JP2850390B2 - Semiconductor memory - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体メモリに関し、特に基板電位発生回路
を駆動する自励発振器の出力信号により各種試験および
評価を行なう半導体メモリに関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory, and more particularly, to a semiconductor memory that performs various tests and evaluations using an output signal of a self-excited oscillator that drives a substrate potential generating circuit.
従来の半導体メモリは、ダイナミックメモリおよびス
タティックメモリがあるが、ここではダイナミックメモ
リについて説明する。Conventional semiconductor memories include a dynamic memory and a static memory. Here, the dynamic memory will be described.
第4図はかかる従来の一例を示す半導体メモリのブロ
ック図である。FIG. 4 is a block diagram of a semiconductor memory showing an example of such a prior art.
第4図に示すように、従来の半導体メモリ、特にダイ
ナミックメモリにおいて、▲▼,▲▼,▲
▼,DIN,DOUT,Ai(i=0〜n)はそれぞれ半導体メ
モリの外部端子であり、それぞれ▲▼はロウアド
レスストローブ、▲▼はカラムアドレスストロー
ブ、▲▼はライトイネーブルコントロール端子であ
る。また、Ai(i=0〜n)はアドレス入力端子、DIN
はデータ入力端子、DOUTはデータ出力端子である。As shown in FIG. 4, in a conventional semiconductor memory, particularly in a dynamic memory, ▲ ▼, ▲ ▼, ▲
▼, D IN , D OUT , Ai (i = 0 to n) are external terminals of the semiconductor memory, respectively, ▲ ▼ is a row address strobe, ▲ ▼ is a column address strobe, and ▲ ▼ is a write enable control terminal. . Ai (i = 0 to n) is an address input terminal, D IN
Is a data input terminal, and D OUT is a data output terminal.
まず▲▼に対しては、▲▼クロック発生
回路4およびCBR判定回路7Aを駆動し、セットアップ時
間及びホールド時間を保ってロウアドレスをアドレス入
力回路9A〜9Nに取り込む。取り込んだアドレス情報はア
ドレスバッファ10によりロウデコーダ12が決定され、ワ
ード線が選択される。次に、選択されたメモリセルアレ
イ15のワード線上のメモリセルの電位により、微少信号
差を与えられたビット線がセンスアンプ14により増幅さ
れる。一方、カラムデコーダ11は、CASクロック発生回
路5からの▲▼信号に対してセットアップ時間及
びホールド時間を保つとともに入力されたアドレスA1〜
Anにより決定されたカラムデコーダ11の出力がI/Oゲー
ト13を駆動し、増幅の終了したビット線とI/O線とを接
続する。リードサイクルにおいては、I/Oスイッチ18に
よりDOUTバッファ17に前記I/O線が接続され、DOUT端子
にデータが出力される。また、ライトサイクルにおいて
は、▲▼端子がイネーブルになることで、▲▼
クロック発生回路6からDINバッファ16を駆動し、DIN端
子のデータがI/O線に書き込まれ、I/Oスイッチ18および
I/Oゲート13を通してメモリセルアレイ15のメモリセル
に所望のデータが書き込まれる。First, for ▲, the 発 生 clock generator 4 and the CBR determination circuit 7A are driven, and the row address is taken into the address input circuits 9A to 9N while keeping the setup time and the hold time. The fetched address information is determined by the row decoder 12 by the address buffer 10, and a word line is selected. Next, the sense amplifier 14 amplifies the bit line to which a small signal difference is given by the potential of the memory cell on the word line of the selected memory cell array 15. On the other hand, the column decoder 11 maintains the setup time and the hold time with respect to the signal from the CAS clock generation circuit 5,
The output of the column decoder 11 determined by An drives the I / O gate 13 and connects the amplified bit line to the I / O line. In the read cycle, the I / O switch 18 connects the I / O line to the DOUT buffer 17 and outputs data to the DOUT terminal. In the write cycle, when the ▲ ▼ terminal is enabled, ▲ ▼
The DIN buffer 16 is driven from the clock generation circuit 6, and the data of the DIN terminal is written to the I / O line.
Desired data is written to the memory cells of the memory cell array 15 through the I / O gate 13.
以上の動作がダイナミックメモリのリード及びライト
の動作である。The above operations are the read and write operations of the dynamic memory.
しかしながら、ダイナミックメモリでは、以下に述べ
るリフレッシュ動作が必要である。すなわち、メモリセ
ルアレイ15におけるメモリセルの“1"レベルのリークに
よるリード時の誤動作を防止するために、ある一定期間
中にワード線を選択し、メモリセルのデータをセンスア
ンプ14により増幅してから、メモリセルに高い“1"レベ
ルを入れ直す必要がある。これがリフレッシュと呼ばれ
る動作である。勿論、リードサイクル及びライトサイク
ルにおいても、選択されるワード線は上述の動作を行な
っているので、リフレッシュを行なっていることにな
る。However, the dynamic memory requires the following refresh operation. That is, in order to prevent a malfunction at the time of reading due to “1” level leakage of a memory cell in the memory cell array 15, a word line is selected during a certain period, and data of the memory cell is amplified by the sense amplifier 14. Therefore, it is necessary to reset a high "1" level to the memory cell. This is an operation called refresh. Of course, in the read cycle and the write cycle as well, the selected word line performs the above-described operation, so that the refresh is performed.
例えば、256Kメモリにおいては、4msecに256回のリフ
レッシュ、1Mメモリでは8msecに512回のリフレッシュを
行なうのが一般のダイナミックメモリであり、ROR(RAS
ONLY REFRESH)、CBR(CAS BEFORE RAS)リフレッシュ
といったサイクルによって行なわれる。For example, in a 256K memory, a general dynamic memory performs 256 refreshes in 4 msec, and a 1M memory performs 512 refreshes in 8 msec.
ONLY REFRESH) and CBR (CAS BEFORE RAS) refresh.
このRORは▲▼端子にのみ周期的にパルスを加
えて行なうのであるが、入力アドレスのデータをサイク
ル毎に変える必要があり、メモリの使用上面倒なため、
256Kメモリ以降のメモリはCBRリフレッシュによるリフ
レッシュが可能なように改良されている。すなわち、第
4図に示すCBR判定回路7A及びリフレッシュアドレスカ
ウンタ8A〜8Nを搭載しているメモリが256K以降の主流で
ある。かかるCBRリフレッシュは、▲▼のVIHから
VILの遷移時刻を▲▼のそれよりも早くすること
により開始される。どちらが早いかは内部のCBR判定回
路7Aによって判定される。CBRサイクルであると判定さ
れれば、外部端子Ai(i=1〜n)の情報の取り込みが
禁止され、リフレッシュアドレスカウンタ8A〜8Nの情報
を各々のアドレス入力回路9A〜9Nが取り込む。このリフ
レッシュアドレスカウンタ8A〜8Nの情報はCBRサイクル
に入る毎にCBR判定回路7Aから出力され、最下位bitのリ
フレッシュアドレスカウンタ8Aへと入力する信号φA′
により、インクリメントもしくはディクリメントされ
る。従って、4msecに256回リフレッシュ動作が必要なメ
モリにおいては、256回のCBRサイクルを行なうことによ
り、i=1〜8迄のリフレッシュアドレスカウンタ8A〜
8Nの8bitのデータの組み合わせがすべて変わり、全部の
ワード線が選択され、全メモリがリフレッシュされるこ
とになる。This ROR is performed by periodically applying a pulse only to the ▲ ▼ terminals, but it is necessary to change the data of the input address in each cycle, and the use of memory is complicated,
The memory after 256K memory has been improved so that it can be refreshed by CBR refresh. That is, the memory having the CBR determination circuit 7A and the refresh address counters 8A to 8N shown in FIG. 4 is the mainstream after 256K. Such a CBR refresh, ▲ ▼ from the V IH
Initiated by quickly transition time of V IL ▲ ▼ than that of. Which is earlier is determined by the internal CBR determination circuit 7A. If it is determined that the cycle is the CBR cycle, the fetching of the information of the external terminals Ai (i = 1 to n) is prohibited, and the information of the refresh address counters 8A to 8N is fetched by the respective address input circuits 9A to 9N. Information of the refresh address counter 8A~8N is output from the CBR decision circuit 7A for each entering the CBR cycle, the signal phi A is input to the refresh address counter 8A lowest bit '
Is incremented or decremented. Therefore, in a memory requiring a refresh operation 256 times in 4 msec, the refresh address counters 8A to 8A to i = 1 to 8 are obtained by performing 256 CBR cycles.
All combinations of 8N 8-bit data are changed, all word lines are selected, and all memories are refreshed.
また、第4図の基板電位発生回路2は基板電位をマイ
ナスの電位に保つために記載されており、これは「メモ
リ内のトランジスタのリーク電流の増加→基板電位の浮
き上り→トランジスタのスレッショルド電圧VTの低下→
トランジスタのリーク電流の増加」というループを防止
するために設けられている。このため、第4図の様に自
励発振器1により周期的に基板電位発生回路2を駆動
し、基板電位を周期的にポンピングする構成をとること
が多い。かかる自励発振器1はメモリデバイスがスタン
バイの状態にある時も動作させておくため、外部端子へ
の印加レベルに無関係に動作するのが普通である。Further, the substrate potential generating circuit 2 in FIG. 4 is described to keep the substrate potential at a negative potential, which is described as “increase in the leakage current of the transistor in the memory → floating of the substrate potential → threshold voltage of the transistor”. V T decrease →
This is provided in order to prevent a loop of “increase in transistor leakage current”. For this reason, a configuration is often adopted in which the substrate potential generation circuit 2 is periodically driven by the self-excited oscillator 1 and the substrate potential is periodically pumped as shown in FIG. Since the self-excited oscillator 1 is operated even when the memory device is in a standby state, the self-excited oscillator normally operates regardless of the level applied to the external terminal.
上述した従来の半導体メモリは、自励発振器により周
期的に基板電位発生回路を駆動する構成となっているの
で、次の点で駆動信号の周波数特性を評価しにくいとい
う欠点がある。The conventional semiconductor memory described above has a configuration in which the substrate potential generating circuit is periodically driven by the self-excited oscillator, and thus has a drawback that it is difficult to evaluate the frequency characteristics of the drive signal in the following points.
すなわち、第一にはウェハー段階の評価が困難である
こと、第二には組立後の評価においてもモールド樹脂等
の削除の面倒があるので波形観察に手間がかかること、
および第三には低温や高温での評価が困難であること等
の理由で駆動信号の周波数特性を評価しにくいという欠
点がある。That is, firstly, it is difficult to evaluate at the wafer stage, and secondly, it is troublesome to remove the mold resin and the like in the evaluation after assembly, so that it takes time and effort to observe the waveform,
The third problem is that it is difficult to evaluate the frequency characteristics of the drive signal because the evaluation at low or high temperatures is difficult.
本発明の目的は、かかるウェハー段や組立後における
駆動信号の周波数特性を評価しやすくなるとともに、低
温および高温での周波数特性評価を容易にすることので
きる半導体メモリを提供することにある。An object of the present invention is to provide a semiconductor memory capable of easily evaluating the frequency characteristics of a driving signal after such a wafer stage or assembling and facilitating the evaluation of the frequency characteristics at low and high temperatures.
本発明の半導体メモリは、内蔵の自励発振器と、前記
自励発振器による駆動信号で基板電圧を発生させる基板
電圧発生回路と、メモリセルアレイに対するリフレッシ
ュアドレスを設定するための複数のリフレッシュ・アド
レス・カウンタと、ロウ・アドレス・ストローブ信号,
カラム・アドレス・ストローブ信号が所定の条件を満た
すとき前記複数のリフレッシュ・アドレス・カウンタに
よるリフレッシュ動作を行わせるためのリフレッシュ判
定回路と、テスト信号を外部より供給するための外部テ
スト端子と、前記外部テスト端子と前記自励発振器およ
び前記リフレッシュ判定回路に接続され、前記テスト信
号,前記リフレッシュ判定回路の判定出力により、テス
トサイクルになったとき、前記自励発振器の前記駆動信
号を前記複数のリフレッシュ・アドレス・カウンタのう
ちの最下位のリフレッシュ・アドレス・カウンタへ出力
するテスト回路とを有し、前記複数のリフレッシュ・ア
ドレス・カウンタの出力を前記駆動信号によって制御す
るように構成される。A semiconductor memory according to the present invention includes a built-in self-excited oscillator, a substrate voltage generation circuit for generating a substrate voltage by a drive signal from the self-excited oscillator, and a plurality of refresh address counters for setting a refresh address for a memory cell array. And the row address strobe signal,
A refresh determination circuit for performing a refresh operation by the plurality of refresh address counters when a column address strobe signal satisfies a predetermined condition; an external test terminal for supplying a test signal from outside; A test terminal is connected to the self-excited oscillator and the refresh judging circuit. When the test signal and the judgment output of the refresh judging circuit enter a test cycle, the drive signal of the self-excited oscillator is supplied to the plurality of refresh circuits. A test circuit for outputting to the least significant refresh address counter of the address counters, wherein outputs of the plurality of refresh address counters are controlled by the drive signal.
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例を示す半導体メモリのブロ
ック図である。FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor memory showing one embodiment of the present invention.
第1図に示すように、本実施例は前述した従来例と比
較してテスト回路3とその周辺を除いて同一であるの
で、従来例と同一番号の回路についてはその説明を省略
する。まず、TEはテストイネーブル端子であり、φ0は
基板電位発生回路2を駆動させる自励発振器1の出力信
号、もしくはそれに対して位相差をもつ信号である。ま
た、φAはCBR判定回路7の出力信号であり、φA′は
最下位のリフレッシュアドレスカウンタ8Aへの入力信号
である。尚、本実施例の動作に関しても、通常のライト
サイクル及びリードサイクルにおいては、従来例と同一
であり、テスト回路に影響されない。As shown in FIG. 1, the present embodiment is the same as the above-described conventional example except for the test circuit 3 and its periphery, so that the description of the circuits having the same numbers as those of the conventional example will be omitted. First, TE is the test enable terminal, phi 0 is a signal having a phase difference own output signal of the excited oscillator 1, or against it which drives the substrate potential generating circuit 2. Further, the phi A is the output signal of the CBR decision circuit 7, phi A 'is the input signal to the least significant of the refresh address counter 8A. The operation of this embodiment is the same as that of the conventional example in a normal write cycle and a read cycle, and is not affected by the test circuit.
第2図は第1図に示すテスト回路の構成図である。 FIG. 2 is a configuration diagram of the test circuit shown in FIG.
第2図に示すように、本実施例におけるテスト回路は
TE端子と接地間にNチャネルトランジスタQ11〜Q1mおよ
びQ21〜Q2nが接続されている。また、Iはインバータ、
QP1,QP2はPチャネルトランジスタ、QN1,QN2はNチャネ
ルトランジスタである。かかるテスト回路の動作につい
ては、以下の第3図とともに説明する。As shown in FIG. 2, the test circuit in this embodiment is
N-channel transistor between ground and TE terminal Q 11 to Q 1 m and Q 21 to Q 2n are connected. I is an inverter,
Q P1 and Q P2 are P-channel transistors, and Q N1 and Q N2 are N-channel transistors. The operation of the test circuit will be described with reference to FIG.
第3図は第1図及び第2図における各種信号のタイミ
ング図である。FIG. 3 is a timing chart of various signals in FIG. 1 and FIG.
第3図に示すように、本実施例におけるテスト回路
は、CBRサイクルにおいてTE端子にロウレベルが印加さ
れているので、φTはロウレベルにある。従って、トラ
ンジスタQN1,QP1がオンするため、φAがφA′とな
り、リフレッシュアドレスカウンタ8A〜8Nのデータを1
だけインクリメントさせる。テストサイクルにおいて
は、▲▼及び▲▼がハイレベルにあるの
で、メモリはスタンバイ状態にある。この時、TE端子に
ハイレベルを加えてφTをハイレベルにすることによ
り、トランジスタQN1,QP1をオフとし、トランジスタ
QN2,QP2をオンさせる。このサイクルでは、φ0がφ
A′となり、自励発振器1の周期でφA′がクロッキン
グされる。従って、テストサイクルの時間をtC、自励発
振器1の周期をt0とすれば、リフレッシュアドレスカウ
ンタ8A〜8NのデータはtC/t0だけインクリメントされる
ことになる。第3図においては、テストサイクルtCが2t
0に相当するので、リフレッシュアドレスカウンタ8A〜8
Nのデータは2だけインクリメントされる。As shown in FIG. 3, the test circuit in the present embodiment, since the low level is applied to the TE terminal in CBR cycle, the phi T is at a low level. Therefore, since the transistors Q N1 and Q P1 are turned on, φ A becomes φ A ' , and the data of the refresh address counters 8A to 8N is set to 1
Only increment. In the test cycle, since ▲ and ▼ are at the high level, the memory is in the standby state. At this time, by the high level of phi T by a high level added to the TE terminal, and turns off the transistor Q N1, Q P1, transistor
Turn on Q N2 and Q P2 . In this cycle, φ 0 becomes φ
A ′ , and φA ′ is clocked at the cycle of the self-excited oscillator 1. Therefore, if the time of the test cycle is t C and the cycle of the self-excited oscillator 1 is t 0 , the data of the refresh address counters 8A to 8N are incremented by t C / t 0 . In FIG. 3, the test cycle t C is 2t
0 , so refresh address counters 8A-8
The data of N is incremented by two.
以上説明したように、本発明半導体メモリは、テスト
サイクルにおいて、リフレッシュアドレスカウンタのビ
ット情報を基板電位発生回路を駆動させる自励発振器の
出力信号でインクリメントできるので、リフレッシュア
ドレスカウンタの情報がいくつ増加したかを知ることに
より、非同期信号の周期或いは周波数を評価することが
でき、しかもこの評価は波形観察等の必要がなく、通常
のメモリテスタでテストパターンを実行させるだけで行
なえるので、低温あるいは高温にかかわらず自励発振器
の周波数を簡単に測定できるという効果がある。As described above, in the semiconductor memory of the present invention, in the test cycle, the bit information of the refresh address counter can be incremented by the output signal of the self-excited oscillator for driving the substrate potential generating circuit, so that the information of the refresh address counter has increased. By knowing this, the cycle or frequency of the asynchronous signal can be evaluated. Moreover, since this evaluation does not require waveform observation or the like and can be performed only by executing a test pattern with a normal memory tester, Regardless of the above, there is an effect that the frequency of the self-excited oscillator can be easily measured.
第1図は本発明の一実施例を示す半導体メモリのブロッ
ク図、第2図は第1図に示すテスト回路の構成図、第3
図は第1図及び第2図における各種信号のタイミング
図、第4図は従来の一例を示す半導体メモリのブロック
図である。 1……自励発振器、2……基板電位発生回路、3……テ
スト回路、4……▲▼クロック発生回路、5……
▲▼クロック発生回路、6……▲▼クロック
発生回路、7……CBR判定回路、8A〜8N……リフレッシ
ュ・アドレス・カウンタ、9A〜9N……アドレス入力回
路、10……アドレスバッファ、11……カラムデコーダ、
12……ロウデコーダ、13……I/Oゲート、14……センス
アンプ、15……メモリセルアレイ、16……DINバッフ
ァ、17……DOUTバッファ、18……I/Oスイッチ、Q11〜Q
1m,Q21〜Q2n,QN1,QN2……Nチャネルトランジスタ、
QP1,QP2……Pチャネルトランジスタ、φA……CBR判定
出力、φ0……自励発振器出力、φA′……最下位リフ
レッシュアドレスカウンタ入力。FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor memory showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram of a test circuit shown in FIG.
FIG. 4 is a timing chart of various signals in FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is a block diagram of a semiconductor memory showing an example of a conventional example. 1 self-excited oscillator, 2 substrate potential generation circuit, 3 test circuit, 4 clock generation circuit, 5 clock circuit
▲ ▼ Clock generation circuit, 6 ... ▲ ▼ Clock generation circuit, 7 ... CBR determination circuit, 8A-8N ... Refresh address counter, 9A-9N ... Address input circuit, 10 ... Address buffer, 11 ... … Column decoder,
12 ...... row decoder, 13 ...... I / O gate, 14 ...... sense amplifier, 15 ...... memory cell array, 16 ...... D IN buffer, 17 ...... D OUT buffer, 18 ...... I / O switch, Q 11 ~ Q
1m, Q 21 ~Q 2n, Q N1, Q N2 ...... N -channel transistor,
Q P1 , Q P2 ... P-channel transistor, φ A ... CBR judgment output, φ 0 ... Self-excited oscillator output, φ A ′ ... Least significant refresh address counter input.
Claims (1)
る駆動信号で基板電圧を発生させる基板電圧発生回路
と、メモリセルアレイに対するリフレッシュアドレスを
設定するための複数のリフレッシュ・アドレス・カウン
タと、ロウ・アドレス・ストローブ信号,カラム・アド
レス・ストローブ信号が所定の条件を満たすとき前記複
数のリフレッシュ・アドレス・カウンタによるリフレッ
シュ動作を行わせるためのリフレッシュ判定回路と、テ
スト信号を外部より供給するための外部テスト端子と、
前記外部テスト端子と前記自励発振器および前記リフレ
ッシュ判定回路に接続され、前記テスト信号,前記リフ
レッシュ判定回路の判定出力により、テストサイクルに
なったとき、前記自励発振器の前記駆動信号を前記複数
のリフレッシュ・アドレス・カウンタのうちの最下位の
リフレッシュ・アドレス・カウンタへ出力するテスト回
路とを有し、前記複数のリフレッシュ・アドレス・カウ
ンタの出力を前記駆動信号によって制御することを特徴
とする半導体メモリ。An internal self-excited oscillator; a substrate voltage generating circuit for generating a substrate voltage by a drive signal from the self-excited oscillator; a plurality of refresh address counters for setting a refresh address for a memory cell array; A refresh determination circuit for performing a refresh operation by the plurality of refresh address counters when the row address strobe signal and the column address strobe signal satisfy predetermined conditions; and a refresh determination circuit for externally supplying a test signal. An external test terminal,
The test signal and the judgment output of the refresh judgment circuit are connected to the external test terminal, the self-excited oscillator and the refresh judgment circuit. A test circuit for outputting to the lowermost refresh address counter of the refresh address counters, wherein the outputs of the plurality of refresh address counters are controlled by the drive signal. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1205913A JP2850390B2 (en) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | Semiconductor memory |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP1205913A JP2850390B2 (en) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | Semiconductor memory |
Publications (2)
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JPH0369091A JPH0369091A (en) | 1991-03-25 |
JP2850390B2 true JP2850390B2 (en) | 1999-01-27 |
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ID=16514824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1205913A Expired - Lifetime JP2850390B2 (en) | 1989-08-08 | 1989-08-08 | Semiconductor memory |
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JP (1) | JP2850390B2 (en) |
-
1989
- 1989-08-08 JP JP1205913A patent/JP2850390B2/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPH0369091A (en) | 1991-03-25 |
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