基づいて排気流量Ｑを割り出す
流量判定手段の機能を付加し、さらに、この流量判定手
段たるマイクロコンピュ−タ５により割り出される排気
流量Ｑを出力する表示手段８を当該マイクロコンピュ−
タ５に接続している。
ンピュ−タ５にA/Dコンバ−タ６を介して前記真空計４
を接続することで圧力検出手段７を構成するとともに、
該マイクロコンピュ−タ５自体に検出した圧力Ｐから前
記粗引ポンプ２の特性に基づいて排気流量Ｑを割り出す
流量判定手段の機能を付加し、さらに、この流量判定手
段たるマイクロコンピュ−タ５により割り出される排気
流量Ｑを出力する表示手段８を当該マイクロコンピュ−
タ５に接続している。
圧力検出手段７は、真空計４がアナログで検出する真
空度デ−タをA/D変換器６でディジタルデ−タに変換し
た後にプロセッサ5aに取り込み、ここで真空度−圧力変
換を行うようにしている。マイクロコンピュ−タ５は、
流量判定手段としての機能を発揮するために、予め第２
図に示すような粗引ポンプ２に特有の圧力（Ｐ）−排気
速度（Ｓ）特性を測定しメモリ5b内にテ−ブル化して格
納したデ−タと、メモリ5b内の他の領域に格納したプロ
セッサ5aに対する制御プログラムとを有している。制御
プログラムは、前記圧力検出手段７が検出した圧力Ｐに
対応する排気速度Ｓをテ−ブルからプロセッサ5a内に取
り出し、該プロセッサ5aにおいて圧力Ｐ×排気速度Ｓの
演算を行うことにより排気流量Ｑを求め、その排気流量
Ｑをインタ−フェ−ス5cの出力ポ−トに出力するといっ
たル−チンを一定時間毎に立ち上がって行うようになっ
ている。表示手段８は、前記マイクロコンピュ−タ５か
ら出力される排気流量Ｑに係るデ−タをリアルタイムで
表形式あるいはグラフ等にして表示することができるよ
うになっている。
空度デ−タをA/D変換器６でディジタルデ−タに変換し
た後にプロセッサ5aに取り込み、ここで真空度−圧力変
換を行うようにしている。マイクロコンピュ−タ５は、
流量判定手段としての機能を発揮するために、予め第２
図に示すような粗引ポンプ２に特有の圧力（Ｐ）−排気
速度（Ｓ）特性を測定しメモリ5b内にテ−ブル化して格
納したデ−タと、メモリ5b内の他の領域に格納したプロ
セッサ5aに対する制御プログラムとを有している。制御
プログラムは、前記圧力検出手段７が検出した圧力Ｐに
対応する排気速度Ｓをテ−ブルからプロセッサ5a内に取
り出し、該プロセッサ5aにおいて圧力Ｐ×排気速度Ｓの
演算を行うことにより排気流量Ｑを求め、その排気流量
Ｑをインタ−フェ−ス5cの出力ポ−トに出力するといっ
たル−チンを一定時間毎に立ち上がって行うようになっ
ている。表示手段８は、前記マイクロコンピュ−タ５か
ら出力される排気流量Ｑに係るデ−タをリアルタイムで
表形式あるいはグラフ等にして表示することができるよ
うになっている。
このような構成のものであると、被試験体１がグロス
リ−クを発生するようなものであってテストバルブ3aが
開けられない状態の時にも、表示手段８には排気系Ｌを
流れるHeを含んだガスの流量が表示されるため、その表
示を観察し、それがある程度定常状態に落ち着いた時の
排気流量Ｑを読めば、被試験体１からのリ−ク量と見な
すことができる。また、表示手段８上の表示が変動して
いる間においても経過観察を通じて被試験体１からのリ
−ク量を早期に予測することも可能となる。このため、
従来のHeリ−クデテクタに比べて、このものはグロスリ
−ク発生時の状況を定量的かつより具体的に把握するこ
とができ、測定したリ−ク量を客観的な情報として情報
交換等にも有効に活用することが可能になる。そして、
グロスリークについても、通常のリーク量測定と同一プ
ロセスで対応できる。しかも、真空計４は従来よりHeリ
−クデテクタに付属のものであり、マイクロコンピュ−
タ５も従来より付属のもの、若しくは付属でない場合に
も簡単に付加することができる。このため、手間が掛か
らず、コストアップを殆ど見ることがなく、従来装置を
改造して簡単に採用することができる優れた利点を伴う
ものとなる。
リ−クを発生するようなものであってテストバルブ3aが
開けられない状態の時にも、表示手段８には排気系Ｌを
流れるHeを含んだガスの流量が表示されるため、その表
示を観察し、それがある程度定常状態に落ち着いた時の
排気流量Ｑを読めば、被試験体１からのリ−ク量と見な
すことができる。また、表示手段８上の表示が変動して
いる間においても経過観察を通じて被試験体１からのリ
−ク量を早期に予測することも可能となる。このため、
従来のHeリ−クデテクタに比べて、このものはグロスリ
−ク発生時の状況を定量的かつより具体的に把握するこ
とができ、測定したリ−ク量を客観的な情報として情報
交換等にも有効に活用することが可能になる。そして、
グロスリークについても、通常のリーク量測定と同一プ
ロセスで対応できる。しかも、真空計４は従来よりHeリ
−クデテクタに付属のものであり、マイクロコンピュ−
タ５も従来より付属のもの、若しくは付属でない場合に
も簡単に付加することができる。このため、手間が掛か
らず、コストアップを殆ど見ることがなく、従来装置を
改造して簡単に採用することができる優れた利点を伴う
ものとなる。
なお、このような構成は被試験体以外の部位からリ−
クがあった場合に混同を生じて誤差の原因となるが、こ
のものは本来的にグロスリ−ク量を簡便に測定すること
を目的とするものであり、そのような合目的的な使い方
をする限りにおいてかかる誤差は度外視することができ
る。しかも、必ずしもHeリ−クデテクタに一体に構成す
る必要もない。また、検出した圧力に対して排気流量を
直接対応させたテ−ブルを用いることもできる。さら
に、圧力検出手段や流量判定手段の構成等も上記実施例
に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変
形が可能である。
クがあった場合に混同を生じて誤差の原因となるが、こ
のものは本来的にグロスリ−ク量を簡便に測定すること
を目的とするものであり、そのような合目的的な使い方
をする限りにおいてかかる誤差は度外視することができ
る。しかも、必ずしもHeリ−クデテクタに一体に構成す
る必要もない。また、検出した圧力に対して排気流量を
直接対応させたテ−ブルを用いることもできる。さら
に、圧力検出手段や流量判定手段の構成等も上記実施例
に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変
形が可能である。
［発明の効果］ 本発明のリ−クデテクタは、以上のような構成である
から、被試験体がグロスリ−クを起こすようなものであ
る場合にリ−ク量を簡便に測定することができる効果が
得られる。
から、被試験体がグロスリ−クを起こすようなものであ
る場合にリ−ク量を簡便に測定することができる効果が
得られる。
しかも、従来装置の排気系に、圧力検出手段等を追加
するという簡単な方法で、グロスリークについても、通
常のリーク量測定と同一プロセスで対応できる。
するという簡単な方法で、グロスリークについても、通
常のリーク量測定と同一プロセスで対応できる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は従来のHeリ−
クデテクタに一体に組み込んだ状態を示すブロック図、
第２図は圧力−排気速度デ−タを示すグラフである。 １……被試験体、２……粗引ポンプ ３……分析管、3a……テストバルブ ４……真空計 ５……流量判定手段（マイクロコンピュ−タ） 5a……プロセッサ、5b……メモリ 5c……インタ−フェ−ス ６……A/Dコンバ−タ、７……圧力検出手段 ８……表示手段、９……粗引バルブ Ｌ……排気系、Ｐ……圧力 Ｑ……排気流量、Ｓ……排気速度
クデテクタに一体に組み込んだ状態を示すブロック図、
第２図は圧力−排気速度デ−タを示すグラフである。 １……被試験体、２……粗引ポンプ ３……分析管、3a……テストバルブ ４……真空計 ５……流量判定手段（マイクロコンピュ−タ） 5a……プロセッサ、5b……メモリ 5c……インタ−フェ−ス ６……A/Dコンバ−タ、７……圧力検出手段 ８……表示手段、９……粗引バルブ Ｌ……排気系、Ｐ……圧力 Ｑ……排気流量、Ｓ……排気速度
Claims (1)
- 【請求項１】被試験体を粗引ポンプに接続する排気系
と、この排気系の途中に接続される分析管とを備え、前
記分析管により被試験体からのリーク量を測定するリー
クデテクタにおいて、 前記排気系の途中に設けられる圧力検出手段と、この圧
力検出手段により検出される圧力から前記粗引ポンプの
特性に基づいて排気流量を割り出す流量判定手段と、こ
の流量判定手段により割り出される排気流量を出力する
表示手段とを具備してなることを特徴とするリ−クデテ
クタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2338920A JP3041953B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | リークデテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2338920A JP3041953B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | リークデテクタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04204341A JPH04204341A (ja) | 1992-07-24 |
| JP3041953B2 true JP3041953B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=18322576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2338920A Expired - Fee Related JP3041953B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | リークデテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3041953B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102012243A (zh) * | 2010-09-26 | 2011-04-13 | 深圳市百格医疗技术有限公司 | 一种带有呼吸回路的医用器械气体泄漏量检测方法 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2338920A patent/JP3041953B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04204341A (ja) | 1992-07-24 |
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Legal Events
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