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JP2939027B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2939027B2
JP2939027B2 JP3286351A JP28635191A JP2939027B2 JP 2939027 B2 JP2939027 B2 JP 2939027B2 JP 3286351 A JP3286351 A JP 3286351A JP 28635191 A JP28635191 A JP 28635191A JP 2939027 B2 JP2939027 B2 JP 2939027B2
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JP
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JP3286351A
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啓 浜出
茂 森
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/10Input/output [I/O] data interface arrangements, e.g. I/O data control circuits, I/O data buffers
    • G11C7/1048Data bus control circuits, e.g. precharging, presetting, equalising
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/409Read-write [R-W] circuits 
    • G11C11/4096Input/output [I/O] data management or control circuits, e.g. reading or writing circuits, I/O drivers or bit-line switches 

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  • Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体記憶装置に関
し、特に、高速読出動作を実現することのできる半導体
記憶装置の構成に関する。より特定的には、この発明は
データ読出線とデータ書込線とが別々に設けられたIO
分離型半導体記憶装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体記憶装置を高速動作させる
ために様々な構造が提案されている。このような高速動
作化の試みの1つに、読出データを伝達する読出データ
線と書込データを伝達する書込データ線とを別々に設け
た構造がある。このような半導体記憶装置はIO分離型
半導体記憶装置と呼ばれる。IO分離型半導体記憶装置
においては、データ読出時においては、ラッチ型センス
アンプの動作前に読出専用の増幅手段を駆動して選択メ
モリセルのデータを読出データ線へ伝達する。これによ
り、ワード線選択後すぐにデータを読出すことが可能と
なる。
【0003】図7は従来のIO分離型半導体記憶装置の
メモリセルアレイおよび関連の周辺回路の構成を示す図
である。この図7に示すIO分離型半導体記憶装置の構
成は、たとえば、特開平1−169798号公報に示さ
れている。図7においては、メモリセルアレイの1列の
メモリセルに関連する1対のビット線BL,/BLの構
造が代表的に例示される。
【0004】図7において、ビット線BLとビット線/
BLとは折返しビット線構造を構成する。ワード線WL
とビット線BLとの交差部に対応する位置にメモリセル
1が設けられる。メモリセル1は、情報を記憶する容量
C0と、ワード線WL上の信号電位に応答してオン状態
となり、この容量C0をビット線BLに接続する転送ゲ
ートQ0を備える。
【0005】ビット線対BL,/BLに対しては、信号
線41上に与えられるセンスアンプ駆動信号に応答して
動作し、ビット線対BL,/BLのうち低電位のビット
線の電位を接地電位レベルへ放電するN型センスアンプ
2と、信号線51上に与えられるセンスアンプ駆動信号
に応答して動作し、ビット線対BL,/BLのうち高電
位のビット線の電位を電源電位Vccレベルへ昇圧する
P型センスアンプ3と、ビット線対BL,/BLの電位
を所定電位にプリチャージしかつイコライズするための
プリチャージ/イコライズ回路6が設けられる。
【0006】N型センスアンプ2は交差結合されたnチ
ャネルMOSトランジスタ(絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタ)Q1およびQ2を含む。トランジスタQ1は
そのソースが信号線41に接続され、そのゲートがビッ
ト線BLに接続され、そのドレインがビット線/BLに
接続される。トランジスタQ2はそのソースが信号線4
1に接続され、そのゲートがビット線/BLに接続さ
れ、そのドレインがビット線BLに接続される。
【0007】P型センスアンプ3は交差結合されたpチ
ャネルMOSトランジスタQ3およびQ4を含む。トラ
ンジスタQ3はそのソースが信号線51に接続され、そ
のゲートがビット線BLに接続され、そのドレインがビ
ット線/BLに接続される。トランジスタQ4はそのソ
ースが信号線51に接続され、そのゲートがビット線/
BLに接続され、そのドレインがビット線BLに接続さ
れる。
【0008】プリチャージ/イコライズ回路6は、イコ
ライズ信号EQに応答してビット線BLとビット線/B
Lとを電気的に短絡するイコライズトランジスタQ7
と、イコライズ信号EQに応答してビット線BL,/B
Lへそれぞれ所定のプリチャージ電位VBLを伝達する
プリチャージトランジスタQ8およびQ9を含む。トラ
ンジスタQ7,Q8およびQ9はそれぞれnチャネルM
OSトランジスタにより構成される。
【0009】N型センスアンプ2を駆動するためのセン
スアンプ駆動信号は、センスアンプ活性化信号S0に応
答して信号線41を接地電位に接続するnチャネルMO
SトランジスタQ5からなるN型センスアンプ活性化回
路4により発生される。P型センスアンプ3を駆動する
ためのセンスアンプ駆動信号は、相補センスアンプ活性
化信号/S0に応答して信号線51を電源電位Vccへ
接続するpチャネルMOSトランジスタQ6からなるP
型センスアンプ活性化回路5により発生される。
【0010】ビット線対BL,/BLに対してさらに、
データの書込みおよび読出しを行なうために、図示しな
いコラムデコーダから出力される列選択信号Yiに応答
して導通状態となるnチャネルMOSトランジスタQ1
0,Q11と、書込指示信号Wに応答してオン状態とな
るnチャネルMOSトランジスタQ12およびQ13
と、データ読出時に列選択信号Yiに応答して活性化さ
れ、ビット線BL,/BLの電位を差動的に増幅するカ
レントミラー型センスアンプ7が設けられる。
【0011】トランジスタQ10〜Q13はデータ書込
時において列選択信号Yiにより選択されたときこのビ
ット線BLおよび/BLを書込データを伝達する書込専
用データ線WIおよび/WIへそれぞれ接続する。
【0012】カレントミラー型センスアンプ7は読出デ
ータを伝達する読出専用データ線対RI,/RIを内部
ノードとし、この読出専用データ線対RI,/RIへ電
流を供給する負荷回路7aと、ビット線対BL,/BL
に設けられ、このビット線対BL,/BLの電位を差動
的に増幅して読出専用データ線対RI,/RIへ伝達す
る駆動回路7bを含む。
【0013】負荷回路7aは、電源電位Vccと読出専
用データ線RIとの間に設けられるpチャネルMOSト
ランジスタQ14と、電源電位Vccと読出専用データ
線/RIとの間に設けられるpチャネルMOSトランジ
スタQ15を含む。読出専用データ線/RIのノードN
O2の電位はトランジスタQ14およびQ15のゲート
へフィードバックされる。読出専用データ線RIのノー
ドNO1からたとえばプリアンプなどの次段回路へ読出
データが伝達される。この負荷回路7aはカレントミラ
ー回路を構成しており、読出専用データ線RIおよび/
RIへ同一量の電流を供給する。
【0014】駆動回路7bは、ビット線BLにそのゲー
トが接続されるnチャネルMOSトランジスタQ16
と、そのゲートがビット線/BLに接続されるnチャネ
ルMOSトランジスタQ17と、列選択信号Yiに応答
してトランジスタQ16およびQ17のそれぞれの一方
導通端子を接地電位へ接続するnチャネルMOSトラン
ジスタQ18およびQ19を含む。トランジスタQ16
およびQ17の他方導通端子はそれぞれ読出専用データ
線/RIおよびRIへ接続される。図7において破線の
ブロックで示す各ビット線対に対して、このビット線B
L,/BLに対して示したものと同様の構成が設けられ
ており、各ビット線対に設けられた駆動回路7bは共通
に読出専用データ線対RI,/RIへ結合される。
【0015】この図7に示す構成においては、データ読
出しとデータ書込みとが別々の経路を介して行なわれ
る。すなわち、データ書込みは、書込専用データ線対W
I,/WIとトランジスタQ10〜Q13を介して行な
われ、一方、データ読出は駆動回路7b、読出専用デー
タ線対RI,/RIおよび負荷回路7を介して行なわれ
る。次に、この図7に示す半導体記憶装置の動作をその
動作波形図である図8を参照して説明する。図8におい
て図7に示すものと同じ符号は対応の信号の波形を示し
ている。
【0016】まず読出動作について説明する。ここで
は、一例として、メモリセル1が情報“1”を記憶して
いる場合の動作について説明する。最初、書込指示信号
Wはローレベルにあり、トランジスタQ12およびQ1
3はオフ状態にあり、書込専用データ線対WI,/WI
は各ビット線対と切離されている。
【0017】時刻T1以前においては、イコライズ信号
EQがハイレベルにあり、プリチャージ/イコライズ回
路のトランジスタQ7−Q9はすべてオン状態にある。
これにより、ビット線BLおよび/BLはそれぞれ所定
のプリチャージ電位VBLにプリチャージされかつイコ
ライズされている。
【0018】一方において、読出専用データ線対RI,
/RIもそれぞれ負荷回路7aにより所定の安定電位
(Vcc−|Vthp|)で安定状態にある。ここで、
Vccは動作電源電位を示し、Vthpはトランジスタ
Q14およびQ15のしきい値電圧を示す。
【0019】時刻T1において、イコライズ信号EQが
ハイレベルからローレベルに低下すると、プリチャージ
/イコライズ回路6に含まれるトランジスタQ7〜Q9
がすべてオフ状態となり、各ビット線BLおよび/BL
はともにプリチャージ電位でフローティング状態とな
る。
【0020】時刻T2において、外部から与えられるア
ドレス信号に応答して、図示しないワード線選択回路
(ロウデコーダ等)により1本のワード線WLが選択さ
れる。この選択ワード線WLの電位がローレベルからハ
イレベルへ移行すると、メモリセル1の転送ゲートトラ
ンジスタQ0がオン状態となる。今、メモリセル1が情
報“1”を記憶しているため、図8において実線で示す
ようにビット線BLの電位がわずかに上昇する。他方の
ビット線/BLにはメモリセルは接続されていないため
プリチャージ電位を保持する。
【0021】時刻T3において、外部アドレス信号に従
ってコラムデコーダ(図示せず)等により列選択信号が
行なわれ、列選択信号Yiがローレベルからハイレベル
へ立上がる。この列選択信号Yiに応答してトランジス
タQ18およびQ19がオン状態となる。これにより、
トランジスタQ14〜Q19からなるカレントミラー型
増幅器7が活性化される。すなわち、時刻T2において
ワード線WLの電位がローレベルからハイレベルにな
り、ビット線BL上の信号電位がわずかに上昇すると、
時刻T3においてカレントミラー型増幅器7が活性化さ
れる。
【0022】ビット線BLの電位はビット線/BLの電
位よりも少し高く、これによりトランジスタQ16のコ
ンダクタンスはトランジスタQ17のコンダクタンスよ
りも大きくなる。負荷回路7aのトランジスタQ14お
よびQ15は読出専用データ線RI,/RIへ同一量の
電流を供給している。トランジスタQ16およびQ18
からなる放電経路はトランジスタQ17およびQ19か
らなる放電経路よりも高速で電流を接地電位へ流す。こ
れにより、読出専用データ線/RIの電位が読出専用デ
ータ線RIの電位よりも高速で立下がる。すなわち、こ
のカレントミラー型増幅器7により、ビット線BLとビ
ット線/BLとの間の微少電位差が高速で増幅され読出
専用データ線/RIおよびRIへ伝達される。この読出
専用データ線RIおよび/RIの電位はノードNO1を
介して次段のプリアンプなどの増幅器の入力等へ伝達さ
れる。
【0023】この後、時刻T4において、センスアンプ
活性化信号S0,/S0がそれぞれ活性状態のハイレベ
ルおよびローレベルへ移行し、トランジスタQ5および
Q6をオン状態とする。これにより信号線41および5
1にN型センスアンプ駆動信号およびP型センスアンプ
駆動信号が発生され、N型センスアンプ2およびP型セ
ンスアンプ3が活性化される。
【0024】このセンスアンプ2および3のセンス動作
により、ビット線BLおよび/BL上の信号電位差がさ
らに増幅される。すなわち、ビット線BLの電位が電源
電位Vccレベルまで昇圧され、一方、ビット線/BL
の電位が接地電位レベルのローレベルへ低下される。デ
ータ読出時においては、このセンスアンプ2および3に
よる増幅動作は、読出情報をメモリセル1へ再書込みす
るリストア動作のために実行される。
【0025】時刻T6において、選択されたワード線W
Lの電位および列選択信号Yiがハイレベルからローレ
ベルへ移行すると、トランジスタQ18およびQ19が
オフ状態となり、カレントミラー型増幅器7が不活性状
態となる。これにより、読出専用データ線RIおよび/
RIはそれぞれトランジスタQ14およびQ15を介し
て充電され、所定の安定電位(Vcc−|Vthp|)
に復帰する。
【0026】時刻T7において、センスアンプ活性化信
号S0および/S0がともに不活性状態へ移行し、さら
にイコライズ信号EQがハイレベルへ立上がると、ビッ
ト線BLおよび/BLのプリチャージおよびイコライズ
が実行され、1つのメモリサイクルが終了する。
【0027】選択されたメモリセル1が情報“0”を有
している場合においては、この選択メモリセル1の記憶
情報“0”がビット線BLへ伝達される。この場合は、
図8において一点鎖線で示す電位変化がビット線BLに
おいて生じ、読出専用データ線RIの電位がローレベ
ル、読出専用データ線/RIの電位がハイレベルとな
る。
【0028】次にデータ書込動作について簡単に説明す
る。この場合、データ書込回路(図示せず)から外部書
込データに従って生成された相補内部データ(たとえば
DIN,/DIN)が書込専用データ線対WI,/WI
へ伝達される。この書込動作においては、書込指示信号
Wはハイレベルであるため、トランジスタQ12および
Q13はオン状態である。
【0029】時刻T5において図示しないコラムデコー
ダによる列選択動作に従って列選択信号Yiが発生さ
れ、選択されたビット線対が書込専用データ線対WI,
/WIへ接続される。この時刻T5以前においてはセン
スアンプ2および3によるセンス動作は完了しており、
選択されたビット線対の電位は書込専用データ線WIお
よび/WIへ伝達された内部書込データに対応する電位
となる。
【0030】ここで、図8に示す波形図においては、デ
ータ書込時において列選択信号Yiが時刻T5において
ハイレベルへ移行するように示されている。このような
データ書込時とデータ読出時における列選択信号Yiの
活性状態への移行タイミングのシフトは、書込指示信号
Wとコラムアドレスストローブ信号/CAS(外部アド
レス信号を列アドレスとして取込むタイミングを与える
信号)との組合わせにより実現される。すなわち書込指
示信号Wがデータ書込動作を示しているときにはこのコ
ラムアドレスストローブ信号/CASの活性状態への移
行が所定時間遅延され、これにより列選択動作がデータ
書込時において所定時間遅延される。
【0031】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、読出専
用データ線と書込専用データ線とを別々に設けることに
より、データ読出時においてワード線選択直後にデータ
を読出すことができ、データ読出動作を高速化すること
ができる。
【0032】しかしながら、読出専用データ線はカレン
トミラー型増幅器の内部ノードを構成しており、各ビッ
ト線対に対して設けられた駆動回路7bが共通に接続さ
れる。したがって、読出専用データ線には数多くのゲー
ト容量(ビット線容量を含む)が接続されることにな
り、カレントミラー型増幅器の負荷容量が大きくなる。
読出データは図7のノードNO1から出力されるが、こ
の読出データは読出専用データ線を放電することにより
得られる。したがって、上述のように読出専用データ線
に付随するゲート容量が大きくなると、高速で読出専用
データ線を放電することができなくなる。このため、列
選択信号が活性化された後、読出専用データ線に十分な
電位振幅(ハイレベルデータとローレベルデータの間の
振幅)が生じるまでの遅延時間が大きくなり、高速でデ
ータを読出すことが困難になるという問題が生じる。
【0033】また、この読出専用データ線に付随するゲ
ート容量が負荷回路(カレントミラー回路)からの電流
により充放電される。したがって、このゲート容量が大
きくなると、カレントミラー型増幅器の消費電流が大き
くなるという問題も生じる。
【0034】それゆえ、この発明の目的は、より高速で
データを読出すことができるとともによりデータ読出用
増幅器の消費電流を低減することのできる半導体記憶装
置を提供することである。
【0035】
【0036】
【課題を解決するための手段】 この発明に係る 半導体記
憶装置は、メモリセルアレイを、各々が複数の列を含む
列グループに分割し、かつデータ線を各グループに対応
して設けられる副データ線と、副データ線が共通に結合
される主データ線とからなる階層構造とするとともに、
各副データ線と主データ線との間に、グループ選択信号
に応答して、選択されたグループに対応する副データ線
と主データ線とを両者の容量を分離しつつ電気的に接続
する手段を設けたものである。各副データ線には、対応
の列グループの選択メモリセルのデータが、列選択信号
に応答して活性化される増幅手段により差動増幅されて
伝達される。
【0037】
【0038】
【0039】
【作用】 この発明 に係る半導体記憶装置において、主
データ線には1つの列グループの副データ線が接続され
るとともに、これらの両者の容量が接続手段により接続
時においても分離されるため、出力ノードに生じる負荷
容量が低減され、より応答速度が速くなる。また、この
接続手段の容量分離機能により、副データ線の充放電電
位が制限を受け、データ線における充放電電流が低減さ
れる。また、この充放電は1つの選択グループに設けら
れた副データ線に対して実行されるだけであり、より充
放電電流が低減される。
【0040】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照して説明する。以下の説明において、図7に示す従来
の半導体記憶装置と同一または相当部分には同一の参照
番号を付し、その詳細説明は省略する。
【0041】図1は、この発明の一実施例である半導体
記憶装置の主要部の構成を概略的に示す図である。この
図1において、1対のビット線BL,/BLが代表的に
示される。
【0042】図1において、この読出増幅手段としての
カレントミラー型増幅器7は、読出専用データ線RI,
/RIへ電流を供給するための電流負荷回路8と、各ビ
ット線対に設けられ、対応のビット線の電位を増幅する
駆動回路9とを含む。この電流供給用負荷回路8は、選
択メモリセルのデータを次段のプリアンプなどの増幅器
等へ伝達するための出力ノードNO1を含む。カレント
ミラー型増幅器の駆動回路9は各ビット線対に設けられ
ており、この読出専用データ線RI,/RIの第2の部
分10(ノードNOA,NOB)に共通に結合される。
読出専用データ線RI,/RIの第1の部分は負荷回路
8に含まれる。
【0043】この発明による半導体記憶装置はさらに、
読出専用データ線RI,/RIの第1および第2の部分
の間に両者を容量的に分離しかつ電気的に接続する容量
分離手段を備える。この容量分離手段は、読出専用デー
タ線RIに接続される負荷トランジスタQ14と駆動ト
ランジスタQ17との間に設けられるnチャネルMOS
トランジスタQ20と、読出専用データ線/RIに接続
される負荷トランジスタQ15と駆動トランジスタQ1
6との間に設けられるnチャネルMOSトランジスタQ
21とを含む。トランジスタQ20およびQ21のゲー
トへはたとえばVcc/2またはVcc/2Vthで
ある基準電位Vref(定電圧)が与えられる。
【0044】このトランジスタQ20およびQ21を設
けることにより、読出専用データ線対RI,/RIは第
1および第2の部分に分割される。以下の説明では、こ
の第1および第2の部分をそれぞれノードで代表する。
データ線RIは、この読出専用データ線RIに接続され
たトランジスタQ20から負荷トランジスタQ14との
間におけるノードNO1と、トランジスタQ20からト
ランジスタQ17側のノードNOAの2つのノードを備
える。
【0045】同様に、読出専用データ線/RIも、この
読出専用データ線/RIに接続されたトランジスタQ2
1より負荷トランジスタQ15側のノードNO2と、こ
のトランジスタQ21から駆動トランジスタQ16側の
ノードNOBとの2つのノードに分割される。
【0046】トランジスタQ20およびQ21はそれぞ
れ読出専用データ線RIおよび/RIのノードNO1お
よびNO2に極めて近い位置に設けられる。すなわち、
このトランジスタQ20およびQ21を設けることによ
り形成されたノードNO1およびNO2は、このカレン
トミラー型増幅器7を構成する負荷回路8に含まれる負
荷トランジスタQ14およびQ15の極めて近い位置に
設けられる。
【0047】言換えると、読出専用データ線RIにおい
てはこのトランジスタQ20と負荷トランジスタQ14
との間の配線長はできるだけ短くされ、同様に、読出専
用データ線/RIにおいても、このトランジスタQ21
と負荷トランジスタQ15との間の配線長はできるだけ
短くされる。ノードNO1は信号出力ノードを与え、次
段の増幅器の入力等へ接続される。次に、この図1に示
す半導体記憶装置の動作についてその読出時の動作を示
す信号波形図である図2を参照して説明する。図2にお
いて、図1に示す符号と同一の符号は対応する部分の信
号電位の変化を示す。
【0048】図2においては、メモリセル1が情報
“1”を記憶しており、このメモリセル1の記憶情報が
読出す場合に現われる信号波形が示される。
【0049】読出動作開始から時刻T3に至るまでの動
作は、図7および図8に示す従来の半導体記憶装置の動
作と同様である。
【0050】時刻T3以前までは、ノードNO1および
NO2の電位は電源電位Vccよりも負荷トランジスタ
Q14およびQ15のしきい値電圧Vthpの絶対値だ
け低い電圧Vcc−|Vthp|で安定している。
【0051】またノードNOAおよびNOBの電位は、
トランジスタQ20およびQ21のゲート電圧Vref
よりも、これらのトランジスタQ20およびQ21のし
きい値電圧Vthnだけ低い電位Vref−Vthnで
安定している。
【0052】時刻T3において、外部アドレス信号に応
答して、図示しないコラムデコーダから列選択信号Yi
が発生される。この列選択信号Yiがローレベルからハ
イレベルへ立上がると、トランジスタQ18およびQ1
9がオン状態となり、トランジスタQ14〜Q19から
なるカレントミラー型増幅器7が活性化される。すなわ
ち、ビット線BLおよび/BL上に現われた微少電位差
を増幅するべく、読出専用データ線/RI上の各ノード
NOBおよびNO2の電位が接地電位に向かって放電さ
れる。このとき、ノードNOBの電位は、従来の半導体
記憶装置と同様読出専用データ線/RIに接続されるゲ
ート容量が大きいため、このゲート容量の充電電荷によ
る遅延のためその放電速度は緩やかである。
【0053】一方、ノードNO2は、トランジスタQ2
1が設けられていることにより、ノードNOBに接続さ
れているゲート容量から分離されており、これらのゲー
ト容量の充電電荷による応答速度の遅延を回避すること
が可能となる。すなわち、ノードNO2の立下がりが急
峻なものとなる。特に、ノードNO2の電位はVcc−
|Vthp|であり、ノードNOBのプリチャージ電位
はVref−Vthnであり、ノードNO2の電位はノ
ードNOBの電位よりも大きいため、高速でノードNO
2の電位はノードNOBの電位に向かって立下がる。こ
のノードNO2の電位は負荷トランジスタQ14のゲー
トへフィードバックされている。
【0054】ノードNO1は次段の増幅器の入力等に接
続されている。選択メモリセル1の記憶情報が“1”の
場合、ノードNO1の電位はVcc−|Vthp|で高
速に安定化する。一方、選択メモリセルが情報“0”を
記憶している場合、ノードNO1の電位が高速で立下が
る。このため、ノードNO1の応答速度が高速化される
ため、より高速で次段の増幅器の入力等へ十分な振幅
(ハイ,ロー判定基準に対して)のデータを伝達するこ
とが可能となり、高速でデータを読出すことに対して極
めて有効である。
【0055】時刻T3′において、ノードNO2の電位
はノードNOBの電位と等電位となる。この場合、トラ
ンジスタQ21を介してノードNO2の放電速度はこの
ノードNOBの放電速度に律速され、ノードNO2はノ
ードNOBと同じ速度で電位降下する。ノードNO2お
よびNOBの電位は所定のある中間電位VLまで低下す
る。このローレベルを与える中間電位VLの電位は、負
荷トランジスタQ15の電流供給能力と、トランジスタ
Q16およびQ18からなる放電経路の放電能力とによ
り決定される。
【0056】ここで、ノードNO2の電位とノードNO
Bの電位が等しくなる時刻T3′、すなわち、ノードN
O2とノードNOBの電位降下速度が等しくなる時刻T
3′においては、ノードNO1とノードNO2との間に
既に十分な電位差が生じている。この電位差は次段の増
幅器の増幅動作が高速かつ確実に行なわれるのに十分な
電位差である。
【0057】時刻T4以降の動作は図8に示す従来の半
導体記憶装置の動作波形図に示されるものと同様であ
る。
【0058】このトランジスタQ20およびQ21の動
作をより詳細に説明する。図3は図2に示す時刻T3付
近の信号波形の拡大図であり、図3(A)に本発明の半
導体記憶装置における出力ノードの電位変化を、図3
(B)に従来の半導体記憶装置の出力ノードの電位変化
を示す。以下の説明において、動作電源電位をVcc、
負荷トランジスタQ14およびQ15に相当するpチャ
ネルMOSトランジスタのしきい値電圧をVthp、容
量分離用のトランジスタQ20およびQ21に相当する
nチャネルMOSトランジスタのしきい値電圧をVth
n、およびトランジスタQ20およびQ21のゲートへ
与えられる電圧をVrefとする。
【0059】時刻T3以前においては、ノードNO2お
よびNOBはそれぞれ所定の安定電位すなわち、ノード
NO2がVcc−|Vthp|、ノードNOBが電位V
ref−Vthnで安定している。
【0060】時刻T3においてカレントミラー型増幅器
7が活性化されると、この図3(A)に示すように、本
実施例の半導体記憶装置におけるノードNO2およびノ
ードNOBの電位は接地電位へ降下する。
【0061】同様に、図3(B)に示す従来の半導体記
憶装置におけるノードRI(すなわちNO2=NOB;
読出専用データ線)も接地電位へ電位が降下する。この
とき、本実施例の半導体記憶装置におけるノードNO2
は、前述の理由により、その立下がりが高速で行なわれ
ており、時刻T3′においてノードNO2の電位降下は
ΔVである。
【0062】一方、図3(B)に示す従来の半導体記憶
装置においては、その大きなゲート容量のため時刻T
3′において電位差はΔvしか生じていない。従来の半
導体記憶装置においてそのノード/RIに電位差Δvが
生じるのを時刻T3′から時間ΔT経過した時刻T3″
においてである。すなわち、本発明の実施例による半導
体記憶装置においては従来装置に比べて時間ΔTだけ応
答速度が改善される。このノードNO2に生じる電圧降
下ΔVは次段の増幅器の増幅感度が十分良好な感度を確
保できる電位差である(すなわち、データ“1”および
“0”を誤動作することなく確実に増幅することができ
る電位差)。
【0063】時刻T3′において本実施例の半導体記憶
装置においてノードNO2の電位とノードNOBの電位
が等しくなった後は、このノードNO2の電位降下はノ
ードNOBの電位降下速度に律速され、以下両ノードは
同一の電圧降下速度で所定の中間電位VLまで低下す
る。
【0064】また図3(A)に示す本実施例におけるノ
ードNOBの電位振幅Vは、図3(B)に示す読出専
用データ線/RIの電位振幅V1に比べて小さい。
【0065】本実施例におけるノードNOAおよびNO
Bには、従来装置の読出専用データ線RIおよび/RI
と同様多くのゲート容量が接続されている。本実施例に
おいて、トランジスタQ20およびQ21を設けること
により、この読出専用データ線のハイレベル(プリチャ
ージレベル)をVcc−|Vthp|からVref−V
thnまで低下させることができる。すなわち、この読
出専用データ線の第2の部分(ノードNOAおよびNO
B)における論理振幅をV1からVに制限することが
可能となる。この論理振幅を制限することにより、ノー
ドNOAおよびNOBに付随するゲート容量の充放電電
流(プリチャージ時における充電およびデータ読出時に
おける放電)を減少させることができ、低消費電流で動
作をするカレントミラー型増幅器を得ることができる。
【0066】図4はこの発明の他の実施例である半導体
記憶装置の要部の構成を概略的に示す図である。この図
4において図1に示す半導体記憶装置の構成と対応する
部分には同一の参照番号を付している。
【0067】図4において、メモリセルアレイは各々が
複数の列を含む列グループすなわちブロック#1、ブロ
ック#2、…ブロック#nに分割される。各列グループ
に対して副読出データ線対RDk,/RDk(k=1,
2,…n)が設けられる。この読出専用副データ線対R
Dk,/RDkはそれぞれブロック選択信号(列グルー
プ選択信号BSk)に応答して対応の読出専用副データ
線対RDk,/RDkを読出専用主データ線対RI,/
RIへ接続するグループ選択接続回路30−kが設けら
れる。この接続回路30−kはそれぞれ読出専用副デー
タ線RDkと読出専用主データ線RIとの間に設けられ
るnチャネルMOSトランジスタ(Q20,Q22,
…,Q24)と、副データ線/RDkと主データ線/R
Iとの間に設けられるnチャネルMOSトランジスタ
(Q21,Q23,…Q25)を含む。
【0068】ブロック選択信号BSkのハイレベルはあ
る中間電位Vrefであり、そのローレベルは接地電位
の0Vレベルである。ブロック選択信号BSkの電位振
幅がVref〜0Vであるため、この接続回路30−1
〜30−nに含まれるトランジスタは図1に示す容量分
離用のトランジスタQ20およびQ21と同様の機能を
実現する。
【0069】上述の構成では、読出専用データ線が、第
1の部分を構成する読出専用主データ線対RI,/RI
と、第2の部分を構成する読出専用副データ線対RD
k,/RDkとに分割される。この場合、主データ線対
RI,/RIには選択された1つの列グループに接続さ
れる副データ線対のみが接続されるため、カレントミラ
ー型増幅器(負荷回路8および駆動回路9からなる)は
より低消費電流で動作することができる。このときまた
副データ線対には1つの列ブロックのゲート容量のみが
付随するため、従来の装置に比べてより高速で副データ
線対を充放電することができ、高速動作をも実現するこ
とができる。
【0070】上述のように、読出専用主データ線対R
I,/RIと読出専用副データ線対RDk,/RDkと
の間にブロック選択スイッチとしても機能する論理振幅
制限用のトランジスタからなる接続回路を設けることに
より、より高速かつ低消費電流で動作するカレントミラ
ー型増幅器を実現することができる。
【0071】図5は、図4に示す半導体記憶装置の代表
的な動作を示す信号波形図である。図5において図4に
示す信号と同一の符号が付された波形は対応の信号波形
を示している。以下図4および図5を参照して簡単にこ
の図4に示す半導体記憶装置の動作について説明する。
【0072】時刻T1以前から時刻T3までの動作は図
1および図2に示す半導体記憶装置のものと同様であ
る。
【0073】時刻T3においてたとえばブロック#1が
選択されたとする。このブロック#1に設けられた接続
回路30−1に含まれるトランジスタQ20およびQ2
1のゲートにブロック選択信号BS1が与えられる。す
なわち、トランジスタQ20およびQ21のゲートへ基
準電圧Vrefが印加される。
【0074】同時に、時刻T3において列選択信号Yi
が駆動回路のトランジスタQ18およびQ19のゲート
へ与えられる。したがって、時刻T3においてカレント
ミラー型増幅器7が直ちに活性化され、ビット線BLお
よび/BLに生じた電位差が増幅される。
【0075】このとき、図1に示す半導体記憶装置と同
様、読出専用副データ線対RD1,/RD1(他のブロ
ックが選択された場合においては対応の読出専用副デー
タ線対)においては、選択接続回路30−1に含まれる
トランジスタQ20,Q21により、読出専用データ線
が2つのノードすなわち読出専用主データ線対部分(ノ
ードNO1,NO2の部分)と読出専用副データ線対部
分(ノードNOAおよびNOBの部分)とに分割され
る。これにより、ノードNO1またはNO2はその電位
がVcc−|Vthp|のハイレベルから所定の中間電
位VLへ高速で低下する。一方ノードNOAおよびNO
Bの電位はプリチャージ電位Vref−Vthnから中
間電位VLとその電位振幅が制限される。これにより、
図1に示す半導体記憶装置と同様、次段に対するデータ
出力の応答速度が高速化されかつ低消費電流による読出
動作が実現される。
【0076】時刻T6において、列選択信号Yiがハイ
レベルからローレベルへ降下し、カレントミラー型増幅
器(負荷回路8および駆動回路9)が非活性化するとと
もに、ブロック選択信号BS1がハイレベル(Vre
f)からローレベルへ降下する。これによりブロック#
1が非選択状態となる。この図5に示す信号波形図にお
いてはブロック選択信号BS1は列選択信号Yiと同期
して発生されている。この場合、駆動回路9を非活性状
態とした後、読出専用副データ線RD1,/RD1を確
実に所定電位にプリチャージするためにブロック選択信
号BS1の降下タイミングはこの列選択信号Yiの降下
タイミングよりも遅らされてもよい。
【0077】またこれに代えて、各副読出データ線対に
は図1に示す容量分離用のトランジスタと同様の基準電
位Vrefをプリチャージ/イコライズ信号として受け
るプリチャージ/イコライズ手段が設けられていてもよ
い。
【0078】この時刻T6以降の動作は図1および図2
に示す半導体記憶装置のものと同様である。
【0079】ブロック選択信号BSkの発生のために
は、メモリセルアレイの列グループへの分割数に応じた
数の列アドレスの下位ビットが利用される。
【0080】またこの図1および図4に示す半導体記憶
装置の構成においてはデータの入出力が1ビット単位で
実行されている。このメモリセルアレイを複数プレーン
設ければ、複数ビットのデータ入出力を実行することが
できる。
【0081】図6は、この発明のさらに他の実施例であ
る半導体記憶装置の要部の構成を示す図である。この図
6に示す構成はカレントミラー型増幅器7の負荷回路8
の変更例を示す。図1および図4に示すカレントミラー
型増幅器の負荷回路8においては、一方の負荷トランジ
スタのゲートと一方導通端子とが接続されている。この
構成の場合、出力ノードNO1とノードNO2に付随す
るゲート容量が異なる。すなわち、出力ノードNO1に
は、トランジスタQ14のゲート容量が付随し、一方ノ
ードNO2においては、トランジスタQ15のゲート容
量のみならずトランジスタQ14のゲート容量も付随す
る。このためノードNO1とノードNO2のハイレベル
/ローレベルへの変化特性を同一とすることが難しくな
る。このため、図1および図4に示す構成においては読
出データは一方のノードNO1から取出されている。デ
ータを確実に読出すためには、相補内部データを発生す
るのが望ましい。図6に示す構成はこの相補内部データ
を確実に生成するための構成を与える。
【0082】図6(A)においてカレントミラー型増幅
器7の負荷回路8は、ノードNO1と電源電位Vccと
の間に並列に接続されるpチャネルMOSトランジスタ
Q1およびQ52と、ノードNO2と電源電位Vccの
間に並列に接続されるpチャネルMOSトランジスタQ
53およびQ54を含む。トランジスタQ54のゲート
はノードNO1へ接続されかつトランジスタQ54のゲ
ートへ接続される。トランジスタQ53のゲートはトラ
ンジスタQ52のゲートとノードNO2に接続される。
この場合、負荷回路は8は対称的な構造を備えており、
ノードNO1およびNO2に付随する寄生容量は同一と
なり、相補内部データを確実に生成することができる。
次にその動作について説明する。
【0083】図6(B)は図6(A)に示す負荷回路を
別の表わし方をしたものである。この図6(B)におい
ては、トランジスタQ53およびQ54の位置が入換え
られており、トランジスタQ52とトランジスタQ54
が交差結合されたフリップ・フロップ型ラッチ回路を構
成しているのがよく理解できる。トランジスタQ51お
よびQ53はそれぞれダイオードとして機能し、ノード
NO1およびNO2の電位をVcc−|Vthp|に設
定する。以下、図6(B)を参照してこの負荷回路8の
動作について説明する。
【0084】今、ビット線BLに情報“1”、すなわち
電位“H”が伝達された場合について説明する。ビット
線BLに情報“1”が読出されて列選択信号Yiがロー
レベルからハイレベルに立上がることにより、トランジ
スタQ30がオン状態となり、カレントミラー型増幅器
が活性化される。ビット線BLに情報“1”が読出され
ることにより、このビット線BLの電位をそのゲートに
受けるトランジスタQ16は、ビット線/BLの電位を
そのゲートに受けるトランジスタQ17よりも少し強く
オン状態となる(そのコンダクタンスが大きくなる)。
これにより、トランジスタQ30を介しての接地電位へ
の電位低下は、ノードNO1に比べノードNO2の方が
大きくなる。すなわち、ノードNO2の電位はノードN
O1に比べより高速で降下する。これに応答して、ノッ
チNO2の電位をそのゲートに受けるpチャネルMOS
トランジスタQ52が、ノードNO1の電位をそのゲー
トに受けるトランジスタQ54に比べ強くオン状態とな
る。このとき、ノードNO1は、ノードNO2に比べよ
り強く電源電位Vccへプルアップされる。このように
して、ノードNO1およびNO2の電位は、ノードNO
1の電位>ノードNO2の電位となる。このノードNO
1およびNO2の電位はそれぞれトランジスタQ54お
よびQ52のゲートへ与えられる。これによりノードN
O1およびNO2の電位変化に対するフィードバックが
生じ、トランジスタQ54はオフ状態、トランジスタQ
52はオン状態へ移行する。以上の動作により、ノード
NO1の電位はハイレベル、ノードNO2の電位がロー
レベルとなり、ビット線BLとビット線/BLの間の微
少電位が高速にノードNO1およびNO2において増幅
される。このノードNO1およびNO2の電位は内部読
出データとして次段へ伝達される。
【0085】トランジスタQ52におよびQ54はラッ
チ回路を構成しており、このノードNO1およびNO2
の電位をラッチしている。このとき、列選択信号Yiが
ローレベルへ立下がり、カレントミラー型増幅器の増幅
動作が終了すると、ノードNO1およびNO2の電位の
イコライズが行なわれる。この場合、トランジスタQ5
1およびQ53が設けられていなければトランジスタQ
52およびQ54のラッチ動作によりノードNO1およ
びNO2の電位は読出電位に応じた電位のままであり、
所定のプリチャージ電位へ復帰することができない。
【0086】このトランジスタQ52およびQ54によ
るラッチ動作を解消するためにダイオード接続されたト
ランジスタQ51およびQ53が設けられる。すなわ
ち、トランジスタQ51にはトランジスタQ52と反対
の動作をさせ、またトランジスタQ53にはトランジス
タQ54と反対の動作をさせる。すなわち、たとえばノ
ードNO1の電位が上昇したとき、トランジスタQ52
はオン状態、一方トランジスタQ51はオフ状態とな
る。また、トランジスタQ54がオフ状態、トランジス
タQ53がオン状態となる。これにより、このラッチ回
路の実現する増幅回路の利得を故意に低下させる。すな
わち、ノードNO1およびNO2の電位振幅をフルスィ
ング(Vcc−|Vthp|からVLの間の変化)をさ
せない。
【0087】この場合、トランジスタQ51およびトラ
ンジスタQ53の電流供給能力をトランジスタQ52お
よびQ54のそれぞれよりも小さくすることにより、こ
のカレントミラー型増幅器の増幅動作に対する悪影響は
生じることはない。また、このトランジスタQ51およ
びQ53の作用により、トランジスタQ52およびQ5
4のラッチ能力が低減されている。すなわち、トランジ
スタQ52がオフ状態となり、ノードNO1の電位が低
下した場合トランジスタQ51がオン状態となり、この
ノードNO1の電位を上昇させる。したがってノードN
O1のローレベルはトランジスタQ51の電流供給能力
と対応の放電用のトランジスタQ17およびQ30の放
電能力との関係によって定められる電位に設定される。
【0088】列選択信号Yiがハイレベルへ移行し、こ
の負荷回路8における放電経路が遮断された場合、ノー
ドNO1およびNO2はそれぞれトランジスタQ51お
よびQ53により充電される。このノードNO1および
NO2の電位変動はトランジスタQ51ないしQ54に
より補償され、ノードNO1およびNO2の電位は確実
に所定のプリチャージ電位Vcc−|Vthp|にイコ
ライズされる。
【0089】またこの図6に示す負荷回路の構成の場
合、ノードNO1およびNO2に付随する寄生容量は、
トランジスタQ1〜Q4が対称的に配置されているた
め、同一となり、ノードNO1およびNO2における電
位変化特性を同一とすることができる。これにより相補
な内部読出データを出力することが可能となる。
【0090】なお図1、図4および図6に示す構成にお
いては駆動回路は、ビット線電位をそのゲートに受ける
トランジスタがノードNOA,NOBに接続されてお
り、列選択信号を受けるトランジスタにより接地電位接
続されている。この場合列選択信号に応じて動作するト
ランジスタがノードNOAおよびNOBに接続され、こ
のトランジスタと接地電位との間にビット線電位を増幅
するトランジスタが設けられる構成が用いられてもよ
い。
【0091】また、カレントミラー型増幅回路のトラン
ジスタの導電型は反対にされてもよい。
【0092】
【発明の効果】以上のように、この発明に従えば、デー
タ線を主データ線と副データ線との分割構造とし、主デ
ータ線と副データ線との間の容量を分離する容量分離手
段を設けることにより、主データ線に付随する寄生容量
を大幅に低減することができ、半導体記憶装置における
データ読出速度を大幅に改善することが可能となる。
【0093】
【0094】
【0095】モリセルアレイを列グループに分割し、
各列グループに対して副データ線を設け、差動増幅回路
出力を対応の副データ線上に伝達し、選択列グループに
対して設けられた副データ線のみを主データ線に接続
し、この主データ線と副データ線との接続を、電気的に
接続しかつ容量分離を行なうように構成することによ
り、この主データ線に付随するゲート容量を大幅に低減
することができ、高速かつ低消費電流で動作する半導体
記憶装置を実現することができる。また、この接続手段
による容量分離により、副データ線の論理振幅を小さく
することができ、この副データ線のゲート容量の充放電
容量を低減することができ、より低消費電流とすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例である半導体記憶装置の主
要部の構成を示す図である。
【図2】図1に示す半導体記憶装置の代表的な回路動作
を示す信号波形図である。
【図3】この発明による半導体記憶装置の効果を示すた
めの動作波形図である。
【図4】この発明の他の実施例である半導体記憶装置の
主要部の構成を示す図である。
【図5】図4に示す半導体記憶装置の代表的な回路動作
を示す信号波形図である。
【図6】この発明のさらに他の実施例である半導体記憶
装置の主要部の構成を示す図であり、カレントミラー型
増幅器の負荷回路の変更例を示す図である。
【図7】従来の半導体記憶装置の主要部の構成を示す図
である。
【図8】図7に示す半導体記憶装置の代表的な回路動作
を示す信号波形図である。
【符号の説明】
1 メモリセル 2 N型センスアンプ 3 P型センスアンプ 6 プリチャージ/イコライズ回路 7 カレントミラー型増幅器(読出用増幅手段) 8 カレントミラー型増幅器の負荷回路 9 カレントミラー型増幅器の駆動回路 Q20 読出専用データ線を第1の部分と第2の部分に
分割するためのトランジスタ Q21 読出専用データ線を第1の部分と第2の部分に
分離するためのトランジスタ 30−1〜30−n 接続回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−116083(JP,A) 特開 平2−101697(JP,A) 特開 平2−244491(JP,A) 特開 昭60−132416(JP,A) 特開 平1−185896(JP,A) 特開 平3−283191(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11C 11/407

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行および列からなるマトリクス状に配列
    される複数のメモリセルを含み、かつ各々が複数の列を
    有する複数のグループに分割されるメモリセルアレイ
    と、 前記メモリセルアレイの各列に対応して設けられ、各々
    に対応の列のメモリセルが接続される複数のビット線対
    と、 前記メモリセルアレイの各前記グループに対して設けら
    れ、データ読出時に、選択されたメモリセルのデータが
    伝達する複数の副データ線と、 前記複数の副データ線に共通に設けられる主データ線
    と、 グループ選択信号に応答して、選択された列グループに
    対応して設けられた副データ線を前記主データ線へ接続
    する接続手段とを備え、前記接続手段は、該接続時前記
    主データ線と前記選択された列グループに対応して設け
    られた副データ線とを容量的に分離する容量分離手段を
    含み、さらにデータ読出時に、列選択信号に応答して活
    性化され、この列選択信号が指定する列に対応して設け
    られたビット線対の電位を差動的に増幅して対応の副デ
    ータ線へ伝達する増幅手段を備える、半導体記憶装置。
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