JP2770521B2 - 焦点位置検出方式 - Google Patents
焦点位置検出方式Info
- Publication number
- JP2770521B2 JP2770521B2 JP2016907A JP1690790A JP2770521B2 JP 2770521 B2 JP2770521 B2 JP 2770521B2 JP 2016907 A JP2016907 A JP 2016907A JP 1690790 A JP1690790 A JP 1690790A JP 2770521 B2 JP2770521 B2 JP 2770521B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line sensor
- focus position
- detection method
- position detection
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Focusing (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はラインセンサを有する撮像装置に使用される
焦点位置検出方式に関する。
焦点位置検出方式に関する。
従来、この種の撮像装置の焦点位置検出方式に関して
は、温度等の環境に対し、安定した焦点位置を保つ方式
やあらかじめ取得した環境に対する焦点位置の移動量の
データにより焦点調整を行う装置がある。また、リアル
タイムで画像を見ながらマニュアルで調整したり、異な
るターゲットに対する画像データの統計処理による焦点
位置の確認を行う方式等もあった。しかし、従来例では
焦点位置確認用と画像撮像用のセンサは共用する構成で
あった。
は、温度等の環境に対し、安定した焦点位置を保つ方式
やあらかじめ取得した環境に対する焦点位置の移動量の
データにより焦点調整を行う装置がある。また、リアル
タイムで画像を見ながらマニュアルで調整したり、異な
るターゲットに対する画像データの統計処理による焦点
位置の確認を行う方式等もあった。しかし、従来例では
焦点位置確認用と画像撮像用のセンサは共用する構成で
あった。
上述した従来の焦点位置検出方式では、焦点位置検出
器周辺の環境条件変化に対する補正およびマニアル調整
のみなので、次のような欠点がある。
器周辺の環境条件変化に対する補正およびマニアル調整
のみなので、次のような欠点がある。
(1)環境条件が厳しい時あるいは環境に対し、敏感に
焦点位置が変動する放射計には使用できない。
焦点位置が変動する放射計には使用できない。
(2)マニュアルおよび異なるターゲットを利用する場
合にセンサを共用する方式なので、焦点位置確認に長い
時間が必要であり、かつ、ずれが生じている場合に、前
後どちらにずれているかが不明である。
合にセンサを共用する方式なので、焦点位置確認に長い
時間が必要であり、かつ、ずれが生じている場合に、前
後どちらにずれているかが不明である。
本発明の焦点位置検出方式は連続して移動する対象物
の移動方向と直角方向の入射光を撮像するラインセンサ
を有する撮像装置の焦点位置検出方式において、撮像す
る入射光から一部の光を分割するプリズムと、前記対象
物の移動方向と平行な方向の入射光を撮像するラインセ
ンサと、前記プリズムと前記ラインセンサとの間に入射
光の焦点位置を変える駆動部付きのくさびガラスとを有
する。
の移動方向と直角方向の入射光を撮像するラインセンサ
を有する撮像装置の焦点位置検出方式において、撮像す
る入射光から一部の光を分割するプリズムと、前記対象
物の移動方向と平行な方向の入射光を撮像するラインセ
ンサと、前記プリズムと前記ラインセンサとの間に入射
光の焦点位置を変える駆動部付きのくさびガラスとを有
する。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図および第2図は本発明の一実施例の構成図、お
よび動作例を示す斜視図、第3図,第4図は本実施例を
説明する特性図である。
よび動作例を示す斜視図、第3図,第4図は本実施例を
説明する特性図である。
第1図および第2図において、通常の撮像時には撮像
物からの光が集光計1で集光されプリズム2、平板ガラ
ス3を透過し撮像用ラインセンサ4上に焦点をむすび結
像する。ここで、撮像物である放射計が進行方向10に移
動すると、撮像用ラインセンサ4で光電変換された信号
が切換器8の点線方向に接続され、信号処理回路9に入
力されて処理されることにより、帯状の2次元像が得ら
れる。なおこの2次元像は第2図の撮像用センサの投影
図12に対応し進行方10に対して直角の2次元像である。
一方、第2図に示すプリズム2の斜線部で分割された光
が焦点位置確認用のくさびガラス5を透過し、焦点位置
検出用のラインセンサ6により結像される。このライン
センサ6の結像画像は撮像物上の検出用センサの投影図
13に対応し、撮像物である放射計の移動方向10に平行で
あり、この放射計の移動に伴い、各撮像周期ごとに同一
画像がラインセンサ6上を移動する様に撮像される。焦
点位置の確認時には切換器8をラインセンサ6側(図の
実線)に接続して信号処理回路9に入力する。このよう
な条件のもとでくさびガラス駆動部7により徐々に2枚
のうちの1枚のくさびガラス5を動かし、光路中のくさ
びガラス5の厚さを変化させる。ここでラインセンサ6
の結像位置は撮像用ラインセンサ4の結像位置と同じ位
置となるように設定されている。今、くさびガラス6を
信号処理回路9で得られた画像の一画素ずつ移動させて
行く場合に、焦点位置がずれていると、ラインセンサ6
の出力は第3図に示すように画素番号の画素ごとに段階
状に変化する。また、焦点が合った状態では、ラインセ
ンサ6の出力は第4図に示すように、撮像物からの光が
一定のうちは変化せず撮像物のエッジ11において放射計
からの入射光が変化した所で急しゅんに変化するが、そ
のあとの画素はまた同じで一定の出力となる。このよう
な特性データをもとに集光計の焦点位置の調整を行うこ
とにより正確な焦点調整が可能となる。
物からの光が集光計1で集光されプリズム2、平板ガラ
ス3を透過し撮像用ラインセンサ4上に焦点をむすび結
像する。ここで、撮像物である放射計が進行方向10に移
動すると、撮像用ラインセンサ4で光電変換された信号
が切換器8の点線方向に接続され、信号処理回路9に入
力されて処理されることにより、帯状の2次元像が得ら
れる。なおこの2次元像は第2図の撮像用センサの投影
図12に対応し進行方10に対して直角の2次元像である。
一方、第2図に示すプリズム2の斜線部で分割された光
が焦点位置確認用のくさびガラス5を透過し、焦点位置
検出用のラインセンサ6により結像される。このライン
センサ6の結像画像は撮像物上の検出用センサの投影図
13に対応し、撮像物である放射計の移動方向10に平行で
あり、この放射計の移動に伴い、各撮像周期ごとに同一
画像がラインセンサ6上を移動する様に撮像される。焦
点位置の確認時には切換器8をラインセンサ6側(図の
実線)に接続して信号処理回路9に入力する。このよう
な条件のもとでくさびガラス駆動部7により徐々に2枚
のうちの1枚のくさびガラス5を動かし、光路中のくさ
びガラス5の厚さを変化させる。ここでラインセンサ6
の結像位置は撮像用ラインセンサ4の結像位置と同じ位
置となるように設定されている。今、くさびガラス6を
信号処理回路9で得られた画像の一画素ずつ移動させて
行く場合に、焦点位置がずれていると、ラインセンサ6
の出力は第3図に示すように画素番号の画素ごとに段階
状に変化する。また、焦点が合った状態では、ラインセ
ンサ6の出力は第4図に示すように、撮像物からの光が
一定のうちは変化せず撮像物のエッジ11において放射計
からの入射光が変化した所で急しゅんに変化するが、そ
のあとの画素はまた同じで一定の出力となる。このよう
な特性データをもとに集光計の焦点位置の調整を行うこ
とにより正確な焦点調整が可能となる。
なお、このくさびガラス駆動部7と集光計1の焦点位
置調整とを連動して行うことにより簡単、かつ、単時間
の焦点調整も可能である。
置調整とを連動して行うことにより簡単、かつ、単時間
の焦点調整も可能である。
以上説明したように本発明は撮像系とは別に、プリズ
ムで分割した光を受ける像の移動方向に平行なラインセ
ンサと、くさびガラスの移動により焦点位置を変化させ
る機能を加えることにより、連続的に焦点位置を変化さ
せながら、撮像を行うことにより、短時間で精度良く、
焦点位置を検出できる効果がある。また、ラインセンサ
を移動方向に平行に置くことにより、エッジとして使用
できる対象物は小さい物でよいことになり、対象物の選
定が容易となる効果がある。
ムで分割した光を受ける像の移動方向に平行なラインセ
ンサと、くさびガラスの移動により焦点位置を変化させ
る機能を加えることにより、連続的に焦点位置を変化さ
せながら、撮像を行うことにより、短時間で精度良く、
焦点位置を検出できる効果がある。また、ラインセンサ
を移動方向に平行に置くことにより、エッジとして使用
できる対象物は小さい物でよいことになり、対象物の選
定が容易となる効果がある。
第1図は本発明の一実施例の構成図、第2図は本実施例
の斜視図、第3図,第4図は本実施例の画素信号の状態
を示し、それぞれ焦点位置のずれた状態、焦点位置の合
った状態の説明図である。 1……集光計、2……プリズム、3……平板ガラス、4
……撮像用ラインセンサ、5……くさびガラス、6……
ラインセンサ、7……くさびガラス駆動部、8……切換
器、9……信号処理回路、10……撮像系進行方向、11…
…撮像物のエッジ、12……撮像用ラインセンサの投影
図、13……ラインセンサ6の投影図。
の斜視図、第3図,第4図は本実施例の画素信号の状態
を示し、それぞれ焦点位置のずれた状態、焦点位置の合
った状態の説明図である。 1……集光計、2……プリズム、3……平板ガラス、4
……撮像用ラインセンサ、5……くさびガラス、6……
ラインセンサ、7……くさびガラス駆動部、8……切換
器、9……信号処理回路、10……撮像系進行方向、11…
…撮像物のエッジ、12……撮像用ラインセンサの投影
図、13……ラインセンサ6の投影図。
Claims (1)
- 【請求項1】連続して移動する対象物の移動方向と直角
方向の入射光を撮像するラインセンサを有する撮像装置
の焦点位置検出方式において、撮像する入射光から一部
の光を分割するプリズムと、前記対象物の移動方向と平
行な方向の入射光を撮像するラインセンサと、前記プリ
ズムと前記ラインセンサとの間に入射光の焦点位置を変
える駆動部付きのくさびガラスとを有することを特徴と
する焦点位置検出方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016907A JP2770521B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 焦点位置検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016907A JP2770521B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 焦点位置検出方式 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03220515A JPH03220515A (ja) | 1991-09-27 |
JP2770521B2 true JP2770521B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=11929210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016907A Expired - Lifetime JP2770521B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | 焦点位置検出方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2770521B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3907728B2 (ja) * | 1996-01-23 | 2007-04-18 | オリンパス株式会社 | オートフォーカス顕微鏡装置 |
TW446829B (en) * | 1998-09-25 | 2001-07-21 | Nippon Kogaku Kk | Image formation position adjusting device, exposure system, image formation adjusting method and exposure method |
JP2005292543A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 焦点調整機構 |
JP5068121B2 (ja) * | 2007-08-27 | 2012-11-07 | 株式会社ミツトヨ | 顕微鏡および三次元情報取得方法 |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP2016907A patent/JP2770521B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03220515A (ja) | 1991-09-27 |
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