JP2682339B2 - 固体レーザ共振器 - Google Patents
固体レーザ共振器Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
-
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-
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体レーザ共振器に係
り、特に大出力の直線偏光レーザ光を出射することがで
きるレーザ共振器に関する。
り、特に大出力の直線偏光レーザ光を出射することがで
きるレーザ共振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体レーザ共振器、例えばＹＡＧレーザ
共振器において、直線偏光のレーザ光を出射するには、
共振器内に、ブリュースタ板に代表される偏光方向を特
定する為の光学素子を挿入するのが一般的である。しか
し、この方法ではレーザロッド内に生ずる熱応力による
複屈折のために、大出力の直線偏光レーザ光を出射する
ことができない。この問題を解決する方法としてSolid
−State Laser Engineering（Springer−Verla
g １９７６）に、２本のレーザロッドの間に偏光方向を
９０度回転させる水晶旋光子を挿入する構成が示されて
いる。
共振器において、直線偏光のレーザ光を出射するには、
共振器内に、ブリュースタ板に代表される偏光方向を特
定する為の光学素子を挿入するのが一般的である。しか
し、この方法ではレーザロッド内に生ずる熱応力による
複屈折のために、大出力の直線偏光レーザ光を出射する
ことができない。この問題を解決する方法としてSolid
−State Laser Engineering（Springer−Verla
g １９７６）に、２本のレーザロッドの間に偏光方向を
９０度回転させる水晶旋光子を挿入する構成が示されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の水晶旋光子を挿
入する構成は、一方のレーザロッドで生じた複屈折によ
る影響を、もう一方のレーザロッドで生じる複屈折によ
りキャンセルするようになっており、双方のレーザロ
ッド内のほぼ同一部分をレーザビームが通過すること、
双方のレーザロッドでほぼ同一の熱影響を受けること
が前提となっている。
入する構成は、一方のレーザロッドで生じた複屈折によ
る影響を、もう一方のレーザロッドで生じる複屈折によ
りキャンセルするようになっており、双方のレーザロ
ッド内のほぼ同一部分をレーザビームが通過すること、
双方のレーザロッドでほぼ同一の熱影響を受けること
が前提となっている。
【０００４】しかし、本発明者らの実験によれば、実際
の装置では、これら２つの条件を満たすことは難しく、
複屈折の影響を完全にキャンセルできず、レーザロッド
への入射熱量の増加と共に、直線偏光のレーザ出力は低
下し、その強度分布も不均一になることが分かった。こ
の現象は、熱応力の発生により、ブリュースタ板等で特
定される偏光方向とは異なる偏光方向の成分のレーザ光
が、共振器内に発生する所謂複屈折現象による。
の装置では、これら２つの条件を満たすことは難しく、
複屈折の影響を完全にキャンセルできず、レーザロッド
への入射熱量の増加と共に、直線偏光のレーザ出力は低
下し、その強度分布も不均一になることが分かった。こ
の現象は、熱応力の発生により、ブリュースタ板等で特
定される偏光方向とは異なる偏光方向の成分のレーザ光
が、共振器内に発生する所謂複屈折現象による。
【０００５】複屈折現象が発生すると、レーザ発振器か
らは、十字モードと呼ばれる図１５に示すような断面形
状が十字形状の強度分布を持つ直線偏光のレーザ光が出
射されるようになる。図中Ｐで示したのは、挿入される
ブリュースタ板で特定される偏光方向である。
らは、十字モードと呼ばれる図１５に示すような断面形
状が十字形状の強度分布を持つ直線偏光のレーザ光が出
射されるようになる。図中Ｐで示したのは、挿入される
ブリュースタ板で特定される偏光方向である。
【０００６】図において、Ｂｒで示す部分は、複屈折現
象によってブリュースタ板で特定される偏光方向と直交
する成分を有するレーザ光が多くなる領域である。この
為、レーザ光の効率が悪くなり、出力が下がる。
象によってブリュースタ板で特定される偏光方向と直交
する成分を有するレーザ光が多くなる領域である。この
為、レーザ光の効率が悪くなり、出力が下がる。
【０００７】本発明の目的は、レーザ光効率を良くし
て、出力を向上させることが出来る固体レーザ共振器を
提供することにある。
て、出力を向上させることが出来る固体レーザ共振器を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、共振器内に
１／４波長板を、その結晶の光学軸の方向がブリュース
タ板で特定されるレーザ光の偏光方向とほぼ平行になる
ように挿入する。
１／４波長板を、その結晶の光学軸の方向がブリュース
タ板で特定されるレーザ光の偏光方向とほぼ平行になる
ように挿入する。
【０００９】
【作用】レーザ共振器内の複屈折現象の影響を受けたレ
ーザ光は、１／４波長板を透過することにより、ブリュ
ースタ板で特定されるレーザ光の偏光方向と直交するレ
ーザ光の成分が減少して、レーザ光の直線偏光出力分布
は均一になり、効率が良くなり、レーザ光出力を大幅に
向上させることが出来る。
ーザ光は、１／４波長板を透過することにより、ブリュ
ースタ板で特定されるレーザ光の偏光方向と直交するレ
ーザ光の成分が減少して、レーザ光の直線偏光出力分布
は均一になり、効率が良くなり、レーザ光出力を大幅に
向上させることが出来る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明による一実施例を図１に示すＹ
ＡＧレーザを例に説明する。
ＡＧレーザを例に説明する。
【００１１】図１において、１は１％程度のＮｄイオン
を含むＹＡＧロッドで、全反射鏡２及び、出力鏡３とで
レーザ共振器４を構成する。励起ランプ５による光励起
によりＹＡＧロッド１内にレーザ光６を発生し、その一
部がレーザ光７として共振器４外に出射される。共振器
４内の偏光方向を特定する為にブリュースタ板８，９が
レーザ光６の光路１０に配置され、図１においては、紙
面に平行な方向にレーザ光６の偏光方向が特定される。
１１及び１２は１／４波長板で、その結晶の光学軸の方
向がブリュースタ板８，９で特定されるレーザ光６の偏
光方向とほぼ平行となるように配置される。
を含むＹＡＧロッドで、全反射鏡２及び、出力鏡３とで
レーザ共振器４を構成する。励起ランプ５による光励起
によりＹＡＧロッド１内にレーザ光６を発生し、その一
部がレーザ光７として共振器４外に出射される。共振器
４内の偏光方向を特定する為にブリュースタ板８，９が
レーザ光６の光路１０に配置され、図１においては、紙
面に平行な方向にレーザ光６の偏光方向が特定される。
１１及び１２は１／４波長板で、その結晶の光学軸の方
向がブリュースタ板８，９で特定されるレーザ光６の偏
光方向とほぼ平行となるように配置される。
【００１２】次に、レーザ発振器の動作を説明する。
【００１３】励起ランプ５によるＹＡＧロッド１の光励
起によりレーザ発振が開始される。ブリュースタ板８，
９を透過するレーザ光６の偏光方向は紙面に平行となる
が、ＹＡＧロッド１の温度上昇と共にＹＡＧロッド１内
に、熱応力による複屈折現象が発生する。
起によりレーザ発振が開始される。ブリュースタ板８，
９を透過するレーザ光６の偏光方向は紙面に平行となる
が、ＹＡＧロッド１の温度上昇と共にＹＡＧロッド１内
に、熱応力による複屈折現象が発生する。
【００１４】熱応力の発生により図２に示す半径方向の
屈折率(ｎr )と円周方向の屈折率（ｎφ）がｎr＜ｎφ
となり、円周方向に偏光面を持つレーザ光の位相が半径
方向に偏光面を持つレーザ光の位相より進む。図２のＹ
軸方向は図１において紙面に平行な方向であり、Ｘ軸方
向は紙面に垂直な方向である。
屈折率(ｎr )と円周方向の屈折率（ｎφ）がｎr＜ｎφ
となり、円周方向に偏光面を持つレーザ光の位相が半径
方向に偏光面を持つレーザ光の位相より進む。図２のＹ
軸方向は図１において紙面に平行な方向であり、Ｘ軸方
向は紙面に垂直な方向である。
【００１５】これら２方向の位相差の影響はレーザ光６
の偏光方向（図２にＰと表示）と±４５度をなすライン
１３，１４上で最大となる。
の偏光方向（図２にＰと表示）と±４５度をなすライン
１３，１４上で最大となる。
【００１６】図３〜図９はライン１３上を紙面に垂直な
方向に通過する直線偏光レーザ光の偏光状態がＹＡＧロ
ッド１を１往復する間にどのように変化するかを示した
ものである。
方向に通過する直線偏光レーザ光の偏光状態がＹＡＧロ
ッド１を１往復する間にどのように変化するかを示した
ものである。
【００１７】図３の１／４波長板１１に入射前のレーザ
光６が、１／４波長板１１を通過後、図４の直線偏光に
より更にレーザ光６がＹＡＧロッド１を通過後（往路）
に図５の楕円偏向Ｚになる。
光６が、１／４波長板１１を通過後、図４の直線偏光に
より更にレーザ光６がＹＡＧロッド１を通過後（往路）
に図５の楕円偏向Ｚになる。
【００１８】１／４波長板１２を通過後は図６の直線偏
光となり、全反射鏡２で反射され１／４波長板１２を再
通過後に図７の楕円偏向Ｚとなり、再び、ＹＡＧロッド
１を再通過後（復路）に図８の楕円偏光となり１／４波
長板１１を再通過後に図９に示す直線偏光レーザにな
る。
光となり、全反射鏡２で反射され１／４波長板１２を再
通過後に図７の楕円偏向Ｚとなり、再び、ＹＡＧロッド
１を再通過後（復路）に図８の楕円偏光となり１／４波
長板１１を再通過後に図９に示す直線偏光レーザにな
る。
【００１９】このように、直線偏光で入射したレーザ光
は、ＹＡＧロッド１の通過（往路）により、右楕円偏光
(Δ：レーザロッド通過により生ずる位相差：ラジアン
表示)となり、全反射鏡２で反射し、再度のＹＡＧロッ
ド１を通過（復路）後には傾きの異なる右楕円偏光とな
り、１／４波長板１１を再通過後には方位角−Δ、の直
線偏光となる。
は、ＹＡＧロッド１の通過（往路）により、右楕円偏光
(Δ：レーザロッド通過により生ずる位相差：ラジアン
表示)となり、全反射鏡２で反射し、再度のＹＡＧロッ
ド１を通過（復路）後には傾きの異なる右楕円偏光とな
り、１／４波長板１１を再通過後には方位角−Δ、の直
線偏光となる。
【００２０】したがって、 Δ＝±ｎπ／２で入射レーザ光と偏光方向が一致 Δ＝±（ｎ＋１）π／２で入射レーザ光と偏光方向が直
交、となる。
交、となる。
【００２１】ここに、ｎ＝０，２，４，６…… ＹＡＧロッドの通過により生ずる位相差Δの値によっ
て、１／４波長板１１,１２の挿入時の効果に差異を生
ずることが予想される。
て、１／４波長板１１,１２の挿入時の効果に差異を生
ずることが予想される。
【００２２】しかし、図１の構成において、ＹＡＧロッ
ド１として、直径１０mm、長さ152mmのものを使用して
の実験結果を図１０に示したが、注入パワ−１.２ｋＷ
の時、本発明のレーザ出力Ａは従来のレーザ出力Ｂに比
べて約２０％増加した。特に、上記の検討結果から出射
レーザ光の強度分布が図１５のように不均一なものにな
ると予想されたが、実験では、１／４波長板挿入前の十
字モードが図２のようなほぼ均一な強度分布の円形モー
ドに変わった。これは、図３〜図９は特定の方向の直線
偏光のレーザ光が一往復する場合についての検討結果で
あり、共振器内にはこれ以外の偏光方向のレーザ光も存
在していることによるものと推測された。
ド１として、直径１０mm、長さ152mmのものを使用して
の実験結果を図１０に示したが、注入パワ−１.２ｋＷ
の時、本発明のレーザ出力Ａは従来のレーザ出力Ｂに比
べて約２０％増加した。特に、上記の検討結果から出射
レーザ光の強度分布が図１５のように不均一なものにな
ると予想されたが、実験では、１／４波長板挿入前の十
字モードが図２のようなほぼ均一な強度分布の円形モー
ドに変わった。これは、図３〜図９は特定の方向の直線
偏光のレーザ光が一往復する場合についての検討結果で
あり、共振器内にはこれ以外の偏光方向のレーザ光も存
在していることによるものと推測された。
【００２３】このように、本発明ではレーザ共振器内の
複屈折現象の影響を受けたレーザ光は、１／４波長板を
透過することにより、ブリュースタ板で特定される偏光
方向と直交するレーザ光の成分が減少して、レーザ光の
直線偏光出力分布は均一になり、効率が良くなり、レー
ザ光出力が１／４波長板を使用しない場合に比べて直線
偏光出力は約２０％向上した。
複屈折現象の影響を受けたレーザ光は、１／４波長板を
透過することにより、ブリュースタ板で特定される偏光
方向と直交するレーザ光の成分が減少して、レーザ光の
直線偏光出力分布は均一になり、効率が良くなり、レー
ザ光出力が１／４波長板を使用しない場合に比べて直線
偏光出力は約２０％向上した。
【００２４】図１１は本発明の他の実施例を示すもの
で、２本のＹＡＧロッド１の間に偏光方向を９０度回転
させる水晶旋光子１５が挿入されている。２本のＹＡＧ
ロッド１と９０度回転させる水晶旋光子１５から成るレ
ーザ共振器の構成は、ＹＡＧロッド内に発生した複屈折
の影響をキャンセルする効果的な方法として公知の技術
である。
で、２本のＹＡＧロッド１の間に偏光方向を９０度回転
させる水晶旋光子１５が挿入されている。２本のＹＡＧ
ロッド１と９０度回転させる水晶旋光子１５から成るレ
ーザ共振器の構成は、ＹＡＧロッド内に発生した複屈折
の影響をキャンセルする効果的な方法として公知の技術
である。
【００２５】しかし、本発明者等の実験によれば、２本
のＹＡＧロッド１の位置合わせが難しく、ＹＡＧロッド
１への入力熱が大となると、複屈折の影響をキャンセル
することが出来ないことがわかつた。それで、本発明で
はかかる構成に対しては、ブリュースタ板８で特定され
る偏光方向と、１／４波長板１１の結晶の光学軸の方向
がほぼ平行となるように、また、ブリュースタ板９で特
定される偏光方向と、１／４波長板１２の結晶の光学軸
の方向がほぼ平行となるように配置する。これら２つの
偏光方向は水晶旋光子１５をはさんで互いに直交する関
係に保持される。本実施例では、水晶旋光子１５の挿入
でキャンセルされなかった２本のＹＡＧロッド内の複屈
折の影響を１／４波長板９，１０で補正するように作用
するので、図１に示した構成より高い注入パワーにおい
ても１／４波長板挿入の効果があり、直径１０mm，長さ
１５２mmのＹＡＧロッドを２本使用しての実験では、注
入パワー２.４ｋＷ の時、レーザ出力は２０％増し、出
射レーザ光の強度分布は十字モードからほぼ均一な強度
分布の円形モードになった。
のＹＡＧロッド１の位置合わせが難しく、ＹＡＧロッド
１への入力熱が大となると、複屈折の影響をキャンセル
することが出来ないことがわかつた。それで、本発明で
はかかる構成に対しては、ブリュースタ板８で特定され
る偏光方向と、１／４波長板１１の結晶の光学軸の方向
がほぼ平行となるように、また、ブリュースタ板９で特
定される偏光方向と、１／４波長板１２の結晶の光学軸
の方向がほぼ平行となるように配置する。これら２つの
偏光方向は水晶旋光子１５をはさんで互いに直交する関
係に保持される。本実施例では、水晶旋光子１５の挿入
でキャンセルされなかった２本のＹＡＧロッド内の複屈
折の影響を１／４波長板９，１０で補正するように作用
するので、図１に示した構成より高い注入パワーにおい
ても１／４波長板挿入の効果があり、直径１０mm，長さ
１５２mmのＹＡＧロッドを２本使用しての実験では、注
入パワー２.４ｋＷ の時、レーザ出力は２０％増し、出
射レーザ光の強度分布は十字モードからほぼ均一な強度
分布の円形モードになった。
【００２６】図１２はＹＡＧロッド１と、全反射鏡２の
間に１／４波長板１２が、出力鏡３との間にブリュース
タ板８が配置されている。本実施例では前記２つの実施
例のような高い注入パワーで効果を発揮できないが、注
入パワー０.７ｋＷ レベルでは効果があることを確認し
ている。
間に１／４波長板１２が、出力鏡３との間にブリュース
タ板８が配置されている。本実施例では前記２つの実施
例のような高い注入パワーで効果を発揮できないが、注
入パワー０.７ｋＷ レベルでは効果があることを確認し
ている。
【００２７】この実施例では、図１に比べて１／４波長
板１１とブリュースタ板９とを省略出来るだけ、装置を
小型化出来る。なお、この実施例では１／４波長板１２
をＹＡＧロッド１とブリュースタ板８の間に挿入しても
ほとんどその効果は変わらないことも確認された。
板１１とブリュースタ板９とを省略出来るだけ、装置を
小型化出来る。なお、この実施例では１／４波長板１２
をＹＡＧロッド１とブリュースタ板８の間に挿入しても
ほとんどその効果は変わらないことも確認された。
【００２８】図１３は本発明を、スラブタイプのＹＡＧ
レーザに適用した例を示すもので、本例では、ＹＡＧス
ラブ自身で偏光方向が特定されるので（図１３では紙面
に平行となる）、１／４波長板１２の結晶の光学軸の方
向は、その方向とほぼ平行になるように挿入する。本構
成ではブリュースタ板は不要となる。スラブタイプでは
幅方向の両端の断熱性能の良否によって直線偏光レーザ
出力特性が変化するが、本構成により、注入パワーが大
きい場合の、幅方向の両端の温度勾配の影響による直線
偏光レーザ出力の低下を防止できる。なお、本構成でも
１／４波長板１１のみ、あるいは１／４波長板１２の
み、とすることもできる。
レーザに適用した例を示すもので、本例では、ＹＡＧス
ラブ自身で偏光方向が特定されるので（図１３では紙面
に平行となる）、１／４波長板１２の結晶の光学軸の方
向は、その方向とほぼ平行になるように挿入する。本構
成ではブリュースタ板は不要となる。スラブタイプでは
幅方向の両端の断熱性能の良否によって直線偏光レーザ
出力特性が変化するが、本構成により、注入パワーが大
きい場合の、幅方向の両端の温度勾配の影響による直線
偏光レーザ出力の低下を防止できる。なお、本構成でも
１／４波長板１１のみ、あるいは１／４波長板１２の
み、とすることもできる。
【００２９】なお、上記４例では光軸方向が一つの１／
４波長板を使用した場合を示した。１／４波長板とし
て、２枚の水晶板を光軸方向が直交するように重ね合わ
せ、２枚の厚さの差に等しい厚さの一枚の水晶板と、等
価な波長板としたものがあるが、このような構成の１／
４波長板では、いずれか一方の光軸方向がブリュースタ
板で特定される偏光方向とほぼ平行となるように光路に
挿入すれば良い。
４波長板を使用した場合を示した。１／４波長板とし
て、２枚の水晶板を光軸方向が直交するように重ね合わ
せ、２枚の厚さの差に等しい厚さの一枚の水晶板と、等
価な波長板としたものがあるが、このような構成の１／
４波長板では、いずれか一方の光軸方向がブリュースタ
板で特定される偏光方向とほぼ平行となるように光路に
挿入すれば良い。
【００３０】図１４のレーザ発振器４からのレーザ光７
は、ビーム拡大器１０１を経て液晶マスク１０２に照射
される。液晶マスク１０２にはレーザマーカコントロー
ラ１０３から、液晶駆動装置１０４を経て刻印すべきパ
ターン情報が表示されている。そして偏向ビームスプリ
ッタ１０５によりパターン情報を含むレーザ光106が分
離され、ミラー１０９を経てレンズ１１０によりワーク
１１１上にパターンが転写される。不用光１０７は吸収
板１０８により吸収される。ワーク移動台１１２はレー
ザマーカコントローラ１０３により制御される。
は、ビーム拡大器１０１を経て液晶マスク１０２に照射
される。液晶マスク１０２にはレーザマーカコントロー
ラ１０３から、液晶駆動装置１０４を経て刻印すべきパ
ターン情報が表示されている。そして偏向ビームスプリ
ッタ１０５によりパターン情報を含むレーザ光106が分
離され、ミラー１０９を経てレンズ１１０によりワーク
１１１上にパターンが転写される。不用光１０７は吸収
板１０８により吸収される。ワーク移動台１１２はレー
ザマーカコントローラ１０３により制御される。
【００３１】又、本発明のレーザ発振器４は半導体素子
に設けた抵抗膜の抵抗調整をするトリミング装置にも利
用できる。更に本発明のレーザ発振器４を利用したレー
ザ加工機例えば表面処理に利用すれば効果が大きいが、
切断等にも利用出来ることは勿論である。
に設けた抵抗膜の抵抗調整をするトリミング装置にも利
用できる。更に本発明のレーザ発振器４を利用したレー
ザ加工機例えば表面処理に利用すれば効果が大きいが、
切断等にも利用出来ることは勿論である。
【００３２】
【発明の効果】本発明によれば、レーザ共振器内の複屈
折現象の影響を受けたレーザ光は、１／４波長板を透過
することにより、ブリュースタ板で特定される偏光方向
と直交するレーザ光の成分が減少して、レーザ光の直線
偏光出力分布は均一になり、効率が良くなり、直線偏光
レーザ光出力が大幅に向上した。
折現象の影響を受けたレーザ光は、１／４波長板を透過
することにより、ブリュースタ板で特定される偏光方向
と直交するレーザ光の成分が減少して、レーザ光の直線
偏光出力分布は均一になり、効率が良くなり、直線偏光
レーザ光出力が大幅に向上した。
【図１】図１は本発明に実施例として示したＹＡＧレー
ザ共振器の概略側面図である。
ザ共振器の概略側面図である。
【図２】図２は図１に使用したＹＡＧロッド１の偏光状
態を説明するＹＡＧロッドの断面図である。
態を説明するＹＡＧロッドの断面図である。
【図３】図３は図１のＹＡＧレーザ共振器に１／４波長
板１１を入射前の偏光状態を説明する説明図である。
板１１を入射前の偏光状態を説明する説明図である。
【図４】図３は図１のＹＡＧレーザ共振器に１／４波長
板１１を通過後の偏光状態を説明する説明図である。
板１１を通過後の偏光状態を説明する説明図である。
【図５】図５は図１のＹＡＧロッド１通過後（往路）の
偏光状態を説明する説明である。
偏光状態を説明する説明である。
【図６】図６は図１の１／４波長板１２を通過後（往
路）の偏光状態を説明する説明図である。
路）の偏光状態を説明する説明図である。
【図７】図７は図１の１／４波長板１２を再通過後（復
路）の偏光状態を説明する説明図である。
路）の偏光状態を説明する説明図である。
【図８】図８はＹＡＧロッド１を再通過後（復路）の偏
光状態を説明する説明図である。
光状態を説明する説明図である。
【図９】図９は１／４波長板１１を再通過後（復路）の
偏光状態を説明する説明図である。
偏光状態を説明する説明図である。
【図１０】図１０は本発明に係るＹＡＧレーザ共振器の
発振特性例を示す図である。
発振特性例を示す図である。
【図１１】本発明に係るＹＡＧレーザ共振器の他の実施
例の側面図である。
例の側面図である。
【図１２】本発明に係るＹＡＧレーザ共振器の他の実施
例の側面図である。
例の側面図である。
【図１３】本発明に係るＹＡＧレーザ共振器の他の実施
例の側面図である。
例の側面図である。
【図１４】図１４は本発明に他の実施例であるＹＡＧレ
ーザ共振器をレーザマーカに使用した時の説明図であ
る。
ーザ共振器をレーザマーカに使用した時の説明図であ
る。
【図１５】図１５は一般のレーザ光出力の複屈折現象を
説明する断面図である。
説明する断面図である。
１…ＹＡＧロッド、２…全反射鏡、３…出力鏡、４…レ
ーザ共振器、５…励起ランプ、６，７…レーザ光、８，
９…ブリュースタ板、１０…光路、１１，１２…１／４
波長板、１５…水晶旋光子、１６…ＹＡＧスラブ。
ーザ共振器、５…励起ランプ、６，７…レーザ光、８，
９…ブリュースタ板、１０…光路、１１，１２…１／４
波長板、１５…水晶旋光子、１６…ＹＡＧスラブ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 米国特許4935932（ＵＳ，Ａ) ＩＥＥＥ Ｊ． ＱＵＡＮＴＵＭ Ｅ ＬＥＣＴＲＯＮ ＱＥ−20 〜３！ （1984） Ｐ．289−301
Claims (6)
- 【請求項１】励起ランプによる光励起により固体レーザ
媒体内に発生するレーザ光を、全反射鏡と出力鏡との間
で共振させ外部に出射するレーザ共振器において、レー
ザ共振器内にレーザ光の偏光方向を特定する少なくとも
一枚以上のブリュースタ板と、結晶の光学軸が前記ブリ
ュースタ板で特定される偏光方向とほぼ平行となる少な
くとも一枚以上の１／４波長板を配置したことを特徴と
する固体レーザ共振器。 - 【請求項２】前記固体レーザ媒体の両側にそれぞれ１／
４波長板とブリュースタ板を配置したことを特徴とする
請求項１記載の固体レーザ共振器。 - 【請求項３】前記固体レーザ媒体がレーザロッドである
ことを特徴とする請求項１記載の固体レーザ共振器。 - 【請求項４】励起ランプによる光励起により固体レーザ
媒体内に発生するレーザ光を、全反射鏡と出力鏡との間
で共振させ外部に出射するレーザ共振器において、前記
レーザ媒体をジグザグスラブで構成し、前記ジグザグス
ラブで特定されるレーザ光の偏光方向と結晶の光学軸が
ほぼ平行となる少なくとも一枚以上の１／４波長板を配
置したことを特徴とする固体レーザ共振器。 - 【請求項５】前記ジグザグスラブの両側にそれぞれ１／
４波長板を配置したことを特徴とする請求項５記載の固
体レーザ共振器。 - 【請求項６】励起ランプによる光励起により固体レーザ
媒体内に発生するレーザ光を、全反射鏡と出力鏡との間
で共振させ外部に出射するレーザ共振器において、レー
ザ共振器内に発生する２つの偏光成分の内、優勢な偏光
方向と結晶の光学軸がほぼ平行となる少なくとも一枚以
上の１／４波長板を固体レーザ共振器内に配置したこと
を特徴とする固体レーザ共振器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4191875A JP2682339B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 固体レーザ共振器 |
| EP93110627A EP0579998B1 (en) | 1992-07-20 | 1993-07-02 | Solid-state resonator |
| DE69305269T DE69305269T2 (de) | 1992-07-20 | 1993-07-02 | Fest-Körper Resonator |
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| US07/092,914 US5381437A (en) | 1992-07-20 | 1993-07-19 | High-power solid-state laser resonator |
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|---|---|---|---|
| JP4191875A JP2682339B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 固体レーザ共振器 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637372A JPH0637372A (ja) | 1994-02-10 |
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| US3824492A (en) * | 1972-06-22 | 1974-07-16 | United Aircraft Corp | Solid state single frequency laser |
| US4068190A (en) * | 1976-02-09 | 1978-01-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Laser system having frequency doubling |
| US4408334A (en) * | 1981-03-13 | 1983-10-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Waveplate for correcting thermally induced stress birefringence in solid state lasers |
| US4547651A (en) * | 1981-05-28 | 1985-10-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus |
| US4498179A (en) * | 1982-07-30 | 1985-02-05 | The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Modulated infrared laser with two coupled cavities |
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-
1992
- 1992-07-20 JP JP4191875A patent/JP2682339B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-07-02 DE DE69305269T patent/DE69305269T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-07-02 EP EP93110627A patent/EP0579998B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-07-15 KR KR1019930013298A patent/KR100277389B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1993-07-19 US US07/092,914 patent/US5381437A/en not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ＩＥＥＥ Ｊ． ＱＵＡＮＴＵＭ ＥＬＥＣＴＲＯＮ ＱＥ−２０ 〜３！ （１９８４） Ｐ．２８９−３０１ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940003127A (ko) | 1994-02-19 |
| EP0579998A1 (en) | 1994-01-26 |
| DE69305269D1 (de) | 1996-11-14 |
| DE69305269T2 (de) | 1997-04-30 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |