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JP2664204B2 - Wiring method between MOS transistors - Google Patents

Wiring method between MOS transistors

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JP2664204B2
JP2664204B2 JP63132764A JP13276488A JP2664204B2 JP 2664204 B2 JP2664204 B2 JP 2664204B2 JP 63132764 A JP63132764 A JP 63132764A JP 13276488 A JP13276488 A JP 13276488A JP 2664204 B2 JP2664204 B2 JP 2664204B2
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Japan
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wiring
feedthrough
mos transistor
mos transistors
diffusion
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洋一 白石
淳也 酒見
和幸 福田
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Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、トランジスタの端子間の配線方法に関す
る。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a wiring method between terminals of a transistor.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、セルの電源線と接地線の間隔が固定されたセル
内の配線方法に関しては、情報処理学会設計自動化研究
会資料22−4(1984年)、第1頁から第9頁において論
じられている。
Conventionally, a wiring method in a cell in which a distance between a power supply line and a ground line of the cell is fixed is discussed in IPSJ Design Automation Study Group Material 22-4 (1984), pp. 1-9. I have.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

上記従来技術は、フイードスルーを用いた配線におい
てMOSトランジスタの配置処理の段階でフイードスルー
の通過位置と本数を推定して予め確保しておき、MOSト
ランジスタ間の配線処理ではこれらのフイードスルーの
みを用いていた。このため、これらのフイードスルー
が不足して完成できない配線が発生する、配線が大き
く迂回しても、未使用フイードスルーを探索し選択す
る、使用しないフイードスルーが残つてセルの面積を
増大させる、という課題があつた。
In the above prior art, in the wiring using the feedthrough, at the stage of the MOS transistor arrangement processing, the passing position and the number of the feedthrough are estimated and secured in advance, and only the feedthrough is used in the wiring processing between the MOS transistors. . For this reason, there is a problem that wiring that cannot be completed due to insufficient feedthrough occurs, even if the wiring is largely detoured, an unused feedthrough is searched and selected, and an unused feedthrough remains and the cell area increases. Atsuta.

本発明の目的は、上記課題を解決するために、MOSト
ランジスタの配置処理ではなく、MOSトランジスタ間の
配線処理でフイードスルーを発生させることを考え、各
配線領域で行うべき配線の選出基準とフイードスルーを
発生させる基準を設けてセル内の使用配線領域面積を最
小化する、MOSトランジスタ間の配線方法を提供するこ
とにある。
An object of the present invention is to solve the above-described problem by considering the generation of feedthrough in wiring processing between MOS transistors instead of the processing of arranging MOS transistors, and selecting a wiring selection criterion and a feedthrough to be performed in each wiring region. An object of the present invention is to provide a wiring method between MOS transistors, which sets a reference to be generated and minimizes an area of a used wiring region in a cell.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記のフイードスルーに関する課題は、 (a) 与えられたネツトを上下各列上チヤネル内で配
線すべきネツトとそれ以外のチヤネル内で配線すべきネ
ツトに分け、 (b) 上下各列上チヤネル内で配線すべきネツトを1
配線層を用いて配線し、 (c) (a)のそれ以外のチヤネル内で配線すべきネ
ツトを対象として、次の基準にしたがつてこれらを配線
すべきチヤネルを決定し、 上側のトランジスタのゲート端子のみを結ぶネツト
を上部チヤネル内で配線する、 下側のトランジスタのゲート端子のみを結ぶネツト
を下部チヤネル内で配線する、 ,以外のネツトをフイードスルーを作成して上
部、または下部チヤネル内で配線する、 (d) (c)のに属する各ネツトにたいして、次の
(i),(ii)の2種類の選択可能な位置に(iii)の
基準に従つてフイードスルーを作成する、 (i) 隣接して配置されたトランジスタの隣接拡散端
子が異電位であるために拡散層が分離しており、この隙
間にフイードスルーを通せる位置、 (ii) 隣接して配置されたトランジスタの隣接拡散端
子が同電位であるために拡散層が共有されており、この
共有された拡散層を分離させてフイードスルーを通す位
置を確保する位置、 (iii) (ii)の拡散層を分離させたことによる配線
領域の横方向長の増加とフイードスルー作成のために増
加する配線長と、同じくそのために増加する各x座標上
の横方向配線本数、の和を最小化する、 ことにより、達成される。
The problems concerning the feedthrough described above are as follows: (a) the given net is divided into nets to be wired in the upper and lower rows of channels and nets to be wired in the other channels, and (b) the given nets are to be wired in the upper and lower rows of the channels. 1 net to be wired
(C) With respect to the nets to be wired in the other channels in (a), the channels to which these are to be wired are determined according to the following criteria. Nets that connect only the gate terminals are routed in the upper channel, nets that connect only the gate terminals of the lower transistors are wired in the lower channel, and nets other than, are created as feedthroughs in the upper or lower channel. (D) For each net belonging to (c), create a feedthrough at the following two selectable positions (i) and (ii) according to the criteria of (iii); (i) A diffusion layer is separated because adjacent diffusion terminals of adjacent transistors have different potentials, and a position through which a feedthrough can pass through this gap; and (ii) an adjacent transistor The diffusion layer is shared because the adjacent diffusion terminals of the transistor are at the same potential, and the shared diffusion layer is separated to secure a position through which the feedthrough is passed. (Iii) The diffusion layer of (ii) is separated This is achieved by minimizing the sum of the increase in the horizontal length of the wiring area and the increase in the wiring length due to the feedthrough creation, and the increase in the number of horizontal wirings on each x coordinate for that purpose. Is done.

〔作用〕[Action]

上側のトランジスタのゲート端子のみを結ぶネツトを
上部チヤネル内で配線し、下側のトランジスタのゲート
端子のみを結ぶネツトを下部チヤネル内で配線し、これ
ら以外のネツトをフイードスルーを作成して上部、また
は下部チヤネル内で配線する。それによつて、まずフイ
ードスルーを必要とする配線の本数を最小化することが
できる。更にフイードスルーの通過位置決定では、拡散
層が分離しているすべての隙間と、拡散層が接続してい
るすべての位置を候補とし、拡散層を分離させたことに
よる配線領域の横方向長の増加とフイードスルー作成の
ために増加する配線長と、同じくそのために増加する各
x座標上の横方向配線本数、の和を最小化している。そ
れによつて、配線領域の面積増加を最小化することがで
きる。
Nets that connect only the gate terminal of the upper transistor are wired in the upper channel, nets that connect only the gate terminal of the lower transistor are wired in the lower channel, and other nets are fed through to create the top or Wire in the lower channel. As a result, the number of wirings requiring feedthrough can be minimized. Furthermore, in determining the feedthrough passage position, all gaps separated by the diffusion layer and all positions connected to the diffusion layer are considered as candidates, and the lateral length of the wiring area is increased by separating the diffusion layer. In addition, the sum of the wiring length, which is increased for creating the feedthrough, and the number of horizontal wirings on each x coordinate, which is also increased for that purpose, is minimized. Thereby, the increase in the area of the wiring region can be minimized.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明す
る。第3図に本実施例で対象とするセルのレイアウトモ
デルを示す。1が、セルの外枠、2がセルの外から信号
線を接続するための端子(外部端子と呼ぶ)である。こ
こでセルとは、機能的に纏まつた単位であり、チツプ実
装設計の最小単位である。セル内部ではMOSトランジス
タを2列(これらを素子列と呼ぶ)に配置し、これらの
MOSトランジスタのゲート,ソース,ドレイン及び外部
端子間を配線する。ここで8がゲート、9及び10が拡散
層で、それぞれソースまたはドレインである。これら8,
9及び10で一つのMOSトランジスタを形成する。ここで、
隣接するMOSトランジスタの隣接する拡散層が異電位の
ときは拡散層10と14を分離して配置する。これらが同電
位のときは、拡散層15を共有してMOSトランジスタを配
置し、セル面積を縮小する。MOSトランジスタ間の配線
では、MOSトランジスタの位置が確定した後で、アルミ
第1層12とポリシリコン層11の2層を用いてゲート8,拡
散端子16及び外部端子2間を配線する。ここで固定配線
17,18はそれぞれ接地線,電源線である。本実施例で
は、これらの配線間の間隔が固定であるとする。なぜな
ら、セルが隣接して配置されたときに電源線,接地線が
セル間を直線で配線できるようにするためである。配線
領域は5領域ある。素子列上の配線領域4と6、2つの
素子列で挾まれた配線領域5及び各素子列の上側と下側
の配線領域、それぞれ、3と7である。配線領域4と6
の縦方向長は固定、配線領域3と7のそれは可変で、配
線終了時に決まる。配線領域4と6内では、アルミ第1
層の配線層のみ使用可能である。なぜなら、拡散層上に
ポリシリコン層があるとそこには必ずMOSトランジスタ
が生成されていまうからである。従つて、ポリシリコン
層を使用しているフイードスルーは拡散層の無い位置を
通過しなければならない。その1つは、第4図に示すよ
うに予め拡散層が分離している位置13で、フイードスル
ー19を通過させてもセルの面積に変化が無い。もう1つ
は、第5図に示すように拡散層が接続されている位置20
を、新たに分離させてフイードスルー19を通過させる場
合で、この時セルの横方向長が1格子増加する。ここ
で、新たに分離した拡散層間を配線するために配線12が
必要になる。以下で説明する実施例では、フイードスル
ー通過可能位置を第4,5図に示す2つの場合に制限し
て、セルの面積を縮小するようにフイードスルー通過位
置を決定する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 3 shows a layout model of a cell targeted in this embodiment. 1 is an outer frame of the cell, and 2 is a terminal (referred to as an external terminal) for connecting a signal line from outside the cell. Here, the cell is a functionally integrated unit, and is the minimum unit of the chip mounting design. Inside the cell, MOS transistors are arranged in two rows (these are referred to as element rows).
Wire between the gate, source, drain and external terminals of the MOS transistor. Here, 8 is a gate, 9 and 10 are diffusion layers, each of which is a source or a drain. These 8,
9 and 10 form one MOS transistor. here,
When adjacent diffusion layers of adjacent MOS transistors have different potentials, diffusion layers 10 and 14 are arranged separately. When these are at the same potential, MOS transistors are arranged sharing the diffusion layer 15 to reduce the cell area. In the wiring between the MOS transistors, after the position of the MOS transistor is determined, wiring is performed between the gate 8, the diffusion terminal 16, and the external terminal 2 using the two layers of the first aluminum layer 12 and the polysilicon layer 11. Here fixed wiring
17 and 18 are a ground line and a power supply line, respectively. In the present embodiment, it is assumed that the distance between these wirings is fixed. This is because, when the cells are arranged adjacent to each other, the power supply line and the ground line can be wired in a straight line between the cells. There are five wiring areas. The wiring regions 4 and 6 on the element row, the wiring area 5 sandwiched between the two element rows, and the upper and lower wiring areas of each element row are 3 and 7, respectively. Wiring areas 4 and 6
Is fixed in the vertical direction, that of the wiring regions 3 and 7 is variable, and is determined at the end of wiring. In the wiring regions 4 and 6, the first aluminum
Only the wiring layers can be used. This is because if a polysilicon layer is present on the diffusion layer, a MOS transistor is always generated there. Therefore, the feedthrough using the polysilicon layer must pass through a position without the diffusion layer. One is a position 13 where the diffusion layer is separated in advance, as shown in FIG. 4, and there is no change in the area of the cell even when the cell passes through the feedthrough 19. The other is the position 20 where the diffusion layer is connected as shown in FIG.
Is newly separated and passed through the feedthrough 19, and at this time, the lateral length of the cell increases by one lattice. Here, the wiring 12 is needed to connect the newly separated diffusion layers. In the embodiment described below, the feedthrough passable position is limited to the two cases shown in FIGS. 4 and 5, and the feedthrough pass position is determined so as to reduce the cell area.

第9図と第10図に従来手法と本手法の処理の流れ図を
しめす。従来手法では、MOSトランジスタの相対配線決
定後53、本数とその位置を推定してMOSトランジスタ間
にフイードスルーを配線処理の前に挿入しておく54。次
に配線処理において、ネツトを抽出し55、その配線順序
を決定して56、1ネツトずつ配線経路を決定していく。
その際にフイードスルーを必要とするネツトがあるとき
には予め挿入されたフイードスルーを先着優先順に選択
して配線経路を決定する57,58。以上の処理は配線格子
に基づいて行うが、そのあとのマスクパターン発生処理
においてそれまでの配置配線結果をマスクパターンに変
換する59。本手法では、配置処理ではフイードスルーの
挿入を行わず、配線処理においてフイードスルーの発生
を行う。ネツトを抽出したあと各ネツトをチヤネルに振
り分け60、列上チヤネル内の1層配線を完成させる61。
次に残つたネツトに対して、もしフイードスルーが必要
ならばそこで1本ずつではなく、全フイードスルーを同
時に発生させて62、以下、列間チヤネル内と上部,下部
チヤネル内の配線を行う63,64。マスクパターン発生処
理の位置付けは従来手法と同様である65。
FIGS. 9 and 10 show flowcharts of the processing of the conventional method and the present method. In the conventional method, after the relative wiring of the MOS transistors is determined 53, the number and the position thereof are estimated, and a feedthrough is inserted between the MOS transistors before the wiring processing 54. Next, in the wiring processing, nets are extracted 55, the wiring order is determined 56, and wiring routes are determined one by one net.
At this time, when there is a net that requires a feedthrough, the feedthrough inserted in advance is selected in a first-come-first-served order and the wiring route is determined 57,58. The above processing is performed based on the wiring grid. In the subsequent mask pattern generation processing, the result of the arrangement and wiring up to that time is converted into a mask pattern59. In this method, no feedthrough is inserted in the placement processing, and a feedthrough is generated in the wiring processing. After the nets are extracted, each net is sorted into channels 60, and the one-layer wiring in the on-column channels is completed 61.
Next, if feed-through is necessary for the remaining nets, all feed-throughs are generated at the same time instead of one by one, and wiring is performed in the inter-channel channel and in the upper and lower channels 63, 64 . The positioning of the mask pattern generation processing is the same as the conventional method65.

第2図に配線要求を示す。ここでは、5配線要求、2
2,23,24,25,26を配線することを考える。ここで、配線
要求とは、ある1ネツトの端子から端子までをいう。従
つて、1ネツトで複数個の配線要求ができる可能性があ
る。まず、素子列上で閉じる配線要求24が下列上チヤネ
ルで配線される。第6図の27。配線要求23は上部チヤネ
ルに割り当てられる、第6図の28。残つた配線要求22と
26はフイードスルーを用いずには配線できない。これら
の配線要求にフイードスルーを割当てて配線を完成させ
る。配線要求25は、そのまま配線できる、第6図の70。
FIG. 2 shows the wiring requirements. Here, 5 wiring requirements, 2
Consider wiring 2,23,24,25,26. Here, the wiring request refers to a terminal from one terminal to another terminal. Therefore, there is a possibility that a plurality of wiring requests can be made in one net. First, the wiring request 24 to be closed on the element row is wired by the lower row upper channel. Figure 27. Wiring request 23 is assigned to the upper channel, 28 in FIG. With remaining wiring requirements 22
26 cannot be wired without using feedthrough. A feedthrough is assigned to these wiring requests to complete the wiring. The wiring request 25 can be wired as it is, 70 in FIG.

フイードスルー位置決定方法を説明する。第2図の配
線要求22と26をフイードスルー必要位置としてそれぞれ
第7図の頂点30,29で表す。本実施例のセルを調べてフ
イードスルー候補位置35〜38(第6図)を抽出する。こ
れらをそれぞれ第7図の頂点31〜34で表す。次に、ある
フイードスルー必要位置が選択可能なフイードスルー候
補位置を第7図のグラフの辺39〜43で表す。ここでの選
択可能性とは、列間チャネル内5で配線がシヨートしな
いで配線できるか否かということを意味する。第8図に
フイードスルー必要位置30がフイードスルー候補位置35
を選択してフイードスルーを発生したとき、列間チヤネ
ル5内の配線経路70とシヨート(49)することを示す。
従つて第7図のグラフの頂点30と31との間には、辺は存
在しない。次に、第7図の各辺に評価値を与える。本発
明の評価値計算方法によればこれらの値は、フイードス
ルー位置選択によるセルの横方向長の増加(第5図で横
方向長が1ピツチ増加する)と配線長の増加(第8図、
52の配線の長さと53の部分の配線長の和)及び混雑度の
増加(例えば、第1図の配線50と51の水平方向重なり部
分の配線本数、2トラツク)の重み付け和で計算され
る。後は、評価値44〜48の和が最適になるように、第7
図に示したグラフの辺39〜43のうちから頂点29と頂点31
〜32のどれかと、頂点30と頂点32〜34のうちのどれかを
重複無く選択すれば良い。この問題を解くことによつて
第6図のフイードスルー必要位置22,26に対して、例え
ばそれぞれフイードスルー候補位置37,36が割り当てら
れ、第1図のフイードスルー54,55とを含む配線経路50,
52が得られる。せの配線問題では、必ずフイードスルー
必要位置の数(第7図の上側の頂点数)よりもフイード
スルー候補位置の数(第7図の下側の頂点数)が多い。
The feedthrough position determination method will be described. Wiring requirements 22 and 26 in FIG. 2 are designated as vertices 30 and 29 in FIG. 7 as necessary feedthrough positions. The cell of this embodiment is examined to extract feedthrough candidate positions 35 to 38 (FIG. 6). These are represented by vertices 31 to 34 in FIG. 7, respectively. Next, feedthrough candidate positions from which a certain feedthrough required position can be selected are represented by sides 39 to 43 in the graph of FIG. Here, the selectability means whether or not the wiring can be routed in the inter-column channel 5 without shorting. In FIG. 8, the necessary feedthrough position 30 is the feedthrough candidate position 35.
Is selected, and when feedthrough is generated, a short path (49) with the wiring path 70 in the inter-channel channel 5 is shown.
Therefore, no edge exists between vertices 30 and 31 in the graph of FIG. Next, an evaluation value is given to each side of FIG. According to the evaluation value calculation method of the present invention, these values correspond to an increase in the horizontal length of the cell due to the selection of the feedthrough position (the horizontal length increases by one pitch in FIG. 5) and an increase in the wiring length (FIG. 8, FIG.
The sum of the length of the wiring 52 and the wiring length of the portion 53) and the increase in congestion (for example, the number of wirings in the horizontal direction overlapping portions of the wirings 50 and 51 in FIG. 2, 2 tracks) are calculated as weighted sums. . After that, the seventh is set so that the sum of the evaluation values 44 to 48 is optimal.
Vertex 29 and vertex 31 out of edges 39 to 43 of the graph shown in the figure
32 and the vertex 30 and any of the vertices 32 to 34 may be selected without duplication. By solving this problem, for example, feedthrough candidate positions 37 and 36 are assigned to the necessary feedthrough positions 22 and 26 in FIG. 6, respectively, and the wiring paths 50 and 55 including the feedthroughs 54 and 55 in FIG.
52 is obtained. In the short wiring problem, the number of feedthrough candidate positions (the number of lower vertices in FIG. 7) is always larger than the number of necessary feedthrough positions (the number of upper vertices in FIG. 7).

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明から明らかなように、本発明に依れば電源
線と接地線の間隔が固定されたセル内のMOSトランジス
タ間の配線において、まずフイードスルー不足によつ
て配線ができなくなることがなくなる、大きく迂回し
て未使用フイードスルーを選択することがなくなる、お
よび必要十分なフイードスルーを生成する、ことによ
り人手と同等あるいはそれより良いフイードスルーを決
定することができる。本発明のセル面積削減に対する効
果は、30,68,100の各トランジスタからなるセルにたい
して、それぞれ従来手法より約25,32,23%であつた。
As is clear from the above description, according to the present invention, in the wiring between the MOS transistors in the cell in which the distance between the power supply line and the ground line is fixed, it is possible to prevent the wiring from becoming impossible due to insufficient feedthrough. It is possible to determine a feed-through equivalent to or better than that of a human by eliminating a large detour and selecting an unused feed-through and generating necessary and sufficient feed-through. The effect of the present invention on cell area reduction was about 25, 32, and 23% for the cell composed of 30, 68, and 100 transistors, respectively, compared to the conventional method.

以上で述べた本発明は、チツプ面積を削減してチツプ
の設計・製造コストを低減させる効果がある。これはセ
ルレイアウトパターン発生の高性能な完全自動化に繋が
り、更にLSIチツプのレイアウト設計工数を大きく削減
することにつながる。
The present invention described above has an effect of reducing the chip area and the chip design / manufacturing cost. This leads to high-performance complete automation of cell layout pattern generation, and also to a significant reduction in the man-hours for layout design of LSI chips.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の1実施例を示す図で、2本の配線が
フイードスルーを生成して配線された結果を表してい
る。第2図は、本実施例で用いた配線要求を表す、第3
図は、CMOS論理セルのレイアウトモデル、第4,5図は、
フイードスルー候補位置を示す、第6図は素子列上の1
層配線が完了した直後の配線パターンを示す。第7図
は、フイードスルー割当問題をグラフを用いて表した図
である。第8図は、実現不可能なフイードスルーの割当
を示す。第9図と第10図はフイードスルーを考慮した配
線処理を示す従来手法と本発明の手法の流れ図である。 1……セル枠、2……外部端子、3……上部チヤネル、
4……上列上チヤネル、5……列間チヤネル、6……下
列上チヤネル、7……下部チヤネル、8……ゲート、9,
10……拡散層、11……ポリシリコン層、12……アルミ第
1層、13,20……フイードスルー候補位置、14,15……拡
散層、16……拡散端子、17……接地線、18……電源線。
FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of the present invention, and shows the result of two wires generating a feedthrough and being wired. FIG. 2 shows a wiring request used in the present embodiment.
The figure shows a layout model of a CMOS logic cell.
FIG. 6 shows a feedthrough candidate position.
The wiring pattern immediately after the completion of the layer wiring is shown. FIG. 7 is a diagram showing a feed-through assignment problem using a graph. FIG. 8 shows an unrealizable feedthrough assignment. FIG. 9 and FIG. 10 are flow charts of the conventional method and the method of the present invention showing wiring processing in consideration of feedthrough. 1 ... cell frame, 2 ... external terminal, 3 ... upper channel,
4 ... upper row upper channel, 5 ... row row channel, 6 ... lower row upper channel, 7 ... lower channel, 8 ... gate, 9,
10 ... diffusion layer, 11 ... polysilicon layer, 12 ... aluminum first layer, 13, 20 ... candidate feedthrough position, 14, 15 ... diffusion layer, 16 ... diffusion terminal, 17 ... ground wire, 18 ... Power line.

フロントページの続き (72)発明者 福田 和幸 東京都小平市上水本町1448番地 日立超 エル・エス・アイ・エンジニアリング株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−266850(JP,A) 特開 昭60−66447(JP,A) 特開 昭62−273751(JP,A)Continuing from the front page (72) Inventor Kazuyuki Fukuda 1448 Kamimizu Honcho, Kodaira-shi, Tokyo Within Hitachi Ultra LSE Engineering Co., Ltd. (56) References JP-A-62-266850 (JP, A) JP-A-60-66447 (JP, A) JP-A-62-273751 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ゲート端子と拡散端子からなるMOSトラン
ジスタが複数個横方向に隣接して並べられ、少なくとも
2列のMOSトランジスタ列が形成され、 上記MOSトランジスタ列上に第1の配線領域が形成さ
れ、上記MOSトランジスタ列間に挟まれた第2の配線領
域が形成され、上記MOSトランジスタ列の外側に第3の
配線領域が形成され、 横方向配線のみで結合できる上記MOSトランジスタの端
子間を上記第1、第3の配線領域で結合し、 横方向配線のみで結合できない上記MOSトランジスタの
端子間を、横方向配線と上記MOSトランジスタ列を横断
する縦方向配線を用いて結合することにより、上記MOS
トランジスタの各端子間を配線する配線方法であって、 上記MOSトランジスタ列を横断する縦方向配線の通過す
る位置として、隣接する上記MOSトランジスタの拡散端
子の電位が異なるため上記MOSトランジスタの拡散層が
あらかじめ分離された位置と、隣接する上記MOSトラン
ジスタの拡散端子の電位が同じであるために拡散層を共
有し縦方向配線を通すために共有する拡散層を分離しな
ければならない位置とを抽出し、 上記抽出した位置の全てに対して、配線を行なった場合
の上記第1から第3の配線領域の横方向長の増加と、上
記第2、第3の配線領域の横方向配線長の増加と、上記
第3の配線領域で重なる横方向配線の増加する本数との
和を求め、前記和が最小となる位置を選択し、 上記選択した位置に縦方向配線を配置し、横方向配線と
配置された縦方向配線を用いて上記横方向配線のみで結
合できない上記MOSトランジスタ間を配線することを特
徴とするMOSトランジスタ間の配線方法。
1. A plurality of MOS transistors each comprising a gate terminal and a diffusion terminal are arranged side by side in the horizontal direction to form at least two MOS transistor rows, and a first wiring region is formed on the MOS transistor rows. Then, a second wiring region sandwiched between the MOS transistor trains is formed, and a third wiring region is formed outside the MOS transistor trains. By connecting the terminals of the MOS transistors which cannot be connected only by the horizontal wirings in the first and third wiring regions by using the horizontal wirings and the vertical wirings traversing the MOS transistor row, MOS above
In a wiring method for wiring between terminals of a transistor, a diffusion layer of the MOS transistor has a different diffusion layer because a potential of a diffusion terminal of the adjacent MOS transistor is different as a position where a vertical wiring crossing the MOS transistor row passes. The position separated in advance and the position where the diffusion layer shared by the diffusion terminals shared by the adjacent MOS transistors and having the same potential to pass the vertical wiring must be separated because the potentials of the diffusion terminals of the adjacent MOS transistors are the same are extracted. Increasing the horizontal length of the first to third wiring regions when wiring is performed at all of the extracted positions, and increasing the horizontal wiring length of the second and third wiring regions; And the sum of the increasing number of horizontal wirings overlapping in the third wiring area is determined, a position where the sum is minimized is selected, and the vertical wiring is arranged at the selected position. Wiring between MOS transistors, characterized in that the interconnection between the MOS transistors with vertical wires which are location can not be combined in only the horizontal direction wirings.
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