JP2732413B2 - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JP2732413B2 JP2732413B2 JP1294871A JP29487189A JP2732413B2 JP 2732413 B2 JP2732413 B2 JP 2732413B2 JP 1294871 A JP1294871 A JP 1294871A JP 29487189 A JP29487189 A JP 29487189A JP 2732413 B2 JP2732413 B2 JP 2732413B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- acceleration sensor
- fixed
- bimorphs
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、振動検知,加速度測定等に使用される加速
度センサに関するものである。
度センサに関するものである。
(従来の技術) 従来のこの種の加速度センサについて、第2図により
説明する。
説明する。
同図は、従来の加速度センサの分解斜視図で、2枚の
圧電セラミック1aおよび1bの間に金属箔1cを接着剤で貼
り合わせた圧電バイモルフ1を、ほぼ中央に矩形窓2a
と、その片側に電極となる配線パターン2bおよび2cとを
それぞれ形成した基板2の配線パターン2c上に接着剤で
固定し、さらに、上記の配線パターン2bと圧電バイモル
フ1の圧電セラミック1aとリード線3をはんだ付けして
接続した本体と、本体に固着して、上記の圧電バイモル
フ1を保護する方形のケース4とから構成されている。
圧電セラミック1aおよび1bの間に金属箔1cを接着剤で貼
り合わせた圧電バイモルフ1を、ほぼ中央に矩形窓2a
と、その片側に電極となる配線パターン2bおよび2cとを
それぞれ形成した基板2の配線パターン2c上に接着剤で
固定し、さらに、上記の配線パターン2bと圧電バイモル
フ1の圧電セラミック1aとリード線3をはんだ付けして
接続した本体と、本体に固着して、上記の圧電バイモル
フ1を保護する方形のケース4とから構成されている。
このように構成された加速度センサの動作について説
明する。
明する。
まず、測定しようとする振動体に、上記のケース4を
ねじ止めして、加速度センサを取り付ける。振動体の振
動は、ケース4を介して基板2に伝わり、圧電バイモル
フ1を振動させる結果、振動に応じて発生する電圧がリ
ード線3および配線パターン2bおよび2cを通し取り出せ
る。
ねじ止めして、加速度センサを取り付ける。振動体の振
動は、ケース4を介して基板2に伝わり、圧電バイモル
フ1を振動させる結果、振動に応じて発生する電圧がリ
ード線3および配線パターン2bおよび2cを通し取り出せ
る。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記の構成では、圧電バイモルフ1が
1枚のため、これに直交する振動方向にしか検出でき
ず、従って複数の振動を検知するには複数の加速度セン
サを設置する必要があるという問題があった。
1枚のため、これに直交する振動方向にしか検出でき
ず、従って複数の振動を検知するには複数の加速度セン
サを設置する必要があるという問題があった。
本発明は、上記の問題点を解決するもので、複数の振
動検知ができる組立が容易な加速度センサを提供するも
のである。
動検知ができる組立が容易な加速度センサを提供するも
のである。
(課題を解決するための手段) 上記の課題を解決するため、本発明は、2個の圧電バ
イモルフを使用し、スリットを同軸上に90゜ずらせて設
けた固定柱に固定するものである。
イモルフを使用し、スリットを同軸上に90゜ずらせて設
けた固定柱に固定するものである。
(作 用) 上記の構成により、1個の加速度センサの中に、互い
に直交する2個の圧電バイモルフが収納されるので、1
個の加速度センサで2軸方向の振動が測定できる。
に直交する2個の圧電バイモルフが収納されるので、1
個の加速度センサで2軸方向の振動が測定できる。
(実施例) 本発明の一実施例について第1図の分解斜視図により
説明する。
説明する。
同図において、2個の圧電バイモルフ5および6は、
それぞれ2枚の圧電セラミック5aと5b、および6aと6bの
間に金属箔5cおよび6cを直列に固着したものである。
それぞれ2枚の圧電セラミック5aと5b、および6aと6bの
間に金属箔5cおよび6cを直列に固着したものである。
上記の圧電バイモルフ5および6を固定する固定柱7
は、相対向する2側面に水平ん方向の一軸上に、互いに
直交するスリット8を形成し、これに絶縁板9および10
によって、上記のそれぞれの圧電バイモルフ5および6
と、金属箔5cおよび6cが、それぞれ上記の固定柱7と絶
縁された状態で嵌め込まれて、固定されている。
は、相対向する2側面に水平ん方向の一軸上に、互いに
直交するスリット8を形成し、これに絶縁板9および10
によって、上記のそれぞれの圧電バイモルフ5および6
と、金属箔5cおよび6cが、それぞれ上記の固定柱7と絶
縁された状態で嵌め込まれて、固定されている。
配線基板11は、両端にそれぞれ出力端子部12a,13aお
よび14aを設けた3本の配線パターン12,13および14が形
成されており、その中央の配線パターン13には、さらに
上記の固定柱7を装着する固定部13bが形成されてい
る。なお、上記の固定柱7と絶縁された圧電セラミック
5aおよび6aと、上記の配線基板11の両側の配線パターン
12および14とは、それぞれ両端ではんだ付けされたリー
ド線16および15で電気的に接続する。
よび14aを設けた3本の配線パターン12,13および14が形
成されており、その中央の配線パターン13には、さらに
上記の固定柱7を装着する固定部13bが形成されてい
る。なお、上記の固定柱7と絶縁された圧電セラミック
5aおよび6aと、上記の配線基板11の両側の配線パターン
12および14とは、それぞれ両端ではんだ付けされたリー
ド線16および15で電気的に接続する。
キャップ17は、底面が開放された方形の箱で、配線基
板11に固着し、圧電バイモルフ5および6を保護するも
のである。
板11に固着し、圧電バイモルフ5および6を保護するも
のである。
次に、本実施例の組立て順序について説明する。
まず、2枚の圧電バイモルフ5および6の片面の圧電
セラミック5aおよび6aの端部からその端面に掛けて、絶
縁板9および10をそれぞれ貼り付ける。次に、固定柱7
の両側面のスリット8に、上記の圧電バイモルフ5およ
び6を、貼付した絶縁板9および10とともに挿入し、接
着剤で固定した後、配線基板11に形成された配線パター
ン13の固定部13bにはんだ付けする。次に、それぞれの
圧電セラミック5aおよび6aと、配線基板11の両側の配線
パターン14および12とに、2本のリード線15および16の
それぞれの両端をはんだ付けして接続する。
セラミック5aおよび6aの端部からその端面に掛けて、絶
縁板9および10をそれぞれ貼り付ける。次に、固定柱7
の両側面のスリット8に、上記の圧電バイモルフ5およ
び6を、貼付した絶縁板9および10とともに挿入し、接
着剤で固定した後、配線基板11に形成された配線パター
ン13の固定部13bにはんだ付けする。次に、それぞれの
圧電セラミック5aおよび6aと、配線基板11の両側の配線
パターン14および12とに、2本のリード線15および16の
それぞれの両端をはんだ付けして接続する。
最後に、キャップ17を配線基板11に接着固定すると、
加速度センサが完成する。
加速度センサが完成する。
このように構成された加速度センサは、配線基板11を
物体の振動部に取り付け、出力端子部12a,13aおよび14a
と測定装置(図示せず)を接続する。
物体の振動部に取り付け、出力端子部12a,13aおよび14a
と測定装置(図示せず)を接続する。
この実施例において物体の振動は、配線基板11および
固定柱7を介して圧電バイモルフ5および6に伝わり、
圧電バイモルフ5および6がそれぞれたわむ結果、圧電
バイモルフ5および6に発生した電圧がリード線15およ
び16および配線基板11の配線パターン12,13および14を
介して、出力端子部12a,13aおよび14aから取り出され
る。
固定柱7を介して圧電バイモルフ5および6に伝わり、
圧電バイモルフ5および6がそれぞれたわむ結果、圧電
バイモルフ5および6に発生した電圧がリード線15およ
び16および配線基板11の配線パターン12,13および14を
介して、出力端子部12a,13aおよび14aから取り出され
る。
又、2枚の圧電バイモルフ5および6が90゜ずらせて
直交するように配置されているので2方向の振動モード
が測定できる。
直交するように配置されているので2方向の振動モード
が測定できる。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば2軸の振動が1
個の加速度センサで測定できる。
個の加速度センサで測定できる。
また、スリットを設けた金属製の固定柱を採用してい
るので、2方向の振動モードに拘らず2本のリード線の
みとなり組立てが容易な加速度センサが得られる。
るので、2方向の振動モードに拘らず2本のリード線の
みとなり組立てが容易な加速度センサが得られる。
第1図(a),(b),(c)は本発明による加速度セ
ンサの分解斜視図、第2図は従来の加速度センサの分解
斜視図である。 1,5,6……圧電バイモルフ、1a,1b,5a,5b,6a,6b……圧電
セラミック、1c,5c,6c……金属箔、2……基板、2a……
矩形窓、2b,2c,12,13,14……配線パターン、3,15,16…
…リード線、4……ケース、7……固定柱、8……スリ
ット、9,10……絶縁板、12a,13a,14a……出力端子部、1
3b……固定部、17……キャップ。
ンサの分解斜視図、第2図は従来の加速度センサの分解
斜視図である。 1,5,6……圧電バイモルフ、1a,1b,5a,5b,6a,6b……圧電
セラミック、1c,5c,6c……金属箔、2……基板、2a……
矩形窓、2b,2c,12,13,14……配線パターン、3,15,16…
…リード線、4……ケース、7……固定柱、8……スリ
ット、9,10……絶縁板、12a,13a,14a……出力端子部、1
3b……固定部、17……キャップ。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−195573(JP,A) 特開 平3−54476(JP,A) 特開 平3−41367(JP,A) 特開 平2−52255(JP,A) 特開 平2−297067(JP,A) 特開 平2−236458(JP,A) 特開 昭57−139664(JP,A) 実開 昭61−185164(JP,U) 実開 昭63−97860(JP,U)
Claims (2)
- 【請求項1】2枚の矩形状圧電セラミックの間に金属箔
を直列に接着した2個の圧電バイモルフを、固定柱の両
側面にそれぞれ直交するように同軸上に設けたスリット
に固定した加速度センサ。 - 【請求項2】固定柱を電気の良導体で構成したことを特
徴とする請求項(1)記載の加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1294871A JP2732413B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1294871A JP2732413B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 加速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03156375A JPH03156375A (ja) | 1991-07-04 |
JP2732413B2 true JP2732413B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=17813328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1294871A Expired - Lifetime JP2732413B2 (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2732413B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012184993A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Nec Tokin Corp | 圧電式加速度センサ |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110002458A (ko) | 2008-03-27 | 2011-01-07 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 일렉트릿 및 정전 유도형 변환 소자 |
KR101467017B1 (ko) | 2008-03-31 | 2014-12-01 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 가속도 센서 장치 및 센서 네트워크 시스템 |
WO2009128503A1 (ja) | 2008-04-17 | 2009-10-22 | 旭硝子株式会社 | エレクトレットおよび静電誘導型変換素子 |
WO2010032759A1 (ja) | 2008-09-19 | 2010-03-25 | 旭硝子株式会社 | エレクトレット及び静電誘導型変換素子 |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP1294871A patent/JP2732413B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012184993A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Nec Tokin Corp | 圧電式加速度センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03156375A (ja) | 1991-07-04 |
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