JP2681602B2 - 炭窒化チタン焼結体の製造方法 - Google Patents
炭窒化チタン焼結体の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高強度、高靭性、電気
伝導性に優れた炭窒化チタン焼結体の製造方法に関す
る。
伝導性に優れた炭窒化チタン焼結体の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】炭窒化チタン｛Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）｝は、炭
化チタン（ＴｉＣ）と窒化チタン（ＴｉＮ）の全率型の
固溶体であり、高硬度、高融点、耐熱衝撃性を有し、か
つ電気の良導体である。
化チタン（ＴｉＣ）と窒化チタン（ＴｉＮ）の全率型の
固溶体であり、高硬度、高融点、耐熱衝撃性を有し、か
つ電気の良導体である。
【０００３】従来、導電性セラミックス素材を母材とす
る焼結体が、例えば加熱炉用圧延ロールに使用されてい
る。このような焼結体の代表的なものは、硼化チタン
（ＴｉＢ2 ），硼化ジルコニウム（ＺｒＢ2 ），Ｔｉ
（Ｃ，Ｎ）などを母材とするものである。
る焼結体が、例えば加熱炉用圧延ロールに使用されてい
る。このような焼結体の代表的なものは、硼化チタン
（ＴｉＢ2 ），硼化ジルコニウム（ＺｒＢ2 ），Ｔｉ
（Ｃ，Ｎ）などを母材とするものである。
【０００４】Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）を母材とする焼結体に関し
ては、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ2 Ｃ−Ｎｉ系，−ＷＣ−Ｎ
ｉ系などのサーメットとして、「粉体および粉末冶金、
第３８巻第２号」などの技術文献に記載されている。
ては、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ2 Ｃ−Ｎｉ系，−ＷＣ−Ｎ
ｉ系などのサーメットとして、「粉体および粉末冶金、
第３８巻第２号」などの技術文献に記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述のＴｉ（Ｃ，Ｎ）
系サーメットにおいては、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）粒を取りまく
金属相の層が厚いので、それらの熱膨張差によるＴｉ
（Ｃ，Ｎ）粒に対する破壊応力が大きくなり、焼結体の
機械的強度が低下するという問題が生じる。 本発明
は、高強度かつ高靭性であり、しかも電気伝導性に優れ
た炭窒化チタン焼結体の製造方法を提供することを目的
とする。
系サーメットにおいては、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）粒を取りまく
金属相の層が厚いので、それらの熱膨張差によるＴｉ
（Ｃ，Ｎ）粒に対する破壊応力が大きくなり、焼結体の
機械的強度が低下するという問題が生じる。 本発明
は、高強度かつ高靭性であり、しかも電気伝導性に優れ
た炭窒化チタン焼結体の製造方法を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明は、炭窒化チタン粉７０〜９５重量％にス
テンレス鋼粉５〜３０重量％を湿式混合して得られたス
ラリーを乾燥してから、造粒し、その造粒粉を加圧成形
して得られた圧粉体を１４００〜１７００℃の焼成温度
で無加圧焼成することを特徴とする炭窒化チタン焼結体
の製造方法を要旨とする。
めに、本発明は、炭窒化チタン粉７０〜９５重量％にス
テンレス鋼粉５〜３０重量％を湿式混合して得られたス
ラリーを乾燥してから、造粒し、その造粒粉を加圧成形
して得られた圧粉体を１４００〜１７００℃の焼成温度
で無加圧焼成することを特徴とする炭窒化チタン焼結体
の製造方法を要旨とする。
【０００７】
【実施例】本発明の好適な実施例による炭窒化チタン焼
結体の製造方法について説明する。
結体の製造方法について説明する。
【０００８】炭窒化チタン｛Ｔｉ（Ｃx ，Ｎ1-x ）｝の
粉体７０〜９５重量％に助剤としてＳＵＳ３１６Ｌ等の
ステンレス鋼の粉体５〜３０重量％を添加し、それらを
結合剤添加のトルエン溶液中で湿式混合して、スラリー
を得る。そのスラリーを乾燥してから、造粒した後、３
００ＭＰａの圧力でＣＩＰ成形（冷間静水圧成形）して
圧粉体を得る。その圧粉体を水素ガス（Ｈ2 ）あるいは
窒素ガス（Ｎ2 ）の雰囲気で１４００℃〜１７００℃の
範囲内の焼成温度で１時間常圧焼結し、炭窒化チタンの
焼結体を得る。
粉体７０〜９５重量％に助剤としてＳＵＳ３１６Ｌ等の
ステンレス鋼の粉体５〜３０重量％を添加し、それらを
結合剤添加のトルエン溶液中で湿式混合して、スラリー
を得る。そのスラリーを乾燥してから、造粒した後、３
００ＭＰａの圧力でＣＩＰ成形（冷間静水圧成形）して
圧粉体を得る。その圧粉体を水素ガス（Ｈ2 ）あるいは
窒素ガス（Ｎ2 ）の雰囲気で１４００℃〜１７００℃の
範囲内の焼成温度で１時間常圧焼結し、炭窒化チタンの
焼結体を得る。
【０００９】前述のように助剤添加率は５〜３０重量％
の範囲内であり、好ましくは１０〜２０重量％の範囲内
である。それによって、焼結体の機械的強度、破壊靭性
が良好になる。助剤添加率が５重量％未満の場合は、焼
結性が悪く、３０重量％より多い場合は、機械的強度が
低下する。
の範囲内であり、好ましくは１０〜２０重量％の範囲内
である。それによって、焼結体の機械的強度、破壊靭性
が良好になる。助剤添加率が５重量％未満の場合は、焼
結性が悪く、３０重量％より多い場合は、機械的強度が
低下する。
【００１０】焼成温度が１４００℃未満の場合は焼結せ
ず、１７００℃より高い場合は機械的強度、破壊靭性が
低下する。
ず、１７００℃より高い場合は機械的強度、破壊靭性が
低下する。
【００１１】結合剤添加のトルエン溶液は、結合剤とし
てステアリン酸およびパラフィンをトルエン溶液に添加
したものである。ステアリン酸およびパラフィンのそれ
ぞれの量は、混合粉に対して外率０．５〜５重量％であ
る。
てステアリン酸およびパラフィンをトルエン溶液に添加
したものである。ステアリン酸およびパラフィンのそれ
ぞれの量は、混合粉に対して外率０．５〜５重量％であ
る。
【００１２】炭窒化チタン｛Ｔｉ（Ｃx ，Ｎ1-x ）｝に
おいては、炭化チタン（ＴｉＣ）に窒素（Ｎ）が固溶し
ているので、炭化チタン焼結体（ＴｉＣ焼結体）、窒化
チタン焼結体（ＴｉＮ焼結体）と比較して、焼結時にお
けるＴｉ（Ｃ，Ｎ）の粒成長が抑制されるとともに、焼
結性が向上する。したがって、常圧焼結に最適なＴｉ
（Ｃx ，Ｎ1-x ）（０＜ｘ＜１）の組成、つまりＣおよ
びＮの固溶量を選択することによって、炭窒化チタン焼
結体の焼結性、機械的特性を改善できる。Ｔｉ（Ｃx ，
Ｎ1-x ）は、ＣとＮの固溶量の比がＸ：１−Ｘであるこ
とを示す。ｘの値は０＜ｘ＜１の範囲であり、好ましく
は０．５〜０．７である。
おいては、炭化チタン（ＴｉＣ）に窒素（Ｎ）が固溶し
ているので、炭化チタン焼結体（ＴｉＣ焼結体）、窒化
チタン焼結体（ＴｉＮ焼結体）と比較して、焼結時にお
けるＴｉ（Ｃ，Ｎ）の粒成長が抑制されるとともに、焼
結性が向上する。したがって、常圧焼結に最適なＴｉ
（Ｃx ，Ｎ1-x ）（０＜ｘ＜１）の組成、つまりＣおよ
びＮの固溶量を選択することによって、炭窒化チタン焼
結体の焼結性、機械的特性を改善できる。Ｔｉ（Ｃx ，
Ｎ1-x ）は、ＣとＮの固溶量の比がＸ：１−Ｘであるこ
とを示す。ｘの値は０＜ｘ＜１の範囲であり、好ましく
は０．５〜０．７である。
【００１３】このように、焼結性の良い組成を選定し、
この組成のＴｉ（Ｃ，Ｎ）粉体に対する濡れ性の良好な
液相助剤としてＳＵＳ３１６Ｌの粉体を添加することに
より、粒成長を抑制し、焼成後の焼結体において、Ｔｉ
（Ｃ，Ｎ）とＳＵＳ３１６Ｌの粒界にそれらの固溶体を
形成して、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）と金属相の熱膨張差を緩和さ
せる。それによって、焼結体における粒子間の接合強
度、機械的強度、破壊靭性が向上できる。
この組成のＴｉ（Ｃ，Ｎ）粉体に対する濡れ性の良好な
液相助剤としてＳＵＳ３１６Ｌの粉体を添加することに
より、粒成長を抑制し、焼成後の焼結体において、Ｔｉ
（Ｃ，Ｎ）とＳＵＳ３１６Ｌの粒界にそれらの固溶体を
形成して、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）と金属相の熱膨張差を緩和さ
せる。それによって、焼結体における粒子間の接合強
度、機械的強度、破壊靭性が向上できる。
【００１４】Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）とＳＵＳ３１６Ｌの固溶体
の形成の有無は、Ｘ線回折において焼結後Ｔｉ（Ｃ，
Ｎ）とＳＵＳ３１６Ｌの回折角がずれることで判断でき
る。
の形成の有無は、Ｘ線回折において焼結後Ｔｉ（Ｃ，
Ｎ）とＳＵＳ３１６Ｌの回折角がずれることで判断でき
る。
【００１５】ＳＵＳ３１６Ｌは、太平洋金属株式会社製
のステンレス鋼である。
のステンレス鋼である。
【００１６】このような製造方法において、炭窒化チタ
ンをＴｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）とし、助剤をＳＵＳ３１６
Ｌとし、助剤添加率を１０重量％、２０重量％、３０重
量％の３通りに設定し、焼成温度を１５００℃、１５５
０℃、１６００℃の３通りに設定し、焼成の雰囲気を水
素ガス、窒素ガスの２通りに設定して、これらの設定の
組合せによって１８個の炭窒化チタン焼結体を得た。Ｔ
ｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）は、炭素（Ｃ）と窒素（Ｎ）の固
溶量の比が０．７：０．３であることを示す。
ンをＴｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）とし、助剤をＳＵＳ３１６
Ｌとし、助剤添加率を１０重量％、２０重量％、３０重
量％の３通りに設定し、焼成温度を１５００℃、１５５
０℃、１６００℃の３通りに設定し、焼成の雰囲気を水
素ガス、窒素ガスの２通りに設定して、これらの設定の
組合せによって１８個の炭窒化チタン焼結体を得た。Ｔ
ｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）は、炭素（Ｃ）と窒素（Ｎ）の固
溶量の比が０．７：０．３であることを示す。
【００１７】これらの焼結体について、それぞれ相対密
度、４点曲げ強度および破壊靱性を測定した。
度、４点曲げ強度および破壊靱性を測定した。
【００１８】図１および図２に、相対密度と助剤添加率
の関係を示す。図３および図４に、曲げ強度と助剤添加
率の関係を示す。図５および図６に、破壊靭性と助剤添
加率の関係を示す。ただし、図１、図３、図５は、雰囲
気を水素ガスにした場合を示し、図２、図４、図６は、
雰囲気を窒素ガスにした場合を示す。図１ないし図６の
それぞれにおいて、記号△、□、○は、焼成温度１５０
０℃、１５５０℃、１６００℃の場合をそれぞれプロッ
トしたものである。
の関係を示す。図３および図４に、曲げ強度と助剤添加
率の関係を示す。図５および図６に、破壊靭性と助剤添
加率の関係を示す。ただし、図１、図３、図５は、雰囲
気を水素ガスにした場合を示し、図２、図４、図６は、
雰囲気を窒素ガスにした場合を示す。図１ないし図６の
それぞれにおいて、記号△、□、○は、焼成温度１５０
０℃、１５５０℃、１６００℃の場合をそれぞれプロッ
トしたものである。
【００１９】比較例 ＴｉＣ，Ｔｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ），ＴｉＮそれぞれの単
味の粉体を、それぞれ前述の実施例と同様に湿式混合、
乾燥、造粒、ＣＩＰ成形（３００ＭＰａ）して、圧粉体
を得た。それらの圧粉体を焼成温度１９００℃でアルゴ
ンの（Ａｒ）雰囲気で常圧焼結して、ＴｉＣ焼結体、Ｔ
ｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）焼結体、ＴｉＮ焼結体を得た。そ
れらの焼結体の特性（相対密度、曲げ強度、破壊靭性）
を表１に示す。さらに、図１ないし図６に、Ｔｉ（Ｃ
0.7 ，Ｎ0.3 ）焼結体の特性を記号▽でプロットして示
す。また、これらの焼結体の破面についての走査型電子
顕微鏡（ＳＥＭ）による観察結果を、図７ないし図９に
示す。
味の粉体を、それぞれ前述の実施例と同様に湿式混合、
乾燥、造粒、ＣＩＰ成形（３００ＭＰａ）して、圧粉体
を得た。それらの圧粉体を焼成温度１９００℃でアルゴ
ンの（Ａｒ）雰囲気で常圧焼結して、ＴｉＣ焼結体、Ｔ
ｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）焼結体、ＴｉＮ焼結体を得た。そ
れらの焼結体の特性（相対密度、曲げ強度、破壊靭性）
を表１に示す。さらに、図１ないし図６に、Ｔｉ（Ｃ
0.7 ，Ｎ0.3 ）焼結体の特性を記号▽でプロットして示
す。また、これらの焼結体の破面についての走査型電子
顕微鏡（ＳＥＭ）による観察結果を、図７ないし図９に
示す。
【００２０】
【表１】 表１より明らかなように、ＴｉＣにＮが固溶することに
よって、焼結体の相対密度、焼結性、強度、破壊靭性が
それぞれ向上する。図７ないし図９より明らかなよう
に、ＴｉＣにＮが固溶することによって、Ｔｉ（Ｃ，
Ｎ）粒子の粒成長が抑制される。
よって、焼結体の相対密度、焼結性、強度、破壊靭性が
それぞれ向上する。図７ないし図９より明らかなよう
に、ＴｉＣにＮが固溶することによって、Ｔｉ（Ｃ，
Ｎ）粒子の粒成長が抑制される。
【００２１】前述の実施例による焼結性、機械的特性の
良い組成の炭窒化チタンＴｉ（Ｃ0. 7 ，Ｎ0.3 ）粉体に
助剤ＳＵＳ３１６Ｌを添加した場合の焼結体において
は、比較例によるＴｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）単味の焼結体
と比較して、曲げ強度や破壊靭性が大幅に向上した。例
えば、前述の実施例によれば、図３および図６に示すよ
うに、曲げ強度１１００ＭＰａの焼結体や、破壊靭性１
３．４ＭＮｍ-3/2の焼結体を製造することができた。こ
の強度向上は、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）と金属相の粒界に固溶相
を形成することによると考察される。
良い組成の炭窒化チタンＴｉ（Ｃ0. 7 ，Ｎ0.3 ）粉体に
助剤ＳＵＳ３１６Ｌを添加した場合の焼結体において
は、比較例によるＴｉ（Ｃ0.7 ，Ｎ0.3 ）単味の焼結体
と比較して、曲げ強度や破壊靭性が大幅に向上した。例
えば、前述の実施例によれば、図３および図６に示すよ
うに、曲げ強度１１００ＭＰａの焼結体や、破壊靭性１
３．４ＭＮｍ-3/2の焼結体を製造することができた。こ
の強度向上は、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）と金属相の粒界に固溶相
を形成することによると考察される。
【００２２】要するに、助剤ＳＵＳ３１６Ｌに対して濡
れ性の良い母剤｛Ｔｉ（Ｃx ，Ｎ1- x ）｝の組成をコン
トロールして、母剤粒の粒成長を制御し、Ｔｉ（Ｃ，
Ｎ）と金属相の粒界に固溶相を作り、さらに、助剤添加
率を制御することによって、金属相の厚みをコントロー
ルする。それによって、機械的特性の優れた焼結体を得
る。
れ性の良い母剤｛Ｔｉ（Ｃx ，Ｎ1- x ）｝の組成をコン
トロールして、母剤粒の粒成長を制御し、Ｔｉ（Ｃ，
Ｎ）と金属相の粒界に固溶相を作り、さらに、助剤添加
率を制御することによって、金属相の厚みをコントロー
ルする。それによって、機械的特性の優れた焼結体を得
る。
【００２３】助剤ＳＵＳ３１６Ｌの作用効果をより具体
的に示すために、鉄粉末との比較データを得たので、そ
れを図１０〜図１４に示す。その際の助剤ＳＵＳ３１６
Ｌの成分はＮｉ１２．５５ｗｔ％、Ｃｒ１７．４２ｗｔ
％、Ｍｏ２．５３ｗｔ％、残部Ｆｅからなるものであっ
て、鉄粉末は９９．９９ｗｔ％のものを使用した。焼成
条件は、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｆｅ系が１６００℃、１時間
であり、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＳＵＳ３１６Ｌ系が１５５０
℃、１時間であった。図１０〜図１４より明らかなよう
に、それぞれ相対密度、曲げ強度、破壊靭性、硬度及び
耐酸性に関して、助材としてＳＵＳ３１６Ｌが鉄よりも
優れている。
的に示すために、鉄粉末との比較データを得たので、そ
れを図１０〜図１４に示す。その際の助剤ＳＵＳ３１６
Ｌの成分はＮｉ１２．５５ｗｔ％、Ｃｒ１７．４２ｗｔ
％、Ｍｏ２．５３ｗｔ％、残部Ｆｅからなるものであっ
て、鉄粉末は９９．９９ｗｔ％のものを使用した。焼成
条件は、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｆｅ系が１６００℃、１時間
であり、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＳＵＳ３１６Ｌ系が１５５０
℃、１時間であった。図１０〜図１４より明らかなよう
に、それぞれ相対密度、曲げ強度、破壊靭性、硬度及び
耐酸性に関して、助材としてＳＵＳ３１６Ｌが鉄よりも
優れている。
【００２４】本発明は、以上説明した実施例に限定され
るものではない。例をあげると、ＳＵＳ３０４Ｌ、ＳＵ
Ｓ３１７Ｌ、ＳＵＳ４１０Ｌ、ＳＵＳ４１６Ｌ、ＳＵＳ
４３０Ｌである。
るものではない。例をあげると、ＳＵＳ３０４Ｌ、ＳＵ
Ｓ３１７Ｌ、ＳＵＳ４１０Ｌ、ＳＵＳ４１６Ｌ、ＳＵＳ
４３０Ｌである。
【００２５】また、トルエン溶液による湿式混合に限ら
ず、その他の溶液による湿式混合を採用できる。
ず、その他の溶液による湿式混合を採用できる。
【００２６】また、結合剤は、パラフィンおよびステア
リン酸に限らず、その他の結合剤を採用できる。
リン酸に限らず、その他の結合剤を採用できる。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、高強度かつ高靭性であ
り、しかも電気伝導性に優れた炭窒化チタン焼結体を製
造することができる。
り、しかも電気伝導性に優れた炭窒化チタン焼結体を製
造することができる。
【図１】水素ガスの雰囲気中で焼結した本発明の実施例
による炭窒化チタン焼結体の相対密度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
による炭窒化チタン焼結体の相対密度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
【図２】窒素ガスの雰囲気中で焼結した本発明の実施例
による炭窒化チタン焼結体の相対密度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
による炭窒化チタン焼結体の相対密度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
【図３】水素ガスの雰囲気中で焼結した本発明の実施例
による炭窒化チタン焼結体の曲げ強度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
による炭窒化チタン焼結体の曲げ強度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
【図４】窒素ガスの雰囲気中で焼結した本発明の実施例
による炭窒化チタン焼結体の曲げ強度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
による炭窒化チタン焼結体の曲げ強度と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
【図５】水素ガスの雰囲気中で焼結した本発明の実施例
による炭窒化チタン焼結体の破壊靭性と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
による炭窒化チタン焼結体の破壊靭性と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
【図６】窒素ガスの雰囲気中で焼結した本発明の実施例
による炭窒化チタン焼結体の破壊靭性と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
による炭窒化チタン焼結体の破壊靭性と助剤添加率の関
係を示すグラフ。
【図７】炭化チタン焼結体の破面を１５００倍に拡大し
て示す図。
て示す図。
【図８】炭窒化チタン焼結体の破面を１５００倍に拡大
して示す図。
して示す図。
【図９】窒化チタン焼結体の破面を１５００倍に拡大し
て示す図。
て示す図。
【図１０】ＳＵＳ３１６Ｌおよび鉄の粉末を助剤とした
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の相対密度と助剤添加量の関係を
示すグラフ。
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の相対密度と助剤添加量の関係を
示すグラフ。
【図１１】ＳＵＳ３１６Ｌおよび鉄の粉末を助剤とした
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の曲げ強度と助剤添加量の関係を
示すグラフ。
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の曲げ強度と助剤添加量の関係を
示すグラフ。
【図１２】ＳＵＳ３１６Ｌおよび鉄の粉末を助剤とした
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の破壊靭性と助剤添加量の関係を
示すグラフ。
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の破壊靭性と助剤添加量の関係を
示すグラフ。
【図１３】ＳＵＳ３１６Ｌおよび鉄の粉末を助剤とした
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の硬度と助剤添加量の関係を示す
グラフ。
Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）焼結体の硬度と助剤添加量の関係を示す
グラフ。
【図１４】耐酸性とくに重量減少率と浸漬時間の関係を
示すグラフ。
示すグラフ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小鷹 啓章 愛知県名古屋市港区築三町１丁目11番地 株式会社エス・ティー・ケー・セラミ ックス研究所内 (72)発明者 斎藤 肇 愛知県名古屋市港区築三町１丁目11番地 株式会社エス・ティー・ケー・セラミ ックス研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 炭窒化チタン粉７０〜９５重量％にステ
ンレス鋼粉５〜３０重量％を湿式混合して得られたスラ
リーを乾燥してから、造粒し、その造粒粉を加圧成形し
て得られた圧粉体を１４００〜１７００℃の焼成温度で
無加圧焼成することを特徴とする炭窒化チタン焼結体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5274791A JP2681602B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 炭窒化チタン焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5274791A JP2681602B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 炭窒化チタン焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07109534A JPH07109534A (ja) | 1995-04-25 |
| JP2681602B2 true JP2681602B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=17546614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5274791A Expired - Fee Related JP2681602B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 炭窒化チタン焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2681602B2 (ja) |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP5274791A patent/JP2681602B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07109534A (ja) | 1995-04-25 |
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