JP2706858B2

JP2706858B2 - 光重合性組成物

Info

Publication number: JP2706858B2
Application number: JP3190001A
Authority: JP
Inventors: 貞雄藤倉; 政幸岩崎
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1991-07-30
Filing date: 1991-07-30
Publication date: 1998-01-28
Anticipated expiration: 2013-01-28
Also published as: JPH0536581A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、新規なバインダーを含
有し、剥離片が細片化する点で特に優れた、アルカリ現
像可能な光重合性組成物に関する。本発明の光重合性組
成物は、プリント基板作成用ドライフィルムフォトレジ
スト又はフォトマスク、平版印刷版、樹脂凸版などの用
途に好適である。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント基板の作成には、テンテ
ィング法とメッキ法の２つの方法があり、何れの方法に
おいても、回路形成工程の中で不要となったレジストを
剥離する。この際、剥離片が大きいと剥離機のロールに
剥離片が絡まり、著しく作業性を低下させるのみなら
ず、剥離片が清浄な基板に再付着する可能性があるた
め、剥離片は微細であることが好ましい。ここで、剥離
片の大きさはレジストのバインダーによつて大きく左右
される。

【０００３】また、近年、プリント基板作成の分野にお
いて、ドライフィルムレジストが広く使用されている
が、安全性、環境への影響等の観点から、ドライフィル
ムレジストはアルカリ水溶液で処理可能なものが好まし
く、ドライフィルムレジストのバインダーとして、カル
ボキシル基を有する化合物を用いることが広く知られて
いる。

【０００４】このような要求を満たすバインダーとし
て、特開昭６４−５５５５０、特開昭６４−５５５５１
号明細書に開示されたメタクリル酸／メタクリル酸エス
テル共重合体、メタクリル酸／スチレン共重合体の混合
による方法、特開平２−２２１９６０号明細書に記載の
単官能モノマーを用いる方法などが提案されている。

【０００５】確かにこれらの方法を用いると剥離片のサ
イズが細片化する点では効果があるが、ドライフィルム
をロール状に巻取った状態で長期間保存した際、フィル
ムの端から感光層がしみだして隣合うフィルム同士が融
着する、いわゆるエッジフュージョンが発生し易くなる
点で、未だ十分ではなかった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、剥離片が微
細で、かつエッジフュージョンが発生しにくい、アルカ
リ水溶液処理が可能な光重合性組成物を提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、種々の検
討を重ねた結果、上記の目的を達成しうる光重合性組成
物を見出した。即ち、本発明の目的は、（１）カルボキ
シル基含有バインダー、（２）光重合可能なモノマー、
及び（３）光重合開始剤を含有する、アルカリ水溶液で
現像可能な光重合性組成物において、下記一般式（ａ）
を含むモノマー、下記一般式（ｂ）を含むモノマー、及
び下記一般式（ｃ）を含むモノマーの、重量平均分子量
５，０００〜２００，０００の共重合体を、該カルボキ
シル基含有バインダーの５％以上含むことを特徴とする
光重合性組成物により達成された。

【０００８】

【化２】

【０００９】（Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ5はそれぞれ水素原子
もしくはメチル基、Ｒ4は炭素数１〜５のアルキル基、
Ｒ6は水素原子、メチル基、エチル基、メトキシ基、エ
トキシ基、塩素原子もしくは臭素原子を表し、ｎは１〜
１０の整数で、組成比が（ａ）１０〜３５重量％、
（ｂ）１〜３０重量％、（ｃ）３５〜８５重量％であ
る）以下に、本発明を詳細に説明する。

【００１０】本発明に成る共重合体の成分である、一般
式（ａ）を含むモノマーとしてはアクリル酸もしくはメ
タアクリル酸、一般式（ｂ）を含むモノマーとしては、
エチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリ
レ−ト、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（メ
タ）アクリレ−ト、トリエチレングリコールモノメチル
エーテル（メタ）アクリレ−ト、テトラエチレングリコ
ールモノメチルエーテル（メタ）アクリレ−ト、エチレ
ングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレ−
ト、ジエチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）
アクリレ−ト、トリエチレングリコールモノエチルエー
テル（メタ）アクリレ−ト、テトラエチレングリコール
モノエチルエーテル（メタ）アクリレ−ト等、一般式
（ｃ）を含むモノマーとしてはスチレン類、を挙げるこ
とができる。該共重合体の分子量は、５，０００〜２０
０，０００が好ましい。

【００１１】更に、本発明の光重合性組成物には、バイ
ンダーとして、上記の共重合体の他に、以下の広範な種
類の高分子物質の中から選ばれた化合物を組み合わせて
用いることができる。組み合わせることのできる化合物
は、光重合可能なモノマー、光重合開始剤との相溶性が
良好で、塗布液の調製から塗布・乾燥に至る製造工程、
および得られた混合物の保存中に脱混合を起こさないこ
と、本発明の使用法に応じた性質、例えば、テンティン
グ用フォトレジストに用いる場合には、化合物の分子
量、分子間力、硬さ、軟化温度、結晶性、破壊伸度等を
考慮して、バインダーとしての強度、延伸性、耐摩耗
性、耐薬品性などが適当なものの中から適宜選択するこ
とができる。

【００１２】バインダーとして使用できる化合物の具体
例を挙げると、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル
酸アルキルエステル（アルキル基としては、メチル基、
エチル基、ブチル基など）との共重合物、ポリ（メタ）
アクリル酸、スチレンと無水マレイン酸などの不飽和二
塩基酸無水物との共重合物、および該ポリマーとアルコ
ール類との反応物、セルロースの多塩基酸無水物との反
応物などがある。

【００１３】上記のポリマーのうち、本発明のバインダ
ーとして特に好適に用いられるものは、スチレン／無水
マレイン酸共重合体、特開昭６０−２５８５３９号明細
書記載のメタクリル酸メチル／メタクリル酸／メタクリ
ル酸２−エチルヘキシル／メタクリル酸ベンジル四元共
重合体、特公昭５５−３８９６１号明細書記載のスチレ
ン／マレイン酸モノ−ｎ−ブチルエステル共重合体、特
公昭５４−２５９５７号明細書記載のスチレン／メタク
リル酸メチル／アクリル酸エチル／メタクリル酸の四元
共重合体、特開昭５２−９９８１０号明細書記載のメタ
クリル酸ベンジル／メタクリル酸共重合体、特公昭５８
−１２５７７号明細書記載のアクリロニトリル／メタク
リル酸２−エチルヘキシル／メタクリル酸の三元共重合
体、および特公昭５５−６２１０号明細書記載のメタク
リル酸メチル／アクリル酸エチル／アクリル酸の三元共
重合体とイソプロパノールで一部分エステル化したスチ
レン／無水マレイン酸共重合体の２種などである。

【００１４】これらのポリマーは、単独でバインダーと
して用いてもよいが、相溶性が良好で、塗布液の調製か
ら塗布・乾燥にいたる製造工程、および得られる混合物
の保存中に脱混合を起こさないポリマーを、２種以上適
当な比率で混合して結合剤として用いてもよい。

【００１５】バインダーとして用いられるポリマーの分
子量は、ポリマーの種類によって広範な値をとりうる
が、５，０００〜２，０００，０００、好ましくは、１
０，０００〜２００，０００、更に好ましくは、４０，
０００〜８５，０００の範囲のものが本発明に好適に用
いられる。分子量が５，０００未満では、光重合して得
られたレジストの力学的強度が不十分となり、２，００
０，０００を越えると現像性が悪化するため、本発明の
目的には適さない。

【００１６】上記本発明の共重合体を含む全バインダー
の量は、光重合性組成物の固形分に対して好ましくは４
０〜９０重量％、より好ましくは５０〜７０重量％であ
る。４０重量％未満では、光重合組成物の流動性が高す
ぎてエッジフュージョンを起こしやすくなり、また９０
重量％を越えると露光部と未露光部との溶解性の差が小
さくなりすぎて良好な画質が得られないため、いずれも
本発明の目的には適さない。

【００１７】また、本発明に用いることのできる光重合
性モノマーとしては、例えば、特開昭６０−２５８５３
９号、特願平１−９１２４７号明細書に記載されている
ような、（メタ）アクリル酸エステルを挙げることがで
きる。具体的には、ジエチレングリコールジ（メタ）ア
クリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、ノナエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、テトラデカエチレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、ノナプロピレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、ドデカプロピレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加
物のトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール
ジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレ
ート、１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレー
ト等のポリオールの（メタ）アクリル酸エステルが挙げ
られる。

【００１８】（メタ）アクリルアミド類としては、メチ
レンビス（メタ）アクリルアミドの他、エチレンジアミ
ン、ジアミノプロパン、ジアミノブタン、ペンタメチレ
ンジアミン、ビス（２−アミノプロピル）アミン、ジエ
チレントリアミンジアミン、フェニレンジアミン、ジア
ミノ安息香酸などから誘導されるポリ（メタ）アクリル
アミドがある。

【００１９】アリル化合物としては、例えば、フタル
酸、マロン酸等のジアリルエステル、ベンゼンジスルホ
ン酸、２，５−ジヒドロキシジスルホン酸等のジアリル
エステルなどがある。

【００２０】ビニルエーテル化合物としては、例えば、
エチレングリコールジビニルエーテル、１，３，５−ト
リ−β−ビニルオキシエトキシベンゼンなどがある。

【００２１】ビニルエステル類としては、コハク酸ジビ
ニル、アジピン酸ジビニルなどがある。

【００２２】スチレン化合物としては、ジビニルベンゼ
ン、ｐ−アリルスチレンなどがある。

【００２３】更に、少なくとも二つの水酸基を有するポ
リオール化合物と、やや過剰の少なくとも二つのイソシ
アネート基を有するポリイソシアネート化合物とを反応
させて得られた反応生成物に、少なくとも一つの水酸基
と少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物
とを反応させて得られる、少なくとも二つのエチレン性
不飽和基を有する多官能ウレタン化合物も本発明に好適
に用いることができる。

【００２４】光重合性モノマーの量は光重合性組成物の
固形分の１０〜６０重量％、好ましくは２５〜５０重量
％の範囲で用いられる。１０重量％未満では、露光部と
未露光部との溶解性の差が小さすぎるため、良好な画質
が得られず、６０重量％を越えると、光重合性組成物の
流動性が高すぎてエッジフュージョンを起こしやすいの
で本発明の目的には適合しない。

【００２５】本発明に使用できる好適な光重合開始剤と
しては、約３００〜８００ｎｍ、より好ましくは３３０
〜５００ｎｍの範囲に少なくとも約５０の分子吸光係数
を有する成分を少なくとも１種含有していることが好ま
しい。例えば、芳香族ケトン類、ロフィン２量体、ベン
ゾインおよびベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類お
よびこれらの２種以上を組合せた光重合開始剤系などが
ある。これらの具体例として、以下の化合物を挙げるこ
とができる。

【００２６】芳香族ケトン類としては、ベンゾフェノ
ン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノ
ン、４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４−ジメチ
ルアミノベンゾフェノン、４−ジメチルアミノアセトフ
ェノン、ベンジル、アントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブ
チルアントラキノン、２−メチルアントラキノン、キサ
ントン、チオキサントン、２−クロルチオキサントン、
２，４−ジエチルチオキサントン、フルオレノン、アク
リドンなどがある。

【００２７】ロフィン２量体として好適に用いられるも
のとしては、前記の特公昭４５−３７３７７号、特公昭
４８−３８４０３号、特開昭５６−３５１３４号、特願
昭６３−２００６０５号各明細書に記載されているもの
などが挙げられる。即ち、２−（ｏ−クロロフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、２−（ｏ−
クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニ
ル）イミダゾール２量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール２量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール２量体などがある。

【００２８】ベンゾインおよびベンゾインエーテル類と
しては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ンフェニルエーテルなどがある。

【００２９】ポリハロゲン化合物としては、四臭化炭
素、フェニルトリブロモメチルフェニルスルホン、フェ
ニルトリクロロメチルケトン、および、特開昭５３−１
３３４２８号、特公昭５７−１８１９号、特公昭５７−
６０９６号、米国特許第３６１５４５５号各明細書に記
載の化合物がある。特に好ましい例としては、４，
４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，
４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４
−ジエチルチオキサントン、４，４’−ビス（ジエチル
アミノ）ベンゾフェノンとベンゾフェノンとの組合せ、
４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンとフ
ェニルトリブロモメチルフェニルスルホンとの組合せな
どが挙げられる。

【００３０】光重合開始剤（系）の含有量は、光重合性
組成物の固形分に対して、好ましくは０．１〜２０重量
％、より好ましくは０．２〜１０重量％である。０．１
重量％未満では、感度が不足し、２０重量％を越えると
光重合性組成物の膜物性に悪影響を及ぼすため、本発明
の目的には適合しない。

【００３１】本発明の光重合性組成物は、既述のごと
く、主成分として、カルボキシル基含有バインダー、光
重合開始剤（系）および光重合性モノマーを含有する
が、必要に応じて、熱重合禁止剤、可塑剤、色素、変色
剤、密着促進剤等を併用してもよく、これによって目的
とするフォトレジスト、樹脂凸版、平版印刷版、フォト
マスク等を広範に調製できる。

【００３２】熱重合禁止剤は、光重合性組成物の熱的な
重合や経時的な重合を防止するために添加するもので、
これにより光重合性組成物の調製時や金属板に積層して
使用するまでの保存時の化学的な安定性を高めることが
できる。熱重合禁止剤の例としては、ｐ−メトキシフェ
ノール、ハイドロキノン、ベンゾキノン、ｏ−トルキノ
ン、ｐ−トルキノン、ｔ−ブチルカテコール、ピロガロ
ール、２−ヒドロキシベンゾフェノン、４−メトキシ２
−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチア
ジン、フロラニル、クロラニル、ナフチルアミン、ピリ
ジン、ｐ−トルイジン、β−ナフトール、２，６−ジ−
ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ニトロベンゼン、ジニト
ロベンゼン、ピクリン酸、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロ
キシルアミオンのアルミニウム塩もしくはアンモニウム
塩、メチレンブルー有機銅、サリチル酸メチル、アリー
ルフォスファイト等が挙げられる。熱重合禁止剤の好ま
しい添加量は、光重合性組成物の固形分に対して、０．
００１〜１０重量％、より好ましくは、０．０１〜３重
量％である。０．００１重量％未満では、熱安定性が劣
り、１０重量％を越えると感度が低下する。

【００３３】可塑剤は、光重合性組成物の光硬化前後の
膜質やその他の物性、感光性等を調整するために添加す
る。可塑剤の例としては、フタル酸ジブチル、フタル酸
ジヘプチル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ジアリル等
のフタル酸エステル類、トリエチレングリコールジアセ
テート、テトラエチレングリコールジアセテート等のグ
リコールエステル類、ｐ−トルエンスルホンアミド、ベ
ンゼンスルホンアミド、Ｎ−ｎ−ブチルベンゼンスルホ
ンアミド等の酸アミド類、アジピン酸ジイソブチル、ア
ゼライン酸ジオクチル、マレイン酸ジブチル等の脂肪族
２塩基酸エステル類、クエン酸トリブチル、グリセリン
トリアセテート、ラウリン酸ブチル４，５−ジエポキシ
シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸ジオクチルなど
が挙げられる。可塑剤の好ましい添加量は、光重合性組
成物の固形分の０．００１〜５０重量％であり、より好
ましくは、０．０１〜２０重量％である。５０重量％を
越えると現像性や画質に悪影響を及ぼす。

【００３４】色素は、光重合性組成物の着色のために添
加される。色素の例としては、マラカイトグリーン、メ
チルグリーン、ブリリアトグリーン、メチルバイオレッ
ト、クリスタルバイオレット、エチルバイオレット、ビ
クトリアピュアブルーＢＯＨ、オイルブルー＃６０３
（オリエント化学工業株式会社製）、エオシン、エリス
ロシンＢ、ローズベンガル、ローダミンＢ、ローダミン
６Ｇ、２，７−ジクロロフルオレセイン、フェノールフ
タレイン、アリザリンレッドＳ、チモールフタレイン、
キナルジンレッド、メタニルイエロー、チモールスルホ
フタレイン、ジフェニルトリアゼン、キシレノールブル
ー、メチルコンゴレッド、ジフェニルチオカルバゾン、
パラメチルレッド、コンゴーレッド、ベンゾブルブリン
４Ｂ、α−ナフチルレッド、ナイルブルーＡ、フェナセ
タリン、パラフクシン、ベイシックフクシン等を挙げる
ことができる。色素の好ましい添加量は、光重合性組成
物の固形分の０．００１〜１０重量％、より好ましくは
０．１〜５重量％である。１０重量％を越えると、感度
に悪影響を与える。

【００３５】変色剤は、光重合性組成物をフォトマスク
を通して光照射したときに可視像が得られるように添加
される。変色剤の例としては、前記の色素の他にジフェ
ニルアミン、ジベンジルアニリン、トリフェニルアミ
ン、ジエチルアニリン、ジフェニル−ｐ−フェニレンジ
アミン、ｐ−トルイジン、４，４’−ビフェニルジアミ
ン、ｏ−クロロアニリン、ｐ，ｐ’，ｐ”−ヘキサメチ
ルトリアミノトリフェニルメタン、ｐ，ｐ’−テトラメ
チルジアミノトリフェニルメタン、ｐ，ｐ’，ｐ”−ト
リアミノトリフェニルカルビノール等が挙げられる。変
色剤の好ましい添加量は、光重合性組成物の固形分の
０．００１〜１０重量％、より好ましくは０．０１〜５
重量％である。１０重量％を越えると、感度低下やカブ
リを起こしやすい。

【００３６】密着促進剤は、銅、ステンレス、陽極酸化
したアルミニウム、シリコン等の金属板等の表面への光
重合性組成物の密着性を高めるために添加する。密着促
進剤の例としては、特公昭５０−９１７７号明細書に記
載されているベンズイミダゾール、ベンズチアゾール、
ベンズトリアゾール、特開昭５３−７０２号明細書に記
載されている２−メルカプトベンズチアゾール、２−メ
ルカプトベンズイミダゾール、特開昭５９−１１３４３
２号、特開昭５９−１６５０１号、特開昭６０−１２５
４３号、特開昭６０−１２５４４号、特開昭６１−１７
２１３９号各明細書に記載されている化合物を挙げるこ
とができる。密着促進剤の好ましい添加量は、光重合性
組成物の固形分の０．００１〜１０、重量％より好まし
くは０．０１〜５重量％である。１０重量％を越えると
現像残りの原因となる。

【００３７】本発明の光重合性組成物は、基板にラミネ
ート・画像露光した後、未露光部を溶解除去（現像）す
ることにより、レジスト像を形成する。本発明の光重合
性組成物は、アルカリ水溶液により現像することができ
る。現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カ
リウム、炭酸リチウム、アンモニア等の０．１〜１０重
量％の水溶液を用いることができるが、場合によって
は、アミン類、例えばブチルアミン、ヘキシルアミン、
ベンジルアミン、アリルアミン等の１級アミン、ジエチ
ルアミン、ベンジルエチルアミン等の２級アミン、トリ
エチルアミン等の３級アミン、エタノールアミン、ジエ
タノールアミン、トリエタノールアミン、２−アミノ−
１，３−プロパンジオール等のヒドロキシルアミン、モ
ルホリン、ピリジン、ピペラジン、ピペリジン等の環状
アミン、前記アミンの硫酸塩、炭酸塩、重炭酸塩、アル
カリ金属リン酸塩、ピロリン酸塩等の塩基性塩、テトラ
メチルアンモニウムヒドロキシド、コリン等のヒドロキ
シ塩等を使用することもできる。以下、実施例に基づき
本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれによって
限定されるものではない。なお、「部」は、特に断りの
ないかぎり、「重量部」を意味する。

【００３８】

【実施例】

実施例１〜２、比較例１〜５以下に示した素材を混合して均一な溶液を調製した。ドデカプロピレングリコールジアクリレート１５．０部テトラエチレングリコールジメタクリレート３．５部ｐ−トルエンスルホンアミド１．２部４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン０．１２部ベンゾフェノン２．３部２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体（２５重量％ジクロロメタン溶液）４．５部トリブロモメチルフェニルスルホン０．２５部ロイコクリスタルバイオレット０．２５部マラカイトグリーン０．０２部

【００３９】このようにして得られた溶液２７．１４部
に、表１に示した量の各種バインダーの３５％メチルエ
チルケトン溶液を添加した。更に攪拌・溶解させた後、
各々の溶液を厚さ２０μｍのポリエチレンテレフタレー
ト仮支持体上に塗布し、１００℃で２分間乾燥して約４
０μｍ厚の感光性樹脂塗布膜を有する感材を２枚作製し
た。これらの感材を、以下の方法で評価した。

【００４０】１．剥離片の評価上で作製した感材のうち１枚を清浄化した銅張積層板
（銅厚３５μｍ）上に１０５℃で積層した。１５分後に
エッチング用のネガ原稿を介して、５ｋｗ超高圧水銀灯
（オーク社（株）製ＨＭＷ−５３２Ｄ）を用いて７０ｍ
ｊ／ｃｍ²露光した。露光１５分後、１％炭酸ナトリウ
ム水溶液（３０℃）で４０秒間スプレー現像したのち、
２０℃の水で４０秒間水洗した。このようにして得られ
たレジストパターンを５０℃の３％ＮａＯＨ水溶液で剥
離し、剥離片の大きさを評価した。

【００４１】２．エッジフュージョンの評価残ったもう一枚の感材を５ｃｍ角に正確に裁断して１０
枚重ね合わせ、１ｋｇの重りを載せた。３０℃８０％の
雰囲気下でサンプルを保存し、１週間後に１０枚のサン
プルの端が融着しているかどうかチェックした。評価結
果を表１に示した。

【００４２】

【表１】

【００４３】これから、本発明の光重合性組成物を用い
ると、剥離片サイズが小さく、かつエツジフユージヨン
が発生しにくいことが判る。

【００４４】

【発明の効果】本発明の光重合性組成物をバインダーと
して使用したレジストは、剥離片サイズが小さく、かつ
エッジフュージョンが発生しにくい。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/028 Ｇ０３Ｆ 7/028 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０５Ｋ 3/06 ＨＨ０５Ｋ 3/06 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｒ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】（１）カルボキシル基含有バインダー、
（２）光重合可能なモノマー、及び（３）光重合開始剤
を含有する、アルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成
物において、下記一般式（ａ）を含むモノマー、下記一
般式（ｂ）を含むモノマー、及び下記一般式（ｃ）を含
むモノマーの、重量平均分子量５，０００〜２００，０
００の共重合体を、該カルボキシル基含有バインダーの
５％以上含むことを特徴とする光重合性組成物。【化１】（Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ5はそれぞれ水素原子もしくはメチ
ル基、Ｒ4は炭素数１〜５のアルキル基、Ｒ6は水素原
子、メチル基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基、塩
素原子もしくは臭素原子を表し、ｎは１〜１０の整数を
表し、組成比が（ａ）１０〜３５重量％、（ｂ）１〜３
０重量％、（ｃ）３５〜８５重量％である）
【請求項２】請求項１において、該カルボキシル基含
有共重合体以外のカルボキシル基含有バインダーが、メ
タクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ベンジ
ル、もしくはアクリル酸−２−エチルヘキシル共重合体
であることを特徴とする光重合性組成物。
【請求項３】請求項１において、該光重合開始剤がロ
フィン２量体を含有することを特徴とする光重合組成
物。