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JP2803515B2 - Method for producing dyed polysilane film - Google Patents

Method for producing dyed polysilane film

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JP2803515B2
JP2803515B2 JP5040405A JP4040593A JP2803515B2 JP 2803515 B2 JP2803515 B2 JP 2803515B2 JP 5040405 A JP5040405 A JP 5040405A JP 4040593 A JP4040593 A JP 4040593A JP 2803515 B2 JP2803515 B2 JP 2803515B2
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Japan
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polysilane
film
dyed
polysilane film
color filter
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栄一 田部井
滋 森
章 林田
寿 梅原
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、特に光学機器や照明装
置などのカラーフィルタの用途に好適な染色ポリシラン
フィルムの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a dyed polysilane film which is particularly suitable for use as a color filter for optical equipment and lighting equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】光学機
器や照明装置などにおいて用いるカラーフィルタの製造
方法としては、従来、染色法、印刷法、顔料分散法、電
着法などが採用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, dyeing, printing, pigment dispersing, electrodeposition, and the like have been adopted as a method for producing a color filter used in an optical device or a lighting device. .

【0003】染色法は、ガラス基板表面に感光性の重ク
ロム酸塩を添加した高分子材料を塗布し、マスク露光を
行い、現像することによって所望のパターンのフィルム
を形成し、このフィルムを染料で染色した後、フィルム
上に防汚層を塗布する工程を複数回繰り返すことにより
カラーフィルタを製造する方法である。この染色法でカ
ラーフィルタを製造した場合、完成度が高いカラーフィ
ルタを得ることができるが、製造工程が複雑であり、コ
スト的にも不利であるという問題点がある。
In the dyeing method, a polymer material to which a photosensitive dichromate is added is applied to a glass substrate surface, mask exposure is performed, and development is performed to form a film having a desired pattern. This is a method for producing a color filter by repeating the process of applying an antifouling layer on a film a plurality of times after dyeing with a color filter. When a color filter is manufactured by this dyeing method, a color filter with a high degree of perfection can be obtained, but there is a problem that the manufacturing process is complicated and the cost is disadvantageous.

【0004】また、印刷法としては孔版印刷法、オフセ
ット印刷法、グラビア印刷法などがあり、製造工程が簡
単である反面、精度及び安定性が課題となっている。
There are stencil printing, offset printing, gravure printing, and the like as printing methods. Although the manufacturing process is simple, accuracy and stability are problems.

【0005】顔料分散法はカラーレジスト法とも呼ば
れ、顔料を分散させた着色剤をフォトリソグラフィー技
術を用いてパターニングする工程を繰り返すことにより
カラーフィルタを製造する方法である。この方法で製造
されたカラーフィルタは耐熱性、耐光性に優れるもので
あるが、製造工程が複雑であり、コスト的にも不利であ
るという問題がある。
[0005] The pigment dispersion method, also called a color resist method, is a method of producing a color filter by repeating a step of patterning a colorant in which a pigment is dispersed by using a photolithography technique. The color filter manufactured by this method is excellent in heat resistance and light resistance, but has a problem that the manufacturing process is complicated and disadvantageous in cost.

【0006】上記カラーフィルタの製造方法の問題点を
解決した方法として、ポリシランフィルムを用いてカラ
ーフィルタを製造する方法が提案されている。即ち、ポ
リシランフィルムは、紫外線を露光し、カチオン系染料
水溶液に浸漬することにより露光部分のみが染色され、
更に、単一のフィルムに対して多色パターン染色も可能
であることが見い出だされた(横山ら、日本化学会第6
3春季年会4F8 08)。この製造方法によれば、簡
略化された製造工程でカラーフィルタを製造することが
可能であり、従って、カラーフィルタの低コスト化が実
現できるものである。
As a method for solving the above-mentioned problems of the method for manufacturing a color filter, a method for manufacturing a color filter using a polysilane film has been proposed. That is, the polysilane film is exposed to ultraviolet light, and only the exposed portion is dyed by immersing in a cationic dye aqueous solution,
Furthermore, it has been found that multicolor pattern dyeing can be performed on a single film (Yokoyama et al., Chemical Society of Japan No. 6).
3 Spring Annual Meeting 4F808). According to this manufacturing method, it is possible to manufacture a color filter by a simplified manufacturing process, and therefore, it is possible to reduce the cost of the color filter.

【0007】しかしながら、上記カラーフィルタの製造
方法は、従来の製造方法と比較して簡略化されているも
のの、露光時間が長いこと、ポリシランフィルムが機械
的強度に劣ることという問題がある。
However, although the method of manufacturing the above color filter is simplified as compared with the conventional manufacturing method, there are problems that the exposure time is long and that the polysilane film has poor mechanical strength.

【0008】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
露光時間が短くて済むため、簡単な製造工程で製造する
ことができ、かつ機械的強度に優れた染色ポリシランフ
ィルムを得ることができる染色ポリシランフィルムの製
造方法を提供することを目的とする。
[0008] The present invention has been made in view of the above circumstances,
An object of the present invention is to provide a method for producing a dyed polysilane film that can be manufactured by a simple manufacturing process and can obtain a dyed polysilane film having excellent mechanical strength because an exposure time is short.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段及び作用】本発明者は上記
目的を達成するため鋭意検討を行った結果、下記一般式
(1) 〔(R12Si)n(R34Si)mP …(1) (但し、R1,R2,R3,R4は互に同一又は異種の非置
換もしくは置換の炭素数1〜12のアルキル基又はアリ
ール基、n,m,pは0≦n≦10,0≦m≦10,n
+m≧10,p≧1を満たす正数である。)で表される
ポリシランとエステル系化合物とを含有してなる染色性
ポリシラン組成物を有機溶媒に溶解するなどして基板表
面に塗布し、これを乾燥させてポリシランフィルムを形
成し、得られたポリシランフィルムに対して紫外線を露
光し、カチオン系染料で該露光部分を染色する方法によ
って染色ポリシランフィルムを製造した場合、紫外線照
射量が少なくてもポリシランフィルムが効率良く染色さ
れるため、露光工程が短時間で済み、かつ得られた染色
ポリシランフィルムは機械的強度に優れ、カラーフィル
タの用途に好適であることを知見し、本発明をなすに至
った。
The present inventors have made intensive studies to achieve the above object, and as a result, have found that the following general formula (1) [(R 1 R 2 Si) n (R 3 R 4 Si) m ] P ... (1) (where R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are the same or different and are unsubstituted or substituted alkyl or aryl groups having 1 to 12 carbon atoms, n, m, p Is 0 ≦ n ≦ 10, 0 ≦ m ≦ 10, n
It is a positive number that satisfies + m ≧ 10 and p ≧ 1. The dyeable polysilane composition containing the polysilane represented by the formula (1) and the ester compound is applied to the substrate surface by dissolving in an organic solvent or the like, and dried to form a polysilane film. When a polysilane film is exposed to ultraviolet light, and a dyed polysilane film is produced by a method of dyeing the exposed portion with a cationic dye, the polysilane film is efficiently dyed even with a small amount of ultraviolet irradiation. It has been found that the dyed polysilane film obtained in a short time and has excellent mechanical strength and is suitable for use as a color filter has led to the present invention.

【0010】従って、本発明は、上記一般式(1)で表
されるポリシランとエステル系化合物とを含有してなる
染色性ポリシラン組成物の溶液を基板表面に塗布し、得
られたポリシランフィルムに対して紫外線を露光し、該
露光部分をカチオン系染料で染色することを特徴とする
染色ポリシランフィルムの製造方法を提供する。
Therefore, the present invention provides a dyeable polysilane composition solution containing a polysilane represented by the above general formula (1) and an ester compound, which is applied to the surface of a substrate, and the resulting polysilane film Provided is a method for producing a dyed polysilane film, which comprises exposing the exposed portion to ultraviolet light and dyeing the exposed portion with a cationic dye.

【0011】以下、本発明を更に詳しく説明すると、本
発明は、下記一般式(1)で表されるポリシランとエス
テル系化合物とを含有する染色性ポリシラン組成物を使
用するものである。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail. The present invention uses a dyeable polysilane composition containing a polysilane represented by the following general formula (1) and an ester compound.

【0012】 〔(R12Si)n(R34Si)mP …(1) (但し、R1,R2,R3,R4は互に同一又は異種の非置
換もしくは置換の炭素数1〜12のアルキル基又はアリ
ール基、n,m,pは0≦n≦10,0≦m≦10,n
+m≧10,p≧1を満たす正数である。)
[(R 1 R 2 Si) n (R 3 R 4 Si) m ] P (1) (where R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are the same or different, unsubstituted or Substituted alkyl group or aryl group having 1 to 12 carbon atoms, n, m and p are 0 ≦ n ≦ 10, 0 ≦ m ≦ 10, n
It is a positive number that satisfies + m ≧ 10 and p ≧ 1. )

【0013】ここで、R1,R2,R3,R4は互に同一又
は異種の非置換もしくは置換の炭素数1〜12のアルキ
ル基又はアリール基である。アルキル基として具体的に
はメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシ
ル基などが挙げられる。アリール基としてはフェニル
基、トリル基など及びこれらの基の水素原子の一部又は
全部をアルキル基、アルコキシ基等で置換したアリール
基などが挙げられる。n,m,pは0≦n≦10,0≦
m≦10,n+m≧10,p≧1を満たす正数である。
Here, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are the same or different and are unsubstituted or substituted alkyl or aryl groups having 1 to 12 carbon atoms. Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a hexyl group. Examples of the aryl group include a phenyl group, a tolyl group, and an aryl group in which part or all of the hydrogen atoms of these groups are substituted with an alkyl group, an alkoxy group, or the like. n, m, and p are 0 ≦ n ≦ 10, 0 ≦
It is a positive number that satisfies m ≦ 10, n + m ≧ 10, and p ≧ 1.

【0014】一方、エステル系化合物としては、フタル
酸エステル類等の芳香族カルボン酸エステル類、脂肪酸
エステル類、多価アルコールのエステル類、リン酸エス
テル類などが挙げられる。
On the other hand, examples of the ester compound include aromatic carboxylic acid esters such as phthalic acid esters, fatty acid esters, polyhydric alcohol esters, and phosphoric acid esters.

【0015】このエステル系化合物の配合量は上記ポリ
シラン100部(重量部、以下同じ)に対して1〜10
0部、特に30〜40部とすることが好ましい。
The amount of the ester compound is 1 to 10 parts by weight per 100 parts (parts by weight, hereinafter the same) of the above polysilane.
It is preferably 0 parts, particularly preferably 30 to 40 parts.

【0016】本発明の染色性ポリシラン組成物は、上記
成分を混合することにより得ることができる。
The dyeable polysilane composition of the present invention can be obtained by mixing the above components.

【0017】上記染色性ポリシラン組成物を用いて染色
ポリシランフィルムを製造するには、まず、このポリシ
ラン組成物を有機溶媒に溶解するなどしてガラスなどの
透明基板上に塗布し、乾燥させることによりポリシラン
フィルムを形成する。
In order to produce a dyed polysilane film using the dyeable polysilane composition, first, the polysilane composition is dissolved in an organic solvent, applied to a transparent substrate such as glass, and dried. Form a polysilane film.

【0018】この場合、有機溶媒としてはトルエン、キ
シレンなどを用いることができる。上記ポリシラン組成
物を有機溶媒に溶解するときの濃度は1〜30%(重量
%、以下同じ)とすることが好ましい。また、ポリシラ
ン組成物の溶液を基板上に塗布する方法としては、スピ
ンコートなどの方法を採用することができる。
In this case, toluene, xylene and the like can be used as the organic solvent. The concentration of the polysilane composition when dissolved in an organic solvent is preferably 1 to 30% (% by weight, hereinafter the same). In addition, as a method for applying the solution of the polysilane composition on the substrate, a method such as spin coating can be employed.

【0019】なお、乾燥後のポリシランフィルムの厚さ
は、本発明に係る染色ポリシランフィルムをカラーフィ
ルタの用途に用いる場合、0.5〜20μmとすること
が好ましい。
When the dyed polysilane film of the present invention is used for a color filter, the thickness of the dried polysilane film is preferably 0.5 to 20 μm.

【0020】次いで、得られたポリシランフィルムに対
して紫外線を露光する。この場合、必要に応じて所望の
マスクパターンを用いてパターン露光することができ
る。なお、紫外線照射線量は0.1〜10J/cm2
より望ましくは3〜5J/cm2とすることが好まし
い。その後、カチオン系染料のアセトニトリル水溶液に
浸漬するなどのことにより、染色されたポリシランフィ
ルムパターンを得ることができる。
Next, the obtained polysilane film is exposed to ultraviolet rays. In this case, pattern exposure can be performed using a desired mask pattern as needed. The ultraviolet irradiation dose is 0.1 to 10 J / cm 2 ,
More preferably, it is preferably 3 to 5 J / cm 2 . Thereafter, a dyed polysilane film pattern can be obtained, for example, by immersion in an aqueous solution of a cationic dye in acetonitrile.

【0021】ここで、カチオン系染料としてはローダミ
ン6G、ローダミンB、サフラニンT、ブリリアントグ
リーン、マラカイトグリーン、クリスタルバイオレッ
ト、ベーシックブルー3、インドインブルーなどが挙げ
られる。これらカチオン系染料はアセトニトリルなどの
水溶液に0.01〜10%濃度で溶解することが好まし
い。この場合、アセトニトリル水溶液としてはアセトニ
トリル100部に対して水500〜2000部を混合し
たものを用いることができる。
Here, examples of the cationic dye include rhodamine 6G, rhodamine B, safranin T, brilliant green, malachite green, crystal violet, basic blue 3, and indoin blue. These cationic dyes are preferably dissolved in an aqueous solution such as acetonitrile at a concentration of 0.01 to 10%. In this case, as the acetonitrile aqueous solution, a mixture of 100 parts of acetonitrile and 500 to 2000 parts of water can be used.

【0022】また、ポリシランフィルムのカチオン系染
料のアセトニトリルなどの水溶液への浸漬時間は1〜1
0分間とすることが好ましい。
The immersion time of the polysilane film in the aqueous solution of the cationic dye such as acetonitrile is 1 to 1 hour.
Preferably, it is 0 minutes.

【0023】以上のようにして得られた染色ポリシラン
フィルムはカラーフィルタの用途に好適なものである。
The dyed polysilane film obtained as described above is suitable for use as a color filter.

【0024】[0024]

【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

【0025】[実施例1] メチルフェニルポリシラン[(CH
i)]100部とn−ブチルオレート(エステル系化
合物)30部を混合し、これをトルエンに溶解して濃度
が20%のトルエン溶液を得た。次いで、この溶液を石
英基板上にスピンコートし、減圧乾燥を行い、厚さが約
3μmのポリシランフィルムを形成した。次に、このフ
ィルムに対して、高圧水銀灯を用いて紫外線を3J/c
照射した。光照射後、ローダミンBの0.1%アセ
トニトリル水溶液(アセトニトリル/水=10/10
0)に10分間浸漬し、ポリシランフィルムを染色し
た。
Example 1 Methylphenylpolysilane [(CH 3 C 6 H 5 S)
i) 100 parts of n ] and 30 parts of n-butyl oleate (ester compound) were mixed and dissolved in toluene to obtain a toluene solution having a concentration of 20%. Next, this solution was spin-coated on a quartz substrate and dried under reduced pressure to form a polysilane film having a thickness of about 3 μm. Next, this film was irradiated with ultraviolet rays at 3 J / c using a high-pressure mercury lamp.
m 2 was irradiated. After light irradiation, a 0.1% aqueous solution of rhodamine B in acetonitrile (acetonitrile / water = 10/10)
0) for 10 minutes to dye the polysilane film.

【0026】得られた染色フィルムの可視吸収スペクト
ルを測定したところ、染料の特性吸収(556nm)に
由来する透過率は0.06%であり、ポリシランフィル
ムは十分に染色されていた。
When the visible absorption spectrum of the obtained dyed film was measured, the transmittance derived from the characteristic absorption (556 nm) of the dye was 0.06%, and the polysilane film was sufficiently dyed.

【0027】[実施例2]エステル系化合物としてジエ
チレングリコールジベンゾエートを用いた以外は実施例
1と同様にして染色ポリシランフィルムを得た。得られ
た染色フィルムの可視吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、染料の特性吸収(556nm)に由来する透過率は
0.06%であり、十分に染色されていた。
Example 2 A dyed polysilane film was obtained in the same manner as in Example 1 except that diethylene glycol dibenzoate was used as the ester compound. When the visible absorption spectrum of the obtained dyed film was measured, the transmittance derived from the characteristic absorption (556 nm) of the dye was 0.06%, indicating that the dyed film was sufficiently dyed.

【0028】[比較例1]エステル系化合物を添加しな
い以外は実施例1と同様にして染色ポリシランフィルム
を得た(紫外線照射量3J/cm2)。得られた染色フ
ィルムの可視吸収スペクトルを測定したところ、染料の
特性吸収(556nm)に由来する透過率は28%であ
り、染色の程度が不十分であった。
Comparative Example 1 A dyed polysilane film was obtained in the same manner as in Example 1 except that no ester compound was added (ultraviolet irradiation dose: 3 J / cm 2 ). When the visible absorption spectrum of the obtained dyed film was measured, the transmittance derived from the characteristic absorption (556 nm) of the dye was 28%, and the degree of dyeing was insufficient.

【0029】[実施例3]エステル系化合物としてジエ
チレングリコールジベンゾエートを使用し、ポリシラン
100部に対する添加量を10,20,30,40,5
0部と変化させたサンプルを用意し、高圧水銀灯を用い
て紫外線を3J/cm2照射し、染色ポリシランフィル
ムを得た。得られた染色フィルムの可視吸収スペクトル
を測定したところ、染料の特性吸収(556nm)に由
来する透過率はそれぞれ0.60%、0.24%、0.
06%、0.12%、0.30%であり、十分染色され
ていた。
Example 3 Diethylene glycol dibenzoate was used as an ester compound, and the added amount was 10, 20, 30, 40, 5 per 100 parts of polysilane.
A sample changed to 0 parts was prepared and irradiated with ultraviolet rays at 3 J / cm 2 using a high-pressure mercury lamp to obtain a dyed polysilane film. When the visible absorption spectrum of the obtained dyed film was measured, the transmittances derived from the characteristic absorption (556 nm) of the dye were 0.60%, 0.24%, and 0.4%, respectively.
They were 06%, 0.12% and 0.30%, and were sufficiently stained.

【0030】[実施例4]エステル化合物としてアジピ
ン酸ジ(エチルヘキシル)を使用した以外は実施例1と
同様にしてポリシランフィルムを形成した。次に、線幅
が20μmの格子パターンマスクを用い、実施例1と同
様の照射条件でパターン露光を行い、得られたポリシラ
ンフィルムパターンを実施例1と同様にして染色したと
ころ、はっきりした染色パターンを得ることができた。
Example 4 A polysilane film was formed in the same manner as in Example 1 except that di (ethylhexyl) adipate was used as the ester compound. Next, using a lattice pattern mask having a line width of 20 μm, pattern exposure was performed under the same irradiation conditions as in Example 1, and the obtained polysilane film pattern was dyed in the same manner as in Example 1. Could be obtained.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明の染色ポリシラン組成物を染色ポ
リシランフィルムの製造に用いた場合、ポリシランフィ
ルムに対する光照射量が少なくても効率良く染色される
ため、露光工程が短時間で済み、また、得られた染色フ
ィルムは機械的強度に優れ、カラーフィルタの用途に好
適なものである。
When the dyed polysilane composition of the present invention is used for the production of a dyed polysilane film, the dyeing can be efficiently performed even with a small amount of light irradiation on the polysilane film. The resulting dyed film has excellent mechanical strength and is suitable for use as a color filter.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G02B 1/10 G03F 7/075 511 G03F 7/075 511 G02B 1/10 Z (72)発明者 林田 章 神奈川県川崎市高津区坂戸3丁目2番1 号 信越化学工業株式会社 コーポレー トリサーチセンター内 (72)発明者 梅原 寿 神奈川県川崎市高津区坂戸3丁目2番1 号 信越化学工業株式会社 コーポレー トリサーチセンター内 (56)参考文献 特開 平6−172656(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C08L 83/16 C08J 5/18 C08K 5/10 C09D 183/16──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI G02B 1/10 G03F 7/075 511 G03F 7/075 511 G02B 1/10 Z (72) Inventor Akira Hayashida Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 3-2-1 Sakado, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Corporate Research Center (72) Inventor Kotobuki Umehara 3-2-1, Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Corporate Research Center (56) References JP-A-6-172656 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) C08L 83/16 C08J 5/18 C08K 5/10 C09D 183/16

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 下記一般式(1) 〔(RSi)(RSi) …(1) (但し、R,R,R,Rは互に同一又は異種の
非置換もしくは置換の炭素数1〜12のアルキル基又は
アリール基、n,m,pは0≦n≦10,0≦m≦1
0,n+m≧10,p≧1を満たす正数である。)で表
されるポリシランとエステル系化合物とを含有してなる
染色性ポリシラン組成物の溶液を基板表面に塗布し、得
られたポリシランフィルムに対して紫外線を露光し、該
露光部分をカチオン系染料で染色することを特徴とする
染色ポリシランフィルムの製造方法。
1. The following general formula (1) [(R 1 R 2 Si) n (R 3 R 4 Si) m ] p (1) (where R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are mutually The same or different unsubstituted or substituted alkyl or aryl groups having 1 to 12 carbon atoms, n, m and p are 0 ≦ n ≦ 10, 0 ≦ m ≦ 1
0, n + m ≧ 10, and a positive number satisfying p ≧ 1. ), A solution of a dyeable polysilane composition containing the polysilane and the ester compound is applied to the substrate surface, and the resulting polysilane film is exposed to ultraviolet light, and the exposed portion is exposed to a cationic dye. A method for producing a dyed polysilane film, characterized by dyeing with a dye.
JP5040405A 1992-10-09 1993-02-04 Method for producing dyed polysilane film Expired - Fee Related JP2803515B2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH06172656A (en) * 1992-10-09 1994-06-21 Shin Etsu Chem Co Ltd Polysilane composition

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