JP3002688B2 - Thermal injection plasma device - Google Patents
Thermal injection plasma deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを被覆するため
に粉末材料の熱噴射が可能なプラズマ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma apparatus capable of thermally spraying a powder material to coat a workpiece.
【0002】[0002]
【従来技術及び発明が解決しようとする課題】金属その
他の材料の粉末をプラズマ・ガンまで搬送してプラズマ
・ガンにより生成されるプラズマ流に導入するプラズマ
装置が知られている。電源や典型的には低圧源の下で不
活性ガス流により生成されるプラズマ流は、プラズマ・
ガンから、粉末を蒸着させて被覆を施すワーク等のター
ゲット上に注がれる。粉末は、プラズマ流へ導入される
前にプラズマ・ガンで予熱してもよいが、プラズマ流に
より連行されるとき融解するので、比較的高濃度の皮膜
がワーク上に形成される。2. Description of the Related Art There is known a plasma apparatus in which powder of a metal or other material is transported to a plasma gun and introduced into a plasma stream generated by the plasma gun. The plasma flow generated by the power supply or inert gas flow, typically under a low pressure source, is
From the gun, the powder is poured onto a target, such as a workpiece on which a powder is deposited and coated. The powder may be preheated with a plasma gun before being introduced into the plasma stream, but will melt when entrained by the plasma stream, resulting in a relatively dense coating on the workpiece.
【0003】こうしたプラズマ装置の一例は、1982
年5月4日に発行されて本願と共同譲渡されたミュール
バーガー他の米国特許第4328257号に開示されて
いる。ミュールバーガー他の特許に記載されているプラ
ズマ装置においては、プラズマ・ガンとワークとを収容
した閉鎖容器に低圧源としての真空ポンプを連結してプ
ラズマ気流をプラズマ・ガンからワークへ超音速で注い
でいる。粉末供給機構により、粉末を加熱してプラズマ
ガンの側部まで搬送し、プラズマ流内に導入する。One example of such a plasma apparatus is 1982
U.S. Pat. No. 4,328,257 to Mühlberger et al., Issued May 4, 1998 and co-assigned with the present application. In the plasma apparatus described in Mühlberger et al., A vacuum pump as a low pressure source is connected to a closed container containing a plasma gun and a work, and a plasma stream is injected from the plasma gun to the work at a supersonic speed. In. The powder is heated by a powder supply mechanism, transported to the side of the plasma gun, and introduced into the plasma flow.
【0004】プラズマ及び加熱粉末を供給するプラズマ
関連装置の先行例は、1971年8月10日に発行され
たウェイマー他の米国特許第3598944号と、19
74年10月1日に発行されたミュールバーガーの米国
特許第3839618号に開示されている。ウェイマー
他の特許には、核燃料の球状微粒子を形成する装置のプ
ラズマ加熱空間に導入する前に、微粒子状物質を加熱す
ることが記載されている。ミュールバーガーの特許に
は、電気抵抗管を使用して粉末を予熱するプラズマ装置
が記述されている。加熱搬送ガスを使用して、粉末は別
個の供給源から一対の上記管を通って供給される。粉末
は、これらの管により加熱された後、プラズマ・ガンの
内腔へ導入される。管は、管に連結された直流電源を用
いて、抵抗加熱される。Prior examples of plasma-related devices for supplying plasma and heated powder include U.S. Pat. No. 3,598,944 issued Aug. 10, 1971 to U.S. Pat.
It is disclosed in U.S. Pat. No. 3,839,618 to Mühlberger issued October 1, 741. Wemer et al. Describe heating particulate matter prior to introduction into the plasma heating space of an apparatus for forming spherical particulates of nuclear fuel. The Mühlberger patent describes a plasma device that uses electrical resistance tubes to preheat powder. Using a heated carrier gas, the powder is supplied through a pair of such tubes from a separate source. After the powder is heated by these tubes, it is introduced into the lumen of the plasma gun. The tube is resistively heated using a DC power supply connected to the tube.
【0005】ミュールバーガーの米国特許第38396
18号においては、粉末粒子の直径は44ミクロン以
下、好ましくはそれよりずっと小さいとされている。従
来技術の加熱粉末搬送装置により通例要求される50ミ
クロン以下の比較的小さい粒子の大きさは、このような
装置の特性限界であると言える。小さい粒子が必要とさ
れるのは、ワークに合理的に高濃度被覆を施す為にプラ
ズマ気流中で急速に加速されるよう、予熱され溶解され
るのを容易にするためである。[0005] US Patent 38396 to Mühlberger
No. 18 claims that the diameter of the powder particles is less than 44 microns, preferably much smaller. The relatively small particle size of 50 microns or less, typically required by prior art heated powder transport equipment, can be said to be a characteristic limit of such equipment. Small particles are required to facilitate preheating and dissolution so that they are rapidly accelerated in a plasma stream to provide a reasonably high concentration of coating on the workpiece.
【0006】しかしながら、直径50ミクロン以下の小
さい粒子には相当の制約がある。まず第一にそのような
粒子は、特に耐熱性物質やガス吸着性物質等の場合、製
造費が比較的高価である。タングステンやモリブデン等
の耐熱性物質は、比較的融点が高く、また、バリウムや
チタニウム、タンタル等のガス吸着性物質は急速に酸化
する。さらに、そのような粒子は粘性あるいは流動性に
乏しく、比較的小内径の加熱管等の装置を通って搬送す
るのが比較的困難である。この粒子はまた、高度の表面
酸化を生じやすく、粒子を比較的純粋かつ非酸化状態で
ワークに供給することが困難である。こうした粒子の重
量に対する表面積比は比較的小さいので熱エネルギ移行
が低下し、粒子の加熱制御がより困難になる。[0006] However, small particles of less than 50 microns in diameter have considerable limitations. First of all, such particles are relatively expensive to manufacture, especially in the case of heat-resistant substances or gas-adsorbing substances. Heat-resistant substances such as tungsten and molybdenum have relatively high melting points, and gas-adsorbing substances such as barium, titanium and tantalum oxidize rapidly. Further, such particles have poor viscosity or flowability and are relatively difficult to convey through devices such as heating tubes with relatively small internal diameters. The particles are also prone to a high degree of surface oxidation, making it difficult to supply the particles to the workpiece in a relatively pure and non-oxidized state. Since the surface area to weight ratio of these particles is relatively small, thermal energy transfer is reduced, making heating control of the particles more difficult.
【0007】一方、直径が約50ミクロン以上の比較的
大型の粉末粒子は、いくつかの重要な点で小型粒子より
有利である。製造費が比較的安価であることに加えて、
そうした粒子は、優れた流動性を有する。粒子を高純度
かつ表面酸化が少ない形で製造し易いので、比較的高濃
度、非酸化の被覆をワークに行うことが容易になる。こ
の大型粒子の重要な欠点は、従来の装置と技術を使用し
て、プラズマ流内で完全に溶解させることが困難な点に
ある。粒子の溶解が困難である為に、ワークに充分な被
覆を施すのは非常に困難になる。そのような粉末が抵抗
加熱搬送管を使用して予熱されたとしても、ワークの被
覆は遂行が困難である。[0007] On the other hand, relatively large powder particles having a diameter of about 50 microns or more are advantageous over small particles in several important respects. In addition to the relatively low manufacturing costs,
Such particles have excellent fluidity. Since the particles are easily produced in a form having high purity and low surface oxidation, it is easy to coat the workpiece with a relatively high concentration and non-oxidation. An important disadvantage of this large particle is that it is difficult to completely dissolve in the plasma stream using conventional equipment and techniques. Due to the difficulty in dissolving the particles, it is very difficult to apply a sufficient coating to the workpiece. Even if such a powder is preheated using a resistance heating transport tube, coating of the workpiece is difficult to accomplish.
【0008】粉末粒子の加熱は、普通上述した異なる粒
子の大きさの様々な特性と同様に、異なる物質の異なる
軟化、溶解特性を考慮せずに、規格化された方法で行な
われていた。また、通常、粉末搬送の他の特性と同様、
粉末温度の調整もプラズマ・ガンで或いはすぐ外側で行
う必要があるとされていた。[0008] heating of the powder powder particles, as well as various characteristics of the size of ordinary aforementioned different particles, without different materials of different softening, considering solubility characteristics, it has been performed by standardized methods . Also, as with other properties of powder transport,
Adjustment of the powder temperature had to be done with a plasma gun or just outside.
【0009】従って、熱噴射に影響を及ぼすプラズマ装
置の全ての部分を最適な方法で変更することにより、熱
噴射を制御し得るプラズマ装置を提供することが望まれ
る。このような改良装置のアプローチは、異なる粒子の
大きさと異なる軟化、溶解特性を持つ多様な粉末材料
を、首尾よく熱噴射し得る能力を含むものである。Therefore, it is desirable to provide a plasma device that can control thermal injection by modifying all parts of the plasma device that affect thermal injection in an optimal manner. Such an improved device approach involves the ability to successfully heat jet a variety of powdered materials with different particle sizes and different softening and dissolving properties.
【0010】改良プラズマ装置のより明確な目的には、
比較的高濃度で均一な皮膜をワークに形成するように、
比較的大型の粒子の粉末材料を噴射する能力が含まれ
る。また、粒子をプラズマ気流中でほぼ完全に溶解する
ようにあらゆる大きさの粉末粒子を予熱可能で、同時
に、粒子が粉末供給装置を通って比較的円滑で継続的に
流動し得る加熱粉末搬送装置の提供も有益な点である。A more specific purpose of the improved plasma device is to:
To form a uniform film with a relatively high concentration on the work,
Includes the ability to inject relatively large particles of powdered material. Also, a heated powder transport device that can preheat powder particles of any size so that the particles are almost completely dissolved in the plasma stream, while the particles can flow relatively smoothly and continuously through the powder supply device. Is also a useful point.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明のプラズマ装置で
は、前記装置の種々の部品による制御は前記熱噴射工程
を高めるよう最適化される。異なる材質や大きさの粉末
が、全て比較的均一な予熱状態でプラズマ流の中へ送ら
れ、前記プラズマ流内で粒子溶融を最適化できるよう
に、改良した予熱装置が用いられる。また、プラズマ・
ガンが、粒子密度と前記プラズマ流内の加速を最適化す
るように調節される。さらに、プラズマ流内の粒子加熱
を制御するために装置を設けることも可能であり、ワー
クに施す被覆を改善することができる。According to the plasma apparatus of the present invention ,
The control by the various components of the device is optimized to enhance the heat injection process. Powder different materials and sizes are all fed into the plasma stream in a relatively uniform preheat state, as can be optimized particles melt in the plasma stream, improved preheating device is used. In addition, plasma
The gun is adjusted to optimize particle density and acceleration in the plasma stream. Furthermore, it is possible to provide a device for controlling the heating of particles in the plasma stream, which can improve the coating applied to the workpiece.
【0012】本発明に係る改良型熱粉末噴射装置及び技
術により、比較的大きな粒子の粉末の使用が可能とな
る。前記噴射装置の温度は、慎重に制御され、粒子と接
触する前記装置の壁面その他の部分が、前記粒子の物質
の融点よりも低く保たれる。これにより、粒子の表面が
融解したり、前記噴射装置に付着したりすることが避け
られる。同時に、前記噴射装置の温度が粉末物質の軟化
点や粘性を考慮して設定される。このため粒子が噴射装
置を詰まらせたり、前記装置内での良好な流通に必要な
粘性を失わせることなく、前記粒子はできるだけ高い温
度にまで熱せられる。The improved hot powder injection apparatus and technique according to the present invention allows the use of relatively large particle powders. The temperature of the spray device is carefully controlled so that the walls and other parts of the device in contact with the particles are kept below the melting point of the material of the particles. This prevents the surface of the particles from melting or sticking to the jetting device. At the same time, the temperature of the injection device is set in consideration of the softening point and viscosity of the powder material. The particles are thus heated to the highest possible temperature without the particles clogging the injection device or losing the viscosity required for good flow in the device.
【0013】噴射装置の長さその他の特徴の選択は、前
記プラズマ・ガンに導入されるとすぐに前記粒子が比較
的均一に噴射装置の温度に近い温度まで熱せられるよう
になる。これにより、プラズマ流内の大粒の粒子の溶融
が比較的完全に行なわれ、密度の高いワークへの被覆が
可能となる。プラズマ流の長さと密度は、粒子の溶融を
高めるよう調節することもでき、これにより、適切な改
良型プラズマ装置が、利用できることとなる。かかる改
良型プラズマ装置は、前記熱噴射処理をさらに最適化す
るために、電極に接続された電源を増やし、プラズマ流
の異なる領域内における粒子加熱制御を行なってもよ
い。The choice of injector length and other characteristics is such that upon introduction into the plasma gun, the particles are relatively uniformly heated to a temperature close to the injector temperature. As a result, the large particles in the plasma stream are relatively completely melted, and a dense workpiece can be coated. The length and density of the plasma stream can also be adjusted to enhance the melting of the particles, so that suitable modified plasma devices can be used. Such an improved plasma apparatus may increase the number of power supplies connected to the electrodes and control the heating of particles in different regions of the plasma flow in order to further optimize the thermal injection processing.
【0014】本発明による改良型熱粉末噴射装置の好適
な実施例においては、粉末は粉末フィーダからプラズマ
・ガンへ抵抗性発熱搬送管を用いて搬送されるが、前記
搬送管の反対側の端部は電源と連結されている。粉末源
は搬送されている粉状物質の融点よりも低いがあまり低
すぎない程度の表面温度をもつ搬送管を提供するよう調
整される。搬送ガスと粉末粒子の混合物は、前記搬送管
内を標準流量率で搬送できるようにするに十分な圧力が
ある搬送管の中へと導かれる。搬送管の長さは、粉末粒
子がプラズマ・ガンへ送られるまでに、比較的均一に搬
送管の壁面の温度に近い温度まで熱せられるように、他
の操作要因に応じて慎重に選択される。他の条件が等し
いならば、搬送管の長さが増すと、前記粉末粒子が管内
に滞留する時間も長くなる。かかる滞留時間が長くなれ
ば、管と粒子の温度差が小さくなり、粉末粒子は搬送管
の温度に非常に近い均一な温度で前記搬送管から排出さ
れる。In a preferred embodiment of the improved hot powder injector according to the invention, the powder is transported from the powder feeder to the plasma gun using a resistive heating transport tube, but at the opposite end of the transport tube. The unit is connected to a power supply. The powder source is adjusted to provide a transport tube having a surface temperature below, but not too low of, the melting point of the powdered material being transported. The mixture of the carrier gas and the powder particles is directed into the carrier tube at a pressure sufficient to enable it to be carried at a standard flow rate within the carrier tube. The length of the transfer tube is carefully selected depending on other operating factors so that the powder particles are relatively uniformly heated to a temperature close to the temperature of the transfer tube wall before being sent to the plasma gun. . Other things being equal, the longer the length of the conveying tube, the longer the powder particles stay in the tube. The longer the residence time, the smaller the temperature difference between the tube and the particles, and the powder particles are discharged from the conveying tube at a uniform temperature very close to the temperature of the conveying tube.
【0015】熱粉末搬送管は、より効率的に加熱される
ようにするために、外側にある反射管の内側に同心円状
に配設されている。酸化防止のため不活性ガスが粉末搬
送管と反射管の間隙を循環している間、冷却水がある圧
力で外側にある反射管の二重壁内にポンピングされる。The hot-powder conveying tube is arranged concentrically inside the outer reflecting tube so as to be heated more efficiently. Cooling water is pumped at a certain pressure into the outer double wall of the reflector tube while an inert gas is circulating in the gap between the powder transport tube and the reflector tube to prevent oxidation.
【0016】軟化点が融点よりもわずかに低い粉末物質
の場合には、前記改良型粉末噴射装置にあっては、ある
熱噴射に適用されるプラズマ・ガンを使い、ここから粉
末を排出するようにすることも可能である。前記搬送装
置が融点直下の温度まで粉末を熱する能力があれば、前
記粉末粒子は前記搬送装置からワーク上に直接噴射する
ことが可能となる。かかる構成では、前記搬送装置は前
記搬送装置の圧力を維持するために口径の小さな出口ノ
ズルが設けられている。In the case of powdered materials whose softening point is slightly lower than the melting point, the improved powder injection device uses a plasma gun adapted for a thermal injection to discharge the powder therefrom. It is also possible to If the transfer device has the ability to heat the powder to a temperature just below the melting point, the powder particles can be directly sprayed onto the workpiece from the transfer device. In such a configuration, the transfer device is provided with a small-diameter outlet nozzle in order to maintain the pressure of the transfer device.
【0017】前記プラズマ装置は、プラズマ流内にある
電極間につながっている1または複数の追加電源を備
え、プラズマ流内の粉末粒子の温度を制御できるように
してもよい。かかる実施例においては、一方がガン穴の
すぐ外に配設され、他方がプラズマ・ガンとワークの中
間の位置に配設される一対の環状電極を備えていてもよ
い。前記一対の環状電極間に繋がれる直流電源が、プラ
ズマ流の密度を上げ、粉末の加熱を向上させるようにし
ている。他の実施例では、プラズマ流に沿って間隔をお
いて設けられた複数の電極が複数の異なる直流電源に繋
がれ、プラズマ流に沿った異なる領域内の粉末粒子温度
を独立に制御できるようにしている。さらに他の実施例
においては、最下段の電極を前記ワークに相対的に近い
位置に設け、前記ワークの過剰加熱を避けるために前記
ワークを清浄した後で、前記変換アーク電源と前記ワー
クとの接続が切れるようにしている。さらに他の実施例
では、1または複数の電極に繋がれた電源が前記プラズ
マ・ガンの陰極に直列に接続された負端子を有し、所望
のプラズマ温度分散を達成できるようにしている。さら
に他の実施例では、前記プラズマ流の一部分を取り囲む
永久磁石部材や電磁石部材を設け、前記プラズマ流を成
形し、電極でのプラズマ温度を分散し、過剰加熱を避け
るようにしている。[0017] The plasma device may include one or more additional power supplies connected between the electrodes in the plasma stream to control the temperature of the powder particles in the plasma stream. In such an embodiment, one may be provided just outside the gun hole and the other may comprise a pair of annular electrodes disposed intermediate the plasma gun and the workpiece. A DC power supply connected between the pair of annular electrodes increases the density of the plasma flow and enhances the heating of the powder. In another embodiment, a plurality of electrodes spaced along the plasma flow are connected to a plurality of different DC power supplies to allow independent control of powder particle temperature in different regions along the plasma flow. ing. In still another embodiment, the lowermost electrode is provided at a position relatively close to the work, and after cleaning the work to avoid overheating of the work, the electrode between the conversion arc power supply and the work is removed. Try to disconnect. In yet another embodiment, a power supply connected to one or more electrodes has a negative terminal connected in series with the cathode of the plasma gun to achieve a desired plasma temperature distribution. In yet another embodiment, a permanent magnet or electromagnet member surrounding a portion of the plasma flow is provided to shape the plasma flow, disperse the plasma temperature at the electrodes, and avoid overheating.
【0018】混合粒子を用いる構成において、必要もし
くは望ましい場合には、粉末粒子の表面の少なくとも一
部にクロムなどの適当な被覆部材を用いて処理を施すこ
とにより、異なる組成の粉末粒子の付着性を増加させる
こととしている。被覆は、混合、メッキまたはボール混
合によりなされる。In the configuration using the mixed particles, if necessary or desirable, at least a part of the surface of the powder particles is treated with a suitable coating member such as chromium, so that the adhesion of the powder particles having different compositions is improved. Is to be increased. The coating is done by mixing, plating or ball mixing.
【0019】[0019]
【実施例】本発明のよりよい理解は、添付図面を参照し
つつ後述の詳細な説明を読むことにより得られる。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS A better understanding of the present invention may be obtained by reading the following detailed description with reference to the accompanying drawings, in which: FIG.
【0020】図1は、本発明に関る改良型熱粉末噴射装
置を有するプラズマ装置と、本発明の他の特色とを示し
ている図である。図1の装置は、耐圧性、絶縁性を有
し、真空を保持しうる密閉された容器であるプラズマ・
チャンバ10を有している。チャンバ10は、筒状の本体部
12とこれに連結される上蓋部13とにより画成されてい
る。プラズマ・チャンバ10の本体部には、底部コレクタ
錐体14を有している。前記錐体14は、所望の環境圧を維
持しつつ、排出された気体や粒子を処理する関連装置と
つながっており、連動している。FIG. 1 is a view showing a plasma apparatus having an improved hot powder injection apparatus according to the present invention and another feature of the present invention. The apparatus shown in FIG. 1 is a plasma-resistant container that has pressure resistance, insulation, and can maintain a vacuum.
It has a chamber 10. The chamber 10 has a cylindrical main body.
It is defined by 12 and an upper lid 13 connected thereto. The body of the plasma chamber 10 has a bottom collector cone 14. The cone 14 is connected to and associated with a related device for treating discharged gas and particles while maintaining a desired environmental pressure.
【0021】下方に流れるプラズマ流は、上蓋部13の内
部に装備されたプラズマ・ガン16により作られる。そし
て前記ガン16の位置は、プラズマ・ガン作動装置18によ
り制御される。プラズマ・チャンバ10は、二重の壁を有
する水冷式の容器として構成されていることが望まし
く、上蓋部13は、作動部にアクセスできるよう着脱自在
となっている。前記ガン作動装置18は、前記上蓋部13の
壁にある密封されたベアリングと連結器を介して、前記
プラズマ・ガン16を支持し、制御している。The downwardly flowing plasma stream is created by a plasma gun 16 mounted inside the top lid 13. The position of the gun 16 is controlled by a plasma gun actuator 18. The plasma chamber 10 is preferably configured as a double-walled water-cooled container, and the upper lid 13 is detachable so as to access the operation unit. The gun actuator 18 supports and controls the plasma gun 16 via a sealed bearing and coupler on the wall of the top lid 13.
【0022】粉末供給装置20は、図2に示された改良型
熱粉末噴射装置を有しており、上蓋部13に連結されてい
る。粉末供給装置20は、プラズマ・ガン16に連結する装
置を介して、プラズマ流の中へ、熱した粉末を制御され
た状態で供給している。粉末供給装置20から供給された
熱粉末は、プラズマ・ガン16により生成されたプラズマ
流の中へ運ばれる。The powder supply device 20 has the improved hot powder injection device shown in FIG. 2 and is connected to the upper lid 13. The powder feeder 20 supplies the heated powder in a controlled manner into the plasma stream via a device connected to the plasma gun 16. The hot powder supplied from the powder supply 20 is carried into the plasma stream generated by the plasma gun 16.
【0023】プラズマ・ガン16から出てくる、下方に向
かうプラズマ流は、ワーク24に当たる。ワーク24は、内
部が冷却された、伝導性のワーク保持具25に支えられて
おり、作動中はチャンバ本体12を通って外部にあるワー
ク移動装置26まで延びているシャフトを介して、位置決
めされたり動かされたりする。ワーク24の一方の端の近
傍であって、当前記ワーク24に接触しない位置28があ
る。ダミー・スティング28は、同様に内部が冷却されて
おり、チャンバ本体12の側壁を通して、ダミー・スティ
ング作動装置30に連結されている。ワーク保持具25とダ
ミー・スティング28とは、チャンバ10の中心軸に関する
挿入位置として調整可能であり、通電することができ
る。これは、前記保持具25と前記スティング28とを、操
作中の種々の局面において、変換アーク発生のための選
択された電位に保つことができるようにするために行な
われる。The downwardly flowing plasma flow from the plasma gun 16 strikes the workpiece 24. The work 24 is supported by a conductive work holder 25, which is internally cooled, and is positioned during operation by a shaft extending through the chamber body 12 to an external work moving device 26. Or be moved. There is a position 28 near one end of the work 24 and not in contact with the work 24. The interior of the dummy sting 28 is similarly cooled and is connected to the dummy sting actuator 30 through the side wall of the chamber body 12. The workpiece holder 25 and the dummy sting 28 can be adjusted as an insertion position with respect to the center axis of the chamber 10 and can be energized. This is done so that the holder 25 and the sting 28 can be maintained at selected potentials for conversion arcing during various aspects of operation.
【0024】ワーク24と、ダミー・スティング28の下
で、コレクタ錐体14は過剰に吹き付けられた気体状や粒
子状になっている物質を、バッフル・フィルタ・モジュ
ール32に導く。バッフル・フィルタ・モジュール32は、
過剰吹き付けを最初に一緒にするための水冷バッフル部
と、連行粒子状物質の大部分を抽出するための、イン・
ライン・フィルタ部とを有する。バッフル・フィルタ・
モジュールを通った流出物は、次に、別の水冷装置であ
る、熱変換モジュール36を通して、真空多岐管38に導か
れる。真空多岐管38は、前記流出物に残っている、ほと
んど全ての粒子を抽出する、オーバースプレ・フィルタ
収集装置を有している。真空多岐管38は、チャンバ10内
の所望の環境圧を維持するに十分な能力を有する真空ポ
ンプ42に通じている。特に、0.6 気圧から0.001 気圧の
間の環境圧下においては、超音速のプラズマを発生させ
るに十分な、静止圧が生じる。Under the workpiece 24 and the dummy sting 28, the collector cone 14 directs excessively blown gaseous or particulate matter to the baffle filter module 32. The baffle filter module 32
A water-cooled baffle to initially combine the overspray and an in-line baffle to extract most of the entrained particulate matter
A line filter unit. Baffle filter
The effluent through the module is then directed to a vacuum manifold 38 through another water cooling device, a heat conversion module 36. Vacuum manifold 38 has an over-spray filter collection device that extracts almost all particles remaining in the effluent. The vacuum manifold 38 communicates with a vacuum pump 42 that has sufficient capacity to maintain the desired environmental pressure within the chamber 10. In particular, at ambient pressures between 0.6 atm and 0.001 atm, a static pressure is generated which is sufficient to generate supersonic plasma.
【0025】オーバースプレ・フィルタ・モジュール32
や、熱変換モジュール36も、壁が二重で、水冷式の装置
であることが望ましいが、プラズマ装置において広く用
いられる良く知られた型のものであれば、いずれを用い
てもよい。Overspray filter module 32
Also, the heat conversion module 36 is desirably a water-cooled device with a double wall, but any well-known type widely used in plasma devices may be used.
【0026】装置の様々な部品の操作や修理をし易くす
るために、装置全体をローラに乗せ、レールにするた
め、従来ののぞき窓、水冷接近扉、及び電気的に接続す
るための絶縁フィードスル・プレートについては、示し
たり、詳細に説明したりすることはしなかった。ワーク
支持具と作動制御装置とは、チャンバ本体12内の、ちょ
うつがい式の正面接近扉43に取り付けるのが望ましい。To facilitate operation and repair of various parts of the apparatus, the entire apparatus is mounted on rollers and rails, conventional viewing windows, water cooling access doors, and insulated feeds for electrical connection. The through plate was not shown or described in detail. The work support and the operation control device are desirably attached to a hinged front approach door 43 in the chamber main body 12.
【0027】電気エネルギーは、チャンバの上蓋部13に
据えつけられた固定バスバー44を介して、装置の操作部
に供給される。可撓性のある、水冷式ケーブルが、プラ
ズマ電源46、高周波電源48及び陰極変換アーク電源40
を、バスバー44を介して、プラズマ流を生成するための
プラズマ・ガン16につないでいる。プラズマ電源46は、
プラズマ・ガン16の電極間に、必須の電位差を供給す
る。高周波電源48は、プラズマ電源46を有する直流電源
に、高周波放電を加えることにより、プラズマ・ガン16
内に、アーク放電を開始させるために用いられる。しか
る後に、プラズマ・ガン16とワーク24との間に連結され
た陰極変換アーク電源50が、本発明では、連結的な陰極
変換アーク放電を両者間に供給するのである。The electric energy is supplied to the operation unit of the apparatus through a fixed bus bar 44 mounted on the upper lid 13 of the chamber. A flexible, water-cooled cable comprises a plasma power supply 46, a high frequency power supply 48, and a cathodic conversion arc power supply 40.
Is connected via a bus bar 44 to a plasma gun 16 for generating a plasma flow. The plasma power supply 46
An essential potential difference is provided between the electrodes of the plasma gun 16. The high frequency power supply 48 is applied to a DC power supply having a plasma power supply 46 by applying a high frequency discharge to the plasma gun 16.
Used to initiate an arc discharge. Thereafter, a cathodic conversion arc power supply 50 connected between the plasma gun 16 and the workpiece 24, in the present invention, supplies a concatenated cathodic conversion arc discharge therebetween.
【0028】プラズマ・ガン16の内部を充分な冷却水が
流れるようにするための水ブースタ・ポンプ52の使用が
必要となる。プラズマ・ガス源54は、プラズマ流を発生
させるための適切なイオン化ガスを供給している。ここ
で用いられる気体は、アルゴン単体、または、ヘリウム
もしくは水素と種晶しているアルゴンである。もっと
も、他の気体も用いることができることは、当業者に周
知の通りである。[0028] The use of a water booster pump 52 is required to allow sufficient cooling water to flow through the interior of the plasma gun 16. The plasma gas source 54 provides a suitable ionized gas for generating a plasma stream. The gas used here is argon alone or argon seeded with helium or hydrogen. However, it is well known to those skilled in the art that other gases can be used.
【0029】図1の装置の作動順序が、種々の作動装置
の作動速度や作動幅をどのようにするかについての制御
は、装置制御コンソール56によりなされる。プラズマ・
ガン16は、プラズマ制御コンソール58の制御の下に、独
立に操作される。これらのコンソールにより遂行される
機能や、コンソール内部の回路については、よく知られ
ているので、図示したり詳細に説明したりすることはし
なかった。変換アーク制御回路60は、陰極アーク電源50
を制御するために用いられる場合もある。図1に関して
説明された事項の大部分は、先に述べた、ミュールバー
ガー等による、米国特許 4,328,257と近似しており、プ
ラズマ装置の1つ以上の部品について、さらに説明が必
要になった際に、必要に応じて言及するつもりである。Control over how the sequence of operation of the system of FIG. 1 determines the operating speed and width of the various operating systems is provided by the system control console 56. plasma·
The gun 16 is operated independently under the control of the plasma control console 58. The functions performed by these consoles and the circuitry inside the consoles are well known and have not been shown or described in detail. The conversion arc control circuit 60 includes a cathode arc power supply 50.
In some cases. Much of the matter described with respect to FIG. 1 is similar to the earlier mentioned U.S. Pat. No. 4,328,257 to Mühlberger et al., And one or more components of a plasma device may require additional explanation. Will be mentioned as needed.
【0030】図1の粉末供給装置20が、プラズマ・ガン
16との関連において、図2に詳細に示されている。粉末
供給装置20は、プラズマ・ガンに供給される粉末を、選
択された分量だけ含有する不活性ガスを流す、粉末フィ
ーダ70を有している。粉末フィーダ70は、適切なもので
あれば、従来よりある型のどれを用いてもよい。一例と
して、1989年2月28日に特許された、ミュールバーガー
等による米国特許第 4,808,042号に記載された、粉末フ
ィーダがある。この例の場合、粉末フィーダ70が、アル
ゴンと水素の混合気体を運搬用気体として用い、毎分約
60グラムの標準流量率で、粉末を供給する。The powder supply device 20 shown in FIG.
This is shown in detail in FIG. The powder supply 20 has a powder feeder 70 for flowing an inert gas containing a selected amount of powder to be supplied to the plasma gun. Any suitable conventional powder feeder may be used. One example is the powder feeder described in U.S. Pat. No. 4,808,042 to Mühlberger et al., Issued Feb. 28, 1989. In this case, the powder feeder 70 uses a mixed gas of argon and hydrogen as a carrier gas,
Feed the powder at a standard flow rate of 60 grams.
【0031】粉末を運搬する不活性ガスは、導管71を介
して、熱粉末噴射装置76の第1端74にある粉末取り付け
部品72に供給される。熱粉末噴射装置76は、反対側にプ
ラズマ・ガン16の側面の内部に装着された、第2端78を
有しており、主として、細長く抵抗値の高い加熱管80よ
り成る。加熱管80は、粉末取付部品72とほぼ連続してお
り、第1端74にある電源接続留具82から第1端74の近傍
にある多岐管84を通って、第2端78にある多岐管86まで
延びている。加熱管80は、多岐管86を通り、プラズマ・
ガン16の陽極の側壁88の仲まで延びており、側壁88の内
部にある孔92で終わっている。穴92は、陽極90内部の内
部孔94まで延びている。陽極90では、従来の方法で、プ
ラズマ・ガン16によりプラズマ流が形成される。The powder carrying inert gas is supplied via a conduit 71 to a powder fitting 72 at a first end 74 of a hot powder injector 76. The hot powder sprayer 76 has a second end 78 mounted inside the side of the plasma gun 16 on the opposite side and consists primarily of an elongated, high resistance heating tube 80. The heating tube 80 is substantially continuous with the powder fitting 72 and extends from a power connection fastener 82 at a first end 74 through a manifold 84 near the first end 74 to a manifold at a second end 78. It extends to tube 86. The heating tube 80 passes through the manifold 86 and passes through the plasma tube.
It extends halfway through the side wall 88 of the anode of the gun 16 and terminates in a hole 92 inside the side wall 88. The hole 92 extends to an internal hole 94 inside the anode 90. At the anode 90, a plasma stream is formed by the plasma gun 16 in a conventional manner.
【0032】加熱管80は、加熱管80の両端への直流電源
96の印加に応じて熱せられる物質からできている。本例
においては、加熱管80はタングステンでできており、長
さがおよそ10フィート、外径 0.375インチ、内径 0.171
インチである。電源96は、第1端74にある電源接続留具
82に接続される正端子と、プラズマ・ガン16の陽極に接
続される負端子とを有している。そして、プラズマ・ガ
ン16は、第2端78にある加熱管80の反対側の端部と電気
的に接続されている。電源96は、加熱管80を通して、15
00アンペアまでの電流を供給できる、 120KWの直流電
源である。The heating tube 80 has a DC power supply to both ends of the heating tube 80.
Made of material that can be heated in response to 96 applications. In this example, the heating tube 80 is made of tungsten and is approximately 10 feet long, 0.375 inch OD, 0.171 ID.
Inches. The power supply 96 is a power connection fastener at the first end 74.
It has a positive terminal connected to 82 and a negative terminal connected to the anode of plasma gun 16. And, the plasma gun 16 is electrically connected to the opposite end of the heating tube 80 at the second end 78. The power supply 96 is connected to the heating tube 80 through
A 120 kW DC power supply that can supply up to 00 amps.
【0033】以下に述べるように、電源96は、所望の電
圧降下と、加熱管80を通る電流を供給するよう調節され
る。この結果、加熱管80は、長手方向にそって、所望の
温度まで熱せられる。加熱管80を熱するのは、粉末運搬
用の不活性ガスにより、粉末フィーダ70の長手方向を通
って、プラズマ・ガン16の孔94まで運ばれる間に所望の
温度まで粉末を熱するためである。As described below, power supply 96 is regulated to provide the desired voltage drop and current through heating tube 80. As a result, the heating tube 80 is heated to a desired temperature along the longitudinal direction. The heating tube 80 is heated in order to heat the powder to a desired temperature while being transported to the hole 94 of the plasma gun 16 through the length of the powder feeder 70 by the inert gas for powder transport. is there.
【0034】加熱管80の外周の周囲に、前記外周よりも
大きな径をもつ反射管98を、ほぼ同心円状に配設したた
め、加熱管80の加熱効率が向上している。加熱管80のま
わりに反射管98を配設する、同心円構造は、セラミック
・スペーサ99により維持されている。反射管98は、同心
円状に構成されている管の内壁と外壁の間が中空となっ
ていて、多岐管84と86の間に設けられている。反射管98
は、ステンレス鋼で作ってもよい。また、反射管98は、
管の内壁の内側にみがき上げた表面を有しており、前記
表面が加熱管80より発せられた熱を加熱管80へ反射し返
すようになっている。このように、反射管98を設けるこ
とにより、電源76から供給される電流をより少なく用い
て、加熱管80の加熱を行なうことが可能となる。Since the reflecting tube 98 having a larger diameter than the outer periphery is arranged substantially concentrically around the outer periphery of the heating tube 80, the heating efficiency of the heating tube 80 is improved. The concentric arrangement of the reflector tube 98 around the heating tube 80 is maintained by a ceramic spacer 99. The reflecting tube 98 has a hollow space between the inner wall and the outer wall of the concentric tube, and is provided between the manifolds 84 and 86. Reflector tube 98
May be made of stainless steel. The reflecting tube 98 is
It has a polished surface inside the inner wall of the tube, and the surface reflects heat generated from the heating tube 80 back to the heating tube 80. By providing the reflecting tube 98 in this manner, it is possible to heat the heating tube 80 using a smaller amount of current supplied from the power supply 76.
【0035】反射管98は、高圧水ポンプ 100から流れて
くる水により冷却される。まず、ポンプ 100から流れて
くる水は、電源接続留具82内を通り、前記留具82を冷却
する。電源接続留具82から流れ出た水は、導管 102を通
過し、多岐管84に入る。多岐管84から流れ出た水は、矢
印 104により示されるように、反射管98の中空な内部に
入り、反射管98の長手方向に沿って流れ、多岐管86に至
る。多岐管86のところで、冷却水は反射管を出て、排水
口 106に至る。この例においては、高圧ポンプ100が、
毎分約7ガロンの水を流す。The reflecting tube 98 is cooled by the water flowing from the high-pressure water pump 100. First, the water flowing from the pump 100 passes through the inside of the power connection fastener 82 and cools the fastener 82. Water flowing out of the power supply fitting 82 passes through the conduit 102 and enters the manifold 84. The water that has flowed out of the manifold 84 enters the hollow interior of the reflector tube 98 as shown by the arrow 104, flows along the longitudinal direction of the reflector tube 98, and reaches the manifold 86. At manifold 86, the cooling water exits the reflector tube and reaches drain 106. In this example, the high-pressure pump 100
Run about 7 gallons of water per minute.
【0036】多岐管84は、不活性ガス源 108からの不活
性ガスをも受け、加熱管80の外側と反射管98の内側との
間の空間に、この不活性ガスを導く。前記不活性ガス
は、セラミック・スペーサ99にある穴を通り、管80と管
98に沿って流れ多岐管86に至る。そして、不活性ガス
は、穴 110を通り、多岐管86から排出される。不活性ガ
スは、加熱管80と反射管98の酸化を防止する働きがあ
る。The manifold 84 also receives the inert gas from the inert gas source 108 and directs the inert gas into the space between the outside of the heating tube 80 and the inside of the reflecting tube 98. The inert gas passes through a hole in the ceramic spacer 99 and passes through tube 80 and tube
Flow along 98 to manifold 86. Then, the inert gas is discharged from the manifold 86 through the hole 110. The inert gas has a function of preventing the heating tube 80 and the reflecting tube 98 from being oxidized.
【0037】本発明によれば、加熱管80の表面温度が、
粉末フィーダ70から加熱管80を通って供給される粉末の
融点を超える程度にまで、加熱管80が熱せられること
は、決してない。加熱管80の表面温度は、粉末が軟化
し、粉末が自在に流れられなくなる温度よりも僅かに低
い方がよい。融点と軟化点がすでにわかって粉状物への
代表的な対処方法としては、融点と軟化点の間の温度で
あって、粉末の流れが悪くなり、粉末が付着したり、詰
まったりする温度を測定することである。かかる温度を
測定した後に、加熱管は、およそ華氏 300度(摂氏149
度)未満の温度まで熱せられる。図2に示された装置内
の加熱管80の温度は、下記の要領で、慎重に制御するこ
とができる。According to the present invention, the surface temperature of the heating tube 80 is
Of the powder supplied from the powder feeder 70 through the heating tube 80
The heating tube 80 will never be heated to a point above the melting point . The surface temperature of the heating tube 80 causes the powder to soften.
However, it is better that the temperature is slightly lower than the temperature at which the powder cannot flow freely . As a typical measure for a powdery substance whose melting point and softening point are already known, the temperature between the melting point and the softening point is the temperature at which the flow of the powder becomes poor and the powder adheres or clogs. Is to measure After measuring such temperature, the heating tube should be approximately 300 degrees Fahrenheit (149 degrees Celsius).
Degrees) . The temperature of the heating tube 80 in the apparatus shown in FIG. 2 can be carefully controlled in the following manner.
【0038】管の表面温度が、粉末の融点に達しないこ
とという制約を受けることを条件として、他のパラメー
タの調整は、粉末粒子が第2端に到着しプラズマ・ガン
16の穴94に導かれるまでの間、加熱管80の表面温度に比
較的近い温度になるまで粉末の粒子が比較的均一に熱せ
られるようになる。かかる粉末排出温度は、不活性ガス
の体積及び流量率と、当前記ガスにより運搬される粉末
とに影響される。所定の管温度、ガスの体積、ガスの流
量率、粉末の体積と粉末の流量率のもとでは、加熱管80
の長さを変えることによりプラズマ・ガン16における粉
末排出温度を変えることができる。特に、図2に示され
た装置内の加熱管80の長さは、従来技術における抵抗性
加熱粉末搬送管よりもかなり長い、このため、加熱管80
の表面温度にかなり近い粉末排出温度を得ることができ
る。従って、粉末排出温度が粉末の融点よりもかなり低
くなるということは避けられる。このことは、直径が50
ミクロンを超えるような比較的大きな粉末粒子の場合に
特に有利に働く。かかる大きな粒子は、比較的高温の排
出温度にまで熱せられると、プラズマ流内でずっと容易
に溶融し、所望の比較的均一な高密度皮膜が達成され
る。Adjusting the other parameters, provided that the surface temperature of the tube does not reach the melting point of the powder, the powder particles arrive at the second end and the plasma gun
Until guided to the 16 holes 94, the powder particles are heated relatively uniformly until the temperature is relatively close to the surface temperature of the heating tube 80. The powder discharge temperature is influenced by the volume and flow rate of the inert gas and the powder carried by said gas. At a given tube temperature, gas volume, gas flow rate, powder volume and powder flow rate, the heating tube 80
By changing the length of the powder, the powder discharge temperature at the plasma gun 16 can be changed. In particular, the length of the heating tube 80 in the apparatus shown in FIG. 2 is considerably longer than the resistive heating powder transport tube in the prior art, and therefore the heating tube 80
A powder discharge temperature that is quite close to the surface temperature of the powder. Thus, it is avoided that the powder discharge temperature is much lower than the melting point of the powder. This means that a diameter of 50
This is particularly advantageous for relatively large powder particles, such as greater than microns. Such large particles, when heated to a relatively high discharge temperature, melt much more easily in the plasma stream to achieve the desired relatively uniform, dense coating.
【0039】図3は、加熱管80内を流れる電流と、その
関数である加熱管80の表面温度及び粉末排出温度との関
係を示した表である。ここでは、図2の装置について、
1.450 アンペアのアーク電流、52ボルトのアーク電圧、
総電力75.4kwで作動するプラズマ・ガン16を用いた場
合が示されている。電源96は前記加熱管電流を増加させ
るように調整されているため、前記管の表面温度は、ほ
ぼ線型の態様で増加しているということがわかるであろ
う。管電流が 400アンペアである点において、前記管の
表面温度は華氏 1,250度(摂氏677度)よりも僅かに低
い。前記管電流が 800アンペアにまで増加すると、それ
に伴い前記管の表面温度は、華氏約2000度(摂氏1093
度)まで上昇する。管温度の点は、前記加熱管80におい
て均衡が確立した後の条件を示している。前記加熱管80
に最初に電流が印加されたときには、前記管が均衡状態
にまで熱せられるまでに少なくとも数分間の時間が必要
となる。同様に、加熱管80に印加される電圧がかなりの
量で突然増加または減少したとき、均衡状態が確立する
までに、わずかながら時間が必要となる。FIG. 3 is a table showing the relationship between the current flowing through the heating tube 80 and the functions of the surface temperature and the powder discharge temperature of the heating tube 80. Here, for the device of FIG.
1.450 amp arc current, 52 volt arc voltage,
The case where a plasma gun 16 operating at a total power of 75.4 kW is used is shown. It will be seen that because the power supply 96 is tuned to increase the heating tube current, the surface temperature of the tube is increasing in a substantially linear manner. At a tube current of 400 amps, the surface temperature of the tube is slightly below 1,250 degrees Fahrenheit (677 degrees Celsius) . As the tube current increases to 800 amps, the surface temperature of the tube is accordingly increased to about 2000 degrees Fahrenheit (1093 degrees Celsius).
Degree) . The tube temperature point indicates the condition after the equilibrium is established in the heating tube 80. The heating tube 80
When current is first applied to the tube, it takes at least several minutes for the tube to heat up to equilibrium. Similarly, when the voltage applied to the heating tube 80 suddenly increases or decreases by a significant amount, a small amount of time is required before equilibrium is established.
【0040】前記電源96の調整は、先に述べたように、
加熱管電流により、管表面温度が、プラズマ・ガン16に
供給されている粉末の融点よりも僅かに低くなるように
なされている。これにより、粉末粒子の表面が加熱管80
の内壁に付着したり、管が詰まったりするという深刻な
粉末流についての問題を引き起こすことがなくなる。管
表面温度に加えて、図3は、管電流の関数としての粉末
排出温度の変化も示している。粉末排出温度は管電流の
増加とほぼ線型の態様で増加していることがわかるであ
ろう。図2の装置の場合において、気体の所定体積及び
流量と、粉末の所定体積及び流量のもとにおいては、前
記粉末排出温度は 400アンペアの管電流における華氏約
750度(摂氏399度)から 800アンペアの管電流におけ
る華氏1,750度(摂氏954度)よりも僅かに低い温度まで
増加する。The adjustment of the power supply 96 is performed as described above.
The heating tube current causes the tube surface temperature to be slightly lower than the melting point of the powder being supplied to the plasma gun 16. As a result, the surface of the powder particles
It will not cause serious powder flow problems, such as sticking to the inner walls of tubes or clogging tubes. In addition to tube surface temperature, FIG. 3 also shows the change in powder discharge temperature as a function of tube current. It can be seen that the powder discharge temperature increases in a substantially linear manner with increasing tube current. In the case of the apparatus of FIG. 2, for a given volume and flow of gas and a given volume and flow of powder, the powder discharge temperature is about
It increases from 750 degrees (399 degrees Celsius) to a temperature slightly lower than 1,750 degrees F (954 degrees Celsius ) at 800 amps tube current.
【0041】前記管電流は粉末の融点や軟化点により制
約を受ける。それにも拘らず、所定の電流についての粉
末排出温度の調整は、粉末や加熱管80内を流通する粉末
を運ぶ不活性キャリア・ガスの流量率や分量の最適範囲
は、使用されている所定の熱粉末噴射装置によりきま
る。かかる場合において、以下に述べるように、加熱管
80の長さをより長く選定することにより、粉末排出温度
を、管表面温度よりも低い温度であって、比較的これに
近い温度にまで上昇させることができる。The tube current is restricted by the melting point and softening point of the powder. Nevertheless, the adjustment of the powder discharge temperature for a given current depends on the optimum range of the flow rate and the amount of the inert carrier gas carrying the powder and the powder flowing through the heating tube 80. It depends on the hot powder injection device. In such a case, as described below, a heating tube
By choosing a longer length of 80, the powder discharge temperature can be raised to a temperature below, but relatively close to, the tube surface temperature.
【0042】図4は、加熱管の長さと、その関数である
粉末排出温度との関係を、表に表したものである。図4
は、キャリア・ガスとそれにより運ばれる粉末の体積と
流量は最適値である定数に保たれているということを前
提としている。前記管温度は、図4にも示されている
が、ほぼ定数に近いものとして示されている。先述のよ
うに、前記管の長さが変化するにつれて、管電流の調整
は、管表面温度が粉末の融点よりわずかに低くなるよう
に調整されるということが前提となっている。温度差Δ
tは、粉末排出温度と管温度との差である。Δtは、小
さくなり、理想的にはゼロまで減少し、粉末排出温度が
管表面温度に近くなるか等しくなることが望ましい。こ
れにより、粉末はできるだけ高温でプラズマ・ガン16に
導かれるとともに、粉末粒子が加熱管80を通過する間に
溶融してしまうということがなくなる。FIG. 4 is a table showing the relationship between the length of the heating tube and the powder discharge temperature as a function thereof. FIG.
Presupposes that the volume and flow rate of the carrier gas and the powder carried by it are kept at constant, optimal values. The tube temperature, also shown in FIG. 4, is shown as being approximately constant. As mentioned above, it is assumed that as the length of the tube changes, the adjustment of the tube current is adjusted so that the tube surface temperature is slightly below the melting point of the powder. Temperature difference Δ
t is the difference between the powder discharge temperature and the tube temperature. It is desirable that Δt be small, ideally reduced to zero, and that the powder discharge temperature be close to or equal to the tube surface temperature. This guides the powder to the plasma gun 16 at as high a temperature as possible and prevents the powder particles from melting while passing through the heating tube 80.
【0043】図4に示されるように、管の長さが長くな
るにつれて、粉末排出温度は徐々に上昇するとともに、
Δtは減少する。結局、粉末排出温度が管表面温度とほ
ぼ等しくなる点まで到達する。これが最適な操作範囲と
考えられているが、必要な管の長さと、かかる長さの管
を所望の管表面温度にまで熱するのを必要とされる電力
との経済性と実用性とを勘案して選択される。多くの場
合、管の長さが長くなるにつれて管内に粉末が滞留する
時間も長くなるので、管表面温度と同じかそれに近い粉
末排出温度を得ることができる。管に滞留する時間が長
くなるにつれて、粉末の加熱の均一性が高まる傾向があ
る。特に、外皮もしくは表面温度が高くなった後も長時
間、粒子内部の温度が室温のままである、比較的大粒の
粉末粒子の場合にこの傾向が顕著である。大粒の粉末粒
子を管表面温度までまたはそれに近くなるまで熱する
と、粉末がプラズマ・ガン16内のプラズマ流に導かれた
ときに粉末の溶融が促進される。比較的高い付着効率
と、ワークに対する比較的均一で高密度の皮膜加工を実
現するためには、プラズマ流内の粒子の溶融がほぼ完全
になされていることが必要である。As shown in FIG. 4, as the length of the tube increases, the powder discharge temperature gradually increases,
Δt decreases. Eventually, a point is reached where the powder discharge temperature is approximately equal to the tube surface temperature. Although this is considered the optimal operating range, the economics and practicality of the required tube length and the power required to heat such a length of tube to the desired tube surface temperature are reduced. It is selected in consideration of it. In many cases, the longer the length of the tube, the longer the residence time of the powder in the tube, so that a powder discharge temperature equal to or close to the tube surface temperature can be obtained. As the residence time in the tube increases, the uniformity of the heating of the powder tends to increase. This tendency is particularly remarkable in the case of relatively large powder particles in which the temperature inside the particles remains at room temperature for a long time even after the outer skin or surface temperature is increased. Heating the large powder particles to or near the tube surface temperature promotes the melting of the powder as it is directed into the plasma flow in the plasma gun 16. In order to achieve a relatively high deposition efficiency and a relatively uniform and high-density coating on a workpiece, it is necessary that the particles in the plasma stream are almost completely melted.
【0044】図5は、加熱管80内を通る電流と、その関
数である付着効率との関係を示す表である。付着効率
は、プラズマ・ガン16により噴射されワーク24の皮膜に
変わる粉末の割合を百分率で表してある。図5において
は、管電流は 700アンペアから800アンペアの間の範囲
で示してある。FIG. 5 is a table showing the relationship between the current flowing through the heating tube 80 and the deposition efficiency as a function thereof. The deposition efficiency is expressed as a percentage of the powder that is sprayed by the plasma gun 16 and changes into a film of the work 24. In FIG. 5, the tube current is shown in the range between 700 and 800 amps.
【0045】第2図に示された熱粉末噴射装置76を用い
ると、図5の「延長管なし」と表示された曲線が得られ
た。付着効率は、700 アンペアにおける約2%から 800
アンペアにおける約10%まで上昇しているのがわかる。Using the hot powder injector 76 shown in FIG. 2, the curve labeled "no extension tube" in FIG. 5 was obtained. Deposition efficiency ranges from about 2% at 700 amps to 800
You can see that it has risen to about 10% in amps.
【0046】図2の装置に図2Aの加熱管延長装置が付
加されると、付着効率が改善される。図2Aの延長装置
は、粉末付属部品72と粉末フィーダ70に連なる導管71と
を連結する16長ステンレス管 112を有している。電源 1
14は、前記管 112の両端に接続され、前記管 112に抵抗
性発熱を供給している。The addition of the heating tube extension of FIG. 2A to the apparatus of FIG. 2 improves the deposition efficiency. The extension device of FIG. 2A has a 16-length stainless steel tube 112 connecting the powder accessory 72 and the conduit 71 leading to the powder feeder 70. Power supply 1
Numerals 14 are connected to both ends of the tube 112 to supply the tube 112 with resistive heat.
【0047】図5に「延長管あり」と表示された曲線
は、図2Aに示された延長装置を用いた場合の付着効率
を示している。電源96から流れる電流が 700アンペアか
ら 800アンペアまで増加するに伴い、前記管 112に接続
された独立電源 114は、45アンペアから80アンペアに増
加する電流を発生させるよう調整される。これにより、
管 112の電圧降下は55ボルトから49ボルトまでの減少と
なり、その後56ボルトに上昇した。図5からは、図2A
の延長装置を付加した場合、加熱管80の場合の 700アン
ペアから 800アンペアの電流範囲と同一の電流範囲にお
いても、付着効率はかなり向上する。特に、前記範囲内
でも高い電流値においてその傾向が顕著である。付着効
率は 700アンペアにおける約6%から 750アンペアにお
ける約8%へと徐々に上昇する。 750アンペアを超える
と、付着効率は、かなり高い割合で上昇し、 800アンペ
アで22%の値になる。The curve labeled "with extension tube" in FIG. 5 shows the adhesion efficiency when using the extension device shown in FIG. 2A. As the current flowing from the power supply 96 increases from 700 amps to 800 amps, the independent power supply 114 connected to the tube 112 is tuned to generate a current that increases from 45 amps to 80 amps. This allows
The voltage drop on tube 112 decreased from 55 volts to 49 volts and then rose to 56 volts. From FIG. 5, FIG.
When the extension device is added, the deposition efficiency is considerably improved even in the same current range as 700 to 800 amps in the case of the heating tube 80. In particular, the tendency is remarkable at a high current value even in the above range. The deposition efficiency gradually increases from about 6% at 700 amps to about 8% at 750 amps. Above 750 amps, deposition efficiency increases at a much higher rate, reaching a value of 22% at 800 amps.
【0048】先に述べたように、加熱管80は粉末の軟化
点以上融点以下の温度まで熱するのが望ましい。実験に
よれば、所定の粉末物質について、粉末の流れが悪くな
り、粉末の粒子は、粒子同士で付着したり加熱管の壁面
に付着し始める程度まで前記物質は柔らかくなり、潜在
的な目詰まりの問題を引き起こすということが示されて
いる。かかる臨界点は、融点よりも低いが軟化点よりも
高い温度にある。いったん臨界点が測定されたら、加熱
管80は前記臨界点との差を華氏 300度(摂氏149度)残
した低い温度に熱せられる。As described above, it is desirable that the heating tube 80 be heated to a temperature between the softening point and the melting point of the powder. Experiments have shown that for a given powder material, the flow of the powder becomes poor and the particles of the powder become soft to the point where they begin to stick together or to the wall of the heating tube, potentially clogging Has been shown to cause problems. Such a critical point is at a temperature below the melting point but above the softening point. Once the critical point has been measured, the heating tube 80 is heated to a lower temperature, leaving a difference of 300 degrees F (149 degrees C ) from the critical point.
【0049】粉末物質により軟化特性が異なるので、実
験が必要である。たとえば、タングステン・カーバイト
の場合、流れの滑らかさを失ったり目詰まりの危険を生
じることなく融点との差が数度になるまで熱することが
できる。一方、アルミニウムの場合は、融点が華氏約12
00度(摂氏649度)であり、軟化点が華氏約 800度(摂
氏427度)である。アルミニウム粉末が噴射される場合
は、加熱管80は特に目詰まりの発生や粉末流通の円滑さ
の喪失を来さずに、華氏 700度(摂氏371度)を大幅に
超える温度にまで熱することは不可能である。かかる状
況下にあっては、後述するように、プラズマ流内におい
てさらに熱する必要を生じる場合がある。しかし、本発
明によれば、プラズマ・ガンに運ばれる前にできるだけ
多くの、しかも、管内に導かれた分量に比例する粉末を
熱することが可能となる。Experiments are needed because the softening properties vary with the powdered material. For example, tungsten carbide can be heated to a few degrees difference from its melting point without loss of flow smoothness or danger of clogging . On the other hand, aluminum has a melting point of about 12
It is 00 degrees (649 degrees Celsius), a softening point of Fahrenheit to about 800 degrees (and
Mr. 427 degrees) . When aluminum powder is sprayed, the heating tube 80 should be heated to a temperature much higher than 700 degrees Fahrenheit (371 degrees Celsius) without causing any clogging or loss of smooth powder flow. Is impossible. Under such circumstances, additional heating may be required in the plasma stream, as described below. However, the invention makes it possible to heat as much of the powder as possible before it is transported to the plasma gun and in proportion to the quantity introduced into the tube.
【0050】タングステン・カーバイトのように、加熱
管80の加熱を粉末の融点に近い温度にまで熱することの
できる粉末物質の場合は、プラズマ・ガン16を含めず、
熱粉末噴射装置76を唯一の熱噴射を行なう装置として用
いる構成が可能となる。かかる構成が図6に示されてい
る。In the case of a powdery substance that can heat the heating tube 80 to a temperature close to the melting point of the powder, such as tungsten carbide, the plasma gun 16 is not included,
A configuration is possible in which the hot powder injection device 76 is used as the only device that performs thermal injection. Such a configuration is shown in FIG.
【0051】熱粉末噴射装置76は、ワーク24と一緒にな
っておりその中に示されている第2端78を除き、本質的
には図6の構成においても変わらない。加熱管80は径が
小さくなっている部分 118を有するノズル部材 116で終
わっている。前記部材 118は、熱粉末がワーク24に到達
し皮膜を形成するに十分な速度で前記部材 118から排出
されるように保ちつつ、加熱管80の圧力を維持してい
る。熱粉末噴射装置76は粉末をほぼ均一に融点のわずか
に下の温度まで熱することができるので、かなり軟らか
くほぼ溶けかかっている粉末をかなり均一な態様でワー
ク24皮膜することができる。The hot powder sprayer 76 is essentially the same as that of FIG. 6 except for the second end 78 which is integral with the workpiece 24 and is shown therein. The heating tube 80 terminates in a nozzle member 116 having a reduced diameter portion 118. The member 118 maintains the pressure of the heating tube 80 while maintaining that the hot powder reaches the work 24 and is discharged from the member 118 at a speed sufficient to form a film. The hot powder sprayer 76 can heat the powder almost uniformly to a temperature just below the melting point, so that the powder that is relatively soft and almost melting can be coated on the workpiece 24 in a fairly uniform manner.
【0052】図2の熱粉末噴射装置76は直径50ミクロン
といった比較的大きな粉末粒子を用いるときに有利なの
だが、かかる装置は、ほとんどどのような大きさの粉末
粒子を用いても役に立つ。なぜなら、加熱管80は融点よ
りもかなり低い温度に保たれているので、小さな粒子も
過剰に熱せられることがないからである。代わりに、そ
れらは、より迅速にしかも前記管80の短い全長にわたっ
て加熱管80の壁面温度まで熱するにすぎないのである。
熱吹き付けに用いられる混合粉末は、ほとんどの場合、
粒子の直径にばらつきがある。かかる場合、装置76は、
粉末が装置76から排出される前に小さな粉末だけでなく
大きな粉末も加熱管80の温度と同じかそれに近い温度に
まで熱せられることを保証している。While the hot powder injector 76 of FIG. 2 is advantageous when using relatively large powder particles, such as 50 microns in diameter, such a device is useful with powder particles of almost any size. This is because the heating tube 80 is kept at a temperature much lower than the melting point, so that even small particles are not excessively heated. Instead, they heat up more quickly and over the short entire length of the tube 80 to the wall temperature of the heating tube 80.
The mixed powder used for hot spraying is almost always
Particle diameter varies. In such a case, device 76
Before the powder is discharged from the device 76, it is ensured that the large powder as well as the small powder is heated to a temperature close to or close to the temperature of the heating tube 80.
【0053】図2の熱粉末噴射装置76はプラズマ流内に
おいて粒子をほぼ完全に溶融してしまう程度にまでほと
んどの粉末を熱することができるのだが、前記装置76は
前記予熱プラズマ装置内の数個ある段階のひとつだけを
形成している。第2段階はプラズマ・ガン16により形成
されている。第3段階はプラズマ流により形成されてい
る。後述するように、粉末粒子の加熱を別途制御する付
加された電源や電極等を装備していれば、プラズマ流は
さらに第4段階をもつこともできる。[0053] heated powder delivery device 76 of FIG. 2 but can be thermally most of the powder to the extent that would almost completely melted the particles in the plasma stream, but the device 76 the preheating plasma device Form only one of several stages. The second stage is formed by the plasma gun 16. The third stage is formed by the plasma flow. As will be described later, the plasma flow may have a fourth stage if equipped with an additional power supply, electrodes, etc. for separately controlling the heating of the powder particles.
【0054】プラズマ・ガン16を有する第2段階は粒子
の速度や密度を変化させるために用いられる。粒子速度
は、最低でも、ワーク24に許容しうる皮膜を形成しうる
程度必要である。また、粒子が大きいほどプラズマ流に
入った途端に加速させることが難しくなる。プラズマ・
ガン16内のプラズマ流を調整することにより粒子速度を
最適化させることができる。プラズマ密度を変える必要
が生じたときは、かかる変更は不活性ガスの流量やプラ
ズマ・ガン16内のアーク電源を変更することにより可能
となる。The second stage with the plasma gun 16 is used to change the velocity and density of the particles. The particle velocity is required to be at least such that an acceptable film can be formed on the work 24. Also, the larger the particles, the more difficult it is to accelerate as soon as they enter the plasma flow. plasma·
By adjusting the plasma flow in the gun 16, the particle velocity can be optimized. If it becomes necessary to change the plasma density, such changes can be made by changing the flow rate of the inert gas or the arc power supply in the plasma gun 16.
【0055】プラズマ流を含む第3段階は最適熱噴射を
行なうための粉末の条件を変更するためにも用いられ
る。プラズマ流は超音速であるにも拘らず、粉末粒子の
温度をこの場合にも変更しうることがわかっている。反
転アーク電源を増加させることにより、より多くのエネ
ルギーがプラズマ流に加えられ、プラズマ流内の粒子へ
のさらなる加熱がおこる。粉末粒子がとても大きいかま
たは加熱管80により融点近くまで熱することのできない
物質からできているため、プラズマ流内でのほぼ完全な
溶融が起こらない場合においては、前記プラズマ流内で
もっと粒子を加熱するようにするため転換アーク電源を
増やすこともできる。The third stage, including the plasma flow, is also used to change the powder conditions for optimal thermal injection. It has been found that, despite the supersonic velocity of the plasma flow, the temperature of the powder particles can still be varied. By increasing the reversing arc power supply, more energy is added to the plasma stream, causing more heating to the particles in the plasma stream. If the powder particles are very large or made of a material that cannot be heated to near the melting point by the heating tube 80, more particles will be introduced into the plasma stream if near complete melting does not occur. It is also possible to increase the conversion arc power supply for heating.
【0056】図7には、プラズマ流に粉末へのさらなる
加熱を行ないこれを制御する第4領域形成装置を備えた
構成の一例が示されている。図7のプラズマ装置は、プ
ラズマ・ガン16と、熱粉末粒子を先述の態様でプラズマ
・ガン16に運ぶための熱粉末運搬装置76とから成ってい
る。図1に図示され、これとの関連で説明されているプ
ラズマ源46はプラズマ・ガン16の電極間に必要な電位差
を作り出す。その一方、図1に示されかつ説明されてい
る変換アーク電流源50は、プラズマ・ガン16の陽極と、
負の変換アークとなるワーク24との電圧降下を作ってい
る。プラズマ・ガン16は順にプラズマ流 120を形成す
る。図7に波線で示してあるプラズマ流 120はプラズマ
・ガン16からワーク24に流れる。熱粉末噴射装置76から
プラズマ・ガン16に導かれた熱粉末はプラズマ・ガン16
により起こされたプラズマ流 120に乗せられる。ワーク
24に皮膜を作るため粉末粒子がプラズマ流 120により運
ばれているあいだ、プラズマ流 120は粉末粒子を加速し
加熱し続ける。FIG. 7 shows an example of a configuration provided with a fourth region forming apparatus that controls the plasma stream by further heating the powder. The plasma device of FIG. 7 comprises a plasma gun 16 and a hot powder transport device 76 for transporting hot powder particles to the plasma gun 16 in the manner described above. The plasma source 46, shown in FIG. 1 and described in connection with this, creates the required potential difference between the electrodes of the plasma gun 16. On the other hand, the conversion arc current source 50 shown and described in FIG.
This creates a voltage drop with the workpiece 24 that results in a negative conversion arc. The plasma gun 16 forms a plasma stream 120 in turn. The plasma flow 120 shown in dashed lines in FIG. 7 flows from the plasma gun 16 to the workpiece 24. The hot powder guided to the plasma gun 16 from the hot powder injection device 76 is applied to the plasma gun 16.
On the plasma flow 120 caused by the work
The plasma stream 120 continues to accelerate and heat the powder particles while the powder particles are being carried by the plasma stream 120 to form a coating on 24.
【0057】図7のプラズマ装置は、プラズマ・ガン16
に連結される環状電極 122を有している。このように、
環状電極 122は直流電源 124にのみならずプラズマ電源
46用にも便利な電極を形成する。直流電源 124は、環状
電極 122と、プラズマ・ガン16とワーク24との中間の位
置に配設された第2環状電極 126との間を連結してい
る。The plasma apparatus shown in FIG.
Has an annular electrode 122 connected to it. in this way,
Ring electrode 122 is not only DC power supply 124 but also plasma power supply
A convenient electrode is also formed for 46. The DC power supply 124 connects between the annular electrode 122 and a second annular electrode 126 disposed at a position between the plasma gun 16 and the work 24.
【0058】さきに見たように、プラズマ流 120のエネ
ルギーにより、粉末粒子のさらなる加熱が行われる。し
かしながら、第2環状電極 126と、プラズマ加速と加熱
電源124とにより与えられた、第2環状電極 126と環状
電極 122との電位差とは、粉末粒子のさらなる加速と加
熱に用いることができる。これは、比較的大きな粉末粒
子の場合に有効である。なぜなら、比較的小さな粉末粒
子の場合よりも、加速したり完全に溶融したりすること
が、より困難だからである。その結果、より高い均一性
とより高密度を有するワーク24の皮膜加工が可能とな
る。直流電源 124は前記電源によるプラズマ流に付加さ
れるエネルギー量を変えるよう調整される。As previously seen, the energy of the plasma stream 120 causes additional heating of the powder particles. However, the potential difference between the second annular electrode 126 and the annular electrode 122 provided by the second annular electrode 126 and the plasma acceleration and heating power supply 124 can be used for further acceleration and heating of the powder particles. This is effective for relatively large powder particles. This is because it is more difficult to accelerate or completely melt than with relatively small powder particles. As a result, film processing of the work 24 having higher uniformity and higher density becomes possible. The DC power supply 124 is tuned to change the amount of energy added to the plasma flow by the power supply.
【0059】図7の構成においては、単一の電極 126と
それに連なる直流電源 124とを加えたが、よりよく制御
できるようにするため図8に示すようにかかる電極と電
源を複数加えることとしてもよい。図8は、付加電極 1
28、 130と、直流電源 132、134を有する点を除き、図
7と同様である。直流電源 132は前記電極 126と 128と
の間に連結され、直流電源 134は前記電極 128と 130と
の間に連結されている。電極 126、 128、 130は、プラ
ズマ流 120を効果的に4つの異なる領域に分割してい
る。そして、かかる4領域は、直流電源 124、 132、 1
34によりある程度独立に制御されている。直流電源 12
4、 132、 134は所望の同一電圧もしくは異なる電圧を
供給するよう調整される。In the configuration of FIG. 7, a single electrode 126 and a DC power supply 124 connected to the single electrode 126 are added. However, as shown in FIG. Is also good. FIG. 8 shows an additional electrode 1
FIG. 7 is the same as FIG. 7 except that it has DC power supplies 132 and 134. A DC power supply 132 is connected between the electrodes 126 and 128, and a DC power supply 134 is connected between the electrodes 128 and 130. The electrodes 126, 128, 130 effectively divide the plasma flow 120 into four different regions. The four areas are DC power supplies 124, 132, 1
34 is controlled to some extent independently. DC power supply 12
4, 132, 134 are adjusted to provide the same or different voltages desired.
【0060】図8の構成は、プラズマ流 120が非常に長
く、変換アーク電源50により適当に電圧を加えることが
できない場合に特に有効である。しかし、かかる構成
は、温度、そしてある程度までプラズマ流 120に沿った
異なる領域内にある粉末粒子の速度とを制御することが
必要であるかまたは望ましい、いかなる長さのプラズマ
流を持つ場合にも、有効である。The configuration of FIG. 8 is particularly effective when the plasma flow 120 is very long and the conversion arc power supply 50 cannot properly apply a voltage. However, such an arrangement may be necessary to control the temperature and, to some extent, the speed of the powder particles in different regions along the plasma flow 120, when having a plasma flow of any length that is necessary or desirable. ,It is valid.
【0061】電極 126、 128、 130は、電極 122とワー
ク24との間に等間隔に配置されるよう図示されている
が、かかる間隔は必要ならば変えることができる。ま
た、電極間の組み合わせを変えて直流電源を連結した
り、1つもしくは複数の電源の電極を反対にしたりする
ことにより、領域の加熱や加速の効果を変えることが可
能である。Although the electrodes 126, 128, 130 are illustrated as being equally spaced between the electrode 122 and the workpiece 24, such spacing can be varied if desired. Further, by changing the combination between the electrodes and connecting a DC power supply, or by inverting one or a plurality of power supply electrodes, it is possible to change the effect of heating or accelerating the region.
【0062】図8の構成では、変換アーク電源50はワー
ク24に直接接続されている。所望のプラズマ動作をワー
ク24で得ることに加え、かかる直接接続は、ワーク24を
熱粉末噴射装置76からワーク24上に粉末を噴射する前
に、ワーク24を清浄しなければならない場合に必要とな
る。しかしながら、各電源50とワーク24との接続の場合
のように直接接続をすると、ワーク24上に粉末を噴射す
る前に、ワーク24を清浄しなければならない場合に、必
要となる。しかしながら、前記電源50とワーク24との接
続の場合のように直接接続をすると、ワーク24において
かなりの熱が発生する。電源を直接延長接続したことに
より生じた熱に耐えることのできない比較的脆弱な物質
でできているワーク24については、噴射中は変換アーク
電源50をワーク24から切り離すことが望ましい場合もあ
る。図9に示す構成は、変換アーク電源50とワーク24と
の間にスイッチ 140を有している。また、前記電極 130
は図8に示す位置より幾分下げて、ワーク24にかなり近
くなるようにしてもよい。その他の点についてはすべ
て、図9のプラズマ装置は図8のものと同様である。ワ
ーク24の清浄中に、スイッチ 140は閉じられ変換アーク
電源50とワーク24とを直接つなぐ。先に見たとおり、ワ
ーク24の清浄を行うには、かかる直接接続が必要とな
る。清浄工程が終了するとすぐに、スイッチ 140は開か
れ変換アーク電源50をワーク24から切り離す。スイッチ
140を開いた状態で、プラズマ噴射作業は行われる。前
記電極 130をワーク24にかなり接近させると、変換アー
ク電源50がワーク24に接続されることなく、皮膜動作が
ワーク24で行われる。このように、ワーク24は電源が直
接接続されたときに起こる強い熱を受けないですむ。In the configuration of FIG. 8, the conversion arc power supply 50 is directly connected to the work 24. In addition to obtaining the desired plasma operation on the workpiece 24, such a direct connection is necessary if the workpiece 24 must be cleaned before the workpiece 24 is sprayed with powder from the hot powder injector 76 onto the workpiece 24. Become. However, direct connection as in the case of connection between each power supply 50 and the work 24 is necessary when the work 24 must be cleaned before powder is sprayed on the work 24. However, if the power supply 50 and the work 24 are directly connected as in the case of the connection, considerable heat is generated in the work 24. For workpieces 24 made of a relatively fragile material that cannot withstand the heat generated by the direct extension of the power supply, it may be desirable to disconnect the conversion arc power supply 50 from the workpiece 24 during injection. The configuration shown in FIG. 9 has a switch 140 between the conversion arc power supply 50 and the work 24. In addition, the electrode 130
May be lowered slightly from the position shown in FIG. In all other respects, the plasma device of FIG. 9 is similar to that of FIG. During the cleaning of the work 24, the switch 140 is closed and connects the conversion arc power supply 50 and the work 24 directly. As seen above, such a direct connection is required to clean the work 24. As soon as the cleaning process is completed, switch 140 is opened to disconnect conversion arc power supply 50 from work 24. switch
With the 140 opened, the plasma spraying operation is performed. When the electrode 130 is brought very close to the work 24, the coating operation is performed on the work 24 without connecting the conversion arc power supply 50 to the work 24. In this way, the workpiece 24 does not need to receive the strong heat generated when the power supply is directly connected.
【0063】プラズマ・ガン16、プラズマ電源46、およ
び電極 122、 126、 128を有する図10の構成は、電源
とプラズマ・ガン16の陰極 142との直接接続を利用する
図8の構成の変形である。プラズマ・ガン16の陰極 142
はプラズマ・ガン16内にある電子の共通エミッタであ
る。1または複数の直流電源を陰極 142に接続すること
により、ある適用例については、所望のプラズマ温度分
散が達成できるということがわかっている。しかし、電
源の負極しか陰極 142に直接接続することができない。The arrangement of FIG. 10 having a plasma gun 16, a plasma power supply 46, and electrodes 122, 126, 128 is a variation of the arrangement of FIG. 8 utilizing a direct connection between the power supply and the cathode 142 of the plasma gun 16. is there. Cathode of plasma gun 16 142
Is the common emitter of the electrons in the plasma gun 16. It has been found that by connecting one or more DC power sources to the cathode 142, the desired plasma temperature distribution can be achieved for certain applications. However, only the negative pole of the power supply can be directly connected to the cathode 142.
【0064】プラズマ電源46の負極は常に陰極 142と接
続されているのは、この接続方法がプラズマ・ガンの電
源の接続法としては普通だからである。図10の構成に
おいては、電極 126、 128にそれぞれ接続された直流電
源の負端子 144、 146は、プラズマ・ガン16の陰極 124
にも直接に接続されている。直流電極 144、 146は、図
8の直流電源 124、 132とほぼ同じ機能を持つ。しか
し、電源 144、 146は、プラズマ・ガン16の陰極 142に
直接接続されているので、図10に示すような関係で電
極の極同士を繋がなければならない。図8の構成におい
て、陰極 130に接続された直流電源 134のようなプラズ
マ構成における他の直流電源の負端子が陰極 142に接続
されている限り、必要ならばかかる電源はプラズマ・ガ
ン16の陰極142に直接接続することができる。このよう
に、1または複数の直流電源をプラズマ・ガン16の陰極
142に直接接続することは、ある適用例においては、所
望のプラズマ温度分散を達成するのに有効であるという
ことがわかっている。The reason why the negative electrode of the plasma power supply 46 is always connected to the cathode 142 is that this connection method is a common method of connecting the power supply of the plasma gun. In the configuration of FIG. 10, the negative terminals 144 and 146 of the DC power supply connected to the electrodes 126 and 128 respectively are connected to the cathode 124 of the plasma gun 16.
Also connected directly. The DC electrodes 144 and 146 have almost the same functions as the DC power supplies 124 and 132 in FIG. However, because the power sources 144, 146 are directly connected to the cathode 142 of the plasma gun 16, the poles of the electrodes must be connected in a relationship as shown in FIG. In the configuration of FIG. 8, as long as the negative terminal of another DC power supply in a plasma configuration, such as a DC power supply 134 connected to the cathode 130, is connected to the cathode 142, such a power supply may be used, if necessary, for the cathode of the plasma gun 16. Can be connected directly to 142. Thus, one or more DC power sources are connected to the cathode of the plasma gun 16.
Connecting directly to 142 has been found to be effective in achieving the desired plasma temperature distribution in some applications.
【0065】1または複数の直流電源を陰極 142に接続
することはかかる電源の負端子を陰極 142に接続するこ
とを必要とする。これに対して、プラズマ装置内の他の
電源は異なる電極構成で接続することができる。これ
は、直流電源 148があることを除き図10の構成と同じ
である図11のプラズマ装置により示されている。直流
電源 148は陰極 142に直接には接続されていないので、
図11に示すように当前記正極が電極 126とつながり当
前記負極が電極 128とつながるように極を配置してもよ
い。しかし、必要ならば直流電源 128の極性を逆にし、
プラズマ流 120の長手方向に沿っての特別の温度特性を
得るようにしてもよい。Connecting one or more DC power supplies to the cathode 142 requires connecting the negative terminal of such a power supply to the cathode 142. In contrast, other power sources in the plasma device can be connected with different electrode configurations. This is illustrated by the plasma device of FIG. 11, which is the same as the configuration of FIG. 10 except that there is a DC power supply 148. Since DC power supply 148 is not directly connected to cathode 142,
The electrodes may be arranged such that the positive electrode is connected to the electrode 126 and the negative electrode is connected to the electrode 128 as shown in FIG. However, if necessary, reverse the polarity of DC power supply 128,
Special temperature characteristics along the longitudinal direction of the plasma flow 120 may be obtained.
【0066】図12は、図8のプラズマ装置と近似して
おり、プラズマ・ガン16、プラズマ電源46、電極 122、
126、 128、および直流電源 124、 132を備えたプラズ
マ装置の一部を示している。また、図12の構成は異な
る永久磁石部材 150、 152を有している。中空で概ね円
筒形に構成されている第1の永久磁石部材 150は、電極
122と電極 126との間におかれ、その間にあるプラズマ
流 120をぐるりと取り囲んでいる。やはり中空で概ね円
筒形に構成されている永久磁石部材 152は、電極 126と
電極 128との間におかれ、その間にあるプラズマ流 120
をぐるりと取り囲んでいる。FIG. 12 is similar to the plasma apparatus of FIG. 8, and includes a plasma gun 16, a plasma power supply 46, an electrode 122,
Shown is a portion of a plasma device having 126, 128 and DC power supplies 124, 132. Further, the configuration of FIG. 12 has different permanent magnet members 150 and 152. The first permanent magnet member 150, which is hollow and generally cylindrical, has an electrode
It is located between 122 and the electrode 126 and surrounds the plasma flow 120 therebetween. A permanent magnet member 152, also hollow and generally cylindrical, is positioned between the electrodes 126 and 128 and the plasma flow 120 between them.
Is surrounded by
【0067】プラズマ流 120の正常な概形が図4の実線
で示されている。しかし、永久磁石部材 150、 152が配
設されているので、有利になるようプラズマ流 120を成
形することができる。このように、永久磁石部材 150を
配設しているので、電極 122と電極 126間のプラズマ流
120の概形を実線 154で示された概形から波線 156で示
された構成へと変えることができる。同様に、永久磁石
部材 152を配設しているので、電極 126と電極 128間の
プラズマ流 120の部分を波線 156で示される概形に成形
し直すことができる。永久磁石部材 150、 152によりプ
ラズマ流 120の概形がこのように変形されると、電極 1
26、 128 において、プラズマ流 120内にある電子が円く
渦をまく。これは、電極 126、 128の過剰加熱を防止す
るために電極 126、 128にあるプラズマにより引き起こ
される熱分散の効果として起こるものである。The normal outline of the plasma flow 120 is shown by the solid line in FIG. However, the presence of the permanent magnet members 150, 152 allows the plasma flow 120 to be shaped advantageously. Thus, since the permanent magnet member 150 is provided, the plasma flow between the electrode 122 and the electrode 126 is
The outline of 120 can be changed from the outline shown by solid line 154 to the configuration shown by dashed line 156. Similarly, the provision of the permanent magnet member 152 allows the portion of the plasma flow 120 between the electrode 126 and the electrode 128 to be reshaped to the general shape indicated by the dashed line 156. When the general shape of the plasma flow 120 is thus deformed by the permanent magnet members 150 and 152, the electrode 1
At 26 and 128, the electrons in the plasma stream 120 swirl in a circular fashion. This occurs as a result of the heat distribution caused by the plasma at the electrodes 126, 128 to prevent overheating of the electrodes 126, 128.
【0068】永久磁石部材 150、 152の極性は、説明の
みを目的として図12に示されている。かかる極性は、
必要ならば反転させることもできるが、それでもなおプ
ラズマ流成形の有利な効果を達成することができる。図
12においては2つの永久磁石部材 150、 152が示され
ているが、図8に示される電極 128、 130間にあるプラ
ズマ電流全体に関係するように永久磁石部材をさらに追
加してもよい。また、永久磁石部材 150、 152は、中空
の円筒形の形以外の形や構成となるようにしてもよい。The polarities of the permanent magnet members 150, 152 are shown in FIG. 12 for illustrative purposes only. Such polarity is
It can be inverted if desired, but still achieve the beneficial effects of plasma flow shaping. Although two permanent magnet members 150, 152 are shown in FIG. 12, additional permanent magnet members may be added to relate to the overall plasma current between the electrodes 128, 130 shown in FIG. Further, the permanent magnet members 150 and 152 may have shapes and configurations other than the hollow cylindrical shape.
【0069】図13は、電極 122と電極 126との間に電
磁石 158を配設しプラズマ流 120の一部を取り囲むよう
にした他の構成を示している。電磁石 158は概ね円筒形
をしており、プラズマ流 120の概形を変形し電極 126で
のより均一な温度分散を得る際に図12の永久磁石部材
150、 152と同様の効果を生じる。図12の永久磁石部
材 150、 152と異なり、電磁石 158は必要な磁場を得る
ために直流電源に接続しなければならない。FIG. 13 shows another configuration in which an electromagnet 158 is provided between the electrodes 122 and 126 so as to surround a part of the plasma flow 120. The electromagnet 158 has a generally cylindrical shape and can be used to deform the general shape of the plasma flow 120 to obtain a more uniform temperature distribution at the electrode 126 as shown in FIG.
It produces the same effect as 150 and 152. Unlike the permanent magnet members 150, 152 of FIG. 12, the electromagnet 158 must be connected to a DC power source to obtain the required magnetic field.
【0070】直流電源 160は、電磁石 158の第1端と電
極 126との間に接続される。同時に、反対側にある電磁
石 158の第2端はプラズマ・ガン16の陰極 142に接続さ
れる。電磁石 158をこのように接続することにより、単
一の直流電源 160は電磁石 158に電圧を供給し、プラズ
マ・ガン16と電極 126との間に必要な電圧を供給する。
しかし、共通直流電源 160を使うと、電磁石 158に印加
される電圧と電極 126に印加される電圧とを別々に調
整することができなくなる。直流電源 160を電磁石 158
を介してプラズマ・ガン16の陰極 142に接続することに
より、直流電源160は前記陰極 142に有効に直接に接続
されているので、直流電源 160の負端子は、先述した理
由から、電磁石 158に接続しなければならない。The DC power supply 160 is connected between the first end of the electromagnet 158 and the electrode 126. At the same time, the second end of the opposite electromagnet 158 is connected to the cathode 142 of the plasma gun 16. By connecting the electromagnets 158 in this manner, a single DC power supply 160 supplies voltage to the electromagnets 158 and provides the required voltage between the plasma gun 16 and the electrodes 126.
However, when the common DC power supply 160 is used, the voltage applied to the electromagnet 158 and the voltage applied to the electrode 126 cannot be adjusted separately. DC power supply 160 to electromagnet 158
The DC power supply 160 is effectively connected directly to the cathode 142 by connecting to the cathode 142 of the plasma gun 16 via Must connect.
【0071】電磁石 158とは異なる形や構成を有する電
磁石を使うこともできる。また、電磁石 158は、直流電
源を必要とするような先述の電磁石部材ではなく、永久
磁石として構成してもよい。An electromagnet having a shape and configuration different from the electromagnet 158 can be used. Further, the electromagnet 158 may be configured as a permanent magnet instead of the above-described electromagnet member that requires a DC power supply.
【0072】時折、熱噴射処理に用いられる粉末は異な
る材料の混合物である。この場合、材料によりは、特に
熱した際に、他の材料と容易に混じり合わないものもあ
るので、問題となる場合がある。この問題を克服するた
めに、かかる容易に混合しない粒子に処理を施し他の物
質の粒子に付着するようにすることが可能である。クロ
ムのような物質は、付着しにくい粒子の表面の一部もし
くは全面に塗った場合、付着性が高まることが知られて
いる。クロムは室温での混合、ボールを使う混合、電気
メッキなどのさまざまな技術を使い塗ることができる。
クロム被覆は他の粒子と混合しにくい酸化粒子の場合に
特に有効である。[0072] Occasionally, the powder used in the thermal spray process is a mixture of different materials. In this case, some materials may not be easily mixed with other materials particularly when heated, which may cause a problem. To overcome this problem, it is possible to treat such immiscible particles so that they adhere to particles of other substances. It is known that a substance such as chromium, when applied to a part or the entire surface of a particle that is difficult to adhere, has an increased adherence. Chromium can be applied using a variety of techniques, such as mixing at room temperature, mixing with balls, and electroplating.
Chromium coating is particularly effective for oxidized particles that are difficult to mix with other particles.
【0073】本発明は、本発明の好適な実施例とともに
示されかつ説明されているが、本発明の本質と範囲から
逸脱しない限り態様や詳細を種々に変更しうることは当
業者であれば理解しうるであろう。Although the present invention has been shown and described with preferred embodiments of the invention, it will be understood by those skilled in the art that various changes may be made in form and detail without departing from the spirit and scope of the invention. You will understand.
【図1】本発明に係る改良型熱粉末噴射装置および本発
明のその他の特徴を有するプラズマ装置についてのブロ
ック図と一部破断面となっている斜視図とを組み合わせ
た図である。FIG. 1 is a combination of a block diagram and a partially broken perspective view of an improved hot powder injection device according to the present invention and a plasma device having other features of the present invention.
【図2】図1の装置の改良型熱粉末噴射装置の断面図で
あり、図2Aの熱粉末噴射装置との関連で用いられ、付
着効率を高めるための加熱管延長装置の正面図である。2 is a cross-sectional view of an improved hot powder injection device of the device of FIG. 1 and is a front view of a heating tube extension device used in connection with the hot powder injection device of FIG. 2A to increase deposition efficiency. .
【図3】図2の装置の粉末噴射管を熱するために印加さ
れた電流と、この関数である粉末温度および管温度との
関係を示す図表である。FIG. 3 is a table showing the relationship between the current applied to heat the powder injection tube of the apparatus of FIG. 2 and the powder temperature and the tube temperature, which are functions of the current.
【図4】所定の粉末速度や前記粉末搬送管内のキャリア
・ガスの状態について、図2の装置と同様の装置の粉末
搬送管の長さと、その関数としての粉末排出温度との関
係を示す図表である。FIG. 4 is a chart showing the relationship between the length of a powder transport tube of a device similar to the device of FIG. 2 and the powder discharge temperature as a function thereof for a predetermined powder speed and the state of a carrier gas in the powder transport tube. It is.
【図5】図2の装置の場合と、かかる装置に延長管装着
した場合とについて、前記粉末搬送管を抵抗性加熱する
ために印加される電流と、その関数である、プラズマ装
置内のワーク上に吹き付けられる粉末粒子の塗布効率と
の関係を示す図表である。FIG. 5 shows the current applied to resistively heat the powder transport tube and the function of the current in the plasma device for the apparatus of FIG. 2 and for the case where an extension pipe is attached to the apparatus. 5 is a table showing the relationship between the powder particles sprayed on and the coating efficiency.
【図6】図2の改良型粉末噴射装置を、ある種の粉末物
質用のプラズマ・ガンを用いて熱吹付を行うように改良
した装置の一部分の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a portion of the improved powder injection device of FIG. 2 modified to perform thermal spraying using a plasma gun for certain powdered materials.
【図7】電源と電極リングを付加することにより装置内
のプラズマ流内の粉末粒子の加熱を向上させるようにし
た改良型プラズマ装置の一部分を示す概念図である。FIG. 7 is a conceptual diagram illustrating a portion of an improved plasma device in which the addition of a power supply and an electrode ring enhances the heating of powder particles in a plasma stream within the device.
【図8】電源と電極を付加することにより、プラズマ流
に沿った異なる領域内の粉末粒子加熱を制御するように
した改良型プラズマ装置の一部を示す概念図である。FIG. 8 is a conceptual diagram illustrating a portion of an improved plasma device that controls the heating of powder particles in different regions along the plasma flow by adding a power source and electrodes.
【図9】図8のプラズマ装置と同様のプラズマ装置であ
って、ワークの過剰加熱を防止するために変換アーク電
源をワークから切り放すことができるようにしたプラズ
マ装置の一部分を示す概念図である。FIG. 9 is a conceptual diagram showing a part of a plasma device similar to the plasma device of FIG. 8, in which a conversion arc power supply can be cut off from the work in order to prevent overheating of the work. is there.
【図10】図8のプラズマ装置と同様のプラズマ装置で
あって、前記プラズマ・ガンの陰極に直列に接続された
電極用の直流電源を備えたプラズマ装置の一部を示す概
念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram showing a part of a plasma device similar to the plasma device of FIG. 8 and having a DC power supply for an electrode connected in series to a cathode of the plasma gun.
【図11】図10のプラズマ装置と同様のプラズマ装置
であって、前記プラズマ・ガンに直列以外の態様で接続
された直流電源を有するプラズマ装置の一部を示す概念
図である。11 is a conceptual diagram showing a part of a plasma device similar to the plasma device of FIG. 10 and having a DC power supply connected to the plasma gun in a manner other than in series.
【図12】図8のプラズマ装置と同様のプラズマ装置で
あって、プラズマ流の流れる場所付近に複数の永久磁石
部材を配設しプラズマ流の成形と電極におけるプラズマ
熱を分散するようにしたプラズマ装置の一部分を示す概
念図である。FIG. 12 is a plasma apparatus similar to the plasma apparatus of FIG. 8, in which a plurality of permanent magnet members are disposed near a place where a plasma flow flows, so that the plasma flow is formed and the plasma heat at the electrodes is dispersed. It is a conceptual diagram which shows a part of apparatus.
【図13】図12のプラズマ装置と同様のプラズマ装置
であって、永久磁石の代わりに電磁石を用いるようにし
たプラズマ装置の一部分を示す概念図である。FIG. 13 is a conceptual diagram showing a part of a plasma device similar to the plasma device of FIG. 12, in which an electromagnet is used instead of a permanent magnet.
10 プラズマ・チャンバ 16 プラズマ・ガン 18 プラズマ・ガン作動装置 20 粉末供給装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Plasma chamber 16 Plasma gun 18 Plasma gun operation device 20 Powder supply device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 4/00 - 4/16 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) C23C 4/00-4/16
Claims (27)
する方法であって、50μm以上の粒径を持つ粉末粒子
を用意する工程と、 粉末搬送管を搬送される粉末粒子の融点温度の直下の温
度に加熱する工程と、 粉末粒子が粉末搬送管とほぼ同等の温度になるのに十分
な時間だけ粉末搬送管内に滞留させて、粉末粒子を粉末
搬送管内に通過させる工程と、 を備えたことを特徴とする方法。1. A method for transferring heated powder to a plasma gun, comprising the steps of: preparing powder particles having a particle size of 50 μm or more; A step of heating the powder particles to a temperature of, and a step of allowing the powder particles to stay in the powder transport tube for a time sufficient to reach a temperature substantially equal to that of the powder transport tube, and passing the powder particles through the powder transport tube. A method comprising:
し、粉末が搬送管の出口に至る前に粉末の温度が粉末搬
送管とほぼ同等になるように粉末が加熱されるように搬
送管の長さを選択することを特徴とする方法。2. The method according to claim 1, wherein the flow rate of the powder particles in the powder transport tube is given, and the temperature of the powder is substantially equal to that of the powder transport tube before the powder reaches the outlet of the transport tube. A method comprising selecting the length of the transport tube such that the powder is heated such that
着や目詰まりをし始める臨界点温度まで粉末を加熱した
後、臨界点温度に対する安全マージンだけ下げることに
より、決定されることを特徴とする方法。3. The method of claim 1, wherein the temperature immediately below the melting point temperature is above the softening point until the powder is heated to a critical point temperature at which the powder begins to stick and clog. Determined by lowering the safety margin by:
点を有する粉末を所与の流量で供給する粉末フィーダか
らプラズマ・ガンへ加熱粉末を搬送する方法であって、 50μm以上の粒径を持つ粉末粒子を用意する工程と、 粉末フィーダとプラズマ・ガンを管で連結して粉末を所
与の流量で粉末フィーダからプラズマ・ガンへ供給する
工程と、 管の温度を、粉末の融点に近くしかし融点に達しない温
度まで加熱する工程と、 所与の流量と粉末粒子の大きさと管の温度に対し、粉末
をプラズマ・ガンへ供給する間に、管の温度に近い温度
に粉末を加熱するにたる長さに管の長さを設定する工程
と、 を備えたことを特徴とする方法。4. A method for transferring heated powder from a powder feeder supplying a powder having a given melting point in a given flow rate and having a particle size of 50 μm or more to a plasma gun, wherein the particle size is 50 μm or more. Preparing powder particles having the following formulas: connecting the powder feeder and the plasma gun with a tube to supply powder at a given flow rate from the powder feeder to the plasma gun; Heating the powder to a temperature close to, but not reaching, the melting point, and heating the powder to a temperature close to the tube temperature while feeding the powder to the plasma gun for a given flow rate, powder particle size, and tube temperature Setting the length of the tube to a length that is similar to the length of the tube.
搬送する装置であって、 粉末源とプラズマ・ガンを連結する中空の加熱管と、 加熱管の両端に連結された電源と、 加熱管を中心に略同心的に配設されると共に、加熱管に
より放射された熱を反射する中空の反射管と、 の組み合わせより成ることを特徴とする装置。5. An apparatus for transferring a heated powder from a powder source to a plasma gun, comprising: a hollow heating tube connecting the powder source and the plasma gun; a power source connected to both ends of the heating tube; And a hollow reflecting tube which is disposed substantially concentrically with respect to and which reflects heat radiated by the heating tube.
側と外側の壁を備え、 さらに、反射管の円筒状の内外壁間の空間を通って冷却
流体を流動させる手段を設けたことを特徴とする装置。6. The apparatus of claim 5, wherein said reflector tube comprises cylindrical inner and outer walls concentric and having a space therebetween, further comprising a space between the cylindrical inner and outer walls of the reflector tube. A means for flowing a cooling fluid therethrough.
め、反射管の反射内壁と加熱管との間に複数のセラミッ
ク・スペーサ素子を設けたことを特徴とする装置。7. The apparatus according to claim 5, wherein the reflecting tube has a reflecting inner wall, and furthermore, the heating tube is concentrically mounted in the reflecting tube. An apparatus comprising a plurality of ceramic spacer elements.
性ガスを流動させる手段を備えたことを特徴とする装
置。8. The apparatus according to claim 5, further comprising a space between the reflection tube and the heating tube, and further causing an inert gas to flow through the space between the reflection tube and the heating tube. A device comprising means.
粉末源からプラズマ・ガンへ搬送されるように、前記加
熱管を通る粉末の流量と加熱管の表面温度により決定さ
れる長さを有することを特徴とする装置。9. The apparatus according to claim 5, wherein the heating tube comprises a powder passing through the heating tube such that the powder is conveyed from a powder source to a plasma gun at a temperature greater than or substantially equal to the surface temperature of the heating tube. An apparatus having a length determined by the flow rate of the fluid and the surface temperature of the heating tube.
と、 一端が前記粉末源と連結され、前記圧力をかけた搬送ガ
ス内の粉末を受容し、 他端が径が小さくなった頸部を有するノズル内で終端し
ている中空の加熱管と、 加熱管を粉末の融点に近い温度まで加熱するために、加
熱管に連結された電源と、 ワーク上に粉末供給して粉末の被覆を施すために、加熱
管の終端部から離隔し、加熱管の終端部に直接対面する
ようにワークを位置決めする手段と、 を有することを特徴とする熱噴射装置。10. A thermal injection device, comprising: a powder source for conveying powder in a carrier gas under pressure; an end connected to the powder source, and a powder source in the carrier gas under pressure. A hollow heating tube receiving and terminating in a nozzle having a neck with a reduced diameter at the other end, and a power supply coupled to the heating tube to heat the heating tube to a temperature close to the melting point of the powder. And means for positioning the work so as to be spaced from the end of the heating tube and directly face the end of the heating tube in order to supply the powder onto the work and apply the coating of the powder. Heat injection device.
に対しプラズマ流を供給するプラズマ・ガンと、 前記プラズマ流に粉末を供給する手段と、 ワークとプラズマ・ガンとの間のプラズマ流中に配置さ
れる電極と、 プラズマ・ガン及び電極に接続され、これらの間の電位
差を付与する直流電源と、 プラズマ・ガンと電極の間のプラズマ流を取り囲むよう
に配置され、磁場を形成してプラズマ流の形を整え、プ
ラズマ流の熱を電極に付与する中空の磁気部材と、 を備えることを特徴とするプラズマ装置。11. A plasma gun supplying plasma stream to the workpiece from a position spaced apart with respect to the workpiece, means for supplying powder to said plasma stream, placed in a plasma stream between the workpiece and the plasma gun And a DC power supply connected to the plasma gun and the electrodes to provide a potential difference therebetween, and a DC power supply arranged to surround the plasma flow between the plasma gun and the electrodes, forming a magnetic field and And a hollow magnetic member for applying the heat of the plasma flow to the electrodes.
に対しプラズマ流を供給するプラズマ・ガンと、 前記プラズマ流に粉末を供給する手段と、 ワークとプラズマ・ガンとの間のプラズマ流中に配置さ
れる電極と、 プラズマ・ガン及び電極に接続され、これらの間の電位
差を付与する直流電源と、 を備え、 前記電極は、プラズマ流に沿って間隔をおいて配置され
た複数の電極を含み、前記直流電源は、複数の電極のペ
アの間にそれぞれ電位差を供給する複数の電源を含むこ
とを特徴とするプラズマ装置。12. A plasma gun supplying plasma stream to the workpiece from a position spaced apart with respect to the workpiece, means for supplying powder to said plasma stream, placed in a plasma stream between the workpiece and the plasma gun And a DC power supply connected to the plasma gun and the electrodes for providing a potential difference therebetween, the electrodes including a plurality of electrodes spaced along the plasma flow. And the DC power supply includes a plurality of power supplies for supplying a potential difference between a plurality of pairs of electrodes.
に対しプラズマ流を供給するプラズマ・ガンと、 前記プラズマ流に粉末を供給する手段と、 ワークとプラズマ・ガンとの間のプラズマ流中に配置さ
れる電極と、 プラズマ・ガン及び電極に接続され、これらの間の電位
差を付与する直流電源と、 前記プラズマ・ガンに連結される変換アーク電源と、 前記変換アーク電源とワークの間に設けられたスイッチ
と、 を備えたことを特徴とするプラズマ装置。13. A plasma gun supplying plasma stream to the workpiece from a position spaced apart with respect to the workpiece, means for supplying powder to said plasma stream, placed in a plasma stream between the workpiece and the plasma gun A DC power supply connected to the plasma gun and the electrodes to provide a potential difference therebetween, a conversion arc power supply connected to the plasma gun, and a conversion power supply provided between the conversion arc power supply and the work. A plasma device comprising: a switch;
するプラズマ装置。14. The apparatus according to claim 13, wherein the electrode is disposed adjacent to a workpiece.
切り離されるように第二の直流電源をワークに選択的に
連結する手段と、 を備えたことを特徴とするプラズマ装置。15. The apparatus according to claim 14, further comprising: a second DC power supply; and a second DC power supply connected to the work so that the second DC power supply is disconnected from the work except during cleaning of the work. Means for selectively connecting, a plasma device comprising:
プラズマ流を付与するプラズマ・ガンと、 前記プラズマ・ガンとワーク間のプラズマ流内に配設さ
れる電極と、 前記電極に接続される正端子とプラズマ・ガンの陰極に
接続される負端子とを有する直流電源と、 の組み合わせより成ることを特徴とするプラズマ装置。16. A work, a plasma gun having a cathode spaced from the work and applying a plasma flow to the work, an electrode disposed in a plasma flow between the plasma gun and the work, And a DC power supply having a positive terminal connected to the electrode and a negative terminal connected to the cathode of the plasma gun.
に、互いに離隔して配設される複数の電極から成り、 前記直流電源が、それぞれ異なる電極に接続される正端
子とプラズマ・ガンの陰極に接続される負端子とを有す
る複数の直流電源から成る、 ことを特徴とするプラズマ装置。17. The apparatus of claim 16, wherein said electrodes comprise a plurality of electrodes spaced apart from each other in a plasma flow between a plasma gun and a workpiece, and wherein each of said DC power supplies comprises A plasma device comprising a plurality of DC power supplies having a positive terminal connected to different electrodes and a negative terminal connected to a cathode of a plasma gun.
内に、互いに離隔して配設される複数の電極から成り、 前記直流電源が複数の直流電源から成り、少なくともそ
の1つが前記複数の電極の1つに接続される正端子とプ
ラズマ・ガンの陰極に接続される負端子とを有し、少な
くともその1つが前記複数の電極の1つに接続される正
端子と前記複数の電極の他の1つに接続される負端子と
を有する、 ことを特徴とするプラズマ装置。18. The apparatus according to claim 16, wherein said electrodes comprise a plurality of electrodes spaced apart from each other in a plasma flow between a plasma gun and a workpiece, and At least one of which has a positive terminal connected to one of the plurality of electrodes and a negative terminal connected to the cathode of the plasma gun, at least one of which is connected to one of the plurality of electrodes. And a negative terminal connected to another one of the plurality of electrodes.
プラズマ・ガンと、 前記プラズマ・ガンとワーク間のプラズマ流内に配設さ
れる電極と、 前記電極に連結される直流電源と、 プラズマ・ガンと電極間のプラズマ流の周囲に配設され
る磁気部材であって、磁場を形成してプラズマ流を形成
し、それにより電極に生じる熱を分散させる磁気部材
と、 の組み合わせより成ることを特徴とするプラズマ装置。19. A work, a plasma gun separated from the work to supply a plasma flow to the work, an electrode disposed in a plasma flow between the plasma gun and the work, and connected to the electrode. A magnetic member disposed around the plasma flow between the plasma gun and the electrode, the magnetic member forming a magnetic field to form the plasma flow, thereby dispersing heat generated at the electrode. A plasma device comprising a combination of:
間のプラズマ流内に配設された複数の電極から成り、 前記直流電源が、それぞれ前記複数の電極の異なる1つ
に連結された複数の直流電源から成り、 前記磁気部材が、プラズマ流の周囲に配設されると共に
それぞれ前記複数の電極の異なる1つの上方に配設され
る複数の磁気部材から成る、 ことを特徴とするプラズマ装置。20. The apparatus according to claim 19, wherein said electrodes comprise a plurality of electrodes spaced apart from the electrodes and disposed in a plasma flow between the plasma gun and the workpiece; A plurality of DC power supplies coupled to different ones of the plurality of electrodes, wherein the magnetic member is disposed around a plasma flow and each is disposed above a different one of the plurality of electrodes. A plasma device, comprising: a magnetic member.
ることを特徴とするプラズマ装置。21. The plasma apparatus according to claim 19, wherein said magnetic member comprises a hollow, substantially cylindrical permanent magnet member.
結された直流電源より成ることを特徴とするプラズマ装
置。22. The plasma apparatus according to claim 19, wherein the magnetic member comprises a substantially cylindrical coil and a DC power supply connected to the coil.
一の端部に接続される負端子とを有し、 さらに、 前記コイルの第一の端子の反対側にある第二の端子をプ
ラズマ・ガンの陰極に接続する手段を設けたことを特徴
とするプラズマ装置。23. The apparatus of claim 19, wherein said plasma gun has a cathode, said magnetic member comprises a substantially cylindrical coil, and said DC power supply is a negative terminal connected to an electrode. And a negative terminal connected to the first end of the coil, and further comprising means for connecting a second terminal on the opposite side of the first terminal of the coil to a cathode of the plasma gun. A plasma device characterized by the above-mentioned.
工程と、 前記第一の材料の粉末粒子と、第一の材料とは異なる第
二の材料の粉末粒子とを混合し、混合粉末を形成する工
程と、を 備え、 第一の材料の粉末粒子の表面への被覆により第一の材料
の粉末粒子の表面の性質を変更し、第二の材料の粉末粒
子との混合を促進することを特徴とする方法。24. The method according to claim 1, further comprising at least partially coating the surface of the powder particles of the first material, wherein the powder particles of the first material and the first material are different second and powder particles mixed material, and a step of forming a mixed powder, changing the nature of the surface of the powder particles of the first material with a coating on the surface of the powder particles of the first material and, how to, characterized in that to promote the mixing of the powder particles of the second material.
程が、前記第一の粉末粒子の表面をクロムで被覆する工
程より成ることを特徴とする方法。25. The method of claim 24, wherein at least partially coating the surface of the first powder particles comprises coating the surface of the first powder particles with chromium. And how.
第一の材料の粉末粒子表面の少なくとも一部を第三の材
料で被覆する工程と、 第一及び第二の材料の粉末粒子を混合する工程と、 を備え、 第一の材料の粉末粒子の表面への第三の材料の被覆によ
り第一の材料の粉末粒子の表面の性質を変更し、第二の
材料の粉末粒子との混合を促進することを特徴とする方
法。26. The method according to claim 1, further comprising the step of providing powder particles of the first and second materials; and wherein the first and second materials are attracted to each other. A step of coating at least a part of the surface of the powder particles of the material with a third material; and a step of mixing the powder particles of the first and second materials. A method comprising modifying the surface properties of powder particles of a first material by coating a third material to facilitate mixing with the powder particles of a second material.
ムであることを特徴とする方法。27. The method of claim 26, wherein said first material is a metal oxide and said third material is chromium.
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