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JP2661558B2 - 変調器集積化光源の選別方法 - Google Patents

変調器集積化光源の選別方法

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JP2661558B2
JP2661558B2 JP6220077A JP22007794A JP2661558B2 JP 2661558 B2 JP2661558 B2 JP 2661558B2 JP 6220077 A JP6220077 A JP 6220077A JP 22007794 A JP22007794 A JP 22007794A JP 2661558 B2 JP2661558 B2 JP 2661558B2
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light source
integrated light
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昌幸 山口
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NEC Corp
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
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    • HELECTRICITY
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    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/026Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
    • H01S5/0265Intensity modulators

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  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体レーザと半導体光
変調器を集積化した変調器集積化光源の選別方法の関す
る。
【0002】
【従来の技術】分布帰還型半導体レーザや分布反射型半
導体レーザに電界吸収型半導体光変調器を集積化した変
調器集積化光源は変調時の波長変動(波長チャーピング
という)が小さいため長距離大容量光ファイバ通信用光
源として用いられるようになってきた(例えば加藤他、
電子情報通信学会、1994年春季大会講演論文集、分
冊4、C−225など)。従来、光ファイバ通信には直
接変調された半導体レーザが用いられてきたが、半導体
レーザの波長チャーピングが大きいため、2.5Gb/
s以上の高ビットレート長距離伝送の場合、光ファイバ
の波長分散の影響を受けて伝送後に波形劣化が生じ、ビ
ットエラーが発生してしまうという問題点があった。変
調器集積化光源では半導体レーザ(LD)部を直流電流
で駆動し、LDからのレーザ光を変調器(MOD)部で
強度変調を行なう。したがってLD部は変調を受けない
ため、基本的に殆ど波長チャーピングのない強度変調が
可能となる。
【0003】しかし、変調器集積化光源を用いた伝送シ
ステムにおいてもビットエラーが生じることがしばしば
ある。その理由として次の3つの原因があげられる。
【0004】第1にMOD部端面の反射抑制が不十分で
あったり、素子間の分離抵抗が小さい場合に生じる光学
的または電気的な素子間干渉によってLDに波長チャー
ピングが生じる。第2にMOD部と変調ドライバ回路と
の間でインピーダンスミスマッチングによって生じる電
気的多重反射の影響で光波形のマークのレベル(“1”
のレベル)の光出力が変動する。第3にMOD部におい
て光吸収によってキャリアが生成され、このキャリアの
蓄積によりMOD部での位相変調効率が高くなリ、MO
D部自体の波長チャーピングが大きくなる。従来は上記
した各種の伝送エラー要因となる現象が生じる変調器集
積化光源を選別除去する簡便な手段がなかったため、I
−V特性、光出力特性、変調器の消光特性等の静特性の
みから素子を選別し、それら素子をモジュール化した
後、実際に伝送実験を行ない、ビットエラー特性を測定
して良好な伝送特性が得られた素子だけを良品としてい
た。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしこの方法による
と、伝送特性不良の素子までもモジュール化してしまっ
ていたこと、また各素子に対して工数のかかる伝送ビッ
トエラーレート特性を毎回測定しなければならなかった
ことなどから、選別のために多大な工数と部材の無駄を
伴っていた。本発明の目的は伝送特性が良好な変調器集
積化光源を選別する簡便で且つ無駄のない方法を提供す
ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による変調器集積
化光源の選別方法は下記の点を特徴としている。
【0007】第1の方法は半導体レーザ部に直流電流を
供給し、前記変調器部をパルス変調して前記半導体レー
ザ部端面側からの出射光を波長分散媒質に通した後、光
波形観測手段に入射させ、観測された光強度の変動率の
値が、伝送ビットレートに応じて設定された基準値以下
となる変調器集積化光源を選別する。
【0008】第2の方法は変調器集積化光源の半導体レ
ーザ部に直流電流を供給し、変調器を数百kb/s〜2
00Mb/sでパルス変調し、前記半導体レーザまたは
前記変調器側の少なくとも一方からの出射光を高分解分
光器で分光し、分光された変調信号のマークとスペース
に対応したスペクトルの周波数差である双峰ピークの間
隔の値が、伝送ビットレートと伝送距離に応じて設定さ
れた基準値以下となる変調器集積化光源を選別する。
【0009】第3の方法は変調器集積化光源の半導体レ
ーザ部に直流電流を供給し、変調器に変調信号と同じ電
圧範囲の直流逆バイアス電圧を加え、前記半導体レーザ
の発振波長を測定し、前記変調器に前記直流逆バイアス
電圧を加えた場合と加えない場合との波長の差から前記
直流逆バイアスを加えたことによる発熱によって生じる
波長変化を差し引いて得られた変調時のマークとスペー
スの波長変化量が、伝送ビットレート及び伝送距離に応
じて設定された基準値以下となる変調器集積化光源を選
別する。
【0010】第4の方法は変調器集積化光源の半導体レ
ーザ部に直流電流を供給し、変調器に変調信号と同じ電
圧範囲の直流逆バイアス電圧を加え、前記半導体レーザ
の発振しきい電流を測定し、前記変調器に前記直流逆バ
イアス電圧を加えた場合と加えない場合との前記しきい
電流の差から前記半導体レーザ部と前記変調器部の間の
リーク電流による見かけ上のしきい電流の上昇分を差し
引いたしきい電流値の変化量が、伝送ビットレート及び
伝送距離に応じて設定された基準値以下となる変調器集
積化光源を選別する。
【0011】第5の方法は変調器集積化光源の半導体レ
ーザ部に直流電流を供給し、変調器に変調信号と同じ電
圧範囲で直流逆バイアス電圧を加え、前記半導体レーザ
からの光出力を測定し、変調器に前記直流逆バイアス電
圧を加えた場合と加えない場合との前記光出力の差の割
合が、伝送ビットレート及び伝送距離に応じて設定され
た基準値以下となる変調器集積化光源を選別する。
【0012】第6の方法は変調器集積化光源の半導体レ
ーザ部に直流電流を供給し、変調器側の端子を電気的に
短絡及び開放の状態で前記変調器側からの光出力を測定
し、前記短絡状態から開放状態にしたときの光出力の変
化の割合が、伝送ビットレートに応じて設定された基準
値以下となる変調器集積化光源を選別する。
【0013】第7の方法は前記変調側の端子を電気的に
短絡及び開放するかわりに、前記変調側の端子に0Vと
0.数Vを加えることを特徴とする。
【0014】第8の方法は変調器集積化光源の半導体レ
ーザ部に直流電流を供給し、変調器側の端子を電気的に
短絡させ、前記変調器部での光の吸収によって生じた光
電流を測定して、前記光電流の値が、伝送ビットエラー
レートと伝送距離によって決まる基準値以下となる変調
器集積化光源を選別する。
【0015】
【実施例】以下に本発明の変調器集積化光源の選別方法
を原理・作用を含めて図面を用いて詳細に説明する。
【0016】伝送エラーを生じさせる第1の原因であ
る、LD部のチャーピングが大きいことによる不良素子
を除外するための選別方法を示す。
【0017】図1は本発明の第1の実施例を説明する図
である。LD部2とMOD部3が集積化された変調器集
積化光源1においてLD部2に直流電流を流しレーザ発
振させ、MOD部3では実際の動作と同じ振幅の固定電
圧パルス(例えば3VP-P )を用いて変調を行なう。M
OD部3の端面からの光は強度変調された波形となって
いるが、LD部2の端面からの光は殆ど強度変調を受け
ていない。このLD部端面からの光を実際の伝送システ
ムと同じ長さの光ファイバ11を通して伝送した後に受
光器12とサンプリングオシロスコープ13を用いて光
波形を観測すると、波長チャーピングが生じている場合
には光ファイバの波長分散の影響で光強度の変動が観測
される。
【0018】この光強度変動率(ΔI/I)は波長チャ
ーピングが大きいほど大きくなる。従ってΔI/Iと受
信感度劣化(パワーペナルティ)とは正の相関関係を示
す。図2は光強度変動率ΔI/Iと2.5Gb/s信号
に対するパワーペナルティとの関係を示す。図2よりパ
ワーペナルティ1dB以下を得るためにはΔI/I<
0.2を満たす必要があることが判る。この様に図1に
示した構成で測定したΔI/Iを選別パラメータとして
用いて、その値がある特定の値以下を示す素子のみを選
べば伝送特性の良好な素子を選別することができる。特
定の値とはここで示した様に2.5Gb/sの場合には
ΔI/I=0.2であるが、この値は伝送ビットレート
に依存するため、ビットレートに対応した適切な値を実
験または解析的に予め設定しておく必要がある。
【0019】尚、本実施例では光ファイバ11を用いた
が、代わりに光ファイバと同程度の波長分散特性を有す
る分散媒質(例えばプリズム等)を用いても良い。また
変調に用いる信号のパルス幅は実際の伝送システムで用
いられるパルス幅と同じである必要はない。なぜならば
チャーピングが生じるのはパルスの立ち上がり及び立ち
下がり部分であるため、パルスの立ち上がり(立ち下が
り)時間が実際の伝送システムで使われるものと同じで
あれば、パルス幅は広くてもよい。即ち実際よりも低い
ビットレートで変調しても何等選別のうえで不都合は生
じない。
【0020】本実施例で紹介した選別方法では、伝送後
にビットエラーレートをいちいち測定する必要がない
分、従来に比べ識別工数が大幅に削減できる。
【0021】図3は本発明の第2の実施例を説明する図
である。変調器集積化光源1のLD部2に直流電流を流
してレーザ発振させる。MOD部3を数百kb/s〜2
00Mb/sの範囲の適当な固定パルス(振幅は実際の
システムでの動作条件と同じ)で変調する。LD部2ま
たはMOD部3のどちらかの端面からの光について分解
能が100MHz程度の分光器14を用いてスペクトル
測定を行なう。測定したスペクトルには変調信号のマー
ク(“1”)とスペース(“0”)に対応して双峰が現
れる。この双峰の周波数差Δfを読みとる。
【0022】LD側に波長チャーピングが生じる原因
は、マークとスペースの時の波長が異なっているためで
ある。即ちこの波長差(周波数差)Δfが大きいほどチ
ャーピングが大きく、伝送後のパワーペナルティが大き
いことになる。変調器を数百kb/s〜200Mb/s
で変調するとマークとスペースに対応した二つの明瞭な
スペクトルを観測することができる。この変調周波数範
囲よりも低い周波数で変調したのでは発熱による影響
で、また高すぎると変調サイドバンドの影響で双峰ピー
クが不明瞭になってくる。
【0023】図4は2.5Gb/s伝送におけるΔfと
パワーペナルティとの関係を示す。この関係は図を見て
も明らかなように伝送距離に依存する。例えば80km伝
送の場合には、パワーペナルティを1dB以下とするた
めに、Δf<5GHzを満足する素子を選べば、2.5
Gb/s;80kmの良好な伝送特性を実現できる素子を
選別することができる。Δfの基準値は伝送ビットレー
ト及び伝送距離に応じて適当に設定する必要がある。
【0024】本実施例で紹介した選別方法によれば、非
常に低ビットレートのパルス変調と市販の分光器14を
用いた簡単な構成で伝送特性の良好な素子を選別でき
る。光ファイバを使った伝送を行わなくてもよいこと、
さらに変調速度が極めて低いため変調のための特別な回
路を要しないことなどにより、この方法は第1の実施例
の方法よりも一層簡便な方法である。
【0025】図5は本発明の第3の実施例を説明する図
である。変調器集積化光源1のLD部2に直流電流を流
しレーザ発振させる。MOD部3に加える電圧を実際の
変調信号の電圧範囲(例えば0〜−3V)で変化させて
その時の波長の変化Δf1を分光器14により測定す
る。この時、最大電圧と最小電圧での波長の差が実施例
2で述べたマークとスペースでの波長の差と一致する。
但し、この場合MOD部3に加える電圧をゆっくりと変
化させるため、MOD部3での発熱の影響(発熱は発振
波長を長波側にシフトさせる)が現れる。従って発熱の
影響を予め見積っておき、その分補正を加える必要があ
る。発熱の影響は素子の熱抵抗を測定しておけば、レー
ザ発振波長の温度係数0.1nm/℃を用いて消費電力か
ら見積もることができる。
【0026】図6に波長変化量のMOD印加電圧依存性
を示す。点線は発熱による波長変化を見積もった結果で
ある。測定した波長変化の値から発熱の影響を差し引い
た値が実際の変調時のマークとスペースの波長差(周波
数差Δf)に対応し、第2の実施例と同様に2.5Gb
/s;80km伝送においてパワーペナルティを1dB以
下を達成するためには、Δf<5GHzを満足する素子
を選別すればよい。Δfの基準値はビットレート及び伝
送距離に応じて、例えば図4で示した様に適切に設ける
必要がある。
【0027】第3の実施例の選別方法はMOD部3を変
調する必要がないため、実施例1及び2の方法に比べよ
り簡便な方法といえる。但し、発熱の影響の割合が比較
的大きいため、測定誤差が比較的大きい方法でもある。
【0028】図7に本発明の第4の実施例の選別方法を
示す。変調器集積化光源1のMOD部3に加える電圧を
実際の変調信号の電圧範囲で変化させた時のLD部2の
発振しきい電流(Ith)の変化を、LD部2の端面側か
らの光出力特性を受光器12により測定することで求め
る。LD部2で生じる波長チャーピングは種々の原因に
よりLD部2の活性層内のキャリア密度が変動するため
に生じる。この時同時に発振しきい電流Ithも変化す
る。このIth変化は波長チャーピングとの間に相関を有
する。
【0029】図8はIthのMOD部3への印加電圧依存
性である。LD部2とMOD部3の間にわずかのリーク
電流があると図中点線で示した様に活性層内のキャリア
密度変化とは無関係なIth変化が現れる。このリーク電
流の印加電圧依存性を素子間の分離抵抗を測定すること
で予め求めておき、実測したIth変化の結果から差し引
くことにより、キャリア密度変化に関係するIthの変化
量(ΔIth)を知ることができる。図10に2.5Gb
/s;80km伝送におけるパワーペナルティのΔIth
th依存性を示す。パワーペナルティを1dB以下とす
るためにはIthの変化の割合が1%以下の素子を選別す
ればよいことがわかる。なおΔIth/Ithの基準値はビ
ットレート及び伝送距離に応じて適切に設ける必要があ
る。通常ビットレートが上がるか、伝送距離が伸びると
要求される基準値は小さくなる。
【0030】図9は本発明の第5の実施例を説明する図
である。選別のための構成は図7に示したものと同じで
ある。変調器集積化光源1のLD部2に直流電流を流し
レーザ発振を得る。MOD部3に印加する電圧を変化さ
せた時のLD部2の端面側からの光出力の変化を測定す
る。LD部2の活性層内のキャリア密度変化が生じてI
thが変化するときLD部2からの光出力も変化する。こ
の光出力変化ΔPも波長チャーピングとの間に相関を有
する。
【0031】図10には2.5Gb/s;80km伝送に
おけるパワーペナルティのΔP/P依存性も示した。パ
ワーペナルティを1dB以下の伝送を実現するためには
ΔP/Pが15%以下の素子を選別すればよいことがわ
かる。なおΔP/Pの基準値はビットレート及び伝送距
離に応じて適切に設ける必要がある。通常ビットレート
が上がるか、伝送距離が伸びるとこの基準値は小さくな
る。
【0032】実施例4と5で紹介した方法は、実施例3
の方法と同じく素子を変調させる必要がないため極めて
簡単な方法で選別ができる。また実施例3の方法に比べ
て測定誤差が小さいという利点がある。
【0033】次に伝送エラーを生じさせる第2番目の原
因である、電気的多重反射に起因する不良素子を除外す
るための選別方法を紹介する。
【0034】先ず原理について述べる。変調電気信号に
対して何等かの原因でMOD部3と変調ドライバ回路と
の間で電気的多重反射が生じると、MODを変調する変
調波形の電圧が変動する。変調信号のスペースレベル
(“0”レベル)では光はほとんど消光された状態なの
でこの電圧変動の光波形への影響はほとんどない。一方
マーク時においては、電圧変動は直接に光出力変動をも
たらす。本願出願人の実験によれば、マーク時の電圧は
本来ゼロであるべきであるが、前記電気的多重反射が生
じるとマーク時の電圧はMOD部内部の半導体p−n接
合に対し順方向バイアスとなる方向に電圧が変動するこ
とが判っている(本来MODはゼロから逆方向バイアス
の状態で動作させる)。従って電気的多重反射はマーク
時の電圧を0〜+0.6V程度の範囲で変動させること
になる。MOD部の消光特性がこの電圧の範囲でフラッ
トであれば、この様な電圧変動があっても光出力変動は
生じない。しかし一般には消光特性がこの電圧範囲でフ
ラットな素子は殆どなく、順方向に僅かに電圧が上昇す
ることで光出力は増加する。MOD部の電圧を0Vから
約+0.6Vに増加させた時の光出力の増加分が、変調
時の電気的多重反射によって生じるマーク時の光出力変
動の割合に対応する。変調器集積化光源ではMOD部の
端子間を開放状態にすると、MOD部で光吸収のために
電子とホールのキャリアが生成され、p−n接合が自動
的に順方向にビイルトイン電圧分(約0.6V)だけバ
イアスされる。この原理を用いればLD部をレーザ発振
させた状態でMOD部端子間を短絡及び開放状態にする
ことで、MOD部電圧を自動的に0Vと+0.6Vに設
定でき、そのときのMOD部端面からの光出力を比較す
れば電気的多重化反射によるマーク時光出力変動を定量
的に測定できる。
【0035】図11は本発明の第6の実施例である変調
器集積化光源の選別方法である。変調器集積化光源1の
LD部2に直流電流を流しレーザ発振させ、スイッチ1
5を用いてMOD部3の端子間を短絡させた場合と開放
状態にした場合とで、MOD部3からの光出力の違いを
受光器12により測定する。
【0036】図12はMOD部3の端子間を短絡及び開
放状態にしたときのMOD部3の端面側からの光出力の
レーザ電流依存性である。光出力は開放状態の時の方
(PO)が、短絡状態の時(PS )よりも一般に高くな
る。この光出力の変化の割合ΔPO-S /PS がある一定
の値以下の素子を選ぶことにより良好な伝送特性を示す
素子を選別できる。
【0037】図13に2.5Gb/sの信号に対するパ
ワーペナルティとΔPO-S /PS の関係を実験的に求め
た結果を示す。パワーペナルティが1dB以下の伝送を
実現するためには、ΔPO-S /PS <0.25の素子を
選別すればよいことがわかる。
【0038】本実施例で紹介した選別方法は、LD部を
駆動する直流電源と受光器があれば行なうことができる
非常に簡便な方法である。尚、本実施例ではMOD部の
端子間を短絡及び開放状態で光出力を比較したが、MO
D部端子間に外部から0Vと+0.6Vを意図的に加え
て同様の測定を行なってもよい。
【0039】次に伝送エラーを生じさせる第3番目の原
因である、光変調器でのキャリアの蓄積による位相変調
効率が増大することによる不良素子を除外するための選
別方法を紹介する。
【0040】MOD部では光の吸収によってキャリアが
生成される。このキャリアは通常MOD部に逆バイアス
電圧が印加されている場合には瞬時にしてp−n接合部
分から引き出され、キャリアは蓄積されない。しかし、
MOD部に印加される電圧がゼロあるいは若干の順方向
バイアスの条件下では、キャリアは引き出されず蓄積さ
れる。この状態でMOD部端子間を短絡するとキャリア
は光電流として流れ出す。この時の光電流と蓄積キャリ
ア密度との間には相関関係があることから、この光電流
を測定することで第3の原因による不良素子を除外する
ことができる。
【0041】図14は本発明の第7の実施例である変調
器集積化光源の選別方法である。変調器集積化光源1の
LD部2に直流電流を流しレーザ発振させ、MOD部3
の端子間を短絡させたときに流れる光吸収によって生じ
る光電流を電流計16によって測定する。
【0042】図15に2.5Gb/s;80km伝送にお
けるパワーペナルティの光電流依存性を求めた結果を示
す。パワーペナルティが1dB以下の伝送を実現するた
めには、光電流が5mA以下の素子を選別すればよいこ
とがわかる。
【0043】この方法は直流電源と電流計を用いた最も
簡単な構成で行なうことができる。なお光電流の基準値
はビットエラーレートと伝送距離によって適当に選ぶ必
要がある。また光電流の基準値はMOD部を高速変調す
るときに用いる負荷抵抗の値によっても変わる。
【0044】以上第1から第7までの実施例では伝送シ
ステムでのパワーペナルティが1dB以下としたがこれ
に限られるものではなく、伝送システムで許容されるパ
ワーペナルティを設定すればよい。また変調器として電
気吸収型光変調器を集積化した変調器集積化光源の選別
方法について述べてきたが、これらは半導体マッハツェ
ンダー型光変調器を集積化した光源についても有効であ
る。また本明細書では半導体材料については特に触れな
かったが、変調器集積化光源に使われる半導体材料がい
かなる場合でも、本発明の選別方法は有効であることは
明らかである。
【0045】
【発明の効果】本発明の変調器集積化光源の選別方法を
用いれば、非常に簡便な方法により良好な伝送特性を示
す素子を効率的に選別することができる。またそうした
選別作業も素子をモジュール化する前の段階で行なうこ
とができるためモジュール化に用いる部材を無駄にする
ことがない。従って変調器集積化光源の製造コストを大
幅に低減できる利点を有している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を説明する図である。
【図2】光強度変動率ΔI/Iと2.5Gb/s信号に
対するパワーペナルティとの関係を示す図である。
【図3】本発明の第2の実施例を説明する図である。
【図4】2.5Gb/s伝送における周波数差とパワー
ペナルティとの関係を示す図である。
【図5】本発明の第3の実施例を説明する図である。
【図6】波長変化量のMOD印加電圧依存性を示す図で
ある。
【図7】本発明の第4の実施例を説明する図である。
【図8】発振しきい値のMOD部への印加依存性を示す
図である。
【図9】本発明の第5の実施例を説明する図である。
【図10】2.5Gb/s;80km伝送におけるパワー
ペナルティの光出力変化量依存性を示す図である。
【図11】本発明の第6の実施例を説明する図である。
【図12】本発明の第6の実施例を説明する図である。
【図13】2.5Gb/s信号に対するパワーペナルテ
ィと光出力の変化の割合を示す図である。
【図14】本発明の第7の実施例を説明する図である。
【図15】2.5Gb/s;80km伝送におけるパワー
ペナルティの光電流依存性を示す図である。
【符号の説明】
1 変調器集積化光源 2 LD部 3 MOD部 11 光ファイバ 12 受光器 13 サンプリングオシロスコープ 14 分光器 15 スイッチ 16 電流計

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体レーザと光変調器を集積化した変調
    器集積化光源の選別方法であって、前記半導体レーザ部
    に直流電流を供給し、前記変調器部をパルス変調して前
    記半導体レーザ部端面側からの出射光を波長分散媒質に
    通した後、光波形観測手段に入射させ、観測された光強
    度の変動率の値が、伝送ビットレートに応じて設定され
    た基準値以下となる変調器集積化光源を選別することを
    特徴とする変調器集積化光源の選別方法。
  2. 【請求項2】変調器集積化光源の半導体レーザ部に直流
    電流を供給し、変調器を数百kb/s〜200Mb/s
    でパルス変調し、前記半導体レーザまたは前記変調器側
    の少なくとも一方からの出射光を高分解分光器で分光
    し、分光された変調信号のマークとスペースに対応した
    スペクトルの周波数差である双峰ピークの間隔の値が、
    伝送ビットレートと伝送距離に応じて設定された基準値
    以下となる変調器集積化光源を選別することを特徴とす
    る変調器集積化光源の選別方法。
  3. 【請求項3】変調器集積化光源の半導体レーザ部に直流
    電流を供給し、変調器に変調信号と同じ電圧範囲の直流
    逆バイアス電圧を加え、前記半導体レーザの発振波長を
    測定し、前記変調器に前記直流逆バイアス電圧を加えた
    場合と加えない場合との波長の差から前記直流逆バイア
    スを加えたことによる発熱によって生じる波長変化を差
    し引いて得られた変調時のマークとスペースの波長変化
    量が、伝送ビットレート及び伝送距離に応じて設定され
    た基準値以下となる変調器集積化光源を選別することを
    特徴とする変調器集積化光源の選別方法。
  4. 【請求項4】変調器集積化光源の半導体レーザ部に直流
    電流を供給し、変調器に変調信号と同じ電圧範囲の直流
    逆バイアス電圧を加え、前記半導体レーザの発振しきい
    電流を測定し、前記変調器に前記直流逆バイアス電圧を
    加えた場合と加えない場合との前記しきい電流の差から
    前記半導体レーザ部と前記変調器部の間のリーク電流に
    よる見かけ上のしきい電流の上昇分を差し引いたしきい
    電流値の変化量が、伝送ビットレート及び伝送距離に応
    じて設定された基準値以下となる変調器集積化光源を選
    別することを特徴とする変調器集積化光源の選別方法。
  5. 【請求項5】変調器集積化光源の半導体レーザ部に直流
    電流を供給し、変調器に変調信号と同じ電圧範囲で直流
    逆バイアス電圧を加え、前記半導体レーザからの光出力
    を測定し、変調器に前記直流逆バイアス電圧を加えた場
    合と加えない場合との前記光出力の差の割合が、伝送ビ
    ットレート及び伝送距離に応じて設定された基準値以下
    となる変調器集積化光源を選別することを特徴とする変
    調器集積化光源の選別方法。
  6. 【請求項6】変調器集積化光源の半導体レーザ部に直流
    電流を供給し、変調器側の端子を電気的に短絡及び開放
    の状態で前記変調器側からの光出力を測定し、前記短絡
    状態から開放状態にしたときの光出力の変化の割合が、
    伝送ビットレートに応じて設定された基準値以下となる
    変調器集積化光源を選別することを特徴とする変調器集
    積化光源の選別方法。
  7. 【請求項7】前記変調側の端子を電気的に短絡及び開放
    するかわりに、前記変調側の端子に0Vと0.数Vを加
    えることを特徴とする請求項6記載の変調器集積化光源
    の選別方法。
  8. 【請求項8】変調器集積化光源の半導体レーザ部に直流
    電流を供給し、変調器側の端子を電気的に短絡させ、前
    記変調器部での光の吸収によって生じた光電流を測定し
    て、前記光電流の値が、伝送ビットエラーレートと伝送
    距離によって決まる基準値以下となる変調器集積化光源
    を選別することを特徴とする変調器集積化光源の選別方
    法。
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