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JP2831725B2 - Beam switching device - Google Patents

Beam switching device

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JP2831725B2
JP2831725B2 JP1242142A JP24214289A JP2831725B2 JP 2831725 B2 JP2831725 B2 JP 2831725B2 JP 1242142 A JP1242142 A JP 1242142A JP 24214289 A JP24214289 A JP 24214289A JP 2831725 B2 JP2831725 B2 JP 2831725B2
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JP
Japan
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axis
unit
laser
axis unit
beam switching
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俊英 加藤
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Amada Co Ltd
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Amada Co Ltd
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  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、金属および非金属を切断,溶接,表面処理
加工するレーザ加工装置の内で、複数のレーザ発振器お
よび加工機を組合せたレーザ加工方法の光路調整等に使
用され得るビームスイッチング装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial application field) The present invention relates to a laser processing apparatus that combines a plurality of laser oscillators and a processing machine in a laser processing apparatus for cutting, welding, and surface-treating a metal and a nonmetal. The present invention relates to a beam switching device that can be used for adjusting the optical path of the method.

(従来の技術) 一般的なレーザ加工装置は、1台のレーザ発振器に対
して、1台のレーザ加工機という1対1の組合せであ
る。この際、レーザ発振器とレーザ加工機との組合せを
変更すると、レーザ加工装置における重要な調整の1つ
であるレーザ光と光学部品、すなわち折返しミラーとの
光軸調整をするビームアライメント調整が必要となる。
(Prior Art) A general laser processing apparatus is a one-to-one combination of one laser oscillator and one laser processing machine. At this time, if the combination of the laser oscillator and the laser processing machine is changed, it is necessary to perform beam alignment adjustment for adjusting the optical axis of the laser light and the optical component, that is, the folding mirror, which is one of the important adjustments in the laser processing apparatus. Become.

従来、複数のレーザ発信器とレーザ加工機とを組合せ
る場合には、手動で調整を行いながら、その中で1対1
の組合せを作っていた。すなわち、設置されたレーザ発
振器とレーザ加工機とを、その都度組合せるという方法
を取っていた。
Conventionally, when combining a plurality of laser oscillators and a laser processing machine, one-to-one operation is performed while adjusting manually.
I was making a combination of That is, the installed laser oscillator and the laser processing machine are combined each time.

(発明が解決しようとする課題) ところで、レーザ加工装置には、光軸移動の方法とし
て、 (a)光軸固定テーブル移動タイプ、 (b)1軸光軸移動1軸テーブル移動タイプ、 (c)光軸移動テーブル固定タイプ、 がある。
(Problems to be Solved by the Invention) By the way, in the laser processing apparatus, as a method of moving the optical axis, (a) an optical axis fixed table moving type, (b) a one-axis optical axis moving, a one-axis table moving type, (c) ) Optical axis moving table fixed type.

このタイプによって、ビームアライメント調整時間が
大きく変化し、(a)では約30分、(b)では約1時
間、(c)では約2時間も要するという問題があった。
複数のレーザ発振器とレーザ加工機との組合せにより、
光学部品、例えば折返しミラーの方向を変更しなければ
ならないが、手動操作の場合にはその再現性、すなわち
繰返し位置決め精度の向上を期待することは困難であっ
た。
Depending on this type, there is a problem that the beam alignment adjustment time greatly changes, and it takes about 30 minutes in (a), about 1 hour in (b), and about 2 hours in (c).
By combining multiple laser oscillators and laser processing machines,
It is necessary to change the direction of an optical component, for example, a folding mirror. However, in the case of manual operation, it is difficult to expect the reproducibility, that is, the improvement of the repeat positioning accuracy.

再現性の良否は重要な問題で、再現性がないと、折返
しミラーの調整後に、改めてレーザ加工機のビームアラ
イメント調整を実施しなければならない。このために、
複数のレーザ発振器およびレーザ加工機による連続的で
柔軟なレーザ加工方法の実現は極めて困難であった。
The quality of reproducibility is an important issue. If there is no reproducibility, it is necessary to adjust the beam alignment of the laser beam machine again after adjusting the folding mirror. For this,
It has been extremely difficult to realize a continuous and flexible laser processing method using a plurality of laser oscillators and laser processing machines.

本発明の目的は、上記の問題点を改善するために、再
現性が向上し、調整時間の大幅な短縮が実現し得るビー
ムスイッチング装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a beam switching device capable of improving the reproducibility and significantly reducing the adjustment time in order to improve the above-mentioned problems.

(課題を解決するための手段) 前述のごとき従来の問題に鑑みて、本発明は、水平方
向に互いに直交するX軸,Y軸に対して直交する垂直なZ
軸の3軸方向へX,Y,Z軸の各ターボモータによって自動
的に位置決め可能に設けたZ軸ユニットにα軸ユニット
を設け、このα軸ユニットをα軸用のサーボモータによ
り前記Z軸ユニットに対して定位置において垂直な軸心
回りに自動的に回動位置決め可能に設けると共にこのα
軸ユニットに設けたβ軸ユニットを上記α軸ユニットに
対して定位置において水平な軸心回りにβ軸用のサーボ
モータによって自動的に回動位置決め可能に設け、レー
ザ発振器から発振されたレーザビームを反射する折返し
ミラーを前記β軸ユニットに設け、この折返しミラーの
折返し方向を、前記X,Y,Z軸の各サーボモータ及び前記
α軸ユニット、β軸ユニットの各サーボモータによって
自動的に制御可能の構成としてなるものである。
(Means for Solving the Problems) In view of the conventional problems as described above, the present invention relates to a method of perpendicularizing the X-axis and the Y-axis perpendicular to each other in the horizontal direction.
An α-axis unit is provided on a Z-axis unit provided so as to be automatically positionable in the three axis directions by X, Y, and Z-axis turbo motors. The unit is provided so as to be automatically rotatable and positionable about a vertical axis at a fixed position with respect to the unit.
A laser beam oscillated from a laser oscillator is provided so that a β-axis unit provided in the axis unit can be automatically rotated and positioned by a β-axis servomotor around a horizontal axis at a fixed position with respect to the α-axis unit. Provided on the β-axis unit, and the folding direction of the folding mirror is automatically controlled by the servomotors of the X, Y, and Z axes and the servomotors of the α-axis unit and the β-axis unit. This is a possible configuration.

(実施例) 以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明す
る。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明のレーザ加工システムの一実施例の概
略構成図を示す。このレーザ加工装置1は、複数個、本
実施例では3個のレーザ発振器3,5,7と、複数個、本実
施例では2個のレーザ加工機9,11と、これらのレーザ発
振器3,5,7とレーザ加工機9,11とを結ぶ光路上に配置さ
れた固定折返しミラー13および複数個、本実施例では3
個のビームスイッチング装置15,17,19とから構成されて
いる。このビームスイッチング装置15,17,19は、レーザ
発振器1,3,5とレーザ加工機9,11との組合せにより、そ
の方向を変更し得る折返しミラー29を装着する全軸NC制
御タイプである。
FIG. 1 shows a schematic configuration diagram of one embodiment of the laser processing system of the present invention. The laser processing apparatus 1 includes a plurality of laser oscillators 3, 5, 7 in the present embodiment, and a plurality of laser processing machines 9, 11 in the present embodiment, and two laser oscillators 3, 11, in the present embodiment. The fixed folding mirror 13 and a plurality of mirrors, which are arranged on the optical path connecting the laser processing machines 5 and 7 and the laser processing machines 9 and 11, 3 in this embodiment.
And beam switching devices 15, 17, and 19. The beam switching devices 15, 17, and 19 are all-axis NC control types in which folding mirrors 29 whose directions can be changed by a combination of laser oscillators 1, 3, and 5 and laser processing machines 9 and 11 are mounted.

レーザ加工機9は加工ヘッド21がフレーム23上をY軸
方向に移動し、テーブル25がX軸方向に移動する1軸光
軸移動1軸テーブル移動タイプである。レーザ加工機1
は加工ヘッド21がフレーム27上をY軸方向に移動し、か
つフレーム27がX軸方向に移動して、テーブルが25が固
定された光軸移動テーブル固定タイプである。
The laser processing machine 9 is of a one-axis optical axis moving one-axis table moving type in which the processing head 21 moves on the frame 23 in the Y-axis direction and the table 25 moves in the X-axis direction. Laser processing machine 1
Is an optical axis moving table fixed type in which the processing head 21 moves on the frame 27 in the Y-axis direction and the frame 27 moves in the X-axis direction, and the table 25 is fixed.

第2図は第1図におけるビームスイッチング装置の正
面図、第3図は第2図の側面図を示す。ビームスイッチ
ング装置15,17,19は、主として折返しミラー29、X軸サ
ーボモータ31、Y軸サーボモータ33、X軸サーボモータ
35、α軸サーボモータ37、β軸サーボモータ39、X軸ユ
ニット41、Y軸ユニット43、Z軸ユニット45、第2図よ
り明らかなようにZ軸ユニット45に対し定位置でZ軸心
回りに回動可能のα軸ユニット47および、第3図より明
らかなようにα軸ユニット5に対し定位置で水平な軸心
回りに回動自在のβ軸ユニット49から構成されている。
ここに、LBは折返しミラー29で方向を変えるレーザビー
ム、X,Y,Z,α,βは折返しミラー29の調整に必要なパラ
メータである。
FIG. 2 is a front view of the beam switching device in FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of FIG. The beam switching devices 15, 17, and 19 are mainly composed of a folding mirror 29, an X-axis servo motor 31, a Y-axis servo motor 33, and an X-axis servo motor.
35, α-axis servo motor 37, β-axis servo motor 39, X-axis unit 41, Y-axis unit 43, Z-axis unit 45, as shown in FIG. 3 and a β-axis unit 49 rotatable around a horizontal axis at a fixed position with respect to the α-axis unit 5 as apparent from FIG.
Here, LB is a laser beam whose direction is changed by the turning mirror 29, and X, Y, Z, α, and β are parameters necessary for adjusting the turning mirror 29.

このような調整パラメータX,Y,Z,α,βがNC制御され
るビームスイッチング装置15,17,19の調整方法について
のフローチャートを第4図に示す。各調整パラメータX,
Y.Z.α,βは、NC制御されたサーボモータ31,33,35,37,
39によって駆動される。試運転の際に、各組合せによる
調整を行い、各組合せ時の各折返しミラー29の位置パラ
メータX1,Y1,Z1,α1,β1ないしX3,Y3,Z3,α3,β3をNC
制御装置に記憶させて初期値とする。
FIG. 4 is a flowchart showing a method of adjusting the beam switching devices 15, 17, and 19 in which the adjustment parameters X, Y, Z, α, and β are NC-controlled. Each adjustment parameter X,
YZα and β are NC-controlled servomotors 31, 33, 35, 37,
Driven by 39. At the time of test operation, adjustment is performed for each combination, and the position parameters X1, Y1, Z1, α1, β1 to X3, Y3, Z3, α3, β3 of each folding mirror 29 for each combination are set to NC.
It is stored in the control device and used as an initial value.

次に、NCプログラムにより、レーザ発振器3,5,7とレ
ーザ加工機9,11との組合せを選択し(ステップS1)、NC
制御装置により各ビームスイッチング装置15,17,19の内
部の折返しミラー29の各軸X1,Y1,Z1,α1,β1ないしX3,
Y3,Z3,α3,β3の軸移動(ポジショニング)が実行さ
れ、指令された組合せの初期値に自動設定される(ステ
ップS2)。
Next, a combination of the laser oscillators 3, 5, 7 and the laser machines 9, 11 is selected by the NC program (step S1),
Each axis X1, Y1, Z1, α1, β1 to X3, X3, Y1, Z2 of the folding mirror 29 inside each beam switching device 15, 17, 19 is controlled by the control device.
The axis movement (positioning) of Y3, Z3, α3, β3 is executed and automatically set to the initial value of the commanded combination (step S2).

実行されたビームアライメントの結果が良好であれば
(ステップS3)、アライメント位置記憶ボタンを押し
(ステップS4)、アライメント位置に関する各ビームス
イッチング装置15,17,19内部の押返しミラー29の各位置
をパラメータがNC制御装置に記憶されて終了し(ステッ
プS5)、レーザ加工を開始する。ビームアライメントの
結果が不良であるならば、ビームアライメント作業を再
び実行する(ステップS6)。
If the result of the executed beam alignment is good (step S3), the alignment position storage button is pressed (step S4), and the positions of the return mirror 29 inside the beam switching devices 15, 17, and 19 regarding the alignment position are determined. The parameters are stored in the NC control device and the process is completed (step S5), and laser processing is started. If the result of the beam alignment is bad, the beam alignment operation is performed again (step S6).

このように、レーザ発振器3,5,7とレーザ加工機9,11
の組合せを変更した際のビームスイッチング装置15,17,
19の再現性は、NC制御によるために、手動調整に比較し
て格段に向上し、調整時間が大幅に短縮する。また、こ
のビームアライムントの結果が不良であるとき、レーザ
発振器3,5,7が主な原因となるから、逆にレーザ発振器
3,5,7のメンテナンス管理が可能である。なお、NC制御
装置により、過去の位置データの管理が可能となり、調
整作業の履歴管理が容易である。
Thus, the laser oscillators 3, 5, 7 and the laser processing machines 9, 11
Beam switching devices 15, 17, when the combination of
The reproducibility of 19 is significantly improved compared to manual adjustment due to NC control, and the adjustment time is greatly reduced. When the result of the beam alignment is not good, the laser oscillators 3, 5, and 7 are the main causes.
3,5,7 maintenance management is possible. In addition, the past position data can be managed by the NC control device, and the history management of the adjustment work is easy.

次に、第5図は参考例であるビームスイッチング装置
の正面図を示す。ビームスイッチング装置51は、上下2
段の互いに直交する折返しミラー53,55を固着し、サー
ボモータ35により鉛直方向(Z軸方向)に移動自在な1
軸NC制御他軸手動半固定タイプである。このZ軸方向の
移動により、左右両方向からのレーザビームを同じ位置
に導入することができ、かつレーザビームを折返しミラ
ー53,55に当らないような位置に移動すれば、レーザビ
ームをビームスイッチング装置51の中を、直進通過させ
ることができる。
Next, FIG. 5 shows a front view of a beam switching device as a reference example. Beam switching device 51 is
The folding mirrors 53 and 55, which are orthogonal to each other, are fixed to each other, and can be moved in the vertical direction (Z-axis direction) by the servomotor 35.
Axis NC control other axis manual semi-fixed type. By moving in the Z-axis direction, laser beams from both the left and right directions can be introduced to the same position, and if the laser beam is moved to a position where it does not hit the folding mirrors 53 and 55, the laser beam is switched to a beam switching device. You can pass straight through 51.

また、折返しミラー53,55が左右方向に独立するため
に、その都度反転、調整することが必要でなく、初期調
整のみでよく、通常NC制御による折返しミラー53または
55の選択のみで、NC制御が簡易化される。
Further, since the folding mirrors 53 and 55 are independent in the left and right direction, it is not necessary to invert and adjust each time, and only the initial adjustment is necessary.
NC control is simplified with only 55 selections.

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではな
く、適宜の設計的変更を行うことにより、その他の態様
においても実施し得るものである。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented in other aspects by making appropriate design changes.

(発明の効果) 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、本
発明は、水平方向に互いに直交するX軸,Y軸に対して直
交する垂直なZ軸の3軸方向へX,Y,Z軸の各サーボモー
タによって自動的に位置決め可能に設けたZ軸ユニット
(45)にα軸ユニット(47)を設け、このα軸ユニット
(47)をα軸用のサーボモータにより前記Z軸ユニット
(45)に対して定位置において垂直な軸心回りに自動的
に回動位置決め可能に設けると共にこのα軸ユニット
(47)に設けたβ軸ユニット(49)を上記α軸ユニット
(47)に対して定位置において水平な軸心回りにβ軸用
のサーボモータによって自動的に回動位置決め可能に設
け、レーザ発振器から発振されたレーザビーム(LB)を
反射する折返しミラー(29)を前記β軸ユニット(49)
に設け、この折返しミラー(29)の折返し方向を、前記
X,Y,Z軸の各サーボモータ及び前記α軸ユニット(4
7)、β軸ユニット(49)の各サーボモータによって自
動的に制御可能の構成としてなるものである。
(Effects of the Invention) As can be understood from the above description of the embodiment, the present invention is directed to X, X and Y axes which are orthogonal to each other in the horizontal direction. An α-axis unit (47) is provided on a Z-axis unit (45) provided so as to be automatically positionable by each of the Y- and Z-axis servomotors, and the α-axis unit (47) is connected to the Z-axis by an α-axis servomotor. The β-axis unit (49) provided in the α-axis unit (47) is provided so as to be automatically rotatable about a vertical axis at a fixed position with respect to the axis unit (45). A folding mirror (29) is provided so that it can be automatically rotated and positioned around a horizontal axis at a fixed position by a β-axis servomotor at a fixed position, and reflects a laser beam (LB) emitted from a laser oscillator. The β axis unit (49)
And the turning direction of the turning mirror (29) is
X, Y, Z axis servo motors and the α axis unit (4
7), it can be automatically controlled by each servo motor of the β-axis unit (49).

上記構成より明らかなように、本発明においては、X,
Y,Z軸の各サーボモータによってX,Y,Z軸方向へ移動位置
決め自在のZ軸ユニット45にα軸ユニット47が設けてあ
り、このα軸ユニット47は、α軸のサーボモータにより
前記Z軸ユニット45に対して定位置において垂直な軸心
回りに自動的に回動位置決め可能に設けてある。そし
て、上記α軸ユニット47に設けたβ軸ユニット49はβ軸
用のサーボモータによりα軸ユニット47に対して定位置
において水平な軸心回りに自動的に回動位置決め可能に
設けてあって、このβ軸ユニット49に折返しミラー29が
設けてあり、X,Y,Z軸の各サーボモータ及びα軸用、β
軸用の各サーボモータによって、前記折返しミラー29の
折返し方向(反射方向)を自動的に制御可能に設けてあ
る。
As is clear from the above configuration, in the present invention, X,
An α-axis unit 47 is provided on a Z-axis unit 45 that can be moved and positioned in the X, Y, and Z-axis directions by respective Y, Z-axis servo motors. It is provided so that it can be automatically rotated and positioned around a vertical axis at a fixed position with respect to the shaft unit 45. The β-axis unit 49 provided in the α-axis unit 47 is provided so as to be able to be automatically rotated and positioned around a horizontal axis at a fixed position with respect to the α-axis unit 47 by a servomotor for the β-axis. A folding mirror 29 is provided on the β-axis unit 49, and the servomotors for the X, Y, and Z axes and for the α-axis,
The folding direction (reflection direction) of the folding mirror 29 is provided so as to be automatically controllable by each axis servomotor.

すなわち、本発明においては、X,Y,Z,α,β軸の各軸
の調整は、各軸の個別に対応した各サーボモータを個別
に制御することによって行われるものであり、かつα
軸、β軸はそれぞれ所定位置において回動されるもので
あり、α軸,β軸の回動調整後に、このα軸,β軸の回
動調整に起因してX,Y,Z軸の再調整を必要とするもので
はなく、レーザビームの光路調整が容易なものである。
That is, in the present invention, the adjustment of each of the X, Y, Z, α, and β axes is performed by individually controlling each of the servo motors individually corresponding to each of the axes.
The axis and the β axis are respectively rotated at predetermined positions. After the rotation adjustment of the α axis and the β axis, the X, Y, and Z axes are re-adjusted due to the rotation adjustment of the α axis and the β axis. No adjustment is required, and adjustment of the optical path of the laser beam is easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明のレーザ加工方法の一実施例の概略構成
図、第2図は第1図におけるビームスイッチング装置の
正面図、第3図は第2図の側面図、第4図は各調整パラ
メータがNC制御されるビームスイッチング装置の調整方
法についてのフローチャート、第5図は参考例であるビ
ームスイッチング装置の正面図である。 1……レーザ加工装置 3,5,7……レーザ発振器 9,11……レーザ加工機 15,17,19……ビームスイッチング装置 29……折返しミラー 51……ビームスイッチング装置 53,55……折返しミラー
FIG. 1 is a schematic structural view of one embodiment of the laser processing method of the present invention, FIG. 2 is a front view of the beam switching device in FIG. 1, FIG. 3 is a side view of FIG. 2, and FIG. FIG. 5 is a flowchart showing a method of adjusting a beam switching device in which adjustment parameters are NC-controlled, and FIG. 5 is a front view of a beam switching device as a reference example. 1 laser processing device 3,5,7 laser oscillator 9,11 laser processing device 15,17,19 beam switching device 29 folding mirror 51 beam switching device 53,55 folding mirror

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】水平方向に互いに直交するX軸,Y軸に対し
て直交する垂直なZ軸の3軸方向へX,Y,Z軸の各サーボ
モータによって自動的に位置決め可能に設けたZ軸ユニ
ット(45)にα軸ユニット(47)を設け、このα軸ユニ
ット(47)をα軸用のサーボモータにより前記Z軸ユニ
ット(45)に対して定位置において垂直な軸心回りに自
動的に回動位置決め可能に設けると共にこのα軸ユニッ
ト(47)に設けたβ軸ユニット(49)を上記α軸ユニッ
ト(47)に対して定位置において水平な軸心回りにβ軸
用のサーボモータによって自動的に回動位置決め可能に
設け、レーザ発振器から発振されたレーザビーム(LB)
を反射する折返しミラー(29)を前記β軸ユニット(4
9)に設け、この折返しミラー(29)の折返し方向を、
前記X,Y,Z軸の各サーボモータ及び前記α軸ユニット(4
7)、β軸ユニット(49)の各サーボモータによって自
動的に制御可能の構成としてなることを特徴とするビー
ムスイッチング装置。
1. A Z-axis provided so as to be automatically positionable by three X-, Y-, and Z-axis servomotors in three Z-axis directions perpendicular to an X-axis and a Y-axis orthogonal to each other in a horizontal direction. An α-axis unit (47) is provided on the axis unit (45), and the α-axis unit (47) is automatically rotated around a vertical axis at a fixed position with respect to the Z-axis unit (45) by an α-axis servomotor. The β-axis unit (49) provided on the α-axis unit (47) is provided so as to be capable of rotating and positioning in a fixed position with respect to the α-axis unit (47). A laser beam (LB) oscillated from a laser oscillator, provided so that it can be automatically rotated and positioned by a motor
The reflecting mirror (29) that reflects the light from the β-axis unit (4
9), and the turning direction of this turning mirror (29) is
The servomotors for the X, Y, and Z axes and the α-axis unit (4
7) A beam switching device characterized in that it can be automatically controlled by each servo motor of the β-axis unit (49).
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JPH0687421B2 (en) * 1985-12-20 1994-11-02 株式会社東芝 Fuel cell cooling device

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