JP2805852B2 - 電子ビーム発生装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は金属溶解等に使用される電子ビーム発生装
置に関する。

〔従来の技術〕

第３図は従来のこの種の電子ビーム発生装置を示した
ものである。同図において、１は真空容器であって、フ
イラメント２、ウエーネルト電極３等からなるカソード
ユニット４と加速用電極であるアノード５を収納する第
１室Ａを区画する第１容器部20、この第１室Ａの下流に
あって、第１ビーム通路R1を区画する第１通路部21、第
１ビーム通路R1を介して第１室Ａと連続する第２室（中
間室）Ｂを区画する第２容器部22、この第２室Ｂの下流
にあって、第２ビーム通路R2を区画する第２通路部23、
第２ビーム通路R2を介して第２室Ｂと連続する第３室
（処理室）Ｃを区画する第３容器部24を有しており、各
第１容器部20、第２容器部22および第３容器部24はそれ
ぞれ排気口20A、22Aおよび24Aを有し、弁20B、22B、24B
を有する管路20C、22Cおよび24Cを通して排気用真空ポ
ンプP1、P2およびP3に連絡されている。６、７は収束レ
ンズ（磁気レンズ）であって、第１通路部21、第２通路
部23を取り巻いて配設されている。８は偏向レンズ、９
はルツボ、10は被処理金属である。11は覗き窓であっ
て、第２容器22の側壁に形成した窓孔12にシールを兼ね
た窓枠13を取着し、この窓枠13に板厚の大きいガラス14
を嵌めて形成してある。

この構成において、カソードユニット４のフイラメン
ト２に電流を流して熱電子を発生させると、発生した熱
電子はフイラメント−アノード間の電界によりアノード
５側へ加速され、収束レンズ６による収束作用を受け
て、ビーム通路R1から第２室Ｂに向かい、更に、収束レ
ンズ７による収束作用を受けつつビーム通路R2を通過し
て第３室Ｃに入り、被処理物（この例では、溶解金属）
10に照射される。

〔発明が解決しようとする課題〕

この電子ビーム発生装置の真空容器１には、発生した
電子ビームの状態を目視により確認したりするための覗
き窓11が形成してあるが、この覗き窓11はガラス14で内
外を密に遮蔽しただけであるため、地磁気等の外部磁界
を完全に遮蔽することができず、第２室Ｂを通過する電
子ビームはこの外部磁界の影響により、第２室Ｂの軸心
から外れ、ビーム通路R2内へ直進せず、第２容器22底を
照射するようになる事態が発生する。

この発明は上記問題を解消するためになされたもの
で、覗き窓を通して進入する外部磁界の影響を無くすこ
とができる電子ビーム発生装置を提供することを目的と
する。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は上記目的を達成するために、覗き窓の内側
もしくは外側に外部磁界遮蔽用の網状磁性体を設けたも
ので、請求項２では、この磁性体を、室と同心に配設さ
れ、内部を電子ビームが通過する筒体としたものであ
る。

〔作用〕

この発明では、覗き窓の外もしくは該窓と電子ビーム
との間に磁性体を設けて磁気遮蔽を行っているので、電
子ビームに対する外部磁界の影響は除去され、この磁性
体は網状であるので、磁性体および覗き窓を通して電子
ビームの状態を見ることができる。

〔実施例〕

以下、この発明の１実施例を図面を参照して説明す
る。

第１図において、15は金網からなる筒体であって、第
２容器22の軸心と同心に該第２容器22内に配置され、上
取付部16で第２容器22の上壁18Uに、また下取付部17で
第２容器22の下壁18Dに固定されている。この筒体15は
ビーム通路R1、R2の径より小さくない径を有している。

この構成においては、覗き窓11を通して第２室Ｂに侵
入した外部磁界は筒体15で磁気遮蔽されるので、筒体15
内を通過する電子ビームに影響を及ぼすようなことはな
い。また、筒体15は金網であるので、覗き窓11から筒体
15を通して電子ビームの状態を目視することはできる。

なお、この実施例では、第２室Ｂ内に磁性体である筒
体の金網を設けているが、第２図に示すように、覗き窓
11のガラス14の外側または内側を金網19で覆っても同様
の効果を得ることができる。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明した通り、覗き窓の外もしくは内
側に網状の磁性体を配設したことにより、外部磁気をこ
の磁性体で遮蔽することができるので、電子ビームの進
行方向が外部磁界によって左右されるのを確実に防止す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示す断面図、第２図はこの
発明の第２の実施例を示す断面図、第３図は従来の電子
ビーム発生装置を示す断面図である。 ４……カソードユニット、５……アノード、11……覗き
窓、14……ガラス、15……筒状の磁性体、19……金網、
20……第１容器部、21……第１通路部、22……第２容器
部、23……第２通路部、24……第３容器部、

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平１−86053（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−80062（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−59825（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01J 37/305 H01J 37/16 H01J 37/06 - 37/07

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１室を区画する第１の容器部、下流側室
   を区画する第２の容器部、両容器部の間に介在し収束レ
   ンズ収納室で取り巻かれるビーム通路部を備える真空容
   器を有し、上記第１室には熱電子を発生するカソードユ
   ニットと加速用電圧が印加されるアノードを収納し、上
   記下流側室には電子ビーム照射を受ける被処理物を収納
   する電子ビーム発生装置において、上記第２の容器部
   は、その側壁に覗き窓を有し、覗き窓の内側もしくは外
   側に外部磁界遮蔽用の網状磁性体を設けたことを特徴と
   する電子ビーム発生装置。
2. 【請求項２】内側の網状磁性体は、室と同心に配設さ
   れ、内部をビームが通過する筒体であることを特徴とす
   る請求項１記載の電子ビーム発生装置。