JP2709944B2 - テレセントリックfθレンズ - Google Patents
テレセントリックfθレンズInfo
- Publication number
- JP2709944B2 JP2709944B2 JP63246500A JP24650088A JP2709944B2 JP 2709944 B2 JP2709944 B2 JP 2709944B2 JP 63246500 A JP63246500 A JP 63246500A JP 24650088 A JP24650088 A JP 24650088A JP 2709944 B2 JP2709944 B2 JP 2709944B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- group
- positive
- curvature
- spherical aberration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/0005—Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、走査式光学装置に用いられるテレセント
リックなfθレンズに関するものである。
リックなfθレンズに関するものである。
[従来の技術] レーザープリンター等で用いられる走査式光学系にお
いては、レーザービームの入射角と記録面に形成される
ビームスポットの像高とが比例するように負の歪曲収差
を有するfθレンズが使用される場合が多い。
いては、レーザービームの入射角と記録面に形成される
ビームスポットの像高とが比例するように負の歪曲収差
を有するfθレンズが使用される場合が多い。
また、描画面が平坦性が悪い場合や光軸方向に前後す
る可能性がある場合、あるいは描画面の前にカバーガラ
ス等の平行平面が配置されている場合には、ピントズレ
を起こした際にも軸外光によって形成される像の位置が
ズレないテレセントリック性が要求される。
る可能性がある場合、あるいは描画面の前にカバーガラ
ス等の平行平面が配置されている場合には、ピントズレ
を起こした際にも軸外光によって形成される像の位置が
ズレないテレセントリック性が要求される。
特開昭60-123815号公報には、このようなテレセント
リックfθレンズが開示されている。このレンズは、全
体として正のパワーを有し、第1群の負のパワーを3枚
の正レンズで打ち消し、最後にパワーの小さい像界側に
凹面を向けたメニスカスレンズを設けて全体のバランス
をとっている。
リックfθレンズが開示されている。このレンズは、全
体として正のパワーを有し、第1群の負のパワーを3枚
の正レンズで打ち消し、最後にパワーの小さい像界側に
凹面を向けたメニスカスレンズを設けて全体のバランス
をとっている。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記公報に記載のテレセントリックf
θレンズは、3枚の正レンズ群の曲率半径が平均的に小
さく、これらのレンズで発生する補正不足の球面収差や
大きなペッツバール和は、特にF値が小さい程第1群、
最終群の負レンズでは補正しきれない。従って、球面収
差や像面湾曲が大きく、これらの影響を受けないために
F値が8.3程度となってしまう。
θレンズは、3枚の正レンズ群の曲率半径が平均的に小
さく、これらのレンズで発生する補正不足の球面収差や
大きなペッツバール和は、特にF値が小さい程第1群、
最終群の負レンズでは補正しきれない。従って、球面収
差や像面湾曲が大きく、これらの影響を受けないために
F値が8.3程度となってしまう。
描画対象上での情報量を増加させるためには、レンズ
のF値を小さくしてスポットの小径化を図ると共に、諸
収差を小さく抑える必要があるが、上記のレンズではこ
のような要請に対応することが困難である。
のF値を小さくしてスポットの小径化を図ると共に、諸
収差を小さく抑える必要があるが、上記のレンズではこ
のような要請に対応することが困難である。
また、一般にF値が小さいほど広い走査角範囲内での
収差補正が困難となり、従来高精度が要求されるfθレ
ンズでは走査角度範囲を広くとることが困難であった。
収差補正が困難となり、従来高精度が要求されるfθレ
ンズでは走査角度範囲を広くとることが困難であった。
この発明は、テレセントリックなfθレンズであっ
て、しかも、F値を小さくしてスポット径を小さく絞る
ことができ、広い走査角範囲内で光束の入射角度に比例
したスポットの走査が可能な高性能レンズの提供を目的
とする。
て、しかも、F値を小さくしてスポット径を小さく絞る
ことができ、広い走査角範囲内で光束の入射角度に比例
したスポットの走査が可能な高性能レンズの提供を目的
とする。
[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、この発明は、物界側から
順に、物界側に凹面を向けた負のメニスカスレンズから
なる第1群と、4枚あるいは5枚構成の正レンズからな
り最も物界側のレンズが物界側に凹面を向けた正のメニ
スカスレンズである第2群と、像界側に凹面を向けたパ
ワーの弱いメニスカスレンズからなる第3群とから構成
され、全径の焦点距離f、第1〜第3群の焦点距離fI,
fII,fIII、第1面の曲率半径r1、最終面の曲率半径rl
が、 0.80<|fI|/f<2.50,fI<0 ……… 0.50<|fII|/f<1.10 ……… −0.5<f/fII<0.04 ……… 0.25<|r1|/f<0.65,r1<0 ……… 0.60<rl/f<1.20 ……… の各条件を満たすことを特徴としている。
順に、物界側に凹面を向けた負のメニスカスレンズから
なる第1群と、4枚あるいは5枚構成の正レンズからな
り最も物界側のレンズが物界側に凹面を向けた正のメニ
スカスレンズである第2群と、像界側に凹面を向けたパ
ワーの弱いメニスカスレンズからなる第3群とから構成
され、全径の焦点距離f、第1〜第3群の焦点距離fI,
fII,fIII、第1面の曲率半径r1、最終面の曲率半径rl
が、 0.80<|fI|/f<2.50,fI<0 ……… 0.50<|fII|/f<1.10 ……… −0.5<f/fII<0.04 ……… 0.25<|r1|/f<0.65,r1<0 ……… 0.60<rl/f<1.20 ……… の各条件を満たすことを特徴としている。
fθレンズでは、理想像高yをy=f・θで与えるた
め、意図的に負の歪曲収差を与えなければならない。
め、意図的に負の歪曲収差を与えなければならない。
この発明のレンズでは、テレセントリックな系であっ
て入射瞳が前側焦点位置にあるため、軸外光は第1群に
よって光軸から離れ、正の歪曲収差を発生させる。軸外
の光束は主光線も含めて第2群のレンズ系の光軸より離
れた部分を通るので、第2群の正のレンズ群により第1
群で発生した正の歪曲収差を打ち消すと共に、入射角度
と像高とを比例させるfθ性の負の歪曲収差を発生させ
ている。
て入射瞳が前側焦点位置にあるため、軸外光は第1群に
よって光軸から離れ、正の歪曲収差を発生させる。軸外
の光束は主光線も含めて第2群のレンズ系の光軸より離
れた部分を通るので、第2群の正のレンズ群により第1
群で発生した正の歪曲収差を打ち消すと共に、入射角度
と像高とを比例させるfθ性の負の歪曲収差を発生させ
ている。
しかしながら、軸外光線が第2群の正レンズ群の周辺
部を通ると内向性のコマ収差が発生してしまうこととな
る。このため、本発明では第1群に凹面を物界側へ向け
た負のメニスカスレンズを用いて外向性のコマ収差を発
生させることにより、上記の内コマ収差を減少されてい
る。
部を通ると内向性のコマ収差が発生してしまうこととな
る。このため、本発明では第1群に凹面を物界側へ向け
た負のメニスカスレンズを用いて外向性のコマ収差を発
生させることにより、上記の内コマ収差を減少されてい
る。
また、第2群は平均的に曲率半径が大きい4枚から5
枚の正レンズが用いられているため発生する補正不足の
球面収差を小さく抑えることができ、第1群で発生する
補正過剰の球面収差により打ち消して補正することが可
能である。
枚の正レンズが用いられているため発生する補正不足の
球面収差を小さく抑えることができ、第1群で発生する
補正過剰の球面収差により打ち消して補正することが可
能である。
また、第1群の負のパワーは、第2群の正レンズによ
るペッツバール和の増大を打ち消す方向に働いているも
のの、なおペッツバール和は正であって像面湾曲が残存
するため、第3群によってこれを補正している。第3群
はパワーが弱いため、合成焦点距離や球面収差、コマ収
差等には殆ど影響を与えないが、凹面を像側に向けたメ
ニスカスレンズであって、かつ、光線がレンズを通る際
の光軸からの高さが大きく変化するため、ペッツバール
和を減少させる働きがあり像面湾曲の補正に有効な働き
をする。
るペッツバール和の増大を打ち消す方向に働いているも
のの、なおペッツバール和は正であって像面湾曲が残存
するため、第3群によってこれを補正している。第3群
はパワーが弱いため、合成焦点距離や球面収差、コマ収
差等には殆ど影響を与えないが、凹面を像側に向けたメ
ニスカスレンズであって、かつ、光線がレンズを通る際
の光軸からの高さが大きく変化するため、ペッツバール
和を減少させる働きがあり像面湾曲の補正に有効な働き
をする。
以下に〜の条件式について説明する。
まず、の条件において下限を下回ると、第1群の負
のパワーが過大となって球面収差が補正過剰となり、外
向性のコマ収差の発生が大となると共に、正の歪曲収差
の発生が大となってfθ性からのズレが大きくなる。
のパワーが過大となって球面収差が補正過剰となり、外
向性のコマ収差の発生が大となると共に、正の歪曲収差
の発生が大となってfθ性からのズレが大きくなる。
式の上限を越えると、第1群の負のパワーが弱くな
り、第2群で発生する球面収差及び内向性のコマ収差を
補正する機能が低下すると共に、全系のペッツバール和
が増大して像面湾曲が発生する。
り、第2群で発生する球面収差及び内向性のコマ収差を
補正する機能が低下すると共に、全系のペッツバール和
が増大して像面湾曲が発生する。
の条件において下限を下回ると、第2群の正のパワ
ーが過大となり、球面収差の補正不足、内向性のコマ収
差の増大を招き、ペッツバール和が増大して像面湾曲が
生じる。
ーが過大となり、球面収差の補正不足、内向性のコマ収
差の増大を招き、ペッツバール和が増大して像面湾曲が
生じる。
上限を越える場合には正のパワーが弱くなり、fθ性
のための負の歪曲収差が得られない。
のための負の歪曲収差が得られない。
の条件において下限を下回ると、第3群の負のパワ
ーが過大となって球面収差が補正過剰となる。
ーが過大となって球面収差が補正過剰となる。
第3群は、正レンズであっても極めてパワーが小さい
場合にはレンズ厚とレンズ両面の曲率半径の値を適切に
選択することにより、レンズ両面での光線の高さに差を
つけてペッツバール和を減少させることができる。但
し、上限を越えると、ペッツバール和が過大となって像
面湾曲が増大する。
場合にはレンズ厚とレンズ両面の曲率半径の値を適切に
選択することにより、レンズ両面での光線の高さに差を
つけてペッツバール和を減少させることができる。但
し、上限を越えると、ペッツバール和が過大となって像
面湾曲が増大する。
ところで、第1群には、ここで発生する非点収差を抑
え、第2群で発生する像面湾曲を補正するために物界側
に凹面を向けた負のメニスカスレンズを用いている。つ
まり、入射瞳は前側焦点位置にあり、軸外光は第1群の
入射側の面に比較的小さな角度で入射し、第1銀の出射
面より比較的小さな角度で出射するので、ここで発生す
る非点収差は小さい。しかも、このレンズの両面におい
て、光線の高さに差を生じ、ペッツバール和を減少させ
像面湾曲を補正している。
え、第2群で発生する像面湾曲を補正するために物界側
に凹面を向けた負のメニスカスレンズを用いている。つ
まり、入射瞳は前側焦点位置にあり、軸外光は第1群の
入射側の面に比較的小さな角度で入射し、第1銀の出射
面より比較的小さな角度で出射するので、ここで発生す
る非点収差は小さい。しかも、このレンズの両面におい
て、光線の高さに差を生じ、ペッツバール和を減少させ
像面湾曲を補正している。
また、軸上光束は第1面での屈折により発散光束とな
り、第2面に対してほぼコンセントリック近い状態で入
射する。従って、第2面における球面収差の発生は少な
い。しかし、第1面においては補正過剰の球面収差が発
生していて第2群による補正不足の球面収差を補正して
いる。従って、第1面を特徴付ける式は不可欠であ
る。
り、第2面に対してほぼコンセントリック近い状態で入
射する。従って、第2面における球面収差の発生は少な
い。しかし、第1面においては補正過剰の球面収差が発
生していて第2群による補正不足の球面収差を補正して
いる。従って、第1面を特徴付ける式は不可欠であ
る。
ここで、式の下限を下回る場合には、球面収差が補
正過剰となるばかりでなく、高次の球面収差も発生す
る。
正過剰となるばかりでなく、高次の球面収差も発生す
る。
逆に上限を上回る場合には、第2群で発生する補正不
足の球面収差を打ち消すことができない。また、第1面
での屈折力が弱くなるため、第1群のレンズ両面での光
線の高さの差が小さくなり、第1群の負のペッツバール
和が0に近付いて像面湾曲の補正が不足する。
足の球面収差を打ち消すことができない。また、第1面
での屈折力が弱くなるため、第1群のレンズ両面での光
線の高さの差が小さくなり、第1群の負のペッツバール
和が0に近付いて像面湾曲の補正が不足する。
の条件の下限を下回る場合には、有効径が小さくな
り、テレセントリック性を崩さない限り走査範囲が狭く
なってしまう。
り、テレセントリック性を崩さない限り走査範囲が狭く
なってしまう。
上限を上回る場合には、第2群で発生する正のペッツ
バール和を打ち消す働きが弱く、像面湾曲が発生する。
バール和を打ち消す働きが弱く、像面湾曲が発生する。
[実施例] 以下、この発明に係るテレセントリックfθレンズの
実施例を説明する。
実施例を説明する。
各実施例の構成及び収差特性は、第1図〜第14図に示
した通りであり、これらのレンズの具体的な数値構成は
第11〜14ページの各表に示す通りである。表中の符号FN
O.はFナンバー、fは全系の焦点距離、2θは光軸を挟
む両側の最大入射角、riはレンズ系の第i面の曲率半
径、diは第i面と第i+1面間の距離(レンズ厚及び空
気間隔)、niは第i面と第i+1面間の媒質の屈折率を
それぞれ表わしている。
した通りであり、これらのレンズの具体的な数値構成は
第11〜14ページの各表に示す通りである。表中の符号FN
O.はFナンバー、fは全系の焦点距離、2θは光軸を挟
む両側の最大入射角、riはレンズ系の第i面の曲率半
径、diは第i面と第i+1面間の距離(レンズ厚及び空
気間隔)、niは第i面と第i+1面間の媒質の屈折率を
それぞれ表わしている。
なお、収差図中の球面収差は球面収差SAが実線、正弦
条件SCが破線で示されており、非点収差はサジタル方向
Sを実線、メリディオナル方向Mを破線で示している。
条件SCが破線で示されており、非点収差はサジタル方向
Sを実線、メリディオナル方向Mを破線で示している。
各実施例における条件式〜の値は、第14頁の第1
表に示した通りである。なお、第1〜第5実施例は6枚
構成、第6実施例は7枚構成、第7実施例は6枚構成の
像界側に平行平面(偏光ビームスプリッター)を設けた
ものである。
表に示した通りである。なお、第1〜第5実施例は6枚
構成、第6実施例は7枚構成、第7実施例は6枚構成の
像界側に平行平面(偏光ビームスプリッター)を設けた
ものである。
[効果] 以上説明した通り、この発明によればF値が小さく入
射角度の大きいテレセントリックfθレンズを得ること
ができるため、描画面上でのスポット系を小さく絞り、
広い走査範囲をカバーすることができるため、高精度で
スピーディな描画が可能となる。
射角度の大きいテレセントリックfθレンズを得ること
ができるため、描画面上でのスポット系を小さく絞り、
広い走査範囲をカバーすることができるため、高精度で
スピーディな描画が可能となる。
また、所定の条件を満たすことにより、像面湾曲、球
面収差等の諸収差を良好に補正すると共に、F値5.5、
走査幅100mmでアルゴンレーザーによりスポット径5μ
mの高精度なテレセントリックfθレンズを実現するこ
とができる。
面収差等の諸収差を良好に補正すると共に、F値5.5、
走査幅100mmでアルゴンレーザーによりスポット径5μ
mの高精度なテレセントリックfθレンズを実現するこ
とができる。
第1図、第3図、第5図、第7図、第9図、第11図、第
13図はこの発明に係るテレセントリックfθレンズの第
1〜第7実施例を示すレンズ系の断面図、第2図、第4
図、第6図、第8図、第10図、第12図、第14図は各実施
例のレンズの収差図である。
13図はこの発明に係るテレセントリックfθレンズの第
1〜第7実施例を示すレンズ系の断面図、第2図、第4
図、第6図、第8図、第10図、第12図、第14図は各実施
例のレンズの収差図である。
Claims (1)
- 【請求項1】物界側から順に、物界側に凹面を向けた負
のメニスカスレンズからなる第1群と、4枚あるいは5
枚構成の正レンズからなり最も物界側のレンズが物界側
に凹面を向けた正のメニスカスレンズである第2群と、
像界側に凹面を向けたパワーの弱いメニスカスレンズか
らなる第3群とから構成され、全系の焦点距離f、第1
〜第3群の焦点距離fI,fII,fIII、第1面の曲率半径r
1、最終面の曲率半径rlが、 0.80<|fI|/f<2.50,fI<0 0.50<|fII|/f<1.10 −0.5<f/fII<0.04 0.25<|r1|/f<0.65,r1<0 0.60<rl/f<1.20 の各条件を満たすことを特徴とするテレセントリックf
θレンズ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63246500A JP2709944B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | テレセントリックfθレンズ |
US07/372,536 US5055663A (en) | 1988-06-28 | 1989-06-28 | Optical scanning system and method for adjusting thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63246500A JP2709944B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | テレセントリックfθレンズ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0293511A JPH0293511A (ja) | 1990-04-04 |
JP2709944B2 true JP2709944B2 (ja) | 1998-02-04 |
Family
ID=17149321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63246500A Expired - Fee Related JP2709944B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-09-30 | テレセントリックfθレンズ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2709944B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106610518B (zh) * | 2015-10-23 | 2019-02-15 | 大立光电股份有限公司 | 影像撷取透镜组、取像装置及电子装置 |
TWI600940B (zh) | 2017-03-01 | 2017-10-01 | 大立光電股份有限公司 | 光學影像透鏡系統組、取像裝置及電子裝置 |
CN108957697B (zh) * | 2018-08-14 | 2020-12-22 | 瑞声光学解决方案私人有限公司 | 摄像光学镜头 |
JP6551871B1 (ja) * | 2018-08-14 | 2019-07-31 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッド | 撮像光学レンズ |
CN109031602B (zh) * | 2018-08-14 | 2020-11-17 | 瑞声光学解决方案私人有限公司 | 摄像光学镜头 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60123815A (ja) * | 1983-12-09 | 1985-07-02 | Asahi Optical Co Ltd | テレセントリツクf・θレンズ |
JP2558255B2 (ja) * | 1986-04-28 | 1996-11-27 | ミノルタ株式会社 | テレセントリツクf・θレンズ |
JP2576095B2 (ja) * | 1986-04-28 | 1997-01-29 | ミノルタ株式会社 | テレセントリツクf・θレンズ |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP63246500A patent/JP2709944B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0293511A (ja) | 1990-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2566405B2 (ja) | f・θレンズ | |
JPH071333B2 (ja) | 可変焦点距離レンズ | |
JP4573941B2 (ja) | コリメータレンズおよびこれを用いた光走査装置 | |
JPH0534593A (ja) | 縮小投影レンズ | |
EP1273949B1 (en) | Double telecentric objective lens | |
JP2641514B2 (ja) | 単群対物レンズ | |
JPH11183796A (ja) | 撮像光学系 | |
JP3254239B2 (ja) | 大口径中望遠レンズ | |
EP3557301A1 (en) | Dry objective | |
JPH0283511A (ja) | テレセントリツクfθレンズ | |
JP4491107B2 (ja) | 撮影用レンズ | |
JP2709944B2 (ja) | テレセントリックfθレンズ | |
KR100279897B1 (ko) | 리어콘부착 망원경, 그 리어 콘버죤렌즈 및 망원경 | |
US5936780A (en) | Projection zoom lens having a long back focal length | |
JP3430738B2 (ja) | 対称型テレセントリック光学系 | |
JPS6148687B2 (ja) | ||
JPH09211323A (ja) | 有限距離用ズームレンズ | |
JP3426378B2 (ja) | 内視鏡対物レンズ | |
JPH08254660A (ja) | 接眼レンズ | |
JP3242451B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JPH11133297A (ja) | フーリエ変換レンズ | |
JPS61286812A (ja) | ズ−ムレンズ | |
JPH08286108A (ja) | カラースキャナー用光学系 | |
JPH11316337A (ja) | 結像レンズ | |
JPH1195130A (ja) | 接眼レンズ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |