JP2897742B2 - 光送受信モジュール - Google Patents
光送受信モジュールInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は双方向光通信システ
ムを構成する光送受信モジュールにおいて、安定かつ簡
便な光送受信モジュールに関する。
ムを構成する光送受信モジュールにおいて、安定かつ簡
便な光送受信モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、双方向の通信システムに対する必
要性が高まり、家庭までこのシステムを導入することが
望まれ、情報量、高速性から光によるシステムの検討が
行われている。光を用いた双方向通信のデバイスとして
光の送信器と受信器が必要になるが、これらを個別に構
成していたのでは光送受信装置が大型化し、システム普
及の妨げになる。さらに送信、受信装置の情報を伝送す
る光ファイバもこれらと個別に構成していたのでは不経
済であり、１本の光ファイバで双方向通信を行うことが
望ましい。従って１本の光ファイバで、かつ光送信器、
受信器を集積化したデバイスが望まれる。また波長の異
なる光を１本の光ファイバに多重し、この光を分波し取
り出すことにより、双方向通信用信号とは別にこの波長
の異なる光に映像信号等の別の機能を持った信号をのせ
ることができる。
要性が高まり、家庭までこのシステムを導入することが
望まれ、情報量、高速性から光によるシステムの検討が
行われている。光を用いた双方向通信のデバイスとして
光の送信器と受信器が必要になるが、これらを個別に構
成していたのでは光送受信装置が大型化し、システム普
及の妨げになる。さらに送信、受信装置の情報を伝送す
る光ファイバもこれらと個別に構成していたのでは不経
済であり、１本の光ファイバで双方向通信を行うことが
望ましい。従って１本の光ファイバで、かつ光送信器、
受信器を集積化したデバイスが望まれる。また波長の異
なる光を１本の光ファイバに多重し、この光を分波し取
り出すことにより、双方向通信用信号とは別にこの波長
の異なる光に映像信号等の別の機能を持った信号をのせ
ることができる。
【０００３】この様な背景から、小型化、高集積化、低
コスト化を目指す構造として光導波路を用いた光送受信
モジュールの検討が行われている。図９にこの構造を用
いた光送受信モジュールの平面図を示す。図９の光送受
信モジュールでは基板１上に光導波路２が形成され、こ
の光導波路２には光分岐部３が構成されている。一般に
この光分岐部３は低損失かつ構造が単純なＹ分岐を用い
て構成される。また光分岐部３の分岐前の導波路２に光
ファイバ４が光学結合され、分岐後の２本の導波路にそ
れぞれ信号光を送信するための光送信器５及び信号光を
受信するための光受信器６が光学結合されている。
コスト化を目指す構造として光導波路を用いた光送受信
モジュールの検討が行われている。図９にこの構造を用
いた光送受信モジュールの平面図を示す。図９の光送受
信モジュールでは基板１上に光導波路２が形成され、こ
の光導波路２には光分岐部３が構成されている。一般に
この光分岐部３は低損失かつ構造が単純なＹ分岐を用い
て構成される。また光分岐部３の分岐前の導波路２に光
ファイバ４が光学結合され、分岐後の２本の導波路にそ
れぞれ信号光を送信するための光送信器５及び信号光を
受信するための光受信器６が光学結合されている。
【０００４】図１０は図９の光送受信モジュールに合分
波機能を付加した構造を有する光送受信モジュールの平
面図である。図１０の光送受信モジュールでは図９の構
造にさらに光導波路２を用いて光合分波器８が付加され
ている。この光合分波器８は、一般に方向性結合器や、
マッハツエンダー光干渉計型等の導波路型や、あるいは
導波路中に溝を形成しその中に誘電体多層膜フィルタ等
を挿入する等の方法により構成される。この光合分波器
８により分波された一方の光は光ファイバ９と光学的に
結合し外部に出力され、映像信号モニタ等、様々な用途
に用いられる。
波機能を付加した構造を有する光送受信モジュールの平
面図である。図１０の光送受信モジュールでは図９の構
造にさらに光導波路２を用いて光合分波器８が付加され
ている。この光合分波器８は、一般に方向性結合器や、
マッハツエンダー光干渉計型等の導波路型や、あるいは
導波路中に溝を形成しその中に誘電体多層膜フィルタ等
を挿入する等の方法により構成される。この光合分波器
８により分波された一方の光は光ファイバ９と光学的に
結合し外部に出力され、映像信号モニタ等、様々な用途
に用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、双方向
通信を行なうシステムに用いる光送受信モジュールには
小型化、高集積化、低コスト化を目指す構造として光導
波路を用いたものが有望である。しかしながらこの双方
向光通信システムを普及させるためには光送受信モジュ
ールは各家庭に必要であり、そのためには今以上の量産
化、低コスト化が必須である。現状の光導波路を用いた
光送受信モジュールでは図９、図１０に示したように光
導波路を用いることにより光分岐、光合分波といった機
能を１つの基板上で集積化できるが、光送受信モジュー
ルの組み立てに関しては非常に複雑である。すなわち、
光導波路と光ファイバの光学的結合、光導波路と光送信
器の光学的結合、光導波路と光受信器の光学的結合等は
それぞれ個別に精密な位置合わせを行う必要があるた
め、多大な時間と労力を要するため小型化、高集積化、
低コスト化のネックとなっている。
通信を行なうシステムに用いる光送受信モジュールには
小型化、高集積化、低コスト化を目指す構造として光導
波路を用いたものが有望である。しかしながらこの双方
向光通信システムを普及させるためには光送受信モジュ
ールは各家庭に必要であり、そのためには今以上の量産
化、低コスト化が必須である。現状の光導波路を用いた
光送受信モジュールでは図９、図１０に示したように光
導波路を用いることにより光分岐、光合分波といった機
能を１つの基板上で集積化できるが、光送受信モジュー
ルの組み立てに関しては非常に複雑である。すなわち、
光導波路と光ファイバの光学的結合、光導波路と光送信
器の光学的結合、光導波路と光受信器の光学的結合等は
それぞれ個別に精密な位置合わせを行う必要があるた
め、多大な時間と労力を要するため小型化、高集積化、
低コスト化のネックとなっている。
【０００６】従来においてもこれらの個々の光学的結合
を簡便に行なう方式として様々なものが提案、実行さ
れ、例えば、光ファイバと光導波路の光学的結合に関し
ては、本発明者らが光導波路基板上に基板の異方性エッ
チングを利用し精密なファイバガイドを形成し、光ファ
イバをこのガイドにあわせて設置することで無調整で光
学的結合を行なう方法を先に提案している（特開平０７
−０３５９４８号公報）。
を簡便に行なう方式として様々なものが提案、実行さ
れ、例えば、光ファイバと光導波路の光学的結合に関し
ては、本発明者らが光導波路基板上に基板の異方性エッ
チングを利用し精密なファイバガイドを形成し、光ファ
イバをこのガイドにあわせて設置することで無調整で光
学的結合を行なう方法を先に提案している（特開平０７
−０３５９４８号公報）。
【０００７】また光送信器と光導波路の光学的結合、及
び光受信器と光導波路の光学的結合に関しては、ＮＴ
Ｔ、山田等の文献（１９９６年電子情報通信学会総合大
会予稿集ＳＣ−２−５）にあるように、光送信器として
モードフィールド径を光導波路のそれに近づけ、結合効
率及び位置精度の許容誤差を高めたスポットサイズ変換
レーザーダイオード（ＳＳＣ−ＬＤ）や、導波路型の光
受信器（ＷＧ−ＰＤ）を用い導波路が形成された基板上
に直接これらのチップを実装することにより光学的結合
を行う方法がある。
び光受信器と光導波路の光学的結合に関しては、ＮＴ
Ｔ、山田等の文献（１９９６年電子情報通信学会総合大
会予稿集ＳＣ−２−５）にあるように、光送信器として
モードフィールド径を光導波路のそれに近づけ、結合効
率及び位置精度の許容誤差を高めたスポットサイズ変換
レーザーダイオード（ＳＳＣ−ＬＤ）や、導波路型の光
受信器（ＷＧ−ＰＤ）を用い導波路が形成された基板上
に直接これらのチップを実装することにより光学的結合
を行う方法がある。
【０００８】以上のような方法を用いることで個々の光
学的結合は簡単になるが、１つのモジュールについて１
つ１つの光学的結合を別々の工程で行なう必要があるた
め、１つのモジュールの組み立てには時間を要する。本
発明の目的は、従来の光送受信モジュールに比べて、組
み立てが簡単な光送受信モジュールを提供することにあ
る。
学的結合は簡単になるが、１つのモジュールについて１
つ１つの光学的結合を別々の工程で行なう必要があるた
め、１つのモジュールの組み立てには時間を要する。本
発明の目的は、従来の光送受信モジュールに比べて、組
み立てが簡単な光送受信モジュールを提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する手
段として、本発明の光送受モジュールは、第１の基板上
に光分岐部を形成する光導波路を有する光分岐ユニット
と、第２の基板上に光送信器及び光受信器と前記光送信
器及び光受信器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバ
が配置された光送受信ユニットとから構成され、分岐後
の光導波路が前記光ファイバと光学的に結合しているこ
とを特徴とする。
段として、本発明の光送受モジュールは、第１の基板上
に光分岐部を形成する光導波路を有する光分岐ユニット
と、第２の基板上に光送信器及び光受信器と前記光送信
器及び光受信器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバ
が配置された光送受信ユニットとから構成され、分岐後
の光導波路が前記光ファイバと光学的に結合しているこ
とを特徴とする。
【００１０】また第１の基板上に光分岐部及び光合分波
部を形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第２
の基板上に光送信器及び光受信器と前記光送信器及び光
受信器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置さ
れた光送受信ユニットとから構成され、分岐後の光導波
路が前記光ファイバと光学的に結合し、光合分波部によ
り分波された光導波路が前記第２基板上に配置された第
２の光ファイバと光学的に結合していることを特徴とす
る。
部を形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第２
の基板上に光送信器及び光受信器と前記光送信器及び光
受信器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置さ
れた光送受信ユニットとから構成され、分岐後の光導波
路が前記光ファイバと光学的に結合し、光合分波部によ
り分波された光導波路が前記第２基板上に配置された第
２の光ファイバと光学的に結合していることを特徴とす
る。
【００１１】さらに第１の基板上に光分岐部及び光合分
波部を形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第
２の基板上に光送信器及び第１、第２の光受信器と前記
光送信器及び第１の光受信器にそれぞれ光学的に結合す
る光ファイバと前記第２の光受信器と光学的に結合する
第２の光ファイバが配置された光送受信ユニットとから
構成され、前記分岐後の光導波路が前記光送信器及び第
１の光受信器と光ファイバにより光学的に結合し、前記
分波後の光導波路が前記第２の光ファイバと光学的に結
合していることを特徴とする。
波部を形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第
２の基板上に光送信器及び第１、第２の光受信器と前記
光送信器及び第１の光受信器にそれぞれ光学的に結合す
る光ファイバと前記第２の光受信器と光学的に結合する
第２の光ファイバが配置された光送受信ユニットとから
構成され、前記分岐後の光導波路が前記光送信器及び第
１の光受信器と光ファイバにより光学的に結合し、前記
分波後の光導波路が前記第２の光ファイバと光学的に結
合していることを特徴とする。
【００１２】また第１の基板上に光分岐部を形成する光
導波路にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置さ
れた光分岐ユニットと、第２の基板上の光送信器及び光
受信器有する光送受信ユニットとから構成され、前記光
送受信ユニットの光送信器及び光受信器が前記光ファイ
バと光学的に結合していることを特徴とする。
導波路にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置さ
れた光分岐ユニットと、第２の基板上の光送信器及び光
受信器有する光送受信ユニットとから構成され、前記光
送受信ユニットの光送信器及び光受信器が前記光ファイ
バと光学的に結合していることを特徴とする。
【００１３】さらに前記１又は第２の基板上には光ファ
イバを位置決めするためのファイバガイドが設けられて
いることを特徴とする。
イバを位置決めするためのファイバガイドが設けられて
いることを特徴とする。
【００１４】また第１の基板上に光分岐部を形成する光
導波路と前記光導波路が光ファイバと光学的に結合する
ように基板上に形成されたファイバガイドを有する光分
岐ユニットと、第２の基板上に配置された光送信器及び
光受信器と前記光送信器及び光受信器がそれぞれ光ファ
イバと光学的に結合するように形成されたファイバガイ
ドを有する光送受信ユニットとから構成され、前記光送
受信ユニットの光送信器及び光受信器と前記光分岐ユニ
ットの分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に
結合していることを特徴とする。
導波路と前記光導波路が光ファイバと光学的に結合する
ように基板上に形成されたファイバガイドを有する光分
岐ユニットと、第２の基板上に配置された光送信器及び
光受信器と前記光送信器及び光受信器がそれぞれ光ファ
イバと光学的に結合するように形成されたファイバガイ
ドを有する光送受信ユニットとから構成され、前記光送
受信ユニットの光送信器及び光受信器と前記光分岐ユニ
ットの分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に
結合していることを特徴とする。
【００１５】さらに第１の基板上に光分岐部及び光合分
波部を形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと
光学的に結合するように基板上に形成されたファイバガ
イドを有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置さ
れた光送信器及び光受信器と前記前記光送信器及び光受
信器がそれぞれ光ファイバと光学的に結合するように形
成されたファイバガイドを有する光送受信ユニットから
構成され、前記光送受信ユニットの光送信器及び光受信
器と前記光分岐ユニットの分岐後の光導波路とが光ファ
イバにより光学的に結合し、光合分波部により分波され
た光導波路は前記第２基板上に形成されたファイバガイ
ドに配置された第２の光ファイバと光学的に結合してい
ることを特徴とする。
波部を形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと
光学的に結合するように基板上に形成されたファイバガ
イドを有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置さ
れた光送信器及び光受信器と前記前記光送信器及び光受
信器がそれぞれ光ファイバと光学的に結合するように形
成されたファイバガイドを有する光送受信ユニットから
構成され、前記光送受信ユニットの光送信器及び光受信
器と前記光分岐ユニットの分岐後の光導波路とが光ファ
イバにより光学的に結合し、光合分波部により分波され
た光導波路は前記第２基板上に形成されたファイバガイ
ドに配置された第２の光ファイバと光学的に結合してい
ることを特徴とする。
【００１６】また第１の基板上に光分岐部及び光合分波
部を形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと光
学的に結合するように基板上に形成されたファイバガイ
ドを有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置され
た光送信器及び第１、第２の光受信器と前記前記光送信
器及び第１、第２の光受信器がそれぞれ光ファイバと光
学的に結合するように形成されたファイバガイドを有す
る光送受信ユニットから構成され、前記光送受信ユニッ
トの光送信器及び第１の光受信器と前記光分岐ユニット
の分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に結合
し、分波後の光導波路と前記第２の光受信器とが第２の
光ファイバにより光学的に結合していることを特徴とす
る。
部を形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと光
学的に結合するように基板上に形成されたファイバガイ
ドを有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置され
た光送信器及び第１、第２の光受信器と前記前記光送信
器及び第１、第２の光受信器がそれぞれ光ファイバと光
学的に結合するように形成されたファイバガイドを有す
る光送受信ユニットから構成され、前記光送受信ユニッ
トの光送信器及び第１の光受信器と前記光分岐ユニット
の分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に結合
し、分波後の光導波路と前記第２の光受信器とが第２の
光ファイバにより光学的に結合していることを特徴とす
る。
【００１７】さらに前記ファイバガイドは基板の異方性
エッチングにより形成されたものであることを特徴とす
る。
エッチングにより形成されたものであることを特徴とす
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の光送受信モジュールは、
導波路基板上に分岐部が形成された光導波路有する光分
岐ユニットと、該導波路基板と異なる基板上に光送信器
及び光受信器、を有した光送受信ユニットから構成さ
れ、光送受信ユニットの光送信器及び光受信器と光分岐
ユニットの光導波路との光学的な結合が光ファイバを介
して行う。
導波路基板上に分岐部が形成された光導波路有する光分
岐ユニットと、該導波路基板と異なる基板上に光送信器
及び光受信器、を有した光送受信ユニットから構成さ
れ、光送受信ユニットの光送信器及び光受信器と光分岐
ユニットの光導波路との光学的な結合が光ファイバを介
して行う。
【００１９】本発明の光送受信モジュールは光分岐ユニ
ットと、光送受信ユニットとを異なる基板上に形成し、
それぞれの光学的な結合を光ファイバを介して行う構成
であるので、各ユニットをそれぞれを別のラインで製造
できる。またこれにより多種多様な光送受信モジュール
を光送受信ユニットあるいは光分岐ユニットの組み合わ
せを変えるだけで簡単に提供できるというメリットがあ
る。
ットと、光送受信ユニットとを異なる基板上に形成し、
それぞれの光学的な結合を光ファイバを介して行う構成
であるので、各ユニットをそれぞれを別のラインで製造
できる。またこれにより多種多様な光送受信モジュール
を光送受信ユニットあるいは光分岐ユニットの組み合わ
せを変えるだけで簡単に提供できるというメリットがあ
る。
【００２０】光送受信ユニットと光分岐ユニットにおけ
る光学的結合は、例えば光送受信ユニットにおいて光フ
ァイバと光送信器及び光受信器を予め光学的に実装し、
かつ、光ファイバの相対位置を光分岐ユニットの光導波
路の相対位置に合わせて実装しておくことで、該光ファ
イバと、光分岐ユニットの光導波路との光学的結合を簡
易にできる。
る光学的結合は、例えば光送受信ユニットにおいて光フ
ァイバと光送信器及び光受信器を予め光学的に実装し、
かつ、光ファイバの相対位置を光分岐ユニットの光導波
路の相対位置に合わせて実装しておくことで、該光ファ
イバと、光分岐ユニットの光導波路との光学的結合を簡
易にできる。
【００２１】さらに上記の光送受信ユニットの基板上に
予めファイバガイドを設けることにより、基板上の光送
信器及び光受信器と、光ファイバとの位置合わせを簡略
化できる。また光分岐ユニットの光導波路基板にも予め
ファイバガイドを設けることで光送受信ユニットの光送
信器及び光受信器と、光分岐ユニットの光導波路との光
学的結合も簡易な光ファイバ実装だけで一括して行うこ
とができる。ファイバガイドは光送受信ユニット又は光
受信ユニットの一方だけもよく、あるいは両方に形成さ
れていてもよい。
予めファイバガイドを設けることにより、基板上の光送
信器及び光受信器と、光ファイバとの位置合わせを簡略
化できる。また光分岐ユニットの光導波路基板にも予め
ファイバガイドを設けることで光送受信ユニットの光送
信器及び光受信器と、光分岐ユニットの光導波路との光
学的結合も簡易な光ファイバ実装だけで一括して行うこ
とができる。ファイバガイドは光送受信ユニット又は光
受信ユニットの一方だけもよく、あるいは両方に形成さ
れていてもよい。
【００２２】光ファイバとしてはシングルモードファイ
バに限らず、光受信器と分岐後の光導波路を結合する光
ファイバとしてマルチモードファイバを用いることで、
光ファイバのコア径の大きさを利用し光受信器と光学的
に結合した光ファイバと分岐後の光導波路の接続をより
簡便にすることも可能である。
バに限らず、光受信器と分岐後の光導波路を結合する光
ファイバとしてマルチモードファイバを用いることで、
光ファイバのコア径の大きさを利用し光受信器と光学的
に結合した光ファイバと分岐後の光導波路の接続をより
簡便にすることも可能である。
【００２３】このように本発明では光送受信モジュール
の製造上の組立工程に要する時間を短縮化できる構成を
提供することができる。
の製造上の組立工程に要する時間を短縮化できる構成を
提供することができる。
【００２４】
【実施例】本発明の第１の実施例を図１に基づいて説明
する。第１の実施例における光分岐ユニットでは基板１
上に光導波路２が形成され、光導波路２には光分岐部３
が設けられている。一般にこの光分岐部３は低損失かつ
簡単な構造のＹ分岐を用いて構成する。光分岐部３の分
岐前の光導波路には光ファイバ４が接続される。
する。第１の実施例における光分岐ユニットでは基板１
上に光導波路２が形成され、光導波路２には光分岐部３
が設けられている。一般にこの光分岐部３は低損失かつ
簡単な構造のＹ分岐を用いて構成する。光分岐部３の分
岐前の光導波路には光ファイバ４が接続される。
【００２５】光送受信ユニットは基板１とは別の基板１
１上に光送信器５、光受信器６、２つの光ファイバ１０
が配置されている。光ファイバ１０は基板１１上に形成
されたファイバガイド１３により光送信器５、光受信器
６とそれぞれ光学的に結合しており、２本の光ファイバ
１０の相対位置は、光分岐部の分岐後の２本の光導波路
２の相対位置と一致させている。
１上に光送信器５、光受信器６、２つの光ファイバ１０
が配置されている。光ファイバ１０は基板１１上に形成
されたファイバガイド１３により光送信器５、光受信器
６とそれぞれ光学的に結合しており、２本の光ファイバ
１０の相対位置は、光分岐部の分岐後の２本の光導波路
２の相対位置と一致させている。
【００２６】分岐後の２本の光導波路２はそれぞれ送信
用の光送信器５及び受信用の光受信器６と光学結合さ
れ、これらの光学的結合は２本の光ファイバ１０を通し
て行われる。２本の光ファイバ１０と光導波路の光学的
結合は一括して高精度で行われる。
用の光送信器５及び受信用の光受信器６と光学結合さ
れ、これらの光学的結合は２本の光ファイバ１０を通し
て行われる。２本の光ファイバ１０と光導波路の光学的
結合は一括して高精度で行われる。
【００２７】次に本実施例の光送受信ユニットにおける
光ファイバ１０の基板１１への実装と光ファイバ１０と
光送信器５、光受信器６との結合について説明する。初
めに光ファイバ１０の基板１１への実装について説明す
る。基板１１上にＶ溝のファイバガイド１３は光ファイ
バを設置する結晶基板の面方位（１００）面に通常のフ
ォトリソグラフィーの工程でマスクを形成し、異方性エ
ッチングにより除去し、面方位（１１１）面からなるＶ
字状の溝を形成することにより得られる。異方性エッチ
ングは一括処理が可能であるため量産性に適し、異方性
エッチングにより得られるＶ溝は、光ファイバ５の設置
面を作製するため設置面の角度が正確でありまた面精度
がよく、光ファイバをこのＶ溝上に置くだけで、光導波
路との光結合に最適な位置に光ファイバ５を設置でき
る。この溝に２本のファイバ１０を実装する。
光ファイバ１０の基板１１への実装と光ファイバ１０と
光送信器５、光受信器６との結合について説明する。初
めに光ファイバ１０の基板１１への実装について説明す
る。基板１１上にＶ溝のファイバガイド１３は光ファイ
バを設置する結晶基板の面方位（１００）面に通常のフ
ォトリソグラフィーの工程でマスクを形成し、異方性エ
ッチングにより除去し、面方位（１１１）面からなるＶ
字状の溝を形成することにより得られる。異方性エッチ
ングは一括処理が可能であるため量産性に適し、異方性
エッチングにより得られるＶ溝は、光ファイバ５の設置
面を作製するため設置面の角度が正確でありまた面精度
がよく、光ファイバをこのＶ溝上に置くだけで、光導波
路との光結合に最適な位置に光ファイバ５を設置でき
る。この溝に２本のファイバ１０を実装する。
【００２８】基板として一般にＳｉ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ
等の結晶基板があり、Ｓｉ基板の場合光導波路として
Ｐ、Ｇｅ、Ｂ、Ｔｉ等をドープした石英系の光導波路が
用いられ、その作製方法にはＣＶＤ法、ＥＢ蒸着法、ス
パッタ法、火炎堆積法等がある。ＩｎＰ、ＧａＡｓ基板
の場合はＩｎＧａＡｓＰ、ＡｌＧａＡｓ等の半導体系の
光導波路がよく用いられる。また異方性エッチング液と
してＳｉ結晶基板に対しては一般にＫＯＨ、ＫＯＨ＋ア
ルコール、エチレンジアミン＋ピロカテコール等の溶液
が用いられ、ＧａＡｓ，ＩｎＰ結晶基板に対してはＨ2
ＳＯ4 ＋Ｈ2 Ｏ2＋Ｈ2 Ｏ、ＨＣｌ、ＨＢｒ等の溶液が
用いられる。さらにマスク材には上記エッチング液に対
して基板結晶の（１００）面よりエッチング速度の遅い
材料が選ばれ、主に金属膜や誘電体膜、特にＳｉ基板の
場合Ｓｉの熱酸化膜等が用いられる。
等の結晶基板があり、Ｓｉ基板の場合光導波路として
Ｐ、Ｇｅ、Ｂ、Ｔｉ等をドープした石英系の光導波路が
用いられ、その作製方法にはＣＶＤ法、ＥＢ蒸着法、ス
パッタ法、火炎堆積法等がある。ＩｎＰ、ＧａＡｓ基板
の場合はＩｎＧａＡｓＰ、ＡｌＧａＡｓ等の半導体系の
光導波路がよく用いられる。また異方性エッチング液と
してＳｉ結晶基板に対しては一般にＫＯＨ、ＫＯＨ＋ア
ルコール、エチレンジアミン＋ピロカテコール等の溶液
が用いられ、ＧａＡｓ，ＩｎＰ結晶基板に対してはＨ2
ＳＯ4 ＋Ｈ2 Ｏ2＋Ｈ2 Ｏ、ＨＣｌ、ＨＢｒ等の溶液が
用いられる。さらにマスク材には上記エッチング液に対
して基板結晶の（１００）面よりエッチング速度の遅い
材料が選ばれ、主に金属膜や誘電体膜、特にＳｉ基板の
場合Ｓｉの熱酸化膜等が用いられる。
【００２９】光ファイバの高さ方向の調節はＶ溝を用い
たファイバガイド１３の場合、Ｖ溝の幅を調整すること
で光ファイバ１０を基板１１に実装する際に所望の高さ
で設置することができる。すなわち、基板１１上に実装
する光送信器５の発光部の基板表面からの位置、又は光
受信器６の受光部の位置を決定し、その位置に光ファイ
バ１０の中心が位置するようにＶ溝のマスク幅を設定す
る。このように高さ方向の位置決めに関してはＶ溝を用
いることにより無調整で決定することができる。
たファイバガイド１３の場合、Ｖ溝の幅を調整すること
で光ファイバ１０を基板１１に実装する際に所望の高さ
で設置することができる。すなわち、基板１１上に実装
する光送信器５の発光部の基板表面からの位置、又は光
受信器６の受光部の位置を決定し、その位置に光ファイ
バ１０の中心が位置するようにＶ溝のマスク幅を設定す
る。このように高さ方向の位置決めに関してはＶ溝を用
いることにより無調整で決定することができる。
【００３０】さらに基板１１の平面方向の位置合わせも
無調整で行なうことが望ましい。これを実現する方法と
して、基板１１及び光送信器５に位置合わせ用のマーカ
ーを設け、赤外光を用いて両者のマーカー位置を検出し
位置合わせを行なう方法がある。この方法によると通常
のプロセスで行われているフォトリソグラフィ工程と同
様であるため位置決めの自動化が可能となる。
無調整で行なうことが望ましい。これを実現する方法と
して、基板１１及び光送信器５に位置合わせ用のマーカ
ーを設け、赤外光を用いて両者のマーカー位置を検出し
位置合わせを行なう方法がある。この方法によると通常
のプロセスで行われているフォトリソグラフィ工程と同
様であるため位置決めの自動化が可能となる。
【００３１】次に光送信器５と光ファイバ１０の結合に
ついて説明する。一般的に光送信器として用いられるレ
ーザーダイオードと通常の光ファイバと結合した場合、
結合効率は１０ｄＢ程度となる。この結合効率を改善す
る方法としてレーザーダイオードのスポットサイズを変
換したタイプのもの開発が進められており、これを用い
ることにより結合効率を２ｄＢ程度まで改善することが
できる。
ついて説明する。一般的に光送信器として用いられるレ
ーザーダイオードと通常の光ファイバと結合した場合、
結合効率は１０ｄＢ程度となる。この結合効率を改善す
る方法としてレーザーダイオードのスポットサイズを変
換したタイプのもの開発が進められており、これを用い
ることにより結合効率を２ｄＢ程度まで改善することが
できる。
【００３２】また一般的なレーザーダイオードの場合で
も、結合する光ファイバの先端を球状に加工しレーザー
ダイオードのスポットサイズに近づけることにより４ｄ
Ｂ程度の結合効率が得えられる。
も、結合する光ファイバの先端を球状に加工しレーザー
ダイオードのスポットサイズに近づけることにより４ｄ
Ｂ程度の結合効率が得えられる。
【００３３】次に光受信器６と光ファイバ１０の結合に
関して説明する。現在、光受信器として用いられている
フォトダイオードは面受光が一般的である。フォトダイ
オードの受光面は比較的広いため、レーザーダイオード
と光ファイバの結合ほど位置精度は厳しくない。一般的
なフォトダイオードを用いた場合の基板１１上の光ファ
イバ１０との結合を図３に示す。この例ではファイバガ
イド１３によるＶ溝が基板の側面まで形成され、側面に
配置された面受光のフォトダイオードである光受信器６
と光ファイバ１０が結合している。
関して説明する。現在、光受信器として用いられている
フォトダイオードは面受光が一般的である。フォトダイ
オードの受光面は比較的広いため、レーザーダイオード
と光ファイバの結合ほど位置精度は厳しくない。一般的
なフォトダイオードを用いた場合の基板１１上の光ファ
イバ１０との結合を図３に示す。この例ではファイバガ
イド１３によるＶ溝が基板の側面まで形成され、側面に
配置された面受光のフォトダイオードである光受信器６
と光ファイバ１０が結合している。
【００３４】しかしながらこのフォトダイオードを光フ
ァイバと結合させる場合、図３に示すように受光面１４
を縦にして光ファイバ１０と結合させる必要がある。こ
のような場合、上述したようなマーカーによる位置合わ
せが不可能であるため、低コストかつ簡易な製造プロセ
スが要求される量産化の点で支障をきたすことになる。
ァイバと結合させる場合、図３に示すように受光面１４
を縦にして光ファイバ１０と結合させる必要がある。こ
のような場合、上述したようなマーカーによる位置合わ
せが不可能であるため、低コストかつ簡易な製造プロセ
スが要求される量産化の点で支障をきたすことになる。
【００３５】面受光のフォトダイオードを用いながら量
産化を図る方法としては図４のような方法がある。基板
１１上には異方性エッチングによるＶ溝のファイバガイ
ド１３が設けられ、光ファイバ１０がこのＶ溝で位置決
めされている。基板１１上にはさらにフォトダイオード
キャリア１５が設けられ、光ファイバ１０からの出射光
を反射面１６に反射させた後、フォトダイオードキャリ
ア上に設けられた光受信器６の受光面１４と結合させて
いる。
産化を図る方法としては図４のような方法がある。基板
１１上には異方性エッチングによるＶ溝のファイバガイ
ド１３が設けられ、光ファイバ１０がこのＶ溝で位置決
めされている。基板１１上にはさらにフォトダイオード
キャリア１５が設けられ、光ファイバ１０からの出射光
を反射面１６に反射させた後、フォトダイオードキャリ
ア上に設けられた光受信器６の受光面１４と結合させて
いる。
【００３６】フォトダイオードキャリア１５は上述した
異方性エッチングにより形成されるＶ溝と同様の方法を
用いることで、結晶の異方性を反映した正確な５４．７
４°の角度を持つ平滑な面が容易に作製できる。反射面
１６はこの面に反射膜としてＡｕ、Ａｇ、Ａｌ等の薄膜
を成膜することで得る。この上に光受信器６を実装する
ことにより容易に光ファイバ１０と面受光のフォトダイ
オードの光学的結合が達成される。
異方性エッチングにより形成されるＶ溝と同様の方法を
用いることで、結晶の異方性を反映した正確な５４．７
４°の角度を持つ平滑な面が容易に作製できる。反射面
１６はこの面に反射膜としてＡｕ、Ａｇ、Ａｌ等の薄膜
を成膜することで得る。この上に光受信器６を実装する
ことにより容易に光ファイバ１０と面受光のフォトダイ
オードの光学的結合が達成される。
【００３７】なお基板１１とフォトダイオードキャリア
１５の間、及びフォトダイオードキャリア１５とフォト
ダイオード６の間にＡｕＳｎ半田等を形成することで光
受信器の設置を簡単に行うことができる。
１５の間、及びフォトダイオードキャリア１５とフォト
ダイオード６の間にＡｕＳｎ半田等を形成することで光
受信器の設置を簡単に行うことができる。
【００３８】また本発明の場合、結合する２本の光導波
路２は同じ高さにあるため、２本のファイバ１０も同じ
高さに設定する必要がある。したがって光ファイバ１０
からの出射光は、隣に実装されるレーザーダイオードの
出射位置と同じ位置となり、この位置で上方に出射され
るようにフォトダイオードキャリア１５を設定し配置す
ればよい。
路２は同じ高さにあるため、２本のファイバ１０も同じ
高さに設定する必要がある。したがって光ファイバ１０
からの出射光は、隣に実装されるレーザーダイオードの
出射位置と同じ位置となり、この位置で上方に出射され
るようにフォトダイオードキャリア１５を設定し配置す
ればよい。
【００３９】ここで一般に面受光のフォトダイオードの
受光面は数十μm から百μm 程度の径を持つため、光フ
ァイバ１０はシングルモードファイバのみならずマルチ
モードファイバも適用することが可能である。マルチモ
ードファイバのコア径はシングルモードファイバのコア
径よりも大きいため、分岐後の光導波路との光学的結合
が取りやすく、位置合わせ精度を緩くできるため低コス
ト化することができる。
受光面は数十μm から百μm 程度の径を持つため、光フ
ァイバ１０はシングルモードファイバのみならずマルチ
モードファイバも適用することが可能である。マルチモ
ードファイバのコア径はシングルモードファイバのコア
径よりも大きいため、分岐後の光導波路との光学的結合
が取りやすく、位置合わせ精度を緩くできるため低コス
ト化することができる。
【００４０】また光受信器として一般的な面受光のフォ
トダイオードではなく、レーザーダイオード等と同様に
導波路構造を持ったフォトダイオードを用いることでも
量産化の問題に対処できる。
トダイオードではなく、レーザーダイオード等と同様に
導波路構造を持ったフォトダイオードを用いることでも
量産化の問題に対処できる。
【００４１】上述のように、光導波路が形成された基板
とは別の基板に光ファイバと光送信器及び光受信器を予
め光学的に実装し、かつ、光導波路の位置に合わせて光
ファイバの位置決めを行っておくことにより、光導波路
と光送信器及び光受信器の光学的結合は光ファイバと光
導波路を一括して光学的に結合するだけで簡単に達成さ
れる。
とは別の基板に光ファイバと光送信器及び光受信器を予
め光学的に実装し、かつ、光導波路の位置に合わせて光
ファイバの位置決めを行っておくことにより、光導波路
と光送信器及び光受信器の光学的結合は光ファイバと光
導波路を一括して光学的に結合するだけで簡単に達成さ
れる。
【００４２】次に本発明の第２の実施例を図５に示す。
第２の実施例は第１の実施例と光分岐ユニットの構成が
異なり、光送受信ユニットの構成は同様である。このた
め第２の実施例の光送受信ユニットの説明は省略する。
第２の実施例は第１の実施例と光分岐ユニットの構成が
異なり、光送受信ユニットの構成は同様である。このた
め第２の実施例の光送受信ユニットの説明は省略する。
【００４３】第２の実施例では基板１上に光導波路２と
結合する光ファイバ用のファイバガイド１２が設けられ
ている。第２の実施例のファイバガイドは第１の実施例
のファイバガイドと同様な手法で形成される。第２の実
施例ではこのファイバガイドを設けることにより、分岐
前の光導波路２と光ファイバ４の光学的結合及び分岐後
の光導波路２と光送受信ユニットからの２本の光ファイ
バ１０の光学的結合は無調整で簡単に行なうことができ
る。
結合する光ファイバ用のファイバガイド１２が設けられ
ている。第２の実施例のファイバガイドは第１の実施例
のファイバガイドと同様な手法で形成される。第２の実
施例ではこのファイバガイドを設けることにより、分岐
前の光導波路２と光ファイバ４の光学的結合及び分岐後
の光導波路２と光送受信ユニットからの２本の光ファイ
バ１０の光学的結合は無調整で簡単に行なうことができ
る。
【００４４】次に第３の実施例を図６に基づいて説明す
る。
る。
【００４５】第３の実施例における光分岐ユニットには
図６に示すように基板１上に光分岐部３、さらに光合分
波器８を構成する光導波路２が形成されている。本実施
例の光合分波器８は方向性結合器であり、方向性結合器
を構成する２本の導波路のうちの一方の導波路は分岐前
の光導波路を用いている。また光合分波器８の一方には
光ファイバ４が接続される。
図６に示すように基板１上に光分岐部３、さらに光合分
波器８を構成する光導波路２が形成されている。本実施
例の光合分波器８は方向性結合器であり、方向性結合器
を構成する２本の導波路のうちの一方の導波路は分岐前
の光導波路を用いている。また光合分波器８の一方には
光ファイバ４が接続される。
【００４６】第３の実施例の光送受信ユニットは基板１
とは別の基板１１上に設けられた光送信器５、光受信器
６、光送信器及び光受信器と結合する光ファイバ１０、
光ファイバ９から構成される。光ファイバ１０及び光フ
ァイバ９は第１の実施例の光送受信ユニットと同様に基
板１上に形成されたファイバガイド１３により位置決め
されている。
とは別の基板１１上に設けられた光送信器５、光受信器
６、光送信器及び光受信器と結合する光ファイバ１０、
光ファイバ９から構成される。光ファイバ１０及び光フ
ァイバ９は第１の実施例の光送受信ユニットと同様に基
板１上に形成されたファイバガイド１３により位置決め
されている。
【００４７】ファイバガイド１３により位置決めされた
光ファイバ１０は光送信器５、光受信器６とそれぞれ光
学的に結合しており、２本の光ファイバ１０、光ファイ
バ９の相対位置は、分岐後の２本の光導波路２及び方向
性結合器からの延長された光導波路２の相対位置と一致
させている。
光ファイバ１０は光送信器５、光受信器６とそれぞれ光
学的に結合しており、２本の光ファイバ１０、光ファイ
バ９の相対位置は、分岐後の２本の光導波路２及び方向
性結合器からの延長された光導波路２の相対位置と一致
させている。
【００４８】分波された信号光と結合する光ファイバ９
の実装、光ファイバ１０と光送信器５及び光受信器６と
の光学的結合は別の基板１１上で予め行われ、３本の光
ファイバの相対位置を分波及び分岐後の３本の光導波路
の相対位置と一致させておくことにより、３本の光ファ
イバと光導波路の光学的結合は一括して高精度で行われ
る。
の実装、光ファイバ１０と光送信器５及び光受信器６と
の光学的結合は別の基板１１上で予め行われ、３本の光
ファイバの相対位置を分波及び分岐後の３本の光導波路
の相対位置と一致させておくことにより、３本の光ファ
イバと光導波路の光学的結合は一括して高精度で行われ
る。
【００４９】第３の実施例では光合分波器８における方
向性結合器の光導波路の間隔、長さあるいは屈折率を変
えることにより、所望の波長のＷＤＭを構成でき、異な
る波長の信号光をファイバ４に多重し、光合分波器８に
波長分波機能を持たせることによりこの信号を双方向通
信とは別に映像信号等の用途に用い、システムを拡張さ
せることができる。この時、実装される光ファイバがさ
らに１本増え、組み立てが非常に煩雑になるが、本発明
を用いることにより簡単にモジュールの組み立てを行な
うことができる。
向性結合器の光導波路の間隔、長さあるいは屈折率を変
えることにより、所望の波長のＷＤＭを構成でき、異な
る波長の信号光をファイバ４に多重し、光合分波器８に
波長分波機能を持たせることによりこの信号を双方向通
信とは別に映像信号等の用途に用い、システムを拡張さ
せることができる。この時、実装される光ファイバがさ
らに１本増え、組み立てが非常に煩雑になるが、本発明
を用いることにより簡単にモジュールの組み立てを行な
うことができる。
【００５０】また光合分波器８として比較的簡単に構成
できる方向性結合器を用いたがこれに限らずマッハツェ
ンダー光干渉計型等を用いてもよい。
できる方向性結合器を用いたがこれに限らずマッハツェ
ンダー光干渉計型等を用いてもよい。
【００５１】本発明の第４の実施例を図７に基づいて説
明する。第４の実施例では第２の実施例と同様に光導波
路２が形成された基板１上にファイバガイド１２を設け
ている。基板１上にファイバガイド１２を設けることに
より、第３の実施例と比較して３本の光ファイバと光導
波路の光学的結合は無調整で簡単に行なうことができ
る。
明する。第４の実施例では第２の実施例と同様に光導波
路２が形成された基板１上にファイバガイド１２を設け
ている。基板１上にファイバガイド１２を設けることに
より、第３の実施例と比較して３本の光ファイバと光導
波路の光学的結合は無調整で簡単に行なうことができ
る。
【００５２】本発明の第５の実施例を図８に基づいて説
明する。第５の実施例では第４の実施例のうち光送受信
ユニットが異なっている。第４の実施例では光合分波器
８により分波された信号光は光ファイバ９に結合した
後、そのまま光ファイバ９で光送受信モジュールの外に
取り出される形態であったが、第５の実施例の光送受信
ユニットのように図８に示すように上述した光受信器６
との結合と同様に、基板上にさらに別の光受信器１７を
実装し、モジュールの中で信号光を処理してもよい。
明する。第５の実施例では第４の実施例のうち光送受信
ユニットが異なっている。第４の実施例では光合分波器
８により分波された信号光は光ファイバ９に結合した
後、そのまま光ファイバ９で光送受信モジュールの外に
取り出される形態であったが、第５の実施例の光送受信
ユニットのように図８に示すように上述した光受信器６
との結合と同様に、基板上にさらに別の光受信器１７を
実装し、モジュールの中で信号光を処理してもよい。
【００５３】
【発明の効果】本発明によると、モジュールの組み立て
が簡単な、光送受信モジュールを構成することができ
る。その理由として、本発明では光送信器及び光受信器
と光導波路の光学的結合はそれぞれ２本の光ファイバを
介して行われ、光ファイバと光送信器及び光受信器は、
導波路基板に形成された光導波路と光学的に結合する前
に、予めファイバガイドが形成された別の基板上で光学
的に結合させ、さらに光ファイバと光導波路の結合は該
導波路基板上に予め形成されたファイバガイドを介して
行われるため、一括して光導波路と光送信器及び光受信
器の結合が可能になるためである。
が簡単な、光送受信モジュールを構成することができ
る。その理由として、本発明では光送信器及び光受信器
と光導波路の光学的結合はそれぞれ２本の光ファイバを
介して行われ、光ファイバと光送信器及び光受信器は、
導波路基板に形成された光導波路と光学的に結合する前
に、予めファイバガイドが形成された別の基板上で光学
的に結合させ、さらに光ファイバと光導波路の結合は該
導波路基板上に予め形成されたファイバガイドを介して
行われるため、一括して光導波路と光送信器及び光受信
器の結合が可能になるためである。
【図１】本発明による光送受信モジュールの第１の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図２】本実施例で用いた光送受信ユニットを示す側面
図である。
図である。
【図３】本実施例で用いた他の光送受信ユニットを示す
側面図である。
側面図である。
【図４】本実施例で用いた他の光送受信ユニットを示す
側面図である。
側面図である。
【図５】本発明による光送受信モジュールの第２の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図６】本発明による光送受信モジュールの第３の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図７】本発明による光送受信モジュールの第４の実施
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図８】本発明による光送受信モジュール第５の実施例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図９】従来の光送受信モジュールを示す平面図であ
る。
る。
【図１０】従来の光送受信モジュールを示す平面図であ
る。
る。
１ 基板 ２ 光導波路 ３ 光分岐部 ４ 光ファイバ ５ 光送信器 ６ 光受信器 ８ 光合分波器 ９ 光ファイバ １０ 光ファイバ １１ 基板 １２ ファイバガイド １３ ファイバガイド １４ フォトダイオード受光面 １５ フォトダイオードキャリア １６ 反射面 １７ 光受信器
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 6/26 - 6/42
Claims (9)
- 【請求項１】第１の基板上に光分岐部を形成する光導波
路を有する光分岐ユニットと、第２の基板上に光送信器
及び光受信器と前記光送信器及び光受信器にそれぞれ光
学的に結合する光ファイバが配置された光送受信ユニッ
トとから構成され、分岐後の光導波路が前記光ファイバ
と光学的に結合していることを特徴とする光送受信モジ
ュール。 - 【請求項２】第１の基板上に光分岐部及び光合分波部を
形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第２の基
板上に光送信器及び光受信器と前記光送信器及び光受信
器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置された
光送受信ユニットとから構成され、分岐後の光導波路が
前記光ファイバと光学的に結合し、光合分波部により分
波された光導波路が前記第２基板上に配置された第２の
光ファイバと光学的に結合していることを特徴とする光
送受信モジュール。 - 【請求項３】第１の基板上に光分岐部及び光合分波部を
形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第２の基
板上に光送信器及び第１、第２の光受信器と前記光送信
器及び第１の光受信器にそれぞれ光学的に結合する光フ
ァイバと前記第２の光受信器と光学的に結合する第２の
光ファイバが配置された光送受信ユニットとから構成さ
れ、前記分岐後の光導波路が前記光送信器及び第１の光
受信器と光ファイバにより光学的に結合し、前記分波後
の光導波路が前記第２の光ファイバと光学的に結合して
いることを特徴とする光送受信モジュール。 - 【請求項４】第１の基板上に光分岐部を形成する光導波
路にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置された
光分岐ユニットと、第２の基板上の光送信器及び光受信
器有する光送受信ユニットとから構成され、前記光送受
信ユニットの光送信器及び光受信器が前記光ファイバと
光学的に結合していることを特徴とする光送受信モジュ
ール。 - 【請求項５】前記１又は第２の基板上には光ファイバを
位置決めするためのファイバガイドが設けられているこ
とを特徴とする請求項１又は２又は３又は４記載の光送
受信モジュール。 - 【請求項６】第１の基板上に光分岐部を形成する光導波
路と前記光導波路が光ファイバと光学的に結合するよう
に基板上に形成されたファイバガイドを有する光分岐ユ
ニットと、第２の基板上に配置された光送信器及び光受
信器と前記光送信器及び光受信器がそれぞれ光ファイバ
と光学的に結合するように形成されたファイバガイドを
有する光送受信ユニットとから構成され、前記光送受信
ユニットの光送信器及び光受信器と前記光分岐ユニット
の分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に結合
していることを特徴とする光送受信モジュール。 - 【請求項７】第１の基板上に光分岐部及び光合分波部を
形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと光学的
に結合するように基板上に形成されたファイバガイドを
有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置された光
送信器及び光受信器と前記前記光送信器及び光受信器が
それぞれ光ファイバと光学的に結合するように形成され
たファイバガイドを有する光送受信ユニットから構成さ
れ、前記光送受信ユニットの光送信器及び光受信器と前
記光分岐ユニットの分岐後の光導波路とが光ファイバに
より光学的に結合し、光合分波部により分波された光導
波路は前記第２基板上に形成されたファイバガイドに配
置された第２の光ファイバと光学的に結合していること
を特徴とする光送受信モジュール。 - 【請求項８】第１の基板上に光分岐部及び光合分波部を
形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと光学的
に結合するように基板上に形成されたファイバガイドを
有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置された光
送信器及び第１、第２の光受信器と前記前記光送信器及
び第１、第２の光受信器がそれぞれ光ファイバと光学的
に結合するように形成されたファイバガイドを有する光
送受信ユニットから構成され、前記光送受信ユニットの
光送信器及び第１の光受信器と前記光分岐ユニットの分
岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に結合し、
分波後の光導波路と前記第２の光受信器とが第２の光フ
ァイバにより光学的に結合していることを特徴とする光
送受信モジュール。 - 【請求項９】前記ファイバガイドは基板の異方性エッチ
ングにより形成されたものであることを特徴とする請求
項５又は６又は７又は８記載の光送受信モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31598496A JP2897742B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 光送受信モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31598496A JP2897742B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 光送受信モジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160980A JPH10160980A (ja) | 1998-06-19 |
| JP2897742B2 true JP2897742B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=18071946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31598496A Expired - Lifetime JP2897742B2 (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 光送受信モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2897742B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2002018995A1 (ja) * | 2000-08-31 | 2004-01-15 | フォトニクスネット株式会社 | 非対称型光カプラ、光送受信機、及び、波長多重化装置 |
| KR20010069282A (ko) * | 2001-02-28 | 2001-07-25 | 신현국 | 라인 접촉형 광 송수신 모듈 |
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-
1996
- 1996-11-27 JP JP31598496A patent/JP2897742B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10160980A (ja) | 1998-06-19 |
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