[go: up one dir, main page]

JP2969996B2 - IC tester - Google Patents

IC tester

Info

Publication number
JP2969996B2
JP2969996B2 JP3034295A JP3429591A JP2969996B2 JP 2969996 B2 JP2969996 B2 JP 2969996B2 JP 3034295 A JP3034295 A JP 3034295A JP 3429591 A JP3429591 A JP 3429591A JP 2969996 B2 JP2969996 B2 JP 2969996B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
pattern
address
read
pointer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3034295A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04273457A (en
Inventor
祐一 高木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP3034295A priority Critical patent/JP2969996B2/en
Publication of JPH04273457A publication Critical patent/JPH04273457A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2969996B2 publication Critical patent/JP2969996B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、IC(半導体集積回
路)、例えばメモリICの、特にデジタルの機能測定を
行うICテスタに係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC (semiconductor integrated circuit) such as a memory IC, and more particularly to an IC tester for measuring digital functions.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来一般のICテスタは、被測定ICの
端子ピンに与える入力データ、この入力データによって
被測定ICに信号が入力されたときに端子ピンから出力
される信号の期待値のデータがメモリされたパターンメ
モリを有し、このメモリから読み出された入力信号を被
測定ICに入力し、これによって実際に被測定ICから
得た出力を、同様に上述のパターンメモリから読み出さ
れた期待値と比較してこのICの良否を判定する。
2. Description of the Related Art Conventional general IC testers use input data to be supplied to terminal pins of an IC to be measured and data of expected values of signals output from the terminal pins when a signal is input to the IC to be measured by the input data. Has a pattern memory stored therein, and inputs an input signal read from this memory to the IC under test, whereby an output actually obtained from the IC under test is similarly read out from the pattern memory described above. The quality of this IC is determined by comparing it with the expected value.

【0003】したがってこの場合、テスタの能力は、用
意されたメモリ長で決ってしまう。つまり、ICテスタ
の持っているパターンメモリを超えるパターンの読み書
きを必要とするICのテストを行うことはできない。
Therefore, in this case, the capability of the tester is determined by the prepared memory length. That is, it is not possible to perform an IC test that requires reading and writing a pattern exceeding the pattern memory of the IC tester.

【0004】例えば被測定ICが、大容量メモリ、例え
ば極めて多数のフリップフロップを有するSRAMであ
る場合、これの良否を判定するためのテスタは、膨大な
メモリ長を有するICテスタが必要となる。
For example, when the IC to be measured is a large-capacity memory, for example, an SRAM having an extremely large number of flip-flops, an IC tester having an enormous memory length is required as a tester for determining the quality of the IC.

【0005】具体的には、例えば1MビットのSRAM
のICテスタは、これより2桁多い100Mビットオー
ダのデータを格納できる膨大なパターンメモリを有する
テスタを必要とし、この要求を満すICテスタは、超大
型、超高価格となっていて、ICの高価格化を招来す
る。
More specifically, for example, a 1 Mbit SRAM
IC testers require a tester having an enormous pattern memory capable of storing data of the order of 100 Mbits, which is two orders of magnitude higher. IC testers satisfying this requirement are of a very large size and an extremely high price. Will lead to higher prices.

【0006】そしてこのICテストは、全製品について
行われるので、1回のICのテストに掛るテスタの占有
時間は、生産性に大きな影響を与える。
Since this IC test is performed for all products, the occupation time of the tester in one IC test has a great effect on productivity.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決する課題
は、被測定ICが大容量メモリIC等である場合におけ
るICテスタのメモリ長の膨大化、これに伴う大型化、
高価格化である。
The problem to be solved by the present invention is to increase the memory length of an IC tester when the IC to be measured is a large-capacity memory IC, etc.
Higher prices.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、図1にその一
例の構成図を示すように、1つ以上の書き込みポインタ
1と、読み出しポインタ2と、最上位のアドレスに対応
するポインタ位置をインクリメントすると最下位のアド
レスとなるループ状のアドレス構成のパターンメモリ3
とを有して成る。
According to the present invention, one or more write pointers 1, a read pointer 2, and a pointer position corresponding to the highest address are set as shown in FIG. Pattern memory 3 having a loop-like address configuration that becomes the lowest address when incremented
And

【0009】書き込みポインタ1の始点から、パターン
メモリ3に、プログラムによるシーケンス通りの被測定
ICに与えるデータと期待値のデータを書き込み、その
書き込みアドレスに対し、読み出しポインタ2からデー
タを読み出して被測定ICに、これに与えるべき上記デ
ータを与える。一方、これによる被測定ICからの出力
信号を、上記期待値のデータとを比較することにより、
この被測定ICの特性の良否を判定するものである。
From the starting point of the write pointer 1, data to be given to the IC to be measured and expected value data are written into the pattern memory 3 in the sequence according to the program, and data is read from the read pointer 2 to the write address for the write address. The IC is given the above data to be given to it. On the other hand, by comparing the output signal from the IC to be measured with the data of the expected value,
The quality of the characteristics of the IC to be measured is determined.

【0010】[0010]

【作用】本発明によるICテスタは、その被測定ICに
与えるデータ、例えばその動作のコントロール信号や、
その機能テストのための入力信号等のデータ、そしてこ
の入力信号を被測定ICに入力したときのこれからの出
力信号の期待値のデータをパターンメモリ3に、一時的
に格納し、この格納されたデータを読み出して被測定I
Cへのデータの入力を行うと共に、読み出した期待値
と、被測定ICのデータ入力による出力とを比較してそ
の良否を判定する。
The IC tester according to the present invention provides data to be supplied to the measured IC, for example, a control signal for its operation,
Data such as an input signal for the function test and data of an expected value of an output signal when the input signal is input to the IC to be measured are temporarily stored in the pattern memory 3 and are stored. Read data and measure I
The data is input to C, and the read expected value is compared with the output of the IC under test by the data input to determine the quality of the IC.

【0011】そして、このパターンメモリのアドレスが
最上位のアドレスに対応するポインタ位置をインクリメ
ントすると最下位のアドレスとなる、つまりループ状に
構成されていることによって、上述したように格納され
たデータの読み出しのなされたアドレスは、再び書き込
みポインタの指定によって、次のデータを格納し、続い
て、読み出しポインタで同様の読み出しがなされ、被測
定ICへの入力と、これによる出力の期待値との比較を
なすという作業をパターンメモリの長さに係りなく、無
限に進めることができる。
When the address of the pattern memory is incremented by the pointer position corresponding to the highest address, the address becomes the lowest address. That is, since the pattern memory is formed in a loop, the address of the data stored as described above is obtained. The read address stores the next data again according to the designation of the write pointer. Subsequently, the same read is performed by the read pointer, and the input to the IC to be measured is compared with the expected value of the output. Can be performed indefinitely regardless of the length of the pattern memory.

【0012】[0012]

【実施例】図1を参照して本発明によるICテスタの一
例を説明する。パターンメモリ3は、各アドレスA1
2 、A3 ‥‥A1+n-2 、A1+n-1 、A1+n の配列を模
式的に円形状で表しているように、最上位のアドレス、
例えば 1+n に対応するポインタ位置をインクリメント
すると最下位のアドレス 1 となるループ状のアドレス
構成とする。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An example of an IC tester according to the present invention will be described with reference to FIG. The pattern memory 3 stores addresses A 1 ,
A 2 , A 3 ‥‥ A 1 + n−2 , A 1 + n−1 , A 1 + n , as shown schematically in an array, the highest address,
For example, when the pointer position corresponding to A 1 + n is incremented, the address becomes a loop address configuration that becomes the lowest address A 1 .

【0013】図1において、4はパターン発生部で、こ
れより得られたパターン、即ち所定のプログラムによる
シーケンス通りの被測定IC例えばメモリICのSRA
Mに入力するデータとその出力の期待値データ等のパタ
ーンメモリ3に格納すべきパターンを、1個以上の書き
込みポインタ1に供給する。
In FIG. 1, reference numeral 4 denotes a pattern generation unit, which is a pattern obtained from the pattern generation unit, that is, an SRA of an IC to be measured, for example, a memory IC according to a sequence according to a predetermined program.
A pattern to be stored in the pattern memory 3 such as data input to M and expected output data thereof is supplied to one or more write pointers 1.

【0014】このようにして格納されたデータは、読み
出しポインタ2で読み出されて、被測定IC5の例えば
SRAMに供給されると共に、期待値データを比較器6
に入力する。
The data stored in this manner is read by the read pointer 2 and supplied to, for example, an SRAM of the IC 5 to be measured.
To enter.

【0015】一方、被測定IC5のSRAMへのデータ
入力によって生じた出力を比較器6に入力し、これによ
って読み出しポインタ2から期待値と比較される。
On the other hand, the output generated by the data input to the SRAM of the IC under test 5 is input to the comparator 6, which compares the output with the expected value from the read pointer 2.

【0016】この比較結果は、システムコントローラ7
に送られ良否の判定がなされる。
The result of this comparison is stored in the system controller 7
Is sent to the server to make a pass / fail decision.

【0017】パターン発生部4は、CPU(中央処理装
置)7を有し、プログラム発生器8からのパターン発生
プログラムによってCPU7が、パターンメモリのアド
レスと、被測定IC5に与えるデータと期待値データを
出力する。
The pattern generating section 4 has a CPU (Central Processing Unit) 7. The pattern generating program from the program generator 8 causes the CPU 7 to store the address of the pattern memory, the data given to the IC 5 to be measured, and the expected value data. Output.

【0018】そして、この出力をアドレスデュータ9に
入力し、書き込みポインタ1の設定をなすと共に、各デ
ータをこのポインタ1のアドレスにメモリする。
Then, this output is input to the address decoder 9 to set the write pointer 1 and store each data at the address of the pointer 1.

【0019】10はクロック発生器で、これよりのクロ
ック信号をCPU7にクロック信号として導入し、一
方、カウンタ11に入力して、これのカウントによって
システムコントローラ7を制御し、かつ読み出しポイン
タを制御して上述したようにパターンメモリ3の所定の
アドレスからデータの読み出しとこの読み出したデータ
を被測定IC5に入力するか比較器6に入力する。
Reference numeral 10 denotes a clock generator, which introduces a clock signal as a clock signal to the CPU 7 and inputs the clock signal to a counter 11, which controls the system controller 7 and counts the read pointer. As described above, data is read from a predetermined address of the pattern memory 3 and the read data is input to the measured IC 5 or the comparator 6.

【0020】システムコントローラ7は、上述した良否
の判定と共に、パターン発生部4及び読み出しポインタ
を監視して読み出しポインタが、書き込みポインタを、
また書き込みポインタが読み出しポインタを追越すこと
がないように、時間制御例えば“待ち”の制御を行うよ
うになされている。
The system controller 7 monitors the pattern generation unit 4 and the read pointer together with the above-described pass / fail judgment, and the read pointer sets the write pointer to
Further, time control, for example, "waiting" control is performed so that the write pointer does not pass the read pointer.

【0021】一方、書き込みポインタ1は、パターンメ
モリのアクセス速度及びパターン発生速度に応じて複数
個とされる。この場合のパターン発生部4は、例えば図
2にその一例を示すように、各書き込みポインタ11〜
1mに応じて、図1のパターン発生部4におけると同様
に、プログラム発生器81、82、83‥‥8m、CP
U71、72、73‥‥7m、デコーダ91、92、9
3‥‥9mが設けられる。
On the other hand, a plurality of write pointers 1 are provided according to the access speed of the pattern memory and the pattern generation speed. In this case, the pattern generation unit 4 includes, for example, as shown in FIG.
1m, the program generators 81, 82, 83 # 8m, CP as in the pattern generator 4 of FIG.
U71, 72, 73 ‥‥ 7m, decoders 91, 92, 9
3 ‥‥ 9 m is provided.

【0022】上述したような本発明ICテスタによれ
ば、パターンメモリ3では、いわばバッファメモリとし
てデータを一時的に格納し、これを例えば多数の読み出
しポインタによって多数のデータを読み出して被測定I
C5に与え、かつこのとき被測定IC5から得られるべ
き期待値データをも得て、これと被測定ICからの実際
の出力と比較して良否を判定するものであり、この作業
は、パターンメモリ3がループ状のアドレス構成とした
ので、予めメモリすべきパターンが決っているとき、或
いは予測できて、即ちプログラム発生器8(81、8
2、83‥‥8m)によってプログラムできるようなI
Cテストパターンであれば、書き込みポインタと、読み
出しポインタとが相互に追い越すことがないように制御
することによって無限のメモリ長と同等のテストを行う
ことができることになる。
According to the IC tester of the present invention as described above, the pattern memory 3 temporarily stores data as a so-called buffer memory, and reads a large number of data by, for example, a large number of read pointers to read the data to be measured.
C5, and also obtains expected value data to be obtained from the IC under test 5 at this time, and compares it with the actual output from the IC under test to judge pass / fail. 3 has a loop-like address configuration, so that it can be predicted or predicted when the pattern to be stored is determined in advance, that is, the program generator 8 (81, 8).
2,83 ‥‥ 8m)
In the case of the C test pattern, a test equivalent to an infinite memory length can be performed by controlling the write pointer and the read pointer so as not to overtake each other.

【0023】尚、本発明は図1及び図2の構成の例に限
らず種々の構成を採り得ることは云うまでもないことろ
であろう。
It is needless to say that the present invention is not limited to the examples shown in FIGS.

【0024】[0024]

【発明の効果】上述したように、本発明では、パターン
メモリをループ状とし、バッファメモリとして用いて連
続的にデータの書き込みとその読み出しを行って被測定
ICの良否テストを行うことができるようにしたので、
特にSRAM等のメモリICにおけるように、取扱う信
号がデジタル信号で、かつその端子ピンに入力するデー
タパターンと、期待値パターンが決っているか、予想で
きる場合において、同じアドレスを繰り返し使用するこ
とによって実質的に無限のメモリ長とすることができ
る。
As described above, according to the present invention, the pattern memory is formed into a loop, and the pass / fail test of the IC under test can be performed by continuously writing and reading data using the buffer memory. Because it was
In particular, as in a memory IC such as an SRAM, when a signal to be handled is a digital signal and a data pattern to be input to its terminal pin and an expected value pattern are determined or can be predicted, the same address can be used repeatedly. Infinite memory length can be achieved.

【0025】したがって、従来のICテスタにおけるよ
うに、例えば上述したように、被測定ICが一般のSR
AMにおけるような単調なテストパターンで良いものに
おいては、テスタ内部のメモリ数を大幅に削減できる。
特に大容量メモリのICの良否判定をなすテスタとして
用いて、極めて、小型、廉価に作製することができる。
Therefore, as in the conventional IC tester, for example, as described above, the measured IC
In the case of a monotonous test pattern such as in the AM, the number of memories in the tester can be greatly reduced.
In particular, it can be manufactured extremely small and inexpensively by using it as a tester for judging the quality of a large capacity memory IC.

【0026】また、発生パターンないしはテストパター
ンに単調性がみられないものにおいても、或る場合は、
パターン発生部4において、論理圧縮されたパターンを
プロセッサで伸張することにより、テスタ内部のメモリ
数を大幅に削減することができる。
Further, even in the case where the generated pattern or the test pattern has no monotonicity, in some cases,
In the pattern generation unit 4, the number of memories in the tester can be significantly reduced by expanding the logically compressed pattern by the processor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるICテスタの一例の構成図であ
る。
FIG. 1 is a configuration diagram of an example of an IC tester according to the present invention.

【図2】本発明によるICテスタのパターン発生部の一
例の構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of an example of a pattern generator of an IC tester according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 書き込みポインタ 2 読み出しポインタ 3 パターンメモリ 4 パターン発生部 1 Write pointer 2 Read pointer 3 Pattern memory 4 Pattern generator

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 1つ以上の書き込みポインタと、読み出
しポインタと、最上位のアドレスに対応するポインタ位
置をインクリメントすると最下位のアドレスとなるルー
プ状のアドレス構成のパターンメモリとを有し、上記書
き込みポインタの始点から、上記パターンメモリに、プ
ログラムによるシーケンス通りの被測定ICに与えるデ
ータ或いは期待値のデータを書き込み、その書き込みア
ドレスから、所定の上記読み出しポインタ信号で上記デ
ータを読み出して被測定ICに与え、これによる上記被
測定ICからの出力信号と、上記期待値のデータとを比
較することにより上記被測定ICの特性の良否を判定す
ることを特徴とするICテスタ。
1. A pattern memory having one or more write pointers, a read pointer, and a loop-shaped address configuration that becomes a lowest address when a pointer position corresponding to the highest address is incremented. From the start point of the pointer, data to be given to the IC under test or data of an expected value is written in the pattern memory in the sequence according to the program, and the data is read out from the write address by the predetermined read pointer signal, and the read data is written to the IC under test. An IC tester for comparing the output signal from the measured IC with the expected value data to determine whether the characteristics of the measured IC are good or not.
JP3034295A 1991-02-28 1991-02-28 IC tester Expired - Fee Related JP2969996B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3034295A JP2969996B2 (en) 1991-02-28 1991-02-28 IC tester

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3034295A JP2969996B2 (en) 1991-02-28 1991-02-28 IC tester

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04273457A JPH04273457A (en) 1992-09-29
JP2969996B2 true JP2969996B2 (en) 1999-11-02

Family

ID=12410169

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3034295A Expired - Fee Related JP2969996B2 (en) 1991-02-28 1991-02-28 IC tester

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2969996B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04273457A (en) 1992-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6173238B1 (en) Memory testing apparatus
US4930100A (en) Programmable pulse input/output processing unit having register types specified by instructions
EP0316609A2 (en) Integrated circuit with built-in trace data collecting circuit
US5854796A (en) Method of and apparatus for testing semiconductor memory
JPH0682147B2 (en) Hierarchical test sequencer
JPS6217876Y2 (en)
US5917833A (en) Testing apparatus for semiconductor device
US5923612A (en) Synchronous semiconductor memory device having macro command storage and execution method therefor
US20020178412A1 (en) Memory testing method and apparatus, and computer-readable recording medium
US5269012A (en) Stack memory system including an address buffer for generating a changed address by inverting an address bit
JP2969996B2 (en) IC tester
US5089955A (en) Programmable counter/timer device with programmable registers having programmable functions
JPS60258792A (en) Dynamic ram
EP0205122A2 (en) Event counting prescaler
US6687863B1 (en) Integrated circuit internal signal monitoring apparatus
US5524228A (en) Memory control circuit for reducing the number of row address signals
JP3180539B2 (en) Failure analysis memory for fast fail search
US4914620A (en) Capacity extensible data storage for use in electronic apparatus
JPH05107314A (en) IC test equipment
KR100247858B1 (en) Error information storage circuit of memory apparatus
JPH0528760A (en) Semiconductor memory
JP2003044266A (en) Digital waveform data recording circuit and recording method for digital waveform data
JP2007010605A (en) Testing device and testing method
JPS59132376A (en) Pattern reading test equipment
JP2989962B2 (en) Vector processing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees