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JP2720123B2 - Method for producing piezoelectric ceramic microspheres for piezoelectric elastomer - Google Patents

Method for producing piezoelectric ceramic microspheres for piezoelectric elastomer

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Publication number
JP2720123B2
JP2720123B2 JP27320191A JP27320191A JP2720123B2 JP 2720123 B2 JP2720123 B2 JP 2720123B2 JP 27320191 A JP27320191 A JP 27320191A JP 27320191 A JP27320191 A JP 27320191A JP 2720123 B2 JP2720123 B2 JP 2720123B2
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JP
Japan
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microspheres
piezoelectric
piezoelectric ceramic
elastomer
sintering
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JP27320191A
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秀二 五十嵐
修三 久本
克典 平野
知晴 岩田
Original Assignee
三井造船株式会社
株式会社明治ゴム化成
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Publication date
Application filed by 三井造船株式会社, 株式会社明治ゴム化成 filed Critical 三井造船株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は圧力を感知する機能を
持つ圧電エラストマーとしてエラストマー中に充填され
る焼結した圧電セラミックス微小球の製造方法に係り、
特に一定の粒径にコントロールすることができる圧電エ
ラストマーに好適なチタン酸ジルコン酸鉛等の圧電セラ
ミックス微小球の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing sintered piezoelectric ceramic microspheres filled in an elastomer as a piezoelectric elastomer having a function of sensing pressure.
In particular, the present invention relates to a method for producing piezoelectric ceramic microspheres such as lead zirconate titanate suitable for a piezoelectric elastomer that can be controlled to a constant particle size.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電エラストマー及び圧電セラミックス
は、加えた応力に応じ電圧を生じ、又は電圧を印加する
と歪が生じるため、楽器のピックアップ、水中ソナー素
子、ワードプロセッサーのキーボード、スピーカー、ア
クチュエーター等、広い範囲に使用されている。圧電エ
ラストマーはシリコンゴム、天然ゴム、クロロプレンゴ
ム、ゴム等に圧電セラミックス粉末を均一に分散させて
作られる。
2. Description of the Related Art Piezoelectric elastomers and piezoelectric ceramics generate a voltage in response to an applied stress, or generate a distortion when a voltage is applied. Used in A piezoelectric elastomer is made by uniformly dispersing piezoelectric ceramic powder in silicon rubber, natural rubber, chloroprene rubber, rubber, or the like.

【0003】そして、従来の圧電セラミックス粉末は次
のようにして製造されている。即ち、図4に示すよう
に、まず、圧電セラミックスの原料粉末を700〜90
0℃で仮焼後1100〜1300℃の高温で焼結する。
前記仮焼、焼結には、温度の自動制御が行い易いところ
から一般的に電気炉が用いられる。焼結後、エラストマ
ーに混合するために、機械的な方法(例えば、ハンマー
ミル等)により粉砕する。さらに、粉砕しただけでは粒
度にばらつきがあるから、一定の粒径を得るために粉砕
した焼結セラミックス粉末を乾式法あるいは湿式法によ
るボールミル、ロールミル、ジェットミル等の装置を用
いて一定粒径に調製し、これを分級する。
[0003] Conventional piezoelectric ceramic powders are manufactured as follows. That is, as shown in FIG.
After calcination at 0 ° C, sintering is performed at a high temperature of 1100 to 1300 ° C.
For the calcination and sintering, an electric furnace is generally used because automatic temperature control is easily performed. After sintering, the mixture is pulverized by a mechanical method (for example, a hammer mill) to be mixed with the elastomer. Furthermore, since the particle size varies only by pulverization, the sintered ceramic powder pulverized to obtain a constant particle size is adjusted to a constant particle size by using a ball mill, a roll mill, a jet mill or the like by a dry method or a wet method. Prepare and classify this.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】高品質の圧電エラスト
マーを作成するには、圧電セラミックス粉末を均一に、
且つ高充填することが必要であり、均一に高充填するこ
とによって分極効率が向上し、得られる圧電特性の向上
が期待されるのである。しかしながら、上記製造方法の
ように、機械的に粉砕された圧電セラミックス粉末には
次のような問題があった。即ち、焼結された圧電セラミ
ックスは、本来硬いのが特徴であるから粉砕するのが困
難であるとともに、単に、機械的に粉砕したにすぎない
から粒子形態が不定型で、粒度分布もきわめて広い。従
って、エラストマーに均一に分散させることができない
ばかりでなく、高充填が困難であった。また、分散性の
悪さと高充填の困難さから、得られる圧電特性にも大き
なばらつきがあった。
In order to produce a high quality piezoelectric elastomer, the piezoelectric ceramic powder must be uniformly dispersed.
In addition, it is necessary to perform high filling, and it is expected that uniform high filling improves the polarization efficiency and improves the obtained piezoelectric characteristics. However, mechanically pulverized piezoelectric ceramic powder has the following problems as in the above manufacturing method. That is, sintered piezoelectric ceramics are hard to pulverize because they are inherently hard, and are merely mechanically pulverized, so the particle morphology is irregular and the particle size distribution is extremely wide. . Therefore, not only could it not be uniformly dispersed in the elastomer, but also high filling was difficult. In addition, due to poor dispersibility and difficulty in high filling, there was a large variation in the obtained piezoelectric characteristics.

【0005】さらに、粉砕した圧電セラミックス粉末か
ら分級操作により一定粒径の粒子を得ることは可能であ
るが、粒度分布が広いために分級による材料のロスがき
わめて大きくなる。圧電セラミックス粉末は既に焼結さ
れているから再使用も不可能であり、分級によるロスと
相まって製品のコストアップとなっていた。このよう
に、単に機械的に粉砕された従来の圧電セラミックス粉
末では均一に分散させ、高充填することが困難であり、
高品質の圧電エラストマーを作製することはできなかっ
た。
Further, it is possible to obtain particles having a constant particle size from the pulverized piezoelectric ceramic powder by a classification operation, but the loss of material due to the classification is extremely large due to the wide particle size distribution. Since the piezoelectric ceramic powder has already been sintered, it cannot be reused, and the cost of the product is increased due to the loss due to classification. Thus, it is difficult to uniformly disperse and highly fill the conventional piezoelectric ceramic powder simply mechanically pulverized,
High quality piezoelectric elastomers could not be produced.

【0006】[0006]

【発明の目的】この発明はかかる現況に鑑みてなされた
もので、分散性が良く、高充填を可能にする均一な大き
さの圧電セラミックス微小球の製造方法を提供せんとす
るものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing piezoelectric ceramic microspheres having a good dispersibility and a uniform size which enables high filling.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するために次のよう構成とした。即ち、まず、チタン
酸ジルコン酸鉛等の圧電セラミックスを仮焼し、前記仮
焼粉末にバインダーを加えて混合し、次いで、この混合
物を予備成形し、前記予備成形体を網目から押し出して
目通しした後、振盪させることにより球径を20〜50
0μmの微小球に成形し、さらに、前記微小球を乾燥ま
たは脱水した後に焼結することを特徴とする。
The present invention has the following configuration to achieve the above object. That is, first, a piezoelectric ceramic such as lead zirconate titanate is calcined, and
Add the binder to the baked powder, mix, and then
Preform the product, extruding the preform from the mesh
After passing through, the sphere diameter was reduced to 20 to 50 by shaking.
Into microspheres of 0 μm, and further dry the microspheres.
Or sintering after dehydration.

【0008】図1に示す製造工程に基づいて、さらに上
記製造方法を詳述する。圧電セラミックスの仮焼粉末
は、圧電セラミックスの原料粉末を700〜900℃で
仮焼して得ることができる。次に、圧電セラミックスの
原料粉末とバインダーとを良く混合する。バインダーと
しては、公知の澱粉、PVA、デキストリン、ワックス
エマルジョン等を単独または複数を混合して用いること
ができ、焼結中なるべく低温で分散飛散し、残留するよ
うな無機物を含まないものであればよい。混合はボール
ミル等の公知の手段によって行うことができる。
The above manufacturing method will be further described in detail based on the manufacturing steps shown in FIG. The calcined powder of the piezoelectric ceramic can be obtained by calcining the raw material powder of the piezoelectric ceramic at 700 to 900 ° C. Next, the raw material powder of the piezoelectric ceramic and the binder are mixed well. As the binder, known starch, PVA, dextrin , wax emulsion, or the like can be used alone or in combination of two or more, as long as it does not contain inorganic substances that disperse and scatter at as low a temperature as possible during sintering and remain. Good. Mixing can be performed by a known means such as a ball mill.

【0009】圧電セラミックスの仮焼粉末をバインダー
と混合した後に微小球の成形工程に入る。微小球の成形
は、例えば、次のようにして行うことができる。まず、
前記バインダーと混合して可塑性を有する仮焼粉末の混
合物をプレスにて板状、棒状等に予備成形し、この予備
成形したものを所定メッシュの網にて目通しする。網目
の大きさは成形する微小球の大きさに合わせて選ばれ、
例えば、20〜500μmの網目を使用することができ
る。網の材質は特に限定されるものではなく、金網ある
いは樹脂製網等のいずれであってもよい。目通しすると
棒状に押し出されるものの、数ミリの長さに切れて側面
からみると楕円形状の短い角柱状体が形成される。これ
らの角柱状体を振盪装置にて振盪させれば、目通しした
網目の寸法と同じ直径の微小球が得られる。
After the calcined powder of the piezoelectric ceramics is mixed with the binder, a process for forming microspheres is started. The molding of the microspheres can be performed, for example, as follows. First,
The mixture of the calcined powder having the plasticity mixed with the binder is preformed into a plate shape, a rod shape or the like by a press, and the preformed product is passed through a mesh of a predetermined mesh. The size of the mesh is selected according to the size of the microsphere to be molded,
For example, a mesh of 20 to 500 μm can be used. The material of the net is not particularly limited, and may be a wire net or a resin net. Although it is extruded into a rod shape when it is looked through, it is cut into several millimeters and forms a short, elliptical prismatic body when viewed from the side. If these prismatic bodies are shaken with a shaking device, microspheres having the same diameter as the size of the mesh that has been seen can be obtained.

【0010】振盪装置は、例えば、図2及び図3に示す
ような構造のものを使用することができる。図2に示す
ような振盪装置1は上面が開口した箱3の底面に、振盪
器5の駆動軸7を取り付けたもので、箱3は振盪器5に
よって上下方向、または水平方向に振盪するように構成
されている。この振盪装置1の箱3に前記圧電セラミッ
クス仮焼粉末とバインダーの混合物を目通しして得られ
た角柱状体を入れて振盪させると、角柱状体は箱3の内
面に衝突するとともに、同時に角柱状体同士が衝突する
から、角柱状体の端部がちぎれて長さ方向においても直
径とほぼ同じ寸法となり、これが次第に角部がとれて球
状に成形される。ちぎれた端部の部分も同時に球状に形
成されるから、網目の寸法と同じ直径の球状粒子ととも
に、それよりも小さい多数の微小球が形成されることに
なる。
As the shaking device, for example, one having a structure as shown in FIGS. 2 and 3 can be used. The shaking device 1 as shown in FIG. 2 is one in which a drive shaft 7 of a shaker 5 is attached to the bottom of a box 3 having an open top, so that the box 3 is shaken vertically or horizontally by the shaker 5. Is configured. The mixture of the piezoelectric ceramic calcined powder and the binder is passed through the box 3 of the shaking device 1 and obtained.
When the prisms placed in the box 3 are shaken, the prisms
Collides with the surface and at the same time the prisms collide with each other
Therefore, the end of the prismatic body is torn off, and has a dimension substantially the same as the diameter in the length direction, and the corner is gradually removed to form a spherical shape. Since the broken end portion is also formed into a spherical shape at the same time, a large number of microspheres smaller than that are formed together with spherical particles having the same diameter as the mesh.

【0011】図3は振盪装置10、ホッパー12、収納
箱14からなり、振盪装置10は傾斜させたとい13の
下面に、振盪器15の駆動軸17を取り付けたもので、
前記振盪器1と同様に、とい13は振盪器15によって
上下方向または水平方向に振盪するように構成されてい
る。ホッパー12からとい13に供給された前記角柱状
体は、とい13の中を落ちてくる間にとい13の内面
衝突するとともに、同時に角柱状体同士が衝突するか
ら、振盪装置1の場合と同様にして微小球が形成され
る。形成された微小球は収納箱14に収納される。この
第2の方法においても、ちぎれた端部も同時に球状に成
形されるから、網目の寸法と同じ直径の微小球ととも
に、それよりも小さい多数の微小球が形成されることに
なる。上記方法のようにして成形された微小球は、徐々
に球状に成形されるとともに、衝突によって固められる
から一層硬い微小球が得られる。
FIG. 3 comprises a shaking device 10, a hopper 12, and a storage box 14. The shaking device 10 has a drive shaft 17 of a shaker 15 attached to the lower surface of a slanted saw 13.
As in the case of the shaker 1, the grinder 13 is configured to be shaken vertically or horizontally by a shaker 15. The prism-shaped body supplied from the hopper 12 to the grates 13 is attached to the inner surface of the grates 13 while falling through the grates 13.
Whether they collide with each other and at the same time
Thus, microspheres are formed in the same manner as in the case of the shaking device 1. The formed microspheres are stored in the storage box 14. In the second method, the broken end is also formed into a spherical shape at the same time, so that a large number of microspheres smaller than the microsphere having the same diameter as the mesh are formed. The microspheres formed as described above are gradually formed into spheres, and are hardened by collision, so that harder microspheres are obtained.

【0012】次いで、上記微小球は所定の大きさに分級
される。分級は成形された微小球を篩にかけて行うこと
ができる。分級することによって一定球径の微小球が得
られる。分級された微小球は、オーブン等によって乾燥
または脱水され、次いで、焼結される。焼結方法は特に
限定されるものではなく公知の方法により行うことがで
き、例えば、電気炉に入れて1100〜1300℃、1
〜3時間の焼結を行うことができる。焼結の際には、一
定の昇温速度で、一定時間圧電セラミックスの微細粒子
が充分成長するように焼結することが望ましい。焼結が
完了すると形状、大きさを均一にした焼結圧電セラミッ
クスの微小球が得られる。
Next, the microspheres are classified into a predetermined size. Classification can be performed by sieving the formed microspheres. By classifying, microspheres having a constant sphere diameter can be obtained. The classified microspheres are dried by oven etc.
Or it is dehydrated and then sintered. The sintering method is not particularly limited, and can be performed by a known method.
Sintering can be performed for up to 3 hours. At the time of sintering, it is preferable to perform sintering at a constant heating rate so that the fine particles of the piezoelectric ceramic grow sufficiently for a certain period of time. When sintering is completed, microspheres of sintered piezoelectric ceramics having a uniform shape and size are obtained.

【0013】尚、この発明では分級は適宜省略すること
が可能であり、また、分級は成形後、焼結前であれば乾
燥・脱水の前後に行うことができる。さらに、この発明
では焼結は微小球に成形した後に行なわれるから、焼結
前の微小球は焼結前に粉砕し、または粉砕しないで再使
用が可能である。従って、従来は既に焼結してから粉砕
・分級をしていたので再使用することは不可能であった
が、この発明では焼結前に分級するので再使用が可能に
なり材料ロスを無くすることができる。また、この発明
における微小球は、完全な球状体のみを意味するのでは
なく、すべての面がアール面に形成されていれば楕円形
を含むほぼ球状体に形成された球状粒子を意味する。
In the present invention, the classification can be omitted as appropriate, and the classification can be performed before and after drying and dehydration after molding and before sintering. Further, in the present invention, since sintering is performed after forming into microspheres, the microspheres before sintering can be pulverized before sintering or reused without pulverization. Therefore, in the past, it was impossible to reuse because it was already pulverized and classified after sintering. However, in the present invention, classification is performed before sintering. can do. The microsphere in the present invention does not mean only a perfect spherical body, but means a spherical particle formed into a substantially spherical body including an ellipse if all surfaces are formed on a round surface.

【0014】[0014]

【作用】焼結前に微細な微小球に成形するので、一定の
大きさ以外の微小球は再使用が可能になり、材料ロスを
低減するように働く。また微小球はすべての面がアール
面に形成されているからエラストマー内での分散が良く
なる。
[Function] Since the microspheres are formed into fine microspheres before sintering, microspheres having a size other than a certain size can be reused, and work to reduce material loss. In addition, since all the surfaces of the microspheres are formed on the radius surface, the dispersion in the elastomer is improved.

【0015】[0015]

【実施例】この発明の具体的実施例について説明する
と、仮焼したチタン酸ジルコン酸鉛粉末に8%PVA水
溶液のバインダーを添加し、充分混合した。この粉末と
バインダーの混合物をプレス成型機にて、直径60m
m、厚さ4mmの円盤状に予備成形し、この成型体を網
目250μmのステンレス製金網に押圧して目通しし
た。さらに、前記目通しして得られた角柱状体を振盪装
置を用いて充分振盪させた。振盪装置は、図2に示す箱
型を用い、上下高さ1.5mm、1分間の振動数300
0回、振動時間0.5時間の振盪により、球径が約25
0μmのチタン酸ジルコン酸鉛微小球を得た。これらの
微小球をオーブンにて100℃×1時間、脱水し、次い
で、網目175μmの篩にかけて分級し、この分級した
微小球を電気焼結炉により、昇温速度を150℃/時と
し、1250℃にて2時間焼結した。このようにして、
直径が150〜200μmの焼結チタン酸ジルコン酸鉛
微小球を得た。
EXAMPLE A specific example of the present invention will be described. A binder of an 8% PVA aqueous solution was added to calcined lead titanate zirconate powder and mixed well. The mixture of the powder and the binder was pressed by a press molding machine to a diameter of 60 m.
m, and preliminarily formed into a disk having a thickness of 4 mm, and the formed body was pressed through a 250-μm mesh stainless steel wire mesh and passed through. Furthermore, the prismatic body obtained through the above was sufficiently shaken using a shaking device. The shaking apparatus used was a box type shown in FIG. 2 and had a vertical height of 1.5 mm and a frequency of 300 per minute.
By shaking 0 times and shaking for 0.5 hour, the sphere diameter becomes about 25.
0 μm lead zirconate titanate microspheres were obtained. These microspheres were dehydrated in an oven at 100 ° C. × 1 hour, and then classified through a sieve having a mesh of 175 μm, and the classified microspheres were heated in an electric sintering furnace at a rate of 150 ° C./hour. Sintered at ℃ for 2 hours. In this way,
Sintered lead zirconate titanate microspheres having a diameter of 150 to 200 μm were obtained.

【0016】実施例による焼結チタン酸ジルコン酸鉛微
小球の顕微鏡写真を図5に、比較例として従来の製造方
法による焼結チタン酸ジルコン酸鉛粉末の顕微鏡写真を
図6に示す。実施例と比較例とを比べると、明らかに実
施例ではほぼ球状体に形成されているが、比較例では鋭
角な角部が存在し機械的に粉砕さたものであることが分
かる。
FIG. 5 is a photomicrograph of sintered lead zirconate titanate microspheres according to an example, and FIG. 6 is a photomicrograph of sintered lead zirconate titanate powder according to a conventional production method as a comparative example. Comparing the example with the comparative example, it is clear that the example is formed substantially in a spherical body, but the comparative example has sharp corners and is mechanically pulverized.

【0017】[0017]

【発明の効果】この発明の製造方法によれば次のような
効果を奏することができる。即ち、均一な大きさの焼結
した圧電セラミックス微小球を得ることができ、エラス
トマーへの分散性が良くなり、高充填が可能になる。従
って、得られる圧電特性も一定しており、分極効率が向
上した。さらに、焼結前に分級されるから、一定範囲以
外の球径の微小球は再使用が可能であり材料ロスを低減
することができる。
According to the manufacturing method of the present invention, the following effects can be obtained. That is, sintered piezoelectric ceramic microspheres having a uniform size can be obtained, the dispersibility in the elastomer is improved, and high filling is possible. Therefore, the obtained piezoelectric characteristics were constant, and the polarization efficiency was improved. Furthermore, since classification is performed before sintering, microspheres having a sphere diameter outside a certain range can be reused and material loss can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の製造方法を示す工程図である。FIG. 1 is a process chart showing a manufacturing method of the present invention.

【図2】成形の一例を示す振盪装置の説明用正面図であ
る。
FIG. 2 is an explanatory front view of a shaking device showing an example of molding.

【図3】成形の他の例を示す振盪装置の説明用正面図で
ある。
FIG. 3 is an explanatory front view of a shaking device showing another example of molding.

【図4】従来の圧電セラミックス粉末の製造方法を示す
工程図である。
FIG. 4 is a process chart showing a conventional method for producing a piezoelectric ceramic powder.

【図5】この発明により製造された焼結チタン酸ジルコ
ン酸鉛微小球の顕微鏡写真である。
FIG. 5 is a photomicrograph of sintered lead zirconate titanate microspheres produced according to the present invention.

【図6】従来の製造方法により製造された焼結チタン酸
ジルコン酸鉛粉末の顕微鏡写真である。
FIG. 6 is a photomicrograph of a sintered lead zirconate titanate powder manufactured by a conventional manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 振盪装置 3 箱 5 振盪器 10 振盪装置 13 とい 15 振盪器 12 ホッパー 14 収納箱 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Shaking device 3 Box 5 Shaker 10 Shaking device 13 Sawing 15 Shaker 12 Hopper 14 Storage box

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩田 知晴 神奈川県足柄上郡開成町延沢1番地 株 式会社明治ゴム化成神奈川工場内 (56)参考文献 特開 平2−48031(JP,A) 特開 昭60−175534(JP,A) 特開 昭64−61352(JP,A) 特開 平3−88758(JP,A) 特公 昭55−22262(JP,B2) 特公 昭56−12028(JP,B2) 特公 昭60−30248(JP,B2) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Tomoharu Iwata 1 Nobesawa, Kaisei-cho, Ashigara-gun, Kanagawa Prefecture Inside the Meiji Rubber Chemical Kanagawa Plant (56) References JP-A-2-48031 (JP, A) JP-A-60-175534 (JP, A) JP-A-64-61352 (JP, A) JP-A-3-88758 (JP, A) JP-B 55-22262 (JP, B2) JP-B 56-12028 (JP, A) , B2) Tokiko Sho 60-30248 (JP, B2)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 チタン酸ジルコン酸鉛等の圧電セラミッ
クスを仮焼し、前記仮焼粉末にバインダーを加えて混合
し、次いで、この混合物を予備成形し、前記予備成形体
を網目から押し出して目通しした後、振盪させることに
より球径を20〜500μmの微小球に成形し、さら
に、前記微小球を乾燥または脱水した後に焼結すること
特徴とする圧電エラストマー用圧電セラミックス微小
球の製造方法。
1. A piezoelectric ceramic such as lead zirconate titanate is calcined, and a binder is added to the calcined powder and mixed.
Then, the mixture is preformed, and the preformed
After pushing out through the mesh and passing through,
And formed into microspheres with a sphere diameter of 20-500 μm.
Sintering after drying or dehydrating the microspheres
A method for producing piezoelectric ceramic microspheres for a piezoelectric elastomer, comprising:
JP27320191A 1991-09-25 1991-09-25 Method for producing piezoelectric ceramic microspheres for piezoelectric elastomer Expired - Lifetime JP2720123B2 (en)

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JPH0576746A JPH0576746A (en) 1993-03-30
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