JP3023530B2 - 酸化チタン被膜を有する車両用サスペンションの摺動部材の製造方法 - Google Patents
酸化チタン被膜を有する車両用サスペンションの摺動部材の製造方法Info
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- Fluid-Damping Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、イオンプレーティング
法により、耐摩耗性、低摩擦抵抗性等に優れるととも
に、意匠性にも優れた酸化チタン被膜を有する車両用サ
スペンションの摺動部材の製造方法に関する。
法により、耐摩耗性、低摩擦抵抗性等に優れるととも
に、意匠性にも優れた酸化チタン被膜を有する車両用サ
スペンションの摺動部材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、車両用サスペンションの摺動部
材、例えば自動二輪車や自転車のフロントフォークに用
いられるインナーチューブ、の表面には、摺動性や耐蝕
性を向上させるため硬質クロムメッキを施すのがその表
面処理方法として一般的であった。また、特殊なものと
して、イオンプレーティング法により金色を呈する窒化
チタン被覆を施したものがある。
材、例えば自動二輪車や自転車のフロントフォークに用
いられるインナーチューブ、の表面には、摺動性や耐蝕
性を向上させるため硬質クロムメッキを施すのがその表
面処理方法として一般的であった。また、特殊なものと
して、イオンプレーティング法により金色を呈する窒化
チタン被覆を施したものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかるインナ
ーチューブ等の車両用サスペンションの摺動部材は、そ
の外表面の一部が外部に露出しており、従来の硬質クロ
ムメッキ面では銀白色の金属光沢に限られ、意匠性に乏
しいものであった。また、イオンプレーティング法によ
り窒化チタンを被覆したものは、耐摩耗性、低摩擦抵抗
性等に優れるとともに、金色を呈しその意匠性を高める
ものであるが、色調は金色に限られている。
ーチューブ等の車両用サスペンションの摺動部材は、そ
の外表面の一部が外部に露出しており、従来の硬質クロ
ムメッキ面では銀白色の金属光沢に限られ、意匠性に乏
しいものであった。また、イオンプレーティング法によ
り窒化チタンを被覆したものは、耐摩耗性、低摩擦抵抗
性等に優れるとともに、金色を呈しその意匠性を高める
ものであるが、色調は金色に限られている。
【０００４】そこで、本発明は、高硬度、耐摩耗性等を
保持しつつ、茶色系又は紺色系の色彩の付加が可能で高
度な装飾性を付与できるといった優れた諸特性をもつ酸
化チタン被膜をその外周摺動面に有する車両用サスペン
ションの摺動部材の製造方法を提供することを目的とす
る。
保持しつつ、茶色系又は紺色系の色彩の付加が可能で高
度な装飾性を付与できるといった優れた諸特性をもつ酸
化チタン被膜をその外周摺動面に有する車両用サスペン
ションの摺動部材の製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の酸化チタン被膜を有する車両用サスペン
ションの摺動部材の製造方法は、車両用サスペンション
の摺動部材の外周摺動面に、イオンプレーティング法に
より酸化チタンからなる膜厚０．５〜１０μｍの茶色系
又は紺色系の色彩の耐摩耗層を形成する酸化チタン被膜
を有する車両用サスペンションの摺動部材の製造方法で
あって、前記イオンプレーティング法は、ＨＣＤ型イオ
ンプレーティング装置を用い、該装置のビーム出力を３
００〜５００Ａとしかつ前記装置の真空槽内の酸素ガス
分圧を５×１０ -5 〜１×１０ -4 Torrの範囲に制御するこ
と、を特徴としている。
めに、本発明の酸化チタン被膜を有する車両用サスペン
ションの摺動部材の製造方法は、車両用サスペンション
の摺動部材の外周摺動面に、イオンプレーティング法に
より酸化チタンからなる膜厚０．５〜１０μｍの茶色系
又は紺色系の色彩の耐摩耗層を形成する酸化チタン被膜
を有する車両用サスペンションの摺動部材の製造方法で
あって、前記イオンプレーティング法は、ＨＣＤ型イオ
ンプレーティング装置を用い、該装置のビーム出力を３
００〜５００Ａとしかつ前記装置の真空槽内の酸素ガス
分圧を５×１０ -5 〜１×１０ -4 Torrの範囲に制御するこ
と、を特徴としている。
【０００６】発明の具体的説明 本発明における酸化チタン被膜を有する車両用サスペン
ションの摺動部材２は、図１の断面説明図に示すよう
に、筒状の摺動部材の母材４の外周摺動面に、酸化チタ
ンからなる有色（茶色系又は紺色系）の耐摩耗層６を有
してなるもので、かかる酸化チタン被膜６はイオンプレ
ーティング法により形成されたものである。なお、８は
同様にイオンプレーティング法により形成されるチタン
からなるアンダーコート層である。車両用サスペンショ
ンの摺動部材としては、自動二輪車のフロントフォーク
のインナーチューブやリヤサスペンションのピストンロ
ッド、自転車のフロントフォークのインナーチューブ、
自動車のショックアブソーバーのインナーチューブ等が
ある。
ションの摺動部材２は、図１の断面説明図に示すよう
に、筒状の摺動部材の母材４の外周摺動面に、酸化チタ
ンからなる有色（茶色系又は紺色系）の耐摩耗層６を有
してなるもので、かかる酸化チタン被膜６はイオンプレ
ーティング法により形成されたものである。なお、８は
同様にイオンプレーティング法により形成されるチタン
からなるアンダーコート層である。車両用サスペンショ
ンの摺動部材としては、自動二輪車のフロントフォーク
のインナーチューブやリヤサスペンションのピストンロ
ッド、自転車のフロントフォークのインナーチューブ、
自動車のショックアブソーバーのインナーチューブ等が
ある。
【０００７】イオンプレーティング法は、放電によりイ
オン化した蒸発金属及び反応ガスが負に印加した母材に
対して適度な衝撃を繰返しながら金属或いはセラミック
スの被膜として被覆される現象を利用した真空蒸着法で
あり、蒸発物質が電気的に活性であり、しかも電場によ
るエネルギーを与えられることによって、非常につきま
わりがよく、密着性に優れているのが特徴である。
オン化した蒸発金属及び反応ガスが負に印加した母材に
対して適度な衝撃を繰返しながら金属或いはセラミック
スの被膜として被覆される現象を利用した真空蒸着法で
あり、蒸発物質が電気的に活性であり、しかも電場によ
るエネルギーを与えられることによって、非常につきま
わりがよく、密着性に優れているのが特徴である。
【０００８】かかるイオンプレーティング法により摺動
部材の母材４の表面に形成される酸化チタン被膜６の膜
厚は、０．５〜１０μｍ、好ましくは１〜３μｍの範囲
が望ましい。膜厚が０．５μｍ未満では摩耗のため長持
ちせず、一方、上限は特に限定されるわけではないが、
厚くなるほど処理時間を要しコスト高となり、極端に厚
くなる（数１０μｍ以上）と衝撃により剥離しやすくな
る。１〜３μｍの範囲が、十分な耐摩耗性を有しかつコ
スト的にも有利で実用的な範囲である。なお、車両用サ
スペンションの摺動部材の母材４の材質としては、特に
構造用合金鋼が、靱性に優れる点から一般的である。又
は、かかる構造用合金鋼に硬質クロムメッキを施したも
のでもよい。
部材の母材４の表面に形成される酸化チタン被膜６の膜
厚は、０．５〜１０μｍ、好ましくは１〜３μｍの範囲
が望ましい。膜厚が０．５μｍ未満では摩耗のため長持
ちせず、一方、上限は特に限定されるわけではないが、
厚くなるほど処理時間を要しコスト高となり、極端に厚
くなる（数１０μｍ以上）と衝撃により剥離しやすくな
る。１〜３μｍの範囲が、十分な耐摩耗性を有しかつコ
スト的にも有利で実用的な範囲である。なお、車両用サ
スペンションの摺動部材の母材４の材質としては、特に
構造用合金鋼が、靱性に優れる点から一般的である。又
は、かかる構造用合金鋼に硬質クロムメッキを施したも
のでもよい。
【０００９】本発明による酸化チタン被膜は有色（茶色
系、紺色系）を呈する。イオンプレーティング法による
処理条件、特に、イオンプレーティング装置の真空槽内
への酸素ガスの導入量とビーム出力を適宜コントロール
することにより、所望の色彩に着色できる。ビーム出力
（３００〜５００Ａ）に応じて酸素ガス導入量を調整し
真空槽内の酸素ガス分圧が５×１０-5〜１×１０-4Torr
の範囲になるように制御する。この場合の傾向として、
ビーム出力が小さいときはＴｉの蒸発量も少ないので酸
素ガス導入量も少なくし、ビーム出力を増すにつれてＴ
ｉの蒸発量も増すので酸素ガス導入量を多くするように
する。ビーム出力が高いと反応性が高くなるため、酸素
ガス導入量を多くしても酸素ガス消費量も多くなって真
空槽内の酸素ガス分圧が低くなる場合もあると推定され
る。なお、ビーム出力は高い方が、同じ厚さの被膜を形
成するのに短時間の処理ですみ有利である。ビーム出力
が３００Ａ未満では処理に長時間を要し生産性が低下
し、一方５００Ａを越えるとハースの温度が高くなり過
ぎてハースを損傷するおそれがある。
系、紺色系）を呈する。イオンプレーティング法による
処理条件、特に、イオンプレーティング装置の真空槽内
への酸素ガスの導入量とビーム出力を適宜コントロール
することにより、所望の色彩に着色できる。ビーム出力
（３００〜５００Ａ）に応じて酸素ガス導入量を調整し
真空槽内の酸素ガス分圧が５×１０-5〜１×１０-4Torr
の範囲になるように制御する。この場合の傾向として、
ビーム出力が小さいときはＴｉの蒸発量も少ないので酸
素ガス導入量も少なくし、ビーム出力を増すにつれてＴ
ｉの蒸発量も増すので酸素ガス導入量を多くするように
する。ビーム出力が高いと反応性が高くなるため、酸素
ガス導入量を多くしても酸素ガス消費量も多くなって真
空槽内の酸素ガス分圧が低くなる場合もあると推定され
る。なお、ビーム出力は高い方が、同じ厚さの被膜を形
成するのに短時間の処理ですみ有利である。ビーム出力
が３００Ａ未満では処理に長時間を要し生産性が低下
し、一方５００Ａを越えるとハースの温度が高くなり過
ぎてハースを損傷するおそれがある。
【００１０】具体的には、薄茶色〜焦茶色の茶色系の色
彩を得るには、例えば、ビーム出力が４５０Ａのとき
は、酸素ガス分圧を５．６×１０-5〜６．５×１０-5To
rrに制御する。ビーム出力が３００Ａのときは、酸素ガ
ス分圧を５．９×１０-5〜６．２×１０-5Torrに制御す
る。酸素ガスの導入初期段階では、色調は黄色、赤色、
青色へと順次変化し、再び黄色、赤色、青色と変化し、
これを何回か繰り返すが、膜厚が大きくなるにつれて次
第に色調が濁ってきて茶色系の色調を呈するようにな
り、以後は膜厚が大きくなっても色調は一定となる。薄
紺色〜紫紺色の紺色系の色調を得るには、ビーム出力が
４５０Ａのときは、酸素ガス分圧を７×１０-5〜９．８
×１０-5Torrに制御する。ビーム出力が３００Ａのとき
は、酸素ガス分圧を６．４×１０-5〜６．５×１０-5To
rrに制御する。上記茶色系の場合と同様に、酸素ガスの
導入初期段階では、色調は黄色、赤色、青色と順次変化
し、再び黄色、赤色、青色と変化し、これを何回か繰り
返すが、膜厚が大きくなるにつれて次第に色調が濁って
きて紺色系の色調を呈するようになり、以後は膜厚が大
きくなっても色調は一定となる。上記酸素ガス分圧範囲
内で適宜分圧を選択することにより、茶色系では薄茶色
から焦茶色まで、紺色系では薄紺色から紫紺色までのう
ち所望の色調のものを得ることができる。
彩を得るには、例えば、ビーム出力が４５０Ａのとき
は、酸素ガス分圧を５．６×１０-5〜６．５×１０-5To
rrに制御する。ビーム出力が３００Ａのときは、酸素ガ
ス分圧を５．９×１０-5〜６．２×１０-5Torrに制御す
る。酸素ガスの導入初期段階では、色調は黄色、赤色、
青色へと順次変化し、再び黄色、赤色、青色と変化し、
これを何回か繰り返すが、膜厚が大きくなるにつれて次
第に色調が濁ってきて茶色系の色調を呈するようにな
り、以後は膜厚が大きくなっても色調は一定となる。薄
紺色〜紫紺色の紺色系の色調を得るには、ビーム出力が
４５０Ａのときは、酸素ガス分圧を７×１０-5〜９．８
×１０-5Torrに制御する。ビーム出力が３００Ａのとき
は、酸素ガス分圧を６．４×１０-5〜６．５×１０-5To
rrに制御する。上記茶色系の場合と同様に、酸素ガスの
導入初期段階では、色調は黄色、赤色、青色と順次変化
し、再び黄色、赤色、青色と変化し、これを何回か繰り
返すが、膜厚が大きくなるにつれて次第に色調が濁って
きて紺色系の色調を呈するようになり、以後は膜厚が大
きくなっても色調は一定となる。上記酸素ガス分圧範囲
内で適宜分圧を選択することにより、茶色系では薄茶色
から焦茶色まで、紺色系では薄紺色から紫紺色までのう
ち所望の色調のものを得ることができる。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面を参照しなが
ら説明する。本発明に使用するＨＣＤ（Hollow Cathode
Discharge) 型イオンプレーティング装置１０の概要を
図２に示す。図２において、真空槽１２内には被覆処理
対象物であるワーク１４を配し、その下方に蒸発させる
べき金属であるＴｉ原料１６を受ける水冷銅ハース１８
を配してある。ハース１８の直上にはＴｉ原料１６を溶
融、蒸発させる中空陰極型の電子銃（ホローカソード）
２０を設けてあり、これにＡｒガス導入管２２を接続し
てある。ハース１８とホローカソード２０との間には、
電子ビームを集束してＴｉ原料１６に照射するための集
束コイル２３を配置してある。２４は反応ガスＯ2 を導
入するための導入管であり、２６はワーク１４にバイア
ス電圧を印加するための直流バイアス電源、２８はホロ
ーカソード２０とハース１８間に高周波を重畳させた直
流を流す直流電源、３０は排気口である。真空槽１２内
には、ワーク１４を加熱するために適所にヒータ３２を
設けるとともに、ワーク１４と中空陰極型の電子銃２０
との間にシャッター３４を設けてある。
ら説明する。本発明に使用するＨＣＤ（Hollow Cathode
Discharge) 型イオンプレーティング装置１０の概要を
図２に示す。図２において、真空槽１２内には被覆処理
対象物であるワーク１４を配し、その下方に蒸発させる
べき金属であるＴｉ原料１６を受ける水冷銅ハース１８
を配してある。ハース１８の直上にはＴｉ原料１６を溶
融、蒸発させる中空陰極型の電子銃（ホローカソード）
２０を設けてあり、これにＡｒガス導入管２２を接続し
てある。ハース１８とホローカソード２０との間には、
電子ビームを集束してＴｉ原料１６に照射するための集
束コイル２３を配置してある。２４は反応ガスＯ2 を導
入するための導入管であり、２６はワーク１４にバイア
ス電圧を印加するための直流バイアス電源、２８はホロ
ーカソード２０とハース１８間に高周波を重畳させた直
流を流す直流電源、３０は排気口である。真空槽１２内
には、ワーク１４を加熱するために適所にヒータ３２を
設けるとともに、ワーク１４と中空陰極型の電子銃２０
との間にシャッター３４を設けてある。
【００１２】上記の装置を用いてインナーチューブの外
周摺動面上に酸化チタン被膜を被覆する工程の一例を示
す。先ず、ワークたる硬質クロムメッキを施した構造用
合金鋼製のインナーチューブ母材の汚れや油脂を除去す
るとともに、外周面上の酸化膜を除去する前処理を行
い、かかる前処理を施したワーク１４を真空槽１２内の
図示しない治具に取り付け、ハース１８にＴｉ原料１６
を装入する。
周摺動面上に酸化チタン被膜を被覆する工程の一例を示
す。先ず、ワークたる硬質クロムメッキを施した構造用
合金鋼製のインナーチューブ母材の汚れや油脂を除去す
るとともに、外周面上の酸化膜を除去する前処理を行
い、かかる前処理を施したワーク１４を真空槽１２内の
図示しない治具に取り付け、ハース１８にＴｉ原料１６
を装入する。
【００１３】かかる前準備が完了したならば、真空槽１
２内を３５０℃以上（３５０〜５００℃程度、なお、ワ
ークの材質によって鈍らない程度の温度であればこれ以
上の温度であってもよい。）に加熱しながら５×１０-6
Torr程度以下の圧力に減圧し、ワークが所定温度に達し
てから一定時間（３０〜６０分程度）保持する。次い
で、高純度のアルゴンガスを真空槽１２内に導入し、
３．５×１０-4Torr程度の圧力下で、ワーク１４に７５
０Ｖ程度の負電圧を印加し、イオンボンバード処理によ
るワーク表面のクリーニングを行う。
２内を３５０℃以上（３５０〜５００℃程度、なお、ワ
ークの材質によって鈍らない程度の温度であればこれ以
上の温度であってもよい。）に加熱しながら５×１０-6
Torr程度以下の圧力に減圧し、ワークが所定温度に達し
てから一定時間（３０〜６０分程度）保持する。次い
で、高純度のアルゴンガスを真空槽１２内に導入し、
３．５×１０-4Torr程度の圧力下で、ワーク１４に７５
０Ｖ程度の負電圧を印加し、イオンボンバード処理によ
るワーク表面のクリーニングを行う。
【００１４】次に、Ｔａ製ホローカソード２０にアルゴ
ンガスを導入し点火する（電流は３００Ａ程度）。ホロ
ーカソード２０下のハース１８中のチタン１６が溶解さ
れチタンが蒸発し、安定化したのち電流を４５０Ａ程度
に上げる。一定時間（３〜５分程度）保持することによ
ってハース中のチタン１６の表面の酸化物等の不純物を
飛ばし除去する。ここまでの処理工程では、不純物がワ
ーク１４に蒸着するのを防ぐため、ハース１８とワーク
１４との間のシャッター３４を閉じておく。なお、上述
において示した温度、圧力、電圧、電流値等の数値は一
例を示したものであって、上記の数値に限られるもので
はない。
ンガスを導入し点火する（電流は３００Ａ程度）。ホロ
ーカソード２０下のハース１８中のチタン１６が溶解さ
れチタンが蒸発し、安定化したのち電流を４５０Ａ程度
に上げる。一定時間（３〜５分程度）保持することによ
ってハース中のチタン１６の表面の酸化物等の不純物を
飛ばし除去する。ここまでの処理工程では、不純物がワ
ーク１４に蒸着するのを防ぐため、ハース１８とワーク
１４との間のシャッター３４を閉じておく。なお、上述
において示した温度、圧力、電圧、電流値等の数値は一
例を示したものであって、上記の数値に限られるもので
はない。
【００１５】次いで、シャッター３４を開け、先ず、チ
タンのみを蒸発させ、チタンのみをワーク１４上にアン
ダーコートし、密着性の向上を図る。アンダーコート層
の厚さは０．０５〜０．２μm 程度が、密着性の向上の
点で好ましい。任意の時間（２〜５分程度）チタンをア
ンダーコートしたのち、反応ガス導入管２４から酸素ガ
スを導入し、酸化チタンからなる被膜を形成する。この
ときの処理条件として、アルゴンガス分圧を８×１０-5
Torr、集束電流を０．８Ｖ，３００Ａ、バイアス電圧を
６０Ｖ、加熱温度を３５０℃、蒸着時間を４０分と一定
とし、ビーム出力と導入する酸素ガス分圧を種々変更し
て得た試料の密着度、硬度及び膜厚の測定結果を表１に
示す。なお、比較例として、酸素ガスを導入するのに代
えて窒素ガスを導入し金色の窒化チタン被膜を形成した
場合も併せて示した。
タンのみを蒸発させ、チタンのみをワーク１４上にアン
ダーコートし、密着性の向上を図る。アンダーコート層
の厚さは０．０５〜０．２μm 程度が、密着性の向上の
点で好ましい。任意の時間（２〜５分程度）チタンをア
ンダーコートしたのち、反応ガス導入管２４から酸素ガ
スを導入し、酸化チタンからなる被膜を形成する。この
ときの処理条件として、アルゴンガス分圧を８×１０-5
Torr、集束電流を０．８Ｖ，３００Ａ、バイアス電圧を
６０Ｖ、加熱温度を３５０℃、蒸着時間を４０分と一定
とし、ビーム出力と導入する酸素ガス分圧を種々変更し
て得た試料の密着度、硬度及び膜厚の測定結果を表１に
示す。なお、比較例として、酸素ガスを導入するのに代
えて窒素ガスを導入し金色の窒化チタン被膜を形成した
場合も併せて示した。
【００１６】
【表１】
【００１７】ここで密着性の試験は、次のようなスクラ
ッチ（引っかき）試験による摩擦力測定から密着度を評
価した。すなわち、図３に概略を示すスクラッチ試験機
（株式会社レスカ製スクラッチ試験機 ＣＳＲ０１２
０）４０を用い、ダイヤモンド圧子４２の半径：0.2mm
、コーン角：120 °、垂直方向荷重： 0〜20kgf 、引
っかき距離：10mmの条件で、定速移動するステージ４４
上に載置した試料４６に対して垂直な方向に直線的に増
加する荷重Ｆｚ（Ｎ）を与えるダイヤモンド圧子４２
を、さらに定速平行移動させて試料４６をスクラッチす
る（引っかく）。このときのスクラッチ方向に生ずる摩
擦力が急激に上昇したときの垂直荷重値Ｆｚ（Ｎ）によ
って求めた。なお、硬度（Ｈｖ）は５ｇ荷重での測定値
である。
ッチ（引っかき）試験による摩擦力測定から密着度を評
価した。すなわち、図３に概略を示すスクラッチ試験機
（株式会社レスカ製スクラッチ試験機 ＣＳＲ０１２
０）４０を用い、ダイヤモンド圧子４２の半径：0.2mm
、コーン角：120 °、垂直方向荷重： 0〜20kgf 、引
っかき距離：10mmの条件で、定速移動するステージ４４
上に載置した試料４６に対して垂直な方向に直線的に増
加する荷重Ｆｚ（Ｎ）を与えるダイヤモンド圧子４２
を、さらに定速平行移動させて試料４６をスクラッチす
る（引っかく）。このときのスクラッチ方向に生ずる摩
擦力が急激に上昇したときの垂直荷重値Ｆｚ（Ｎ）によ
って求めた。なお、硬度（Ｈｖ）は５ｇ荷重での測定値
である。
【００１８】これらの結果からわかるように、上記実施
例に係る酸化チタン被膜を有するインナーチューブは、
硬度が窒化チタン被膜のそれと略同程度であり従来の硬
質クロムメッキの８００〜１０００／Ｈｖに比べ２倍程
度以上と高く耐摩耗性に優れ摺動性も良好である。ま
た、密着性においても従来法で形成した窒化チタン被膜
では６０〜７０Ｎ程度といわれているのに対し、本実施
例では膜厚の薄い場合を除き同程度以上と高く（なお上
記の比較例における窒化チタン被膜では本実施例のそれ
と同程度であった）耐剥離性に優れ、しかも所望の色彩
を有する極めて意匠性に優れたものである。
例に係る酸化チタン被膜を有するインナーチューブは、
硬度が窒化チタン被膜のそれと略同程度であり従来の硬
質クロムメッキの８００〜１０００／Ｈｖに比べ２倍程
度以上と高く耐摩耗性に優れ摺動性も良好である。ま
た、密着性においても従来法で形成した窒化チタン被膜
では６０〜７０Ｎ程度といわれているのに対し、本実施
例では膜厚の薄い場合を除き同程度以上と高く（なお上
記の比較例における窒化チタン被膜では本実施例のそれ
と同程度であった）耐剥離性に優れ、しかも所望の色彩
を有する極めて意匠性に優れたものである。
【００１９】なお、上記の処理工程において、ワークを
回転したり左右に動かしたりして、ワークに蒸着する酸
化膜の膜厚が全ての部分で均一になるように調整するの
が望ましい。また、蒸発源から飛散するＴｉの量がハー
スの状態により一定でないと、再現性のある色調を得難
いので、バッチ毎のＴｉ飛散量が一定になるように、ハ
ース内のＴｉ補給量を毎回調整することが好ましい。
回転したり左右に動かしたりして、ワークに蒸着する酸
化膜の膜厚が全ての部分で均一になるように調整するの
が望ましい。また、蒸発源から飛散するＴｉの量がハー
スの状態により一定でないと、再現性のある色調を得難
いので、バッチ毎のＴｉ飛散量が一定になるように、ハ
ース内のＴｉ補給量を毎回調整することが好ましい。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、酸化チタンの有する高
硬度、耐摩耗性等を保持しつつ、茶色系又は紺色系の色
彩の付加が可能で高度な装飾性を付与することができる
といった優れた諸特性を最大限に生かした酸化チタン被
膜をその外周摺動面に有する車両用サスペンションの摺
動部材の製造方法を提供することができる。
硬度、耐摩耗性等を保持しつつ、茶色系又は紺色系の色
彩の付加が可能で高度な装飾性を付与することができる
といった優れた諸特性を最大限に生かした酸化チタン被
膜をその外周摺動面に有する車両用サスペンションの摺
動部材の製造方法を提供することができる。
【図１】本発明における酸化チタン被膜を有する車両用
サスペンションの摺動部材の断面説明図。
サスペンションの摺動部材の断面説明図。
【図２】本発明を実施するために使用するイオンプレー
ティング装置を示す説明図。
ティング装置を示す説明図。
【図３】密着性試験法の説明図。
２ 酸化チタン被膜を有する車両用サスペンションの摺
動部材 ４ 摺動部材の母材 ６ 耐摩耗層 ８ アンダーコート層 １０ ＨＣＤ型イオンプレーティンング装置 １２ 真空槽 １４ ワーク １６ Ｔｉ原料 １８ ハース ２０ 中空陰極型の電子銃（ホローカソード） ２２ Ａｒガス導入管 ２３ 集束コイル ２４ 反応ガス導入管 ２６ 直流バイアス電源 ２８ 直流電源 ３０ 排気口 ３２ ヒータ ３４ シャッター ４０ スクラッチ試験機 ４２ ダイヤモンド圧子 ４４ 定速移動するステージ ４６ 試料
動部材 ４ 摺動部材の母材 ６ 耐摩耗層 ８ アンダーコート層 １０ ＨＣＤ型イオンプレーティンング装置 １２ 真空槽 １４ ワーク １６ Ｔｉ原料 １８ ハース ２０ 中空陰極型の電子銃（ホローカソード） ２２ Ａｒガス導入管 ２３ 集束コイル ２４ 反応ガス導入管 ２６ 直流バイアス電源 ２８ 直流電源 ３０ 排気口 ３２ ヒータ ３４ シャッター ４０ スクラッチ試験機 ４２ ダイヤモンド圧子 ４４ 定速移動するステージ ４６ 試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16F 9/00 - 9/58 C22C 14/00 B62K 25/08 F16J 1/00 - 10/04
Claims (1)
- 【請求項１】車両用サスペンションの摺動部材の外周摺
動面に、イオンプレーティング法により酸化チタンから
なる膜厚０．５〜１０μｍの茶色系又は紺色系の色彩の
耐摩耗層を形成する酸化チタン被膜を有する車両用サス
ペンションの摺動部材の製造方法であって、前記イオン
プレーティング法は、ＨＣＤ型イオンプレーティング装
置を用い、該装置のビーム出力を３００〜５００Ａとし
かつ前記装置の真空槽内の酸素ガス分圧を５×１０ -5 〜
１×１０ -4 Torrの範囲に制御することを特徴とする、酸
化チタン被膜を有する車両用サスペンションの摺動部材
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6180895A JP3023530B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 酸化チタン被膜を有する車両用サスペンションの摺動部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6180895A JP3023530B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 酸化チタン被膜を有する車両用サスペンションの摺動部材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0821469A JPH0821469A (ja) | 1996-01-23 |
| JP3023530B2 true JP3023530B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=16091205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6180895A Expired - Fee Related JP3023530B2 (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 酸化チタン被膜を有する車両用サスペンションの摺動部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3023530B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10844471B2 (en) | 2016-06-17 | 2020-11-24 | Rc-Logo Co., Ltd. | Sliding member for vehicular suspension and method for producing same |
-
1994
- 1994-07-07 JP JP6180895A patent/JP3023530B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10844471B2 (en) | 2016-06-17 | 2020-11-24 | Rc-Logo Co., Ltd. | Sliding member for vehicular suspension and method for producing same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0821469A (ja) | 1996-01-23 |
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