JP2854187B2 - Optical recording medium and information recording / reproducing device - Google Patents
Optical recording medium and information recording / reproducing deviceInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 35
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、トラッキング用のグル
ーブを有し、このグルーブをアドレス情報に応じて蛇行
させた光記録媒体及び情報記録再生装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium and an information recording / reproducing apparatus which have a tracking groove and which meander the groove in accordance with address information.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、光を用いて情報を記録再生する光
メモリーの内、記録媒体として垂直磁化膜からなる記録
膜を用い、レーザー光を照射しながら磁場を印加して、
光スポット内の磁化を上向き、または、下向きにするこ
とにより、情報を記録する光磁気ディスクが実用化され
ている。2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical memory for recording and reproducing information using light, a recording film made of a perpendicular magnetization film is used as a recording medium, and a magnetic field is applied while irradiating a laser beam.
Magneto-optical disks for recording information by making the magnetization in a light spot upward or downward have been put to practical use.
【0003】光磁気ディスクには、図4(a)の平面図
および同図(b)の縦断面図に示すように、グルーブ5
1…が設けられており、光スポット52を正確に螺旋状
のトラックに追従させることかできるようになってい
る。グルーブ51の幅はトラックピッチに応じて設定さ
れており、トラックピッチを例えば1.6μmとする
と、グルーブ51の幅は1〜1.2μmに設定される。As shown in a plan view of FIG. 4A and a vertical sectional view of FIG.
.. Are provided so that the light spot 52 can accurately follow the spiral track. The width of the groove 51 is set according to the track pitch. When the track pitch is set to, for example, 1.6 μm, the width of the groove 51 is set to 1 to 1.2 μm.
【0004】上記のグルーブ51…は、トラックのアド
レス情報に応じて半径方向に蛇行(ウォーブル)するよ
うに形成されており、トラッキング信号から蛇行周波数
の成分を取り出すことにより、光スポット52が走査中
のトラックのアドレス情報を求めることができる。The grooves 51 are formed so as to meander (wobble) in the radial direction in accordance with the address information of the track. By extracting the component of the meandering frequency from the tracking signal, the light spot 52 is scanned. Track information can be obtained.
【0005】情報の記録再生は、グルーブ51…に一致
するトラックに対して行われる。トラックピッチは光ス
ポット52の直径程度に設定されており、光スポット5
2の直径は、レーザー光の波長と、レーザー光を光スポ
ット52に収斂する対物レンズの開口数とによって決ま
っている。レーザー光の波長は、通常、780〜830
nmであり、対物レンズの開口数は0.45〜0.6で
ある。したがって、光スポット52の直径は1.2〜
1.4μmとなり、トラックピッチは1.4〜1.6μ
mに設定されている。このため、磁化が上向き、また
は、下向きの記録ドメインの大きさは、最小0.8μm
程度となる。Recording and reproduction of information are performed on tracks matching the grooves 51. The track pitch is set to about the diameter of the light spot 52,
The diameter of 2 is determined by the wavelength of the laser light and the numerical aperture of the objective lens that converges the laser light to the light spot 52. The wavelength of the laser light is usually 780 to 830.
nm, and the numerical aperture of the objective lens is 0.45 to 0.6. Therefore, the diameter of the light spot 52 is 1.2 to
1.4 μm, and the track pitch is 1.4 to 1.6 μ
m. Therefore, the size of the recording domain whose magnetization is upward or downward is at least 0.8 μm.
About.
【0006】近年、この光磁気ディスクの内、記録膜を
多層構造にすることにより、記録膜に磁気超解像(Ma
gnetic Super Resolution)の
効果を持たせ、これにより、光スポットのサイズよりも
はるかに小さい記録ドメインを形成して、記録密度を向
上させる方策が取られている。この磁気超解像を用いれ
ば、上記のほぼ1/2の大きさの記録ドメインを安定し
て形成することが可能であり、したがって、トラックピ
ッチを上記のほぼ1/2の0.8μm程度にすることが
可能であるので、記録密度を飛躍的に向上させることが
できる。この磁気超解像に関しては、例えば、日本応用
磁気学会誌、Vo1.15,No.5,1991 p
p.838−845が詳しい。In recent years, by making the recording film of this magneto-optical disk a multilayer structure, a magnetic super-resolution (Ma
There is a measure to improve the recording density by forming a recording domain that is much smaller than the size of the light spot by giving the effect of the G.sub.nic super resolution. By using this magnetic super-resolution, it is possible to stably form a recording domain having a size of about 1/2 as described above. Therefore, the recording density can be dramatically improved. This magnetic super-resolution is described, for example, in Journal of the Japan Society of Applied Magnetics, Vo 1.15, No. 5,1991 p
p. 838-845 is detailed.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、トラックピッチを0.8μm程度にする
と、トラッキング信号が弱くなるため、正確なトラッキ
ングを行うことができないという問題点を有している。However, in the above-mentioned conventional configuration, when the track pitch is set to about 0.8 μm, there is a problem that accurate tracking cannot be performed because the tracking signal becomes weak. .
【0008】また、トラッキング信号から蛇行周波数の
成分を取り出すことが困難になるので、正確なアドレス
情報を求めることができないという問題点を有してい
る。Further, since it becomes difficult to extract the meandering frequency component from the tracking signal, there is a problem that accurate address information cannot be obtained.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る光
記録媒体は、上記の課題を解決するために、情報を記録
するトラックが形成されてなる光記録媒体において、前
記トラックの幅方向の側端の一方のみが蛇行しているこ
とを特徴としている。According to the first aspect of the present invention, there is provided an optical recording medium for recording information to solve the above-mentioned problems.
In an optical recording medium on which a track is formed,
It is characterized in that only one of the lateral ends of the track is meandering .
【0010】請求項2の発明に係る光記録媒体は、上記
の課題を解決するために、情報を記録するトラックが形
成されてなる光記録媒体において、アドレス情報が、前
記トラックの幅方向の側端の一方の蛇行により記録され
てなることを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided an optical recording medium comprising : a track for recording information;
In the optical recording medium formed, the address information is
It is recorded by one meander of the widthwise side edge of the track.
It is characterized in that it comprises Te.
【0011】請求項3の発明に係る光記録媒体は、上記
の課題を解決するために、グルーブと、該グルーブ間の
ランドを有する光記録媒体において、アドレス情報が、
前記グルーブにおける互いに隣接する側壁の一方の蛇行
により記録されていることを特徴としている。 An optical recording medium according to a third aspect of the present invention is the optical recording medium described above.
In order to solve the problem of, the groove, between the groove
In an optical recording medium having lands, the address information is
One meander of adjacent sidewalls in the groove
Is recorded.
【0012】請求項4の発明に係る光記録媒体は、上記
の課題を解決するために、請求項3記載の光記録媒体に
おいて、前記グルーブの幅の平均値は、前記グルーブ間
のランドの幅の平均値に等しくなるように設定されてい
ることを特徴としている。 An optical recording medium according to a fourth aspect of the present invention is characterized in that
In order to solve the above problem, the optical recording medium according to claim 3
In this case, the average value of the width of the grooves is
Is set to be equal to the average land width
It is characterized by that.
【0013】請求項5の発明に係る光記録媒体は、上記
の課題を解決するために、請求項1、2又は3記載の光
記録媒体において、前記蛇行する側壁の蛇行振幅が±3
5nmから±50nmの範囲であることを特徴としてい
る。 [0013] The optical recording medium according to the invention of claim 5 is characterized in that:
The light according to claim 1, 2, or 3, for solving the problem of (1).
In the recording medium, the meandering amplitude of the meandering side wall is ± 3.
The range is from 5 nm to ± 50 nm.
You.
【0014】[0014]
【0015】請求項6の発明に係る情報記録再生装置
は、上記の課題を解決するために、グルーブを有するこ
とで情報を記録するトラックが形成され、該トラックの
幅方向の側端の一方のみが蛇行してなる光記録媒体に対
して、情報を記録又は再生する情報記録再生装置であっ
て、光スポットを、前記トラックに対して追従させる手
段と、該光スポットのトラッキング信号を検出する手段
と、該トラッキング信号から前記蛇行した側端の蛇行周
波数成分を取り出して、アドレス情報を得る手段とを有
してなることを特徴としている。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an information recording / reproducing apparatus, in which a track for recording information is formed by having a groove, and only one of side edges in the width direction of the track is provided. An information recording / reproducing apparatus for recording or reproducing information on or from an optical recording medium meandering, comprising means for causing a light spot to follow the track, and means for detecting a tracking signal of the light spot And means for obtaining address information by extracting the meandering frequency component at the meandering side end from the tracking signal.
【0016】請求項7の発明に係る情報記録再生装置
は、上記の課題を解決するために、グルーブを有するこ
とで情報を記録するトラックが形成され、該トラックの
幅方向の側端の一方のみが蛇行してなる光記録媒体に対
して、情報を記録又は再生する情報記録再生装置であっ
て、光スポットを、前記トラックに対して追従させる手
段と、該光スポットの反射光量を検出する手段と、該反
射光量から前記蛇行した側端の蛇行周波数成分を取り出
して、アドレス情報を得る手段とを有してなることを特
徴としている。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an information recording / reproducing apparatus, wherein a track for recording information is formed by having a groove, and only one of the lateral ends of the track in the width direction is provided. An information recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information on / from an optical recording medium meandering, comprising means for causing a light spot to follow the track, and means for detecting the amount of reflected light of the light spot And means for obtaining address information by extracting the meandering frequency component of the meandering side end from the reflected light amount.
【0017】[0017]
【作用】本発明の光記録媒体によれば、トラックの幅方
向の側端の一方を蛇行させる構成であるため、記録密度
を向上することができる。また、正確なアドレス情報を
得ることができる。According to the optical recording medium of the present invention, the track width
Is configured to meander one of the side edges of the
Can be improved. Also, accurate address information can be obtained.
【0018】また、本発明の情報記録再生装置によれ
ば、光記録媒体のトラックの幅方向の側端の一方の蛇行
によって記録された情報を確実に取り出すことができ
る。 Further , according to the information recording / reproducing apparatus of the present invention,
For example, one of the meandering side edges in the width direction of the track of the optical recording medium
Can reliably retrieve the information recorded by
You.
【0019】[0019]
【実施例】本発明の一実施例について図1ないし図3に
基づいて説明すれば、以下の通りである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【0020】本実施例の光磁気ディスクには、図1
(a)の平面図および同図(b)の縦断面図に示すよう
に、螺旋状または同心円状のグルーブ1…が設けられて
いる。グルーブ1の幅の平均値およびグルーブ1・1間
のランド2の幅の平均値は、互いに等しく、かつ、トラ
ッグピッチに等しくなるように設定されている。FIG. 1 shows a magneto-optical disk according to this embodiment.
As shown in the plan view of (a) and the longitudinal sectional view of (b), spiral or concentric grooves 1 are provided. The average value of the width of the groove 1 and the average value of the width of the lands 2 between the grooves 1 and 1 are set to be equal to each other and equal to the tag pitch.
【0021】上記のグルーブ1…の一方の側壁1a…
は、トラックのアドレス情報に応じて光磁気ディスクの
半径方向に蛇行するように形成されている。側壁1a…
の蛇行周波数は、トラッキングサーボ系(図示されてい
ない)の追従周波数より高く、かつ、記録時の記録周波
数よりも低い周波数に設定されている。One of the side walls 1a of the grooves 1 ...
Are formed so as to meander in the radial direction of the magneto-optical disk according to the address information of the track. Side wall 1a ...
Is set to a frequency higher than the tracking frequency of a tracking servo system (not shown) and lower than the recording frequency at the time of recording.
【0022】上記の構成において、情報の記録は、グル
ーブ1…上のトラッグおよびランド2…上のトラックに
対して行われる。よって、グルーブ1…の一方の側壁1
a…は、トラックの幅方向の側端の一方となる。光スポ
ット3をグルーブ1上のトラッグを追従させるか、ラン
ド2上のトラックを追従させるかは、トラッキング信号
の極性を反転することによって容易に選択できる。トラ
ッキング信号は例えばプッシュプル法によって得られ
る。In the above configuration, information is recorded on the tracks on the grooves 1 and the tracks on the lands 2. Therefore, one side wall 1 of the groove 1.
a ... are one of the side edges in the width direction of the track. Whether the light spot 3 follows the track on the groove 1 or the track on the land 2 can be easily selected by inverting the polarity of the tracking signal. The tracking signal is obtained by, for example, a push-pull method.
【0023】光スポット3が走査中のトラックのアドレ
ス情報は、トラッキング信号から側壁1a…の蛇行周波
数の成分を取り出すことによって求められる。The address information of the track being scanned by the light spot 3 is obtained by extracting the meander frequency component of the side walls 1a from the tracking signal.
【0024】すなわち、光スポット3を例えばグルーブ
1に追従させると、蛇行周波数が追従周波数より高いの
で、光スポット3は、グルーブ1の幅の二分割点を結ん
だ中心線上をトラッキングするのではなく、グルーブ1
の平均幅の二分割点を結んだ線上をトラッキングする。
このため、グルーブ1の蛇行振幅の半分に等しいトラッ
キング誤差が常に生じている。したがって、トラッキン
グ信号からこれを取り出せば、蛇行周波数の信号成分が
得られる。光スポット3をランド2に追従させた場合に
ついても、同様である。That is, when the light spot 3 is made to follow the groove 1, for example, the meandering frequency is higher than the following frequency. Therefore, the light spot 3 does not track on the center line connecting the two division points of the width of the groove 1. , Groove 1
Tracking on the line connecting the two division points of the average width of.
Therefore, a tracking error equal to half the meandering amplitude of the groove 1 always occurs. Therefore, if this is extracted from the tracking signal, a signal component having a meandering frequency can be obtained. The same applies to the case where the light spot 3 is made to follow the land 2.
【0025】なお、トラッキング誤差が蛇行振幅の半分
になるので、従来と同じ大きさの蛇行周波数の信号成分
を得るためには、蛇行振幅を従来の倍にしなければなら
ない。例えば、従来の蛇行振幅を±30nmとすると、
これを±60nmにする必要がある。Since the tracking error becomes half the meandering amplitude, the meandering amplitude must be doubled to obtain a signal component having the same meandering frequency as the conventional one. For example, if the conventional meandering amplitude is ± 30 nm,
This needs to be ± 60 nm.
【0026】しかしながら、グルーブ1の幅、ランド2
の幅がそれぞれ0.8μmであるときのトラッキング信
号の大きさは、グルーブ1の幅、ランド2の幅がそれぞ
れ1.2μm、0.4μmであるときのトラッキング信
号の大きさの1.4倍になるので、蛇行振幅は従来のほ
ぼ1.4倍(≒2/1.4)でよい。However, the width of the groove 1 and the land 2
Is 0.8 μm, the magnitude of the tracking signal is 1.4 times the magnitude of the tracking signal when the width of the groove 1 and the width of the land 2 are 1.2 μm and 0.4 μm, respectively. Therefore, the meandering amplitude may be approximately 1.4 times (≒ 2 / 1.4) the conventional value.
【0027】また、グルーブ1の幅、ランド2の幅がそ
れぞれ1.3μm、0.3μmであるときと比較する
と、蛇行振幅はほぼ1.1倍でよい。さらに、グルーブ
1の幅、ランド2の幅がそれぞれ1.1μm、0.5μ
mであるときと比較すると、蛇行振幅はほぼ1.7倍で
よい。The meandering amplitude may be approximately 1.1 times that when the width of the groove 1 and the width of the land 2 are 1.3 μm and 0.3 μm, respectively. Further, the width of the groove 1 and the width of the land 2 are 1.1 μm and 0.5 μm, respectively.
Compared with the case of m, the meandering amplitude may be approximately 1.7 times.
【0028】したがって、従来とほぼ同じ大きさの蛇行
周波数の信号成分を取り出すためには、蛇行振幅を±3
5nmから±50nmの範囲に設定すればよい。Therefore, in order to extract a signal component having a meandering frequency substantially the same as the conventional one, the meandering amplitude must be ± 3.
What is necessary is just to set it in the range of 5 nm to ± 50 nm.
【0029】本実施例の光磁気ディスクでは、グルーブ
1の一方の側壁1aだけを蛇行させているので、光スポ
ット3の直径をトラックピッチよりも大きく、かつ、ト
ラックピッチの二倍よりも小さく設定しておけば、二つ
の蛇行した側壁1a・1aに光スポット3が同時に当た
ることがない。このため、正確なアドレス情報が得られ
る。In the magneto-optical disk of this embodiment, since only one side wall 1a of the groove 1 is meandering, the diameter of the light spot 3 is set to be larger than the track pitch and smaller than twice the track pitch. If it does, the light spot 3 will not simultaneously hit the two meandering side walls 1a. Therefore, accurate address information can be obtained.
【0030】なお、本実施例では、グルーブ1に対応し
たトラックのアドレス情報は、このグルーブ1の側壁1
a側に隣接したランド2に対応したトラックのアドレス
情報と同一になるが、上述のように、これらのトラック
をトラッキングサーボ系によって容易に選択できるの
で、特定トラックを指定することは容易である。In this embodiment, the address information of the track corresponding to the groove 1 is stored in the side wall 1 of the groove 1.
Although the address information is the same as the address information of the track corresponding to the land 2 adjacent to the side a, these tracks can be easily selected by the tracking servo system as described above, so that it is easy to specify a specific track.
【0031】上記の光磁気ディスクに磁気超解像効果を
用いて情報を記録する場合、記録ドメインの直径を0.
4μm程度にできる。このため、トラックの幅を0.8
μmにする(すなわち、グルーブ1の幅およびランド2
の幅を共に0.8μmに設定する)と、容易に記録再生
を行うことができる。また、トラックピッチを従来の
1.6μmから半分の0.8μmにできるので、記録密
度を大幅に向上させることができる。しかも、大きなト
ラッキング信号を得ることができ、正確なアドレス情報
を得ることができる。When information is recorded on the above-described magneto-optical disk by using the magnetic super-resolution effect, the diameter of the recording domain is set to 0.
It can be about 4 μm. Therefore, the track width must be 0.8
μm (ie, the width of the groove 1 and the land 2
Are set to 0.8 μm), recording and reproduction can be easily performed. Further, since the track pitch can be reduced to half of 0.8 μm from the conventional 1.6 μm, the recording density can be greatly improved. Moreover, a large tracking signal can be obtained, and accurate address information can be obtained.
【0032】また、記録再生に用いるレーザー光の波長
を短くすると、光スポット3をより小さくできる。この
ため、トラックピッチをさらに小さくできる。例えば、
レーザー光の波長を830nmから458nmにする
と、トラックピッチを(458/830)倍にできる。
すなわち、記録密度をほぼ倍にできる。Further, when the wavelength of the laser beam used for recording and reproduction is shortened, the light spot 3 can be made smaller. For this reason, the track pitch can be further reduced. For example,
When the wavelength of the laser light is changed from 830 nm to 458 nm, the track pitch can be increased by (458/830) times.
That is, the recording density can be almost doubled.
【0033】以上の実施例では、トラッキング信号から
蛇行周波数の信号成分を取り出したが、光磁気ディスク
からの反射光の光量から蛇行周波数の信号成分を取り出
してもかまわない。すなわち、グルーブ1の幅あるいは
ランド2の幅が狭くなっていると反射光が弱くなり、広
くなっていると反射光が強くなる。したがって、光スポ
ット3の反射光の光量変化を取り出せば、蛇行周波数の
信号成分を得ることができる。In the above embodiment, the meander frequency signal component is extracted from the tracking signal. However, the meander frequency signal component may be extracted from the amount of reflected light from the magneto-optical disk. That is, when the width of the groove 1 or the land 2 is narrow, the reflected light is weak, and when the width is wide, the reflected light is strong. Therefore, if the change in the amount of reflected light from the light spot 3 is extracted, a signal component having a meandering frequency can be obtained.
【0034】上記の光磁気ディスクのマスタリング・プ
ロセスについて図2に基づいて説明すれば、以下のとお
りである。The mastering process of the above-mentioned magneto-optical disk will be described below with reference to FIG.
【0035】まず、ガラス基板4の片面にフォトレジス
ト5を塗布する(同図(a))。それから、レーザー光
を対物レンズ7によってフォトレジスト5上に収斂し、
フォトレジスト5を所望のグルーブ1のパターンに感光
させる(同図(b))。これを現像することによって、
不要なフォトレジスト5を除去し、ガラス基板4上に残
ったフォトレジスト5a…により、所望のパターンを形
成する(同図(c))。First, a photoresist 5 is applied to one surface of the glass substrate 4 (FIG. 3A). Then, the laser light is converged on the photoresist 5 by the objective lens 7,
The photoresist 5 is exposed to a desired pattern of the groove 1 (FIG. 2B). By developing this,
Unnecessary photoresist 5 is removed, and a desired pattern is formed with photoresist 5a remaining on glass substrate 4 (FIG. 3C).
【0036】次に、フォトレジスト5a…からなるパタ
ーン上に導電性の薄膜8をスパッタリング、あるいは、
無電解メッキなどによって形成する(同図(d))。薄
膜8の材料には、Ni、Ta、Crまたはその合金、あ
るいはそれらの複合膜が用いられる。それから、薄膜8
上に例えばNiからなる金属層9を電鋳で形成し(同図
(e))、これを剥離すると、金属層9と、その上に形
成された薄膜8からなるスタンパー10が得られる(同
図(f))。Next, a conductive thin film 8 is sputtered on the pattern made of the photoresists 5a.
It is formed by electroless plating or the like (FIG. 4D). As a material of the thin film 8, Ni, Ta, Cr or an alloy thereof, or a composite film thereof is used. Then, the thin film 8
A metal layer 9 made of, for example, Ni is formed on the upper surface by electroforming (FIG. 9 (e)), and when this is peeled off, a stamper 10 consisting of the metal layer 9 and the thin film 8 formed thereon is obtained (FIG. Figure (f).
【0037】このスタンパー10を用いてポリカーボネ
ート等のプラスチックを成型することにより、所望のグ
ルーブ1を有する光磁気ディスク用の基板が製造され
る。この基板上に記録媒体を形成すると、上記の光磁気
ディスクが得られる。By molding plastic such as polycarbonate using the stamper 10, a substrate for a magneto-optical disk having a desired groove 1 is manufactured. When a recording medium is formed on this substrate, the above-described magneto-optical disk is obtained.
【0038】上記のフォトレジスト5をグルーブ1のパ
ターンに感光させる工程では、二本のレーザー光が使用
される。これらのレーザー光はフォトレジスト5上に二
個の光スポット6a・6bを形成する。光スポット6a
・6bと、光スポット6a・6bにより形成されたグル
ーブ1との関係を図1(a)に示す。In the step of exposing the photoresist 5 to the pattern of the groove 1, two laser beams are used. These laser beams form two light spots 6a and 6b on the photoresist 5. Light spot 6a
FIG. 1 (a) shows the relationship between the groove 6b and the groove 1 formed by the light spots 6a and 6b.
【0039】螺旋状のグルーブ1を形成する場合、ガラ
ス基板4に相対的に光スポット6a・6bを螺旋状に移
動させるが、光スポット6aについては螺旋状に移動さ
せながら、アドレス情報に応じて光磁気ディスクの半径
方向にも振動させる。これにより、アドレス情報に応じ
て一方の側壁1aが蛇行したグルーブ1のパターンをフ
ォトレジスト5上に形成することができる。When the spiral groove 1 is formed, the light spots 6a and 6b are moved in a spiral relative to the glass substrate 4, but the light spot 6a is moved in a spiral in accordance with the address information. Vibration also occurs in the radial direction of the magneto-optical disk. Thereby, a pattern of the groove 1 in which one of the side walls 1a meanders can be formed on the photoresist 5 according to the address information.
【0040】例えば、各光スポット6a・6bの直径を
0.4μmとし、トラックピッチを0.8μmとする
と、光スポット6a・6bは互いに平均して0.4μm
だけ光磁気ディスクの半径方向に離れて配置される。ま
た、各光スポット6a・6bの直径を0.5μmとし、
トラックピッチを0.7μmとすると、光スポット6a
・6bは互いに平均して0.2μmだけ光磁気ディスク
の半径方向に離れて配置される。For example, if the diameter of each of the light spots 6a and 6b is 0.4 μm and the track pitch is 0.8 μm, the light spots 6a and 6b average 0.4 μm from each other.
Only in the radial direction of the magneto-optical disk. Further, the diameter of each of the light spots 6a and 6b is set to 0.5 μm,
When the track pitch is 0.7 μm, the light spot 6a
6b are spaced apart from each other by 0.2 μm on average in the radial direction of the magneto-optical disk.
【0041】上記のフォトレジスト5をグルーブ1のパ
ターンに感光させる記録装置の一例を図3に示す。FIG. 3 shows an example of a recording apparatus for exposing the photoresist 5 to the pattern of the groove 1. As shown in FIG.
【0042】記録装置は、フォトレジスト5を感光させ
るためのレーザー光源11aと、対物レンズ7のフォー
カシング用のレーザー光源11bを備えている。レーザ
ー光源11aには、例えばアルゴンレーザーが使用さ
れ、レーザー光源11bには、例えばHe−Neレーザ
ーが使用される。The recording apparatus has a laser light source 11a for exposing the photoresist 5 and a laser light source 11b for focusing the objective lens 7. As the laser light source 11a, for example, an argon laser is used, and as the laser light source 11b, for example, a He-Ne laser is used.
【0043】レーザー光源11aからのレーザー光は、
ノイズ抑制装置12aによって光ノイズを低減させられ
た後、ミラー19・20で反射され、ビームスプリッタ
ー21に入射する。レーザー光はビームスプリッター2
1によって二分割され、それぞれ、光変調器18a・1
8bに入射する。光変調器18a・18bとしては、例
えば音響光学素子を用いることができる。その場合、光
変調器18a・18bの前後にそれぞれ収束用の凸レン
ズ22・22を配置する必要がある。The laser light from the laser light source 11a is
After the optical noise is reduced by the noise suppression device 12 a, the light is reflected by the mirrors 19 and 20 and enters the beam splitter 21. Laser beam splitter 2
1 and divided into two optical modulators 18a and 1a, respectively.
8b. As the optical modulators 18a and 18b, for example, acousto-optic devices can be used. In that case, it is necessary to arrange convex lenses 22 for convergence before and after the optical modulators 18a and 18b, respectively.
【0044】光変調器18aを通った光ビームは光偏向
器23に入射した後、プリズムミラー24で直角方向に
反射される。光偏向器23としては、例えば、電気光学
効果、あるいは、音響光学効果を用いて進行方向を変え
ることのできる素子を用いることができる。一方、光変
調器18bを通った光ビームは(1/2)波長板25に
入射し、偏光面が90度回転される。The light beam passing through the light modulator 18a is incident on the light deflector 23, and is reflected by the prism mirror 24 in a right angle direction. As the light deflector 23, for example, an element whose traveling direction can be changed by using an electro-optic effect or an acousto-optic effect can be used. On the other hand, the light beam passing through the light modulator 18b is incident on the (1/2) wavelength plate 25, and the polarization plane is rotated by 90 degrees.
【0045】これらの光ビームは、偏光プリズム26で
再び合成された後、ビームエキスパンダー27によって
適当な光ビーム径に拡大され、二色ミラー15で反射さ
れて対物レンズ7に入射する。そして、対物レンズ7に
よってガラス基板4上のフォトレジスト5に光スポット
6a・6bとして収斂される。After these light beams are recombined by the polarizing prism 26, they are expanded to an appropriate light beam diameter by the beam expander 27, reflected by the dichroic mirror 15, and incident on the objective lens 7. Then, the light is converged by the objective lens 7 on the photoresist 5 on the glass substrate 4 as light spots 6a and 6b.
【0046】なお、上記の光変調器18a・18bは、
それぞれ、ドライバー28a・28bによって制御され
る。また、光偏向器23はドライバー29によって制御
される。The optical modulators 18a and 18b are
Each is controlled by the drivers 28a and 28b. The light deflector 23 is controlled by a driver 29.
【0047】一方、レーザー光源11bからのレーザー
光は、ノイズ抑制装置12bによって光ノイズを低減さ
せられた後、偏光ビームスプリッター13、(1/4)
波長板14、二色ミラー15を通り、対物レンズ7によ
ってガラス基板4上のフォトレジスト5に収斂される。On the other hand, the laser light from the laser light source 11b is reduced in optical noise by the noise suppression device 12b, and then the polarization beam splitter 13, (1/4)
The light passes through the wave plate 14 and the dichroic mirror 15 and is converged on the photoresist 5 on the glass substrate 4 by the objective lens 7.
【0048】その反射光は、対物レンズ7によって集光
され、二色ミラー15、(1/4)波長板14、偏光ビ
ームスプリッター13を通り、対物レンズ16およびシ
リンドリカルレンズ17によって四分割の光検出器18
に収斂される。光検出器18からの信号に基づいて、フ
ォーカスサーボ信号が生成され、フォーカスサーボ系
(図示されていない)が対物レンズ7をフォーカス方向
に駆動する。これにより、スピンドルモーター30で回
転しているガラス基板4上のフォトレジスト5に対物レ
ンズ7の焦点が常に合わされる。The reflected light is condensed by the objective lens 7, passes through the dichroic mirror 15, the (1 /) wavelength plate 14, and the polarization beam splitter 13, and is subjected to four-division light detection by the objective lens 16 and the cylindrical lens 17. Container 18
Is converged. A focus servo signal is generated based on a signal from the photodetector 18, and a focus servo system (not shown) drives the objective lens 7 in a focus direction. Thus, the focus of the objective lens 7 is always focused on the photoresist 5 on the glass substrate 4 rotated by the spindle motor 30.
【0049】上記の構成において、まず、光スポット6
aの位置決めを行う。すなわち、光スポット6aが、上
述したように、光スポット6bから半径方向に所定の平
均距離だけ離れた位置に配置されるように、ドライバー
29より光偏向器23に印加される直流電圧の大きさ
と、プリズムミラー24のセッティング角度とが調整さ
れる。In the above configuration, first, the light spot 6
Positioning a is performed. That is, as described above, the magnitude of the DC voltage applied to the optical deflector 23 by the driver 29 so that the light spot 6a is arranged at a position spaced apart from the light spot 6b by a predetermined average distance in the radial direction. , The setting angle of the prism mirror 24 is adjusted.
【0050】それから、上記の直流電圧に蛇行周波数の
信号電圧を重畳させた電圧をドライバー29より光偏向
器23に印加する。これにより、光スポット6aを蛇行
周波数に応じて半径方向に振動させることができる。Then, a voltage obtained by superimposing a signal voltage having a meandering frequency on the DC voltage is applied from the driver 29 to the optical deflector 23. Thereby, the light spot 6a can be vibrated in the radial direction according to the meandering frequency.
【0051】なお、ドライバー28a・28bから光変
調器18a・18bに電圧を印加することにより、光ス
ポット6a・6bをオン・オフすることができる。The light spots 6a and 6b can be turned on and off by applying a voltage from the drivers 28a and 28b to the light modulators 18a and 18b.
【0052】以上の実施例では、光磁気ディスクおよび
その製造方法ならびに情報記録再生装置について説明し
たが、蛇行したグルーブを有する光ディスクおよびその
製造方法ならびに情報記録再生装置に本発明を広く応用
できる。In the above embodiments, a magneto-optical disk, a method for manufacturing the same, and an information recording / reproducing apparatus have been described. However, the present invention can be widely applied to an optical disk having a meandering groove, a method for manufacturing the same, and an information recording / reproducing apparatus .
【0053】[0053]
【発明の効果】本発明に係る光記録媒体は、以上のよう
に、トラックの幅方向の側端の一方を蛇行させる構成で
あるため、記録密度を向上することができる。また、正
確なアドレス情報を得ることができるという効果を奏す
る。As described above, the optical recording medium according to the present invention has a configuration in which one of the side edges in the width direction of the track is meandering.
Therefore, the recording density can be improved. Further, there is an effect that accurate address information can be obtained.
【0054】また、本発明の情報記録再生装置では、光
記録媒体のトラックの幅方向の側端の一方の蛇行によっ
て記録された情報を確実に取り出すことができるという
効果を奏する。 In the information recording / reproducing apparatus according to the present invention,
The meandering of one side of the width direction of the track of the recording medium
That the recorded information can be retrieved reliably.
It works.
【図1】本発明の蛇行したグルーブを有する光磁気ディ
スクの概略構成を示すものであり、(a)は概略の平面
図、(b)は(a)の破線における概略の縦断面図であ
る。FIGS. 1A and 1B show a schematic configuration of a magneto-optical disk having a meandering groove according to the present invention, wherein FIG. 1A is a schematic plan view, and FIG. 1B is a schematic longitudinal sectional view taken along a broken line in FIG. .
【図2】図1の光磁気ディスクで使用される基板のマス
タリング・プロセスを示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a mastering process of a substrate used in the magneto-optical disk of FIG.
【図3】図2のマスタリング・プロセスのフォトレジス
トの感光工程で使用される記録装置の概略を示すブロッ
ク図である。3 is a block diagram schematically showing a recording apparatus used in a photoresist exposure step of the mastering process of FIG. 2;
【図4】従来の蛇行したグルーブを有する光磁気ディス
クの概略構成を示すものであり、(a)は概略の平面
図、(b)は(a)の破線における概略の縦断面図であ
る。4A and 4B show a schematic configuration of a conventional magneto-optical disk having a meandering groove, in which FIG. 4A is a schematic plan view, and FIG. 4B is a schematic longitudinal sectional view taken along a broken line in FIG.
1 グルーブ 1a 側壁 2 ランド 3 光スポット 4 ガラス基板 5 フォトレジスト 5a フォトレジスト 6a 光スポット 6b 光スポット 7 対物レンズ Reference Signs List 1 groove 1a side wall 2 land 3 light spot 4 glass substrate 5 photoresist 5a photoresist 6a light spot 6b light spot 7 objective lens
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 7/24 561 G11B 7/00──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 7/24 561 G11B 7/00
Claims (7)
光記録媒体において、 前記トラックの幅方向の側端の一方のみが蛇行している
ことを特徴とする光記録媒体。1. An optical recording medium having a track for recording information formed thereon, wherein only one of the side edges in the width direction of the track is meandering.
光記録媒体において、 アドレス情報が、前記トラックの幅方向の側端の一方の
蛇行により記録されてなることを特徴とする光記録媒
体。2. An optical recording medium in which a track for recording information is formed, wherein address information is recorded by meandering one of the side edges in the width direction of the track.
る光記録媒体において、 アドレス情報が、前記グルーブにおける互いに隣接する
側壁の一方の蛇行により記録されていることを特徴とす
る光記録媒体。3. An optical recording medium having grooves and lands between the grooves, wherein address information is recorded by meandering one of side walls adjacent to each other in the grooves.
ブ間のランドの幅の平均値に等しくなるように設定され
ていることを特徴とする請求項3記載の光記録媒体。4. The optical recording medium according to claim 3, wherein the average value of the width of the groove is set to be equal to the average value of the width of the land between the grooves.
から±50nmの範囲であることを特徴とする請求項
1、2又は3記載の光記録媒体。5. The meandering amplitude of the meandering side wall is ± 35 nm.
4. The optical recording medium according to claim 1, wherein the optical recording medium is within a range of ± 50 nm.
ラックが形成され、該トラックの幅方向の側端の一方の
みが蛇行してなる光記録媒体に対して、情報を記録又は
再生する情報記録再生装置であって、 光スポットを、前記トラックに対して追従させる手段
と、 該光スポットのトラッキング信号を検出する手段と、 該トラッキング信号から前記蛇行した側端の蛇行周波数
成分を取り出して、アドレス情報を得る手段とを有して
なることを特徴とする情報記録再生装置。6. An information recording device for recording or reproducing information on an optical recording medium in which a track on which information is recorded is formed by having a groove, and only one of the side edges in the width direction of the track is meandering. A reproducing apparatus, comprising: means for causing a light spot to follow the track; means for detecting a tracking signal of the light spot; extracting a meandering frequency component at the meandering side end from the tracking signal; An information recording / reproducing apparatus comprising: means for obtaining information.
ラックが形成され、該トラックの幅方向の側端の一方の
みが蛇行してなる光記録媒体に対して、情報を記録又は
再生する情報記録再生装置であって、 光スポットを、前記トラックに対して追従させる手段
と、 該光スポットの反射光量を検出する手段と、 該反射光量から前記蛇行した側端の蛇行周波数成分を取
り出して、アドレス情報を得る手段とを有してなること
を特徴とする情報記録再生装置。7. An information recording device for recording or reproducing information on an optical recording medium in which a track on which information is recorded is formed by having a groove, and only one of the lateral ends of the track is meandering. A reproducing apparatus, comprising: means for causing a light spot to follow the track; means for detecting the amount of reflected light of the light spot; extracting the meandering frequency component of the meandering side end from the reflected light amount; An information recording / reproducing apparatus comprising: means for obtaining information.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4119082A JP2854187B2 (en) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | Optical recording medium and information recording / reproducing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4119082A JP2854187B2 (en) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | Optical recording medium and information recording / reproducing device |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10126937A Division JP2999994B2 (en) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | Optical recording / reproducing device and optical recording medium |
JP10126936A Division JP3046796B2 (en) | 1998-05-11 | 1998-05-11 | Manufacturing method of optical recording medium |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05314538A JPH05314538A (en) | 1993-11-26 |
JP2854187B2 true JP2854187B2 (en) | 1999-02-03 |
Family
ID=14752439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4119082A Expired - Lifetime JP2854187B2 (en) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | Optical recording medium and information recording / reproducing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2854187B2 (en) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3150850B2 (en) * | 1994-07-08 | 2001-03-26 | シャープ株式会社 | Manufacturing method of magneto-optical disk master |
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JPH08329507A (en) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | Sharp Corp | Method and device for correcting tracking and optical disk |
JP3669442B2 (en) * | 1995-06-26 | 2005-07-06 | シャープ株式会社 | Disc-shaped recording medium and disc recording / reproducing apparatus |
DE69732728T2 (en) | 1996-01-26 | 2006-04-06 | Sharp K.K. | An optical recording medium and an optical recording-reproducing apparatus, and a method of manufacturing an optical recording medium |
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JP2002208186A (en) | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Sony Corp | Optical recording medium |
US6724708B2 (en) | 2001-06-20 | 2004-04-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical disk medium and method and apparatus for reading information |
US7564773B2 (en) | 2002-12-24 | 2009-07-21 | Fujitsu Limited | Optical disk including address data recording region formed with paired wobbling sections of identical phase |
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-
1992
- 1992-05-12 JP JP4119082A patent/JP2854187B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05314538A (en) | 1993-11-26 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081120 Year of fee payment: 10 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091120 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091120 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101120 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111120 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111120 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121120 Year of fee payment: 14 |