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JP2848354B2 - Magnetic head slider and magnetic disk drive - Google Patents

Magnetic head slider and magnetic disk drive

Info

Publication number
JP2848354B2
JP2848354B2 JP8243256A JP24325696A JP2848354B2 JP 2848354 B2 JP2848354 B2 JP 2848354B2 JP 8243256 A JP8243256 A JP 8243256A JP 24325696 A JP24325696 A JP 24325696A JP 2848354 B2 JP2848354 B2 JP 2848354B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
head slider
magnetic disk
contact pad
magnetic
Prior art date
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Application number
JP8243256A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH1091901A (en
Inventor
明伸 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP8243256A priority Critical patent/JP2848354B2/en
Priority to US08/929,096 priority patent/US5889635A/en
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Application granted granted Critical
Publication of JP2848354B2 publication Critical patent/JP2848354B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドスライ
ダおよび磁気ディスク装置に関し、特に、磁気ヘッドス
ライダが磁気ディスク媒体と密接して相対移動し、記録
再生を行う接触式磁気ディスク装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head slider and a magnetic disk drive, and more particularly, to a contact type magnetic disk drive in which a magnetic head slider moves closely in contact with a magnetic disk medium to perform recording and reproduction.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報記憶ファイルの分野におい
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高密度記録化の重要な要
素の1つとなっている。磁気ヘッドと磁気ディスク媒体
との間隙を小さくするために、磁気ヘッドが磁気ディス
ク媒体面に接触摺動しながら記録再生を行う、いわゆ
る、接触式磁気ディスク装置が開発されている(例え
ば、「H.Hamilton:Journal of
Magnetic Society of Japa
n, Vol.15,Supplement No.S
2(1991)483」、および「特願平5−5088
08号(特表平5−814495号公報)」参照)。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of information storage files, recording density has been steadily improved. For this reason, in the magnetic disk device, making the gap between the magnetic head for writing / reading information and the magnetic disk medium holding the information smaller is one of the important factors for high-density recording. I have. In order to reduce the gap between the magnetic head and the magnetic disk medium, a so-called contact magnetic disk device that performs recording and reproduction while the magnetic head slides on the surface of the magnetic disk medium has been developed (for example, "H"). Hamilton: Journal of
Magnetic Society of Japan
n, Vol. 15, Supplement No. 15; S
2 (1991) 483 "and" Japanese Patent Application No. 5-5088.
08 (Tokuhyohei 5-814495) ").

【0003】この種の接触式磁気ディスク装置では、磁
気ディスク媒体と磁気ヘッドスライダのコンタクトパッ
ドとの接触による両者の摩耗損傷を防ぐために、磁気デ
ィスク媒体上に潤滑剤が塗布される。
In this type of contact type magnetic disk drive, a lubricant is applied onto the magnetic disk medium in order to prevent wear and tear of the magnetic disk medium and the contact pads of the magnetic head slider due to contact between them.

【0004】しかし、このような接触式磁気ディスク装
置では、磁気ディスク媒体の高速回転による遠心力によ
って磁気ディスク媒体上の潤滑剤が外周部に移動するこ
とによって、磁気ディスク媒体の内周部や中周部では潤
滑剤の膜厚が減少してしまう現象が生じている。
However, in such a contact type magnetic disk drive, the lubricant on the magnetic disk medium moves to the outer peripheral part by the centrifugal force caused by the high-speed rotation of the magnetic disk medium, so that the inner peripheral part and the middle part of the magnetic disk medium are moved. In the peripheral portion, a phenomenon occurs in which the thickness of the lubricant decreases.

【0005】なお、浮上式磁気ディスク装置において
も、CSS(Contact Start Stop)
方式が採用される場合には、動作開始時に磁気ヘッドス
ライダが磁気ディスク媒体から浮上するまでの間、およ
び停止時に磁気ディスク媒体の回転が停止するまでの間
には、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体とが摺動
状態にある。したがって、このような磁気ディスク装置
においては、磁気ディスク媒体上に潤滑剤が塗布されて
おり、潤滑剤の枯渇に関する問題も生じている。
[0005] In a floating magnetic disk drive, a CSS (Contact Start Stop) is also used.
When the method is adopted, the magnetic head slider and the magnetic disk medium are not moved until the magnetic head slider flies above the magnetic disk medium at the start of operation and until the rotation of the magnetic disk medium stops at the time of stop. Are in a sliding state. Therefore, in such a magnetic disk device, the lubricant is applied on the magnetic disk medium, and there is a problem regarding the depletion of the lubricant.

【0006】このような従来の浮上式磁気ディスク装置
に関する「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯渇するのを
防ぐための技術」としては、磁気ディスク媒体上の保護
膜として水素化炭素や窒素化炭素を用い、さらにその上
に塗布する潤滑剤を極性基を有するようにすることによ
って潤滑剤と保護膜との結合を強めることが行われてい
た(「特開平6−333231号公報」参照)。
As a technique for preventing the depletion of the lubricant on the magnetic disk medium with respect to such a conventional levitation type magnetic disk apparatus, the following techniques have been proposed. In addition, the bonding between the lubricant and the protective film has been strengthened by making the lubricant applied thereon to have a polar group (see "JP-A-6-333231").

【0007】さらには、従来の接触式磁気ディスク装置
に関する「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯渇するのを
防ぐための技術」としては、ヘッド・サスペンションに
毛細管現象によって潤滑剤を磁気ディスク媒体表面に供
給するヘッド・サスペンション・ウィック統合システム
が適用されていた(「特開平6−223533号公報」
参照)。
Further, as a technique for preventing the depletion of the lubricant on the magnetic disk medium with respect to the conventional contact magnetic disk apparatus, a lubricant is applied to the surface of the magnetic disk medium by a capillary phenomenon in a head suspension. The head suspension wick integrated system to be supplied has been applied ("JP-A-6-223533").
reference).

【0008】また、「磁気ディスク媒体上の潤滑剤が枯
渇するのを防ぐための技術」の他の技術として、コンタ
クトパッドの前縁がその後縁より幅を広くすることによ
って、コンタクトパッドの下の磁気ディスク媒体上の潤
滑剤の減少を抑制していた(「特開平6−12808号
公報」および「特開平6−44718号公報」参照)。
また、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体の内周から外周ま
で移動したときにスキュー角が発生しても、コンタクト
パッドの下の潤滑剤の減少を抑制するために、コンタク
トパッドの形を適正化した発明が、「特開平7−147
070号公報」に開示されている。コンタクトパッドの
側面の角度を、スキュー角の最大絶対値よりも大きくす
ることにより、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体
内径から外径に移動するとき、コンタクトパッドのシー
ク動作の全角度範囲にわたって潤滑剤減少抑制効果を発
揮させている。また、前記「特開平7−147070号
公報」には、コンタクトパッド形状として、その前縁部
が、後縁部と非平行であることが記述されているが、こ
の効果は、スキュー付きの前縁部は、局所ディスク速度
が低いディスク内径で余分のエア・ベアリング揚力を提
供し、局部ディスク速度がより高いためにエア・ベアリ
ング効果が大きいディスク外径でより小さな揚力を提供
することが目的であった。
[0008] As another technique of "a technique for preventing the lubricant on the magnetic disk medium from being depleted", as the leading edge of the contact pad is made wider than its trailing edge, the contact pad is provided under the contact pad. The lubricant on the magnetic disk medium is prevented from decreasing (see JP-A-6-12808 and JP-A-6-44718).
In addition, even when a skew angle occurs when the magnetic head moves from the inner circumference to the outer circumference of the magnetic disk medium, the shape of the contact pad is optimized in order to suppress a decrease in lubricant under the contact pad. Is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-147.
No. 070 gazette ". By making the angle of the side of the contact pad larger than the maximum absolute value of the skew angle, when the magnetic head slider moves from the inner diameter to the outer diameter of the magnetic disk medium, lubricant is reduced over the entire angle range of the seek operation of the contact pad. It has a deterrent effect. Also, in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-147070, it is described that the leading edge is not parallel to the trailing edge as the contact pad shape. The edges are intended to provide extra air bearing lift at the disk inner diameter where the local disk speed is lower, and to provide less lift at the disk outer diameter where the air bearing effect is greater due to the higher local disk speed. there were.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の接触式
磁気ディスク装置では、磁気ディスク媒体の高速回転に
よる遠心力によって磁気ディスク媒体上の潤滑剤が外周
部に移動することによって、磁気ディスク媒体の内周部
や外周部では潤滑剤の膜厚が減少してしまうので、磁気
ディスク媒体や磁気ヘッドスライダ(コンタクトパッ
ド)が摩耗損傷してしまうという問題点があった。そし
て、このような問題点は、接触式磁気ディスク装置に関
する高記録密度および高信頼性の実現の障害となってい
た。
In the above-mentioned conventional contact type magnetic disk drive, the lubricant on the magnetic disk medium moves to the outer periphery by the centrifugal force caused by the high-speed rotation of the magnetic disk medium. Since the thickness of the lubricant decreases at the inner and outer peripheral portions, there is a problem that the magnetic disk medium and the magnetic head slider (contact pad) are worn and damaged. Such a problem has been an obstacle to realizing high recording density and high reliability of the contact type magnetic disk device.

【0010】このような問題点を回避するために、CS
S方式の浮上式磁気ディスク装置で採用されている「潤
滑剤と保護膜との結合を強める技術」により、接触式磁
気ディスクにおいて磁気ディスク媒体上の潤滑剤と保護
膜との結合力を強めても、磁気ディスク媒体や磁気ヘッ
ドスライダの摩耗損傷を防ぐことはできなかった。その
理由は、接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスラ
イダと磁気ディスク媒体とが常に接触しているために、
磁気ディスク媒体上の潤滑剤が移動しやすく、磁気ディ
スク媒体上の潤滑剤と保護膜との結合力を強めた効果が
ほとんど生じないためである。
In order to avoid such a problem, CS
With the "technology for strengthening the connection between the lubricant and the protective film" adopted in the S-type floating magnetic disk device, the bonding force between the lubricant and the protective film on the magnetic disk medium is increased in the contact type magnetic disk. However, it has not been possible to prevent wear damage of the magnetic disk medium and the magnetic head slider. The reason is that in a contact type magnetic disk device, the magnetic head slider and the magnetic disk medium are always in contact,
This is because the lubricant on the magnetic disk medium easily moves, and the effect of increasing the bonding force between the lubricant on the magnetic disk medium and the protective film hardly occurs.

【0011】また、磁気ディスク媒体上にウィックによ
って潤滑剤を供給する方法は1μm以下の薄い潤滑膜に
適用することが困難であり、高記録密度に対応した接触
式磁気ディスクには適用できなかった。その理由は、潤
滑膜を厚くすると磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との間
隔が大きくなってしまい、記録密度が磁気ヘッドと磁気
ディスク媒体との距離に大きく依存するので高記録密度
を達成できないからである。
Further, it is difficult to apply a method of supplying a lubricant onto a magnetic disk medium by a wick to a thin lubricating film having a thickness of 1 μm or less, and cannot be applied to a contact type magnetic disk corresponding to a high recording density. . The reason for this is that if the lubricating film is thickened, the distance between the magnetic head and the magnetic disk medium increases, and a high recording density cannot be achieved because the recording density greatly depends on the distance between the magnetic head and the magnetic disk medium. .

【0012】さらに、「特開平6−12808号公
報」、「特開平6−44718号公報」および「特開平
7−147070号公報」に開示してあるコンタクトパ
ッドの形状では、遠心力によって潤滑剤が外周部に移動
してしまうことを防止することは困難である。その理由
は、これらのコンタクトパッド形状では潤滑剤を磁気デ
ィスク媒体の外周部から内周部へ移動させることができ
ないからである。
Further, in the shape of the contact pad disclosed in JP-A-6-12808, JP-A-6-44718 and JP-A-7-147070, the lubricant is formed by centrifugal force. Is difficult to prevent from moving to the outer periphery. The reason is that the lubricant cannot be moved from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion of the magnetic disk medium with these contact pad shapes.

【0013】本発明の目的は、上述の点に鑑み、磁気デ
ィスク媒体や磁気ヘッドスライダの摩耗損傷の防止を十
分な程度に実現し、高記録密度で高信頼性の磁気ディス
ク装置を提供することにある。特に、遠心力により外周
方向に移動した潤滑剤を内周方向へ移動させることがで
きる磁気ヘッドスライダを提供することにある。また、
その磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置を提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a high-density and high-reliability magnetic disk device which realizes a sufficient degree of prevention of abrasion damage of a magnetic disk medium and a magnetic head slider in view of the above points. It is in. In particular, it is an object of the present invention to provide a magnetic head slider capable of moving a lubricant moved in an outer circumferential direction by a centrifugal force in an inner circumferential direction. Also,
It is another object of the present invention to provide a magnetic disk drive having the magnetic head slider.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の作用について説
明する。
The operation of the present invention will be described.

【0015】図1は、本発明の磁気ヘッドスライダの一
例を示した斜視図である。磁気ヘッドスライダ進行方向
前方に溝を形成したコンタクトパッドAを2つ配置し、
磁気ヘッドスライダ進行方向後方に非対称形状のコンタ
クトパッドBを1つ配置したものである。これらのコン
タクトパッドAおよびコンタクトパッドBは、磁気ディ
スク媒体と密接して相対移動する際の圧力を受ける部分
として作用すると同時に、磁気ディスク媒体上に塗布さ
れた潤滑剤を外周部から内周部へ移動させる機能を有し
ていることが特徴である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a magnetic head slider according to the present invention. Two contact pads A each having a groove formed in front of the magnetic head slider in the traveling direction;
One contact pad B having an asymmetrical shape is arranged behind the magnetic head slider in the traveling direction. The contact pad A and the contact pad B act as a portion that receives pressure when moving relatively in close contact with the magnetic disk medium, and at the same time, apply the lubricant applied on the magnetic disk medium from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion. It is characterized by having a function of moving.

【0016】図2(a)は、本発明の磁気ヘッドスライ
ダに用いるコンタクトパッドが磁気ディスク媒体上を摺
動している状態を表している図である。図2(b)は、
従来の磁気ヘッドスライダに用いられているコンタクト
パッドが磁気ディスク媒体上を摺動している状態を表し
ている図である。図2(b)では潤滑剤がコンタクトパ
ッドでかき分けられている状態が磁気ディスク媒体の内
周方向と外周方向で対称となっているが、図2(a)の
本発明に用いるコンタクトパッドでは潤滑剤の流れが内
外周で非対称となっており、外周部から内周部へ潤滑剤
が移動していることがわかる。
FIG. 2A is a diagram showing a state in which a contact pad used for a magnetic head slider according to the present invention slides on a magnetic disk medium. FIG. 2 (b)
FIG. 11 is a diagram illustrating a state in which a contact pad used in a conventional magnetic head slider slides on a magnetic disk medium. In FIG. 2B, the state in which the lubricant is separated by the contact pad is symmetrical in the inner circumferential direction and the outer circumferential direction of the magnetic disk medium. It can be seen that the flow of the agent is asymmetric at the inner and outer circumferences, and that the lubricant is moving from the outer circumference to the inner circumference.

【0017】図3は、本発明の磁気ヘッドスライダに用
いる別のコンタクトパッドを示す図(a)とこのコンタ
クトパッドが磁気ディスク媒体上を摺動している状態を
表している図(b)である。コンタクトパッドの磁気ヘ
ッドスライダ進行方向最前方部(A点)と最内周部(B
点)を結ぶ線分(AB)の半径方向成分(AB’)の大
きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進行方
向最前方部(A点)と最外周部(C点)を結ぶ線分(A
C)の半径方向成分(AC’)の大きさよりも大きくす
ることによって、図2で示したコンタクトパッドAと同
様に、潤滑剤の流れが内外周で非対称となっており、外
周部から内周部へ潤滑剤を移動させることができる。
FIGS. 3A and 3B show another contact pad used in the magnetic head slider of the present invention and FIG. 3B showing a state in which the contact pad slides on the magnetic disk medium. is there. The foremost part (point A) and the innermost part (B) of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider.
The magnitude of the radial component (AB ′) of the line segment (AB) connecting the points (AB) is determined by the line segment (Point A) connecting the foremost portion (point A) of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider and the outermost portion (point C). A
By making the magnitude of the radial component (AC ') larger than that of C), the flow of the lubricant is asymmetrical at the inner and outer circumferences, like the contact pad A shown in FIG. The lubricant can be moved to the part.

【0018】本発明では、磁気ヘッドスライダが磁気デ
ィスク媒体上を摺動する力をコンタクトパッドの形状に
よって潤滑剤を外周から内周へ移動させる力に変換して
いることが動作原理となっている。これによって、磁気
ディスク媒体上の潤滑剤が内周部や中周部においても枯
渇することを防止できる。
In the present invention, the principle of operation is that the force of the magnetic head slider sliding on the magnetic disk medium is converted into the force of moving the lubricant from the outer circumference to the inner circumference by the shape of the contact pad. . As a result, it is possible to prevent the lubricant on the magnetic disk medium from being depleted even in the inner peripheral portion and the middle peripheral portion.

【0019】さらに、一定時間間隔ごとに磁気ヘッドス
ライダを磁気ディスク媒体の外周部から内周部に向かっ
てシーク動作を行うこと、または、磁気ディスク装置が
一定時間シーク動作を行わなかった場合に、磁気ヘッド
スライダを磁気ディスク媒体の外周部から内周部に向か
ってシーク動作を行うことによって、潤滑剤の枯渇の防
止効果が顕著になる。その理由は、シーク動作間隔が長
すぎたり、磁気ディスク媒体の全面にわたってシーク動
作を行わなかったりすると、磁気ディスク媒体全面に潤
滑剤を再供給できなくなるからである。
Further, when the magnetic head slider performs a seek operation from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion of the magnetic disk medium at predetermined time intervals, or when the magnetic disk device does not perform the seek operation for a predetermined time, By performing the seek operation of the magnetic head slider from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion of the magnetic disk medium, the effect of preventing the depletion of the lubricant becomes remarkable. The reason is that if the seek operation interval is too long or if the seek operation is not performed over the entire surface of the magnetic disk medium, the lubricant cannot be resupplied to the entire surface of the magnetic disk medium.

【0020】また、磁気ヘッドスライダの質量が0.1
mg以上10mg以下にすることによっても、潤滑剤の
枯渇の防止効果が顕著になる。その理由は、磁気ヘッド
スライダの質量が小いさすぎるとコンタクトパッドが潤
滑剤を掻き分けるときの抵抗によって摺動が不安定にな
り潤滑剤供給ができなくなってしまい、磁気ヘッドスラ
イダの質量が大きすぎると磁気ディスク媒体に追従でき
なくなり潤滑剤供給ができなくなってしまうからであ
る。
The mass of the magnetic head slider is 0.1
Even when the amount is from 10 mg to 10 mg, the effect of preventing the depletion of the lubricant becomes remarkable. The reason is that if the mass of the magnetic head slider is too small, the sliding becomes unstable due to the resistance when the contact pad pushes the lubricant, and the lubricant cannot be supplied, and the mass of the magnetic head slider is too large. This is because it is impossible to follow the magnetic disk medium and supply of the lubricant becomes impossible.

【0021】本発明によると、以上の原理に基づき、磁
気ヘッドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を
防止することができ、磁気ディスク装置に関する高記録
密度および高信頼性を実現することができる。
According to the present invention, it is possible to prevent wear and damage of the magnetic head slider and the magnetic disk medium based on the above principle, and to realize a high recording density and a high reliability of the magnetic disk device.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】次に、本発明の接触式磁気ディス
ク装置の具体的な実施の形態について説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, specific embodiments of the contact type magnetic disk drive of the present invention will be described.

【0023】図4は本発明の接触式磁気ディスク装置の
基本構成を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing the basic structure of the contact type magnetic disk drive of the present invention.

【0024】基板45には、直径90mmおよび厚さ0.
3mmのガラスが用いられる。
The substrate 45 has a diameter of 90 mm and a thickness of 0.3 mm.
3 mm glass is used.

【0025】下地層46には、スパッタ法によってCr
を100nmの膜厚に成膜して形成される。
The underlayer 46 is made of Cr by sputtering.
Is formed to a thickness of 100 nm.

【0026】磁性体47は、スパッタ法によってCoC
rTaPtを30nmの膜厚に成膜して形成される。
The magnetic material 47 is made of CoC by sputtering.
rTaPt is formed to a thickness of 30 nm.

【0027】保護膜48は、スパッタ法によってダイヤ
モンドライクカーボンを5nmの膜厚に成膜して形成され
る。
The protective film 48 is formed by depositing diamond-like carbon to a thickness of 5 nm by sputtering.

【0028】潤滑剤49は、ディップ法によってパーフ
ルオロポリエーテルを、原則として10nmの膜厚に成膜
して形成される。なお、後述するように、潤滑剤49の
膜厚は変更させる。この場合に、潤滑剤49の膜厚の変
化は、ディップ溶液の濃度を制御することによって実現
される。
The lubricant 49 is formed by dipping a perfluoropolyether to a thickness of 10 nm in principle. In addition, as described later, the thickness of the lubricant 49 is changed. In this case, the change in the film thickness of the lubricant 49 is realized by controlling the concentration of the dip solution.

【0029】サスペンションばね41は、長さ10mm、
幅0.5mmおよび厚さ0.03mmのステンレスが用いら
れる。サスペンションばねによって、磁気ヘッドスライ
ダを磁気ディスク媒体に押し付けるときの荷重は500
mgfとした。
The suspension spring 41 has a length of 10 mm,
Stainless steel having a width of 0.5 mm and a thickness of 0.03 mm is used. The load when pressing the magnetic head slider against the magnetic disk medium by the suspension spring is 500
mgf.

【0030】ばね支持機構42は、長さ15mm、幅3mm
および厚さ1mmのステンレスが用いられる。
The spring support mechanism 42 has a length of 15 mm and a width of 3 mm
And a stainless steel having a thickness of 1 mm is used.

【0031】シーク機構43はボイスコイルモータが用
いられる。
The seek mechanism 43 uses a voice coil motor.

【0032】磁気ヘッドスライダ10は、基本的には幅
1mm、長さ1.2mmおよび厚さ0.3mmのAl2 3
TiCが用いられ、その質量は2mgである。また、磁
気ヘッドスライダの質量を変化させる場合には、磁気ヘ
ッドスライダの寸法または材質を変化させた。
The magnetic head slider 10 is essentially the width 1mm, the length 1.2mm and a thickness of 0.3mm Al 2 O 3 -
TiC is used and its mass is 2 mg. Further, when changing the mass of the magnetic head slider, the dimensions or the material of the magnetic head slider were changed.

【0033】磁気記録再生素子40は、NiFe合金薄
膜をヨーク材料とした薄膜ヘッドが用いられる。
As the magnetic recording / reproducing element 40, a thin film head using a NiFe alloy thin film as a yoke material is used.

【0034】コンタクトパッドA11は、Al2 3
TiC基板上にケミカルベーパーデポジション法によっ
てダイヤモンドライクカーボンを4μm 堆積させた後、
アルゴンイオンによるミリング加工によって形成したも
のを用いた。コンタクトパッド表面のパターン形状は、
後述するように、マスク形状およびミリング条件を変化
させることによって変化させた。
The contact pad A11 is made of Al 2 O 3
After depositing 4 μm of diamond-like carbon on a TiC substrate by a chemical vapor deposition method,
One formed by milling with argon ions was used. The pattern shape of the contact pad surface is
As will be described later, it was changed by changing the mask shape and the milling conditions.

【0035】図1に本発明の磁気ヘッドスライダの実施
の形態の斜視図を示す。図1に示した磁気ヘッドスライ
ダは、磁気ヘッドスライダ進行方向前方に溝を形成した
円形コンタクトパッドAを2個、後方に図3に示した形
状のコンタクトパッドBを1個配置した。これら2つの
コンタクトパッドは、それぞれ以下の位置に配置した。
コンタクトパッドAは、磁気ヘッドスライダ進行方向前
方の縁から50μm 、内周および外周の縁からそれぞれ
50μm の位置を中心として直径30μm とした。コン
タクトパッドBは、磁気ヘッドスライダ進行方向後方の
縁から50μmの内外周の中心位置に配置した。なお、
コンタクトパッドの溝深さは10nm、溝の幅は5μm 、
溝の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を30度
とした。また、図3に示したコンタクトパッドの寸法
は、AC’=10μm 、AB’=20μm 、B’D=3
0μm 、C’E=30μm とした。
FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head slider according to an embodiment of the present invention. In the magnetic head slider shown in FIG. 1, two circular contact pads A each having a groove formed in the front in the traveling direction of the magnetic head slider, and one contact pad B having the shape shown in FIG. These two contact pads were respectively arranged at the following positions.
The contact pad A had a diameter of 30 μm centered on a position 50 μm from the front edge in the traveling direction of the magnetic head slider and 50 μm from the inner and outer peripheral edges. The contact pad B was arranged at the center of the inner and outer circumferences of 50 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider. In addition,
The groove depth of the contact pad is 10 nm, the groove width is 5 μm,
The angle between the longitudinal direction of the groove and the direction of movement of the slider was 30 degrees. The dimensions of the contact pad shown in FIG. 3 are as follows: AC ′ = 10 μm, AB ′ = 20 μm, B′D = 3
0 μm and C′E = 30 μm.

【0036】また、内外周非対称コンタクトパッドに溝
を形成したスライダの例を図5に示す。溝形成と内外周
非対称を組み合わせることによって、それぞれ単独に用
いる場合よりも効果が顕著になることが期待される。こ
のコンタクトパッドの形状は、図3におけるAC’=1
0μm 、AB’=20μm 、B’D=30μm 、C’E
=30μm とし、溝深さは50nm、溝の幅は7μm 、溝
の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を45度と
し、溝の中心がコンタクトパッドの重心位置を通るよう
に溝の位置を配置した。
FIG. 5 shows an example of a slider in which a groove is formed in the inner / outer asymmetric contact pad. By combining the groove formation and the inner / outer periphery asymmetry, the effect is expected to be more remarkable than when each is used alone. The shape of this contact pad is AC ′ = 1 in FIG.
0 μm, AB ′ = 20 μm, B′D = 30 μm, C′E
= 30 μm, the groove depth is 50 nm, the groove width is 7 μm, the angle between the longitudinal direction of the groove and the slider traveling direction is 45 degrees, and the position of the groove is set so that the center of the groove passes through the center of gravity of the contact pad. Placed.

【0037】これらの磁気ヘッドスライダを、図4に示
したように、サスペンションばね41に取り付け、この
サスペンションばねは、ばね支持機構42を介してシー
ク機構43に取り付けられる。磁気ヘッドスライダ10
は毎分5400回転で回転してる磁気ディスク媒体44
に密接して摺動させ、シーク機構43によって磁気ディ
スク媒体の半径方向に移動させている。
These magnetic head sliders are attached to a suspension spring 41 as shown in FIG. 4, and this suspension spring is attached to a seek mechanism 43 via a spring support mechanism 42. Magnetic head slider 10
Is a magnetic disk medium 44 rotating at 5400 rpm.
, And is moved in the radial direction of the magnetic disk medium by the seek mechanism 43.

【0038】なお、基板45、下地層46、磁性体4
7、保護膜48、潤滑剤49、磁気ヘッドスライダ1
0、磁気記録再生素子40、サスペンションばね41、
ばね支持機構42、シーク機構43およびコンタクトパ
ッドA11の材料,形成方法などは特に限定されるもの
ではなく、公知の材料,形成方法を特別な制限なく用い
ることができる。
The substrate 45, the underlayer 46, the magnetic material 4
7, protective film 48, lubricant 49, magnetic head slider 1
0, magnetic recording / reproducing element 40, suspension spring 41,
The material and forming method of the spring support mechanism 42, the seek mechanism 43, and the contact pad A11 are not particularly limited, and known materials and forming methods can be used without any particular limitation.

【0039】[0039]

【実施例】【Example】

[実施例1〜実施例7] 図2(a)に示したコンタク
トパッドAを、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁か
ら50μm 、内周および外周の縁からそれぞれ50μm
の位置を中心としたところに2個、磁気ヘッドスライダ
進行方向後方の縁から50μm の内外周の中心位置に1
個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コンタクトパ
ッドの直径は30μm 、溝の幅は5μm 、溝の長手方向
とスライダ進行方向とのなす角度を30度とした。磁気
ディスク媒体上にはパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
を10nm塗布した。コンタクトパッドの溝深さは表1に
示したように0.1nm〜3000nmと変化させた。
[Examples 1 to 7] The contact pad A shown in FIG. 2A was placed 50 μm from the front edge in the traveling direction of the magnetic head slider, and 50 μm from the inner and outer edges, respectively.
And two at the center of the inner and outer circumferences of 50 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider.
A plurality of magnetic head sliders were used. The diameter of the contact pad was 30 μm, the width of the groove was 5 μm, and the angle between the longitudinal direction of the groove and the traveling direction of the slider was 30 degrees. A 10 nm perfluoropolyether lubricant was applied to the magnetic disk medium. The groove depth of the contact pad was varied from 0.1 nm to 3000 nm as shown in Table 1.

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】[実施例8〜実施例15] 図3に示した
コンタクトパッドBを、磁気ヘッドスライダ進行方向後
方の縁から50μm 、内周および外周の縁からそれぞれ
50μm の位置を中心としたところに2個、磁気ヘッド
スライダ進行方向前方の縁から50μm の内外周の中心
位置に1個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コン
タクトパッド形状は、図3において、B’D=30μm
、C’E=30μm とした。AB’の長さおよびA
C’の長さを表2に示したようにAB’の長さを10μ
m または20μm としたとき、AC’の長さを5〜30
μm と変化させた。磁気ディスク媒体上には炭化水素系
潤滑剤を10nm塗布した。
[Embodiments 8 to 15] The contact pad B shown in FIG. 3 was placed at a position centered at a position 50 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider and 50 μm from each of the inner and outer peripheral edges. Two magnetic head sliders, one at the center of the inner and outer circumferences of 50 μm from the front edge in the direction of travel of the magnetic head slider, were used. The contact pad shape is B'D = 30 μm in FIG.
, C′E = 30 μm. AB 'length and A
As shown in Table 2, the length of AB ′ was 10 μm.
m or 20 μm, the length of AC ′ is 5-30.
μm. A hydrocarbon-based lubricant was applied to a thickness of 10 nm on the magnetic disk medium.

【0042】[0042]

【表2】 [Table 2]

【0043】[実施例16〜実施例23] 図2(a)
に示したコンタクトパッドAを、磁気ヘッドスライダ進
行方向前方の縁から50μm 、内周および外周の縁から
それぞれ50μm の位置を中心としたところに2個、磁
気ヘッドスライダ進行方向後方の縁から50μm の内外
周の中心位置に1個配置した磁気ヘッドスライダを用い
た。コンタクトパッドの直径は30μm 、溝の幅は5μ
m 、溝の長手方向とスライダ進行方向とのなす角度を4
0度とした。コンタクトパッドの溝深さは100nmとし
た。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤はパーフル
オロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は表3に示した
ように0.1〜300μm と変化させた。
Embodiments 16 to 23 FIG. 2 (a)
The two contact pads A shown in FIG. 3 are located at a position 50 μm from the front edge in the traveling direction of the magnetic head slider and 50 μm from the inner and outer peripheral edges respectively, and 50 μm from the rear edge in the traveling direction of the magnetic head slider. One magnetic head slider was used at the center of the inner and outer circumferences. Contact pad diameter is 30μm, groove width is 5μ
m, the angle between the longitudinal direction of the groove and the slider travel direction is 4
0 degrees. The groove depth of the contact pad was 100 nm. The lubricant applied on the magnetic disk medium was a perfluoropolyether-based lubricant, and the film thickness was varied from 0.1 to 300 μm as shown in Table 3.

【0044】[0044]

【表3】 [Table 3]

【0045】[実施例24〜実施例31] 図3に示し
たコンタクトパッドBを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から50μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ50μm の位置を中心としたところに2個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から50μm の内外周の中
心位置に1個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図3において、AC’=10μ
m 、AB’=20μm、B’D=30μm 、C’E=3
0μm とした。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤
はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は表
3に示したように0.1〜300μm と変化させた。
Embodiments 24 to 31 The contact pad B shown in FIG. 3 was placed at a position centered at 50 μm from the front edge in the direction of travel of the magnetic head slider and 50 μm from the inner and outer edges. Two magnetic head sliders were used, one at the center of the inner and outer circumferences of 50 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider. The contact pad shape is AC ′ = 10 μ in FIG.
m, AB ′ = 20 μm, B′D = 30 μm, C′E = 3
It was set to 0 μm. The lubricant applied on the magnetic disk medium was a perfluoropolyether-based lubricant, and the film thickness was varied from 0.1 to 300 μm as shown in Table 3.

【0046】[実施例32] 図5に示したコンタクト
パッドDを、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁から
50μm 、内周および外周の縁からそれぞれ50μm の
位置を中心としたところに2個、磁気ヘッドスライダ進
行方向後方の縁から50μmの内外周の中心位置に1個
配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コンタクトパッ
ドDは、図3におけるAC’=10μm 、AB’=20
μm 、B’D=30μm 、C’E=30μm とし、溝深
さは50nm、溝の幅は7μm 、溝の長手方向とスライダ
進行方向とのなす角度を45度とし、溝の中心がコンタ
クトパッドの重心位置を通るように溝の位置を配置し
た。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤はパーフル
オロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は10nmとし
た。
Embodiment 32 Two contact pads D shown in FIG. 5 were placed at the center of a position 50 μm from the front edge in the direction of travel of the magnetic head slider and 50 μm from the inner and outer edges, respectively. One magnetic head slider was used at the center of the inner and outer circumferences of 50 μm from the rear edge in the head slider traveling direction. The contact pad D is AC ′ = 10 μm and AB ′ = 20 in FIG.
μm, B′D = 30 μm, C′E = 30 μm, the groove depth is 50 nm, the groove width is 7 μm, the angle between the longitudinal direction of the groove and the slider traveling direction is 45 degrees, and the center of the groove is the contact pad. The position of the groove was arranged so as to pass through the position of the center of gravity. The lubricant applied on the magnetic disk medium was a perfluoropolyether-based lubricant, and the film thickness was 10 nm.

【0047】[実施例33〜実施例42] 図3に示し
たコンタクトパッドBを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から80μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ70μm の位置を中心としたところに2個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から60μm の内外周の中
心位置に1個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図3において、AC’=12μ
m 、AB’=23μm、B’D=35μm 、C’E=3
5μm とした。磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤
はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤であり、膜厚は1
0nmとした。磁気ヘッドスライダの質量を表4に示した
ように0.01〜50mgと変化させた。
Embodiments 33 to 42 The contact pad B shown in FIG. 3 was placed at a position centered at 80 μm from the front edge in the direction of travel of the magnetic head slider and 70 μm from the inner and outer edges. Two magnetic head sliders were used, one at the center of the inner and outer circumferences 60 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider. The contact pad shape is AC ′ = 12 μ in FIG.
m, AB ′ = 23 μm, B′D = 35 μm, C′E = 3
It was 5 μm. The lubricant applied on the magnetic disk medium is a perfluoropolyether-based lubricant, and the film thickness is 1
It was set to 0 nm. The mass of the magnetic head slider was changed from 0.01 to 50 mg as shown in Table 4.

【0048】[0048]

【表4】 [Table 4]

【0049】[比較例] 本発明の実施例と従来技術と
の比較を行うために、本発明の考え方を採用しない従来
の磁気ヘッドスライダの例(比較例)として、図2
(b)に示したコンタクトパッドCを、磁気ヘッドスラ
イダ進行方向前方の縁から50μm 、内周および外周の
縁からそれぞれ50μm の位置を中心としたところに2
個、磁気ヘッドスライダ進行方向後方の縁から50μm
の内外周の中心位置に1個配置した磁気ヘッドスライダ
を用いた。コンタクトパッドの直径は30μm とした。
磁気ディスク媒体上に塗布された潤滑剤の膜厚は100
nmとした。
[Comparative Example] In order to compare the embodiment of the present invention with the conventional art, FIG. 2 shows an example (comparative example) of a conventional magnetic head slider which does not employ the concept of the present invention.
The contact pad C shown in (b) is centered at a position 50 μm from the front edge in the traveling direction of the magnetic head slider and 50 μm from the inner and outer edges, respectively.
Pieces, 50 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider
One magnetic head slider was used at the center of the inner and outer circumferences. The diameter of the contact pad was 30 μm.
The thickness of the lubricant applied on the magnetic disk medium is 100
nm.

【0050】上記の実施例1〜実施例42および比較例
に示した磁気ヘッドスライダを、毎分5400回転の磁
気ディスク媒体上に、半径23mmから42mmの範囲を1
分間に1回磁気ディスク媒体の全面をシークし、その後
ランダムな半径位置で摺動させ記録再生を行った。これ
らの動作を繰り返すような摺動耐久性試験を行った。接
触式磁気ディスク装置の信頼性評価方法として記録再生
信号のエラーレイトが初期値の2倍になったときの稼働
時間求めた。この摺動耐久性試験の試験結果(稼働時
間)を表1〜表4に示す。
The magnetic head sliders shown in the above-described Examples 1 to 42 and the comparative example were placed on a magnetic disk medium rotating at 5400 revolutions per minute by a radius of 23 mm to 42 mm.
The entire surface of the magnetic disk medium was sought once per minute, and then slid at random radial positions to perform recording and reproduction. A sliding durability test was performed to repeat these operations. As a method for evaluating the reliability of the contact magnetic disk device, the operating time when the error rate of the recording / reproducing signal was twice the initial value was determined. Tables 1 to 4 show test results (operating time) of the sliding durability test.

【0051】[実施例43〜実施例52] 図3に示し
たコンタクトパッドBを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から50μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ50μm の位置を中心としたところに2個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から50μm の内外周の中
心位置に1個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図3において、AC’=10μ
m 、AB’=20μm、B’D=30μm 、C’E=3
0μm とした。磁気ディスク媒体上にフッ素化炭素系潤
滑剤を10nm塗布した。これらの磁気ヘッドスライダ
を、毎分5400回転の磁気ディスク媒体上に、半径2
3mmから42mmの範囲を表5に示した潤滑剤供給シーク
時間ごとに外周から内周に向かって1回シーク動作を行
い、その後ランダムな半径位置で摺動させ記録再生を行
った。これらの動作を繰り返すような摺動耐久性試験を
行った。接触式磁気ディスク装置の信頼性評価方法とし
て記録再生信号のエラーレイトが初期値の2倍になった
ときの稼働時間求めた。この摺動耐久性試験の試験結果
(稼働時間)を表5に示す。
Embodiments 43 to 52 The contact pad B shown in FIG. 3 was placed at a position centered at 50 μm from the front edge in the direction of travel of the magnetic head slider and 50 μm from the inner and outer edges. Two magnetic head sliders were used, one at the center of the inner and outer circumferences of 50 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider. The contact pad shape is AC ′ = 10 μ in FIG.
m, AB ′ = 20 μm, B′D = 30 μm, C′E = 3
It was set to 0 μm. A fluorinated carbon-based lubricant was applied to a thickness of 10 nm on the magnetic disk medium. These magnetic head sliders are placed on a magnetic disk medium at 5400 revolutions per minute with a radius of 2
The seek operation was performed once from the outer circumference to the inner circumference every three lubricant supply seek times shown in Table 5 in the range from 3 mm to 42 mm, and then sliding was performed at random radial positions to perform recording and reproduction. A sliding durability test was performed to repeat these operations. As a method for evaluating the reliability of the contact magnetic disk device, the operating time when the error rate of the recording / reproducing signal was twice the initial value was determined. Table 5 shows the test results (operating time) of the sliding durability test.

【0052】[0052]

【表5】 [Table 5]

【0053】[実施例53〜実施例62] 図3に示し
たコンタクトパッドBを、磁気ヘッドスライダ進行方向
前方の縁から50μm 、内周および外周の縁からそれぞ
れ50μm の位置を中心としたところに2個、磁気ヘッ
ドスライダ進行方向後方の縁から50μm の内外周の中
心位置に1個配置した磁気ヘッドスライダを用いた。コ
ンタクトパッド形状は、図3において、AC’=10μ
m 、AB’=20μm、B’D=30μm 、C’E=3
0μm とした。磁気ディスク媒体上にシリコーン油系潤
滑剤を10nm塗布した。これらの磁気ヘッドスライダ
を、毎分5400回転の磁気ディスク媒体上に、半径2
3mmから42mmの範囲を、ランダムな時間間隔でシーク
動作させ、無シーク動作の時間が表6に示した潤滑剤供
給基準時間を越えた場合に、外周から内周に向かって1
回シーク動作を行い、その後ランダムな半径位置で摺動
させ記録再生を行った。これらの動作を繰り返すような
摺動耐久性試験を行った。接触式磁気ディスク装置の信
頼性評価方法として記録再生信号のエラーレイトが初期
値の2倍になったときの稼働時間求めた。この摺動耐久
性試験の試験結果(稼働時間)を表6に示す。
[Embodiments 53 to 62] The contact pad B shown in FIG. 3 was placed at a position centered at 50 μm from the front edge in the direction of travel of the magnetic head slider and 50 μm from the inner and outer edges. Two magnetic head sliders were used, one at the center of the inner and outer circumferences of 50 μm from the rear edge in the direction of travel of the magnetic head slider. The contact pad shape is AC ′ = 10 μ in FIG.
m, AB ′ = 20 μm, B′D = 30 μm, C′E = 3
It was set to 0 μm. A 10 nm silicone oil-based lubricant was applied on the magnetic disk medium. These magnetic head sliders are placed on a magnetic disk medium at 5400 revolutions per minute with a radius of 2
The seek operation is performed at a random time interval in a range of 3 mm to 42 mm. When the time of the non-seek operation exceeds the lubricant supply reference time shown in Table 6, one seek operation is performed from the outer periphery to the inner periphery.
A repetitive seek operation was performed, and then sliding was performed at random radial positions to perform recording and reproduction. A sliding durability test was performed to repeat these operations. As a method for evaluating the reliability of the contact magnetic disk device, the operating time when the error rate of the recording / reproducing signal was twice the initial value was determined. Table 6 shows the test results (operating time) of the sliding durability test.

【0054】[0054]

【表6】 [Table 6]

【0055】表1〜表6の実施例1〜実施例62の試験
結果および比較例の試験結果を参照すると、以下の〜
に示す考察が可能となる。
Referring to the test results of Examples 1 to 62 in Tables 1 to 6 and the test results of Comparative Examples,
The following considerations are possible.

【0056】 第1実施例〜第7実施例および比較例
に関する試験結果を参照すると、コンタクトパッドの摺
動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を前方としたと
きに前方外周部から後方内周部に向かう溝を作製した場
合には、溝を作製しなかった場合(比較例の場合)に比
べて、エラーレイトが初期値の2倍になった稼働時間が
少なくとも4倍以上になっている。すなわち、コンタク
トパッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を
前方としたときに前方外周部から後方内周部に向かう溝
を設けることによって、高記録密度で高信頼性の磁気デ
ィスク装置を提供できるという効果を得ることができ
る。
Referring to the test results of the first to seventh embodiments and the comparative example, when the traveling direction of the magnetic head slider is set to the front, the sliding surface of the contact pad is moved from the front outer peripheral portion to the rear inner peripheral portion. In the case where the groove toward the groove is formed, the operating time in which the error rate is twice the initial value is at least four times or more as compared with the case where the groove is not formed (in the case of the comparative example). That is, by providing a groove extending from the front outer peripheral portion to the rear inner peripheral portion when the traveling direction of the magnetic head slider is set to the front in the sliding surface of the contact pad, a magnetic disk device with high recording density and high reliability is provided. The effect of being able to provide can be obtained.

【0057】 前記溝の深さが1nm以上1000nm以
下の場合にエラーレイトが初期値の2倍になった稼働時
間が大きくなっている。すなわち、前記溝構造の深さを
1nm以上1000nm以下にすることによって、より効果
的に磁気ディスク装置の性能を向上させることができ
る。
When the depth of the groove is 1 nm or more and 1000 nm or less, the operating time in which the error rate is twice the initial value increases. That is, by setting the depth of the groove structure to 1 nm or more and 1000 nm or less, the performance of the magnetic disk device can be more effectively improved.

【0058】 第8実施例〜第15実施例を比較する
と、図3におけるAB’長さをAC’長さよりも大きく
した場合に、エラーレイトが初期値の2倍になった稼働
時間が37倍以上になっている。すなわち、コンタクト
パッドの形状として、コンタクトパッドの磁気ヘッドス
ライダ進行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半径方
向成分の大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスラ
イダ進行方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径方向
成分の大きさよりも大きくすることによっても、高記録
密度で高信頼性の磁気ディスク装置を提供できるという
効果を得ることができる。
Comparing the eighth embodiment to the fifteenth embodiment, when the AB ′ length in FIG. 3 is longer than the AC ′ length, the operating time at which the error rate is twice the initial value is 37 times. That's all. In other words, as the shape of the contact pad, the magnitude of the radial component of the line connecting the foremost portion and the innermost portion of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider is determined by comparing the size of the contact pad with the foremost portion of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider. The effect of providing a magnetic disk device with high recording density and high reliability can also be obtained by making it larger than the size of the radial component of the line connecting the outer peripheral portions.

【0059】 第16実施例〜第31実施例を比較す
ると、潤滑剤の膜厚を1nm以上100nm以下とした場合
に、エラーレイトが初期値の2倍になった稼働時間が5
倍以上になっている。すなわち、潤滑剤膜厚は1nm以上
100nm以下がより適切な範囲であることがわかる。
Comparing the sixteenth embodiment to the thirty-first embodiment, when the lubricant film thickness is 1 nm or more and 100 nm or less, the operating time when the error rate is twice the initial value is 5 times.
More than doubled. That is, it is understood that the lubricant film thickness is more preferably from 1 nm to 100 nm.

【0060】 第32実施例,第5実施例および第9
実施例を比較すると、実施例32のエラーレイトが初期
値の2倍になった稼働時間が、実施例5および実施例9
のそれよりも著しく長くなっている。すなわち、コンタ
クトパッドの形状として、コンタクトパッドの磁気ヘッ
ドスライダ進行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半
径方向成分の大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッド
スライダ進行方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径
方向成分の大きさよりも大きくし、かつ、コンタクトパ
ッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダの進行方向を前方
としたときに前方外周部から後方内周部に向かう溝構造
を設けることによって、「高記録密度で高信頼性の磁気
ディスク装置を提供できる」という効果がさらに顕著に
なる。
The thirty-second, fifth and ninth embodiments
Comparing the working examples, the working time in which the error rate of the working example 32 is twice the initial value is the working time of the working example 5 and the working example 9
It is significantly longer than that of. In other words, as the shape of the contact pad, the magnitude of the radial component of the line connecting the foremost portion and the innermost portion of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider is determined by comparing the size of the contact pad with the foremost portion of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider. A groove extending from the front outer peripheral portion to the rear inner peripheral portion when the traveling direction of the magnetic head slider is set to be forward, the groove being larger than the size of the radial component of the line connecting the outer peripheral portion and the sliding surface of the contact pad. By providing the structure, the effect that “a magnetic disk device with high recording density and high reliability can be provided” becomes even more remarkable.

【0061】 第33実施例〜第42実施例を比較す
ると、磁気ヘッドスライダの質量を0.1mg以上10
mg以下とした場合に、それ以外の場合と比較してエラ
ーレイトが初期値の2倍になった稼働時間が少なくとも
4倍以上になっている。すなわち、磁気ヘッドスライダ
の質量は0.1mg以上10mg以下がより適切な範囲
であることがわかる。
When comparing the 33rd embodiment to the 42nd embodiment, the mass of the magnetic head slider was 0.1 mg or more and 10 mg or less.
When the amount is less than or equal to mg, the operating time when the error rate is twice the initial value is at least four times or more as compared with the other cases. That is, it is understood that the mass of the magnetic head slider is more preferably 0.1 mg or more and 10 mg or less.

【0062】 第43実施例〜第52実施例を比較す
ると、潤滑剤供給シーク時間を1分以上1時間以下とし
た場合に、それ以外の場合と比較してエラーレイトが初
期値の2倍になった稼働時間が少なくとも2倍以上にな
っている。すなわち、潤滑剤供給シーク時間は1分以上
1時間以下がより適切な範囲であることがわかる。
Comparing the 43rd embodiment to the 52nd embodiment, when the lubricant supply seek time is set to 1 minute or more and 1 hour or less, the error rate becomes twice the initial value as compared with other cases. The operating time has been at least doubled. In other words, it is understood that the lubricant supply seek time is more preferably from 1 minute to 1 hour.

【0063】 第53実施例〜第62実施例を比較す
ると、潤滑剤供給基準時間を1分以上1時間以下とした
場合に、それ以外の場合と比較してエラーレイトが初期
値の2倍になった稼働時間が少なくとも2倍以上になっ
ている。すなわち、潤滑剤供給基準時間は1分以上1時
間以下がより適切な範囲であることがわかる。
When comparing the 53rd embodiment to the 62nd embodiment, when the lubricant supply reference time is set to 1 minute or more and 1 hour or less, the error rate becomes twice the initial value as compared with other cases. The operating time has been at least doubled. In other words, it is understood that the lubricant supply reference time is more preferably in the range of 1 minute to 1 hour.

【0064】以上の〜に示す考察から、本発明の磁
気ディスク装置では、従来の磁気ディスク装置と比較し
て少なくとも4倍以上の耐久性が達成され、高信頼性を
確保することができることが分かる。
From the above considerations, it can be seen that the magnetic disk device of the present invention achieves at least four times the durability as compared with the conventional magnetic disk device, and can ensure high reliability. .

【0065】また、以上の〜に示す考察から、本発
明の接触式磁気ディスク装置における「コンタクトパッ
ドの溝の深さ」、およびが「潤滑剤膜厚」にはそれぞれ
以下の範囲の値が適切な値であることが分かる。
From the above considerations, the following ranges are appropriate for “contact pad groove depth” and “lubricant film thickness” in the contact type magnetic disk drive of the present invention. It turns out that it is a suitable value.

【0066】「コンタクトパッドの溝の深さ」:1nm以
上1000nm以下 「潤滑剤膜厚」:1nm以上100nm以下 なお、以上のように一定の適切な値の範囲が存在する理
論的根拠は、以下にあると考えられる。
"Groove depth of contact pad": 1 nm or more and 1000 nm or less "Lubricant film thickness": 1 nm or more and 100 nm or less The theoretical basis for the existence of a certain appropriate value range as described above is as follows. It is thought that there is.

【0067】「コンタクトパッドの溝の深さ」について
は、1nm未満のようにあまりに小さいと本発明を適用し
たことにならず、1000nmより大きいと溝に空気流に
よる圧力が働いてしまい、潤滑剤が溝の中を流れるのを
妨げることにより本発明の効果が発揮されないからであ
る。
Regarding the “depth of the groove of the contact pad”, if it is too small, such as less than 1 nm, the present invention is not applied. If it is more than 1000 nm, pressure due to air flow acts on the groove, and the lubricant Is prevented from flowing through the groove, whereby the effect of the present invention is not exhibited.

【0068】「潤滑剤膜厚」については、あまりに小さ
いと潤滑剤が磁気ディスク媒体の媒体面に強く吸着し潤
滑剤を外周から内周に移動しにくくなり本発明の効果が
発揮されなく、また、あまりに大きいと磁気ヘッドの記
録再生特性が悪くなるからである。
Regarding the “lubricant film thickness”, if the lubricant is too small, the lubricant is strongly adsorbed on the medium surface of the magnetic disk medium, making it difficult for the lubricant to move from the outer periphery to the inner periphery, so that the effect of the present invention is not exhibited. If it is too large, the recording / reproducing characteristics of the magnetic head deteriorate.

【0069】[0069]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
以下に示すような効果が生じる。
As described above, according to the present invention,
The following effects are produced.

【0070】遠心力によって磁気ディスク媒体の外周部
に移動してしまう潤滑剤を、コンタクトパッドの摺動面
に磁気ヘッドスライダの進行方向を前方としたときに前
方外周部から後方内周部に向かう溝を設けることによっ
て、または、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進
行方向最前方部と最内周部を結ぶ線分の半径方向成分の
大きさを、コンタクトパッドの磁気ヘッドスライダ進行
方向最前方部と最外周部を結ぶ線分の半径方向成分の大
きさよりも大きくすることによって、磁気ディスク媒体
の内周部および中周部の潤滑剤の膜厚の減少や枯渇を防
止または制御できることである。これにより、磁気ヘッ
ドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を防止す
ることができ、高記録密度で高信頼性の磁気ディスク装
置を提供できる。
The lubricant which moves to the outer peripheral portion of the magnetic disk medium due to the centrifugal force moves from the front outer peripheral portion to the rear inner peripheral portion when the traveling direction of the magnetic head slider is set to the front on the sliding surface of the contact pad. By providing a groove, or the size of the radial component of the line connecting the foremost part and the innermost part of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider, the magnitude of the radial component of the line of the contact pad with the foremost part of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider can be reduced. By making the size of the radial component larger than the radius of the line connecting the outer peripheral portions, it is possible to prevent or control the decrease or depletion of the lubricant film thickness in the inner peripheral portion and the middle peripheral portion of the magnetic disk medium. Thus, abrasion damage of the magnetic head slider and the magnetic disk medium can be prevented, and a magnetic disk device with high recording density and high reliability can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドスライダの基本構成を示す
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a basic configuration of a magnetic head slider of the present invention.

【図2】本発明の磁気ヘッドスライダの原理および動作
を説明するための図であり、コンタクトパッド周辺の潤
滑剤の流れる状態を示している。
FIG. 2 is a diagram for explaining the principle and operation of the magnetic head slider of the present invention, and shows a state in which a lubricant flows around a contact pad.

【図3】本発明の磁気ヘッドスライダの原理および動作
を説明するための図であり、別のコンタクトパッドにつ
いて潤滑剤の流れる状態を示している。
FIG. 3 is a view for explaining the principle and operation of the magnetic head slider of the present invention, and shows a state in which lubricant flows through another contact pad.

【図4】本発明の磁気ディスク装置の基本構成を示す断
面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a basic configuration of a magnetic disk drive of the present invention.

【図5】本発明の磁気ヘッドスライダに用いるコンタク
トパッドの構造を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a structure of a contact pad used for the magnetic head slider of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 磁気ヘッドスライダ 11 コンタクトパッドA 12 コンタクトパッドB 21 潤滑剤の流れ 22 コンタクトパッドC 21 磁気ディスク媒体 40 磁気記録再生素子 41 サスペンションばね 42 ばね支持機構 43 シーク機構 44 磁気ディスク媒体 45 基板 46 下地層 47 磁性体 48 保護膜 49 潤滑剤 50 コンタクトパッドD Reference Signs List 10 magnetic head slider 11 contact pad A 12 contact pad B 21 lubricant flow 22 contact pad C 21 magnetic disk medium 40 magnetic recording / reproducing element 41 suspension spring 42 spring support mechanism 43 seek mechanism 44 magnetic disk medium 45 substrate 46 base layer 47 Magnetic material 48 Protective film 49 Lubricant 50 Contact pad D

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】磁気ヘッドおよびコンタクトパッドを備え
る磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク媒体表面
に塗布された潤滑剤を、前記磁気ヘッドスライダの摺動
に伴い磁気ディスク媒体の外周部から内周部へ移動させ
る構造を、前記コンタクトパッドの摺動面に設けること
を特徴とする磁気ヘッドスライダ。
In a magnetic head slider having a magnetic head and a contact pad, a lubricant applied to the surface of a magnetic disk medium is moved from an outer peripheral portion to an inner peripheral portion of the magnetic disk medium as the magnetic head slider slides. A magnetic head slider, wherein a structure to be provided is provided on a sliding surface of the contact pad.
【請求項2】コンタクトパッドの摺動面に、磁気ヘッド
スライダの進行方向を前方としたときに前方外周部から
後方内周部に向かう溝を設けることを特徴とする請求項
1記載の磁気ヘッドスライダ。
2. The magnetic head according to claim 1, wherein a groove extending from a front outer peripheral portion to a rear inner peripheral portion when a traveling direction of the magnetic head slider is set to be forward is provided on a sliding surface of the contact pad. Slider.
【請求項3】コンタクトパッドに設けた前記溝の深さが
1nm以上1000nm以下であることを特徴とする請求項
2記載の磁気ヘッドスライダ。
3. The magnetic head slider according to claim 2, wherein the depth of the groove provided in the contact pad is 1 nm or more and 1000 nm or less.
【請求項4】コンタクトパッドの形状として、コンタク
トパッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最内
周部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさを、コンタクト
パッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最外周
部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさよりも大きくする
ことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッドスライダ。
4. The shape of the contact pad, the magnitude of the radial component of the line connecting the forwardmost portion and the innermost portion of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider, is determined by the forward most of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider. 2. The magnetic head slider according to claim 1, wherein the magnitude of a radial component of a line connecting the portion and the outermost peripheral portion is larger.
【請求項5】コンタクトパッドの形状として、コンタク
トパッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最内
周部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさを、コンタクト
パッドの磁気ヘッドスライダ進行方向最前方部と最外周
部を結ぶ線分の半径方向成分の大きさよりも大きくし、
かつコンタクトパッドの摺動面に、磁気ヘッドスライダ
の進行方向を前方としたときに前方外周部から後方内周
部に向かう溝を設けることを特徴とする請求項1記載の
磁気ヘッドスライダ。
5. The shape of the contact pad, the magnitude of a radial component of a line connecting the foremost portion and the innermost portion of the contact pad in the direction of travel of the magnetic head slider is determined by determining the size of the contact pad in the forefront of the direction of travel of the magnetic head slider. Larger than the size of the radial component of the line connecting the part and the outermost part,
2. The magnetic head slider according to claim 1, wherein a groove extending from the front outer peripheral portion to the rear inner peripheral portion when the traveling direction of the magnetic head slider is set to the front is provided on the sliding surface of the contact pad.
【請求項6】磁気ヘッドおよびコンタクトパッドを備え
る磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ディスク媒体表面
に塗布された潤滑剤を、前記磁気ヘッドスライダの摺動
に伴い磁気ディスク媒体の外周部から内周部へ移動させ
る構造を、前記コンタクトパッドの摺動面に設け、か
つ、磁気ヘッドスライダの質量が0.1mg以上10m
g以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
6. A magnetic head slider having a magnetic head and a contact pad, wherein a lubricant applied to a surface of a magnetic disk medium is moved from an outer peripheral portion to an inner peripheral portion of the magnetic disk medium as the magnetic head slider slides. A structure to be provided on the sliding surface of the contact pad, and the mass of the magnetic head slider is 0.1 mg or more and 10 m or more.
g or less.
【請求項7】表面に潤滑剤が塗布された磁気ディスク媒
体と、この磁気ディスク媒体上に密接された状態で相対
移動されて情報を記録または再生する磁気ヘッドと、こ
の磁気ヘッドとコンタクトパッドとを備えた磁気ヘッド
スライダと、この磁気ヘッドスライダを前記磁気ディス
ク媒体に押圧させる支持ばねとからなる磁気ディスク装
置において、前記磁気ヘッドスライダが請求項1〜6の
いずれかに記載の磁気ヘッドスライダであることを特徴
とする磁気ディスク装置。
7. A magnetic disk medium having a surface coated with a lubricant, a magnetic head for recording or reproducing information by being relatively moved in close contact with the magnetic disk medium, and a magnetic head and a contact pad. 7. A magnetic disk device comprising: a magnetic head slider having a magnetic head slider; and a support spring for pressing the magnetic head slider against the magnetic disk medium, wherein the magnetic head slider is the magnetic head slider according to claim 1. A magnetic disk drive characterized by the following.
【請求項8】磁気ディスク媒体に塗布された潤滑剤の膜
厚が1nm以上100nm以下であることを特徴とする請求
項7記載の磁気ディスク装置。
8. The magnetic disk drive according to claim 7, wherein the thickness of the lubricant applied to the magnetic disk medium is 1 nm or more and 100 nm or less.
【請求項9】請求項7記載の磁気ディスク装置であっ
て、一定時間間隔ごとに前記磁気ヘッドスライダを磁気
ディスク媒体の外周部から内周部に向かって潤滑剤供給
シーク動作を行うことを特徴とする磁気ディスク装置。
9. The magnetic disk drive according to claim 7, wherein the magnetic head slider performs a lubricant supply seek operation from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion of the magnetic disk medium at predetermined time intervals. Magnetic disk device.
【請求項10】請求項7記載の磁気ディスク装置であっ
て、無シーク動作間隔が潤滑剤供給基準時間に達する
と、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク媒体の外周部か
ら内周部に向かってシーク動作を行うことを特徴とする
磁気ディスク装置。
10. A magnetic disk drive according to claim 7, wherein when the non-seek operation interval reaches the lubricant supply reference time, the magnetic head slider performs a seek operation from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion of the magnetic disk medium. A magnetic disk drive.
【請求項11】潤滑剤供給シーク動作間隔が1分以上1
時間以下であることを特徴とする請求項9または10記
載の磁気ディスク装置。
11. A lubricant supply seek operation interval is 1 minute or more and 1 minute.
11. The magnetic disk drive according to claim 9, wherein the time is not more than a time.
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