[go: up one dir, main page]

JP2732413B2 - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

Info

Publication number
JP2732413B2
JP2732413B2 JP1294871A JP29487189A JP2732413B2 JP 2732413 B2 JP2732413 B2 JP 2732413B2 JP 1294871 A JP1294871 A JP 1294871A JP 29487189 A JP29487189 A JP 29487189A JP 2732413 B2 JP2732413 B2 JP 2732413B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
acceleration sensor
fixed
bimorphs
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1294871A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH03156375A (ja
Inventor
法男 北升
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP1294871A priority Critical patent/JP2732413B2/ja
Publication of JPH03156375A publication Critical patent/JPH03156375A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2732413B2 publication Critical patent/JP2732413B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、振動検知,加速度測定等に使用される加速
度センサに関するものである。
(従来の技術) 従来のこの種の加速度センサについて、第2図により
説明する。
同図は、従来の加速度センサの分解斜視図で、2枚の
圧電セラミック1aおよび1bの間に金属箔1cを接着剤で貼
り合わせた圧電バイモルフ1を、ほぼ中央に矩形窓2a
と、その片側に電極となる配線パターン2bおよび2cとを
それぞれ形成した基板2の配線パターン2c上に接着剤で
固定し、さらに、上記の配線パターン2bと圧電バイモル
フ1の圧電セラミック1aとリード線3をはんだ付けして
接続した本体と、本体に固着して、上記の圧電バイモル
フ1を保護する方形のケース4とから構成されている。
このように構成された加速度センサの動作について説
明する。
まず、測定しようとする振動体に、上記のケース4を
ねじ止めして、加速度センサを取り付ける。振動体の振
動は、ケース4を介して基板2に伝わり、圧電バイモル
フ1を振動させる結果、振動に応じて発生する電圧がリ
ード線3および配線パターン2bおよび2cを通し取り出せ
る。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記の構成では、圧電バイモルフ1が
1枚のため、これに直交する振動方向にしか検出でき
ず、従って複数の振動を検知するには複数の加速度セン
サを設置する必要があるという問題があった。
本発明は、上記の問題点を解決するもので、複数の振
動検知ができる組立が容易な加速度センサを提供するも
のである。
(課題を解決するための手段) 上記の課題を解決するため、本発明は、2個の圧電バ
イモルフを使用し、スリットを同軸上に90゜ずらせて設
けた固定柱に固定するものである。
(作 用) 上記の構成により、1個の加速度センサの中に、互い
に直交する2個の圧電バイモルフが収納されるので、1
個の加速度センサで2軸方向の振動が測定できる。
(実施例) 本発明の一実施例について第1図の分解斜視図により
説明する。
同図において、2個の圧電バイモルフ5および6は、
それぞれ2枚の圧電セラミック5aと5b、および6aと6bの
間に金属箔5cおよび6cを直列に固着したものである。
上記の圧電バイモルフ5および6を固定する固定柱7
は、相対向する2側面に水平ん方向の一軸上に、互いに
直交するスリット8を形成し、これに絶縁板9および10
によって、上記のそれぞれの圧電バイモルフ5および6
と、金属箔5cおよび6cが、それぞれ上記の固定柱7と絶
縁された状態で嵌め込まれて、固定されている。
配線基板11は、両端にそれぞれ出力端子部12a,13aお
よび14aを設けた3本の配線パターン12,13および14が形
成されており、その中央の配線パターン13には、さらに
上記の固定柱7を装着する固定部13bが形成されてい
る。なお、上記の固定柱7と絶縁された圧電セラミック
5aおよび6aと、上記の配線基板11の両側の配線パターン
12および14とは、それぞれ両端ではんだ付けされたリー
ド線16および15で電気的に接続する。
キャップ17は、底面が開放された方形の箱で、配線基
板11に固着し、圧電バイモルフ5および6を保護するも
のである。
次に、本実施例の組立て順序について説明する。
まず、2枚の圧電バイモルフ5および6の片面の圧電
セラミック5aおよび6aの端部からその端面に掛けて、絶
縁板9および10をそれぞれ貼り付ける。次に、固定柱7
の両側面のスリット8に、上記の圧電バイモルフ5およ
び6を、貼付した絶縁板9および10とともに挿入し、接
着剤で固定した後、配線基板11に形成された配線パター
ン13の固定部13bにはんだ付けする。次に、それぞれの
圧電セラミック5aおよび6aと、配線基板11の両側の配線
パターン14および12とに、2本のリード線15および16の
それぞれの両端をはんだ付けして接続する。
最後に、キャップ17を配線基板11に接着固定すると、
加速度センサが完成する。
このように構成された加速度センサは、配線基板11を
物体の振動部に取り付け、出力端子部12a,13aおよび14a
と測定装置(図示せず)を接続する。
この実施例において物体の振動は、配線基板11および
固定柱7を介して圧電バイモルフ5および6に伝わり、
圧電バイモルフ5および6がそれぞれたわむ結果、圧電
バイモルフ5および6に発生した電圧がリード線15およ
び16および配線基板11の配線パターン12,13および14を
介して、出力端子部12a,13aおよび14aから取り出され
る。
又、2枚の圧電バイモルフ5および6が90゜ずらせて
直交するように配置されているので2方向の振動モード
が測定できる。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば2軸の振動が1
個の加速度センサで測定できる。
また、スリットを設けた金属製の固定柱を採用してい
るので、2方向の振動モードに拘らず2本のリード線の
みとなり組立てが容易な加速度センサが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a),(b),(c)は本発明による加速度セ
ンサの分解斜視図、第2図は従来の加速度センサの分解
斜視図である。 1,5,6……圧電バイモルフ、1a,1b,5a,5b,6a,6b……圧電
セラミック、1c,5c,6c……金属箔、2……基板、2a……
矩形窓、2b,2c,12,13,14……配線パターン、3,15,16…
…リード線、4……ケース、7……固定柱、8……スリ
ット、9,10……絶縁板、12a,13a,14a……出力端子部、1
3b……固定部、17……キャップ。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−195573(JP,A) 特開 平3−54476(JP,A) 特開 平3−41367(JP,A) 特開 平2−52255(JP,A) 特開 平2−297067(JP,A) 特開 平2−236458(JP,A) 特開 昭57−139664(JP,A) 実開 昭61−185164(JP,U) 実開 昭63−97860(JP,U)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2枚の矩形状圧電セラミックの間に金属箔
    を直列に接着した2個の圧電バイモルフを、固定柱の両
    側面にそれぞれ直交するように同軸上に設けたスリット
    に固定した加速度センサ。
  2. 【請求項2】固定柱を電気の良導体で構成したことを特
    徴とする請求項(1)記載の加速度センサ。
JP1294871A 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ Expired - Lifetime JP2732413B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1294871A JP2732413B2 (ja) 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1294871A JP2732413B2 (ja) 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03156375A JPH03156375A (ja) 1991-07-04
JP2732413B2 true JP2732413B2 (ja) 1998-03-30

Family

ID=17813328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1294871A Expired - Lifetime JP2732413B2 (ja) 1989-11-15 1989-11-15 加速度センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2732413B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012184993A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Nec Tokin Corp 圧電式加速度センサ

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110002458A (ko) 2008-03-27 2011-01-07 아사히 가라스 가부시키가이샤 일렉트릿 및 정전 유도형 변환 소자
KR101467017B1 (ko) 2008-03-31 2014-12-01 아사히 가라스 가부시키가이샤 가속도 센서 장치 및 센서 네트워크 시스템
WO2009128503A1 (ja) 2008-04-17 2009-10-22 旭硝子株式会社 エレクトレットおよび静電誘導型変換素子
WO2010032759A1 (ja) 2008-09-19 2010-03-25 旭硝子株式会社 エレクトレット及び静電誘導型変換素子

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012184993A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Nec Tokin Corp 圧電式加速度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH03156375A (ja) 1991-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0660119B1 (en) Acceleration sensor
US4836023A (en) Vibrational angular rate sensor
WO1999060413A1 (fr) Detecteur d'acceleration et appareil d'acceleration comprenant ce detecteur d'acceleration
US5631421A (en) Piezoelectric acceleration transducer
US8256292B2 (en) Acceleration sensor with surface protection
JP2732413B2 (ja) 加速度センサ
JP3147786B2 (ja) 加速度センサ
JPH0823568B2 (ja) 電位センサ
WO2001020258A1 (fr) Detecteur de vitesse angulaire
JP4304742B2 (ja) 角速度センサ
JP2001074767A (ja) 加速度センサおよびその製造方法
JPH07202283A (ja) 圧電センサ及びその製造方法
JP4529286B2 (ja) 角速度センサ
JP3038692B2 (ja) バイモルフ振動子及び圧電形加速度センサ
JPH10170540A (ja) 加速度センサ
JPH08170918A (ja) 振動ジャイロ
JPH08170917A (ja) 角速度センサ
JP2000283765A (ja) 三脚音叉振動子および角速度センサ
JP2689799B2 (ja) 加速度センサ
JP2001133473A (ja) 加速度センサおよびその製造方法
JP2002267454A (ja) 角速度センサ
JPH085653A (ja) 圧電型加速度ピックアップ
JPH1030928A (ja) 振動子の支持装置
JPH04299214A (ja) 角速度センサ
JPS60213813A (ja) 角速度センサ