JP2657873B2 - 変位測定用誘導センサ - Google Patents
変位測定用誘導センサInfo
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/10—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in inductance, i.e. electric circuits therefor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
- G01D5/2013—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils by a movable ferromagnetic element, e.g. a core
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2611—Measuring inductance
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、変位測定用誘導センサ
が、コイル、コイルに対して変位可能な磁心、及び磁心
の変位に関係するコイルのそのつどのインダクタンスを
計算する電子装置を有し、電子装置がマイクロコンピユ
ータを含み、このマイクロコンピユータがコイルを電圧
パルスで付勢し、生ずる付勢電流から時間測定により磁
心の変位に関係するコイルのインダクタンスの大きさを
求める、変位測定用誘導センサに関する。このようなセ
ンサでは、磁心の変位によりコイルのインダクタンスが
変化され、電子装置によりこの変化が検出されて、変位
に換算される。
が、コイル、コイルに対して変位可能な磁心、及び磁心
の変位に関係するコイルのそのつどのインダクタンスを
計算する電子装置を有し、電子装置がマイクロコンピユ
ータを含み、このマイクロコンピユータがコイルを電圧
パルスで付勢し、生ずる付勢電流から時間測定により磁
心の変位に関係するコイルのインダクタンスの大きさを
求める、変位測定用誘導センサに関する。このようなセ
ンサでは、磁心の変位によりコイルのインダクタンスが
変化され、電子装置によりこの変化が検出されて、変位
に換算される。
【０００２】
【従来の技術】このためコイルを共振回路の周波数決定
素子として使用するのが普通である（ドイツ連邦共和国
特許出願公開第２０４６３３６号明細書）。インダクタ
ンスが変化すると、共振回路が離調する。それにより生
ずる周彼数変化が計算され、対応する変位信号に変換さ
れる。
素子として使用するのが普通である（ドイツ連邦共和国
特許出願公開第２０４６３３６号明細書）。インダクタ
ンスが変化すると、共振回路が離調する。それにより生
ずる周彼数変化が計算され、対応する変位信号に変換さ
れる。
【０００３】この手段の欠点は、必要な発振器の能動素
子が温度に関係し、それにより特に大きい温度変動では
測定値が不精碓になることである。更に周波数とインダ
クタンス又は磁心の変位との関係ｆ＝１／２π（Ｌ・
Ｃ）１／２が直線的でなく、それにより場合によつては
補正回路が必要になる。
子が温度に関係し、それにより特に大きい温度変動では
測定値が不精碓になることである。更に周波数とインダ
クタンス又は磁心の変位との関係ｆ＝１／２π（Ｌ・
Ｃ）１／２が直線的でなく、それにより場合によつては
補正回路が必要になる。
【０００４】ドイツ連邦共和国特許出願公開第３２２３
３０７号明細書から圧力に関係して変化するインダクタ
ンスの測定回路が公知で、インダクタンスの巻線への電
圧の印加時点と生ずる電流の所定レベルまでの増大との
間の時間が測定される。インダクタンスの付勢及び計算
（時間測定）はマイクロコンピユータにより行われる。
マイクロコンピユータは固定周波数で変化する極性の電
圧パルスでインダクタンスを付勢する。インダクタンス
の磁心は飽和するまで使用される非晶質材料から成つて
いる。この公知の測定回路では、交流電圧による付勢に
よつて、高周波障害が生ずる。飽和範囲に達するまでの
付勢により、個別測定値が得られるまでに比較的長い時
間がかかる。更に飽和範囲における緩慢な電流増大によ
り、測定が比較的不精確になる。
３０７号明細書から圧力に関係して変化するインダクタ
ンスの測定回路が公知で、インダクタンスの巻線への電
圧の印加時点と生ずる電流の所定レベルまでの増大との
間の時間が測定される。インダクタンスの付勢及び計算
（時間測定）はマイクロコンピユータにより行われる。
マイクロコンピユータは固定周波数で変化する極性の電
圧パルスでインダクタンスを付勢する。インダクタンス
の磁心は飽和するまで使用される非晶質材料から成つて
いる。この公知の測定回路では、交流電圧による付勢に
よつて、高周波障害が生ずる。飽和範囲に達するまでの
付勢により、個別測定値が得られるまでに比較的長い時
間がかかる。更に飽和範囲における緩慢な電流増大によ
り、測定が比較的不精確になる。
【０００５】ドイツ連邦共和国特許出願公開第２８５２
６３７号明細書から誘導センサ用計算回路が公知であ
り、計算すべきインダクタンスに、発振器により発生さ
れる一定周期の方形波電圧が供給される。低下する電圧
の零通過点までインダクタンスの付勢時間が測定され
て、インダクタンスの尺度となる。この計算回路の欠点
は、大きい値のインダクタンスも測定できるためには、
方形波電圧の周期を比較的長く設定せねばならないこと
である。それにより方形波電圧は、小さいインダクタン
スの測定の際よく利用されないことになる。
６３７号明細書から誘導センサ用計算回路が公知であ
り、計算すべきインダクタンスに、発振器により発生さ
れる一定周期の方形波電圧が供給される。低下する電圧
の零通過点までインダクタンスの付勢時間が測定され
て、インダクタンスの尺度となる。この計算回路の欠点
は、大きい値のインダクタンスも測定できるためには、
方形波電圧の周期を比較的長く設定せねばならないこと
である。それにより方形波電圧は、小さいインダクタン
スの測定の際よく利用されないことになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の基礎になつて
いる課題は、上記の欠点が回避されるように、最初にあ
げた種類の誘導センサを構成することである。
いる課題は、上記の欠点が回避されるように、最初にあ
げた種類の誘導センサを構成することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
本発明によれば、コイルがマイクロコンピユータにより
制御される開閉可能な電流制限素子を介して一定電圧で
付勢可能であり、付勢の開始から電流制限の開始までの
コイルの付勢時間がマイクロコンピユータにより計算さ
れて、磁心の変位に関係する量に換算される。
本発明によれば、コイルがマイクロコンピユータにより
制御される開閉可能な電流制限素子を介して一定電圧で
付勢可能であり、付勢の開始から電流制限の開始までの
コイルの付勢時間がマイクロコンピユータにより計算さ
れて、磁心の変位に関係する量に換算される。
【０００８】
【発明の効果】こうして本発明によれば、マイクロコン
ピユータは、コイルを付勢する電圧パルスを発生すると
共に、コイルの付勢時間を計算して変位に関係する量に
換算するので、本発明による誘導センサはマイクロコン
ピユータに関連して変位を測定するのに非常によく適し
ている。また誘導センサの回路が簡単であり、電流制限
素子を他の素子例えば入出力レベル変換器や遮断制限器
と共に集積回路として構成することができ、従つて誘導
センサの回路が簡単かつ安価に構成される。更に一定電
圧による付勢から特定の電流制限値までのコイルの付勢
時間を計算するので、測定が簡単であり、高い測定速度
も得られる。
ピユータは、コイルを付勢する電圧パルスを発生すると
共に、コイルの付勢時間を計算して変位に関係する量に
換算するので、本発明による誘導センサはマイクロコン
ピユータに関連して変位を測定するのに非常によく適し
ている。また誘導センサの回路が簡単であり、電流制限
素子を他の素子例えば入出力レベル変換器や遮断制限器
と共に集積回路として構成することができ、従つて誘導
センサの回路が簡単かつ安価に構成される。更に一定電
圧による付勢から特定の電流制限値までのコイルの付勢
時間を計算するので、測定が簡単であり、高い測定速度
も得られる。
【０００９】
【実施例】図１に概略的に示すセンサの機械的部分はコ
イル１を含み、例えば圧力測定ダイヤフラムに結合され
かつ鉄からなる可動磁心２が、測定すべき変位に応じて
このコイル１へ押込まれる。磁心２の可能な変位は約２
ｃｍである。レバーを介して測定すべき部材を枢着し
て、大きくされた変位を測定することもできる。
イル１を含み、例えば圧力測定ダイヤフラムに結合され
かつ鉄からなる可動磁心２が、測定すべき変位に応じて
このコイル１へ押込まれる。磁心２の可能な変位は約２
ｃｍである。レバーを介して測定すべき部材を枢着し
て、大きくされた変位を測定することもできる。
【００１０】図２には計算電子装置がブロツク線図とし
て示されている。定電圧電源ＵＢからコイル１への電圧
の供給を制御する開閉可能な電流制限素子１８は、この
電流制限素子を通る電流が所定の一定値に達した後電流
をこの一定値に保持するように構成されている。この開
閉可能な電流制限素子１８は、入力レベル変換器１７を
介して、マイクロコンピユータ３の出力端１５により制
御されて閉じる。制御パルスは時点ｔ０からｔ２まで続
き（図３の（ａ）参照）、マイクロコンピユータ３によ
り規定される測定サイクルを表わす。時点ｔ０で閉じら
れる開閉可能な電流制限素子１８により、今やコイル１
が電圧ＵＢを供給され、コイル電流ｉＬが流れ始め、こ
の電流はコイル１のインダクタンスのためほぼ直線的に
増大する（図３の（ｃ））。その際コイル１の電圧ＵＥ
＝ＵＢである（図３の（ｂ）参照）。
て示されている。定電圧電源ＵＢからコイル１への電圧
の供給を制御する開閉可能な電流制限素子１８は、この
電流制限素子を通る電流が所定の一定値に達した後電流
をこの一定値に保持するように構成されている。この開
閉可能な電流制限素子１８は、入力レベル変換器１７を
介して、マイクロコンピユータ３の出力端１５により制
御されて閉じる。制御パルスは時点ｔ０からｔ２まで続
き（図３の（ａ）参照）、マイクロコンピユータ３によ
り規定される測定サイクルを表わす。時点ｔ０で閉じら
れる開閉可能な電流制限素子１８により、今やコイル１
が電圧ＵＢを供給され、コイル電流ｉＬが流れ始め、こ
の電流はコイル１のインダクタンスのためほぼ直線的に
増大する（図３の（ｃ））。その際コイル１の電圧ＵＥ
＝ＵＢである（図３の（ｂ）参照）。
【００１１】コイル電流ｉＬが所定の一定値例えば４５
ｍＡに達すると、それ以後コイル電流ｉＬは電流制限素
子１８によりこの一定値に保持される。この電流制限が
始まる時点ｔ１は、この時点ｔ１における電圧ＵＥの消
失を介して検知される。図３の（ｂ）に示すように、こ
の電圧ＵＥは、値ＵＢから零に低下する。電流制限が始
まる時点ｔ１から制御パルスの終了する時点ｔ２までの
時間（ｔ１〜ｔ２）中コイル１における電圧降下は、コ
イルのオーム抵抗によつてのみ決定され、無視できるほ
ど小さい。続いて時点ｔ２にコイル電流が遮断される。
この時点ｔ２は、前述したように測定サイクルの終了時
点として、マイクロコンピユータ３により規定される。
その際生ずる誘導電圧は（図３の（ｂ）参照）遮断制限
器１９により危険でない値例えば４５Ｖに制限される。
なお時点ｔ１における電圧ＵＥの消失は、出力レベル変
換器２０におけるレベル変換後、マイクロコンピユータ
３へ与えられる。それによりマイクロコンピユータ３は
時間測定プログラムの処理を終了し、コイルのインダク
タンスに比例する測定結果ｔ０〜ｔ１を数値として引続
く処理のために準備する。
ｍＡに達すると、それ以後コイル電流ｉＬは電流制限素
子１８によりこの一定値に保持される。この電流制限が
始まる時点ｔ１は、この時点ｔ１における電圧ＵＥの消
失を介して検知される。図３の（ｂ）に示すように、こ
の電圧ＵＥは、値ＵＢから零に低下する。電流制限が始
まる時点ｔ１から制御パルスの終了する時点ｔ２までの
時間（ｔ１〜ｔ２）中コイル１における電圧降下は、コ
イルのオーム抵抗によつてのみ決定され、無視できるほ
ど小さい。続いて時点ｔ２にコイル電流が遮断される。
この時点ｔ２は、前述したように測定サイクルの終了時
点として、マイクロコンピユータ３により規定される。
その際生ずる誘導電圧は（図３の（ｂ）参照）遮断制限
器１９により危険でない値例えば４５Ｖに制限される。
なお時点ｔ１における電圧ＵＥの消失は、出力レベル変
換器２０におけるレベル変換後、マイクロコンピユータ
３へ与えられる。それによりマイクロコンピユータ３は
時間測定プログラムの処理を終了し、コイルのインダク
タンスに比例する測定結果ｔ０〜ｔ１を数値として引続
く処理のために準備する。
【００１２】現在の測定サイクルを終了して次の測定サ
イクルを準備するために、マイクロコンピユータが出力
信号したがつてＵＥおよびｉＬを遮断する。コイル１の
遮断エネルギーは遮断制限器１９により短時間に無害な
電圧ピークで吸収される。
イクルを準備するために、マイクロコンピユータが出力
信号したがつてＵＥおよびｉＬを遮断する。コイル１の
遮断エネルギーは遮断制限器１９により短時間に無害な
電圧ピークで吸収される。
【００１３】図４には、開閉可能な電流制限素子１８、
コイル１および遮断制限器１９をもつ図２の回路の左の
部分が詳細に示されている。開閉可能な電流制限素子１
８は制御電圧源Ｔ２，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４と電圧で制御さ
れる電流源Ｔ１，Ｔ３，Ｒ１，Ｄ１とから成つている。
コイル１および遮断制限器１９をもつ図２の回路の左の
部分が詳細に示されている。開閉可能な電流制限素子１
８は制御電圧源Ｔ２，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４と電圧で制御さ
れる電流源Ｔ１，Ｔ３，Ｒ１，Ｄ１とから成つている。
【００１４】電流源は、接続点Ｋ３とＫ１との間に存在
する制御電圧ＵＫ３−Ｋ１を、これに比例する出力電流
ｉＬに変換する。調整トランジスタＴ１は、抵抗Ｒ１に
かかる電圧を制御電圧に追従させる。トランジスタＴ３
は電流増幅器として投立つ。ダイオードＤ１は過電圧に
対する保護を行う。
する制御電圧ＵＫ３−Ｋ１を、これに比例する出力電流
ｉＬに変換する。調整トランジスタＴ１は、抵抗Ｒ１に
かかる電圧を制御電圧に追従させる。トランジスタＴ３
は電流増幅器として投立つ。ダイオードＤ１は過電圧に
対する保護を行う。
【００１５】制御電圧源は供給電圧ＵＢから比較電圧Ｕ
Ｋ２−Ｋ１を取出す。この比較電圧から上記の制御電圧
ＵＫ３−Ｋ１が取出され、これは次の３つの状態をもつ
ている。 ａ）遮断 マイクロコンピユータ３の出力端１５は値０をもち、入
力レベル変換器１７により接続点Ｋ４を接続点Ｋ１の電
位にする。したがつてトランジスタＴ２は接続点Ｋ３を
接続点Ｋ２に対して遮断し、制御電圧は零である。その
結果トランジスタＴ１およびＴ３は不導通になる。 ｂ）浮動 出力端１５は値１をもち、入力レベル変換器１７を介し
て接続点Ｋ４を接地電位にする。それにより抵抗Ｒ１、
トランジスタＴ１のエミツタ−ベース回路および抵抗Ｒ
２を通つて小さい電流が流れて、トランジスタＴ１およ
びＴ３を完全に導通させる。コイル１の自己インダクタ
ンス（図３参照）のため、電流ｉＬしたがつてＵ
Ｋ５−Ｋ１が零から、また電圧ＵＫ３−Ｋ１が約０．６
Ｖから所定の傾斜で増大し、トランジスタＴ２は電圧Ｕ
Ｋ２−Ｋ１によりバイアスされてまず不導通になる。こ
の状態で接続点Ｋ３の電位が接続点Ｋ５の電位と共に浮
動する。 ｃ）制限 出力端１５が引続き値１をもつ。状態ｂ）の通過後電流
ｉＬは、トランジスタＴ２にかかるバイアス電圧がこれ
を不導通にするにはもはや不充分な大きさになる。トラ
ンジスタＴ２が今や導通することによつて、接続点Ｋ３
から抵抗Ｒ２を経て接続点Ｋ４へ流れる電流はもはやト
ランジスタＴ１だけからは供給されなくなる。これは、
トランジスタＴ１およびＴ３がもはや完全に導通せしめ
られず、電圧ＵＫ５−Ｋ１が比較電圧ＵＫ２−Ｋ１と精
確に同じになる程度だけ導通せしめられることを意味す
る。それによりコイル電流ｉＬが値ｉＬＭ＝１／Ｒ１・
ＵＫ１−Ｋ２に制限される。
Ｋ２−Ｋ１を取出す。この比較電圧から上記の制御電圧
ＵＫ３−Ｋ１が取出され、これは次の３つの状態をもつ
ている。 ａ）遮断 マイクロコンピユータ３の出力端１５は値０をもち、入
力レベル変換器１７により接続点Ｋ４を接続点Ｋ１の電
位にする。したがつてトランジスタＴ２は接続点Ｋ３を
接続点Ｋ２に対して遮断し、制御電圧は零である。その
結果トランジスタＴ１およびＴ３は不導通になる。 ｂ）浮動 出力端１５は値１をもち、入力レベル変換器１７を介し
て接続点Ｋ４を接地電位にする。それにより抵抗Ｒ１、
トランジスタＴ１のエミツタ−ベース回路および抵抗Ｒ
２を通つて小さい電流が流れて、トランジスタＴ１およ
びＴ３を完全に導通させる。コイル１の自己インダクタ
ンス（図３参照）のため、電流ｉＬしたがつてＵ
Ｋ５−Ｋ１が零から、また電圧ＵＫ３−Ｋ１が約０．６
Ｖから所定の傾斜で増大し、トランジスタＴ２は電圧Ｕ
Ｋ２−Ｋ１によりバイアスされてまず不導通になる。こ
の状態で接続点Ｋ３の電位が接続点Ｋ５の電位と共に浮
動する。 ｃ）制限 出力端１５が引続き値１をもつ。状態ｂ）の通過後電流
ｉＬは、トランジスタＴ２にかかるバイアス電圧がこれ
を不導通にするにはもはや不充分な大きさになる。トラ
ンジスタＴ２が今や導通することによつて、接続点Ｋ３
から抵抗Ｒ２を経て接続点Ｋ４へ流れる電流はもはやト
ランジスタＴ１だけからは供給されなくなる。これは、
トランジスタＴ１およびＴ３がもはや完全に導通せしめ
られず、電圧ＵＫ５−Ｋ１が比較電圧ＵＫ２−Ｋ１と精
確に同じになる程度だけ導通せしめられることを意味す
る。それによりコイル電流ｉＬが値ｉＬＭ＝１／Ｒ１・
ＵＫ１−Ｋ２に制限される。
【００１６】トランジスタＴ１とＴ２は熱的に結合され
ているので、これらトランジスタＴ１及びＴ２のベース
−エミツタ電圧の温度補償が行なわれる。したがつてｉ
ＬＭの値は温度に対して安定である。
ているので、これらトランジスタＴ１及びＴ２のベース
−エミツタ電圧の温度補償が行なわれる。したがつてｉ
ＬＭの値は温度に対して安定である。
【００１７】遮断制限器１９はダイオードＤ３及びＤ２
により形成される。ダイオードＤ３は、電流増大中にコ
イル１及び遮断制限器１９にかかる正の電圧がツエナダ
イオードＤ２にかからないようにする。
により形成される。ダイオードＤ３は、電流増大中にコ
イル１及び遮断制限器１９にかかる正の電圧がツエナダ
イオードＤ２にかからないようにする。
【００１８】コイル磁界の消失により高い負の遮断電圧
が生ずると、ダイオードＤ３が導通する。ツエナダイオ
ードＤ２は今や作用することができる。遮断電圧ピーク
はツエナ電圧（Ｄ２）と導通電圧（Ｄ３）との和に制限
される。
が生ずると、ダイオードＤ３が導通する。ツエナダイオ
ードＤ２は今や作用することができる。遮断電圧ピーク
はツエナ電圧（Ｄ２）と導通電圧（Ｄ３）との和に制限
される。
【００１９】制限電圧はコイル電流ｉＬの減少速度に影
響を及ぼす。この制限電圧の値は電流を生ずる供給電圧
ＵＢの４倍の大きさをもつているので、電流の減少は約
４倍の速さで行われる。それにより装置は短時間で新し
い測定のために準備される。
響を及ぼす。この制限電圧の値は電流を生ずる供給電圧
ＵＢの４倍の大きさをもつているので、電流の減少は約
４倍の速さで行われる。それにより装置は短時間で新し
い測定のために準備される。
【図１】センサの機械的部分の断面図である。
【図２】計算電子装置のブロツク線図である。
【図３】図２による電子装置の電圧及び電流を時間に関
して示す線図である。
して示す線図である。
【図４】図２の一部の詳細な接続図である。
１ コイル ２ 磁心 ３ マイクロコンピユータ １８ 開閉可能な電流制限素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デトレフ・ノイハウス ドイツ連邦共和国ランゲンハーゲン・ハ インケンシユトラーセ１ (56)参考文献 特開 昭52−19581（ＪＰ，Ａ)
Claims (5)
- 【請求項１】 変位測定用誘導センサが、コイル
（１）、コイル（１）に対して変位可能な磁心（２）、
及び磁心（２）の変位に関係するコイル（１）のそのつ
どのインダクタンスを計算する電子装置を有し、電子装
置がマイクロコンピユータ（３）を含み、このマイクロ
コンピユータがコイル（１）を電圧パルスで付勢し、生
ずる付勢電流から時間測定により磁心（２）の変位に関
係するコイル（１）のインダクタンスの大きさを求める
ものにおいて、 ａ）コイル（１）がマイクロコンピユータ（３）により
制御される開閉可能な電流制限素子（１８）を介して一
定電圧（ＵＢ）で付勢可能であり、 ｂ）付勢の開始（ｔ０）から電流制限の開始（ｔ１）ま
でのコイル（１）の付勢時間（ｔ０〜ｔ１）がマイクロ
コンピユータ（３）により計算されて、磁心（２）の変
位に関係する量に換算されることを特徴とする、変位測
定用誘導センサ。 - 【請求項２】ａ）開閉可能な電流制限素子（１８）の制
御が入力レベル変換器（１７）を介して行われ、 ｂ）マイクロコンピユータ（３）へのコイル付勢時間の
伝送が出力レベル変換器（２０）を介して行われ、 ｃ）コイル（１）が遮断制限器（１９）に接続されてい
ることを特徴とする、請求項１に記載のセンサ。 - 【請求項３】 開閉可能な電流制限素子（１８）が、制
御電圧源（Ｔ２，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４）とその出力側に接
続されて電圧制御される電流源（Ｔ１，Ｔ３，Ｒ１，
Ｄ）から構成されていることを特徴とする、請求項１又
は２に記載のセンサ。 - 【請求項４】 制御電圧源及び電流源が、熱的に結合さ
れるトランジスタ（Ｔ１及びＴ２）を含んでいることを
特徴とする、請求項３に記載のセンサ。 - 【請求項５】 磁心（２）が圧力測定ダイヤフラムに結
合されていることを特徴とする、請求項１ないし４の１
つに記載のセンサ。
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