JP2783473B2 - Liquid crystal light valve and information processing apparatus having liquid crystal light valve - Google Patents
Liquid crystal light valve and information processing apparatus having liquid crystal light valveInfo
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- Liquid Crystal (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ライトバルブに関
し、更に詳しくはイメージセンサ、投射型ディスプレイ
及び画像処理等に用いることができる光アドレス型の液
晶ライトバルブ及びこの液晶ライトバルブを備えた情報
処理装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal light valve, and more particularly, to an optical address type liquid crystal light valve which can be used for an image sensor, a projection type display, image processing, and the like, and information provided with the liquid crystal light valve. It relates to a processing device.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の液晶ライトバルブには、以下に示
すものがある。2. Description of the Related Art Conventional liquid crystal light valves include the following.
【0003】(1)文献1(アール.ディー.スターリ
ング(R.D.Sterling),アール.ディー.テ コルステ
(R.D.Te Kolste ),ジェー.エム.ハガーティ(J.M.
Haggerty),ティー.シー.ボラー(T.C.Borah ),ダ
ヴリュ.ピー.ブレハ(W.P.Bleha ):エスアイディー
ダイジェスト(SID Digest) (1990) p.327 )では、
光導電体層(非晶質水素化ケイ素)と遮光層(テルル化
カドミウム(CdTe))と誘電体ミラーとを用いると
共に、液晶層に垂直配向モードを使って素子を作成し、
素子を投射型ディスプレイに応用している。(1) Reference 1 (RDSterling, RDTe Kolste, JM Hagerty (JM)
Haggerty), tea. C. Boller, TC Borah. P. Bleha (WPBleha): SID Digest (1990) p.327)
Using a photoconductor layer (amorphous silicon hydride), a light shielding layer (cadmium telluride (CdTe)), and a dielectric mirror, an element is formed using a vertical alignment mode for a liquid crystal layer,
The element is applied to a projection display.
【0004】(2)文献2(ジー.モデル(G.Modde
l),ケー.エム.ジョンソン(K.M.Johnson ),ダヴ
リュ.リー(W.Li),アール.エー.ライス(R.A.Ric
e),エル.エー.パガノ−スタウファ(L.A.Pagano-St
auffer ),エム.エー.ハンジ(M.A.Handschy): ア
プライド フィジックスレター(Appl. Phys. Lett. )
ヴォリューム(Vol.)55,ナンバー(No. )6 (1989)
p.537)では、光導電体層(p-i-n 非晶質水素化ケイ
素)と強誘電性液晶とを用いて素子を作成している。(2) Reference 2 (G. Modde
l). M. Johnson, KM. Lee (W. Li), Earl. A. Rice (RARic
e), el. A. LAPagano-St
auffer), M. A. MA Handschy: Applied Physics Letter (Appl. Phys. Lett.)
Volume (Vol.) 55, Number (No.) 6 (1989)
p.537), a device is fabricated using a photoconductor layer (pin amorphous silicon hydride) and a ferroelectric liquid crystal.
【0005】(3)文献3(エス.ティー.ウー(S.T.
Wu),ユー.エフロン(U.Eflon ),ティー.ワイ.ス
ー(T.Y.Hsu ): オプティカル レター(Opt. Lett.)
ヴォリューム( Vol. )13,ナンバー(No. )1 (1988)
p.13 )では、光導電体層に単結晶シリコンの金属酸化
膜半導体(MOS)構造を用いると共に、液晶層にネマ
ティック液晶を使って素子を作成し、素子を近赤外−可
視画像変換素子に応用している。(3) Reference 3 (ST Wu (ST)
Wu), you. U.Eflon, tea. Wye. TYHsu: Optical Letter (Opt. Lett.)
Volume (Vol.) 13, Number (No. 1) (1988)
In p.13), a single-crystal silicon metal oxide semiconductor (MOS) structure is used for the photoconductor layer, and an element is created using nematic liquid crystal for the liquid crystal layer. Has been applied to
【0006】(4)文献4(福島、黒川:第37回応用物
理学関係連合講演会予稿集 (1990)p.745 )では、光導
電体層(非晶質水素化シリコン)と誘電体ミラーと強誘
電性液晶とを用いて素子を作成し、素子を並列光演算へ
応用している。[0006] (4) Reference 4 (Fukushima and Kurokawa: Proceedings of the 37th Lecture Meeting on Applied Physics (1990) p.745) discloses a photoconductor layer (amorphous hydrogenated silicon) and a dielectric mirror. A device is made using the liquid crystal and ferroelectric liquid crystal, and the device is applied to parallel optical calculation.
【0007】図18は従来の一般的な光アドレス型の液
晶ライトバルブの構成を示す断面図である。FIG. 18 is a sectional view showing the structure of a conventional general light-addressed liquid crystal light valve.
【0008】同図に示すように、液晶ライトバルブ200
は、ガラス基板201a及び201b上に、二酸化ケイ素(Sn
O2 )の透明導電膜から成る透明電極202a及び202bを形
成し、次いで、透明電極202b上に、光導電体層203 とし
て非晶質水素化シリコン(a−Si:H)を形成する。
光導電体層203 を成すa−Si:H膜は、シランガスと
水素ガスとを原料とし、プラズマCVD(化学蒸着)法
を用いて形成する。As shown in FIG.
Are formed on silicon substrates (Sn) on glass substrates 201a and 201b.
Transparent electrodes 202a and 202b made of a transparent conductive film of O 2 ) are formed, and then amorphous silicon hydride (a-Si: H) is formed as a photoconductor layer 203 on the transparent electrode 202b.
The a-Si: H film forming the photoconductor layer 203 is formed using a silane gas and a hydrogen gas as raw materials by a plasma CVD (chemical vapor deposition) method.
【0009】次いで、光導電体層203 上に、誘電体ミラ
ー204 としてシリコンと酸化シリコンとから成る多層膜
をスパッタ法によって形成する。Next, a multilayer film made of silicon and silicon oxide is formed as a dielectric mirror 204 on the photoconductor layer 203 by a sputtering method.
【0010】次いで、透明電極202a及び誘電体ミラー20
4 上に、配向膜205a及び205bとしてポリイミド膜をスピ
ンコートによってそれぞれ形成した後、配向膜205a及び
205bの表面にラビングによる分子配向処理を施す。Next, the transparent electrode 202a and the dielectric mirror 20
4 After forming polyimide films by spin coating as alignment films 205a and 205b, respectively,
The surface of 205b is subjected to a molecular orientation treatment by rubbing.
【0011】上述のようにして各層及び膜がそれぞれ形
成されたガラス基板201a及び201bをスペーサ206 を介し
て貼り合わせ、基板間に液晶層207 としてカイラル材料
を添加した混合ネマティック液晶を注入し封止すること
によって、液晶ライトバルブ200 が構成される。The glass substrates 201a and 201b on which the respective layers and films are formed as described above are bonded together via a spacer 206, and a mixed nematic liquid crystal to which a chiral material is added is injected and sealed between the substrates as a liquid crystal layer 207. Thus, the liquid crystal light valve 200 is configured.
【0012】尚、液晶ライトバルブ200 に用いられる表
示モードとしては、ツイステッドネマティック(TN)
モード、ハイブリッド電界効果(HFE)モード、ゲス
トホスト(GH)モード及び相転移モード等が用いられ
る。The display mode used for the liquid crystal light valve 200 is a twisted nematic (TN).
Mode, a hybrid field effect (HFE) mode, a guest host (GH) mode, a phase transition mode, and the like.
【0013】このような構成の液晶ライトバルブ200 の
透明電極202a及び202b間には、交流電源208 によって電
圧が印加される。A voltage is applied between the transparent electrodes 202a and 202b of the liquid crystal light valve 200 having such a configuration by an AC power supply 208.
【0014】ガラス基板201b側からアドレス光209 が入
射すると、光の当たった領域(明状態)では、光導電体
層203 のインピーダンスが減少し、交流電源208 によっ
て印加された電圧が液晶層207 に加わる。一方、光の当
たらない領域(暗状態)では、光導電体層203 のインピ
ーダンスは変化せず、液晶層207 には電圧が加わらな
い。When the address light 209 is incident from the glass substrate 201b side, the impedance of the photoconductor layer 203 is reduced in the area where light is applied (bright state), and the voltage applied by the AC power supply 208 is applied to the liquid crystal layer 207. Join. On the other hand, in a region where light is not applied (dark state), the impedance of the photoconductor layer 203 does not change, and no voltage is applied to the liquid crystal layer 207.
【0015】この明状態と暗状態との違いにより、液晶
層207 にアドレス光209 に対応した情報が形成され、投
射型ディスプレイや並列光演算等に応用される。Due to the difference between the bright state and the dark state, information corresponding to the address light 209 is formed on the liquid crystal layer 207, and the liquid crystal layer 207 is applied to a projection display, parallel light calculation, and the like.
【0016】又、光導波路と液晶とを組合わせたデバイ
スとしては、文献5(エム.オザキ(M.Ozaki ),ワ
イ.サドハラ(Y.Sadohara),ティー.ハタイ(T.Hata
i ),ケー.ヨシノ(K.Yoshino ): ジャパニーズ ジ
ャーナル アプライド フィジックス(Jap. J. Appl.
Phys. )ヴォリューム(Vol.)29,ナンバー(No. )5
(1990) L843 )に示されるように、光導波路を伝搬する
光を液晶でスイッチングする素子が提案されている。Further, as a device combining an optical waveguide and a liquid crystal, reference 5 (M. Ozaki, Y. Sadohara, T. Hatai)
i). K. Yoshino: Japanese Journal Applied Physics (Jap. J. Appl.
Phys.) Volume (Vol.) 29, Number (No.) 5
As described in (1990) L843), there has been proposed an element for switching light propagating in an optical waveguide by liquid crystal.
【0017】[0017]
【発明が解決しようとする課題】このような従来の光ア
ドレス型の液晶ライトバルブでは、アドレス光に対応し
て液晶層に形成された情報を読み出すために光を用いる
が、そのための読み出し光学系が必要となる。In such a conventional light-addressed liquid crystal light valve, light is used to read information formed in a liquid crystal layer corresponding to address light, but a reading optical system for that purpose is used. Is required.
【0018】各種デバイスへのこの液晶ライトバルブの
応用を考えた場合、読み出し信号を光信号のまま利用す
るデバイス(例えば、投射型ディスプレイ)に比べ、読
み出し信号を電気信号にして利用するデバイス(例え
ば、イメージセンサ)に応用する場合には、光信号を電
気信号に変換する機構が必要になるため、装置が複雑且
つ大型化するという問題点がある。When considering the application of this liquid crystal light valve to various devices, a device (for example, a projection display) that uses a read signal as an electric signal (for example, a projection display) is used as compared with a device that uses a read signal as an optical signal (for example, a projection display). In the case of application to an image sensor, a mechanism for converting an optical signal into an electric signal is required, and there is a problem that the device is complicated and large.
【0019】従って、本発明は、アドレス光に対応して
液晶層に形成された情報を光信号として読み出すと共
に、電気信号として直接読み出すことのできる光アドレ
ス型の液晶ライトバルブ及びこの液晶ライトバルブを備
えた情報処理装置を提供するものである。Accordingly, the present invention provides an optically addressed liquid crystal light valve capable of reading out information formed in a liquid crystal layer corresponding to address light as an optical signal and directly reading out the information as an electric signal. The present invention provides an information processing apparatus provided with the information processing apparatus.
【0020】[0020]
【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶ライト
バルブは、それぞれが透明電極を有する2つの透光性基
板間に設けられている液晶層と、液晶層と2つの基板の
一方との間に設けられており入射された情報を含む光に
よりインピーダンスが変化する光導電体層と、2つの基
板の一方の側に設けられている光導波路と、光導波路に
光を導入する光源と、光導波路を伝搬する光源からの光
を受け取ると共にこの光を電気信号に変換する受光手段
と、読み出し光を液晶層に情報を含む光と反対側から照
射して読み出し光の反射光を情報に対応した光信号とし
て読み出す手段とを備えている。A liquid crystal light valve according to the present invention comprises a liquid crystal layer provided between two translucent substrates each having a transparent electrode, a liquid crystal layer and two liquid crystal layers. A photoconductor layer provided between one of the substrates and having an impedance changed by light containing incident information; an optical waveguide provided on one side of the two substrates; A light source to be introduced, light receiving means for receiving light from the light source propagating through the optical waveguide and converting the light into an electric signal, and illuminating readout light from the side opposite to the light containing information in the liquid crystal layer.
The reflected light of the readout light into an optical signal corresponding to the information.
Reading means .
【0021】本発明に係る液晶ライトバルブを備えた情
報処理装置は、それぞれが透明電極を有する2つの透光
性基板間に設けられている液晶層と、液晶層と2つの基
板の一方との間に設けられており入射された情報を含む
光によりインピーダンスが変化する光導電体層と、2つ
の基板の一方の側に設けられている光導波路と、光導波
路に光を導入する光源と、光導波路を伝搬する光源から
の光を受け取ると共にこの光を電気信号に変換する受光
手段と、読み出し光を液晶層に情報を含む光と反対側か
ら照射して読み出し光の反射光を情報に対応した光信号
として読み出す手段とを含んでいる液晶ライトバルブ
と、液晶ライトバルブに接続されており情報を含む光を
電気信号に変換するための機構とを備えている。An information processing apparatus having a liquid crystal light valve according to the present invention comprises two light- transmitting electrodes each having a transparent electrode.
A liquid crystal layer provided between gender substrate, a liquid crystal layer and a photoconductive layer whose impedance is changed by light containing information that is incident is provided between one of the two substrates, the two substrates An optical waveguide provided on one side, a light source for introducing light into the optical waveguide, light receiving means for receiving light from the light source propagating through the optical waveguide and converting the light into an electric signal, and a liquid crystal for reading out light. On the opposite side of the light containing information in the layer
Optical signal corresponding to the information by irradiating the reading light and reflecting the readout light
And a mechanism connected to the liquid crystal light valve for converting light containing information into an electric signal.
【0022】[0022]
【作用】アドレス光が無い状態(暗状態)で液晶ライト
バルブの2つの基板に設けられている電極間に電圧を印
加した場合、光導電体層のインピーダンスは液晶層のイ
ンピーダンスに比べて大きいので、液晶層の液晶には電
圧が殆ど印加されず、液晶の配向状態は変化しない。こ
の状態では、光導波路を伝搬する光の偏光方向から見
て、光導波路の屈折率よりも液晶の屈折率が小さく設定
されているため、光源からの光は光導波路を伝搬するこ
とができ、受光手段によって光信号を受け取ることがで
きる。次に、アドレス光が液晶ライトバルブに入射した
状態(明状態)で2つの基板に設けられている電極間に
電圧を順次印加した場合、明状態では光導電体層のイン
ピーダンスは低くなり、液晶層の液晶に電圧が印加され
るため、液晶の配向状態が変化し、暗状態では光導電体
層のインピーダンスは変化しないので、液晶の配向状態
は変化しない。このとき、光導波路に近接する液晶が配
向変化した部分では、光導波路を伝搬する光の偏光方向
から見て、光導波路の屈折率よりも液晶の屈折率が大き
くなるため、光源からの光は光導波路を伝搬する途中、
液晶が配向変化した部分で液晶方向に漏れ、受光手段に
よって受け取られる光信号の強度が変化する。従って、
電極の走査と、受光手段から出力される電気信号とを同
期させて取り込むことにより、アドレス光に対応した情
報を電気的に得ることができる。このように、アドレス
光に対応して液晶層に形成された情報を光信号として読
み出すと共に、電気信号として直接読み出すことができ
る。When a voltage is applied between the electrodes provided on the two substrates of the liquid crystal light valve in the absence of address light (dark state), the impedance of the photoconductor layer is larger than the impedance of the liquid crystal layer. The voltage is hardly applied to the liquid crystal in the liquid crystal layer, and the alignment state of the liquid crystal does not change. In this state, when viewed from the polarization direction of light propagating through the optical waveguide, the refractive index of the liquid crystal is set smaller than the refractive index of the optical waveguide, so that the light from the light source can propagate through the optical waveguide, An optical signal can be received by the light receiving means. Next, when a voltage is sequentially applied between the electrodes provided on the two substrates while the address light is incident on the liquid crystal light valve (bright state), the impedance of the photoconductor layer becomes low in the bright state, Since a voltage is applied to the liquid crystal in the layer, the alignment state of the liquid crystal changes. In the dark state, the impedance of the photoconductor layer does not change, so that the alignment state of the liquid crystal does not change. At this time, in the part where the orientation of the liquid crystal near the optical waveguide changes, the refractive index of the liquid crystal becomes larger than the refractive index of the optical waveguide when viewed from the polarization direction of the light propagating in the optical waveguide. While propagating through the optical waveguide,
The liquid crystal leaks in the direction of the liquid crystal at the portion where the alignment has changed, and the intensity of the optical signal received by the light receiving means changes. Therefore,
By synchronizing the scanning of the electrode with the electric signal output from the light receiving means, information corresponding to the address light can be obtained electrically. As described above, information formed in the liquid crystal layer corresponding to the address light can be read as an optical signal and directly as an electric signal.
【0023】液晶に電圧が印加されないとき、光導波路
を伝搬する光の偏光方向から見て、光導波路の屈折率よ
りも液晶の屈折率を大きく設定し、液晶に電圧が印加さ
れたとき、光導波路を伝搬する光の偏光方向から見て、
光導波路の屈折率よりも液晶の屈折率が小さくなるよう
に設定して動作することもできる。更に、光導波路を伝
搬する光の偏光方向から見て、印加電圧の増加により液
晶の屈折率が大きく又は小さくなるため、階調データを
電気信号として取り出すことができる。When no voltage is applied to the liquid crystal, the refractive index of the liquid crystal is set to be larger than the refractive index of the optical waveguide when viewed from the polarization direction of the light propagating in the optical waveguide. When viewed from the polarization direction of light propagating in the wave path,
The operation can be performed by setting the refractive index of the liquid crystal to be smaller than the refractive index of the optical waveguide. Further, when viewed from the polarization direction of the light propagating through the optical waveguide, the refractive index of the liquid crystal increases or decreases as the applied voltage increases, so that gradation data can be extracted as an electric signal.
【0024】又、アドレス光が液晶ライトバルブに入射
した状態ですべての走査電極に同時に電圧を印加する
と、明状態と暗状態とに応じて液晶の配向状態が変化す
る。それぞれの電極が透明電極であり、2つの基板が透
光性であるので、このときに読み出し光を液晶層にアド
レス光と反対側から照射すると、液晶の電気光学効果に
より明暗状態に応じて光が変調されるため、反射光を液
晶層に形成された情報に対応した2次元の光信号として
情報を取り出すことができる。When a voltage is simultaneously applied to all the scanning electrodes while the address light is incident on the liquid crystal light valve, the alignment state of the liquid crystal changes according to the bright state and the dark state. Each electrode is a transparent electrode, and the two substrates are transparent.
At this time, read light is added to the liquid crystal layer because it is optical.
When light is irradiated from the opposite side to the light, the reflected light is modulated according to the light / dark state due to the electro-optic effect of the liquid crystal.
Information can be extracted as a two-dimensional optical signal corresponding to the information formed on the crystal layer .
【0025】[0025]
【実施例】以下に、図面を参照して本発明の実施例を説
明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0026】図2は本発明に係る液晶ライトバルブの第
1の実施例の構成を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the first embodiment of the liquid crystal light valve according to the present invention.
【0027】同図に示すように、この実施例の液晶ライ
トバルブ10は、ガラス基板11及び12、反射防止膜13、透
明電極14、対向電極15、光導波路16、光導電体層17、遮
光層18、配向膜19及び20、スペーサ21並びに液晶層22を
備えている。As shown in FIG. 1, the liquid crystal light valve 10 of this embodiment comprises glass substrates 11 and 12, an antireflection film 13, a transparent electrode 14, a counter electrode 15, an optical waveguide 16, a photoconductor layer 17, A layer 18, alignment films 19 and 20, a spacer 21 and a liquid crystal layer 22 are provided.
【0028】この液晶ライトバルブ10は、以下のように
して製造される。This liquid crystal light valve 10 is manufactured as follows.
【0029】先ず、透光性基板であるガラス基板11上
に、二酸化ケイ素(SnO2 )の透明導電膜をスパッタ
法を用いて蒸着し、フォトリソプロセスを介してストラ
イプ状にパターン化することにより、走査用の透明電極
14を形成する。First, a transparent conductive film of silicon dioxide (SnO 2 ) is deposited on a glass substrate 11 which is a light-transmitting substrate by a sputtering method, and is patterned into a stripe shape by a photolithography process. Transparent electrode for scanning
Form 14.
【0030】次いで、透明電極14上に、光導電体層17と
して非晶質水素化ケイ素(a−Si:H)膜を形成す
る。光導電体層17を成すa−Si:H膜は、シラン(S
iH4 )ガス及び水素(H2 )ガスを原料とし、プラズ
マCVD(化学蒸着)法を用いて形成する。このa−S
i:H膜の膜厚は約6 μmである。Next, an amorphous silicon hydride (a-Si: H) film is formed on the transparent electrode 14 as the photoconductor layer 17. The a-Si: H film forming the photoconductor layer 17 is made of silane (S
An iH 4 ) gas and a hydrogen (H 2 ) gas are used as raw materials and formed by a plasma CVD (chemical vapor deposition) method. This a-S
The thickness of the i: H film is about 6 μm.
【0031】次いで、光導電体層17上に、後述する液晶
層の側から光導電体層17へ入射する光を遮るための遮光
層18として、カーボン分散型アクリル樹脂をスピンコー
トして形成する。Next, a carbon-dispersed acrylic resin is spin-coated on the photoconductor layer 17 as a light-shielding layer 18 for blocking light incident on the photoconductor layer 17 from the side of the liquid crystal layer described later. .
【0032】ガラス基板11の書き込み光23が入射する側
には、ガラスの表面反射を防ぐための反射防止膜13を形
成する。On the side of the glass substrate 11 where the writing light 23 is incident, an antireflection film 13 for preventing surface reflection of glass is formed.
【0033】尚、上述の透光性基板としてはガラス基板
の他に、ファイバプレートを用いることも可能である。As the above-mentioned light-transmitting substrate, a fiber plate can be used instead of a glass substrate.
【0034】ガラス基板11に対向するガラス基板12上に
は、錫をドープした酸化インジウム(ITO)から成る
透明導電膜をスパッタ法を用いて蒸着することにより、
対向電極15を形成する。On the glass substrate 12 facing the glass substrate 11, a transparent conductive film made of tin-doped indium oxide (ITO) is deposited by a sputtering method.
The counter electrode 15 is formed.
【0035】次いで、対向電極15上に、高分子薄膜を用
い選択光重合することにより、ストライプ状に光導波路
16を形成する。Next, by selectively polymerizing a polymer thin film on the opposing electrode 15, an optical waveguide is formed in a stripe shape.
Form 16.
【0036】次いで、遮光層18及び光導波路16上に、配
向膜19及び20としてポリイミド膜をスピンコートによっ
てそれぞれ形成した後、配向膜19及び20の表面にラビン
グによる分子配向処理を施す。Next, after polyimide films are formed as the alignment films 19 and 20 by spin coating on the light-shielding layer 18 and the optical waveguide 16, respectively, the surfaces of the alignment films 19 and 20 are subjected to a molecular alignment treatment by rubbing.
【0037】上述のようにして各層及び膜がそれぞれ形
成されたガラス基板11及び12をスペーサ21を介して貼り
合わせ、基板間に液晶層22として比誘電率が正のネマテ
ィック液晶を真空注入し、封止することにより液晶ライ
トバルブ10が構成される。The glass substrates 11 and 12 on which the respective layers and films are formed as described above are bonded together via a spacer 21, and a nematic liquid crystal having a positive relative dielectric constant is vacuum-injected between the substrates as a liquid crystal layer 22. The liquid crystal light valve 10 is configured by sealing.
【0038】液晶分子の配向方向は、光導波路16を伝搬
する光の偏光方向から見て、液晶の屈折率が光導波路の
屈折率に対して、液晶に電圧を印加したときに大きくな
り、液晶に電圧を印加しないときに小さくなるように設
定する。The orientation direction of the liquid crystal molecules, when viewed from the polarization direction of light propagating through the optical waveguide 16, is such that the refractive index of the liquid crystal becomes larger than the refractive index of the optical waveguide when a voltage is applied to the liquid crystal. Is set so that it becomes smaller when no voltage is applied.
【0039】液晶のねじれ角は0 °〜60°であり、好ま
しくは45°である。又、チルト角は0.05°〜30°の範囲
がよい。The twist angle of the liquid crystal is 0 ° to 60 °, preferably 45 °. The tilt angle is preferably in the range of 0.05 ° to 30 °.
【0040】液晶層22に含まれる液晶の材料としては、
例えば、メルク社製ZLI−4389(ne (液晶分子軸方
向の屈折率)=1.66、no (液晶分子軸に直交する方向
の屈折率)=1.50)を使用した。液晶層22の厚さは約4
μmである。又、この液晶には必要に応じてコレステリ
ック液晶を微量添加した。The material of the liquid crystal contained in the liquid crystal layer 22 includes:
For example, Merck ZLI-4389 (n e (the refractive index of the liquid crystal molecular axis direction) = 1.66, n o (refractive index) = 1.50 in the direction perpendicular to the liquid crystal molecular axis) was used. The thickness of the liquid crystal layer 22 is about 4
μm. A small amount of cholesteric liquid crystal was added to this liquid crystal as needed.
【0041】尚、ラビング処理により光導波路16上でも
液晶分子が配向するので、必要に応じて配向膜20を設け
ない構成としてもよい。Since the liquid crystal molecules are aligned on the optical waveguide 16 by the rubbing treatment, the configuration may be such that the alignment film 20 is not provided if necessary.
【0042】又、図2では簡略化のため、後述するフォ
トディテクタ29及び光源30は省略されている。In FIG. 2, a photodetector 29 and a light source 30, which will be described later, are omitted for simplification.
【0043】次に、図2のガラス基板12、対向電極15、
光導波路16及び配向膜20から成る対向基板25の構成を説
明する。Next, as shown in FIG.
The configuration of the counter substrate 25 including the optical waveguide 16 and the alignment film 20 will be described.
【0044】図1は本発明に係る液晶ライトバルブに含
まれている対向基板25の構成を示す平面図である。図3
は図1の断面図であり、図3(A) は図1のAA線断面
図、及び図3(B) は図1のBB線断面図である。尚、こ
れらの図において、配向膜20は省略されている。FIG. 1 is a plan view showing the structure of a counter substrate 25 included in a liquid crystal light valve according to the present invention. FIG.
3 is a sectional view of FIG. 1, FIG. 3A is a sectional view taken along line AA of FIG. 1, and FIG. 3B is a sectional view taken along line BB of FIG. In these figures, the alignment film 20 is omitted.
【0045】これらの図に示すように、対向基板25はガ
ラス基板12と、対向電極15と、下部クラッド層26、コア
層27及びクラッド層28から成る光導波路16と、フォトデ
ィテクタ29と、光源30とを備えている。As shown in these figures, the opposing substrate 25 comprises a glass substrate 12, an opposing electrode 15, an optical waveguide 16 comprising a lower cladding layer 26, a core layer 27 and a cladding layer 28, a photodetector 29, and a light source 30. And
【0046】対向基板25は、次のようにして製造され
る。The counter substrate 25 is manufactured as follows.
【0047】先ず、ガラス基板12の上に、ITOから成
る透明導電膜を全面に形成し、対向電極15とする。First, a transparent conductive film made of ITO is formed on the entire surface of the glass substrate 12 to form a counter electrode 15.
【0048】次いで、光導波路16の下部クラッド層26と
して、エポキシ樹脂をスピンコートにより形成する。下
部クラッド層26の上に、光重合性モノマ(アクリレー
ト、例えばアクリル酸メチル)を含有するビスフェノー
ル−Z−ポリカーボネート(PCZ)フィルムをスピン
コートする。ここで、ストライプ状のフォトマスクを通
して紫外線照射し選択的に重合させることにより、コア
層27としてPCZ層、クラッド層28としてPCZとPC
Zより屈折率の小さいポリアクリレートとの混合物を互
いにストライプ状を成すように形成する。この実施例で
は、コア層27の屈折率nは1.59、クラッド層28の屈折率
nは1.56である。Next, an epoxy resin is formed as the lower cladding layer 26 of the optical waveguide 16 by spin coating. On the lower cladding layer 26, a bisphenol-Z-polycarbonate (PCZ) film containing a photopolymerizable monomer (acrylate, for example, methyl acrylate) is spin-coated. Here, by irradiating ultraviolet rays through a striped photomask and selectively polymerizing, a PCZ layer as a core layer 27 and PCZ and PCZ as cladding layers 28 are formed.
A mixture with a polyacrylate having a lower refractive index than Z is formed so as to form a stripe shape with each other. In this embodiment, the refractive index n of the core layer 27 is 1.59, and the refractive index n of the cladding layer 28 is 1.56.
【0049】このようにして形成された下部クラッド層
26、コア層27及びクラッド層28から成る光導波路16の両
端に、光源30及びフォトディテクタ29をそれぞれ接続す
る。The lower cladding layer thus formed
A light source 30 and a photodetector 29 are connected to both ends of the optical waveguide 16 composed of the core layer 27 and the cladding layer 28, respectively.
【0050】光源30は例えば、レーザ及び発光ダイオー
ド(LED)等から構成されており、光導波路16に偏光
波(TEモード又はTMモード)を導入することができ
るように光導波路16に接続されている。The light source 30 includes, for example, a laser and a light emitting diode (LED), and is connected to the optical waveguide 16 so that a polarized wave (TE mode or TM mode) can be introduced into the optical waveguide 16. I have.
【0051】フォトディテクタ29は光源30の波長に応じ
て例えば、a−Si:Hダイオード及びa−SiGe:
Hダイオード等から構成されており、光導波路16からの
光を受け取ることができるように光導波路16に接続され
ている。The photodetector 29 is, for example, an a-Si: H diode and an a-SiGe:
It is composed of an H diode or the like, and is connected to the optical waveguide 16 so that light from the optical waveguide 16 can be received.
【0052】図4は対向基板25の他の構成を説明するた
めの図1のBB線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 1 for explaining another structure of the counter substrate 25.
【0053】上述の図3に示す実施例では、対向電極15
をガラス基板12上の全面に形成したが、図4に示すよう
に、対向電極15をガラス基板12上にストライプ状に形成
し、対向電極15上に下部クラッド層26、コア層27及びク
ラッド層28から成る光導波路をストライプ状に形成して
もよい。この場合には、対向電極と走査電極とは互いに
直交するように配置する。In the embodiment shown in FIG.
Was formed on the entire surface of the glass substrate 12, as shown in FIG. 4, the counter electrode 15 was formed in a stripe shape on the glass substrate 12, and the lower clad layer 26, the core layer 27, and the clad layer The optical waveguide consisting of 28 may be formed in a stripe shape. In this case, the counter electrode and the scanning electrode are arranged so as to be orthogonal to each other.
【0054】尚、対向基板は透明基板だけでなく、単結
晶シリコン(Si)や単結晶ガリウムヒ素(GaAs)
基板を用いることも可能で、これらを用いる場合は、光
源及びフォトディテクタを基板上に形成することもでき
る。The opposite substrate is not limited to a transparent substrate, but may be single crystal silicon (Si) or single crystal gallium arsenide (GaAs).
A substrate can be used, and in the case of using these, a light source and a photodetector can be formed on the substrate.
【0055】ガラス基板11及び12は本発明に係る液晶ラ
イトバルブの2つの基板の一実施例である。光導波路16
は本発明に係る液晶ライトバルブの光導波路の一実施例
である。光導電体層17は本発明に係る液晶ライトバルブ
の光導電体層の一実施例である。フォトディテクタ29は
本発明に係る液晶ライトバルブの受光手段の一実施例で
ある。光源30は本発明に係る液晶ライトバルブの光源の
一実施例である。The glass substrates 11 and 12 are one embodiment of the two substrates of the liquid crystal light valve according to the present invention. Optical waveguide 16
Is an embodiment of the optical waveguide of the liquid crystal light valve according to the present invention. The photoconductor layer 17 is an embodiment of the photoconductor layer of the liquid crystal light valve according to the present invention. The photodetector 29 is an embodiment of the light receiving means of the liquid crystal light valve according to the present invention. The light source 30 is an embodiment of the light source of the liquid crystal light valve according to the present invention.
【0056】次に、上述の構成を有する液晶ライトバル
ブ10の動作を説明する。Next, the operation of the liquid crystal light valve 10 having the above configuration will be described.
【0057】図5は液晶分子の屈折率を説明するための
液晶分子の概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram of liquid crystal molecules for explaining the refractive index of the liquid crystal molecules.
【0058】同図に示すように、液晶分子31の屈折率
は、液晶分子軸方向Xの屈折率ne と、液晶分子軸方向
Xに直交する方向Yの屈折率no とに異方性があり、n
e >no の関係が成り立つ。ここで、光導波路のコア層
の屈折率nw と、液晶分子の屈折率ne 及びno とは、
これらの間の関係がne >nw >no となるように設定
する。[0058] As shown in the figure, the refractive index of the liquid crystal molecules 31, the anisotropy and the refractive index n e of the liquid crystal molecular axis direction X, the refractive index n o of the direction Y perpendicular to the liquid crystal molecular axis direction X And n
the relationship of e> n o holds. Here, the refractive index n w of the core layer of the optical waveguide, the refractive index n e and n o of the liquid crystal molecules,
The relationship between these is set to be a n e> n w> n o .
【0059】このように設定することにより、光導波路
中の伝搬光は、液晶分子の配向状態に応じて光強度変化
を生じる。即ち、nw >no のときは、光導波路を伝搬
する光は液晶層に漏れないため、減衰せず伝搬すること
ができる。一方、ne >nw のときは、光導波路を伝搬
する光は液晶層に漏れ出すため、減衰していく。By setting as described above, light intensity of the propagating light in the optical waveguide changes depending on the alignment state of the liquid crystal molecules. That is, when the n w> n o, the light propagating through the optical waveguide for leaking to the liquid crystal layer, it is possible to propagate unattenuated. On the other hand, when the n e> n w, light propagating through the optical waveguide for leaking the liquid crystal layer, decays.
【0060】図6は光導波路16にTMモードの光が伝搬
しているときの液晶分子の配向状態を示す概略図であ
る。図6(A) は液晶ライトバルブ10の要部断面を示す概
略図であり、図6(B) は図6(A) の液晶ライトバルブ10
を上方(矢印Cの方向)から見たときの概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing the alignment state of liquid crystal molecules when TM mode light propagates through the optical waveguide 16. FIG. 6A is a schematic view showing a cross section of a main part of the liquid crystal light valve 10, and FIG.
Is a schematic diagram when viewed from above (in the direction of arrow C).
【0061】尚、これらの図には、ガラス基板12及び光
導波路16が概略的に示されており、対向電極15等は省略
されている。In these figures, the glass substrate 12 and the optical waveguide 16 are schematically shown, and the counter electrode 15 and the like are omitted.
【0062】これらの図に示すように、図1及び図3に
示す光源30からのTMモードの光36に対して電圧が印加
されていない状態の液晶分子31a の屈折率は、ほぼno
となる。一方、電圧が印加された状態の液晶分子31b の
屈折率は、ほぼne と見なすことができる。[0062] The refractive index of these as shown in FIG., The liquid crystal molecules 31a in a state in which the voltage to light 36 is not applied in the TM mode from the light source 30 shown in FIGS. 1 and 3, substantially n o
Becomes On the other hand, the refractive index of the liquid crystal molecules 31b in a state where the voltage is applied, it can be regarded as substantially n e.
【0063】図7は駆動電圧が印加されていない状態に
おける液晶ライトバルブ10の動作状態を示す概略図であ
る。図7(A) はアドレス光が液晶ライトバルブ10に入射
されていない場合(暗状態)、及び図7(B) はアドレス
光が液晶ライトバルブ10に入射されている場合(明状
態)における液晶ライトバルブ10の動作状態をそれぞれ
示している。FIG. 7 is a schematic diagram showing the operating state of the liquid crystal light valve 10 when no drive voltage is applied. 7A shows a case where address light is not incident on the liquid crystal light valve 10 (dark state), and FIG. 7B shows a case where address light is incident on the liquid crystal light valve 10 (bright state). The operating state of the light valve 10 is shown.
【0064】尚、これらの図において、図2に示す液晶
ライトバルブ10の構成要素と同じ構成要素には、図2と
同一の参照符号を付している。但し、ここでの説明に影
響のない点については、例えば図2の反射防止膜13等の
省略や透明電極14の形状の簡略化を行っている。In these figures, the same components as those of the liquid crystal light valve 10 shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. However, for the points that do not affect the description here, for example, the antireflection film 13 in FIG. 2 and the like are omitted and the shape of the transparent electrode 14 is simplified.
【0065】これらの図に示すように、液晶ライトバル
ブ10の透明電極14と対向電極15との間に交流電源35によ
る駆動電圧が印加されていない状態において、光導波路
16に図1及び図3に示す光源30からのTMモードの光36
が伝搬しているとき、アドレス光37の入射の有無、即ち
明暗状態に関係なく、TMモードの光36に対して液晶層
22の屈折率は、ほぼno となるため、伝搬光は減衰せ
ず、光導波路16を伝搬する。As shown in these figures, in the state where the driving voltage by the AC power supply 35 is not applied between the transparent electrode 14 and the counter electrode 15 of the liquid crystal light valve 10, the optical waveguide
16 shows TM mode light 36 from the light source 30 shown in FIGS.
When the light is propagating, the liquid crystal layer is exposed to the TM mode light 36 regardless of the presence or absence of the address light 37, that is, regardless of the brightness state.
The refractive index of 22, to become substantially n o, the propagating light is not attenuated, propagating through the optical waveguide 16.
【0066】図8は駆動電圧が印加されている状態にお
ける液晶ライトバルブ10の動作状態を示す概略図であ
る。図8(A) はアドレス光が液晶ライトバルブ10に入射
されていない場合(暗状態)、及び図8(B) はアドレス
光が液晶ライトバルブ10に入射されている場合(明状
態)における液晶ライトバルブ10の動作状態をそれぞれ
示している。FIG. 8 is a schematic diagram showing an operation state of the liquid crystal light valve 10 when a drive voltage is applied. 8A shows a case where address light is not incident on the liquid crystal light valve 10 (dark state), and FIG. 8B shows a case where address light is incident on the liquid crystal light valve 10 (bright state). The operating state of the light valve 10 is shown.
【0067】尚、これらの図において、図2に示す液晶
ライトバルブ10の構成要素と同じ構成要素には、図2と
同一の参照符号を付している。但し、ここでの説明に影
響のない点については、例えば図2の反射防止膜13等の
省略や透明電極14の形状の簡略化を行っている。In these figures, the same components as those of the liquid crystal light valve 10 shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. However, for the points that do not affect the description here, for example, the antireflection film 13 in FIG. 2 and the like are omitted and the shape of the transparent electrode 14 is simplified.
【0068】これらの図に示すように、液晶ライトバル
ブ10の透明電極14と対向電極15との間に交流電源35によ
る駆動電圧が印加されている状態において、光導波路16
にTMモードの光36が伝搬しているとき、アドレス光37
が液晶ライトバルブ10に入射されていない場合(暗状
態)では、光導電体層17のインピーダンスが高いので液
晶層22に殆ど電圧が印加されず、液晶分子32a の配向状
態に変化が生じない。この場合、光導波路16にTMモー
ドの光36が伝搬すると、TMモードの光36に対して液晶
層22の屈折率は、ほぼno となるため、伝搬光は減衰せ
ず、光導波路16中を伝搬する。As shown in these figures, when a driving voltage is applied between the transparent electrode 14 and the counter electrode 15 of the liquid crystal light valve 10 by the AC power supply 35, the optical waveguide 16
When the TM mode light 36 propagates through the
When light is not incident on the liquid crystal light valve 10 (dark state), almost no voltage is applied to the liquid crystal layer 22 because the impedance of the photoconductor layer 17 is high, and no change occurs in the alignment state of the liquid crystal molecules 32a. In this case, the TM mode light 36 to the optical waveguide 16 is propagated, the refractive index of the liquid crystal layer 22 to light 36 in TM mode, to become substantially n o, the propagating light is not attenuated, the optical waveguide 16 Is propagated.
【0069】一方、アドレス光37が液晶ライトバルブ10
に入射されている場合(明状態)では、光導電体層17の
インピーダンスが低くなるため液晶層22に電圧が印加さ
れ、液晶分子32b の配向状態が変化する。この場合、図
1及び図3に示す光源30からのTMモードの光36が光導
波路16を伝搬すると、TMモードの光36に対して液晶層
22の屈折率は、ほぼne となるため、伝搬光は電圧が印
加されている領域(透明電極14が伸びている領域)で減
衰し、光導波路16中を伝搬する光が弱くなる。On the other hand, the address light 37 is
When light is incident on the liquid crystal layer (bright state), a voltage is applied to the liquid crystal layer 22 because the impedance of the photoconductor layer 17 is low, and the alignment state of the liquid crystal molecules 32b changes. In this case, when the TM mode light 36 from the light source 30 shown in FIGS. 1 and 3 propagates through the optical waveguide 16, the TM mode light 36
The refractive index of 22 is substantially due to the n e, the propagating light is attenuated in a region where a voltage is applied (a region where the transparent electrode 14 is extended), light propagating through the optical waveguide 16 is weakened.
【0070】この結果、光導波路16の末端において、光
強度を図1及び図3に示すフォトディテクタ29によって
検出すると、液晶の配向状態に対応した電気信号が得ら
れる。又、光導波路16を伝搬する光の偏光方向から見
て、印加電圧の増加により液晶の屈折率が大きくなるた
め、階調データを電気信号として取り出すことができ
る。As a result, when the light intensity is detected at the end of the optical waveguide 16 by the photodetector 29 shown in FIGS. 1 and 3, an electric signal corresponding to the alignment state of the liquid crystal is obtained. Further, when viewed from the polarization direction of the light propagating through the optical waveguide 16, the refractive index of the liquid crystal increases as the applied voltage increases, so that the gradation data can be extracted as an electric signal.
【0071】これとは逆に、液晶に電圧が印加されない
ときに光導波路16を伝搬する光の偏光方向から見て光導
波路16の屈折率よりも液晶の屈折率が大きくなるように
設定し、又、液晶に電圧が印加されたときに光導波路16
を伝搬する光の偏光方向から見て光導波路16の屈折率よ
りも液晶の屈折率が小さくなるように設定して使うこと
もできる。この場合は、液晶の比誘電率が負であるネマ
ティック液晶を用い、チルト角を60°〜90°に設定する
とよい。On the contrary, when the voltage is not applied to the liquid crystal, the refractive index of the liquid crystal is set to be larger than the refractive index of the optical waveguide 16 when viewed from the polarization direction of the light propagating through the optical waveguide 16. Also, when a voltage is applied to the liquid crystal,
Can be used such that the refractive index of the liquid crystal is smaller than the refractive index of the optical waveguide 16 when viewed from the polarization direction of light propagating through the optical waveguide. In this case, it is preferable to use a nematic liquid crystal in which the relative dielectric constant of the liquid crystal is negative and set the tilt angle to 60 ° to 90 °.
【0072】上述の液晶分子の配向状態では、光導波路
16にTEモードの光36が伝搬しているときは、駆動電圧
の印加の有無に関係なく液晶層22の屈折率はno となる
ため、光は光導波路16中を伝搬する。この場合には配向
状態を変更する。In the above-mentioned alignment state of the liquid crystal molecules, the optical waveguide
16 when the light 36 in the TE mode is propagated, the refractive index of the liquid crystal layer 22 with or without the application of the driving voltage for the n o, the light propagates through the optical waveguide 16. In this case, the orientation state is changed.
【0073】図9は光導波路16にTEモードの光が伝搬
しているときの液晶分子の配向状態を示す概略図であ
る。図9(A) は液晶ライトバルブ10の要部を示す概略図
であり、図9(B) は図9(A) の液晶ライトバルブ10を上
方(矢印Dの方向)から見たときの概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram showing an alignment state of liquid crystal molecules when light in the TE mode propagates through the optical waveguide 16. FIG. 9A is a schematic view showing a main part of the liquid crystal light valve 10, and FIG. 9B is a schematic view when the liquid crystal light valve 10 of FIG. 9A is viewed from above (in the direction of arrow D). FIG.
【0074】尚、これらの図には、ガラス基板12及び光
導波路16が概略的に示されており、対向電極15等は省略
されている。In these figures, the glass substrate 12 and the optical waveguide 16 are schematically shown, and the counter electrode 15 and the like are omitted.
【0075】これらの図に示すように、図1及び図3に
示す光源30からのTEモードの光38に対して電圧が印加
されていない状態の液晶分子33a の屈折率は、ほぼne
となる。一方、電圧が印加された状態の液晶分子33b の
屈折率は、ほぼno と見なすことができる。[0075] The refractive index of these as shown in FIG., The liquid crystal molecules 33a in a state in which the voltage to light 38 is not applied in the TE mode from the light source 30 shown in FIGS. 1 and 3, substantially n e
Becomes On the other hand, the refractive index of the liquid crystal molecules 33b in a state where the voltage is applied, it can be regarded as substantially n o.
【0076】このように光導波路16中の光の伝搬モード
に応じて、液晶分子の配向状態を設定する必要がある。As described above, it is necessary to set the alignment state of the liquid crystal molecules according to the light propagation mode in the optical waveguide 16.
【0077】従って、上述の実施例の液晶ライトバルブ
によれば、アドレス光に対応して液晶層に形成された情
報を光信号として読み出すと共に、電気信号として直接
読み出すことができる。Therefore, according to the liquid crystal light valve of the above-described embodiment, the information formed in the liquid crystal layer corresponding to the address light can be read as an optical signal and also directly as an electric signal.
【0078】次に、光情報を電気信号に変換する機構を
含んだ情報処理装置を説明する。Next, an information processing apparatus including a mechanism for converting optical information into an electric signal will be described.
【0079】図10は光情報を電気信号に変換する機構
を含んだ情報処理装置の一実施例の構成図である。FIG. 10 is a block diagram of an embodiment of an information processing apparatus including a mechanism for converting optical information into an electric signal.
【0080】同図に示すように、この実施例の情報処理
装置は、走査電極41、対向電極42、光導波路43、光源44
及びフォトディテクタ45を含んだ液晶ライトバルブ40
と、読み出し回路46、信号処理回路47、駆動回路48及び
制御回路49を含んだ光情報を電気信号に変換するための
機構とを備えている。As shown in the figure, the information processing apparatus of this embodiment comprises a scanning electrode 41, a counter electrode 42, an optical waveguide 43, and a light source 44.
And a liquid crystal light valve 40 including a photodetector 45
And a mechanism for converting optical information, including a readout circuit 46, a signal processing circuit 47, a drive circuit 48, and a control circuit 49, into an electric signal.
【0081】液晶ライトバルブ40は図2に示す液晶ライ
トバルブ10に対応するもので、走査電極41、対向電極42
及び光導波路43は、透明電極14、対向電極15及び光導波
路16にそれぞれ対応している。又、光源44及びフォトデ
ィテクタ45は、図1及び図3の示す光源30及びフォトデ
ィテクタ29にそれぞれ対応している。The liquid crystal light valve 40 corresponds to the liquid crystal light valve 10 shown in FIG.
The optical waveguide 43 corresponds to the transparent electrode 14, the counter electrode 15, and the optical waveguide 16, respectively. Further, the light source 44 and the photo detector 45 correspond to the light source 30 and the photo detector 29 shown in FIGS. 1 and 3, respectively.
【0082】制御回路49は光源44と、読み出し回路46
と、駆動回路48とにそれぞれ接続されている。駆動回路
48は走査電極41と、対向電極42とにそれぞれ接続されて
いる。読み出し回路46はフォトディテクタ45と、信号処
理回路47とにそれぞれ接続されている。The control circuit 49 includes a light source 44 and a read circuit 46.
And the drive circuit 48. Drive circuit
48 is connected to the scanning electrode 41 and the counter electrode 42, respectively. The readout circuit 46 is connected to the photodetector 45 and the signal processing circuit 47, respectively.
【0083】読み出し回路46、信号処理回路47、駆動回
路48及び制御回路49を含んだ光情報を電気信号に変換す
るための機構は、本発明に係る液晶ライトバルブを備え
た情報処理装置の情報を含む光を電気信号に変換するた
めの機構の一実施例である。The mechanism for converting optical information into an electric signal, including the readout circuit 46, the signal processing circuit 47, the drive circuit 48, and the control circuit 49, is an information processing apparatus having a liquid crystal light valve according to the present invention. 1 is an embodiment of a mechanism for converting light including electric power into an electric signal.
【0084】この情報処理装置の動作を説明する。The operation of the information processing device will be described.
【0085】光導波路43には光源44からの偏光した光を
常時導入し、光導波路43を伝搬した光は、フォトディテ
クタ45を用いて電気信号に変換できる状態にしておく。
ここで、情報を含む光51が液晶ライトバルブ40に入射し
たとき、対向電極42と走査電極41との間に駆動回路48を
介して電圧を印加する。The polarized light from the light source 44 is always introduced into the optical waveguide 43, and the light propagated through the optical waveguide 43 is converted into an electric signal by using the photodetector 45.
Here, when the light 51 containing information is incident on the liquid crystal light valve 40, a voltage is applied between the counter electrode 42 and the scanning electrode 41 via the drive circuit 48.
【0086】この電圧印加による駆動は、次のようにし
て行う。Driving by applying the voltage is performed as follows.
【0087】走査電極41の1ラインのみに電圧を印加す
ると、光の明暗状態に応じて走査電極41の位置に対応し
た液晶分子の配向状態が変化し、光導波路43の各々を伝
搬する光強度が変調される。これに同期してフォトディ
テクタ45の出力を読み出し回路46によって読み取ると、
走査電極41に対応した光情報の電気信号が得られる。こ
のような走査電極41の駆動を全画面にわたって順次行う
と、2次元の光情報に対応した電気信号が得られる。When a voltage is applied to only one line of the scanning electrode 41, the alignment state of the liquid crystal molecules corresponding to the position of the scanning electrode 41 changes according to the light state of light, and the light intensity propagating through each of the optical waveguides 43 is changed. Is modulated. When the output of the photodetector 45 is read by the readout circuit 46 in synchronization with this,
An electric signal of optical information corresponding to the scanning electrode 41 is obtained. When such scanning electrodes 41 are sequentially driven over the entire screen, an electric signal corresponding to two-dimensional optical information can be obtained.
【0088】又、光情報の光信号への変換は、次のよう
にして行う。The conversion of optical information into an optical signal is performed as follows.
【0089】光源44の光を遮断しておき、対向電極42と
走査電極41との間に駆動回路48を介して電圧を印加して
おく。この状態で情報を含む光51が入射すると、光の明
暗状態に応じて光導電体層のインピーダンスが変化する
ため、液晶の配向状態が変化する。ここで読み出し光52
を入射させ、液晶層で変調された反射光をモニタするこ
とにより、光情報に対応した光信号を得ることができ
る。The light from the light source 44 is shut off, and a voltage is applied between the counter electrode 42 and the scanning electrode 41 via the drive circuit 48. In this state, when the light 51 containing information enters, the impedance of the photoconductor layer changes according to the light state of the light, so that the alignment state of the liquid crystal changes. Here the reading light 52
And an optical signal corresponding to the optical information can be obtained by monitoring the reflected light modulated by the liquid crystal layer.
【0090】従って、この実施例によれば、液晶ライト
バルブ40から光信号と共に電気信号を取り出すことがで
きるため、コンパクトで且つ高機能な情報の読み出しが
可能な情報処理装置を実現することができる。Therefore, according to this embodiment, since the electric signal can be taken out together with the optical signal from the liquid crystal light valve 40, a compact information processing apparatus capable of reading out high-performance information can be realized. .
【0091】図11は図2に示す液晶ライトバルブ10を
画像読み取り素子として用いたイメージスキャナのシス
テム構成図である。FIG. 11 is a system configuration diagram of an image scanner using the liquid crystal light valve 10 shown in FIG. 2 as an image reading element.
【0092】同図に示すように、この実施例のイメージ
スキャナは、光源62、レンズ63、液晶ライトバルブ64、
制御系65、画像メモリ66、インターフェイス回路67及び
コンピュータ68を備えている。As shown in the figure, the image scanner of this embodiment includes a light source 62, a lens 63, a liquid crystal light valve 64,
A control system 65, an image memory 66, an interface circuit 67, and a computer 68 are provided.
【0093】液晶ライトバルブ64は図2に示す液晶ライ
トバルブ10に対応する。The liquid crystal light valve 64 corresponds to the liquid crystal light valve 10 shown in FIG.
【0094】光源62からの光を原稿61に照射し、原稿61
からの反射光をレンズ63を介して液晶ライトバルブ64に
入射させ、液晶ライトバルブ64に画像を結像させる。The light from the light source 62 is applied to the original 61 so that the original 61
The reflected light from the lens is made incident on the liquid crystal light valve 64 via the lens 63 to form an image on the liquid crystal light valve 64.
【0095】このとき、制御系65によって液晶ライトバ
ルブ64の走査電極(図2の透明電極14に対応する電極)
を順次駆動すると、画像に対応した電気信号が得られ、
この電気信号に対応する画像情報データが画像メモリ66
に保存される。At this time, the scanning electrode (electrode corresponding to the transparent electrode 14 in FIG. 2) of the liquid crystal light valve 64 is controlled by the control system 65.
Are sequentially driven, an electrical signal corresponding to the image is obtained,
Image information data corresponding to this electric signal is stored in the image memory 66.
Is stored in
【0096】画像メモリ66に保存された画像情報データ
は、必要に応じてコンピュータ68からインターフェイス
回路67を介して読み取ることができる。The image information data stored in the image memory 66 can be read from the computer 68 via the interface circuit 67 as needed.
【0097】このように、液晶ライトバルブ64によって
画像の読み取りができるため、パネルサイズを大きくし
て光導波路を微細化することにより、大型で高解像度の
画像読み取り素子を形成することができる。As described above, since an image can be read by the liquid crystal light valve 64, a large-sized and high-resolution image reading device can be formed by enlarging the panel size and miniaturizing the optical waveguide.
【0098】次に、本発明に係る液晶ライトバルブの第
2の実施例を説明する。Next, a second embodiment of the liquid crystal light valve according to the present invention will be described.
【0099】図12は本発明に係る液晶ライトバルブの
第2の実施例の構成を示す断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing the structure of a liquid crystal light valve according to a second embodiment of the present invention.
【0100】同図に示すように、この実施例の液晶ライ
トバルブ80は、ガラス基板81及び82、反射防止膜83及び
94、透明電極84、対向電極85、光導波路86、光導電体層
87、遮光層88、配向膜89及び90、スペーサ91、液晶層92
並びに誘電体ミラー93を備えている。As shown in the figure, the liquid crystal light valve 80 of this embodiment has glass substrates 81 and 82, an antireflection film 83 and
94, transparent electrode 84, counter electrode 85, optical waveguide 86, photoconductor layer
87, light shielding layer 88, alignment films 89 and 90, spacer 91, liquid crystal layer 92
And a dielectric mirror 93.
【0101】この液晶ライトバルブ80は、以下のように
して製造される。The liquid crystal light valve 80 is manufactured as follows.
【0102】先ず、透光性基板であるガラス基板81上に
ITOとSnO2 とを積層して成る透明導電膜をスパッ
タ法を用いて蒸着し、反応性イオンエッチングによりス
トライプ状にパターン化することにより、走査用の透明
電極84を形成する。First, a transparent conductive film formed by laminating ITO and SnO 2 is deposited on a glass substrate 81 which is a light-transmitting substrate by a sputtering method, and is patterned into a stripe by reactive ion etching. Thus, the scanning transparent electrode 84 is formed.
【0103】次いで、透明電極84上に、光導電体層87と
して非晶質水素化ケイ素(a−Si:H)膜を形成す
る。光導電体層87を成すa−Si:H膜は、シラン(S
iH4 )ガスとアルゴン(Ar)ガスとを用い、ECR
プラズマCVD法を用いて形成する。このa−Si:H
膜の膜厚は約7 μmである。Next, an amorphous silicon hydride (a-Si: H) film is formed on the transparent electrode 84 as the photoconductor layer 87. The a-Si: H film forming the photoconductor layer 87 is made of silane (S
iH 4 ) gas and argon (Ar) gas,
It is formed by a plasma CVD method. This a-Si: H
The thickness of the film is about 7 μm.
【0104】次いで、光導電体層87上に、後述する液晶
層の側から光導電体層87へ入射する光を遮るための遮光
層88として、カーボン分散型アクリル樹脂をスピンコー
トして形成する。その後、遮光層88上に、液晶層の側か
ら光導電体層87へ入射する光を反射するための誘電体ミ
ラー93として、酸化チタンと酸化シリコンとから成る多
層膜を電子ビーム(EB)蒸着法によって形成する。Next, a carbon-dispersed acrylic resin is spin-coated on the photoconductor layer 87 as a light-shielding layer 88 for blocking light incident on the photoconductor layer 87 from the side of the liquid crystal layer described later. . Thereafter, a multilayer film made of titanium oxide and silicon oxide is deposited on the light shielding layer 88 by electron beam (EB) as a dielectric mirror 93 for reflecting light incident on the photoconductor layer 87 from the liquid crystal layer side. It is formed by a method.
【0105】ガラス基板81の書き込み光95が入射する側
には、ガラスの表面反射を防ぐための反射防止膜83を形
成する。On the side of the glass substrate 81 where the writing light 95 is incident, an anti-reflection film 83 for preventing surface reflection of glass is formed.
【0106】尚、上述の透光性基板としてはガラス基板
の他に、ファイバプレートを用いることも可能である。It is to be noted that a fiber plate can be used as the light-transmitting substrate in addition to the glass substrate.
【0107】ガラス基板81に対向するガラス基板82上に
は、ITOから成る透明導電膜をスパッタ法を用いて蒸
着することにより、対向電極85を形成する。On a glass substrate 82 facing the glass substrate 81, a transparent conductive film made of ITO is deposited by sputtering to form a counter electrode 85.
【0108】次いで、対向電極85上に、高分子薄膜を用
い選択光重合することにより、ストライプ状に光導波路
86を形成する。Next, on the opposing electrode 85, a polymer thin film is selectively photopolymerized to form an optical waveguide in a stripe shape.
Form 86.
【0109】尚、ガラス基板82の読み出し光96が入射す
る側には、ガラスの表面反射を防ぐための反射防止膜94
を形成する。An anti-reflection film 94 for preventing surface reflection of glass is provided on the side of the glass substrate 82 where the reading light 96 is incident.
To form
【0110】次いで、誘電体ミラー93及び光導波路86上
に、配向膜89及び90としてポリイミド膜をスピンコート
によってそれぞれ形成した後、配向膜89及び90の表面に
ラビングによる分子配向処理を施す。Next, after a polyimide film is formed as the alignment films 89 and 90 by spin coating on the dielectric mirror 93 and the optical waveguide 86, respectively, the surfaces of the alignment films 89 and 90 are subjected to a molecular alignment process by rubbing.
【0111】上述のようにして各層及び膜がそれぞれ形
成されたガラス基板81及び82をスペーサ91を介して貼り
合わせ、基板間に液晶層92として比誘電率が正のネマテ
ィック液晶を真空注入し、封止することにより液晶ライ
トバルブ80が構成される。The glass substrates 81 and 82 on which the respective layers and films are formed as described above are bonded together via a spacer 91, and a nematic liquid crystal having a positive relative dielectric constant is vacuum-injected as a liquid crystal layer 92 between the substrates. The liquid crystal light valve 80 is configured by sealing.
【0112】光導波路86に接する液晶分子の配向方向
は、光導波路86を伝搬する光の偏光方向から見て、液晶
の屈折率が光導波路の屈折率に対して、液晶に電圧を印
加したときに大きくなり、液晶に電圧を印加しないとき
に小さくなるように設定する。The orientation direction of the liquid crystal molecules in contact with the optical waveguide 86 is such that, when viewed from the polarization direction of the light propagating through the optical waveguide 86, the refractive index of the liquid crystal is higher than the refractive index of the optical waveguide when a voltage is applied to the liquid crystal. Is set so as to increase when no voltage is applied to the liquid crystal.
【0113】液晶表示モードはハイブリッド電界効果
(HFE)モードを用い、液晶のねじれ角を30°〜60°
に設定する。チルト角は0.05°〜10°に設定するとよ
い。又、液晶層92の厚さは約5 μmである。The liquid crystal display mode uses a hybrid electric field effect (HFE) mode, and the twist angle of the liquid crystal is 30 ° to 60 °.
Set to. The tilt angle is preferably set to 0.05 ° to 10 °. The thickness of the liquid crystal layer 92 is about 5 μm.
【0114】尚、ラビング処理により光導波路86上でも
液晶分子が配向するので、必要に応じて配向膜90を設け
ない構成としてもよい。Since the liquid crystal molecules are aligned on the optical waveguide 86 by the rubbing treatment, the configuration may be such that the alignment film 90 is not provided as necessary.
【0115】この第2の実施例の液晶ライトバルブ80の
ガラス基板82、対向電極85、光導波路86、配向膜90及び
反射防止膜94から成る対向基板97は、図1及び図3のフ
ォトディテクタ29及び光源30に相当する図示していない
フォトディテクタ及び光源を備えており、液晶ライトバ
ルブ80の動作は図6〜図9を参照して説明した動作と同
様である。The glass substrate 82, the counter electrode 85, the optical waveguide 86, the alignment film 90, and the anti-reflection film 94 of the liquid crystal light valve 80 of the second embodiment correspond to the counter substrate 97 of FIG. 1 and FIG. And a light detector (not shown) corresponding to the light source 30. The operation of the liquid crystal light valve 80 is the same as the operation described with reference to FIGS.
【0116】ガラス基板81及び82は本発明に係る液晶ラ
イトバルブの2つの基板の一実施例である。光導波路86
は本発明に係る液晶ライトバルブの光導波路の一実施例
である。光導電体層87は本発明に係る液晶ライトバルブ
の光導電体層の一実施例である。図1及び図3のフォト
ディテクタ29は本発明に係る液晶ライトバルブの受光手
段の一実施例である。図1及び図3の光源30は本発明に
係る液晶ライトバルブの光源の一実施例である。The glass substrates 81 and 82 are one embodiment of the two substrates of the liquid crystal light valve according to the present invention. Optical waveguide 86
Is an embodiment of the optical waveguide of the liquid crystal light valve according to the present invention. The photoconductor layer 87 is an embodiment of the photoconductor layer of the liquid crystal light valve according to the present invention. The photodetector 29 shown in FIGS. 1 and 3 is an embodiment of the light receiving means of the liquid crystal light valve according to the present invention. The light source 30 shown in FIGS. 1 and 3 is an embodiment of the light source of the liquid crystal light valve according to the present invention.
【0117】従って、上述の実施例の液晶ライトバルブ
によれば、アドレス光に対応して液晶層に形成された情
報を光信号として読み出すと共に、電気信号として直接
読み出すことができる。Therefore, according to the liquid crystal light valve of the above-described embodiment, the information formed in the liquid crystal layer corresponding to the address light can be read out as an optical signal and directly as an electric signal.
【0118】次に、液晶ライトバルブ80を光変調素子と
して用いた投影型表示装置を説明する。Next, a projection type display device using the liquid crystal light valve 80 as a light modulation element will be described.
【0119】図13は図12に示す液晶ライトバルブ80
を光変調素子として用いた投影型表示装置のシステム構
成図である。FIG. 13 shows the liquid crystal light valve 80 shown in FIG.
FIG. 1 is a system configuration diagram of a projection display device using a light modulation element.
【0120】同図に示すように、この実施例の投影型表
示装置は、ランプ101 及び106 、レンズ102 、104 、10
7 及び109 、透過型液晶パネル103 、液晶ライトバルブ
105、偏光ビームスプリッタ108 、スクリーン110 並び
に駆動回路111 及び112 を備えている。As shown in the figure, the projection type display device of this embodiment comprises lamps 101 and 106, lenses 102, 104 and 10
7 and 109, transmissive liquid crystal panel 103, liquid crystal light valve
105, a polarizing beam splitter 108, a screen 110, and drive circuits 111 and 112.
【0121】液晶ライトバルブ105 は図12に示す液晶
ライトバルブ80に対応する。The liquid crystal light valve 105 corresponds to the liquid crystal light valve 80 shown in FIG.
【0122】駆動回路111 及び112 は、透過型液晶パネ
ル103 及び液晶ライトバルブ105 にそれぞれ接続されて
いる。The driving circuits 111 and 112 are connected to the transmission type liquid crystal panel 103 and the liquid crystal light valve 105, respectively.
【0123】ランプ101 からの光をレンズ102 を介して
透過型液晶パネル103 に入射させ、透過型液晶パネル10
3 に表示した画像をレンズ104 を介し、液晶ライトバル
ブ105 に結像させる。The light from the lamp 101 is incident on the transmission type liquid crystal panel 103 through the lens 102, and the transmission type liquid crystal panel 10
The image displayed in 3 is formed on the liquid crystal light valve 105 via the lens 104.
【0124】画像が形成された液晶ライトバルブ105 に
ランプ106からの光がレンズ107 及び偏光ビームスプリ
ッタ108 を介して入射すると、この入射光は液晶ライト
バルブ105 に含まれている誘電体ミラー(図12の誘電
体ミラー93)によって反射され、このうち液晶層の配向
状態が変化している部分を透過した反射光は、電気光学
効果によって偏光方向が変化するので偏光ビームスプリ
ッタ108 を透過することができる。この反射光はレンズ
109 によって拡大され、これによって液晶ライトバルブ
105 に形成された画像がスクリーン110 に投影される。When light from the lamp 106 enters the liquid crystal light valve 105 on which an image is formed via the lens 107 and the polarizing beam splitter 108, this incident light is reflected by a dielectric mirror (see FIG. 1) included in the liquid crystal light valve 105. The reflected light reflected by the 12 dielectric mirrors 93) and transmitted through the portion where the alignment state of the liquid crystal layer is changed can be transmitted through the polarizing beam splitter 108 because the polarization direction changes by the electro-optic effect. it can. This reflected light is a lens
LCD light valve enlarged by 109
The image formed on 105 is projected on screen 110.
【0125】次に、図12に示す第2の実施例の液晶ラ
イトバルブ80を用いた複写機及びプリンタ複合装置の実
施例を説明する。Next, a description will be given of an embodiment of a copying machine and a printer composite apparatus using the liquid crystal light valve 80 of the second embodiment shown in FIG.
【0126】図14は図12の液晶ライトバルブ80を用
いたコピー及びプリンタ複合装置のシステム構成図であ
る。FIG. 14 is a system configuration diagram of a copier / printer multifunction device using the liquid crystal light valve 80 of FIG.
【0127】同図に示すように、この実施例のコピー及
びプリンタ複合装置は、光源122 、レンズ123 、液晶ラ
イトバルブ124 、レーザ発光デバイス125 、ポリゴンミ
ラー126 、ミラー127 、ガルバノミラー128 及び131 、
偏光板129 、感光体ドラム130 、制御系132 、画像メモ
リ133 、画像処理回路134 、インターフェイス回路135
並びにプリンタ制御系136 を備えている。As shown in the figure, the copying and printing apparatus of this embodiment comprises a light source 122, a lens 123, a liquid crystal light valve 124, a laser light emitting device 125, a polygon mirror 126, a mirror 127, galvanomirrors 128 and 131,
Polarizing plate 129, photosensitive drum 130, control system 132, image memory 133, image processing circuit 134, interface circuit 135
And a printer control system 136.
【0128】液晶ライトバルブ124 は図12に示す液晶
ライトバルブ80に対応し、制御系132 に接続されてい
る。The liquid crystal light valve 124 corresponds to the liquid crystal light valve 80 shown in FIG. 12, and is connected to the control system 132.
【0129】レーザ発光デバイス125 、ポリゴンミラー
126 、ガルバノミラー131 及び感光体ドラム130 は、プ
リンタ制御系136 にそれぞれ接続されている。Laser emitting device 125, polygon mirror
126, the galvanomirror 131 and the photosensitive drum 130 are connected to a printer control system 136.
【0130】制御系132 、画像メモリ133 、画像処理回
路134 、インターフェイス回路135及びプリンタ制御系1
36 は、本発明に係る液晶ライトバルブを備えた情報処
理装置の情報を含む光を電気信号に変換するための機構
の一実施例である。Control system 132, image memory 133, image processing circuit 134, interface circuit 135, and printer control system 1
36 is an embodiment of a mechanism for converting light containing information of an information processing device provided with a liquid crystal light valve according to the present invention into an electric signal.
【0131】この装置において、画像の読み取りは次の
ようにして行われる。In this apparatus, reading of an image is performed as follows.
【0132】光源122 からの光を原稿121 に照射し、原
稿121 からの反射光をレンズ123 を介して、液晶ライト
バルブ124 に画像を結像させる。The light from the light source 122 is applied to the original 121, and the reflected light from the original 121 is focused on the liquid crystal light valve 124 via the lens 123 to form an image.
【0133】このとき、制御系132 によって液晶ライト
バルブ124の走査電極(図12の透明電極84に対応する
電極)を順次駆動すると、画像に対応した電気信号が得
られ、この電気信号に対応する画像情報データが画像メ
モリ133 に保存され、画像情報データをデジタル信号と
して取扱うことができる。At this time, when the scanning electrodes (electrodes corresponding to the transparent electrodes 84 in FIG. 12) of the liquid crystal light valve 124 are sequentially driven by the control system 132, an electric signal corresponding to an image is obtained, and the electric signal corresponding to the electric signal is obtained. The image information data is stored in the image memory 133, and the image information data can be handled as a digital signal.
【0134】原稿121 のコピーはレーザ走査系を用いて
行われる。即ち、液晶ライトバルブ124 の対向電極(図
12の対向電極85に対応する電極)と走査電極(図12
の透明電極84に対応する電極)との間に電圧を印加する
ことにより、液晶ライトバルブ124 を駆動し、画像を書
き込んでおく。このとき、液晶ライトバルブ124 の液晶
は、画像に対応して配向状態が変化している。The copying of the original 121 is performed using a laser scanning system. That is, the counter electrode (the electrode corresponding to the counter electrode 85 in FIG. 12) of the liquid crystal light valve 124 and the scanning electrode (FIG. 12).
The liquid crystal light valve 124 is driven by applying a voltage between the liquid crystal light valve 124 and an image corresponding to the image. At this time, the alignment state of the liquid crystal of the liquid crystal light valve 124 has changed according to the image.
【0135】レーザ発光デバイス125 からの偏光したレ
ーザ光は、プリンタ制御系136 によって制御されるポリ
ゴンミラー126 とガルバノミラー128 とを介して、液晶
ライトバルブ124 の全面にわたって走査される。The polarized laser light from the laser light emitting device 125 is scanned over the entire surface of the liquid crystal light valve 124 via the polygon mirror 126 and the galvano mirror 128 controlled by the printer control system 136.
【0136】液晶ライトバルブ124 に入射したレーザ光
は誘電体ミラー(図12の誘電体ミラー93に対応する誘
電体ミラー)によって反射され、このうち液晶層の配向
状態が変化している部分を透過した反射光は、液晶の電
気光学効果によって偏光方向が変調されるので、偏光板
129 を透過することができる。The laser light incident on the liquid crystal light valve 124 is reflected by a dielectric mirror (a dielectric mirror corresponding to the dielectric mirror 93 in FIG. 12), and transmits through a portion of the liquid crystal layer where the orientation state of the liquid crystal layer is changed. The polarization direction of the reflected light is modulated by the electro-optic effect of the liquid crystal.
129 can be transmitted.
【0137】偏光板129 を透過した反射光は、感光体ド
ラム130 に書き込まれる。感光体ドラム130 に記録され
た画像データをプリント工程を通すことにより、画像の
コピーが行われる。The reflected light transmitted through the polarizing plate 129 is written on the photosensitive drum 130. The image is copied by passing the image data recorded on the photosensitive drum 130 through a printing process.
【0138】原稿121 の画像をデジタル画像処理してプ
リントするのは、画像処理回路134とレーザ走査系と
を用いて行う。即ち、上述の如く画像メモリ133 に
保存した画像データを読み出して、画像処理回路134 に
よって加工し、インターフェイス回路135 を介してプリ
ンタ制御系136 に転送する。The digital image processing and printing of the image of the original 121 are performed using the image processing circuit 134 and the laser scanning system. That is, the image data stored in the image memory 133 as described above is read, processed by the image processing circuit 134, and transferred to the printer control system 136 via the interface circuit 135.
【0139】ここで、画像データに従ってレーザ走査系
を駆動する。即ち、レーザ発光デバイス125 はレーザ光
を画像データに従ってオン/オフしながら、ポリゴンミ
ラー126 とミラー127 とガルバノミラー131 とを走査
し、画像データを感光体ドラム130 に書き込む。感光体
ドラム130 に記録された画像データは、プリント工程を
通すことによりプリントされる。Here, the laser scanning system is driven according to the image data. That is, the laser light emitting device 125 scans the polygon mirror 126, the mirror 127, and the galvano mirror 131 while turning on / off the laser light according to the image data, and writes the image data on the photosensitive drum. The image data recorded on the photosensitive drum 130 is printed through a printing process.
【0140】レーザ走査系のミラー127 は、プリントす
る場合に光路上に挿入され、コピーする場合に光路上か
ら外されることにより、目的に応じて光路の切り替えを
行うように構成されている。The mirror 127 of the laser scanning system is configured to be inserted on the optical path when printing and removed from the optical path when copying, so that the optical path is switched according to the purpose.
【0141】従って、本発明に係る液晶ライトバルブを
用いることにより、多機能な情報処理装置を作製するこ
とができる。Therefore, a multifunctional information processing apparatus can be manufactured by using the liquid crystal light valve according to the present invention.
【0142】図15は本発明に係る液晶ライトバルブの
第3の実施例の構成を示す断面図である。FIG. 15 is a sectional view showing the structure of a liquid crystal light valve according to a third embodiment of the present invention.
【0143】同図に示すように、この実施例の液晶ライ
トバルブ140 は、ガラス基板141 及び142 、反射防止膜
143 及び154 、透明電極144 、対向電極145 、光導波路
146、光導電体層147 、遮光層148 、配向膜149 及び150
、スペーサ151 、液晶層152 並びに誘電体ミラー153
を備えている。As shown in the figure, the liquid crystal light valve 140 of this embodiment comprises glass substrates 141 and 142, an antireflection film.
143 and 154, transparent electrode 144, counter electrode 145, optical waveguide
146, photoconductor layer 147, light shielding layer 148, alignment films 149 and 150
, Spacer 151, liquid crystal layer 152 and dielectric mirror 153
It has.
【0144】この液晶ライトバルブ140 は、以下のよう
にして製造される。This liquid crystal light valve 140 is manufactured as follows.
【0145】先ず、透光性基板であるガラス基板141 上
に、ITOとSnO2 とを積層して成る透明導電膜をス
パッタ法を用いて蒸着し、反応性イオンエッチングによ
りストライプ状にパターン化することにより、走査用の
透明電極144 を形成する。First, a transparent conductive film formed by laminating ITO and SnO 2 is deposited on a glass substrate 141, which is a light-transmitting substrate, by sputtering, and is patterned into stripes by reactive ion etching. As a result, a transparent electrode 144 for scanning is formed.
【0146】次いで、透明電極144 上に、光導電体層14
7 として非晶質水素化炭化ケイ素(a−SiC:H)膜
を形成する。光導電体層147 を成すa−SiC:H膜
は、シラン(SiH4 )ガス、エチレン(C2 H4 )ガ
ス及び水素(H2 )ガスを用い、プラズマCVD法を用
いて形成する。このa−SiC:H膜の膜厚は約6μm
である。Next, the photoconductor layer 14 is formed on the transparent electrode 144.
As No. 7, an amorphous hydrogenated silicon carbide (a-SiC: H) film is formed. The a-SiC: H film forming the photoconductor layer 147 is formed by a plasma CVD method using a silane (SiH 4 ) gas, an ethylene (C 2 H 4 ) gas, and a hydrogen (H 2 ) gas. The thickness of the a-SiC: H film is about 6 μm.
It is.
【0147】次いで、光導電体層147 上に、後述する液
晶層の側から光導電体層147 へ入射する光を遮るための
遮光層148 として、カーボン分散型アクリル樹脂をスピ
ンコートして形成する。その後、遮光層148 上に、液晶
層の側から光導電体層147 へ入射する光を反射するため
の誘電体ミラー153 として、酸化タンタルと酸化シリコ
ンとから成る多層膜を電子ビーム蒸着法によって形成す
る。Next, a carbon-dispersed acrylic resin is spin-coated on the photoconductor layer 147 as a light-shielding layer 148 for blocking light incident on the photoconductor layer 147 from the side of the liquid crystal layer described later. . Thereafter, a multilayer film made of tantalum oxide and silicon oxide is formed on the light-shielding layer 148 as a dielectric mirror 153 for reflecting light incident on the photoconductor layer 147 from the liquid crystal layer side by an electron beam evaporation method. I do.
【0148】ガラス基板141 の書き込み光155 が入射す
る側には、ガラスの表面反射を防ぐための反射防止膜14
3 を形成する。On the side of the glass substrate 141 on which the writing light 155 is incident, an antireflection film 14 for preventing surface reflection of glass is provided.
Form 3.
【0149】尚、上述の透光性基板としてはガラス基板
の他に、ファイバプレートを用いることも可能である。As the above-mentioned light-transmitting substrate, a fiber plate can be used instead of a glass substrate.
【0150】ガラス基板141 に対向するガラス基板142
上には、ITOから成る透明導電膜をスパッタ法を用い
て蒸着することにより、対向電極145 を形成する。The glass substrate 142 facing the glass substrate 141
An opposing electrode 145 is formed thereon by depositing a transparent conductive film made of ITO by sputtering.
【0151】次いで、対向電極145 上に、高分子薄膜を
用い選択光重合することにより、光導波路146 を同一パ
ターンでストライプ状に形成する。Next, the optical waveguides 146 are formed in a stripe pattern in the same pattern on the counter electrode 145 by selective photopolymerization using a polymer thin film.
【0152】尚、ガラス基板142 の読み出し光156 が入
射する側には、ガラスの表面反射を防ぐための反射防止
膜154 を形成する。An antireflection film 154 for preventing surface reflection of glass is formed on the glass substrate 142 on the side where the readout light 156 is incident.
【0153】次いで、誘電体ミラー153 及び光導波路14
6 上に、配向膜149 及び150 としてポリイミド膜をスピ
ンコートによってそれぞれ形成した後、配向膜149 及び
150の表面にラビングによる分子配向処理を施す。Next, the dielectric mirror 153 and the optical waveguide 14
After forming polyimide films as spin-coating films 149 and 150 by spin coating,
The surface of 150 is subjected to a molecular orientation treatment by rubbing.
【0154】尚、配向膜149 及び150 は、酸化シリコン
等の無機膜を斜方蒸着により形成することもできる。The alignment films 149 and 150 can be formed by oblique evaporation of an inorganic film such as silicon oxide.
【0155】上述のようにして各層及び膜がそれぞれ形
成されたガラス基板141 及び142 をスペーサ151 を介し
て貼り合わせ、基板間に液晶層152 として強誘電性液晶
を真空注入し、封止することにより液晶ライトバルブ14
0 が構成される。The glass substrates 141 and 142 on which the layers and films are formed as described above are bonded together via a spacer 151, and a ferroelectric liquid crystal is vacuum-injected as a liquid crystal layer 152 between the substrates and sealed. By LCD light valve 14
0 is configured.
【0156】光導波路146 に接する液晶分子の配向方向
は、光導波路146 を伝搬する光の偏光方向から見て、液
晶の屈折率が光導波路の屈折率に対して、液晶に電圧を
印加したときに大きくなり、液晶に電圧を印加していな
いときに小さくなるように設定する。The orientation direction of the liquid crystal molecules in contact with the optical waveguide 146 is such that, when viewed from the polarization direction of the light propagating through the optical waveguide 146, when the voltage applied to the liquid crystal is such that the refractive index of the liquid crystal is higher than the refractive index of the optical waveguide. Is set so that it becomes larger when no voltage is applied to the liquid crystal.
【0157】液晶表示モードはSSFLC(サーフェス
スタビライズド フェロエレクトリック リキッド
クリスタル)モードを用い、液晶材料として、例えばB
DH社製SCE12(ne (液晶分子軸方向の屈折率)
=1.65、no (液晶分子軸に直交する方向の屈折率)=
1.49)を使用する。又、液晶層152 の厚さは約2 μmで
ある。The liquid crystal display mode is SSFLC (surface stabilized ferroelectric liquid).
Crystal) mode, and a liquid crystal material such as B
DH Co. SCE12 (n e (the refractive index of the liquid crystal molecular axis direction)
= 1.65, n o (refractive index in the direction orthogonal to the liquid crystal molecular axis) =
Use 1.49). The thickness of the liquid crystal layer 152 is about 2 μm.
【0158】尚、ラビング処理により光導波路146 上で
も液晶分子が配向するので、必要に応じて配向膜150 を
設けない構成としてもよい。Since the liquid crystal molecules are aligned on the optical waveguide 146 by the rubbing process, the configuration may be such that the alignment film 150 is not provided as necessary.
【0159】この第3の実施例の液晶ライトバルブ140
のガラス基板142 、対向電極145 、光導波路146 、配向
膜150 及び反射防止膜154 から成る対向基板157 は、図
1及び図3のフォトディテクタ29及び光源30に相当する
図示していないフォトディテクタ及び光源を備えてお
り、液晶ライトバルブ140 の動作は図6〜図9を参照し
て説明した動作と同様である。The liquid crystal light valve 140 of the third embodiment
A counter substrate 157 composed of a glass substrate 142, a counter electrode 145, an optical waveguide 146, an alignment film 150, and an antireflection film 154 is provided with a photo detector and a light source (not shown) corresponding to the photo detector 29 and the light source 30 in FIGS. The operation of the liquid crystal light valve 140 is the same as the operation described with reference to FIGS.
【0160】ガラス基板141 及び142 は本発明に係る液
晶ライトバルブの2つの基板の一実施例である。光導波
路146 は本発明に係る液晶ライトバルブの光導波路の一
実施例である。光導電体層147 は本発明に係る液晶ライ
トバルブの光導電体層の一実施例である。図1及び図3
のフォトディテクタ29は本発明に係る液晶ライトバルブ
の受光手段の一実施例である。図1及び図3の光源30は
本発明に係る液晶ライトバルブの光源の一実施例であ
る。The glass substrates 141 and 142 are one embodiment of the two substrates of the liquid crystal light valve according to the present invention. The optical waveguide 146 is an embodiment of the optical waveguide of the liquid crystal light valve according to the present invention. The photoconductor layer 147 is an embodiment of the photoconductor layer of the liquid crystal light valve according to the present invention. 1 and 3
The photodetector 29 is an embodiment of the light receiving means of the liquid crystal light valve according to the present invention. The light source 30 shown in FIGS. 1 and 3 is an embodiment of the light source of the liquid crystal light valve according to the present invention.
【0161】従って、上述の実施例の液晶ライトバルブ
によれば、アドレス光に対応して液晶層に形成された情
報を光信号として読み出すと共に、電気信号として直接
読み出すことができる。Therefore, according to the liquid crystal light valve of the above-described embodiment, information formed in the liquid crystal layer corresponding to the address light can be read as an optical signal and directly as an electric signal.
【0162】図16は光導波路146 にTEモードの光が
伝搬しているときの強誘電性液晶の液晶分子の配向状態
を示す概略図である。図16(A) は液晶ライトバルブ14
0 の要部を示す概略図であり、図16(B)は図16(A)
の液晶ライトバルブ140 を上方(矢印Eの方向)から見
たときの概略図である。尚、これらの図には、ガラス基
板142 及び光導波路146 が概略的に示されており、対向
電極145 等は省略されている。FIG. 16 is a schematic diagram showing the orientation state of the liquid crystal molecules of the ferroelectric liquid crystal when the light of the TE mode propagates through the optical waveguide 146. FIG. 16A shows a liquid crystal light valve 14.
FIG. 16B is a schematic view showing a main part of FIG. 16A, and FIG.
FIG. 3 is a schematic diagram when the liquid crystal light valve 140 is viewed from above (in the direction of arrow E). In these figures, the glass substrate 142 and the optical waveguide 146 are schematically shown, and the counter electrode 145 and the like are omitted.
【0163】これらの図に示すように、図1及び図3の
光源30に対応する図示していない光源からのTEモード
の光170 に対して液晶層に電圧が印加されていない状態
の液晶分子171a は、図に示すFの方向に配向してい
る。この状態では、液晶の屈折率が光導波路の屈折率に
比べて小さいので、TEモードの光170 は減衰せずに光
導波路146 を伝搬する。As shown in these figures, liquid crystal molecules in a state where no voltage is applied to the liquid crystal layer with respect to TE mode light 170 from a light source (not shown) corresponding to the light source 30 in FIGS. 171a is oriented in the direction of F shown in the figure. In this state, since the refractive index of the liquid crystal is smaller than the refractive index of the optical waveguide, the TE-mode light 170 propagates through the optical waveguide 146 without being attenuated.
【0164】一方、液晶層に電圧が印加された状態の液
晶分子171b は、図に示すGの方向に配向する。このと
き、液晶の屈折率が光導波路の屈折率よりも大きくなる
ため、光源からのTEモードの光170 は液晶層に漏れる
ので減衰する。このように、強誘電性液晶も本発明に係
る液晶ライトバルブに利用することができる。On the other hand, the liquid crystal molecules 171b in a state where a voltage is applied to the liquid crystal layer are oriented in the direction G shown in the figure. At this time, since the refractive index of the liquid crystal becomes larger than the refractive index of the optical waveguide, the TE mode light 170 from the light source leaks into the liquid crystal layer and is attenuated. Thus, ferroelectric liquid crystals can also be used in the liquid crystal light valve according to the present invention.
【0165】図17は図15に示す液晶ライトバルブ14
0 を撮像素子及びビューファインダとして用いた画像撮
影装置のシステム構成図である。FIG. 17 shows the liquid crystal light valve 14 shown in FIG.
FIG. 2 is a system configuration diagram of an image photographing apparatus using 0 as an image sensor and a viewfinder.
【0166】同図に示すように、この実施例の画像撮影
装置は、ランプ181及び188 、レンズ182 、185 及び186
、ミラー183 、偏光ビームスプリッタ184 、ハーフミ
ラー187 、液晶ライトバルブ189 、制御系190 並びに画
像信号記録系191 を備えている。As shown in the figure, the image photographing apparatus of this embodiment has lamps 181 and 188, lenses 182, 185 and 186.
, A mirror 183, a polarizing beam splitter 184, a half mirror 187, a liquid crystal light valve 189, a control system 190, and an image signal recording system 191.
【0167】液晶ライトバルブ189 は図15に示す液晶
ライトバルブ140 に対応し、制御系190 に接続されてい
る。The liquid crystal light valve 189 corresponds to the liquid crystal light valve 140 shown in FIG. 15 and is connected to the control system 190.
【0168】制御系190 及び画像信号記録系191 は、本
発明に係る液晶ライトバルブを備えた情報処理装置の情
報を含む光を電気信号に変換するための機構の一実施例
である。The control system 190 and the image signal recording system 191 are an embodiment of a mechanism for converting light containing information of an information processing apparatus having a liquid crystal light valve according to the present invention into an electric signal.
【0169】ビューファインダとして用いる場合には、
液晶ライトバルブ189 の走査電極(図15の走査電極14
4 )と対向電極(図15の対向電極145 )との間に電圧
を印加しておく。ここで、対象物192 の画像をレンズ18
6 を介して液晶ライトバルブ189 に結像すると、画像の
明暗状態により液晶ライトバルブ189 の光導電体層(図
15の光導電体層147 )のインピーダンスが変化するた
め、液晶の配向状態が変化し、液晶層に画像が形成され
る。When used as a viewfinder,
The scanning electrode of the liquid crystal light valve 189 (the scanning electrode 14 in FIG. 15)
A voltage is applied between 4) and the counter electrode (counter electrode 145 in FIG. 15). Here, the image of the object 192 is
When an image is formed on the liquid crystal light valve 189 via the liquid crystal 6, the impedance of the photoconductor layer (photoconductor layer 147 in FIG. 15) of the liquid crystal light valve 189 changes depending on the brightness of the image, and the alignment state of the liquid crystal changes. Thus, an image is formed on the liquid crystal layer.
【0170】この液晶ライトバルブ189 にランプ181 か
らの光がレンズ182 、ミラー183 及び偏光ビームスプリ
ッタ184を介して入射すると、この入射光は液晶ライト
バルブ189 の誘電体ミラー(図15の誘電体ミラー153
)によって反射される。When light from a lamp 181 enters the liquid crystal light valve 189 via a lens 182, a mirror 183, and a polarization beam splitter 184, the incident light is applied to a dielectric mirror of the liquid crystal light valve 189 (the dielectric mirror of FIG. 15). 153
).
【0171】このうち、液晶層の配向状態が変化してい
る部分を透過した反射光は、電気光学効果によって偏光
方向が変化するので偏光ビームスプリッタ184 を透過す
る。この透過した光はレンズ185 により目193 の位置に
結像し、撮影画像を見ることができる。Of these, the reflected light transmitted through the portion where the alignment state of the liquid crystal layer is changed passes through the polarization beam splitter 184 because the polarization direction changes due to the electro-optic effect. The transmitted light forms an image at the position of the eye 193 by the lens 185, and the photographed image can be viewed.
【0172】撮像素子として用いる場合には、対象物19
2 の画像をレンズ186 を介して液晶ライトバルブ189 に
結像させる。このとき、制御系190 によって液晶ライト
バルブ189 の走査電極(図15の走査電極144 )を順次
駆動すると、画像に対応した電気信号が得られる。この
信号を画像信号記録系191 により記録する。When used as an image sensor, the object 19
The image 2 is formed on the liquid crystal light valve 189 via the lens 186. At this time, when the scanning electrodes (the scanning electrodes 144 in FIG. 15) of the liquid crystal light valve 189 are sequentially driven by the control system 190, an electric signal corresponding to an image is obtained. This signal is recorded by the image signal recording system 191.
【0173】電気信号を得るために光導波路に導入する
図示していない光源(図1の光源30に相当する光源)か
らの光は、近赤外領域を用いるとよい。これにより、液
晶ライトバルブ189 を読み出し側から目193 で見たとき
に、この光源は見えなくなる。Light from a light source (not shown) (a light source corresponding to the light source 30 in FIG. 1) to be introduced into the optical waveguide to obtain an electric signal may use a near-infrared region. This makes the light source invisible when the liquid crystal light valve 189 is viewed from the reading side with the eyes 193.
【0174】尚、撮像素子とビューファインダとの機能
を見掛け上、同時に動作させる場合には、フリッカの発
生しない周波数(約30Hz)以上の時間内に、両方の機
能をタイムシーケンシャルに働かせればよい。強誘電性
液晶を用いると液晶の応答速度が速いので、このような
動作を十分行うことができる。When the functions of the image pickup device and the viewfinder are apparently operated at the same time, both functions may be operated in a time-sequential manner within a frequency (about 30 Hz) or higher at which flicker does not occur. . When a ferroelectric liquid crystal is used, the response speed of the liquid crystal is high, so that such an operation can be sufficiently performed.
【0175】画像信号記録系191 に記録した画像信号を
再生するには、ランプ188 を点灯し、ハーフミラー187
を介して液晶ライトバルブ189 に照射する。To reproduce the image signal recorded in the image signal recording system 191, the lamp 188 is turned on and the half mirror 187 is turned on.
Irradiates the liquid crystal light valve 189 through the.
【0176】液晶ライトバルブ189 の書き込み光側の全
面に光が当たっているときは、通常のXYマトリックス
型液晶パネルと同一の駆動ができるので、走査電極と対
向電極(ここではデータ電極となる)とを画像信号に応
じて順次駆動すると、画像再生ができる。When light is applied to the entire surface of the liquid crystal light valve 189 on the writing light side, the same driving as that of a normal XY matrix type liquid crystal panel can be performed. When the and are sequentially driven according to the image signal, the image can be reproduced.
【0177】尚、液晶ライトバルブ189 の光導電体層の
材料を変えて、紫外又は赤外に光感度のある材料を用い
れば、波長変換型の画像撮影装置を構成することもでき
る。If the material of the photoconductor layer of the liquid crystal light valve 189 is changed to a material having photosensitivity to ultraviolet or infrared light, a wavelength conversion type image photographing apparatus can be constructed.
【0178】上述のように、この実施例の液晶ライトバ
ルブは従来個別の素子で対応していた機能を単一の素子
で担うことができ、画像読み出し機能と画像表示機能と
を複合化した装置をコンパクト、且つ高機能性をもって
実現することができる。As described above, in the liquid crystal light valve of this embodiment, the function conventionally supported by the individual elements can be performed by a single element, and the image reading function and the image displaying function are combined. Can be realized with compactness and high functionality.
【0179】図2、図12及び図15に示す第1、第2
及び第3の実施例の液晶ライトバルブの光導電体層とし
てはa−Si:Hの他に、非晶質水素化シリコンカーバ
イド(a−Si1-X CX :H)、非晶質水素化窒化シリ
コン(a−Si1-X NX :H)、非晶質水素化酸化シリ
コン(a−Si1-X OX :H)、非晶質水素化シリコン
ゲルマニウム(a−Si1-X GeX :H)、硫化カドミ
ウム(CdS)及びBi12SiO20等を用いることもで
きる。又、光導電体層をショットキー構造、ダイオード
構造及びバックツーバックダイオード構造等にしてもよ
い。The first and second shown in FIG. 2, FIG. 12 and FIG.
The photoconductor layer of the liquid crystal light valve according to the third embodiment is made of amorphous hydrogenated silicon carbide (a-Si 1-x C x : H) or amorphous hydrogen in addition to a-Si: H. Silicon oxynitride (a-Si 1-x N x : H), amorphous hydrogenated silicon oxide (a-Si 1-x O x : H), amorphous hydrogenated silicon germanium (a-Si 1-x Ge x : H), cadmium sulfide (CdS), Bi 12 SiO 20 and the like can also be used. Further, the photoconductor layer may have a Schottky structure, a diode structure, a back-to-back diode structure, or the like.
【0180】遮光層としては、カーボン分散型アクリル
樹脂の他に、顔料分散型有機薄膜、酸化アルミニウム
(Al2 O3 )にAg等の金属を無電界メッキした薄
膜、サーメット薄膜及びCdTe等を用いることができ
る。As the light-shielding layer, in addition to the carbon-dispersed acrylic resin, a pigment-dispersed organic thin film, a thin film obtained by electroless plating a metal such as Ag on aluminum oxide (Al 2 O 3 ), a cermet thin film, and CdTe are used. be able to.
【0181】光導波路としては、有機材料を用いた導波
路の他に、a−SiOX NY :Hや(SiO2 )X −
(Ta2 O5 )Y 混成等の無機材料を用いた導波路も利
用できる。As the optical waveguide, a-SiO X N Y : H or (SiO 2 ) X −
A waveguide using an inorganic material such as (Ta 2 O 5 ) Y hybrid can also be used.
【0182】又、液晶動作モードとしては、ネマティッ
ク液晶を用いた場合には、上述の実施例で示したハイブ
リッド電界効果モードの他に、ゲストホストモード等が
利用できる。スメクティック液晶を用いた場合には、ゲ
ストホストモード等が利用できる。When a nematic liquid crystal is used as the liquid crystal operation mode, a guest host mode or the like can be used in addition to the hybrid field effect mode shown in the above-described embodiment. When a smectic liquid crystal is used, a guest host mode or the like can be used.
【0183】[0183]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る液晶
ライトバルブは、それぞれが透明電極を有する2つの透
光性基板間に設けられている液晶層と、液晶層と2つの
基板の一方との間に設けられており入射された情報を含
む光によりインピーダンスが変化する光導電体層と、2
つの基板の一方の側に設けられている光導波路と、光導
波路に光を導入する光源と、光導波路を伝搬する光源か
らの光を受け取ると共にこの光を電気信号に変換する受
光手段と、読み出し光を液晶層に情報を含む光と反対側
から照射して読み出し光の反射光を情報に対応した光信
号として読み出す手段とを備えている。従って、液晶層
に形成された情報を2次元の光信号として読み出すと共
に、電気信号として直接読み出すことができる。As described above, according to the present invention, a liquid crystal light valve according to the present invention, two magnetic each having a transparent electrode
A liquid crystal layer provided between the optical substrates, a photoconductor layer provided between the liquid crystal layer and one of the two substrates, the impedance of which changes due to light containing incident information;
An optical waveguide provided on one side of the two substrates, a light source for introducing light into the optical waveguide, a light receiving means for receiving light from the light source propagating through the optical waveguide and converting the light into an electric signal, and reading out Opposite the light that contains information in the liquid crystal layer
Irradiates the reflected light of readout light from the
Means for reading as a signal. Therefore, information formed on the liquid crystal layer can be read out as a two-dimensional optical signal and directly as an electric signal.
【0184】本発明に係る液晶ライトバルブを備えた情
報処理装置は、それぞれが透明電極を有する2つの透光
性基板間に設けられている液晶層と、液晶層と2つの基
板の一方との間に設けられており入射された情報を含む
光によりインピーダンスが変化する光導電体層と、2つ
の基板の一方の側に設けられている光導波路と、光導波
路に光を導入する光源と、光導波路を伝搬する光源から
の光を受け取ると共にこの光を電気信号に変換する受光
手段と、読み出し光を液晶層に情報を含む光と反対側か
ら照射して読み出し光の反射光を情報に対応した光信号
として読み出す手段とを含んでいる液晶ライトバルブ
と、液晶ライトバルブに接続されており情報を含む光を
電気信号に変換するための機構とを備えている。従っ
て、液晶ライトバルブから液晶層に形成された情報に対
応して2次元の光信号と共に電気信号を取り出すことが
できるため、コンパクトな装置によって高機能な情報処
理を行うことができる。An information processing apparatus provided with a liquid crystal light valve according to the present invention has two light transmitting portions each having a transparent electrode.
A liquid crystal layer provided between gender substrate, a liquid crystal layer and a photoconductive layer whose impedance is changed by light containing information that is incident is provided between one of the two substrates, the two substrates An optical waveguide provided on one side, a light source for introducing light into the optical waveguide, light receiving means for receiving light from the light source propagating through the optical waveguide and converting the light into an electric signal, and a liquid crystal for reading out light. On the opposite side of the light containing information in the layer
Optical signal corresponding to the information by irradiating the reading light and reflecting the readout light
And a mechanism connected to the liquid crystal light valve for converting light containing information into an electric signal. Therefore, the information formed on the liquid crystal layer from the liquid crystal light valve is not affected.
Accordingly, since an electric signal can be extracted together with a two-dimensional optical signal, high-performance information processing can be performed by a compact device.
【図1】本発明に係る液晶ライトバルブに含まれている
対向基板の構成を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a counter substrate included in a liquid crystal light valve according to the present invention.
【図2】本発明に係る液晶ライトバルブの第1の実施例
の構成を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a first embodiment of a liquid crystal light valve according to the present invention.
【図3】図1の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of FIG. 1;
【図4】対向基板の他の構成を説明するための図1のB
B線断面図である。FIG. 4B illustrates another configuration of the opposing substrate.
It is a B sectional view.
【図5】液晶分子の屈折率を説明するための液晶分子の
概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram of liquid crystal molecules for explaining the refractive index of the liquid crystal molecules.
【図6】光導波路にTMモードの光が伝搬しているとき
の液晶分子の配向状態を示す概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating an alignment state of liquid crystal molecules when TM mode light propagates through an optical waveguide.
【図7】駆動電圧が印加されていない状態における液晶
ライトバルブの動作状態を示す概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing an operation state of the liquid crystal light valve in a state where no drive voltage is applied.
【図8】駆動電圧が印加されている状態における液晶ラ
イトバルブの動作状態を示す概略図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing an operation state of a liquid crystal light valve in a state where a driving voltage is applied.
【図9】光導波路にTEモードの光が伝搬しているとき
の液晶分子の配向状態を示す概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating an alignment state of liquid crystal molecules when light in a TE mode propagates through an optical waveguide.
【図10】光情報を電気信号に変換する機構を含んだ情
報処理装置の一実施例の構成図である。FIG. 10 is a configuration diagram of an embodiment of an information processing apparatus including a mechanism for converting optical information into an electric signal.
【図11】図1に示す液晶ライトバルブ10を画像読み取
り素子として用いたイメージスキャナのシステム構成図
である。11 is a system configuration diagram of an image scanner using the liquid crystal light valve 10 shown in FIG. 1 as an image reading element.
【図12】本発明に係る液晶ライトバルブの第2の実施
例の構成を示す断面図である。FIG. 12 is a sectional view showing the configuration of a liquid crystal light valve according to a second embodiment of the present invention.
【図13】図12に示す液晶ライトバルブを光変調素子
として用いた投影型表示装置のシステム構成図である。13 is a system configuration diagram of a projection display device using the liquid crystal light valve shown in FIG. 12 as a light modulation element.
【図14】図12の液晶ライトバルブを用いたコピー及
びプリンタ複合装置のシステム構成図である。14 is a system configuration diagram of a copier / printer multifunction peripheral using the liquid crystal light valve of FIG.
【図15】本発明に係る液晶ライトバルブの第3の実施
例の構成を示す断面図である。FIG. 15 is a sectional view showing a configuration of a third embodiment of the liquid crystal light valve according to the present invention.
【図16】光導波路にTEモードの光が伝搬していると
きの強誘電性液晶の液晶分子の配向状態を示す概略図で
ある。FIG. 16 is a schematic diagram illustrating an alignment state of liquid crystal molecules of a ferroelectric liquid crystal when light in a TE mode propagates through an optical waveguide.
【図17】図15に示す液晶ライトバルブを撮像素子及
びビューファインダとして用いた画像撮影装置のシステ
ム構成図である。17 is a system configuration diagram of an image photographing apparatus using the liquid crystal light valve shown in FIG. 15 as an image sensor and a viewfinder.
【図18】従来の一般的な光アドレス型の液晶ライトバ
ルブの構成を示す断面図である。FIG. 18 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional general light-addressed liquid crystal light valve.
10、80、140 液晶ライトバルブ 11、12、81、82、141 、142 ガラス基板 13、83、94、143 、154 反射防止膜 14、84、144 透明電極 15、85、145 対向電極 16、86、146 光導波路 17、87、147 光導電体層 18、88、148 遮光層 19、20、89、90、149 、150 配向膜 21、91、151 スペーサ 22、92、152 液晶層 26 下部クラッド層 27 コア層 28 クラッド層 29 フォトディテクタ 30 光源 46 読み出し回路 47 信号処理回路 48 駆動回路 49 制御回路 93、153 誘電体ミラー 132 、190 制御系 133 画像メモリ 134 画像処理回路 135 インターフェイス回路 136 プリンタ制御系 191 画像信号記録系 10, 80, 140 Liquid crystal light valve 11, 12, 81, 82, 141, 142 Glass substrate 13, 83, 94, 143, 154 Antireflection film 14, 84, 144 Transparent electrode 15, 85, 145 Counter electrode 16, 86 , 146 Optical waveguides 17, 87, 147 Photoconductor layer 18, 88, 148 Light shielding layer 19, 20, 89, 90, 149, 150 Alignment film 21, 91, 151 Spacer 22, 92, 152 Liquid crystal layer 26 Lower cladding layer 27 core layer 28 clad layer 29 photodetector 30 light source 46 readout circuit 47 signal processing circuit 48 drive circuit 49 control circuit 93, 153 dielectric mirror 132, 190 control system 133 image memory 134 image processing circuit 135 interface circuit 136 printer control system 191 image Signal recording system
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/135 G02F 1/13 505 G09F 9/30 G02F 1/29 - 7/00 G02F 1/00 - 1/125Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G02F 1/135 G02F 1/13 505 G09F 9/30 G02F 1/29-7/00 G02F 1/00-1/125
Claims (5)
性基板間に設けられている液晶層と、該液晶層と前記2
つの基板の一方との間に設けられており入射された情報
を含む光によりインピーダンスが変化する光導電体層
と、前記2つの基板の一方の側に設けられている光導波
路と、該光導波路に光を導入する光源と、前記光導波路
を伝搬する前記光源からの光を受け取ると共に該光を電
気信号に変換する受光手段と、読み出し光を前記液晶層
に前記情報を含む光と反対側から照射して該読み出し光
の反射光を前記情報に対応した光信号として読み出す手
段とを備えたことを特徴とする液晶ライトバルブ。1. Two light transmissions each having a transparent electrode
A liquid crystal layer provided between conductive substrates;
A photoconductor layer provided between one of the two substrates, the impedance of which changes according to light containing incident information; an optical waveguide provided on one side of the two substrates; A light source for introducing light into the liquid crystal layer; light receiving means for receiving light from the light source propagating through the optical waveguide and converting the light into an electric signal;
The readout light by irradiating the light containing the information from the opposite side.
For reading out the reflected light of the light as an optical signal corresponding to the information.
Liquid crystal light valve, characterized in that a stage.
射する光を遮るための遮光層と、該光を反射するための
光反射層とのうち少なくとも1つの層が前記光導電体層
の上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載
の液晶ライトバルブ。2. The photoconductor according to claim 2, wherein at least one of a light-shielding layer for blocking light incident on the photoconductor layer from the liquid crystal layer side and a light reflecting layer for reflecting the light is formed of the photoconductor. The liquid crystal light valve according to claim 1, wherein the liquid crystal light valve is provided on the layer.
されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶ライ
トバルブ。3. The liquid crystal light valve according to claim 1, wherein the liquid crystal layer is formed of a nematic liquid crystal.
成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶ラ
イトバルブ。4. The liquid crystal light valve according to claim 1, wherein the liquid crystal layer is formed of a smectic liquid crystal.
性基板間に設けられている液晶層と、該液晶層と前記2
つの基板の一方との間に設けられており入射された情報
を含む光によりインピーダンスが変化する光導電体層
と、前記2つの基板の一方の側に設けられている光導波
路と、該光導波路に光を導入する光源と、前記光導波路
を伝搬する前記光源からの光を受け取ると共に該光を電
気信号に変換する受光手段と、読み出し光を前記液晶層
に前記情報を含む光と反対側から照射して該読み出し光
の反射光を前記情報に対応した光信号として読み出す手
段とを含んでいる液晶ライトバルブと、該液晶ライトバ
ルブに接続されており前記情報を含む光を電気信号に変
換するための機構とを備えたことを特徴とする液晶ライ
トバルブを備えた情報処理装置。5. Two light transmissions each having a transparent electrode.
A liquid crystal layer provided between conductive substrates;
A photoconductor layer provided between one of the two substrates, the impedance of which changes according to light containing incident information; an optical waveguide provided on one side of the two substrates; A light source for introducing light into the liquid crystal layer; light receiving means for receiving light from the light source propagating through the optical waveguide and converting the light into an electric signal;
The readout light by irradiating the light containing the information from the opposite side.
For reading out the reflected light of the light as an optical signal corresponding to the information.
An information comprising a liquid crystal light valve, comprising: a liquid crystal light valve including a step; and a mechanism connected to the liquid crystal light valve for converting light containing the information into an electrical signal. Processing equipment.
Priority Applications (4)
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---|---|---|---|
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DE69221443T DE69221443T2 (en) | 1991-12-09 | 1992-12-08 | Liquid crystal light valve and information processor using the same |
EP92311164A EP0546797B1 (en) | 1991-12-09 | 1992-12-08 | Liquid crystal light valve and information processor having liquid crystal light valve |
US07/988,040 US5467204A (en) | 1991-12-09 | 1992-12-09 | Liquid crystal light valve with dual function as both optical-to-electrical and optical-to-optical transducer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3324142A JP2783473B2 (en) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | Liquid crystal light valve and information processing apparatus having liquid crystal light valve |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH05158064A JPH05158064A (en) | 1993-06-25 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
JPS543380B2 (en) * | 1974-10-21 | 1979-02-22 |
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1991
- 1991-12-09 JP JP3324142A patent/JP2783473B2/en not_active Expired - Fee Related
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