JP2828335B2 - 駆動部品 - Google Patents
駆動部品Info
- Publication number
- JP2828335B2 JP2828335B2 JP2299076A JP29907690A JP2828335B2 JP 2828335 B2 JP2828335 B2 JP 2828335B2 JP 2299076 A JP2299076 A JP 2299076A JP 29907690 A JP29907690 A JP 29907690A JP 2828335 B2 JP2828335 B2 JP 2828335B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- semiconductor chip
- metal
- printed wiring
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
- H01L23/142—Metallic substrates having insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/014—Solder alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1515—Shape
- H01L2924/15153—Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/30105—Capacitance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
Description
板を備えた駆動部品に関するものである。
るための大電力半導体チップの印刷配線基板への搭載
は、小型化できることからチップオンボード基板が多用
されてきた。
ードの印刷配線基板20は、絶縁基板上21と、この表面に
設けられた印刷配線22とから構成されており、大電力半
導体チップを搭載する工夫として熱伝導性の良い金属板
から構成されたヒートスプレッダ23を絶縁基板21上に設
けている。この印刷配線基板20上への半導体チップ24の
搭載は、半導体チップ24をヒートスプレッダ23上に接着
し、ワイヤ25により配線し、これらを封止樹脂26により
包囲することにより行なう。
けたのは、半導体チップ24が発生する熱を、半導体チッ
プ24表面からの放出させるだけでなく、より表面積の大
きいヒートスプレッダから放出させるほうが効率的だか
らである。
比較的小電力の半導体チップでは有効であるが、近年使
用要求が増している数ワットを超える半導体チップを搭
載するには十分でなかった。例えば、ワイヤドットプリ
ントヘッドドライバでは、近年印字品質が重要視される
結果、用いるワイヤドットピン数が増加し、これにつれ
て半導体チップが扱うワット数が増大し、発熱量もます
ます増加しているのである。
が形成されるとともに所定の位置に開口部が設けられた
印刷配線基板と、該基板の他の主面上に貼り付けられ該
開口部を覆うとともに少なくとも該金属板単体で搭載し
た半導体チップを支持できる剛性が得られる厚さの金属
板と、該金属板上に搭載された大電力半導体チップとか
ら構成されたプリント基板と、 金属から構成された筐体を有し、前記大電力半導体チ
ップにより駆動される駆動体とから構成され、 前記印刷配線基板の金属板における前記半導体チップ
搭載面の反対側は露出して露出面を形成しており、 該金属板の露出面は前記駆動体の前記金属から構成さ
れる筐体外面に密着していることを特徴とする駆動部品
である。
板を駆動体の金属筐体に密着させたので、搭載された半
導体チップが発生した熱を効果的に上記金属筐体に伝導
させて放出することができるのである。
基板の斜視図であり、(b)はそのA1−A2断面図であ
る。
が形成された絶縁基板21から構成される印刷配線機板20
と、この裏面に貼り付けられた金属板11とから構成され
る。
れる半導体チップ24を収納するに十分な大きさの開口部
12をする。開講部12の底部は金属板11の表面が露出して
いる。印刷配線基板20は、必要により裏面に配線層が設
けられた両面配線基板あるいは多層線基板を用いてもよ
い。このときは裏面の配線層と金属板11が短絡しないよ
うに、絶縁層により被覆する必要がある。
が好ましい。銅板は、なるべく厚いほうが好ましいが、
この表面に半導体チップ24が搭載したときに、これを十
分支持できる剛性が得られる厚さがあれば良い。金属板
11の大きさは少なくともこの開口部12を覆う大きさに形
成する。又、金属板11の表面には半田層を設けておくの
が好ましい。これにより、半導体チップ24を半田付けに
より接着するのが容易となる。又、金属板11の表面の酸
化も防止できる。金属板11と印刷配線板20との接着は、
エポキシ接着剤などの樹脂接着剤を用いると良い。
により行なう。樹脂による接着に比べ熱伝導率が良いの
と、温度サイクルによる接着力の低下が少ないからであ
る。この時、金属板11は半導体チップ24のグランドとし
て用いても、これと接続することなくフローティングで
用いてもどちらでもよい。尚、半導体チップ24と印刷配
線層22との電気的接続は、ワイヤ25等を用いてワイヤボ
ンディングすることができるのはいうまでもない。更
に、この上には(b)に示すように封止樹脂26により包
囲することにより、半導体チップ24及びワイヤ25を保護
するのは従来と同様である。
以下のような効果が得られる。
被覆する封止樹脂に妨害されず効果的に放熱ができる。
半導体チップ24と金属板11は絶縁層を介することなく半
田により接着することにより、半導体チップ24で発生し
た熱が効果的に金属板11に伝導される。このとき、半導
体チップ24と金属板11の間に絶縁層を介在させることな
く半田接着を行なうことにより、効果的な熱の伝導が可
能である。金属板11を比較的大面積に形成すると共に、
半導体チップ24のグランドに接続することにより、金属
板11の電気容量により、ノイズの減少が得られる。
する。
で、例として用いたワイヤドットプリントヘッドの分解
斜視図である。
トプリントヘッド31の背面の外形に合わせた大きさで円
形状に形成されている。プリント基板10は、電源あるい
はワイヤドットプリントヘッド31を駆動するための制御
信号を入力するための端子32と、ワイヤドットプリント
ヘッド31とを電気的に接続するための出力端子を有する ワイヤドットプリントヘッド31は金属性の筐体を有
し、背面に設けられたヘッドコイルボビン33によりプリ
ント基板32の出力端子を接続する。
基板10と出力端子と、ヘッドコイルボビン33が嵌め合わ
されることにより電気的に接続されると共に、位置合わ
せされた固定がなされる。尚、これらの隙間全域にはシ
リコングリス、サーコンあるいはマイラフィルム(雲母
板)を嵌め込むのが好ましい。この状態で、裏カバー34
に設けられたクランプ35と、結合クランプ36により圧力
をかけて固定される。
のように結合されているので本実施例では以下のような
効果が得られる。
熱が金属板11を経由して金属性であるワイヤドットプリ
ントヘッド31の金属筐体に効果的に伝導される。これ
は、プリントヘッド31が激しい動作のため発熱した場合
であっても、プリントヘッドの温度はせいぜい百℃以下
であるので、そのままでは百℃を大きく越えるまで発熱
する半導体チップ24の熱はやはり効果的にプリントヘッ
ド31に伝導される。
ドットプリント31の背面はぴったり密着させるのが好ま
しいが、ワイヤドットプリントヘッド31の背面を鏡面に
磨き上げるのはコスト的にみて必ずしも得策ではない。
更に、ワイヤドットプリントヘッド31の表面には防錆あ
るいは、これを収納するプリント内の配線との不用意な
ショートを避けるためにも絶縁層をコーティングする必
要があるため、例え鏡面に磨き上げても密着は困難であ
る。上記実施例では金属板11とワイヤドットプリントヘ
ッド31の背面の密着性を向上するためにシリコングリス
等を介在させている。これらは絶縁体のため熱伝導率は
余り良くないが、密着性が悪く隙間に空気が介在するよ
りは熱伝導性は向上するのである。
たが、モータ等同電力半導体チップにより制御される装
置で、筐体が金属でできているものであれば広く実施で
きる。
は、この駆動部品を駆動するための大電力半導体チップ
を直接金属板上に搭載したプリント基板を用い、この金
属板を金属からなる筐体に密着させているので、この駆
動部品を駆動するために動作する半導体チップが発生す
る熱をその駆動部品自体の筐体に放熱することができる
ので、この半導体チップの加熱を防止することができ
る。これにより、駆動部品の信頼性を向上させることが
できる。
明するための図であ、(a)は斜視図、(b)はそのA1
−A2断面図、第2図は従来のプリント基板を説明するた
めの断面図、第3図は本発明の第2の実施例である大電
力半導体チップ搭載用プリント基板を用いたプリントヘ
ッドの分解斜視図である。 10……プリント基板、11……金属板、12……開口部、20
……印刷配線基板、31……ワイヤドットプリントヘッ
ド、34……カバー、35,36……クランプ。
Claims (3)
- 【請求項1】絶縁基板の少なくとも一主面上に配線層が
形成されるとともに所定の位置に開口部が設けられた印
刷配線基板と、該基板の他の主面上に貼り付けられ該開
口部を覆うとともに少なくとも該金属板単体で搭載した
半導体チップを支持できる剛性が得られる厚さの金属板
と、該金属板上に搭載された大電力半導体チップとから
構成されたプリント基板と、 金属から構成された筐体を有し、前記大電力半導体チッ
プにより駆動される駆動体とから構成され、 前記印刷配線基板の金属板における前記半導体チップ搭
載面の反対側は露出して露出面を形成しており、 該金属板の露出面は前記駆動体の前記金属から構成され
る筐体外面に密着していることを特徴とする駆動部品。 - 【請求項2】請求項1記載の駆動部品において、前記金
属板の露出面と前記金属から構成される筐体外面間には
隙間を埋めるための密着補助剤を有するとともに該金属
板と該筐体は圧力を加えた状態で密着することを特徴と
する駆動部品。 - 【請求項3】請求項1記載の駆動部品において、前記駆
動体はプリントヘッドであることを特徴とする駆動部
品。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2299076A JP2828335B2 (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | 駆動部品 |
US07/788,537 US5311403A (en) | 1990-11-06 | 1991-11-06 | Printed substrate for mounting high-power semiconductor chip thereon and driver component making use of the printed substrate |
US08/120,520 US5450288A (en) | 1990-11-06 | 1993-09-14 | Printed substrate for mounting high-power semiconductor chip thereon and driver component making use of the printed substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2299076A JP2828335B2 (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | 駆動部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04171994A JPH04171994A (ja) | 1992-06-19 |
JP2828335B2 true JP2828335B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=17867880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2299076A Expired - Fee Related JP2828335B2 (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | 駆動部品 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5311403A (ja) |
JP (1) | JP2828335B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5475379A (en) * | 1990-10-19 | 1995-12-12 | Motorola, Inc. | Solid phase conformal coating suitable for use with electronic devices |
JPH0798620A (ja) * | 1992-11-13 | 1995-04-11 | Seiko Epson Corp | 電子装置およびこれを用いたコンピュータ |
US5873751A (en) * | 1995-12-07 | 1999-02-23 | Methode Electronics, Inc. | Circuitized insulator |
US5889654A (en) * | 1997-04-09 | 1999-03-30 | International Business Machines Corporation | Advanced chip packaging structure for memory card applications |
DE19735170A1 (de) * | 1997-08-13 | 1998-09-10 | Siemens Ag | Chipmodul, insbesondere für kontaktbehaftete Chipkarten, mit nebeneinander angeordneten Chips |
US6147869A (en) * | 1997-11-24 | 2000-11-14 | International Rectifier Corp. | Adaptable planar module |
US5933327A (en) * | 1998-04-03 | 1999-08-03 | Ericsson, Inc. | Wire bond attachment of a integrated circuit package to a heat sink |
US6852406B2 (en) * | 2000-01-26 | 2005-02-08 | Sola International Holdings, Ltd. | Anti-static, anti-reflection coating |
DE102004047358B3 (de) * | 2004-09-29 | 2005-11-03 | Infineon Technologies Ag | In zwei Halbleiterkörpern integrierte Schaltungsanordnung mit einem Leistungsbauelement und einer Ansteuerschaltung |
US20080258167A1 (en) * | 2007-04-23 | 2008-10-23 | Liu Ming-Dah | Package structure for light-emitting elements |
US8253241B2 (en) | 2008-05-20 | 2012-08-28 | Infineon Technologies Ag | Electronic module |
TWI446495B (zh) * | 2011-01-19 | 2014-07-21 | Subtron Technology Co Ltd | 封裝載板及其製作方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4285002A (en) * | 1978-01-19 | 1981-08-18 | International Computers Limited | Integrated circuit package |
WO1982003727A1 (en) * | 1981-04-21 | 1982-10-28 | Seiichiro Aigoo | Method of making a semiconductor device having a projecting,plated electrode |
US4993148A (en) * | 1987-05-19 | 1991-02-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a circuit board |
-
1990
- 1990-11-06 JP JP2299076A patent/JP2828335B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-11-06 US US07/788,537 patent/US5311403A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-09-14 US US08/120,520 patent/US5450288A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5450288A (en) | 1995-09-12 |
JPH04171994A (ja) | 1992-06-19 |
US5311403A (en) | 1994-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2828335B2 (ja) | 駆動部品 | |
JPH0779053A (ja) | 電気装置 | |
JPH06177295A (ja) | 混成集積回路装置 | |
JP2000305469A (ja) | 表示装置 | |
JP2003220722A (ja) | サーマルヘッド | |
JP3506547B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPS63190363A (ja) | パワ−パツケ−ジ | |
JP2841945B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH104167A (ja) | 半導体装置 | |
JPH0650397U (ja) | 電気部品実装装置 | |
JP3062102B2 (ja) | 放熱板付きプリント基板 | |
JP2748771B2 (ja) | フィルムキャリア半導体装置及びその製造方法 | |
JP3296626B2 (ja) | 混成集積回路装置 | |
JPS63284831A (ja) | 混成集積回路の製造方法 | |
JP3013612B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3462591B2 (ja) | 混成集積回路装置 | |
JP2800605B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH05144985A (ja) | 混成集積回路装置 | |
JPH0465193A (ja) | 高密度実装放熱基板 | |
JP4002632B2 (ja) | Icチップの放熱機構 | |
JP2798464B2 (ja) | 電力増幅モジュール構造 | |
JP2513416B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH05235567A (ja) | 混成集積回路装置 | |
JPH04273465A (ja) | 回路基板における放熱装置 | |
JP2001257490A (ja) | 電子機器の放熱構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070918 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080918 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080918 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090918 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090918 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100918 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |