JP2765030B2 - Manufacturing method of magnetic recording medium - Google Patents
Manufacturing method of magnetic recording mediumInfo
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒
体及びその製造方法に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium used for a magnetic recording / reproducing apparatus and a method for manufacturing the same.
従来の技術 データ記録用の磁気ディスク装置はアクセスタイムの
短縮化及び転送レートの高速化が進められている。これ
を実現するためにトラック密度をより高くした磁気記録
媒体の開発が進められている。第６図は従来の磁気ディ
スクを示す部分断面図である。第６図において１はガラ
ス基板、２は下地膜で、下地膜２はCr等の材料で構成さ
れている。３は磁性膜で、磁性膜３はCoNi合金等の磁性
材料で構成されている。４は磁性膜３の上に向けられた
複数の溝で、溝４はそれぞれ磁性膜３に同心円状に構成
されており、溝４と溝４の間にはデータの記録を行うト
ラック部4aが設けられている。５は磁性膜３の上に形成
された保護膜で、保護膜５はCr等の材料で構成されてい
る。６は保護膜５の上に設けられた潤滑膜で、潤滑膜６
はカーボン等によって作成されている。この様に磁気デ
ィスク７は構成されている。又この磁気ディスク７から
データの記録再生を行う磁気ヘッド８は第７図に示す様
に、トラック部4aの幅Ａよりも磁気ヘッド８のギャップ
部8aのトラック幅Ｂを広くする。この様な構成により磁
気ディスクの偏心等により多少トラックずれを起こして
もトラック部4aが磁気ヘッド８のギャップ部8aから外れ
ないので、再生出力のばらつきは小さくなる。2. Description of the Related Art In a magnetic disk drive for data recording, shortening of access time and speeding up of transfer rate have been promoted. In order to realize this, development of a magnetic recording medium with a higher track density is being promoted. FIG. 6 is a partial sectional view showing a conventional magnetic disk. In FIG. 6, 1 is a glass substrate, 2 is a base film, and the base film 2 is made of a material such as Cr. Reference numeral 3 denotes a magnetic film, and the magnetic film 3 is made of a magnetic material such as a CoNi alloy. Numeral 4 denotes a plurality of grooves directed to the magnetic film 3. Each of the grooves 4 is formed concentrically with the magnetic film 3, and a track portion 4a for recording data is provided between the grooves 4. Is provided. Reference numeral 5 denotes a protective film formed on the magnetic film 3, and the protective film 5 is made of a material such as Cr. Reference numeral 6 denotes a lubricating film provided on the protective film 5,
Is made of carbon or the like. The magnetic disk 7 is configured as described above. Further, as shown in FIG. 7, in the magnetic head 8 for recording and reproducing data from the magnetic disk 7, the track width B of the gap portion 8a of the magnetic head 8 is made wider than the width A of the track portion 4a. With such a configuration, even if the track is slightly displaced due to eccentricity of the magnetic disk or the like, the track portion 4a does not deviate from the gap portion 8a of the magnetic head 8, so that the variation in reproduction output is reduced.
以下この磁気ディスク８の製造方法について説明す
る。まずガラス基板１の上にCrにより成形される下地膜
2,磁性膜３を順に形成する。次に磁性膜３の上にフォト
レジスト膜を形成し、同心円状のスリットを設けたフォ
トマスクを被せた後に紫外線を照射した後にフォトレジ
スト膜の紫外線が当たった部分を現像液で洗い流して、
現像し、同心円状のマスクパターンを形成する。その後
にイオンミーリング等によって物理的エッチングを行な
い、溝４を形成する。この上に保護膜5,潤滑膜６を順に
形成し磁気ディスク８を形成していた。Hereinafter, a method for manufacturing the magnetic disk 8 will be described. First, a base film formed of Cr on the glass substrate 1
2. The magnetic film 3 is formed in order. Next, a photoresist film is formed on the magnetic film 3, and after covering with a photomask provided with concentric slits, the portion of the photoresist film that has been exposed to ultraviolet light is irradiated with ultraviolet light, and then the portion of the photoresist film irradiated with ultraviolet light is washed away with a developing solution.
Develop and form a concentric mask pattern. Thereafter, physical etching is performed by ion milling or the like to form the groove 4. On this, a protective film 5 and a lubricating film 6 are formed in this order to form a magnetic disk 8.
発明が解決しようとする課題 しかしながら、前記従来の製造方法では溝４を形成
し、トラック部4aを形成する際に、フォトレジスト膜を
磁性膜４の上に直に付けしていたので、フォトレジスト
膜によって磁性膜４が腐食したり、又イオンミーリング
によって物理的エッチングを行う時に磁性膜が酸化して
しまう事があった。又フォトレジスト膜を現像液による
洗い落としが充分でない場合には、磁性膜４の上にフォ
トレジスト膜が一部残る事があり、記録再生の際にその
残ったものが悪影響を及ぼし、再生出力の低下等の問題
を引き起こしていた。又磁気ディスク７をスピンドルに
取りつける際に、磁気ディスク７に設けられている各溝
４の中心とスピンドルの中心を一致させないと、トラッ
ク部4aに偏心が起こり、回転にともなってトラックずれ
を起こすので、溝４の中心とスピンドルの回転中心が一
致する様に磁気ディスク７をスピンドルに取りつけなけ
ればならなかったが、この作業は大変難しく、作業性が
悪かった。従って生産性が向上しないとう問題点があっ
た。However, in the above-described conventional manufacturing method, when forming the groove 4 and forming the track portion 4a, the photoresist film is directly attached on the magnetic film 4, so that the photoresist The magnetic film 4 may be corroded by the film, or the magnetic film may be oxidized when performing physical etching by ion milling. If the photoresist film is not sufficiently washed off with a developing solution, a part of the photoresist film may remain on the magnetic film 4, and the remaining film exerts an adverse effect upon recording / reproduction, and the reproduction output is reduced. This caused problems such as decline. If the center of each groove 4 provided on the magnetic disk 7 is not aligned with the center of the spindle when the magnetic disk 7 is mounted on the spindle, the track portion 4a will be eccentric and the track will be shifted with rotation. The magnetic disk 7 had to be mounted on the spindle so that the center of the groove 4 coincided with the center of rotation of the spindle, but this operation was very difficult and the workability was poor. Therefore, there is a problem that productivity is not improved.
本発明は前記従来の問題点を解決しようとするもの
で、磁性膜を腐食させる事なく、トラック部を形成する
事でき、又磁気記録媒体を位置合わせしながらスピンド
ルを取り付けなくてもすみ、作業性の向上する磁気記録
媒体及びその製造方法を提供する事を目的としている。The present invention is intended to solve the above-mentioned conventional problems, and it is possible to form a track portion without corroding a magnetic film, and it is not necessary to attach a spindle while aligning a magnetic recording medium. It is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium having improved performance and a method of manufacturing the same.
課題を解決するための手段 この目的を達成するために、基板部にスピンドル部を
取り付け、そのスピンドル部を中心に回転させながら、
高エネルギービームを磁性膜表面に照射して、磁性膜を
酸化させた。Means for Solving the Problems In order to achieve this object, a spindle unit is attached to the substrate unit, and while rotating around the spindle unit,
The surface of the magnetic film was irradiated with a high energy beam to oxidize the magnetic film.
作用 この構成により、磁性膜のレーザーを照射した部分は
非磁性部分となり、その非磁性部分の間を記録領域とし
て用いる事ができる。Operation With this configuration, the portion of the magnetic film irradiated with the laser becomes a non-magnetic portion, and the space between the non-magnetic portions can be used as a recording area.
実施例 第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の製
造方法の概略を示す図である。９は磁気ディスク10を支
持して回転させるスピンドル、11はレーザーの光源、12
は光源11から発射されたレーザーを磁気ディスク10上に
所定のスポット径に絞りこむ集光用のレンズ、13はフォ
ーカシング制御装置であり、フォーカシング制御装置13
は第１図に示す矢印M,N方向に磁気ディスク10が振動し
て、磁気ディスク10上のレーザーのスポット径が変動す
るのを抑制するためのものである。フォーカシング制御
装置13はレーザーの磁気ディスク10から反射してきた反
射光からレンズ12と磁気ディスク10間の距離を検出し
て、スポット径が一定になる様にレンズ12を移動させ、
磁気ディスク10上のスポット径を一定に保つ様にしてい
る。光源11,レンズ12,フォーカシング制御装置13でレー
ザー照射装置14を構成している。15はレーザー照射装置
14を磁気ディスク10の半径方向に移動させるヘッドポジ
ショナ、16はヘッドポジショナ15から送られてくるレー
ザー照射装置14の位置データを基に、磁気ディスク10の
レーザー照射部分の周速度がどの照射位置においても一
定になる様にスピンドル９の回転周期を制御する回転制
御装置である。すなわち回転制御装置16は単位長さ当た
りの照射エネルギー量が一定になるようにスピンドル９
の回転周期を制御している。Embodiment FIG. 1 is a view schematically showing a method of manufacturing a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention. 9 is a spindle for supporting and rotating the magnetic disk 10, 11 is a laser light source, 12
Is a condensing lens for converging the laser emitted from the light source 11 to a predetermined spot diameter on the magnetic disk 10, 13 is a focusing control device, and 13 is a focusing control device.
Is to suppress the fluctuation of the laser spot diameter on the magnetic disk 10 due to the vibration of the magnetic disk 10 in the directions of the arrows M and N shown in FIG. The focusing control device 13 detects the distance between the lens 12 and the magnetic disk 10 from the reflected light of the laser reflected from the magnetic disk 10, and moves the lens 12 so that the spot diameter becomes constant.
The spot diameter on the magnetic disk 10 is kept constant. The light source 11, the lens 12, and the focusing control device 13 constitute a laser irradiation device 14. 15 is a laser irradiation device
A head positioner that moves 14 in the radial direction of the magnetic disk 10, and a head positioner 16 based on the position data of the laser irradiation device 14 sent from the head positioner 15, at which irradiation position the peripheral speed of the laser irradiation part of the magnetic disk 10 is Is a rotation control device that controls the rotation cycle of the spindle 9 so that the rotation speed is also constant. That is, the rotation control device 16 controls the spindle 9 so that the irradiation energy amount per unit length becomes constant.
Is controlled.
第２図は本実施例で用いた磁気ディスクの断面図であ
る。表面硬化処理を施した、平滑で清浄なガラス基板10
0の上にDCマグネトロンスパッタ法を用いてCrよりなる
下地膜17を4000Åの膜厚になる様に成膜する。その後に
DCマグネトロンスパッタ法を用いて磁性膜18を下地膜17
の上に600Åの膜厚になる様に成膜する。磁性膜18の材
料はCr濃度が30％以下のCo−Ni−Cr合金である。Cr濃度
を30％ととしたのはCr濃度が30％を越してしまうと非磁
性となってしまうからである。FIG. 2 is a sectional view of the magnetic disk used in this embodiment. Surface hardened, smooth and clean glass substrate 10
A base film 17 made of Cr is formed on the substrate 0 using a DC magnetron sputtering method so as to have a thickness of 4000 Å. Then
Using the DC magnetron sputtering method, the magnetic film 18 is
Is formed to a thickness of 600 mm on the substrate. The material of the magnetic film 18 is a Co—Ni—Cr alloy having a Cr concentration of 30% or less. The reason for setting the Cr concentration to 30% is that if the Cr concentration exceeds 30%, it becomes non-magnetic.
この様に構成された磁性ディスク10にスピンドル９を
取り付け、モーター等の駆動手段（図示せず）によっ
て、スピンドル９を中心に回転させる。次に波長830nm,
出力50mWの半導体レーザーを用いた光源11からのレーザ
ーをレンズ12により磁気ディスク10の表面にスポット径
が３μｍになるように集光させる。この時レーザーは大
気中で照射する。この様にしてレーザーが照射された磁
性膜18の部分には熱が発生する。この時、磁性膜18は短
時間で高温になり、酸化して磁性を失い非磁性部分とな
る。一方レーザーを照射しない部分の磁性はそのままで
ある。これは実際にカー効果により測定した飽和磁化の
レーザーの照射の有無による変化を第３図に示す。この
図からレーザーの照射した部分は非磁性体になっている
事が分かる。すなわち、この磁性膜18のレーザーを照射
していない部分をトラック部としてデータの記録再生を
行う。The spindle 9 is mounted on the magnetic disk 10 configured as described above, and is rotated about the spindle 9 by driving means (not shown) such as a motor. Next, the wavelength 830nm,
A laser from a light source 11 using a semiconductor laser with an output of 50 mW is focused on the surface of the magnetic disk 10 by a lens 12 so that a spot diameter becomes 3 μm. At this time, the laser is irradiated in the atmosphere. In this way, heat is generated in the portion of the magnetic film 18 irradiated with the laser. At this time, the temperature of the magnetic film 18 becomes high in a short time, and the magnetic film 18 is oxidized and loses magnetism to become a nonmagnetic portion. On the other hand, the magnetism of the portion not irradiated with the laser remains unchanged. FIG. 3 shows the change in the saturation magnetization actually measured by the Kerr effect depending on the presence or absence of laser irradiation. From this figure, it can be seen that the portion irradiated with the laser is a non-magnetic material. That is, data recording / reproducing is performed using the portion of the magnetic film 18 not irradiated with the laser as a track portion.
以上の様に磁性膜18表面にレーザーを照射し、磁性膜
18を酸化させる事で非磁性部分を形成し、複数のトラッ
ク部を有する磁気記録媒体を作成する事ができる。この
時従来の様にフォトレジストを用いずにトラック部を形
成する事が出来るので、フォトレジストによって磁性膜
18が腐食したり、又磁性膜18の上にフォトレジストのが
残留する事はない。又スピンドル９に磁気ディスクを取
り付けた後に、磁気ディスクを回転させ、レーザーを照
射し、トラック部を形成したので、従来の様にトラック
部の中心とスピンドルの中心を一致させるという難しい
工程を省く事ができるので作業性が良くなり生産性が向
上する。この様に構成された磁気ディスクと、この磁気
ディスクのトラック部の幅よりも長さの短いトラック幅
を有した磁気ヘッドを組み合わせて、再生出力のばらつ
きを小さくする事ができる。なお本実施例においてはレ
ーザーによって磁性膜18を酸化させたが、磁性膜18を酸
化する事ができる他の高エネルギービームでも良い。又
本実施例では磁気ディスクの例を示したが光磁気ディス
クでも良い。As described above, the surface of the magnetic film 18 is irradiated with the laser,
By oxidizing 18, a non-magnetic portion is formed, and a magnetic recording medium having a plurality of track portions can be produced. At this time, the track portion can be formed without using a photoresist as in the conventional case.
There is no corrosion of the photoresist 18 and no photoresist remaining on the magnetic film 18. After the magnetic disk is mounted on the spindle 9, the magnetic disk is rotated, laser is irradiated, and the track portion is formed. Therefore, it is possible to eliminate the difficult process of aligning the center of the track portion with the center of the spindle as in the related art. , The workability is improved and the productivity is improved. By combining the magnetic disk configured as described above and a magnetic head having a track width shorter than the width of the track portion of the magnetic disk, it is possible to reduce variations in reproduction output. In this embodiment, the magnetic film 18 is oxidized by the laser, but another high energy beam that can oxidize the magnetic film 18 may be used. In this embodiment, an example of a magnetic disk is shown, but a magneto-optical disk may be used.
第４図は他の実施例を示す部分拡大断面図である。第
４図において19はガラス基板、20はガラス基板19の上に
形成され、Crでできた下地膜で、下地膜20はDCマグネト
ロンスパッタ法によって構成されている。21は下地膜20
の上に形成された磁性膜で、磁性膜21はDCマグネトロン
スパッタ法によって構成され、材料はCoNi合金である。
22はCrで構成され磁性膜21の上に設けられた膜厚200Å
の保護膜で、保護膜22は、DCマグネトロンスパッタ法に
よって構成される。この保護膜22は耐食性を向上させる
ために設けられいる。23は保護膜22の上に構成された膜
厚100Åの潤滑膜で、潤滑膜23はDCマグネトロンスパッ
タ法によって形成され、その材料はカーボンである。こ
の様に磁気ディスク24は形成される。この様に構成され
た磁気ディスク24をスピンドル９にセットする。波長83
0nm,出力100mWの半導体レーザーを用いた光源11から出
たレーザーをレンズ12により磁気ディスク24の表面にス
ポット径が３μｍになるように集光させる。この時磁気
ディスク10は回転しており、レーザーは大気中で照射す
る。この様にして磁気ディスク24のレーザーが照射され
た部分に熱が発生し、熱は磁気ディスク24の深さ方向に
も伝搬し、この熱によって保護膜22と磁性膜21かもしく
は下地膜20と磁性膜21の間に相互拡散が起こりそれぞれ
が合金化し、レーザーが照射された部分の下方の磁性膜
がCo−Ni−Cr合金にかわる。この様な場合Co−Ni−Cr合
金はCr濃度が30％をこえ、レーザーが照射された部分の
下方の磁性膜は非磁性部分となる。一方レーザーを照射
ない部分の磁性はそのままである。レーザーの照射の有
無による飽和磁化の変化の状態をカー効果により測定し
第５図に示す。この図からレーザーの照射した部分は磁
性を失っている事が分かる。すなわち、この磁性膜21の
非磁性体に成っていない部分をトラック部としてデータ
の記録再生領域として用いる。FIG. 4 is a partially enlarged sectional view showing another embodiment. In FIG. 4, reference numeral 19 denotes a glass substrate, and reference numeral 20 denotes a base film formed on the glass substrate 19 and made of Cr. The base film 20 is formed by a DC magnetron sputtering method. 21 is the base film 20
The magnetic film 21 is formed by DC magnetron sputtering, and is made of a CoNi alloy.
Reference numeral 22 denotes a film thickness of 200 構成 made of Cr and provided on the magnetic film 21.
The protective film 22 is formed by a DC magnetron sputtering method. This protective film 22 is provided to improve corrosion resistance. Reference numeral 23 denotes a lubricating film having a thickness of 100 mm formed on the protective film 22. The lubricating film 23 is formed by DC magnetron sputtering, and its material is carbon. Thus, the magnetic disk 24 is formed. The magnetic disk 24 thus configured is set on the spindle 9. Wavelength 83
A laser emitted from a light source 11 using a semiconductor laser of 0 nm and output of 100 mW is focused on the surface of a magnetic disk 24 by a lens 12 so that a spot diameter becomes 3 μm. At this time, the magnetic disk 10 is rotating, and the laser is irradiated in the atmosphere. In this way, heat is generated in the portion of the magnetic disk 24 irradiated with the laser, and the heat also propagates in the depth direction of the magnetic disk 24, and this heat causes the protection film 22 and the magnetic film 21 or the base film 20 to be in contact with each other. Interdiffusion occurs between the magnetic films 21 to form alloys, and the magnetic film below the portion irradiated with the laser is replaced with a Co-Ni-Cr alloy. In such a case, the Cr concentration of the Co-Ni-Cr alloy exceeds 30%, and the magnetic film below the portion irradiated with the laser becomes a non-magnetic portion. On the other hand, the magnetism of the portion not irradiated with the laser remains unchanged. The state of change in saturation magnetization depending on the presence or absence of laser irradiation was measured by the Kerr effect and is shown in FIG. From this figure, it can be seen that the portion irradiated with the laser has lost magnetism. That is, a portion of the magnetic film 21 that is not made of a non-magnetic material is used as a data recording / reproducing region as a track portion.
以上の様に磁気ディスク表面にレーザーを照射し、磁
性膜21と下地膜20及び保護膜22を合金化させる事で非磁
性部分を形成し、複数のトラック部を有する磁気記録媒
体を作成する事ができる。この時従来の様にフォトレジ
ストを用いずにトラック部を形成する事が出来るので、
フォトレジストによって磁性膜21が腐食したり、又磁性
膜21の上にフォトレジストのかすが残る事はない。又ス
ピンドル９を取り付けた後に、レーザーを照射し、トラ
ック部を形成したので、従来の様にトラック部の中心と
スピンドルの中心を一致せる様に取り付けるという難し
い工程を省く事ができるので作業性が良くなり生産性が
向上する。この様に構成された磁気ディスクと、この磁
気ディスクのトラック部の幅よりも長さの短いトラック
幅を有した磁気ヘッドを組み合わせて、再生出力のばら
つきを小さくする事ができる。なお本実施例においては
レーザーによって磁性膜21を下地膜20及び保護膜22を合
金化させたが、他の高エネルギービームでも良い。又本
実施例では磁気ディスクの例を示したが光磁気ディスク
でも良い。As described above, a magnetic recording medium having a plurality of track portions is formed by irradiating a laser to the surface of the magnetic disk and alloying the magnetic film 21 with the base film 20 and the protective film 22 to form a non-magnetic portion. Can be. At this time, since the track portion can be formed without using a photoresist as in the conventional case,
The magnetic film 21 is not corroded by the photoresist, and no residue of the photoresist remains on the magnetic film 21. Also, since the track is formed by irradiating the laser after the spindle 9 is mounted, it is possible to omit a difficult process of mounting the track 9 so that the center of the track and the center of the spindle coincide with each other, thereby improving workability. Better and more productive. By combining the magnetic disk configured as described above and a magnetic head having a track width shorter than the width of the track portion of the magnetic disk, it is possible to reduce variations in reproduction output. In the present embodiment, the magnetic film 21 is alloyed with the base film 20 and the protective film 22 by laser, but other high energy beams may be used. In this embodiment, an example of a magnetic disk is shown, but a magneto-optical disk may be used.
なお本実施例では磁性膜の材料にCo−Ni−CrやCo−Ni
合金を用いたが、Co−Cr−,Fe−Co−Cr,Co−Pt,Co−Ni
−Pt,Tb−Fe,Tb−Fe−Co合金でも良い。In this embodiment, the material of the magnetic film is Co-Ni-Cr or Co-Ni.
Although alloys were used, Co-Cr-, Fe-Co-Cr, Co-Pt, Co-Ni
-Pt, Tb-Fe, or Tb-Fe-Co alloy may be used.
発明の効果 本発明は、基板部にスピンドル部を取り付け、そのス
ピンドル部を中心に回転させながら、高エネルギービー
ムを磁性膜表面に照射して、磁性膜を酸化させたので、
磁性膜のレーザーを照射した部分は非磁性部分となり、
その非磁性部分の間を記録領域として用いる事ができる
ので、従来の様にトラック部を形成する時にフォトレジ
ストを用いなくても良く、磁性膜の腐食が起こらない。
又従来の様に同心円のトラック部の中心とスピンドルと
回転中心を合わせながら磁気記録媒体にスピンドルを取
り付けるという難しい工程を省く事ができるので、作業
性が良くなり、生産性が向上する。Effect of the Invention The present invention attaches a spindle unit to the substrate unit, irradiates a high-energy beam to the magnetic film surface while rotating around the spindle unit, and oxidizes the magnetic film.
The part of the magnetic film irradiated with the laser becomes a non-magnetic part,
Since the space between the non-magnetic portions can be used as a recording area, a photoresist does not have to be used at the time of forming the track portion as in the conventional case, and the corrosion of the magnetic film does not occur.
Further, it is possible to omit a difficult step of attaching the spindle to the magnetic recording medium while aligning the center of the concentric track portion with the center of rotation of the spindle as in the related art, thereby improving workability and improving productivity.
第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の製造
方法を示す概略図、第２図は本実施例の製造方法によっ
て作成された磁気ディスクの断面図、第３図は磁気ディ
スクの半径方向の飽和磁化の仕方を示す図、第４図は本
実施例の製造方法によって作成された他の磁気ディスク
の断面図、第５図は磁気ディスクの半径方向の飽和磁化
の仕方を示す図、第６図は従来の磁気ディスクを示す断
面図、第７図は磁気ディスクと磁気ヘッドの関係を示す
側面図である。 ９……スピンドル 10……磁気ディスク 11……光源 12……レンズ 13……フォーカシング制御装置 14……レーザー照射装置 15……ヘッドポジショナ 16……回転制御装置 100……ガラス基板 17……下地膜 18……磁性膜 19……ガラス基板 20……下地膜 21……磁性膜 22……保護膜 23……潤滑膜 24……磁気ディスクFIG. 1 is a schematic view showing a method of manufacturing a magnetic recording medium according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of a magnetic disk produced by the manufacturing method of this embodiment, and FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view of another magnetic disk produced by the manufacturing method of the present embodiment, FIG. 4 is a diagram showing the radial magnetization of the magnetic disk, and FIG. FIG. 6 is a sectional view showing a conventional magnetic disk, and FIG. 7 is a side view showing a relationship between the magnetic disk and a magnetic head. 9: Spindle 10: Magnetic disk 11: Light source 12: Lens 13: Focusing control device 14: Laser irradiation device 15: Head positioner 16: Rotation control device 100: Glass substrate 17: Base film 18 Magnetic film 19 Glass substrate 20 Underlayer 21 Magnetic film 22 Protective film 23 Lubricating film 24 Magnetic disk
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/84 - 5/85 G11B 5/82──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G11B 5/84-5/85 G11B 5/82
Claims (7)
ル部を取り付け、前記基板部を前記スピンドル部を中心
に回転させながら、前記磁性膜表面に高エネルギービー
ムを照射部分の軌跡が同心円か又はスパイラル状となる
様に照射し、前記照射部分を酸化させる事を特徴とする
磁気記録媒体の製造方法。1. A spindle section is mounted on a substrate section on which a magnetic film is formed on a surface, and while the substrate section is rotated about the spindle section, a locus of a portion irradiated with a high energy beam on the magnetic film surface is concentric. Alternatively, a method for manufacturing a magnetic recording medium, comprising irradiating the film with a spiral shape and oxidizing the irradiated portion.
を特徴とする請求項第１項記載の磁気記録媒体の製造方
法。2. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the high energy beam is a laser.
素を含む合金からなる事を特徴とする請求項第１項記載
の磁気記録媒体の製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the magnetic film is made of an alloy containing at least one of Fe, Co, and Ni.
層し、前記基板部にスピンドル部を一体に取り付け、前
記基板部を前記スピンドル部を中心に回転させながら、
前記薄膜の表面に高エネルギービームを照射部分の軌跡
が同心円か又はスパイラル状となる様に照射し、前記照
射部分の磁性膜及び前記磁性膜に隣接する薄膜を加熱
し、熱によって前記磁性膜と前記磁性膜に隣接している
薄膜を合金化させる事を特徴とする磁気記録媒体の製造
方法。4. A method according to claim 1, further comprising laminating a plurality of thin films including a magnetic film on the substrate, attaching a spindle unit to the substrate unit, and rotating the substrate unit around the spindle unit.
The surface of the thin film is irradiated with a high-energy beam such that the trajectory of the irradiated portion is concentric or spiral, and the magnetic film of the irradiated portion and the thin film adjacent to the magnetic film are heated. A method for manufacturing a magnetic recording medium, comprising alloying a thin film adjacent to the magnetic film.
を特徴とする請求項第４項記載の磁気記録媒体の製造方
法。5. The method according to claim 4, wherein the high energy beam is a laser.
素を含む合金からなる事を特徴とする請求項第４項記載
の磁気記録媒体の製造方法。6. The method according to claim 4, wherein the magnetic film is made of an alloy containing at least one element of Fe, Co, and Ni.
を特徴とする請求項第４項記載の磁気記録媒体の製造方
法。7. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 4, wherein the thin film adjacent to the magnetic film is made of Cr.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1084452A JP2765030B2 (en) | 1989-04-03 | 1989-04-03 | Manufacturing method of magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1084452A JP2765030B2 (en) | 1989-04-03 | 1989-04-03 | Manufacturing method of magnetic recording medium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02263320A JPH02263320A (en) | 1990-10-26 |
| JP2765030B2 true JP2765030B2 (en) | 1998-06-11 |
Family
ID=13831013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1084452A Expired - Lifetime JP2765030B2 (en) | 1989-04-03 | 1989-04-03 | Manufacturing method of magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2765030B2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58212624A (en) * | 1982-06-04 | 1983-12-10 | Fujitsu Ltd | magnetic disk |
| JPS6295719A (en) * | 1985-10-19 | 1987-05-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Magnetic recording medium and its production |
| JPS6295734A (en) * | 1985-10-19 | 1987-05-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Magnetic recording medium and its production |
-
1989
- 1989-04-03 JP JP1084452A patent/JP2765030B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02263320A (en) | 1990-10-26 |
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