JP2692641B2 - 不揮発性メモリセル - Google Patents
不揮発性メモリセルInfo
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Description
特に強誘電体材料を用いた不揮発性メモリセルに関す
る。
ヒステリシス特性を有する強誘電体材料をメモリセルに
用い、電源を切断しても記憶を保持する機能を持つ不揮
発性メモリが実現されている。このような不揮発性メモ
リのなかで、SRAM(スタティック・ランダムアクセスメ
モリ)タイプの揮発性メモリセルに強誘電体キャパシタ
を接続した構造を持つ不揮発性メモリセルが従来各種提
案されている。
を接続した従来の不揮発性メモリセルとして、図9に、
特開昭64-66899号公報に開示された不揮発性メモリセル
の構成例を示す。これは、「Shadow RAM」と一般に称呼
される回路である。
ード線、10〜14はクロック入力信号である。101、102は
Pチャネルトランジスタ、103、104はNチャネルトラン
ジスタであり、トランジスタ101〜104はメモリセルのデ
ータを記憶するフリップフロップ(CMOS型スタティ
ックRAMセル)を構成している。107、108は強誘電体キ
ャパシタ、109、110はフリップフロップの内部ノードを
ビット線7、8に接続するアクセストランジスタ、11
1、112は分離用トランジスタ、113、114は短絡トランジ
スタである。なお、分離用トランジスタ111、112は通常
動作時にオフ状態とされ、通常動作中メモリセル部の入
出力ノードに生じる電圧遷移は強誘電体キャパシタ10
7、108に直接伝達されない。
れた強誘電体不揮発性メモリセルの構成例を示す。図1
0において、9はワード線、10、11、12、13、14はクロ
ック入力信号、15、16は2個のデータ入出力信号、17は
パストランジスタ118の入力信号、18はパストランジス
タ118の出力信号、115は強誘不揮発性メモリセル、10
1、102はPチャネル電界効果型トランジスタ、103、104
はNチャネル電界効果型トランジスタ、107、108は強誘
電体キャパシタ、109、110はアクセストランジスタ、11
1、112は分離用トランジスタ、113、114は短絡トランジ
スタ、116、117は常誘電体キャパシタ、118は強誘電体
不揮発性メモリセル114に接続されたパストランジスタ
である。
モリセル115の出力ノードは、パストランジスタ118のゲ
ートに接続されており、不揮発性メモリセル115の記憶
内容によってパストランジスタ118のオン/オフが制御
できる。このため、このような不揮発性メモリセルを利
用することにより、通常電圧で書き換え可能なPLA (Pro
grammable Logic Array)が実現できる。
れた強誘電体不揮発性メモリセルの構成例を示す。図1
1において、6は短絡制御信号、7、8はビット線、9
はワード線、10、11、12、14はクロック入力信号、10
1、102、103、104はフリップフロップを構成するトラン
ジスタ、119は短絡トランジスタ、107、108は強誘電体
キャパシタ、109、110はアクセストランジスタ、111、1
12は分離用トランジスタである。この回路は、図9、図
10に示す回路から強誘電体キャパシタと接地電位間を
短絡するトランジスタ113、114を取り除き、フリップフ
ロップの出力ノード間を短絡するトランジスタ119を付
加したものである。
サ中のレジスタの内容を不揮発で記憶する場合、上記し
た強誘電体不揮発性メモリセルを利用することが考えら
れる。
電体不揮発性メモリセルにおいては、アクセストランジ
スタ109、110、分離用トランジスタ111、112等が必要と
されるため、単位メモリセル当たりの面積が大きくなる
という問題がある。
し、より省面積な強誘電体不揮発性メモリセルを提供す
ることにある。
本発明は、第1、第2の制御入力により駆動され、相補
型の信号を出力する揮発性のメモリ回路と、前記メモリ
回路の第1、第2の入出力端子と第3の制御入力との間
にそれぞれ接続された第1、第2の強誘電体キャパシタ
と、前記メモリ回路の前記第1、第2の入出力端子と前
記第3の制御入力との間にそれぞれ接続された第1、第
2のスイッチ素子と、を含むことを特徴とする不揮発性
メモリセルを提供する。
好ましくは、前記メモリ回路が、ソースを前記第1の制
御入力に接続し、ドレインを前記第1の入出力端子に接
続し、ゲートを前記第2の入出力端子に接続した第1の
Pチャネル型トランジスタと、ソースを前記第1の制御
入力に接続し、ドレインを前記第2の入出力端子に接続
し、ゲートを前記第1の入出力端子に接続した第2のP
チャネル型トランジスタと、ソースを前記第2の制御入
力に接続し、ドレインを前記第1の入出力端子に接続
し、ゲートを前記第2の入出力端子に接続した第3のN
チャネル型トランジスタと、ソースを前記第2の制御入
力に接続し、ドレインを前記第2の入出力端子に接続
し、ゲートを前記第1の入出力端子に接続した第4のN
チャネル型トランジスタと、を備えたことを特徴とす
る。
好ましくは、前記第1、第2のPチャネル型トランジス
タがTFTからなる。
好ましくは、前記メモリ回路は、ソースを前記第1の制
御入力に接続し、ドレインを前記第1の入出力端子に接
続し、ゲートを前記第2の入出力端子に接続した第1の
Pチャネル型トランジスタと、ソースを前記第2の制御
入力に接続し、ドレインを前記第2の入出力端子に接続
し、ゲートを前記第1の入出力端子に接続した第2のP
チャネル型トランジスタと、前記第2の制御入力と前記
第1の入出力端子との間に接続した第1の抵抗素子と、
前記第2の制御入力と前記第2の入出力端子との間に接
続した第2の抵抗素子と、から構成してもよい。
好ましくは、前記メモリ回路は、前記第1の制御入力と
前記第1の入出力端子との間に接続した第1の抵抗素子
と、前記第1の制御入力と前記第2の入出力端子との間
に接続した第2の抵抗素子と、ソースを前記第2の制御
入力に接続し、ドレインを前記第1の入出力端子に接続
し、ゲートを前記第2の入出力端子に接続した前記第1
のNチャネル型トランジスタと、ソースを前記第2の制
御入力に接続し、ドレインを前記第2の入出力端子に接
続し、ゲートを前記第1の入出力端子に接続した第2の
Nチャネル型トランジスタと、から構成してもよい。
好ましくは、前記メモリ回路は、ソースを前記第1の制
御入力に接続し、ドレインを前記第1の入出力端子に接
続し、ゲートを前記第2の入出力端子に接続した第1の
Pチャネル型トランジスタと、ソースを前記第2の制御
入力に接続し、ドレインを前記第2の入出力端子に接続
し、ゲートを前記第1の入出力端子に接続した第2のP
チャネル型トランジスタと、前記第2の制御入力と前記
第1の入出力端子との間に接続した第1のコンデンサ
と、前記第2の制御入力と前記第2の入出力端子との間
に接続した第2のコンデンサと、から構成してもよい。
好ましくは、前記メモリ回路は、前記第1の制御入力と
前記第1の入出力端子との間に接続した第1のコンデン
サと、前記第1の制御入力と前記第2の入出力端子との
間に接続した第2のコンデンサと、ソースを前記第2の
制御入力に接続し、ドレインを前記第1の入出力端子に
接続し、ゲートを前記第2の入出力端子に接続した第1
のNチャネル型トランジスタと、ソースを前記第2の制
御入力に接続し、ドレインを前記第2の入出力端子に接
続し、ゲートを前記第1の入出力端子に接続した第2の
Nチャネル型トランジスタと、から構成してもよい。
好ましくは、上記コンデンサが強誘電体材料から形成さ
れる。
好ましくは、電源投入時に、(a)前記第1の制御入力の
電位を接地電位に設定し、前記第2の制御入力の電位を
電源電位に設定することにより前記メモリ回路を非活性
化し、(b)前記第3の制御入力の電位を第1の電位にプ
リチャージし、(c)前記第1、第2のスイッチ素子を導
通状態として、前記メモリ回路の第1、第2の入出力端
子の電位を前記第3の制御入力の電位と等しくし、(d)
前記第1、第2のスイッチ素子を非導通状態とし、(e)
前記第3の制御入力の電位を第1の電位とは異なる第2
の電位に設定して前記強誘電体キャパシタ間に電位差を
生成し、前記第1、第2の入出力端子上に、強誘電体の
自発分極の状態の違いに起因する電位差を生じさせ、
(f)前記第1の制御信号の電位を電源電位に設定し、前
記第2の制御信号の電位を接地電位に設定して前記メモ
リ回路を活性化し、前記第1、第2の入出力端子の電位
差を増幅して安定に出力し、前記強誘電体キャパシタに
記憶されているデータを読み出すことを特徴とする。
好ましくは、電源切断時に、(a)前記第1の制御入力の
電位を電源電位に設定し、前記第2の制御入力の電位を
接地電位に設定することにより前記メモリ回路を活性化
し、(b)前記第3の制御入力の電位を前記第2の電位か
ら前記第1の電位に変更し、(c)前記第1の制御入力の
電位を接地電位に設定し、前記第2の制御入力の電位を
電源電位に設定することにより前記メモリ回路を非活性
化し、(d)前記第1、第2のスイッチ素子を導通状態と
して、前記メモリ回路の前記第1、第2の入出力端子の
電位を前記第3の制御入力の電位と等しくし、前記メモ
リ回路の記憶データを前記強誘電体キャパシタに書き込
むことを特徴とする。電源投入時、切断時において、前
記第1の電位は好ましくは接地電位とされ、前記第2の
電位は好ましくは電源電位とされる。
から、アクセストランジスタ、分離用トランジスタを取
り除くことにより、メモリセルの面積を前記従来例より
も小さなものとしている。そして、本発明においては、
好ましくは、電源投入時にはスイッチ素子を短絡させて
強誘電体キャパシタ間の電位差を共に零とした後、第3
の制御入力の電位を上昇させることにより、強誘電体キ
ャパシタに記憶されていたデータを電位差として読み取
り、フリップフロップからなるメモリ回路で増幅する。
また、電源切断時には、第3の制御入力の電位を下げ、
フリップフロップ回路の電位差を強誘電体キャパシタに
書き込んだ後、スイッチ素子により強誘電体キャパシタ
間の電位差を共に零とする。
明する。図1に本発明の一実施例の構成を示す。
の相補データ入出力信号、3は第1の制御入力、4は第
2の制御入力、5は第3の制御入力、6は短絡制御信
号、101、102はPチャネル電界効果型トランジスタ、10
3、104はNチャネル電界効果型トランジスタでありトラ
ンジスタ101〜104はフリップフロップ回路100を構成し
ている。105、106はNチャネル電界効果型トランジスタ
(「短絡スイッチ」ともいう)、107、108は強誘電体キ
ャパシタである。Nチャネル電界効果型トランジスタ10
5、106はフリップフロップ回路100の入出力ノードと第
3の制御入力5との間に強誘電体キャパシタ107、108に
並列形態に接続され、ゲートに短絡制御信号が接続され
ている。
ップ回路100は、Pチャネル電界効果型トランジスタ10
1、102、Nチャネル電界効果型トランジスタ103、104の
4つのトランジスタから構成されているが、以下に示す
ような各種構成としてもよい。
ネル電界効果型トランジスタ101、102をTFT(薄膜ト
ランジスタ)で構成してもよい。
ル電界効果型トランジスタ103、104のかわりに2つの抵
抗素子120、121を挿入してもよい。
ネル電界効果型トランジスタ101、102のかわりに2つの
抵抗素子120、121を挿入してもよい。
効果型トランジスタ103、104のかわりに2つのコンデン
サ122、123を挿入してもよい。
効果型トランジスタ101、102のかわりに2つのコンデン
サ122、123を挿入してよい。なお、図4、図5の回路中
のコンデンサ122、123としてPZT等の強誘電体材料を用
いる場合もある。
図1に示す本実施例の動作を説明する。図6は、電源投
入時の動作波形、図7は電源切断時の動作波形を示す波
形図である。
おいては、前記従来例で設けられていたアクセストラン
ジスタ、分離用トランジスタは省かれており、強誘電体
キャパシタ107、108からフリップフロップ回路100への
データの転送、即ち不揮発性部分から揮発性部分へのロ
ードは電源投入時に行われ、逆にフリップフロップ回路
100から強誘電体キャパシタ107、108へのデータの転
送、即ち揮発性部分から不揮発性部分へのリストアは電
源切断時に行われる。
で、第1の制御入力3は接地電位、第2の制御入力4は
電源電位、第3の制御入力5は接地電位、短絡制御信号
6は電源電位に設定される。このとき、フリップフロッ
プ回路100は非活性化され、2つの出力1、2の差電位
の増幅動作を行わない。
ャネル電界効果型トランジスタ105、106のしきい値電圧
Vthを上回るとNチャネル電界効果型トランジスタ10
5、106は導通状態となり短絡スイッチとして作用し、フ
リップフロップ回路100の出力1、2はともに第3の制御
入力5の電位(=接地電位)に等しくされる。
107、108間にかかる電位差は、短絡スイッチの働きによ
り、最大でもしきい値電圧Vthに抑えられるため、強誘
電体キャパシタ107、108に記憶された情報がこの間に破
壊されることはない。
ベルに下げ、Nチャネル電界効果型トランジスタ105、1
06を非導通状態とする。そして、第3の制御入力5を高
レベル(=電源電位)に上げる。
タ107にデータ“1”、強誘電体キャパシタ108にデータ
“0”が記憶されているものとし、そのヒステリシス特
性が図8に示されるようなものであると想定する。
aからbに、強誘電体キャパシタ108の分極はcからb
に移動し、電荷Q1、Q0に比例する電位V1、V0がフリ
ップフロップ回路100の出力1、2にそれぞれ読み出さ
れる。
位、第2の制御入力4を接地電位にすることにより、フ
リップフロップ回路100を活性化する。その結果、フリ
ップフロップ回路100の2つの出力1、2の差電位が増
幅され、強誘電体キャパシタ107、108に記憶されたデー
タのフリップフロップ回路100へのロードが完了する。
について説明する。
位、第2の制御入力4は接地電位に設定されているた
め、フリップフロップ回路100は活性化されている。
から接地電位に下がり、強誘電体キャパシタ107の分極
はbからdに、強誘電体キャパシタ108の分極はcから
bに移動する(図8参照)。
から接地電位に立ち下がり、第2の制御入力4が接地電
位から電源電位に立ち上がる。この結果、フリップフロ
ップ回路100は非活性化される。
立ち上がり、フリップフロップ回路100の出力1、2は
ともに第3の制御入力3の電位(=接地電位)に等しく
される。
はdからaに移動し、強誘電体キャパシタ108の分極は
bのままとされる。このため、強誘電体キャパシタ107
にデータ“1”が、強誘電体キャパシタ108にデータ
“0”が書き込まれ、フリップフロップ回路100から強
誘電体キャパシタ107、108へのデータのリストアが完了
する。
たが、本発明は上記態様にのみ限定されず、本発明の原
理に準ずる各種態様を含むことは勿論である。
不揮発性メモリセルを利用することにより、プロセッサ
中のレジスタの内容を不揮発で記憶するための回路オー
バーヘッドが従来よりも小さくできる。
リセルの回路構成を示す図である。
様を示す図である。
様を示す図である。
様を示す図である。
様を示す図である。
リセルの電源投入時の動作波形を示す図である。
モリセルの電源切断時の動作波形を示す図である。
シス特性を説明する図である。
構成を示す図である。
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
06のしきい値電圧 a、b、c、d 強誘電体キャパシタ105、106のヒステ
リシス・カーブにおける位置 V1、V0 データ“1”、“0”に対応する強誘電体キ
ャパシタ105、106からそれぞれ読み出される電位
Claims (11)
- 【請求項1】第1、第2の制御入力により駆動され、相
補型の信号を出力する揮発性のメモリ回路と、 前記メモリ回路の第1、第2の入出力端子と第3の制御
入力との間にそれぞれ接続された第1、第2の強誘電体
キャパシタと、 前記メモリ回路の前記第1、第2の入出力端子と前記第
3の制御入力との間にそれぞれ接続された第1、第2の
スイッチ素子と、 を含むことを特徴とする不揮発性メモリセル。 - 【請求項2】前記メモリ回路が、 ソースを前記第1の制御入力に接続し、ドレインを前記
第1の入出力端子に接続し、ゲートを前記第2の入出力
端子に接続した第1のPチャネル型トランジスタと、 ソースを前記第1の制御入力に接続し、ドレインを前記
第2の入出力端子に接続し、ゲートを前記第1の入出力
端子に接続した第2のPチャネル型トランジスタと、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第1の入出力端子に接続し、ゲートを前記第2の入出力
端子に接続した第3のNチャネル型トランジスタと、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第2の入出力端子に接続し、ゲートを前記第1の入出力
端子に接続した第4のNチャネル型トランジスタと、 を備えたことを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモ
リセル。 - 【請求項3】前記第1、第2のPチャネル型トランジス
タがTFTからなることを特徴とする請求項2記載の不
揮発性メモリセル。 - 【請求項4】前記メモリ回路が、 ソースを前記第1の制御入力に接続し、ドレインを前記
第1の入出力端子に接続し、ゲートを前記第2の入出力
端子に接続した第1のPチャネル型トランジスタと、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第2の入出力端子に接続し、ゲートを前記第1の入出力
端子に接続した第2のPチャネル型トランジスタと、 前記第2の制御入力と前記第1の入出力端子との間に接
続した第1の抵抗素子と、 前記第2の制御入力と前記第2の入出力端子との間に接
続した第2の抵抗素子と、 を備えたことを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモ
リセル。 - 【請求項5】前記メモリ回路が、 前記第1の制御入力と前記第1の入出力端子との間に接
続した第1の抵抗素子と、 前記第1の制御入力と前記第2の入出力端子との間に接
続した第2の抵抗素子と、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第1の入出力端子に接続し、ゲートを前記第2の入出力
端子に接続した前記第1のNチャネル型トランジスタ
と、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第2の入出力端子に接続し、ゲートを前記第1の入出力
端子に接続した第2のNチャネル型トランジスタと、 を備えたことを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモ
リセル。 - 【請求項6】前記メモリ回路が、 ソースを前記第1の制御入力に接続し、ドレインを前記
第1の入出力端子に接続し、ゲートを前記第2の入出力
端子に接続した第1のPチャネル型トランジスタと、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第2の入出力端子に接続し、ゲートを前記第1の入出力
端子に接続した第2のPチャネル型トランジスタと、 前記第2の制御入力と前記第1の入出力端子との間に接
続した第1のコンデンサと、 前記第2の制御入力と前記第2の入出力端子との間に接
続した第2のコンデンサと、 を備えたことを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモ
リセル。 - 【請求項7】前記メモリ回路が、 前記第1の制御入力と前記第1の入出力端子との間に接
続した第1のコンデンサと、 前記第1の制御入力と前記第2の入出力端子との間に接
続した第2のコンデンサと、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第1の入出力端子に接続し、ゲートを前記第2の入出力
端子に接続した第1のNチャネル型トランジスタと、 ソースを前記第2の制御入力に接続し、ドレインを前記
第2の入出力端子に接続し、ゲートを前記第1の入出力
端子に接続した第4のNチャネル型トランジスタと、 を備えたことを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモ
リセル。 - 【請求項8】前記コンデンサが強誘電体材料を含むこと
を特徴とする請求項6又は7記載の不揮発性メモリセ
ル。 - 【請求項9】電源投入時に、 (a)前記第1の制御入力の電位を接地電位に設定し、前
記第2の制御入力の電位を電源電位に設定することによ
り前記メモリ回路を非活性化し、 (b)前記第3の制御入力の電位を第1の電位にプリチャ
ージし、 (c)前記第1、第2のスイッチ素子を導通状態として、
前記メモリ回路の第1、第2の入出力端子の電位を前記
第3の制御入力の電位と等しくし、 (d)前記第1、第2のスイッチ素子を非導通状態とし、 (e)前記第3の制御入力の電位を第1の電位とは異なる
第2の電位に設定して前記強誘電体キャパシタ間に電位
差を生成し、前記第1、第2の入出力端子上に、強誘電
体の自発分極の状態の違いに起因する電位差を生じさ
せ、 (f)前記第1の制御信号の電位を電源電位に設定し、前
記第2の制御信号の電位を接地電位に設定して前記メモ
リ回路を活性化し、前記第1、第2の入出力端子の電位
差を増幅して安定に出力し、 前記強誘電体キャパシタに記憶されているデータを読み
出すことを特徴とする請求項1記載の不揮発性メモリセ
ル。 - 【請求項10】電源切断時に、 (a)前記第1の制御入力の電位を電源電位に設定し、前
記第2の制御入力の電位を接地電位に設定することによ
り前記メモリ回路を活性化し、 (b)前記第3の制御入力の電位を前記第2の電位から前
記第1の電位に変更し、 (c)前記第1の制御入力の電位を接地電位に設定し、前
記第2の制御入力の電位を電源電位に設定することによ
り前記メモリ回路を非活性化し、 (d)前記第1、第2のスイッチ素子を導通状態として、
前記メモリ回路の前記第1、第2の入出力端子の電位を
前記第3の制御入力の電位と等しくし、 前記メモリ回路の記憶データを前記強誘電体キャパシタ
に書き込むことを特徴とする請求項1記載の不揮発性メ
モリセル。 - 【請求項11】前記第1の電位が接地電位であり、前記
第2の電位が電源電位であることを特徴とする請求項9
又は10記載の不揮発性メモリセル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP7091418A JP2692641B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 不揮発性メモリセル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP7091418A JP2692641B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 不揮発性メモリセル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08264728A JPH08264728A (ja) | 1996-10-11 |
JP2692641B2 true JP2692641B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=14025833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP7091418A Expired - Lifetime JP2692641B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 不揮発性メモリセル |
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AU2003284561A1 (en) * | 2002-11-25 | 2004-06-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Non-volatile memory cell and control method thereof |
KR100483028B1 (ko) * | 2003-03-19 | 2005-04-15 | 주식회사 하이닉스반도체 | 강유전체 메모리 셀 및 이를 이용한 메모리 장치 |
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-
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- 1995-03-24 JP JP7091418A patent/JP2692641B2/ja not_active Expired - Lifetime
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