JP2802546B2 - Manufacturing method of rare earth magnet powder - Google Patents
Manufacturing method of rare earth magnet powderInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、磁気異方性に優れた希土類元素(以下、R
で示す。)−Fe−B系合金磁石粉末の製造方法、磁気異
方性および温度特性に優れたR−Fe−B−Co系合金磁石
粉末の製造方法およびその粉末に関するものであり、ま
た工業的に量産する場合に磁気特性のばらつきが少ない
安定した製造法に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a rare earth element (hereinafter referred to as R) having excellent magnetic anisotropy.
Indicated by The present invention relates to a method for producing a -Fe-B-based alloy magnet powder, a method for producing an R-Fe-B-Co-based alloy magnet powder having excellent magnetic anisotropy and temperature characteristics, and a method for producing the powder. In this case, the present invention relates to a stable manufacturing method with less variation in magnetic characteristics.
さらに、上記のR−Fe−B−Co系合金磁石粉末を用い
て射出成形法または圧縮成形法により製造した樹脂結合
型磁石に関する。Further, the present invention relates to a resin-bonded magnet manufactured by an injection molding method or a compression molding method using the R-Fe-B-Co alloy magnet powder.
背景の技術 近年の電子機器の小型化、高効率化、多様化そして高
温下に曝される自動車用等における過酷な環境下での使
用の要求にともなって永久磁石はますます高性能化が求
められている。この要求に応えるべく永久磁石として希
土類磁石の開発が活発になされ、最近、R−Fe−B系合
金が優れた磁気特性を示す永久磁石材料として注目され
るようになってからその原料としてのR−Fe−B系合金
磁石粉末の開発が行われている。BACKGROUND ART With the recent demand for smaller, more efficient, diversified electronic devices and harsh environments such as automobiles exposed to high temperatures, permanent magnets are required to have higher performance. Have been. Rare earth magnets have been actively developed as permanent magnets to meet this demand, and R-Fe-B alloys have recently been attracting attention as permanent magnet materials exhibiting excellent magnetic properties. -Development of Fe-B based alloy magnet powder is being carried out.
特に、R−Fe−B系合金を水素吸蔵したのち脱水素処
理することによりR−Fe−B系合金磁石粉末を製造する
方法は、優れた磁気特性を有する磁石粉末の製造方法と
して注目されている。例えば、特開平1−132106号公報
に記載のR−Fe−B系合金磁石粉末がある。In particular, a method for producing an R-Fe-B-based alloy magnet powder by subjecting an R-Fe-B-based alloy to hydrogen absorption and then dehydrogenating is attracting attention as a method for producing a magnet powder having excellent magnetic properties. I have. For example, there is an R-Fe-B-based alloy magnet powder described in JP-A-1-132106.
このR−Fe−B系合金磁石粉末は、強磁性相であるR2
Fe14B型金属間化合物相(以下、R2Fe14B型相という。)
を主相とするR−Fe−B系合金のインゴットまたはその
インゴットの粉末を高温に加熱した水素雰囲気中に保持
して水素を吸蔵させ、引き続いて同高温度にて水素を排
気し、真空雰囲気下で脱水素処理することにより再び強
磁性相であるR2Fe14B型相を生成させたものである。こ
の結果得られたR−Fe−B系合金磁石粉末の組織は、平
均粒径0.05〜3μmの極めて微細なR2Fe14B型相の再結
晶組織を主相とした集合組織でを有し、かつ高い磁気特
性を有している。This R-Fe-B-based alloy magnet powder has a ferromagnetic phase of R 2
Fe 14 B type intermetallic compound phase (hereinafter referred to as R 2 Fe 14 B type phase)
An ingot of an R-Fe-B-based alloy or a powder of the ingot having a main phase of hydrogen is held in a hydrogen atmosphere heated to a high temperature to occlude hydrogen. By dehydrogenation below, an R 2 Fe 14 B type phase, which is a ferromagnetic phase, was generated again. The structure of the resulting R-Fe-B-based alloy magnet powder has a texture mainly composed of a recrystallized structure of an extremely fine R 2 Fe 14 B type phase having an average particle size of 0.05 to 3 μm. And has high magnetic properties.
しかしながら、上記の方法で製造されたR−Fe−B系
合金磁石粉末は優れた磁気特性を有するが、インゴット
の合金組成、結晶組織や粒径により、また均質化処理、
水素吸蔵および脱水素などの処理条件の微小な変動など
により、得られたR−Fe−B系合金磁石粉末の磁気異方
性が著しく低下したり、また磁気異方性にばらつきが生
じたりする。このような低下、ばらつきは工業的に量産
する場合には極めて不都合であるばかりでなく、工業化
には困難とされることになる。However, although the R-Fe-B-based alloy magnet powder produced by the above method has excellent magnetic properties, depending on the alloy composition, crystal structure and grain size of the ingot, homogenization treatment,
Due to minute fluctuations in processing conditions such as hydrogen storage and dehydrogenation, the magnetic anisotropy of the obtained R-Fe-B-based alloy magnet powder is remarkably reduced or the magnetic anisotropy varies. . Such a decrease and variation are not only inconvenient when mass-produced industrially, but also difficult for industrialization.
この問題を解決するために、例えば、特開平3−1466
08号公報や特開平4−17604号公報にて磁気異方性のば
らつきが生ずる原因は、水素吸蔵処理が吸熱反応のため
に温度の低下変動差を生ずることによるものとして、イ
ンゴット等を保温作用を有する蓄熱材とともに加熱・水
素処理することを開示している。しかし、本開示に対し
ては、特開平5−163510号公報にてインゴットの全ての
面と蓄熱材と接触させることは困難であり、蓄熱材を入
れるために加熱処理炉を大きくせざるをえなくなり、さ
らにインゴットへの蓄熱材破片の付着混入があることな
どから磁気特性の低下をもたらす、などの課題を指摘し
ている。In order to solve this problem, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
The cause of the variation in magnetic anisotropy in Japanese Patent Publication No. 08 and JP-A-4-17604 is that the hydrogen storage treatment causes a temperature drop fluctuation difference due to an endothermic reaction, and the ingot is kept warm. And heating and hydrogen treatment with a heat storage material having However, with respect to the present disclosure, it is difficult to make the entire surface of the ingot come into contact with the heat storage material in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-163510, and the heat treatment furnace must be enlarged to accommodate the heat storage material. The problem is pointed out that the magnetic properties are deteriorated due to the fact that heat storage material fragments adhere to the ingot and are mixed.
一方、R−Fe−B系合金磁石のキュリー点(Tc)は一
般に300℃前後、最高370℃と温度特性が悪いため、特公
平3−19296号にてその改良が報告されている。On the other hand, the Curie point (Tc) of an R-Fe-B-based alloy magnet is generally about 300 ° C., and the maximum temperature is 370 ° C., and its temperature characteristics are poor.
温度特性を改善する元素としてCoを含有した合金を微
粉砕により3〜10μmの粉末とし、ついで成形〜焼結し
た結果、焼結体永久磁石の温度特性の改善に結びつくキ
ュリー点の上昇と残留磁束密度の低下が見い出されてい
る。An alloy containing Co as an element for improving the temperature characteristics is pulverized into a powder of 3 to 10 μm by pulverization, and then molded and sintered. As a result, the rise in the Curie point and the residual magnetic flux that lead to the improvement in the temperature characteristics of the sintered permanent magnet A decrease in density has been found.
しかし、R−Fe−B系合金にCoを含有すると、Co含有
量が増加すると保磁力iHcは低下する傾向にあり、その
改善が望まれていた。However, when Co is contained in the R-Fe-B-based alloy, the coercive force iHc tends to decrease as the Co content increases, and improvement thereof has been desired.
また、近年の永久磁石の利用範囲としては焼結磁石に
対して樹脂結合型磁石が急激に増加している。その背景
としては、樹脂結合型磁石は、磁石粉末に有機系樹脂あ
るいは金属系樹脂とを結合させて製造するために同種類
の焼結磁石等に比べて磁気特性は劣っているが、機械的
性質が優れるために取扱いが容易であるとともに形状の
自由度が高い等の理由から、また磁気特性の優れた磁石
粉末の開発とあいまってその利用範囲は急速に拡がって
いるものといえる。In recent years, resin-bonded magnets have been rapidly increasing in use range of sintered magnets compared to sintered magnets. As the background, resin-bonded magnets are inferior in magnetic properties to sintered magnets of the same type because they are manufactured by bonding organic powder or metal-based resin to magnet powder, It can be said that the range of use is rapidly expanding due to the excellent properties, easy handling and high degree of freedom in shape, and the combination of the development of magnet powder with excellent magnetic properties.
この樹脂結合型磁石の成形方法には圧縮成形法、押出
成形法および射出成形法がある。圧縮成形法は、一体成
形が難しく形状自由度は少ないが磁石粉末の充填率を80
〜90vol%まで高められるために磁気特性を高性能化で
きる。また、押出成形法は、磁石粉末の充填率は70〜75
%volとやや低下するものの磁気特性に優れかつ連続的
に製造できる特徴がある。一方、射出成形法は一体成形
でき、寸法精度・形状自由度が優れているものの磁石粉
末の量は生産性を高めるために60〜65%volに止まる。
したがって、磁気性能を高めることが困難なためにその
使用には限界があった。There are a compression molding method, an extrusion molding method, and an injection molding method as a molding method of the resin-bonded magnet. In the compression molding method, it is difficult to integrally mold and the degree of freedom of shape is small, but the filling rate of magnet powder is 80
The magnetic properties can be improved because the volume can be increased up to 90 vol%. In the extrusion method, the filling rate of the magnet powder is 70-75.
Although it has a slightly lower% vol, it has excellent magnetic properties and can be continuously manufactured. On the other hand, the injection molding method can be integrally molded and has excellent dimensional accuracy and shape flexibility, but the amount of magnet powder is limited to 60 to 65% vol in order to enhance productivity.
Therefore, its use has been limited because it is difficult to enhance the magnetic performance.
しかし、磁気特性の優れた希土類磁石粉末を利用した
樹脂結合型磁石としては、Sm−Co系では、特開平2−15
3507号にて射出成形法による異方性磁石があり、磁石粉
末を初めに成形磁場より高い磁場で着磁するという粉末
着磁成形法で磁気特性を改善している。However, as a resin-bonded magnet using a rare-earth magnet powder having excellent magnetic properties, a Sm-Co-based magnet is disclosed in
No. 3507 has an anisotropic magnet by injection molding, and the magnetic properties are improved by a powder magnetization molding method in which magnet powder is first magnetized with a magnetic field higher than the molding magnetic field.
Nd−Fe−B系では、特開平3−129702号にて圧縮成形
法による磁気的異方性および耐食性に優れた磁石があ
る。Among the Nd-Fe-B-based magnets, there is a magnet disclosed in JP-A-3-129702 which is excellent in magnetic anisotropy and corrosion resistance by a compression molding method.
一方、最近の希土類磁石の磁気特性の高性能化の研究
と資源問題からNd−Fe−B系の磁石に関する技術開示が
多くなされている。On the other hand, technical disclosures on Nd-Fe-B-based magnets have been made in recent years because of research on improving the magnetic properties of rare-earth magnets and resource issues.
しかし、優れた生産性とともに安定した品質を有する
Nd−Fe−B−Co系磁石粉末を用いた磁気異方性および温
度特性に優れたNd−Fe−B−Co系樹脂結合型磁石に関し
て、射出成形法または圧縮成形法により製造した樹脂結
合型磁石については何ら開示されていない。However, it has stable quality with excellent productivity
Regarding Nd-Fe-B-Co-based resin-bonded magnets with excellent magnetic anisotropy and temperature characteristics using Nd-Fe-B-Co-based magnet powder, resin-bonded type manufactured by injection molding or compression molding Nothing is disclosed about magnets.
本発明は、第1に磁気異方性の優れたR−Fe−B系合
金磁石粉末とともに、磁気特性のばらつきが少なく安定
した製造方法を提供することにある。第2に磁気異方性
に加えて温度特性も優れたR−Fe−B−Co系合金磁石粉
末および磁気特性のばらつきが少なく安定した製造方法
を提供することにある。第3に磁気異方性および温度特
性の優れたR−Fe−B−Co系樹脂結合型磁石を提供する
ことにある。A first object of the present invention is to provide a stable manufacturing method with a small variation in magnetic properties together with an R-Fe-B-based alloy magnet powder having excellent magnetic anisotropy. A second object is to provide an R-Fe-B-Co-based alloy magnet powder having excellent temperature characteristics in addition to magnetic anisotropy, and a stable manufacturing method with small variations in magnetic characteristics. A third object is to provide an R-Fe-B-Co-based resin-bonded magnet having excellent magnetic anisotropy and temperature characteristics.
発明の開示 本発明者等は、上記目的を達成するために鋭意研究し
た結果、次のような知見を得た。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have earnestly studied to achieve the above object, and have obtained the following findings.
磁気異方性を有するR−Fe−B系合金磁石粉末として
最大エネルギー積((BH)max)、保磁力(iHc)および
残留磁束密度(Br)からなる磁気特性が優れるとともに
特にばらつきが少なく安定した合金磁石粉末を得るため
に、また磁気的異方性を有するR−Fe−B−Co系合金磁
石粉末として最大エネルギー積((BH)max)、保磁力
(iHc)および残留磁束密度(Br)からなる磁気特性が
優れ、かつ温度特性にも優れるとともにばらつきが少な
く安定した合金磁石粉末を得るためには、R−Fe−B系
合金またはR−Fe−B−Co系合金を水素吸蔵したのち脱
水素処理することによりR−Fe−B系合金磁石粉末また
はR−Fe−B−Co系合金磁石粉末を製造する際の水素吸
蔵工程において、加圧した水素雰囲気で行うことにより
達成できることを見い出したのである。R-Fe-B alloy magnet powder with magnetic anisotropy has excellent magnetic properties consisting of maximum energy product ((BH) max), coercive force (iHc) and residual magnetic flux density (Br), and is stable with little variation In order to obtain a magnetized alloy magnet powder, the maximum energy product ((BH) max), coercive force (iHc) and residual magnetic flux density (Br) were obtained as an R-Fe-B-Co alloy magnet powder having magnetic anisotropy. In order to obtain a stable alloy magnet powder having excellent magnetic properties and excellent temperature properties and small variations, the R-Fe-B-based alloy or the R-Fe-B-Co-based alloy was hydrogen-absorbed. Then, by performing dehydrogenation treatment, in the hydrogen storage step in producing the R-Fe-B-based alloy magnet powder or the R-Fe-B-Co-based alloy magnet powder, it can be achieved by performing in a pressurized hydrogen atmosphere. I found it .
以下に、発明の詳細について説明する。 Hereinafter, details of the invention will be described.
(A)R−Fe−B系合金磁石粉末の製造方法 (1)R−Fe−B系合金 R−Fe−B系合金は、ベースとしてR−Fe−B合金か
らなりFeの一部をCo、Ni、V、Nb、Ta、Cu、Cr、Mn、T
i、Ga、Zrの一種または二種以上で置換してもよい。ま
た、Bの一部はN、P、S、C、Sn、Biの一種または二
種以上で置換してもよい。(A) Manufacturing method of R-Fe-B-based alloy magnet powder (1) R-Fe-B-based alloy The R-Fe-B-based alloy is composed of an R-Fe-B alloy as a base and a part of Fe is Co. , Ni, V, Nb, Ta, Cu, Cr, Mn, T
It may be substituted with one or more of i, Ga, and Zr. Part of B may be replaced with one or more of N, P, S, C, Sn, and Bi.
(2)均質化処理 原料である上記R−Fe−B系合金はインゴットであ
る。このインゴットを不活性ガス雰囲気中で、温度800
〜1200℃に保持して均質化処理を行う。(2) Homogenization treatment The R-Fe-B alloy as a raw material is an ingot. This ingot is placed in an inert gas atmosphere at a temperature of 800
The temperature is maintained at ~ 1200 ° C to perform the homogenization treatment.
この均質化処理の目的は、鋳造して得られたR−Fe−
B系合金インゴットはα−Fe相などの非平衡組織が析出
していることが多く、この非平衡組織は磁気特性を低下
させる原因となるので、水素吸蔵〜脱H2処理にさきだっ
て非平衡組織を消失させ、実質的に主相であるR2Fe14B
相からなる均質化処理インゴットを原料として用いるこ
とにより磁気特性を大幅に向上させることである。The purpose of this homogenization treatment is to obtain R-Fe-
B-based alloy ingot is often non-equilibrium structure such as alpha-Fe phase is precipitated, this non-equilibrium structure is a cause of lowering the magnetic properties, non-equilibrium prior to the hydrogen storage ~ de H 2 treatment R 2 Fe 14 B, which essentially destroys the tissue and destroys the main phase
The purpose of the present invention is to greatly improve magnetic properties by using a homogenized ingot made of a phase as a raw material.
均質化処理条件として、均質化処理の際の酸化を防止
するためにArガス等の不活性ガス雰囲気で加熱処理が必
要である。不活性ガス雰囲気の圧力としては、加圧下な
いし減圧下でもよいが、減圧下の場合はインゴットの表
面から組織を構成する元素が蒸発するまで減圧させては
ならない。蒸気圧の高い元素が蒸発することにより、組
織が局所的に変動するからである。また、加圧する場合
は設備・処理上から2〜3kgf/cm2でよい。As a homogenization treatment condition, a heat treatment is required in an inert gas atmosphere such as Ar gas in order to prevent oxidation during the homogenization treatment. The pressure of the inert gas atmosphere may be under pressure or under reduced pressure. In the case of under reduced pressure, the pressure should not be reduced until the elements constituting the structure evaporate from the surface of the ingot. This is because the structure fluctuates locally due to the evaporation of the element having a high vapor pressure. When pressurizing, the pressure may be 2 to 3 kgf / cm 2 from the viewpoint of equipment and processing.
均質化処理温度としては800〜1200℃の範囲内であ
る。均質化処理温度が800℃より低いと均質化処理に長
時間を必要とするために、工業的生産性が悪い。一方、
1200℃を越えると上記のインゴットが溶融するので好ま
しくない。The homogenization treatment temperature is in the range of 800 to 1200 ° C. If the temperature of the homogenization treatment is lower than 800 ° C., a long time is required for the homogenization treatment, so that the industrial productivity is poor. on the other hand,
If the temperature exceeds 1200 ° C., the above-mentioned ingot is undesirably melted.
(3)粗粉砕処理 上記均質化インゴットは粗粉砕により5〜10mmの大き
さからなる粗粉砕粒とする。この理由は、R−Fe−B系
合金磁石粉末を製造する過程における原料の酸化等の汚
染をできる限り少なくすることが最終的に得られるR−
Fe−B系合金磁石粉末の磁気特性を向上させ、工業的生
産における取扱いを容易ならしめるとともに後工程の水
素吸蔵〜脱水素処理の時間短縮化による工業的生産の改
善を図るものである。(3) Coarse pulverization The homogenized ingot is coarsely pulverized into coarse pulverized particles having a size of 5 to 10 mm. The reason for this is that the R-Fe-B-based alloy magnet powder can be manufactured in the final step of reducing contamination such as oxidation of the raw material as much as possible in the process of producing the magnet powder.
The object of the present invention is to improve the magnetic properties of the Fe-B-based alloy magnet powder, to facilitate the handling in industrial production, and to improve the industrial production by shortening the time required for hydrogen storage to dehydrogenation in the subsequent steps.
すなわち、原料を粉末とすると粉末化の際の汚染とと
もに得られた粉末そのもの比表面積が大きくなることに
より容易に汚染されるからである。また、粉末での取扱
いは粗粉砕粒に比べて容易ではない。That is, if the raw material is a powder, the powder itself becomes easily contaminated due to the increased specific surface area of the powder itself as well as the contamination at the time of pulverization. Also, handling with powder is not as easy as coarsely crushed grains.
他方、インゴットの場合は取扱は容易であり、汚染も
発生しないけれども後工程における水素吸蔵〜脱水素処
理時間に長時間を要するからである。On the other hand, in the case of an ingot, although handling is easy and no contamination occurs, it takes a long time for hydrogen storage to dehydrogenation treatment in a subsequent process.
(4)水素吸蔵処理 次に、原料である上記の均質化処理した粗粉砕粒の組
織変化を生じさせてR−Fe−B系合金の優れた磁気特性
を有する再結晶組織とするために、加圧した水素雰囲気
中で、温度750〜950℃に保持し水素を吸蔵させる。(4) Hydrogen storage treatment Next, in order to cause a change in the structure of the above-mentioned homogenized coarsely pulverized particles as a raw material to obtain a recrystallized structure having excellent magnetic properties of the R-Fe-B-based alloy, The temperature is maintained at 750 to 950 ° C. in a pressurized hydrogen atmosphere to absorb hydrogen.
粗粉砕粒に水素を均一かつ安定して迅速に吸蔵させる
ためには水素ガスを加圧することが必要である。このこ
とにより、粗粉砕粒内における組織変化が迅速に進行す
るとともに粗粉砕粒が高温化にさらされる時間も短時間
化を図ることができる。水素ガスの加圧としては、好ま
しくは1.2〜1.6kgf/cm2が好ましい。1.2kgf/cm2未満で
は加圧の効果が現れない。一方、1.6kgf/cm2を越えると
工業的生産における安全性の問題が生ずるからである。
なお、水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを使用した場
合は、水素ガス分圧として1.2〜1.6kgf/cm2が必要であ
る。It is necessary to pressurize hydrogen gas in order to store hydrogen uniformly, stably, and quickly in coarsely pulverized particles. As a result, the structural change in the coarsely crushed particles progresses rapidly, and the time during which the coarsely crushed particles are exposed to a high temperature can be shortened. The pressure of the hydrogen gas is preferably 1.2 to 1.6 kgf / cm 2 . At less than 1.2 kgf / cm 2 , the effect of pressurization does not appear. On the other hand, if it exceeds 1.6 kgf / cm 2 , there is a problem of safety in industrial production.
When a mixed gas of hydrogen gas and inert gas is used, a partial pressure of hydrogen gas of 1.2 to 1.6 kgf / cm 2 is required.
温度としては、750〜950℃である。750℃未満では上
記の組織変化が十分に行われず、950℃を越えると組織
変化が進行し過ぎて再結晶が粒成長をおこして保持力を
低下させるからである。The temperature is 750 to 950 ° C. If the temperature is lower than 750 ° C., the above-mentioned structural change is not sufficiently performed. If the temperature exceeds 950 ° C., the structural change proceeds excessively, and recrystallization causes grain growth to lower the coercive force.
(5)脱水素処理 水素を吸蔵させた粗粉砕粒から、完全に脱水素を行う
ことにより高保磁力が得られる。この脱水素条件として
は、水素ガス圧力1x10-4Torr以下の真空雰囲気になるま
で温度500〜800℃で脱水素処理を行う。(5) Dehydrogenation A high coercive force can be obtained by completely dehydrogenating the coarsely pulverized particles that have absorbed hydrogen. As the dehydrogenation conditions, dehydrogenation is performed at a temperature of 500 to 800 ° C. until a vacuum atmosphere with a hydrogen gas pressure of 1 × 10 −4 Torr or less is obtained.
磁石粉末に残留した水素は磁束密度を低下させるので
水素ガス圧力1x10-4Torr以下の真空雰囲気まで脱水素を
行うことが必要である。また、水素ガス圧力としたの
は、脱水素処理中における粗粉砕粒の酸化防止のためで
ある。Since hydrogen remaining in the magnet powder lowers the magnetic flux density, it is necessary to perform dehydrogenation to a vacuum atmosphere at a hydrogen gas pressure of 1 × 10 −4 Torr or less. Further, the hydrogen gas pressure is used to prevent oxidation of the coarsely pulverized particles during the dehydrogenation treatment.
温度は500〜800℃としたのは、500℃未満では脱水素
が不十分となって磁石粉末中に水素が残留し、保磁力を
低下させるからである。一方、800℃を越えると再結晶
組織が粗大化して磁気特性が劣化する。The reason for setting the temperature to 500 to 800 ° C. is that if the temperature is lower than 500 ° C., dehydrogenation becomes insufficient, hydrogen remains in the magnet powder, and the coercive force decreases. On the other hand, if the temperature exceeds 800 ° C., the recrystallized structure becomes coarse and the magnetic properties deteriorate.
脱水素処理した粗粉砕粒は、すでに水素崩壊物として
組織変化して再結晶している微粉の集合体となって汚染
されやすい状態にあり、温度500〜800℃に保持されてい
る水素ガス圧力1x10-4Torr以下の真空雰囲気から、酸化
等の汚染を防止するために常温まで急冷することにより
残留磁束密度の向上が図れる。The coarsely pulverized particles that have been dehydrogenated are already in a state of being easily contaminated as aggregates of fine powders that have restructured and recrystallized as hydrogen disintegration products, and the hydrogen gas pressure maintained at a temperature of 500 to 800 ° C Immediately cooling from a vacuum atmosphere of 1 × 10 −4 Torr or less to room temperature to prevent contamination such as oxidation can improve the residual magnetic flux density.
雰囲気としては加圧した不活性ガスを用いることによ
り冷却速度を高め、冷却途中における上記崩壊物への不
純物ガス成分の凝縮による汚染を防止するために50℃/m
in以上の速度で冷却することが好ましい。The cooling rate is increased by using a pressurized inert gas as the atmosphere, and 50 ° C./m to prevent contamination due to condensation of the impurity gas components into the collapsed material during cooling.
It is preferable to cool at a rate of in or more.
(B)R−Fe−B−Co系合金磁石粉末の製造方法 (1)R−Fe−B−Co系合金 R−Fe−B系合金には通常のインゴット合金が使用さ
れる。この合金の成分組成は、原子百分率で、 R ; 12〜15 % B ; 5〜 8 % Co; 15〜23 % Ga;0.3〜 2.0% を含有し、残りがFeおよび不可避的不純物からなる。(B) Manufacturing method of R-Fe-B-Co alloy magnetic powder (1) R-Fe-B-Co alloy An ordinary ingot alloy is used for the R-Fe-B alloy. The composition of this alloy is as follows: R; 12 to 15% B; 5 to 8% Co; 15 to 23% Ga; 0.3 to 2.0%, with the balance being Fe and inevitable impurities.
さらに、上記合金に、 Mo;0.70%以下 V ;0.70%以下 Zr;0.70%以下 Ti;0.30%以下 の1種または2種以上を含有してもよい。 Further, the alloy may contain one or more of Mo: 0.70% or less, V; 0.70% or less, Zr; 0.70% or less, Ti; 0.30% or less.
以下、各成分についての限定理由を示す。 Hereinafter, the reasons for limitation of each component are shown.
Rは、Ndを含む希土類元素のうち1種または2種以上
であるが、特にNd単独またはNdとPr、Dyとの混合物が好
ましい。12%未満では保磁力が低下し、15%を越えて添
加すると残留磁束密度が低下する。R is one or more of the rare earth elements containing Nd, but Nd alone or a mixture of Nd and Pr or Dy is particularly preferable. If it is less than 12%, the coercive force decreases, and if it exceeds 15%, the residual magnetic flux density decreases.
なお、Ndは好ましくは12.1〜13.0%の範囲である。 In addition, Nd is preferably in the range of 12.1 to 13.0%.
Bは、5%未満では保磁力が低下し、8%を越えると
残留磁束密度が低下する。さらに好ましくは、5.0〜7.0
%の範囲である。If B is less than 5%, the coercive force decreases, and if it exceeds 8%, the residual magnetic flux density decreases. More preferably, 5.0 to 7.0
% Range.
Coは、キュリー点を改善するためには多く含有したほ
うが望ましいが、保磁力は低下するので少ないほうがよ
い。さらに、好ましくは19.5〜21.5%の範囲である。It is desirable to contain a large amount of Co in order to improve the Curie point, but a small amount is desirable because the coercive force is reduced. Further, it is preferably in the range of 19.5 to 21.5%.
Gaは、磁気的異方性および保磁力を向上させる元素で
あるが、0.3%未満ではその効果が得られず、2.0%を越
えると異方性、保磁力は低下する。さらに、好ましくは
1.5〜1.8%の範囲である。Ga is an element that improves the magnetic anisotropy and coercive force. However, if it is less than 0.3%, the effect cannot be obtained, and if it exceeds 2.0%, the anisotropy and coercive force decrease. Furthermore, preferably
It is in the range of 1.5-1.8%.
Mo、V、Zrは、保磁力および最大エネルギー積を向上
させる元素であるが、0.70%を越えて含有しても保磁力
の効果は飽和し、最大エネルギー積および残留磁束密度
を低下させるので上限を0.70%とした。Mo, V, and Zr are elements that improve the coercive force and the maximum energy product. However, if the content exceeds 0.70%, the effect of the coercive force is saturated, and the maximum energy product and the residual magnetic flux density are reduced. Was set to 0.70%.
Tiは、保磁力を向上させる元素であるが、残留磁束密
度を低下させる元素であるので含有量の上限を0.30%と
した。Ti is an element that improves the coercive force, but because it is an element that lowers the residual magnetic flux density, the upper limit of the content is set to 0.30%.
(2)均質化処理および粗粉砕処理 均質化処理条件は、(A)R−Fe−B系合金と基本的
には同じ処理条件であるが、Co添加により均質化温度お
よび水素吸蔵処理のための粗粉砕塊の大きさが異なって
いる。(2) Homogenization treatment and coarse pulverization treatment The homogenization treatment conditions are basically the same as those of the (A) R-Fe-B-based alloy, but the homogenization temperature and hydrogen storage treatment by adding Co are increased. Are different in the size of the coarsely crushed mass.
均質化処理温度としては1000〜1150℃の範囲内であ
る。均質化処理温度が1000℃より低いと均質化処理に長
時間を必要とするために、工業的生産性が悪い。一方、
1150℃を越えると上記のインゴットが溶融するので好ま
しくない。The homogenization treatment temperature is in the range of 1000 to 1150 ° C. If the temperature of the homogenization treatment is lower than 1000 ° C., a long time is required for the homogenization treatment, so that the industrial productivity is poor. on the other hand,
If the temperature exceeds 1150 ° C., the above ingot melts, which is not preferable.
上記均質化インゴットは粗粉砕により30mm以下の大き
さからなる粗粉砕塊とする。R−Fe−B−Co系合金磁石
粉末を製造する過程において原料の酸化等の汚染の防止
による磁気特性の向上と工業的生産の取扱い容易化・生
産性の改善のためである。The homogenized ingot is coarsely crushed into a coarsely crushed lump having a size of 30 mm or less. This is for the purpose of improving magnetic properties by preventing contamination such as oxidation of raw materials in the process of manufacturing the R-Fe-B-Co-based alloy magnet powder, and facilitating handling and improving productivity in industrial production.
(3)水素吸蔵処理 原料である上記の均質化処理した粗粉砕塊の組織変化
を生じさせてR−Fe−B系合金の優れた磁気特性を有す
る再結晶組織とするために、加圧した水素ガス雰囲気中
で、温度780〜860℃に保持し水素を吸蔵させる。(3) Hydrogen storage treatment Pressure was applied in order to cause a structural change of the above-mentioned homogenized coarsely crushed lump as a raw material to obtain a recrystallized structure having excellent magnetic properties of the R-Fe-B-based alloy. In a hydrogen gas atmosphere, the temperature is maintained at 780 to 860 ° C to absorb hydrogen.
粗粉砕塊に水素を均一かつ安定して迅速に吸蔵させる
ためには水素ガスを加圧することが必要である。このこ
とにより、粗粉砕塊内における組織変化が迅速に進行す
るとともに粗粉砕塊が高温化にさらされる時間の短縮化
を図ることができる。It is necessary to pressurize hydrogen gas in order to store hydrogen uniformly, stably and quickly in the coarsely pulverized mass. As a result, the structural change within the coarsely crushed mass can be rapidly progressed, and the time during which the coarsely crushed mass is exposed to a high temperature can be reduced.
水素ガスの加圧としては、1.1〜1.8kgf/cm2が望まし
い。1.1kgf/cm2未満では加圧の効果が少ない。一方、1.
8kgf/cm2を越えるとその効果が飽和してくるためであ
る。また、工業的生産における安全性の問題が生ずるか
らである。The pressure of the hydrogen gas is preferably 1.1 to 1.8 kgf / cm 2 . If it is less than 1.1 kgf / cm 2 , the effect of pressurization is small. Meanwhile, 1.
If it exceeds 8 kgf / cm 2 , the effect will be saturated. Further, there is a problem of safety in industrial production.
なお、水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを使用した
場合は、水素ガス分圧として上記の加圧した水素ガス雰
囲気の圧力、1.1〜1.8kgf/cm2が必要である。When a mixed gas of a hydrogen gas and an inert gas is used, the pressure of the above-mentioned pressurized hydrogen gas atmosphere of 1.1 to 1.8 kgf / cm 2 is required as the hydrogen gas partial pressure.
温度としては、780〜860℃である。780℃未満では上
記の組織変化が十分に行われず、840℃を越えると組織
変化が進行し過ぎて再結晶が粒成長をおこして保磁力を
低下させるからである。The temperature is 780-860 ° C. If the temperature is lower than 780 ° C., the above structural change is not sufficiently performed, and if the temperature exceeds 840 ° C., the structural change proceeds too much, and recrystallization causes grain growth to lower the coercive force.
なお、室温から上記温度780〜860℃に加熱する途中の
雰囲気は、真空、Arガス等の不活性ガスあるいは水素ガ
スでもよい。The atmosphere during the heating from room temperature to the above-mentioned temperature of 780 to 860 ° C. may be vacuum, an inert gas such as Ar gas, or hydrogen gas.
(4)脱水素処理 水素を吸蔵させた粗粉砕塊から、完全に脱水素を行う
ことにより高保磁力が得られる。この脱水素条件として
は、水素ガス圧力1x10-4Torr以下の真空雰囲気になるま
で温度500〜860℃で脱水素処理を行う。(4) Dehydrogenation A high coercive force can be obtained by completely dehydrogenating the coarsely pulverized mass that has absorbed hydrogen. As the dehydrogenation conditions, dehydrogenation is performed at a temperature of 500 to 860 ° C. until a vacuum atmosphere with a hydrogen gas pressure of 1 × 10 −4 Torr or less is obtained.
磁石粉末に残留した水素は残留磁束密度を低下させる
ので水素ガス圧力1x10-4Torr以下の真空雰囲気まで脱水
素処理を行うことである。また、水素ガス圧力としたの
は、脱水素処理中における粗粉砕塊の酸化防止のためで
ある。Since hydrogen remaining in the magnet powder lowers the residual magnetic flux density, the dehydrogenation treatment is performed up to a vacuum atmosphere at a hydrogen gas pressure of 1 × 10 −4 Torr or less. The hydrogen gas pressure is used to prevent oxidation of the coarsely crushed lump during the dehydrogenation treatment.
温度を500〜860℃としたのは、500℃未満では脱水素
が不十分となって磁石粉末中に水素が残留し、保磁力を
低下させるからである。一方、860℃を越えると再結晶
組織が粗大化して磁気特性が劣化する。The reason why the temperature is set to 500 to 860 ° C. is that if the temperature is lower than 500 ° C., dehydrogenation becomes insufficient, hydrogen remains in the magnet powder, and the coercive force decreases. On the other hand, if the temperature exceeds 860 ° C., the recrystallized structure becomes coarse and the magnetic properties deteriorate.
また、脱水素処理は500〜860℃の範囲内で所定の温度
で行ってもよいし、860℃以下の温度から温度を下げな
がらおこなってもよい。The dehydrogenation treatment may be performed at a predetermined temperature within the range of 500 to 860 ° C, or may be performed while lowering the temperature from 860 ° C or lower.
脱水素処理した粗粉砕塊は、すでに水素崩壊物として
組織変化し、再結晶している微粉の集合体となって汚染
されやすい状態にあり、温度500〜860℃に保持されてい
る水素ガス圧力1x10-4Torr以下の真空雰囲気から、酸化
等の汚染を防止するために常温まで急冷することにより
残留磁束密度の向上が図れる。The dehydrogenated coarse pulverized lump has already changed its structure as a hydrogen disintegration substance, and is in an easily contaminated state as an aggregate of recrystallized fine powder.Hydrogen gas pressure maintained at a temperature of 500 to 860 ° C Immediately cooling from a vacuum atmosphere of 1 × 10 −4 Torr or less to room temperature to prevent contamination such as oxidation can improve the residual magnetic flux density.
雰囲気としては加圧した水素ガス、あるいはアルゴン
ガス等の不活性ガスを用いることにより冷却速度を高め
ることができる。さらに、冷却途中における上記崩壊物
への不純物ガス成分の凝縮による汚染を防止するために
は30℃/min以上の速度で冷却することが好ましい。The cooling rate can be increased by using a pressurized hydrogen gas or an inert gas such as an argon gas as the atmosphere. Further, it is preferable to cool at a rate of 30 ° C./min or more in order to prevent contamination due to the condensation of the impurity gas component into the collapsed product during cooling.
(5)水素吸蔵処理および脱水素処理の装置(以下、本
発明装置という。) R−Fe−B系合金の水素吸蔵処理における発熱および
脱水素処理における吸熱にともなう温度の変動、水素ガ
ス流量および水素ガス圧力の変動を制御することが必要
である。これらの制御により磁気特性のばらつきが少な
く、工業的生産ができる。(5) Apparatus for hydrogen storage processing and dehydrogenation processing (hereinafter referred to as the apparatus of the present invention) Heat generation in hydrogen storage processing of R-Fe-B-based alloy and temperature fluctuation due to heat absorption in dehydrogenation processing, hydrogen gas flow rate and It is necessary to control the fluctuation of the hydrogen gas pressure. With these controls, variations in magnetic characteristics are small, and industrial production can be performed.
粗粉砕粒または粗粉砕塊などの合金磁石原料を入れる
原料保持部は当該原料を分割して互いに離間して保持す
る複数個の反応管からなる。The raw material holding unit for storing the alloy magnet raw material such as coarsely crushed particles or coarsely crushed mass is composed of a plurality of reaction tubes that divide the raw material and hold the raw materials separated from each other.
複数個の反応管について、同一温度を維持するために
温度制御装置を備えた単一の加熱炉と、単一の水素ガス
供給装置系により所定のガス量を供給して所定の圧力を
維持すること、また複数個の反応管から水素ガスを排気
するための単一の真空ポンプ系とからなっている。さら
に、複数個の反応管は、その外部を不活性ガスにより冷
却することができる。For a plurality of reaction tubes, a single heating furnace equipped with a temperature control device for maintaining the same temperature, and a predetermined amount of gas supplied by a single hydrogen gas supply system to maintain a predetermined pressure. And a single vacuum pump system for exhausting hydrogen gas from a plurality of reaction tubes. Further, the outside of the plurality of reaction tubes can be cooled by an inert gas.
なお、本発明装置による工業的な水素吸蔵処理および
脱水素処理は、吸熱発熱反応をともなう希土類磁石合金
粉末の製造に使用でき、特に温度、水素ガス流量および
水素ガス圧力の1又は2以上を制御するときには必要と
なる。The industrial hydrogen storage and dehydrogenation treatments by the apparatus of the present invention can be used for the production of rare earth magnet alloy powder accompanied by an endothermic exothermic reaction, and in particular, control one or more of temperature, hydrogen gas flow rate and hydrogen gas pressure. You will need it when you do.
(6)R−Fe−B−Co系合金磁石粉末 以上の工程により製造されたR−Fe−B−Co系合金磁
石粉末は、平均粒径0.05〜3μmの極めて微細なR2Fe14
B型強磁性相の再結晶組織を主相とした集合組織からな
っており、最大エネルギー積((BH)max)28.5MGOe以
上で好ましくは35MGOe以上、残留磁束密度(Br)10.8kG
以上で好ましくは12.5kG以上および保磁力(iHc)10.0k
Oe以上の優れた磁気特性とキュリー点(Tc)480℃以上
の優れた温度特性を有している。(6) R-Fe-B-Co-based alloy magnet powder The R-Fe-B-Co-based alloy magnet powder produced by the above process has an extremely fine R 2 Fe 14 having an average particle size of 0.05 to 3 μm.
It is composed of a texture whose main phase is the recrystallized structure of the B-type ferromagnetic phase, and has a maximum energy product ((BH) max) of 28.5 MGOe or more, preferably 35 MGOe or more, and a residual magnetic flux density (Br) of 10.8 kG.
Above, preferably 12.5 kG or more and coercive force (iHc) 10.0 k
It has excellent magnetic properties over Oe and excellent temperature properties over Curie point (Tc) 480 ° C.
(C)R−Fe−B−Co系樹脂結合型磁石 (1)射出成形法によるR−Fe−B−Co系樹脂結合型磁
石 R−Fe−Co−B系合金磁石粉末を60〜65vol%と有機
系樹脂または金属バインダーを35〜40vol%とを混練す
る。樹脂は、ナイロン12、ナイロン6などを用いる。混
練材を射出成形する際には、当該粉末の磁気特性が優れ
ているために粉末の配向が容易なことから成形磁場は15
kOe以下、好ましくは12kOe程度で射出成形をしてもよ
い。また、射出成形法の特徴を活かすために形状自由度
を改善することにより配向磁場を低くできる。(C) R-Fe-B-Co-based resin-bonded magnet (1) R-Fe-B-Co-based resin-bonded magnet by injection molding R-Fe-Co-B-based alloy magnet powder is 60 to 65 vol% And 35 to 40 vol% of an organic resin or a metal binder. As the resin, nylon 12, nylon 6, or the like is used. When the kneaded material is injection-molded, the magnetic field for molding is 15 because the powder has excellent magnetic properties and the powder is easily oriented.
The injection molding may be performed at kOe or less, preferably about 12 kOe. In addition, the orientation magnetic field can be reduced by improving the degree of shape freedom in order to take advantage of the features of the injection molding method.
(2)圧縮成形法によるR−Fe−B−Co系樹脂結合型磁
石 R−Fe−Co−B系合金磁石粉末を80〜90vol%と熱硬
化系樹脂粉末10〜20vol%とを混合する。樹脂には、エ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂などの粉末
を用いる。合金磁石粉末と樹脂粉末との混合粉末を120
℃以上に加熱し、好ましくは熱硬化性樹脂の最低粘度が
得られる温度に加熱して12kOe以上の磁場中で成形を行
う。加熱温度が高い場合には熱硬化反応が急速に進行す
るために合金磁石粉末の配向が不十分となり磁気特性の
低下を招き、加熱温度が低い場合には熱硬化反応および
合金磁石粉末の配向が不十分となり磁気特性の低下を招
くことになる。(2) R-Fe-B-Co-based resin-bonded magnet by compression molding method 80-90 vol% of R-Fe-Co-B-based alloy magnet powder and 10-20 vol% of thermosetting resin powder are mixed. As the resin, a powder such as an epoxy resin, an acrylic resin, or a phenol resin is used. 120 mixed powder of alloy magnet powder and resin powder
The molding is performed in a magnetic field of 12 kOe or more by heating to a temperature of not less than 0 ° C., preferably to a temperature at which the lowest viscosity of the thermosetting resin is obtained. If the heating temperature is high, the thermosetting reaction proceeds rapidly, so that the orientation of the alloy magnet powder is insufficient and the magnetic properties are degraded.If the heating temperature is low, the thermosetting reaction and the orientation of the alloy magnet powder are poor. Insufficiency results in deterioration of magnetic characteristics.
図面の簡単な説明 図1は最大エネルギー積に及ぼす水素吸蔵処理時の加
圧水素ガス圧力と水素吸蔵処理温度の影響を示す。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 shows the effects of pressurized hydrogen gas pressure and hydrogen storage temperature during hydrogen storage on the maximum energy product.
図2は最大エネルギー積に及ぼす脱水素処理温度の影
響を示す。FIG. 2 shows the effect of the dehydrogenation treatment temperature on the maximum energy product.
図3は実施例3bおよび3cにおける装置の概念図であ
る。FIG. 3 is a conceptual diagram of the device in the embodiments 3b and 3c.
図4は実施例3bおよび比較例における最大エネルギー
積のばらつきを示す。FIG. 4 shows the variation of the maximum energy product in Example 3b and Comparative Example.
発明を実施するための最良の形態 実施例 1 実施例1a 希土類としてNdを用い、プラズマアーク炉で溶解、鋳
造してNd−Fe−Co−B系合金の原子%組成でNd12.5Fe
69.0Co11.5B6.0Ga1.0を主成分とする希土類磁石合金イ
ンゴット1Aを作製した。上記インゴットをArガス雰囲気
中で粗粉砕(以下、粗粉砕工程という)して6〜8mm程
度の粗粉砕粒とし、この粗粉砕粒をボートにいれて管状
炉に装入し、真空度1x10-4Torr以下の真空に排気後、0.
8、1.0、1.2、1.4、1.6kgf/cm2の水素ガスを炉内に流入
し、それぞれのガス圧力を維持しながら保持温度を、60
0、700、750、800、850、900、950および1000℃にて3
時間保持し、水素ガスを吸蔵させる処理を行った。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Example 1 Example 1a Nd was used as a rare earth element, melted and cast in a plasma arc furnace, and Nd 12.5 Fe in an atomic% composition of an Nd-Fe-Co-B alloy was used.
A rare earth magnet alloy ingot 1A containing 69.0 Co 11.5 B 6.0 Ga 1.0 as a main component was produced. The above-mentioned ingot is coarsely crushed in an Ar gas atmosphere (hereinafter referred to as a coarse crushing step) to form coarsely crushed particles of about 6 to 8 mm. The coarsely crushed particles are put in a boat and charged in a tube furnace, and the degree of vacuum is 1 × 10 − After evacuating to a vacuum of 4 Torr or less,
8, 1.0, 1.2, 1.4, 1.6 kgf / cm 2 of hydrogen gas was introduced into the furnace, and the holding temperature was increased to 60 while maintaining the respective gas pressures.
3 at 0, 700, 750, 800, 850, 900, 950 and 1000 ° C
The treatment was performed for holding the hydrogen gas for a period of time to occlude hydrogen gas.
次いで、水素ガス圧力5x10-5Torrの真空雰囲気になる
まで脱水素処理を800℃にて0.5時間かけて行った。その
後、1.2kgf/cm2のアルゴンガスにて常温まで約10分で常
温まで冷却した。以上の処理を通じて微粉末からなる集
合体(崩壊物)を乳鉢で解きほぐして平均粒径25〜250
μmの微粉末を得た。こうして得られた磁石粉末の磁気
特性を試験し、表1−1〜1−2に示した。その試験に
はVSM振動型磁束計を使用して測定した。Next, a dehydrogenation treatment was performed at 800 ° C. for 0.5 hour until a vacuum atmosphere with a hydrogen gas pressure of 5 × 10 −5 Torr was obtained. Thereafter, the mixture was cooled down to room temperature in about 10 minutes with 1.2 kgf / cm 2 of argon gas. Through the above process, the aggregate (disintegrated material) composed of fine powder is disentangled in a mortar and the average particle size is 25 to 250.
A fine powder of μm was obtained. The magnetic properties of the thus obtained magnet powder were tested and are shown in Tables 1-1 to 1-2. The test was performed using a VSM vibrating magnetometer.
上記の表1−1〜1−2から1.2kgf/cm2以上に加圧し
た水素ガス雰囲気下で水素を吸蔵させることにより磁気
特性の向上が得られる。From the above Tables 1-1 to 1-2, the magnetic properties can be improved by absorbing hydrogen in a hydrogen gas atmosphere pressurized to 1.2 kgf / cm 2 or more.
実施例1b 希土類としてNdを用い、プラズマアーク炉で溶解、鋳
造してNd−Fe−Co−B系の原子%組成がNd12.5Fe67.0Co
11.5B6.0Ga3.0を主成分とする希土類磁石合金インゴッ
ト1Bを作製した。上記インゴットをアルゴンガス雰囲気
中で粗粉砕して6〜8mm程度の粗粉砕粒とし、この粗粉
砕粒をボートにいれて管状炉に装入し、真空度1x10-4To
rr以下の真空に排気後、1.2kgf/cm2の水素ガスを炉内に
流入し、ガス 圧力を維持しながら800℃にて3時間保持し、水素吸蔵
処理を行った。Example 1b Using Nd as a rare earth, melting and casting in a plasma arc furnace, the atomic% composition of the Nd-Fe-Co-B system was Nd 12.5 Fe 67.0 Co
11.5 B 6.0 Rare earth magnet alloy ingot 1B containing Ga 3.0 as a main component was produced. The above ingot is coarsely crushed in an argon gas atmosphere to obtain coarsely crushed particles of about 6 to 8 mm. The coarsely crushed particles are put in a boat and placed in a tubular furnace, and a degree of vacuum of 1 × 10 -4
After evacuating to a vacuum of rr or less, hydrogen gas of 1.2 kgf / cm 2 was introduced into the furnace, The pressure was maintained at 800 ° C. for 3 hours while maintaining the pressure to perform a hydrogen storage treatment.
次いで、水素ガス圧力を1.0、1x10-1、1x10-2、1x10
-3、1x10-4、1x10-5Torrの真空度の真空雰囲気になるま
で脱H2処理を800℃にて0.5時間かけて行った。その後、
1.2kgf/cm2のArガスにて常温まで約10分で常温まで冷却
した。以上の処理を通じて微粉末からなる集合体(崩壊
物)を乳鉢で解きほぐして平均粒径25〜250μmの微粉
末を得た。こうして得られた磁石粉末の磁気特性を試験
し、表1−3に示した。Next, the hydrogen gas pressure was increased to 1.0, 1x10 -1 , 1x10 -2 , 1x10
The H 2 removal treatment was performed at 800 ° C. for 0.5 hour until a vacuum atmosphere with a degree of vacuum of −3 , 1 × 10 −4 , and 1 × 10 −5 Torr was obtained. afterwards,
It was cooled to room temperature in about 10 minutes with 1.2 kgf / cm 2 Ar gas. Through the above treatment, the aggregate (disintegrated material) composed of the fine powder was loosened in a mortar to obtain a fine powder having an average particle size of 25 to 250 μm. The magnetic properties of the thus obtained magnet powder were tested and are shown in Table 1-3.
これらの結果から、脱水素ガス圧力として1x10-4Torr
の真空度の真空雰囲気下で脱水素処理により磁気特性が
向上することわかる。From these results, the dehydrogenation gas pressure was 1 × 10 -4 Torr
It can be seen that the magnetic properties are improved by the dehydrogenation treatment in a vacuum atmosphere having a degree of vacuum of.
実施例1c 希土類としてNdを用い、プラズマアーク炉で溶解、鋳
造してNd−Fe−Co−B系の原子%組成がNd12.0Dy0.5Fe
70.0Co11.5B6.0を主成分とする希土類磁石合金インゴ
ットを作製した。 Example 1c Using Nd as a rare earth element, melting and casting in a plasma arc furnace, the atomic% composition of the Nd—Fe—Co—B system was Nd 12.0 Dy 0.5 Fe.
A rare earth magnet alloy ingot containing 70.0 Co 11.5 B 6.0 as a main component was produced.
均質化処理温度600〜1300℃までの温度にてArガス雰
囲気中で20時間処理し、粗粉砕工程をへて5〜9mmの大
きさからなる粗粉砕粒として水素吸蔵処理に供した。The homogenization treatment was carried out in an Ar gas atmosphere at a temperature of from 600 to 1300 ° C. for 20 hours. After the coarse pulverization step, the mixture was subjected to a hydrogen storage treatment as coarsely pulverized particles having a size of 5 to 9 mm.
それぞれボートにいれた管状炉に装入し、真空度1x10
-4Torr以下の真空に排気後、1.2kgf/cm2の水素ガスを炉
内に流入し、ガス圧力を維持しながら800℃にて3時間
保持し、処理を行った。次いで、水素ガス圧力を1x10-5
Torrの真空雰囲気になるまで脱水素処理を800℃にて0.5
時間かけて行った。Each was charged in a tube furnace placed in a boat, and the degree of vacuum was 1x10
After evacuating to a vacuum of -4 Torr or less, a hydrogen gas of 1.2 kgf / cm 2 was introduced into the furnace, and the gas was maintained at 800 ° C. for 3 hours while maintaining the gas pressure to perform processing. Next, the hydrogen gas pressure was increased to 1 × 10 −5
Dehydrogenation at 800 ° C for 0.5 Torr until vacuum
I went over time.
その後、1.2kgf/cm2のアルゴンガスにて常温まで約10
分で常温まで冷却した。以下の処理を通じて微粉末から
なる集合体(崩壊物)を乳鉢で解きほぐして平均粒径25
〜250μmの微粉末を得た。こうして得られた磁石粉末
の磁気特性を試験し、表1−4に示した。Then, about 10 to room temperature at an argon gas 1.2 kgf / cm 2
Cooled to room temperature in minutes. Through the following treatment, aggregates (disintegrates) made of fine powder are disentangled in a mortar and the average particle size is 25
A fine powder of 250250 μm was obtained. The magnetic properties of the magnet powder thus obtained were tested and are shown in Tables 1-4.
これらの結果から、均質化温度としては800〜1200℃
で均質化することにより磁気特性の向上が得られた。 From these results, the homogenization temperature is 800-1200 ° C
As a result, the magnetic properties were improved by homogenization.
実施例1d 希土類としてNdを用い、プラズマアーク炉で溶解、鋳
造してNd−Fe−Co−B系の原子%組成がNd12.5Fe69.0Co
11.5B6.0Ga1.0を主成分とする希土類磁石合金インゴッ
ト1Dを作製した。上記インゴットをアルゴンガス雰囲気
中で1100℃に20時間保持して均質化処理を行い、次いで
アルゴンガス雰囲気中で粗粉砕して5〜7mmの粗粉砕粒
を得た。この粗粉砕粒をボートにいれて管状炉に装入
し、真空度1x10-4Torr以下の真空に排気後、1.2kgf/cm2
の水素ガスを炉内に流入し、ガス圧力を維持しながら85
0℃にて3時間保持し、処理を行った。Example 1d Using Nd as a rare earth element, melting and casting in a plasma arc furnace, the atomic% composition of the Nd—Fe—Co—B system was Nd 12.5 Fe 69.0 Co
A rare earth magnet alloy ingot 1D containing 11.5 B 6.0 Ga 1.0 as a main component was produced. The ingot was homogenized by keeping it at 1100 ° C. for 20 hours in an argon gas atmosphere, and then coarsely pulverized in an argon gas atmosphere to obtain coarsely pulverized particles of 5 to 7 mm. The coarsely crushed particles were put in a tubular furnace in a boat, evacuated to a vacuum of 1 × 10 −4 Torr or less, and then weighed at 1.2 kgf / cm 2
Of hydrogen gas into the furnace and maintain 85
It was kept at 0 ° C. for 3 hours to perform the treatment.
次いで、水素ガス圧力を1x10-5Torrの真空雰囲気にな
るまで脱水素処理を800℃にて0.5時間かけて行った。そ
の後、1.2kgf/cm2のArガス雰囲気下で冷却速度を10〜10
0℃/minの5段階について試験した。Next, dehydrogenation treatment was performed at 800 ° C. for 0.5 hour until the hydrogen gas pressure reached a vacuum atmosphere of 1 × 10 −5 Torr. Thereafter, the cooling rate in an Ar gas atmosphere of 1.2 kgf / cm 2 10 to 10
The test was conducted at five stages of 0 ° C./min.
以上の処理を通じて微粉末からなる集合体(崩壊物)
を乳鉢で解きほぐして平均粒径25〜250μmの微粉末を
得た。こうして得られた磁石粉末の磁気特性を試験し、
表1−5に示した。Aggregates (disintegrates) composed of fine powder through the above processing
Was disentangled in a mortar to obtain a fine powder having an average particle size of 25 to 250 μm. Test the magnetic properties of the magnet powder thus obtained,
The results are shown in Table 1-5.
以上の結果から、加圧したArガス雰囲気下において50
℃/min以上の急速冷却することにより磁気特性が向上す
ることがわかる。 From the above results, it was found that 50
It can be seen that the magnetic properties are improved by rapid cooling at a temperature of at least ℃ / min.
実施例 2 表2−1、表2−3および表2−6は、本発明の化学
組成、処理条件(均質化条件、水素吸蔵条件および脱水
素条件を総称していう。)および磁気特性・温度特性に
ついて示し、表2−2、表2−4、表2−5および表2
−7は、比較例の化学組成、処理条件および磁気特性・
温度特性を示す。Example 2 Table 2-1, Table 2-3 and Table 2-6 show the chemical composition, processing conditions (homogenization conditions, hydrogen storage conditions and dehydrogenation conditions) and magnetic properties / temperatures of the present invention. The characteristics are shown in Table 2-2, Table 2-4, Table 2-5 and Table 2.
-7 indicates the chemical composition, processing conditions and magnetic properties of the comparative example.
Shows temperature characteristics.
表2−1および表2−3において、2A1〜2A15は主と
して化学組成の影響について、2B1〜2B6は主として処理
条件の影響について調査し、その結果として得られた磁
気特性・温度特性を表2−6に示す。In Tables 2-1 and 2-3, 2A1 to 2A15 mainly investigated the influence of the chemical composition, and 2B1 to 2B6 mainly investigated the influence of the processing conditions. Table 2 shows the magnetic and temperature characteristics obtained as a result. 6 is shown.
同様に比較例についても、表2−2、表2−4および
表2−5において、2C1〜2C14は主として化学組成の影
響について、2D1〜2B10は主として処理条件の影響につ
いて調査し、その結果として得られた磁気特性・温度特
性を表2−7に示す。Similarly, for Comparative Examples, in Tables 2-2, 2-4 and 2-5, 2C1 to 2C14 were mainly investigated for the influence of the chemical composition, and 2D1 to 2B10 were mainly investigated for the influence of the processing conditions. Table 2-7 shows the obtained magnetic characteristics and temperature characteristics.
希土類としてNdを用い、プラズマアーク炉で溶解、鋳
造して表2−1および表2−2に示すNd−Fe−B−Co系
の化学組成からなる希土類磁石合金インゴットを作製し
た。Nd was used as a rare earth element, and it was melted and cast in a plasma arc furnace to produce a rare earth magnet alloy ingot having an Nd-Fe-B-Co-based chemical composition shown in Tables 2-1 and 2-2.
上記インゴットをアルゴンガス雰囲気中で粗粉砕して
8〜15mm程度の粗粉砕塊とし、この粗粉砕塊をボートに
いれて管状炉に装入し、真空度1x10-4Torr以下の真空に
排気した。The ingot was rough crushed mass of about 8~15mm was coarsely pulverized in an argon gas atmosphere, the coarsely pulverized mass is are in the boat was charged in a tubular furnace was evacuated to a vacuum below the vacuum degree 1x10 -4 Torr .
その後、表2−4または表2−5に示す所定の加圧し
た水素ガスを炉 内に流入し、それぞれのガス圧力を維持しながら表2−
4または表2−5に示す保持温度にて0.5〜5.0時間保持
し、水素吸蔵処理を行った。Then, a predetermined pressurized hydrogen gas shown in Table 2-4 or Table 2-5 was supplied to the furnace. While maintaining the gas pressures in Table 2
4 or at a holding temperature shown in Table 2-5 for 0.5 to 5.0 hours to perform a hydrogen storage treatment.
次いで、表2−4または表2−5に示す所定の温度に
おける真空雰囲気になるまで脱水素処理を0.5〜1.0時間
かけて行った。その後、1.2kgf/cm2のアルゴンガスにて
15〜30分間で常温まで冷却した。Next, a dehydrogenation treatment was performed for 0.5 to 1.0 hour until a vacuum atmosphere at a predetermined temperature shown in Table 2-4 or Table 2-5 was obtained. Then, with 1.2 kgf / cm 2 of argon gas
Cooled to room temperature for 15-30 minutes.
以上の処理を通じて微粉末からなる集合体(崩壊物)
を乳鉢で解きほぐして平均粒径25〜420μmの粉末を得
た。 Aggregates (disintegrates) composed of fine powder through the above processing
Was disentangled with a mortar to obtain a powder having an average particle size of 25 to 420 μm.
こうして得られた合金磁石粉末の磁気特性および温度
特性について試験した結果を表2−6および2−7に示
す。磁気特性の試験方法は、直径4.0mm、高さ2.5mmのア
ルミパンに得られた合金磁石粉末とパラフィンとの混合
物を入れて磁場配向し、固化させた後にVSM振動型磁束
計を使用して測定した。Tables 2-6 and 2-7 show the results of testing the magnetic properties and temperature properties of the alloy magnet powder thus obtained. The test method of the magnetic properties is as follows.Put a mixture of the obtained alloy magnet powder and paraffin in a 4.0 mm diameter, 2.5 mm high aluminum pan, orient it in a magnetic field, solidify it, and then use a VSM vibrating magnetometer. It was measured.
また、温度特性の試験方法は、アルミナ製容器に得ら
れた合金磁石を入れて振動型磁束計を使用して測定し
た。The test method of the temperature characteristics was measured by putting the obtained alloy magnet in an alumina container and using a vibrating magnetometer.
本発明の実施例である表2−6から、Nd−Fe−B−Co
系合金磁石粉末はいずれも最大エネルギー積((BH)ma
x)、残留磁束密度(Br)および保磁力(iHc)からなる
磁気特性は優れており、また温度特性も高いキュリー点
(Tc)が得られている。From Table 2-6, which is an example of the present invention, it is found that Nd-Fe-B-Co
The maximum energy product ((BH) ma
x), the magnetic properties including the residual magnetic flux density (Br) and the coercive force (iHc) are excellent, and the Curie point (Tc) with high temperature properties is obtained.
表2−6に示すように、Coを20%含有し、BおよびGa
を複合添加した試料2A1〜2A6の合金磁石粉末の製造にお
いて上記に示す処理条件(表2−3)にて、製造するこ
とにより、Co添加にともなうキュリー点の改善と相反す
る保磁力の低下防止を可能とし、優れた磁気特性を達成
したものである。As shown in Table 2-6, Co contained 20%, and contained B and Ga.
In the production of the alloy magnet powders of Samples 2A1 to 2A6 to which Co was added in combination, the production was carried out under the processing conditions described above (Table 2-3) to prevent the decrease in the coercive force contradictory to the improvement of the Curie point accompanying the addition of Co And achieved excellent magnetic properties.
さらに、試料2A7〜2A15は、Nd−Fe−B−Co合金にM
o、V、TiおよびZrの添加の影響を調査したものであ
る。これらの添加により保磁力が一層の改善され、10.8
〜12.8kOeが得られている。Further, Samples 2A7 to 2A15 were prepared by adding Md to Nd-Fe-B-Co alloy.
It is an investigation of the effects of the addition of o, V, Ti and Zr. The coercive force was further improved by these additions, and 10.8
~ 12.8 kOe has been obtained.
また、試料2B1〜2B6は、均質化処理における保持温
度、水素吸蔵処理における保持温度、時間およびガス圧
力、ならびに脱水素処理における保持温度、時間および
ガス圧力の影響を調査したものである。いずれの条件下
においても優れた磁気特性とともに温度特性が達成され
ている。Samples 2B1 to 2B6 were obtained by investigating the effects of the holding temperature in the homogenization process, the holding temperature, the time and the gas pressure in the hydrogen storage process, and the holding temperature, the time and the gas pressure in the dehydrogenation process. Under any of the conditions, excellent magnetic characteristics and temperature characteristics are achieved.
次に、本発明の比較例について説明する。 Next, a comparative example of the present invention will be described.
表2−2に示す試料2C1〜2C13は、処理条件(表2−
4中の試料2C1〜2C13)を本発明の条件として化学組成
の影響について調査したものである。その結果、得られ
た磁気特性および温度特性は表2−7(試料2C1〜2C1
3)に示す。Samples 2C1-2C13 shown in Table 2-2 were processed under the processing conditions (Table 2-
Samples 2C1 to 2C13) in No. 4 were examined for the influence of the chemical composition under the conditions of the present invention. As a result, the obtained magnetic characteristics and temperature characteristics are shown in Table 2-7 (Samples 2C1 to 2C1).
See 3).
試料2C1は、Ndが少ないために保磁力が3.0kOeと低下
しており、試料2C2はCoが少ないためにキュリー点が400
℃と低い。Sample 2C1 had a low coercive force of 3.0 kOe due to low Nd, and sample 2C2 had a Curie point of 400 due to low Co.
° C and low.
試料2C3は、Coが多いためキュリー点は560℃と改善さ
れるものの保磁力は4.0kOeと低下している。試料2C4
は、CoおよびBが少なく、Gaが多いことにより保磁力は
8.0kOeと、キュリー点は420℃と低下している。試料2C5
は、Bが多いために残留磁束密度が9.0kGと低い。In Sample 2C3, the Curie point was improved to 560 ° C. due to the large amount of Co, but the coercive force was lowered to 4.0 kOe. Sample 2C4
Means that Co and B are small and Ga is large,
At 8.0 kOe, the Curie point has dropped to 420 ° C. Sample 2C5
Has a low residual magnetic flux density of 9.0 kG due to the large amount of B.
試料2C7は、Gaが添加されていないために保磁力は6.7
kOeと改善されていない。試料2C8は、Bが少ないために
保磁力が3.8kOeと低く、試料C8は、Gaが多いことにより
保磁力が5.0kOeと低下している。試料2C10は、Ndおよび
Gaが多いために残留磁束密度は9.5kGと、および保磁力
が7.5kOeと低下している。Sample 2C7 had a coercive force of 6.7 because Ga was not added.
kOe and not improved. Sample 2C8 has a low coercive force of 3.8 kOe due to a small amount of B, and sample C8 has a low coercive force of 5.0 kOe due to a large amount of Ga. Sample 2C10 contains Nd and
Due to the large amount of Ga, the residual magnetic flux density is reduced to 9.5 kG, and the coercive force is reduced to 7.5 kOe.
試料2C11はMoが多いために、試料2C12はVが多いため
に、試料2C13はZrが多いために、そして試料C13はTiが
多いために保磁力はそれぞれ改善されて11.0〜14.0kOe
の値が得られているが、残留磁束密度は8.0〜10.5kGと
低下している。Sample 2C11 has a large amount of Mo, sample 2C12 has a large amount of V, sample 2C13 has a large amount of Zr, and sample C13 has a large amount of Ti, so that the coercive force is improved to 11.0 to 14.0 kOe.
Is obtained, but the residual magnetic flux density is lowered to 8.0 to 10.5 kG.
また、処理条件については、表2−2(表2−2中の
試料2D1〜2D10)に示す試料2D1〜2D10は本発明の化学組
成として、表2−5に示す処理条件にて調査した。その
結果、得られた磁気特性および温度特性は表2−7(試
料2D1〜2D10)に示す。Regarding the processing conditions, samples 2D1 to 2D10 shown in Table 2-2 (samples 2D1 to 2D10 in Table 2-2) were investigated as the chemical compositions of the present invention under the processing conditions shown in Table 2-5. As a result, the obtained magnetic characteristics and temperature characteristics are shown in Table 2-7 (samples 2D1 to 2D10).
試料2D1は、均質化処理温度が高いために保磁力は2.0
kOeと、残留磁束密度は8.0kGと低下している。Sample 2D1 had a coercive force of 2.0 due to the high homogenization temperature.
kOe and the residual magnetic flux density decreased to 8.0 kG.
試料2D2は、水素吸蔵処理における保持温度が高く、
他方試料2D3は水素ガス吸蔵処理における保持温度が低
いことにより保磁力が7.0および4.0kOeといずれも低く
なっている。試料2D4は、水素吸蔵処理における保持温
度が低く、脱水素処理におけるガス圧力が高いために、
保磁力は5.0kOeおよび残留磁束密度は11.0kGと低い。Sample 2D2 has a high holding temperature in the hydrogen storage process,
On the other hand, sample 2D3 has a low coercive force of 7.0 and 4.0 kOe due to a low holding temperature in the hydrogen gas occlusion treatment. Sample 2D4 has a low holding temperature in the hydrogen storage process and a high gas pressure in the dehydrogenation process,
The coercive force is as low as 5.0 kOe and the residual magnetic flux density is as low as 11.0 kG.
試料2D5は、均質化処理温度が低いために保磁力が3.0
kOeと低く、残留磁束密度も8.5kGと低い。試料2D6は、
水素吸蔵処理および脱水素処理における保持温度が高い
ことにより保磁力が2.0kOeと低く、残留磁束密度も7.8k
Gと低い。Sample 2D5 has a coercive force of 3.0 due to the low homogenization temperature.
It is as low as kOe and the residual magnetic flux density is as low as 8.5 kG. Sample 2D6 is
High coercive force (2.0 kOe) and high residual magnetic flux density of 7.8 k due to high holding temperature in hydrogen storage and dehydrogenation
G and low.
試料2D7は、水素吸蔵処理におけるガス圧力が低いた
めに、保磁力は4.8kOeと低く、残留磁束密度も9.3kGと
低い。試料2D8は、水素吸蔵処理におけるガス圧力を高
めるとともに試料D6より水素吸蔵処理および脱水素処理
における保持温度が高くしているため、保磁力は3.5kOe
と低く、残留磁束密度も8.5kGと低い。Sample 2D7 has a low coercive force of 4.8 kOe and a low residual magnetic flux density of 9.3 kG because of the low gas pressure in the hydrogen storage treatment. Sample 2D8 has a higher coercive force of 3.5 kOe because the gas pressure in the hydrogen storage process is increased and the holding temperature in the hydrogen storage process and the dehydrogenation process is higher than that of sample D6.
And the residual magnetic flux density is as low as 8.5 kG.
試料2D9は、脱水素処理における保持温度が低いため
に、保磁力が8.0kOeと低い。試料2D10は、脱水素処理に
おけるガス圧力が高いために、すなわち真空雰囲気が悪
いために保磁力は7.0kOeと低く、残留磁束密度も9.8kG
と低い。Sample 2D9 has a low coercive force of 8.0 kOe due to a low holding temperature in the dehydrogenation treatment. Sample 2D10 has a low coercive force of 7.0 kOe and a residual magnetic flux density of 9.8 kG due to the high gas pressure in the dehydrogenation process, that is, the poor vacuum atmosphere.
And low.
実施例 3 本発明装置による試験条件を特定するために、実施例
3aに予備試験を示し、実施例3bで本試験をしめす。 Example 3 In order to specify test conditions using the apparatus of the present invention, an example
3a shows a preliminary test, and Example 3b shows this test.
実施例3a プラズマアーク炉で溶解、鋳造してNd−Fe−Co−B系
合金の原子%組成でNd12.3Fe60.1Co19.8B6.0Ga1.8を主
成分とする希土類磁石合金インゴットを作製した。上記
インゴットをアルゴンガス雰囲気中で1100℃に40時間保
持して均質化処理を行い、次いでアルゴンガス雰囲気中
で粗粉砕して5〜18mmの粗粉砕塊を得た。この粗粉砕塊
をボートにいれた管状炉に装入し、真空度1x10-5Torr以
下の真空に排気後、1.2〜2.6kgf/cm2の水素ガスを炉内
に流入し、それぞれのガス圧力を維持しながら保持温度
を、700〜900℃にて3時間保持し、水素吸蔵処理を行っ
た。次いで、水素ガス圧力5x10-5Torrの真空雰囲気にな
るまで脱水素処理を700〜900℃にて0.5時間かけて行っ
た。その後、1.2kgf/cm2のアルゴンガスにて常温まで約
10分で常温まで冷却した。以上の処理を通じて粉末から
なる集合体(崩壊物)を乳鉢で解きほぐして平均粒径74
〜105μmの粉末を得た。こうして得られた磁石粉末の
最大エネルギー積((BH)max)を測定し、その結果を
図1〜2に示した。その測定には実施例2と同様に振動
型磁束計を使用した。Example 3a A rare earth magnet alloy ingot containing Nd 12.3 Fe 60.1 Co 19.8 B 6.0 Ga 1.8 as a main component in the atomic% composition of a Nd-Fe-Co-B alloy was produced by melting and casting in a plasma arc furnace. The ingot was kept in an argon gas atmosphere at 1100 ° C. for 40 hours to perform a homogenization treatment, and then coarsely pulverized in an argon gas atmosphere to obtain a coarsely crushed mass of 5 to 18 mm. This coarsely pulverized lump was charged into a tubular furnace placed in a boat, evacuated to a vacuum of 1 × 10 −5 Torr or less, and then hydrogen gas of 1.2 to 2.6 kgf / cm 2 was introduced into the furnace, and each gas pressure was changed. While maintaining the temperature at 700 to 900 ° C. for 3 hours to perform a hydrogen storage treatment. Next, dehydrogenation treatment was performed at 700 to 900 ° C. for 0.5 hour until a vacuum atmosphere with a hydrogen gas pressure of 5 × 10 −5 Torr was obtained. Then, with 1.2 kgf / cm 2 of argon gas to room temperature,
It was cooled to room temperature in 10 minutes. Through the above process, the aggregate (disintegrated material) composed of powder is disentangled with a mortar and the average particle size is 74.
A powder of 105105 μm was obtained. The maximum energy product ((BH) max) of the magnet powder thus obtained was measured, and the results are shown in FIGS. For the measurement, a vibration type magnetometer was used as in Example 2.
図1より、最大エネルギー積((BH)max)は水素吸
蔵処理温度と水素吸蔵処理における水素ガス圧力とに大
きく依存し、その磁気特性の優れた領域は狭い。また、
図2より、最大エネルギー積((BH)max)は脱水素処
理温度にも敏感である。したがって、量産における水素
吸蔵処理時の温度および水素ガス圧力と脱水素処理時の
温度の制御が重要である。From FIG. 1, the maximum energy product ((BH) max) greatly depends on the hydrogen storage processing temperature and the hydrogen gas pressure in the hydrogen storage processing, and the region having excellent magnetic properties is narrow. Also,
From FIG. 2, the maximum energy product ((BH) max) is also sensitive to the dehydrogenation treatment temperature. Therefore, it is important to control the temperature and the hydrogen gas pressure during the hydrogen storage process and the temperature during the dehydrogenation process in mass production.
実施例3b Nd−Fe−Co−B系合金の原子%組成でNd12.3Fe60.1Co
19.8B6.0Ga1.8を主成分とする希土類磁石合金インゴッ
トを真空誘導溶解炉を用いて5kgインゴットを4本作製
した。上記インゴットをアルゴンガス雰囲気中で1100℃
に40時間保持して均質化処理を行い、次いでアルゴンガ
ス雰囲気中で粗粉砕して10〜30mmの粗粉砕塊を得た。こ
の粗粉砕塊を図3に示す本発明装置の各反応管に約1kg
づつ入れて加熱炉に装入した。真空度1x10-4Torr以下の
真空に排気後、1.3kgf/cm2の水素ガスを管内に流入し、
ガス圧力を維持しながら800℃にて5時間保持し、水素
吸蔵処理を行った。Example 3b Nd 12.3 Fe 60.1 Co in atomic% composition of Nd-Fe-Co-B alloy
Using a vacuum induction melting furnace, four 5 kg rare earth magnet alloy ingots containing 19.8 B 6.0 Ga 1.8 as a main component were produced. The above ingot is placed in an argon gas atmosphere at 1100 ° C
And then homogenized by holding for 40 hours, and then coarsely pulverized in an argon gas atmosphere to obtain a coarsely pulverized lump of 10 to 30 mm. About 1 kg of this coarsely pulverized mass is added to each reaction tube of the apparatus of the present invention shown in FIG.
Each was charged into a heating furnace. After evacuating to a vacuum of 1x10 -4 Torr or less, a hydrogen gas of 1.3 kgf / cm 2 flows into the tube,
The gas pressure was maintained at 800 ° C. for 5 hours to perform a hydrogen storage treatment.
次いで、水素ガス圧力を1x10-5Torrの真空雰囲気にな
るまで脱水素処理を800℃にて1.0時間かけて行った。そ
の後、1.2kgf/cm2のArガス雰囲気下で80℃/minにて冷却
した。Next, dehydrogenation treatment was performed at 800 ° C. for 1.0 hour until the hydrogen gas pressure reached a vacuum atmosphere of 1 × 10 −5 Torr. Thereafter, cooling was performed at 80 ° C./min in an Ar gas atmosphere of 1.2 kgf / cm 2 .
各反応管からそれぞれ5個の試料をサンプリングして
粉末からなる集合体(崩壊物)を乳鉢で解きほぐして平
均粒径25〜250μmの粉末を得た。最大エネルギー積を
測定し、図4に示した。なお、試験方法は実施例3aと同
一条件で行った。Five samples were sampled from each reaction tube, and the aggregate (disintegrated material) composed of the powder was disentangled with a mortar to obtain a powder having an average particle size of 25 to 250 μm. The maximum energy product was measured and is shown in FIG. The test was performed under the same conditions as in Example 3a.
比較例は、本発明で試験したのと同一組成の粗粉末塊
を用いた。同量の約7kgを1本の耐熱性ステンレス鋼か
らなる管状炉にいれて水素吸蔵および脱水素を行った。
これらの処理条件は本発明と同一とした。The comparative example used a coarse powder mass having the same composition as tested in the present invention. About 7 kg of the same amount was placed in a tube furnace made of a single heat-resistant stainless steel, and hydrogen absorption and dehydrogenation were performed.
These processing conditions were the same as in the present invention.
管状炉からランダムに35個の試料をサンプリングして
粉末からなる集合体(崩壊物)を乳鉢で解きほぐして平
均粒径25〜250μmの粉末を得た。最大エネルギー積を
測定し、本発明の結果と対比するために図4に示した。
なお、試験方法は実施例3aと同一条件で行った。35 samples were sampled at random from a tube furnace, and the aggregate (disintegrated material) composed of powder was disentangled in a mortar to obtain powder having an average particle size of 25 to 250 μm. The maximum energy product was measured and is shown in FIG. 4 for comparison with the results of the present invention.
The test was performed under the same conditions as in Example 3a.
図2から、本発明で得られた合金磁石粉末の最大エネ
ルギー積((BH)max)の平均値は38.2MGOeに達し、そ
のばらつきの範囲は36〜40MGOeと狭い。一方、比較例で
はその平均値は32.7MGOeにとどまり、そのばらつきの範
囲は27〜40と広い。From FIG. 2, the average value of the maximum energy product ((BH) max) of the alloy magnet powder obtained in the present invention reaches 38.2 MGOe, and the range of the variation is as narrow as 36 to 40 MGOe. On the other hand, in the comparative example, the average value is only 32.7 MGOe, and the range of the variation is as wide as 27 to 40.
実施例3c 表3−1に本発明の化学組成を、表3−2にその磁気
特性および温度特性を示す。真空誘導溶解炉を用いて10
kgづつ溶解、鋳造して希土類磁石合金インゴット3A〜3E
を作製した。上記インゴットをアルゴンガス雰囲気中で
1100℃に40時間保持して均質化処理を行い、次いでアル
ゴンガス雰囲気中で粗粉砕して10〜30mmの粗粉砕塊を得
た。この粗粉砕塊を図1に示す本発明装置の各反応管に
約1kgづつ入れて加熱炉に装入した。真空度1x10-4Torr
以下の真空に排気後、1.3kgf/cm2の水素ガスを管内に流
入し、ガス圧力を維持しながら800℃にて5時間保持
し、水素吸蔵処理を行った。Example 3c Table 3-1 shows the chemical composition of the present invention, and Table 3-2 shows its magnetic properties and temperature properties. 10 using a vacuum induction melting furnace
Melt and cast in kilograms, rare earth magnet alloy ingot 3A ~ 3E
Was prepared. Place the above ingot in an argon gas atmosphere
Homogenization treatment was performed by maintaining the temperature at 1100 ° C. for 40 hours, and then coarsely pulverized in an argon gas atmosphere to obtain a coarsely pulverized lump of 10 to 30 mm. About 1 kg of this coarsely pulverized lump was put into each reaction tube of the apparatus of the present invention shown in FIG. 1 and charged into a heating furnace. Vacuum 1x10 -4 Torr
After evacuating to the following vacuum, 1.3 kgf / cm 2 of hydrogen gas was introduced into the tube, and the gas pressure was maintained at 800 ° C. for 5 hours to perform a hydrogen storage treatment.
次いで、水素ガス圧力を1x10-5Torrの真空雰囲気にな
るまで脱水素処理を800℃にて1.0時間かけて行った。そ
の後、1.2kgf/cm2のアルゴンガス雰囲気下で80℃/minに
て冷却した。Next, dehydrogenation treatment was performed at 800 ° C. for 1.0 hour until the hydrogen gas pressure reached a vacuum atmosphere of 1 × 10 −5 Torr. Thereafter, cooling was performed at 80 ° C./min in an argon gas atmosphere of 1.2 kgf / cm 2 .
表3−2より、最大エネルギー積((BH)max)は35M
GOe以上、残留磁束密度(Br)は12.5kG以上、保磁力(i
Hc)は10kOe以上の優れた磁気特性とキュリー点(Tc)
は480℃以上の優れた温度特性を示すことがわかる。From Table 3-2, the maximum energy product ((BH) max) is 35M
GOe or more, residual magnetic flux density (Br) 12.5kG or more, coercive force (i
Hc) is 10kOe or more excellent magnetic properties and Curie point (Tc)
Shows excellent temperature characteristics of 480 ° C. or higher.
実施例4 樹脂結合型磁石の実施例について、はじめに実施例4a
にて射出成形法を説明し、次に4bにて圧縮成形法を説明
する。両者の成形に使用する合金磁石粉末の製造は実施
例4aにてまとめて説明する。 Example 4 An example of a resin-bonded magnet was first described in Example 4a.
Describes the injection molding method, and 4b describes the compression molding method. The manufacture of the alloy magnet powder used for the molding of both is collectively described in Example 4a.
実施例4a 本発明例(試料4A〜4E)および比較例(試料4F〜4H)
の希土類合金磁石粉末に係わる化学組成を表4−1に、
化学組成4A〜4Hを有する合金インゴットから希土類合金
磁石粉末を製造するときの処理条件(均質化条件、水素
吸蔵条件および脱水素条件を総称していう。)について
本発明の処理条件および比較処理条件を表4−2に示
す。従って、表4−3に示す射出成形法により作製した
樹脂結合型磁石の磁気特性および温度特性の結果につい
ては、試料4A1〜4A3、4B1、4C1、4D1および4E1が本発明
例に関する結果であり、試料4A4、4C2、4E2、4F1、4G1
および4H1が比較例に関する結果である。Example 4a Invention Examples (Samples 4A to 4E) and Comparative Examples (Samples 4F to 4H)
Table 4-1 shows the chemical composition of the rare earth alloy magnet powder of
The processing conditions (homogenization conditions, hydrogen storage conditions and dehydrogenation conditions are collectively referred to) when manufacturing rare earth alloy magnet powder from alloy ingots having chemical compositions 4A to 4H are described below. It is shown in Table 4-2. Therefore, regarding the results of the magnetic characteristics and the temperature characteristics of the resin-bonded magnets manufactured by the injection molding method shown in Table 4-3, the samples 4A1 to 4A3, 4B1, 4C1, 4D1, and 4E1 are the results of the present invention, Sample 4A4, 4C2, 4E2, 4F1, 4G1
And 4H1 are the results for the comparative example.
Nd−Fe−B−Co系の化学組成からなる希土類磁石合金
をプラズマアーク炉で溶解、鋳造して表4−1に示すイ
ンゴットを作製した。このインゴットをArガス雰囲気下
で1080℃、40時間の均質化処理を行った。A rare earth magnet alloy having a chemical composition of Nd-Fe-B-Co was melted and cast in a plasma arc furnace to produce an ingot shown in Table 4-1. This ingot was homogenized at 1080 ° C. for 40 hours in an Ar gas atmosphere.
次いで、上記インゴットをアルゴンガス雰囲気中で粗
粉砕して8〜15mm程度の粗粉砕塊とし、この粗粉砕塊を
本発明装置に装入し、真空度1x10-4Torr以下の真空に排
気した。Next, the ingot was coarsely pulverized in an argon gas atmosphere to form a coarsely pulverized lump having a size of about 8 to 15 mm. The coarsely pulverized lump was charged into the apparatus of the present invention and evacuated to a vacuum of 1 × 10 −4 Torr or less.
その後、表4−2に示す所定の加圧した水素ガスを炉
内に流入し、それぞれのガス圧力を維持しながら表2に
示す保持温度にて3.0〜5.0時間保持し、水素を吸蔵させ
る処理を行った。After that, a predetermined pressurized hydrogen gas shown in Table 4-2 is flown into the furnace, and is maintained at the holding temperature shown in Table 2 for 3.0 to 5.0 hours while maintaining the respective gas pressures to absorb hydrogen. Was done.
次いで、表4−2に示す所定の温度における真空雰囲
気になるまで脱水素処理を0.5〜1.5時間かけて行った。
その後、1.2kgf/cm2のArガスにて15〜30分間で常温まで
冷却した。Next, a dehydrogenation treatment was performed for 0.5 to 1.5 hours until a vacuum atmosphere at a predetermined temperature shown in Table 4-2 was obtained.
Thereafter, the mixture was cooled to room temperature with Ar gas of 1.2 kgf / cm 2 for 15 to 30 minutes.
以上の処理を通じて粉末からなる集合体(崩壊物)を
乳鉢で解きほぐして平均粒径44〜300μmの粉末を得
た。Through the above treatment, the aggregate (disintegrated material) made of the powder was loosened in a mortar to obtain a powder having an average particle size of 44 to 300 μm.
こうして得られた表4−2に示す試料4A1〜H1の13種
類の合金磁石粉末をそれぞれ混練機によるコンパウンド
処理を施し、射出成形機により成形した。The thus obtained 13 types of alloy magnet powders of Samples 4A1 to H1 shown in Table 4-2 were each subjected to a compounding process by a kneading machine, and were molded by an injection molding machine.
はじめに、合金磁石粉末を60vol%とし、結合剤はナ
イロン12、カップリング剤はシラン系、そして潤滑剤に
はステアリン酸亜鉛を用いて混練してコンパウンドを作
った。First, the compound was made by kneading the alloy magnet powder with 60 vol%, using a binder of nylon 12, a coupling agent of silane, and a lubricant of zinc stearate.
次に射出成形を行った。成形温度は265℃、金型温度
は85℃、成形圧力は85kgf/cm2の条件で行った。成形時
の配向磁場の強さは11kOeであった。なお、成形体の形
状は、10×10×8mmの直方体である。Next, injection molding was performed. The molding temperature was 265 ° C., the mold temperature was 85 ° C., and the molding pressure was 85 kgf / cm 2 . The strength of the orientation magnetic field during molding was 11 kOe. The shape of the molded body is a rectangular parallelepiped of 10 × 10 × 8 mm.
成形体は、空心コイル中で45kOeの着磁磁場にて着磁
した。The compact was magnetized in an air-core coil with a magnetizing magnetic field of 45 kOe.
着磁して得られた樹脂結合型磁石について、磁気特性
および温度特性を測定した結果を表4−3に示す。Table 4-3 shows the results of measuring the magnetic characteristics and the temperature characteristics of the resin-bonded magnet obtained by magnetization.
温度特性については、αはBrの温度係数を、βはiHc
の温度係数をそれぞれ測定して示している。Regarding the temperature characteristics, α is the temperature coefficient of Br and β is iHc
Are measured and shown.
表4−3の本発明例および比較例から、本発明による
樹脂結合型磁石は磁気特性および温度特性が優れている
ことがわかる。From the present invention examples and comparative examples in Table 4-3, it is understood that the resin-bonded magnet according to the present invention has excellent magnetic properties and temperature properties.
ここで表4−2に示す試料4F1、4G1および4H1は、処
理条件を本発明の条件として化学組成の影響について調
査したものである。その結果、得られた磁気特性および
温度特性は表4−3(試料4F1、4 G1および4H1)に示す。Here, the samples 4F1, 4G1, and 4H1 shown in Table 4-2 were obtained by investigating the influence of the chemical composition using the processing conditions as the conditions of the present invention. As a result, the obtained magnetic characteristics and temperature characteristics are shown in Table 4-3 (Samples 4F1 and 4F4). G1 and 4H1).
試料4F1は、Ndが多いために残留磁束密度が6.6kGと低
下しており、G1はBが多いために残留磁束密度が6.0kG
と低い。試料4H1は、Gaが少ないために最大エネルギー
積、残留磁束密度および保磁力bHcが全て低い。Sample 4F1 has a low residual magnetic flux density of 6.6 kG due to a large amount of Nd, and G1 has a residual magnetic flux density of 6.0 kG due to a large amount of B.
And low. Sample 4H1 has a low maximum energy product, residual magnetic flux density, and coercive force bHc because Ga is small.
試料4A4は、水素吸蔵処理のための水素ガス圧力が低
いために最大エネルギー積が低い。試料4C2は、水素吸
蔵処理のための保持温度が高いために最大エネルギー積
と保磁力が低い。試料4E2は脱水素処理のガス圧力が高
いために最大エネルギー積と保磁力が低い。Sample 4A4 has a low maximum energy product because the hydrogen gas pressure for the hydrogen storage treatment is low. Sample 4C2 has a low maximum energy product and a low coercive force because the holding temperature for the hydrogen storage treatment is high. Sample 4E2 has a low maximum energy product and a low coercive force due to the high gas pressure of the dehydrogenation treatment.
また、表4−2は従来例について示す。 Table 4-2 shows a conventional example.
はじめにSm−Co系異方性樹脂結合型磁石を射出成形法
により作製した。Sm2Co17粉末を60vol%と結合剤として
ナイロン12、カップリング剤はシラン系、そして潤滑剤
にはステアリン酸亜鉛を用いて混練してコンパウンドを
作った。このコンパウンドを、成形磁場15kOeで射出成
形した。成形温度は260℃、金型温度は80℃、成形圧力
は65kgf/cm2の条件により試料4K1を作製した。成形体の
形状は、10×10×8mmの直方体である。First, an Sm-Co-based anisotropic resin-bonded magnet was manufactured by an injection molding method. A compound was prepared by kneading 60 vol% of Sm 2 Co 17 powder with nylon 12 as a binder, a silane-based coupling agent, and zinc stearate as a lubricant. This compound was injection molded with a molding magnetic field of 15 kOe. A sample 4K1 was prepared under the conditions of a molding temperature of 260 ° C., a mold temperature of 80 ° C., and a molding pressure of 65 kgf / cm 2 . The shape of the molded body is a rectangular parallelepiped of 10 × 10 × 8 mm.
次に、Nd−Fe−B系等方性樹脂結合型磁石を射出成形
法により作製した。Nd14Fe80B6の組成の粉末は、メルト
スピニング法によりフレーク状の磁石を作り、32メッシ
ュ以下に粉砕した。こうして得られた磁石粉末60vol%
と結合剤としてナイロン12、カップリング剤はシラン
系、そして潤滑剤にはステアリン酸亜鉛を用いて混練し
てコンパウンドを作った。このコンパウンドを、成形磁
場15kOeで射出成形した。成形温度は280℃、金型温度は
85℃、成形圧力は65kgf/cm2の条件により試料4K2を作製
した。成形体の形状は、10×10×8mmの直方体である。Next, an Nd-Fe-B based isotropic resin-bonded magnet was produced by an injection molding method. The powder having the composition of Nd 14 Fe 80 B 6 was formed into a flake-like magnet by a melt spinning method and pulverized to 32 mesh or less. 60 vol% of the magnetic powder thus obtained
Nylon 12 was used as a binder, silane was used as a coupling agent, and zinc stearate was used as a lubricant to prepare a compound. This compound was injection molded with a molding magnetic field of 15 kOe. Molding temperature is 280 ℃, mold temperature is
Sample 4K2 was produced under the conditions of 85 ° C. and a molding pressure of 65 kgf / cm 2 . The shape of the molded body is a rectangular parallelepiped of 10 × 10 × 8 mm.
これらの成形体を空心コイル中で45kOeの磁場で着磁
した。These compacts were magnetized in an air-core coil with a magnetic field of 45 kOe.
こうして得られた樹脂結合型磁石の磁気特性および温
度特性の測定結果を表4−4に示す。Table 4-4 shows the measurement results of the magnetic characteristics and the temperature characteristics of the resin-bonded magnet thus obtained.
試料4K1および4K2は、ともに本発明例に比べて最大エ
ネルギー((BH)max)が低い。 Samples 4K1 and 4K2 both have lower maximum energies ((BH) max) than the present invention.
実施例4b 表4−2に示す試料4A1〜4H1の13種類の合金磁石粉末
と樹脂粉末を混合し加熱圧縮成形した。Example 4b Thirteen kinds of alloy magnet powders and resin powders of samples 4A1 to 4H1 shown in Table 4-2 were mixed and heated and compression-molded.
はじめに、合金磁石粉末を83vol%とし、結合剤はエ
ポキシ樹脂エピコート1004(油化シェルエポキシ社
製)、硬化剤、硬化促進剤およびシラン系カップリング
剤を17vol%混合した。First, the alloy magnet powder was 83 vol%, and as a binder, 17 vol% of epoxy resin Epicoat 1004 (manufactured by Yuka Shell Epoxy), a curing agent, a curing accelerator and a silane coupling agent were mixed.
次に圧縮成形を行った。成形温度は160℃、成形圧力
は7.5ton/cm2の条件で行った。成形時の配向磁場の強さ
は15kOeであった。なお、成形体の形状は、10×10×8mm
の直方体である。Next, compression molding was performed. The molding temperature was 160 ° C. and the molding pressure was 7.5 ton / cm 2 . The strength of the orientation magnetic field during molding was 15 kOe. The shape of the molded body is 10 × 10 × 8 mm
Is a rectangular parallelepiped.
成形体は、空心コイル中で45kOeの着磁磁場にて着磁
した。The compact was magnetized in an air-core coil with a magnetizing magnetic field of 45 kOe.
着磁して得られた樹脂結合型磁石について、磁気特性
および温度特性を測定した結果を表4−5に示す。Table 4-5 shows the results of measuring the magnetic characteristics and temperature characteristics of the resin-bonded magnet obtained by magnetization.
温度特性については、αはBrの温度係数を、βはiHc
の温度係数をそれぞれ測定して示している。Regarding the temperature characteristics, α is the temperature coefficient of Br and β is iHc
Are measured and shown.
表4−5の本発明例および比較例から、本発明による
樹脂結合型磁石は磁気特性および温度特性が優れている
ことがわかる。 From the present invention examples and comparative examples in Table 4-5, it is understood that the resin-bonded magnet according to the present invention has excellent magnetic properties and temperature properties.
次に、本発明の比較例について説明する。 Next, a comparative example of the present invention will be described.
表4−2に示す試料4F1、4G1および4H1は、処理条件
を本発明の条件として化学組成の影響について調査した
ものである。その結果、得られた磁気特性および温度特
性は表4−5に示す。Samples 4F1, 4G1 and 4H1 shown in Table 4-2 were obtained by investigating the influence of the chemical composition under the processing conditions of the present invention. As a result, the obtained magnetic characteristics and temperature characteristics are shown in Table 4-5.
試料4F11は、Ndが多いために残留磁束密度が7.3kGと
低下しており、試料4G11はBが多いために残留磁束密度
が6.7kGと低い。試料4H11は、Gaが少ないために最大エ
ネルギー積、残留磁束密度および保磁力(bHc)の全て
が低い。Sample 4F11 has a low residual magnetic flux density of 7.3 kG due to a large amount of Nd, and sample 4G11 has a low residual magnetic flux density of 6.7 kG due to a large amount of B. Sample 4H11 has low maximum energy product, residual magnetic flux density, and coercive force (bHc) because Ga is small.
試料4A41は、水素吸蔵処理のための水素ガス圧力が低
いために最大エネルギー積が低い。試料4C21は、水素吸
蔵処理のための保持温度が高いために最大エネルギー積
と保磁力が低い。試料4E21は脱水素処理のガス圧力が高
いために最大エネルギー積と保磁力が低い。Sample 4A41 has a low maximum energy product because the hydrogen gas pressure for the hydrogen storage treatment is low. Sample 4C21 has a low maximum energy product and a low coercive force because the holding temperature for the hydrogen storage treatment is high. Sample 4E21 has a low maximum energy product and a low coercive force because the gas pressure for the dehydrogenation treatment is high.
フロントページの続き 早期審査対象出願 (72)発明者 杉浦 好宣 愛知県半田市鴉根町2丁目115番地の8 (56)参考文献 特開 平3−146608(JP,A)Continued on the front page Application for accelerated examination (72) Inventor Yoshinobu Sugiura 2-115, Karasu-cho, Handa-shi, Aichi 8 (56) References JP-A-3-146608 (JP, A)
Claims (2)
0%、Co;19.0〜21.5%、Ga;1.5〜1.8%を含有し、残り
がFeおよび不可避的な不純物からなるNd−Fe−B−Co系
合金のインゴットを、不活性ガス雰囲気中で、温度1000
〜1150℃に保持して均質化処理させた後、当該均質化処
理インゴットを粗粉砕して得られた粗粉砕塊を、複数個
の反応管にそれぞれ分配して入れ、これら複数個の反応
管を同時にまとめて加熱する多芯管炉にて1.2〜1.6kgf/
cm2に加圧した水素ガス雰囲気中で、これら複数個の反
応管を同時に温度780〜860℃に保持して上記粗粉砕粒に
水素ガスを吸蔵させた後、これら複数個の反応管を同時
に水素ガス圧力1x10-4Torr以下の真空雰囲気になるまで
温度500〜860℃で脱水素処理し、ついでこれら複数個の
反応管を同時に急冷することを特徴とする磁気異方性お
よび温度特性に優れたNd−Fe−B−Co系合金磁石粉末の
製造方法。(1) Atomic percentage of Nd: 12.1 to 13.0%, B: 5.0 to 7.
0%, Co; 19.0-21.5%, Ga; 1.5-1.8%, the remainder is Fe and an ingot of a Nd-Fe-B-Co-based alloy consisting of unavoidable impurities, in an inert gas atmosphere, Temperature 1000
After homogenizing by holding at ~ 1150 ° C, the coarsely crushed mass obtained by coarsely crushing the homogenized ingot is distributed and put into a plurality of reaction tubes, respectively. 1.2 to 1.6 kgf /
In a hydrogen gas atmosphere pressurized to cm 2 , the plurality of reaction tubes are simultaneously held at a temperature of 780 to 860 ° C., and hydrogen gas is absorbed in the coarsely pulverized particles. Excellent magnetic anisotropy and temperature characteristics, characterized by dehydrogenating at a temperature of 500 to 860 ° C until a vacuum atmosphere of hydrogen gas pressure 1x10 -4 Torr or less, and then rapidly cooling these multiple reaction tubes simultaneously And a method for producing an Nd-Fe-B-Co alloy magnetic powder.
れ、かつ単一の水素ガス供給系により水素ガス圧が管理
される請求項1に記載のNd−Fe−B−Co系合金磁石粉末
の製造方法。2. The Nd-Fe-B-Co according to claim 1, wherein the plurality of reaction tubes are arranged in a single heating furnace, and the hydrogen gas pressure is controlled by a single hydrogen gas supply system. Method for producing system alloy magnet powder.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6514587A JP2802546B2 (en) | 1992-12-28 | 1993-12-24 | Manufacturing method of rare earth magnet powder |
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JP5-128048 | 1993-11-30 | ||
JP5-329924 | 1993-11-30 | ||
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- 1993-12-24 JP JP6514587A patent/JP2802546B2/en not_active Expired - Lifetime
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