JP2917312B2 - 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材 - Google Patents
切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材Info
- Publication number
- JP2917312B2 JP2917312B2 JP25449389A JP25449389A JP2917312B2 JP 2917312 B2 JP2917312 B2 JP 2917312B2 JP 25449389 A JP25449389 A JP 25449389A JP 25449389 A JP25449389 A JP 25449389A JP 2917312 B2 JP2917312 B2 JP 2917312B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- coating layer
- wear
- carbide
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 45
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910000883 Ti6Al4V Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、切削工具又は耐摩工具の表面に被覆層を設
け、耐摩耗性を改善向上させた切削・耐摩工具用表面被
覆超硬部材に関する。
け、耐摩耗性を改善向上させた切削・耐摩工具用表面被
覆超硬部材に関する。
従来、切削工具や耐摩工具の材質は、炭化タングステ
ン（WC）基等の超硬合金、炭化チタン（TiC）系等の各
種サーメツト、高速度工具鋼等の鋼や硬質合金、炭化珪
素や窒化珪素等のセラミツクスが主であつた。
ン（WC）基等の超硬合金、炭化チタン（TiC）系等の各
種サーメツト、高速度工具鋼等の鋼や硬質合金、炭化珪
素や窒化珪素等のセラミツクスが主であつた。
又、切削工具や耐摩工具の耐摩耗性を改善向上させる
ために、その全表面又は切刃部分の表面上に、物理気相
蒸着法（PVD法）や化学気相蒸着法（CVD法）により、チ
タン（Ti）、ハフニウム（Hf）、ジルコニウム（Zr）の
炭化物、窒化物又は炭窒化物、若しくはアルミニウム
（Al）の炭化物等を単層又は複層に形成した表面被覆硬
質部材が開発され、最近では広く実用に供されている。
特に、PVD法で形成した被覆層を有する切削工具や耐摩
工具は、母材強度の劣化なしに耐摩耗性を向上出来るた
めドリル、エンドミル、フライス切削用スローアウエイ
チツプ等の強度を要求される切削用途に適している。
ために、その全表面又は切刃部分の表面上に、物理気相
蒸着法（PVD法）や化学気相蒸着法（CVD法）により、チ
タン（Ti）、ハフニウム（Hf）、ジルコニウム（Zr）の
炭化物、窒化物又は炭窒化物、若しくはアルミニウム
（Al）の炭化物等を単層又は複層に形成した表面被覆硬
質部材が開発され、最近では広く実用に供されている。
特に、PVD法で形成した被覆層を有する切削工具や耐摩
工具は、母材強度の劣化なしに耐摩耗性を向上出来るた
めドリル、エンドミル、フライス切削用スローアウエイ
チツプ等の強度を要求される切削用途に適している。
しかし、PVD法が母材強度の劣化なしに被覆層を形成
できる点でCVD法より優れているとは云え、PVD法では母
材上にAlの酸化物を安定して被覆することが困難である
ためAl酸化物の被覆層は実用化に至つておらず、現状の
PVD法で形成できるTi、Hf、Zrの炭化物、窒化物、炭窒
化物等の被覆層では特に高速切削での耐摩耗性が不足す
るため早期に寿命に至るものが多かつた。
できる点でCVD法より優れているとは云え、PVD法では母
材上にAlの酸化物を安定して被覆することが困難である
ためAl酸化物の被覆層は実用化に至つておらず、現状の
PVD法で形成できるTi、Hf、Zrの炭化物、窒化物、炭窒
化物等の被覆層では特に高速切削での耐摩耗性が不足す
るため早期に寿命に至るものが多かつた。
本発明はかかる従来の事情に鑑み、切削工具や耐摩工
具の母材強度を維持し、同時に耐摩耗性に優れた被覆層
により、特に高速切削において従来よりも耐摩耗性が改
善された切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材を提供する
ことを目的とする。
具の母材強度を維持し、同時に耐摩耗性に優れた被覆層
により、特に高速切削において従来よりも耐摩耗性が改
善された切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材を提供する
ことを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の切削・耐摩工具用
表面被覆超硬部材においては、切削工具又は耐摩工具か
らなる母材と、母材の表面に直接形成したTiNからなる
第１被覆層と、第１被覆層上に形成したTiとAlとＶの炭
化物又は炭窒化物からなる第２被覆層と、第２被覆層上
にTiNからなる第３被覆層を設けたことを特徴とする。
表面被覆超硬部材においては、切削工具又は耐摩工具か
らなる母材と、母材の表面に直接形成したTiNからなる
第１被覆層と、第１被覆層上に形成したTiとAlとＶの炭
化物又は炭窒化物からなる第２被覆層と、第２被覆層上
にTiNからなる第３被覆層を設けたことを特徴とする。
尚、これら第１〜３被覆層は切削工具又は耐摩工具の
全表面に設けても良いし、切刃部分の表面のみに設けて
も良い。又、被覆層の形成方法は従来公知の方法を利用
出来るが、スパツタリング法、イオンプレーテイング法
等のPVD法が母材強度を容易に維持できる点で好まし
い。
全表面に設けても良いし、切刃部分の表面のみに設けて
も良い。又、被覆層の形成方法は従来公知の方法を利用
出来るが、スパツタリング法、イオンプレーテイング法
等のPVD法が母材強度を容易に維持できる点で好まし
い。
本発明において、第１被覆層として母材表面上に直接
形成されるTiNは第２被覆層であるTiとAlとＶの炭化物
等よりも母材との密着強度に優れている。そして第１被
覆層上に第２被覆層として形成されるTiとAlとＶの炭化
物又は炭窒化物はTiNよりも硬度が若干低いが、耐摩耗
性と耐溶着性がTiNよりも遥かに優れている。従つて、
かかる第１被覆層と第２被覆層を有する本発明の表面被
覆超硬部材は、切削工具又は耐摩工具として使用する
と、低速切削は勿論高速切削においても耐摩耗性、耐溶
着性、耐欠損性に優れ、長期に亘つて優れた切削性能を
示す。
形成されるTiNは第２被覆層であるTiとAlとＶの炭化物
等よりも母材との密着強度に優れている。そして第１被
覆層上に第２被覆層として形成されるTiとAlとＶの炭化
物又は炭窒化物はTiNよりも硬度が若干低いが、耐摩耗
性と耐溶着性がTiNよりも遥かに優れている。従つて、
かかる第１被覆層と第２被覆層を有する本発明の表面被
覆超硬部材は、切削工具又は耐摩工具として使用する
と、低速切削は勿論高速切削においても耐摩耗性、耐溶
着性、耐欠損性に優れ、長期に亘つて優れた切削性能を
示す。
第２被覆層を構成するTiとAlとＶの炭化物又は炭窒化
物におけるAlとＶの組成は、重量％で１≦Al≦20 １≦
Ｖ≦20 ５≦Al＋Ｖ≦40の条件を満たすことが好まし
い。その理由は、Alが1wt％未満では上記した第２被覆
層の効果が認められず、20wt％を越えると第２被覆層の
高温強度が低下し、Ｖが1wt％未満ではやはり第２被覆
層の効果が認められず、20wt％を超えると第２被覆層が
硬化し、刃先の靭性が低下し、又AlとＶの合計が5wt％
未満ではAlとＶの添加による効果が認められず、40wt％
を超えると母材との密着強度に低下が見られるためであ
る。
物におけるAlとＶの組成は、重量％で１≦Al≦20 １≦
Ｖ≦20 ５≦Al＋Ｖ≦40の条件を満たすことが好まし
い。その理由は、Alが1wt％未満では上記した第２被覆
層の効果が認められず、20wt％を越えると第２被覆層の
高温強度が低下し、Ｖが1wt％未満ではやはり第２被覆
層の効果が認められず、20wt％を超えると第２被覆層が
硬化し、刃先の靭性が低下し、又AlとＶの合計が5wt％
未満ではAlとＶの添加による効果が認められず、40wt％
を超えると母材との密着強度に低下が見られるためであ
る。
更に、第３被覆層としてTiNを第２被覆層上に設ける
ことにより、TiNが第２被覆層のTiとAlとＶの炭化物等
よりも硬度が高いため、初期耐摩耗性を向上させること
ができ、又特にドリル、エンドミル等の低速切削におけ
る耐摩耗性を改善できる。
ことにより、TiNが第２被覆層のTiとAlとＶの炭化物等
よりも硬度が高いため、初期耐摩耗性を向上させること
ができ、又特にドリル、エンドミル等の低速切削におけ
る耐摩耗性を改善できる。
尚、各被覆層の層厚に関して、第１被覆層TiNの層厚
は0.1μｍ未満ではTiNと母材との密着強度が向上せず、
2.0μｍを超えると耐摩耗性が低下してくるので、0.1〜
2.0μｍが好ましい。第２被覆層の層厚は1.0μｍ未満で
は耐摩耗性が不足し、5.0μｍを超えると層中の残留応
力が大きくなつて密着強度が低下するので、1.0〜5.0μ
ｍの範囲が好ましい。更に第３被覆層TiNの層厚は0.5μ
ｍ未満ではその効果が認められず、2.0μｍを超えると
第２被覆層の効果が減少するので、0.5〜2.0μｍが好ま
しい。
は0.1μｍ未満ではTiNと母材との密着強度が向上せず、
2.0μｍを超えると耐摩耗性が低下してくるので、0.1〜
2.0μｍが好ましい。第２被覆層の層厚は1.0μｍ未満で
は耐摩耗性が不足し、5.0μｍを超えると層中の残留応
力が大きくなつて密着強度が低下するので、1.0〜5.0μ
ｍの範囲が好ましい。更に第３被覆層TiNの層厚は0.5μ
ｍ未満ではその効果が認められず、2.0μｍを超えると
第２被覆層の効果が減少するので、0.5〜2.0μｍが好ま
しい。
母材として、組成がJIS規格P30（具体的にはWC−20wt
％TiC−10wt％Co）、形状が同SNG432の超硬合金製切削
チツプを用意し、その表面に下記の如く真空アーク放電
を用いたイオンプレーテイング法により、下記第２表に
示す被覆層を形成して本発明例の被覆切削チツプ試料と
した。
％TiC−10wt％Co）、形状が同SNG432の超硬合金製切削
チツプを用意し、その表面に下記の如く真空アーク放電
を用いたイオンプレーテイング法により、下記第２表に
示す被覆層を形成して本発明例の被覆切削チツプ試料と
した。
即ち、成膜装置内に上記切削チツプと、ターゲツトと
してTiと、Ti−6wt％Al−4wt％Ｖ（以下Ti6Al4Vと略
記）を装着した。この状態で、成膜装置内を真空度１×
10-2torrのArガス雰囲気に保持し、切削チツプに−2000
Vの電圧をかけて洗浄を行ない、500℃まで加熱した後、
Arガスを排気した。次に、成膜装置内にN2ガスを300cc/
minの割合で導入しながら、真空アーク放電によりTiタ
ーゲツトを蒸発、イオン化させて、切削チツプ表面に第
１被覆層としてTiNを被覆した。その後、Tiターゲツト
の蒸発を停止させ、N2ガスとCH4ガスの片方又は両方を3
00cc/minの割合で導入しながら、Ti6Al4Vターゲツトを
蒸発、イオン化させながら第１被覆層上に第２被覆層と
してTi6Al4Vの炭化物等を形成した。その後Ti6Al4Vター
ゲツトの蒸発を停止させ、更に幾つかの試料には上記と
同様にTiターゲツトを蒸発、イオン化させて第２被覆層
上に第３被覆層としてTiNを形成した。
してTiと、Ti−6wt％Al−4wt％Ｖ（以下Ti6Al4Vと略
記）を装着した。この状態で、成膜装置内を真空度１×
10-2torrのArガス雰囲気に保持し、切削チツプに−2000
Vの電圧をかけて洗浄を行ない、500℃まで加熱した後、
Arガスを排気した。次に、成膜装置内にN2ガスを300cc/
minの割合で導入しながら、真空アーク放電によりTiタ
ーゲツトを蒸発、イオン化させて、切削チツプ表面に第
１被覆層としてTiNを被覆した。その後、Tiターゲツト
の蒸発を停止させ、N2ガスとCH4ガスの片方又は両方を3
00cc/minの割合で導入しながら、Ti6Al4Vターゲツトを
蒸発、イオン化させながら第１被覆層上に第２被覆層と
してTi6Al4Vの炭化物等を形成した。その後Ti6Al4Vター
ゲツトの蒸発を停止させ、更に幾つかの試料には上記と
同様にTiターゲツトを蒸発、イオン化させて第２被覆層
上に第３被覆層としてTiNを形成した。
又、比較のために上記と同一の成膜装置を使用して真
空アーク放電を用いたイオンプレーテイング法により、
同じ組成と形状の切削チツプの表面上にTiC、TiN、TiCN
を組合せてなる被覆層を形成することにより、下記第２
表に示す従来例の被覆切削チツプ試料を製造した。尚、
通常のCVD法により、同じ組成と形状の切削チツプの表
面上に下記第２表に示すTiC、Al2O3等の被覆層を形成し
た被覆切削チツプ試料も用意した。
空アーク放電を用いたイオンプレーテイング法により、
同じ組成と形状の切削チツプの表面上にTiC、TiN、TiCN
を組合せてなる被覆層を形成することにより、下記第２
表に示す従来例の被覆切削チツプ試料を製造した。尚、
通常のCVD法により、同じ組成と形状の切削チツプの表
面上に下記第２表に示すTiC、Al2O3等の被覆層を形成し
た被覆切削チツプ試料も用意した。
得られた被覆層を有する各被覆切削チツプ試料につい
て、下記第１表の条件による連続切削試験と断続切削試
験を行なつて切刃の逃げ面摩耗幅を測定し、結果を第２
表に併せて表示した。
て、下記第１表の条件による連続切削試験と断続切削試
験を行なつて切刃の逃げ面摩耗幅を測定し、結果を第２
表に併せて表示した。
上記の結果から、本発明例の被覆切削チツプ試料は、
連続切削及び断続切削の両方において、優れた耐摩耗性
と耐欠損性を兼ね備え、従来例のものよりも優れた切削
性能を示すことが判る。
連続切削及び断続切削の両方において、優れた耐摩耗性
と耐欠損性を兼ね備え、従来例のものよりも優れた切削
性能を示すことが判る。
〔発明の効果〕 本発明によれば、低速切削は勿論高速切削においても
優れた耐摩耗性と耐欠損性を兼ね備え、長期に亘つて優
れた切削性能を持続しうる切削・耐摩工具用表面被覆超
硬部材を提供することが出来る。
優れた耐摩耗性と耐欠損性を兼ね備え、長期に亘つて優
れた切削性能を持続しうる切削・耐摩工具用表面被覆超
硬部材を提供することが出来る。
フロントページの続き (72)発明者 飛岡 正明 兵庫県伊丹市昆陽北１丁目１番１号 住 友電気工業株式会社伊丹製作所内 (56)参考文献 特開 平２−138458（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−170559（ＪＰ，Ａ) Ｏ．Ｋｎｏｔｅｋ ｅｔ．ａｌ，”Ｏ ｎ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄ ｐｒ ｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｓｐｕｔｔｅ ｒｅｄ Ｔｉ ａｎｄ Ａｌ ｂａｓｅ ｄ ｈａｒｄ ｃｏｍｐｏｕｎｄ ｆｉ ｌｍｓ”，Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｖａ ｃｃｕｍ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｔｅｃｈｎ ｏｌｏｇｙ Ａ，（1986）Ｖｏｌ．４, Ｎｏ．６，ｐ．2695−2700 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58
Claims (2)
- 【請求項１】切削工具又は耐摩工具からなる母材と、母
材の表面に直接形成したTiNからなる第１被覆層と、第
１被覆層上に形成したTiとAlとＶの炭化物又は炭窒化物
からなる第２被覆層と、第２被覆層上に形成したTiNか
らなる第３被覆層とを備えた切削・耐摩工具用表面被覆
超硬部材。 - 【請求項２】TiとAlとＶの炭化物又は炭窒化物からなる
第２被覆層におけるAlとＶの組成が、１≦Al≦20 １≦
Ｖ≦20 ５≦Al＋Ｖ≦40（何れも重量％）であることを
特徴とする、請求項（１）の切削・耐摩工具用表面被覆
超硬部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25449389A JP2917312B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25449389A JP2917312B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120354A JPH03120354A (ja) | 1991-05-22 |
| JP2917312B2 true JP2917312B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=17265823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25449389A Expired - Lifetime JP2917312B2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2917312B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5981049A (en) * | 1996-12-04 | 1999-11-09 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coated tool and method of manufacturing the same |
| JP4528373B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2010-08-18 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 被覆工具およびその製造方法 |
| US6296928B1 (en) | 1998-10-27 | 2001-10-02 | Mmc Kobelco Tool Co., Ltd. | Hard coating coated member having excellent wear resistance |
| US7211138B2 (en) | 2003-02-07 | 2007-05-01 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Hard film, method of forming the same and target for hard film formation |
| JP5060714B2 (ja) | 2004-09-30 | 2012-10-31 | 株式会社神戸製鋼所 | 耐摩耗性および耐酸化性に優れた硬質皮膜、並びに該硬質皮膜形成用ターゲット |
| JP2010116214A (ja) | 2008-10-16 | 2010-05-27 | Ricoh Co Ltd | シート搬送装置、ベルト駆動装置、画像読取装置及び画像形成装置 |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP25449389A patent/JP2917312B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Ｏ．Ｋｎｏｔｅｋ ｅｔ．ａｌ，"Ｏｎ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｓｐｕｔｔｅｒｅｄ Ｔｉ ａｎｄ Ａｌ ｂａｓｅｄ ｈａｒｄ ｃｏｍｐｏｕｎｄ ｆｉｌｍｓ"，Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｖａｃｃｕｍ Ｓｃｉｅｎｃｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ａ，（１９８６）Ｖｏｌ．４，Ｎｏ．６，ｐ．２６９５−２７００ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03120354A (ja) | 1991-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3248897B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| JP2793773B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材 | |
| JP2000326108A (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| JP4651899B2 (ja) | 超硬合金又はサーメットから成る耐摩耗性部品 | |
| JP3460288B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 | |
| EP0446375B1 (en) | Surface-coated hard member for cutting and abrasion-resistant tools | |
| WO1991005075A1 (fr) | Element dur revêtu en surface pour outils de coupe et pour outils resistant a l'abrasion | |
| JP2917312B2 (ja) | 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材 | |
| JP2840541B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材 | |
| JP3341328B2 (ja) | 表面被覆硬質部材 | |
| JP2926883B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆硬質部材 | |
| JP2867605B2 (ja) | 切削工具・耐摩工具用表面被覆硬質部材 | |
| JP2926882B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆硬質部材 | |
| JP3360565B2 (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JP2861113B2 (ja) | 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材 | |
| JP3358696B2 (ja) | 高強度被覆体 | |
| JP2913763B2 (ja) | 切削工具・耐摩工具用表面被覆硬質部材 | |
| JP2001322003A (ja) | 物理蒸着硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| JP2890671B2 (ja) | 切削工具・耐摩工具用表面被覆硬質部材 | |
| JPH03120352A (ja) | 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材 | |
| JP2697185B2 (ja) | 表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具部材 | |
| JP3397058B2 (ja) | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JP2000326106A (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
| JP3985413B2 (ja) | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JP2867604B2 (ja) | 切削工具・耐摩工具用表面被覆硬質部材 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090423 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090423 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100423 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100423 |