JP3012726B2 - フェルール偏芯検査装置 - Google Patents
フェルール偏芯検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバーを相互に
接続するためのファイバー接続用治具（フェルール）の
偏芯を検査するためのフェルール偏芯検査装置に関す
る。
接続するためのファイバー接続用治具（フェルール）の
偏芯を検査するためのフェルール偏芯検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、細径の光ファイバーを相互に接
続するために、図８に示す如く、フェルールと呼ばれる
ファイバー接続用治具１０１が知られている。
続するために、図８に示す如く、フェルールと呼ばれる
ファイバー接続用治具１０１が知られている。
【０００３】上記フェルール１０１は、上記光ファイバ
ーを通すための細径の穴１０３をその軸方向に有してお
り、図９に示す如くに、相互に接続される２本の光ファ
イバー１０５、１０７をそれぞれのフェルール１０１の
穴１０３に入れ、それぞれのフェルール１０１の一端面
１０５まで挿入し、それぞれのフェルール１０１の一端
面同志を図示しない接合機具で接触させるとともに、か
しめを行ない、上記フェルール１０１および光ファイバ
ー１０５、１０７同志を接続させるようになっている。
ーを通すための細径の穴１０３をその軸方向に有してお
り、図９に示す如くに、相互に接続される２本の光ファ
イバー１０５、１０７をそれぞれのフェルール１０１の
穴１０３に入れ、それぞれのフェルール１０１の一端面
１０５まで挿入し、それぞれのフェルール１０１の一端
面同志を図示しない接合機具で接触させるとともに、か
しめを行ない、上記フェルール１０１および光ファイバ
ー１０５、１０７同志を接続させるようになっている。
【０００４】従って、上述の如き使用目的を有するフェ
ルール１０１は、その軸方向の穴１０３が、フェルール
の外周に対して常に中心でなければならないものであっ
た。すなわち、２つのフェルールの穴が中心から大きく
ずれている場合、言い換えるならある一定量以上に偏芯
している場合、その２つのフェルールを使って２本のフ
ァイバーを接続すると、ファイバーの接続面も大きくず
れるため、その接続面を通して情報が十分に伝達されな
くなってしまうものであった。
ルール１０１は、その軸方向の穴１０３が、フェルール
の外周に対して常に中心でなければならないものであっ
た。すなわち、２つのフェルールの穴が中心から大きく
ずれている場合、言い換えるならある一定量以上に偏芯
している場合、その２つのフェルールを使って２本のフ
ァイバーを接続すると、ファイバーの接続面も大きくず
れるため、その接続面を通して情報が十分に伝達されな
くなってしまうものであった。
【０００５】例えば、フェルールの外径が２．５ｍｍ
で、穴の外径すなわちフェルールの内径が１２５μｍと
した場合、上記偏芯量は０．７μｍ以下でなければなら
ないものであった。
で、穴の外径すなわちフェルールの内径が１２５μｍと
した場合、上記偏芯量は０．７μｍ以下でなければなら
ないものであった。
【０００６】そのため、上記フェルールの製造工程等に
おいて上記フェルールの穴の偏芯を検査することが必要
となるものであり、従来においては以下に説明する如く
のフェルール偏芯検査システムが提案されている。
おいて上記フェルールの穴の偏芯を検査することが必要
となるものであり、従来においては以下に説明する如く
のフェルール偏芯検査システムが提案されている。
【０００７】従来のフェルール偏芯検査システムとして
は、特殊な把持回転機構によってフェルールを把持し、
その後、１８０°回転させ、１台の光学顕微鏡によって
フェルールの穴の位置を検査し、上記穴のフェルール外
周に対する偏芯量を検出するものであった。すなわち、
図１０（ａ）の表示画面に示す如くに、上記光学顕微鏡
上におけるフェルールの穴の仮想原点（Ｘｏ、Ｙｏ）を
設定し、その後上記把持回転機構によって把持されたフ
ェルールの上記光学顕微鏡上における穴の中心点位置
（Ｘ1 、Ｙ1 ）を測定する（図１０（ｂ））。その後、
上記把持回転機構によってフェルールを１８０°回転さ
せ、回転させた後の上記光学顕微鏡上における穴の中心
点位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を測定する（図１０（ｃ））。そ
して、上記回転前の中心点位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）および回
転後の中心点位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を式ｌ3 ＝（Ｘ1 −Ｘ
2 ）2 ＋（Ｙ1 −Ｙ2 ）2 ／２に代入して、偏芯量ｌ3
を検出しているものであった。
は、特殊な把持回転機構によってフェルールを把持し、
その後、１８０°回転させ、１台の光学顕微鏡によって
フェルールの穴の位置を検査し、上記穴のフェルール外
周に対する偏芯量を検出するものであった。すなわち、
図１０（ａ）の表示画面に示す如くに、上記光学顕微鏡
上におけるフェルールの穴の仮想原点（Ｘｏ、Ｙｏ）を
設定し、その後上記把持回転機構によって把持されたフ
ェルールの上記光学顕微鏡上における穴の中心点位置
（Ｘ1 、Ｙ1 ）を測定する（図１０（ｂ））。その後、
上記把持回転機構によってフェルールを１８０°回転さ
せ、回転させた後の上記光学顕微鏡上における穴の中心
点位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を測定する（図１０（ｃ））。そ
して、上記回転前の中心点位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）および回
転後の中心点位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を式ｌ3 ＝（Ｘ1 −Ｘ
2 ）2 ＋（Ｙ1 −Ｙ2 ）2 ／２に代入して、偏芯量ｌ3
を検出しているものであった。
【０００８】しかしながら、上述の如く従来のフェルー
ル検査偏芯システムでは、特殊な把持回転機構によって
精度良くフェルールを把持回転させなければならず、そ
のため上記把持回転機構が非常に大型かすると共に高価
なものとなってしまうものであった。すなわち、上記高
精度の機械的回転を実現するためには必然的に高いコス
トがかかってしまうものであった。また、回転工程を有
しているため、測定時間が長くなってしまうという欠点
を有していた。
ル検査偏芯システムでは、特殊な把持回転機構によって
精度良くフェルールを把持回転させなければならず、そ
のため上記把持回転機構が非常に大型かすると共に高価
なものとなってしまうものであった。すなわち、上記高
精度の機械的回転を実現するためには必然的に高いコス
トがかかってしまうものであった。また、回転工程を有
しているため、測定時間が長くなってしまうという欠点
を有していた。
【０００９】また、上記従来のフェルール検査システム
では、回転動作を伴うため、前記０．７μｍ前後の偏芯
量を精度良く検出することが困難であった。
では、回転動作を伴うため、前記０．７μｍ前後の偏芯
量を精度良く検出することが困難であった。
【００１０】
【発明の目的】本発明は、上述の如き従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、フェルールの回
転動作を伴わずに、低コストでフェルールの穴の偏芯量
を精度良く検出することができるフェルール偏芯検査装
置を提供することである。
みてなされたものであり、その目的は、フェルールの回
転動作を伴わずに、低コストでフェルールの穴の偏芯量
を精度良く検出することができるフェルール偏芯検査装
置を提供することである。
【００１１】
【発明の概要】上記の目的を達成するために、本発明の
特徴は、フェルール偏芯検査装置において、フェルール
を非常に精度良く回転動作なしで固定把持するためのエ
アスライドチャックと、上記チャックに把持されたフェ
ルールの穴の横方向における中心位置（Ｘ1 ）を測定す
るための横方向Ｘに対して分解能の高い第１の撮像手段
と、上記チャックに把持されたフェルールの穴の縦方向
における中心位置（Ｙ1）を測定するため縦方向に対し
て分解能の高い第２の撮像手段と、上記第１の撮像手段
で撮像された横方向Ｙにおける中心位置（Ｘ1 ）と上記
第２の撮像手段で撮像された縦方向Ｙにおける中心位置
（Ｙ1 ）とを合成し、測定中心座標値（Ｘ1 、Ｙ1 ）を
得るための計算手段とを具備していることである。
特徴は、フェルール偏芯検査装置において、フェルール
を非常に精度良く回転動作なしで固定把持するためのエ
アスライドチャックと、上記チャックに把持されたフェ
ルールの穴の横方向における中心位置（Ｘ1 ）を測定す
るための横方向Ｘに対して分解能の高い第１の撮像手段
と、上記チャックに把持されたフェルールの穴の縦方向
における中心位置（Ｙ1）を測定するため縦方向に対し
て分解能の高い第２の撮像手段と、上記第１の撮像手段
で撮像された横方向Ｙにおける中心位置（Ｘ1 ）と上記
第２の撮像手段で撮像された縦方向Ｙにおける中心位置
（Ｙ1 ）とを合成し、測定中心座標値（Ｘ1 、Ｙ1 ）を
得るための計算手段とを具備していることである。
【００１２】さらに、上記計算手段は、フェルールマス
ターゲージによる平均基準中心座標値と被測定フェルー
ルによる測定平均中心座標値とを比較し、その両者の差
Ｚすなわち偏芯量が前もって決められた許容値Ｎ内であ
るか否かを判定する様に構成されている。
ターゲージによる平均基準中心座標値と被測定フェルー
ルによる測定平均中心座標値とを比較し、その両者の差
Ｚすなわち偏芯量が前もって決められた許容値Ｎ内であ
るか否かを判定する様に構成されている。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を実施したフェ
ルール偏芯検査装置について説明する。図１に示す如く
に、本発明を実施したフェルール偏芯検査装置１は、フ
ェルール３を非常に精度良く回転なしで固定把持するた
めのワーククランプエアスライドチャック５と、上記チ
ャック５に把持されたフェルール３の穴の横方向Ｘにお
ける中心位置（Ｘ1 ）を測定するための横方向Ｘに対し
ての分解能の高い第１の高解像度ＣＣＤカメラ７と、上
記チャック５に把持されたフェルール３の穴の縦方向Ｙ
における中心位置（Ｙ1 ）を測定するための縦方向Ｙに
対しての分解能の高い第２の高解像度ＣＣＤカメラ９
と、上記第１および第２のＣＣＤカメラ７、９にそれぞ
れ接続された第１および第２のＣＲＴモニタ１１、１３
と、上記チャック５に把持されたフェルール３の下方向
からの光像を上記第１および第２のＣＣＤカメラ７、９
に導くための第１および第２の対物レンズ１５、１７お
よび第１および第２のハーフプリズム１９、２１とを有
しており、さらに、上記第１のハーフプリズム１９を通
して上記フェルールを下方向から照明する照明ランプ２
３および初期調節におけるチャック中心位置検出のため
の光学基準チャート２５を照明するためのチャート灯光
ランプ２７を有している。
ルール偏芯検査装置について説明する。図１に示す如く
に、本発明を実施したフェルール偏芯検査装置１は、フ
ェルール３を非常に精度良く回転なしで固定把持するた
めのワーククランプエアスライドチャック５と、上記チ
ャック５に把持されたフェルール３の穴の横方向Ｘにお
ける中心位置（Ｘ1 ）を測定するための横方向Ｘに対し
ての分解能の高い第１の高解像度ＣＣＤカメラ７と、上
記チャック５に把持されたフェルール３の穴の縦方向Ｙ
における中心位置（Ｙ1 ）を測定するための縦方向Ｙに
対しての分解能の高い第２の高解像度ＣＣＤカメラ９
と、上記第１および第２のＣＣＤカメラ７、９にそれぞ
れ接続された第１および第２のＣＲＴモニタ１１、１３
と、上記チャック５に把持されたフェルール３の下方向
からの光像を上記第１および第２のＣＣＤカメラ７、９
に導くための第１および第２の対物レンズ１５、１７お
よび第１および第２のハーフプリズム１９、２１とを有
しており、さらに、上記第１のハーフプリズム１９を通
して上記フェルールを下方向から照明する照明ランプ２
３および初期調節におけるチャック中心位置検出のため
の光学基準チャート２５を照明するためのチャート灯光
ランプ２７を有している。
【００１４】すなわち、第１のＣＣＤカメラ７の分解Ｓ
1 は、横方向Ｘにおいて、Ｓ1x＝２０４８となってお
り、縦方向Ｙにおいて、Ｓ1Y＝５１２となっており、第
２のＣＣＤカメラ９の分解能Ｓ2 は、横方向Ｘにおい
て、Ｓ2X＝５１２となっており、縦方向Ｙにおいて、Ｓ
2Y＝２０４８となっている。ここで、上記第１及び第２
のＣＲＴモニタ１１、１３は特別に設けなくても良いも
のである。
1 は、横方向Ｘにおいて、Ｓ1x＝２０４８となってお
り、縦方向Ｙにおいて、Ｓ1Y＝５１２となっており、第
２のＣＣＤカメラ９の分解能Ｓ2 は、横方向Ｘにおい
て、Ｓ2X＝５１２となっており、縦方向Ｙにおいて、Ｓ
2Y＝２０４８となっている。ここで、上記第１及び第２
のＣＲＴモニタ１１、１３は特別に設けなくても良いも
のである。
【００１５】そして、上記フェルール偏芯検査装置１
は、さらに、図２に示す如くに、上記第１のＣＣＤカメ
ラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）と
上記第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向Ｙにお
ける中心位置（Ｙ）とを後述する如くの方法で合成し、
第３のＣＲＴモニタ３１上に表示するとともに、後述す
るフェルールマスターゲージによる平均基準中心座標点
と被測定フェルールによる測定平均中心座標点とを比較
し、その両者の差Ｚが前もって決められた許容値Ｎ内で
あるか否かを判定するためのカメラコントローラ３３、
コンピュータシステム３５、およびボード類３７を内部
回路として有している。
は、さらに、図２に示す如くに、上記第１のＣＣＤカメ
ラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）と
上記第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向Ｙにお
ける中心位置（Ｙ）とを後述する如くの方法で合成し、
第３のＣＲＴモニタ３１上に表示するとともに、後述す
るフェルールマスターゲージによる平均基準中心座標点
と被測定フェルールによる測定平均中心座標点とを比較
し、その両者の差Ｚが前もって決められた許容値Ｎ内で
あるか否かを判定するためのカメラコントローラ３３、
コンピュータシステム３５、およびボード類３７を内部
回路として有している。
【００１６】すなわち、上記合成方法としては、上記横
方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）をＸ座標値とし、上記縦
方向における中心位置（Ｙ）をＹ座標値として中心座標
点（Ｘ、Ｙ）を得ているものである。
方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）をＸ座標値とし、上記縦
方向における中心位置（Ｙ）をＹ座標値として中心座標
点（Ｘ、Ｙ）を得ているものである。
【００１７】また、上記コンピュータシステム３５は図
示の如くに専用のＣＲＴを有しているものである。ま
た、図３に示す如くに、上記フェルールを非常に精度良
く回転なしで固定なしで固定把持するためのワーククラ
ンプエアスライドチャック５は、その内部に外部からの
空気圧によって可動する弾性部材４１を有しており、そ
の弾性部材４１に空気圧により直接均等な膜弾性変形を
生じさせ、その高精度な復元性を利用して、その複数の
把持爪４３を動作させて上記フェルール３を把持するも
のである。すなわち、図３において点線で示す如くに、
弾性部材４１に空気圧を加えて弾性変形させ、被把持状
態として、フェルールを把持爪４３の間に挿入し、その
後、実線で示す如くに、空気圧を零として弾性部材４１
を復元させ、把持爪４３によってフェルール３を把持す
る様になっている。上記チャック５によれば、把持のく
り返り精度は０．２５μｍ以下となるものである。
示の如くに専用のＣＲＴを有しているものである。ま
た、図３に示す如くに、上記フェルールを非常に精度良
く回転なしで固定なしで固定把持するためのワーククラ
ンプエアスライドチャック５は、その内部に外部からの
空気圧によって可動する弾性部材４１を有しており、そ
の弾性部材４１に空気圧により直接均等な膜弾性変形を
生じさせ、その高精度な復元性を利用して、その複数の
把持爪４３を動作させて上記フェルール３を把持するも
のである。すなわち、図３において点線で示す如くに、
弾性部材４１に空気圧を加えて弾性変形させ、被把持状
態として、フェルールを把持爪４３の間に挿入し、その
後、実線で示す如くに、空気圧を零として弾性部材４１
を復元させ、把持爪４３によってフェルール３を把持す
る様になっている。上記チャック５によれば、把持のく
り返り精度は０．２５μｍ以下となるものである。
【００１８】次に、上記フェルール偏芯検査装置におけ
るフェルール偏芯検査方法について説明する。
るフェルール偏芯検査方法について説明する。
【００１９】まず、初期調節として、上記チャック５の
中心位置を検出するとともに、その位置のアライメント
を行なう。すなわち、前記照明ランプ２３およびチャー
ト灯光ランプ２７を動作させ、光学基準チャート２５に
よってアライメントを行ない、それと同時に、前記第３
のＣＲＴモニタ３１上のスケールによるキャリブレーシ
ョンを行ない、チャック中心位置の設定を行なう。
中心位置を検出するとともに、その位置のアライメント
を行なう。すなわち、前記照明ランプ２３およびチャー
ト灯光ランプ２７を動作させ、光学基準チャート２５に
よってアライメントを行ない、それと同時に、前記第３
のＣＲＴモニタ３１上のスケールによるキャリブレーシ
ョンを行ない、チャック中心位置の設定を行なう。
【００２０】次に、実際の被測定フェルールの測定を行
なう前に、偏心の基準となるフェルールマスターゲージ
による平均基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）の検出を行な
う。すなわち、チャック５によって、前もって用意され
た偏心のわかっているフェルールマスターゲージを把持
し、図４に示す如くに、上記フェルールマスターゲージ
の中心座標点を複数回（１５回以内）測定する。ここで
上記夫々の測定値は第１のＣＣＤカメラ７の分解能の高
い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘｏ）と第２のＣＣＤカ
メラ９の分解能の高い縦方向Ｙにおける中心位置（Ｙ
ｏ）とを合成したものである。そして、さらに前記第３
のＣＲＴモニタ３１上において観測しながら、その複数
個の測定結果の平均値が前記コンピュータシステム３５
によって計算され、最終的な平均基準中心座標点（Ｘ
ｏ、Ｙｏ）が得られる。これにより、０．０９μｍ／ｄ
ｏｔ分解による中心座標点が得られる。ここで、実際の
フェルールのスケールとモニタ１１、１３、３１上のス
ケールとは比例関係にあるため、比例係数を得るために
図５に示す如くの撮像スケールをモニタ上に表示させ、
それを基準データとすれば上記中心位置座標点は容易に
求まるものである。
なう前に、偏心の基準となるフェルールマスターゲージ
による平均基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）の検出を行な
う。すなわち、チャック５によって、前もって用意され
た偏心のわかっているフェルールマスターゲージを把持
し、図４に示す如くに、上記フェルールマスターゲージ
の中心座標点を複数回（１５回以内）測定する。ここで
上記夫々の測定値は第１のＣＣＤカメラ７の分解能の高
い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘｏ）と第２のＣＣＤカ
メラ９の分解能の高い縦方向Ｙにおける中心位置（Ｙ
ｏ）とを合成したものである。そして、さらに前記第３
のＣＲＴモニタ３１上において観測しながら、その複数
個の測定結果の平均値が前記コンピュータシステム３５
によって計算され、最終的な平均基準中心座標点（Ｘ
ｏ、Ｙｏ）が得られる。これにより、０．０９μｍ／ｄ
ｏｔ分解による中心座標点が得られる。ここで、実際の
フェルールのスケールとモニタ１１、１３、３１上のス
ケールとは比例関係にあるため、比例係数を得るために
図５に示す如くの撮像スケールをモニタ上に表示させ、
それを基準データとすれば上記中心位置座標点は容易に
求まるものである。
【００２１】次に、実際の被測定フェルールの測定平均
中心座標点（Ｘ1、Ｙ1 ）の測定が行なわれる。すなわ
ち、チャック５によって、被測定フェルールが把持さ
れ、上記被測定フェルールの中心座標点が数回測定され
る。ここで、上記それぞれの測定値は、第１のＣＣＤカ
メラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置
（Ｘ1）と第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向
Ｙにおける中心位置（Ｙ1 ）とが前記コンピュータシス
テム３５によって合成されたものである。そして、さら
に、その複数個の測定結果の平均値がコンピュータシス
テム３５によって計算され、最終的な測定平均座標点
（Ｘ1 、Ｙ1 ）が得られる。
中心座標点（Ｘ1、Ｙ1 ）の測定が行なわれる。すなわ
ち、チャック５によって、被測定フェルールが把持さ
れ、上記被測定フェルールの中心座標点が数回測定され
る。ここで、上記それぞれの測定値は、第１のＣＣＤカ
メラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置
（Ｘ1）と第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向
Ｙにおける中心位置（Ｙ1 ）とが前記コンピュータシス
テム３５によって合成されたものである。そして、さら
に、その複数個の測定結果の平均値がコンピュータシス
テム３５によって計算され、最終的な測定平均座標点
（Ｘ1 、Ｙ1 ）が得られる。
【００２２】次に、図６に示す如くに、前記コンピュー
タシステム３５によって、上記平均基準中心座標点（Ｘ
ｏ、Ｙｏ）と上記測定平均中心座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）と
の差Ｚが、図６に示す式に従って得られる。
タシステム３５によって、上記平均基準中心座標点（Ｘ
ｏ、Ｙｏ）と上記測定平均中心座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）と
の差Ｚが、図６に示す式に従って得られる。
【００２３】次に、前記コンピュータシステム３５によ
って上記差Ｚが前もって設定された許容値Ｎ内であるが
否かが判定され、Ｚ≦Ｎの場合、コンピュータシステム
によって上記第３のＣＲＴモニタ３１上に”ＯＫ”の表
示がなされ、Ｚ＞Ｎの場合、上記第３のＣＲＴモニタ３
１上に”ＮＧ”の表示がなされる。ここで、上記許容値
Ｎは、この実施例の場合、０．５μｍあるいは０．７μ
ｍとなっている。許容値Ｎ＝０．７とし、Ｚ≦０．７と
した場合には、原理的には０．０９μｍ／ｄｏｔで判定
可能であり、図７に示す如くに、Ｘ1 、Ｙ1 いずれかが
８以上となるが、いずれも６以上となるかによって判定
できるものである。
って上記差Ｚが前もって設定された許容値Ｎ内であるが
否かが判定され、Ｚ≦Ｎの場合、コンピュータシステム
によって上記第３のＣＲＴモニタ３１上に”ＯＫ”の表
示がなされ、Ｚ＞Ｎの場合、上記第３のＣＲＴモニタ３
１上に”ＮＧ”の表示がなされる。ここで、上記許容値
Ｎは、この実施例の場合、０．５μｍあるいは０．７μ
ｍとなっている。許容値Ｎ＝０．７とし、Ｚ≦０．７と
した場合には、原理的には０．０９μｍ／ｄｏｔで判定
可能であり、図７に示す如くに、Ｘ1 、Ｙ1 いずれかが
８以上となるが、いずれも６以上となるかによって判定
できるものである。
【００２４】また、上記判定結果、すなわちフェルール
の良、不良および検査数量は、上記コンピュータシステ
ム３５によって分類表示、保存できるものである。ま
た、上述した実施例においては、”ＯＫ”、”ＮＧ”の
判定表示をコンピュータシステム３５によって行ってい
たが、他の実施例として使用者の目視によって判定を直
接的に行うこともできる。
の良、不良および検査数量は、上記コンピュータシステ
ム３５によって分類表示、保存できるものである。ま
た、上述した実施例においては、”ＯＫ”、”ＮＧ”の
判定表示をコンピュータシステム３５によって行ってい
たが、他の実施例として使用者の目視によって判定を直
接的に行うこともできる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、エ
アスライドチャックによってフェルールを精度良く回転
なしで固定把持し、その把持されたフェルールの穴の中
心位置を第１および第２のＣＣＤカメラで撮像し、第１
のカメラの分解棒の高い横方向における中心位置（Ｘ）
と第２のカメラの分解能の高い縦方向における中心位置
（Ｙ）とを合成し、その合成された結果を測定値として
いるため、フェルールの回転動作を伴わずに、低コスト
でしかも高速にフェルールの穴の偏芯量を精度良く検出
できるものである。
アスライドチャックによってフェルールを精度良く回転
なしで固定把持し、その把持されたフェルールの穴の中
心位置を第１および第２のＣＣＤカメラで撮像し、第１
のカメラの分解棒の高い横方向における中心位置（Ｘ）
と第２のカメラの分解能の高い縦方向における中心位置
（Ｙ）とを合成し、その合成された結果を測定値として
いるため、フェルールの回転動作を伴わずに、低コスト
でしかも高速にフェルールの穴の偏芯量を精度良く検出
できるものである。
【００２６】すなわち、本発明によれば、コスト的には
従来の装置では２０００万円以上かかっていたものが、
１０００万円程度となり、測定速度としては従来２０秒
〜数分かかっていたのに対して２秒以下となり、精度と
しては従来は最高で０．２μｍ／ｄｏｔであったのに対
して０．１μｍ／ｄｏｔとなる。
従来の装置では２０００万円以上かかっていたものが、
１０００万円程度となり、測定速度としては従来２０秒
〜数分かかっていたのに対して２秒以下となり、精度と
しては従来は最高で０．２μｍ／ｄｏｔであったのに対
して０．１μｍ／ｄｏｔとなる。
【図１】本発明を実施したフェルール偏芯検査装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】図１に示すフェルール偏芯検査装置の内部回路
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図３】図１に示すエアスライドチャックの動作説明図
である。
である。
【図４】偏芯の基準となるフェルールマスターゲージに
よる平均基準中心座標点の検出説明図である。
よる平均基準中心座標点の検出説明図である。
【図５】図１に示すモニタ上に表示される撮像スケール
を示す画面図である。
を示す画面図である。
【図６】基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）と測定平均中心
座標点との差Ｚに関する説明図である。
座標点との差Ｚに関する説明図である。
【図７】上記差Ｚが許容値Ｎ内であるか否かの例を示す
説明図である。
説明図である。
【図８】フェルールの構造を示す斜視図である。
【図９】図８に示すフェルールにより光ファイバーが接
続される様子を示す説明図である。
続される様子を示す説明図である。
【図１０】従来のフェルール偏芯検査システムの動作説
明図である。
明図である。
１ フェルール偏芯検査装置 ３、１０１ フェルール ５ チャック ７、９ 第１および第２のＣＣＤカメラ １１、１３ 第１および第２のＣＲＴモニタ １５、１７ 第１および第２の対物レンズ １９、２１ 第１および第２のハーフプリズム ２３ 照明ランプ ２５ チャート ２７ チャート灯光ランプ ３１ 第３のＣＲＴモニタ ３３ カメラコントローラ ３５ コンピュータシステム ３７ ボード類
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01M 11/00 - 11/08 G01N 21/84 - 21/91
Claims (3)
- 【請求項１】 フェルール偏芯検査装置にして、フェル
ールを非常に精度良く回転動作なしで固定把持するため
のチャックと、上記チャックに把持されたフェルールの
穴の第１の方向における中心位置を測定するための上記
第１の方向に対して分解能の高い第１の撮像手段と、上
記チャックに把持されたフェルールの穴の上記第１の方
向と直交する第２の方向における中心位置を測定するた
めの上記第２の方向に対して分解能の高い第２の撮像手
段と、上記第１の撮像手段で測定された第１の方向にお
ける中心位置と上記第２の撮像手段で測定された第２の
方向における中心位置とを合成し、測定中心座標値を得
るための計算手段とを具備することを特徴とするフェル
ール偏芯検査装置。 - 【請求項２】 上記計算手段が、さらに、フェルールマ
スターゲージによる平均基準中心座標値と被測定フェル
ールによる測定平均中心座標値とを比較し、その両者の
差としての偏芯量を得、その偏芯量が前もって決められ
た許容値Ｎ内であるか否かを判定する様に構成されてい
ることを特徴とする請求項１に記載のフェルール偏芯検
査装置。 - 【請求項３】 上記第１の方向が横方向であり、上記第
２の方向が縦方向であることを特徴とする請求項１に記
載のフェルール偏芯検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348191A JP3012726B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | フェルール偏芯検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348191A JP3012726B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | フェルール偏芯検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157541A JPH05157541A (ja) | 1993-06-22 |
| JP3012726B2 true JP3012726B2 (ja) | 2000-02-28 |
Family
ID=18395362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3348191A Expired - Fee Related JP3012726B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | フェルール偏芯検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3012726B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4644983B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2011-03-09 | 株式会社東京精密 | 光コネクタの端面形状測定方法及び装置 |
| JP6526465B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2019-06-05 | 三洋機工株式会社 | 真円度測定装置 |
-
1991
- 1991-12-04 JP JP3348191A patent/JP3012726B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05157541A (ja) | 1993-06-22 |
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